2021年半導體檢測市場空間及精測電子公司業務轉型分析報告（28頁）.pdf

1、應用于不同生產制程的平板顯示檢測系統技術原理差異較大。Array 制程主要是對玻璃基板的生產加工，該段制程的檢測主要是利用光學、電學原理對玻璃基板或偏光片進行各種檢測，如 AOI 光學檢測系統。Cell 制程主要是在Array 制程完成的玻璃基板的基礎上生成液晶面板，該段制程的檢測主要是利用電學原理對面板進行各種檢測，如亮點檢測系統、配向檢測系統等。Module 制程主要是對面板加裝驅動芯片、信號基板、背光源和防護罩等組件，該段制程的檢測主要是利用電訊技術對面板或模組進行信號檢測。對 OLED 產線來說，由于OLED 技術是TFT 顯示技術的進一步改進，其生產線設備具有較大的通用性，特別是 A

2、rray 制程設備。主要區別在于 OLED 自發光特性決定 OLED 的Cell 和Module 段不需要再添加背光源、偏光片等。檢測設備應用于面板制造各個階段，OLED 由于良率問題對檢測設備需求更多LCD 新建產線投資成本中，面板設備投資約占面板產線投資規模的 60%，測設備占設備總投資的 20%。目前面板產線的良率情況為高世代線良率低于低世代線良率，對于 OLED 產線而言，以京東方為例，京東方8.5 代線LCD 良率已達到97%以上，而低世代的 6 代線OLED 產線良率僅在 65%。OLED 產線同世代下良率更低，對檢測設備需求相應更大，約為 LCD 產線檢測設備的1.5-2 倍。從生產制程出發，Array、Cell、Module 制程檢測設備占比分別為 70%、25%、 5%。Array 和Cell 制程由于多為自動化光學檢測(AOI)檢測產品，技術含量相對較高，占檢測設備投入也較多。目前我國較為成熟的檢測設備多為 Module 制程設備，技術含量處于較低水平。