萬業企業-并購轉型助力打造中國芯離子注入國產替代迎佳機-210726（27頁）.pdf

1、被美國公司壟斷的 IC 離子注入機在如今特殊背景下正亟待走向國產化。美國東部時間 2019 年 10 月 7 日，美國商務部以國家安全等理由出臺美國出口管制“實體名單“，限制列入實體名單的中國機構及公司從美國購買設備和零部件。該名單仍在持續更新中，半導體產業代表著高新科技同時占據著未來發展的巨大市場，相關公司和機構也是美國實體名單的重點關注對象。例如，2020 年 12 月 18 日，美國商務部更新美國出口管制”實體名單“，中芯國際及其 10 個相關子公司被納入實體清單。與此同時，美國仍在加強半導體領域的投資，2021 年 5 月 28 日，美國參議院進一步推動了加強美國技術研發、創新的法案，

2、該法案總金額達 1900 億美元，其中包括了對芯片相關行業 520 億美元的投資。為了避免被美方”卡脖子“，離子注入機與光刻機、刻蝕機等集成電路制造前道設備均亟待邁向國產化。 在中美持續對弈、中方政策高度重視、國有基金資金助力的情況下，我們有理由相信離子注入機的國產化進程正在加速到來。由于離子注入機在集成電路制造前道設備中的不可替代性和目前被美日龍頭企業壟斷的市場現狀，我國在政策上對離子注入機重視程度較高，在多項政策中將離子注入機的研發列為戰略發展目標。大基金二期有望助力設備與材料企業進一步發展。集成電路產業投資基金（國家大基金）一期設立于 2014年 10 月 14 日，總投資 1

3、387 億，帶動社會投資約 5000 億，投資方向側重于集成電路芯片制造業，兼顧芯片設計，封裝測試設備和材料等產業。2018 年，大基金一期已入股國產離子注入機生產商凱世通的母公司萬業企業。2019 年，國家大基金二期成立，注冊資本超 2000 億元，預計帶動社會投資約 6000 億。國家大基金總裁丁文武曾發表講話，二期基金將對裝備材料業，例如刻蝕機、薄膜設備、測試設備和清洗設備等領域給予重點支持，因此，國家大基金二期對于裝備材料生產商的支持將帶來更多的發展機會。國產離子注入機替代空間大，遠期可達 450 億市場規模。根據集微網統計，2020 年，國內共計 8 英寸產能74.0 萬片/月，12

4、 英寸產能 38.9 萬片/月，折合 8 英寸后共計產能 161.5 萬片/月。根據各公司公開披露數據顯示，2021 年全國各大晶圓廠預計新增 8 英寸產能 16.6 萬片/月，新增 12 英寸產能 21.2 萬片/月。遠期規劃 8 英寸產能實現 135 萬片/月，12 英寸產能實現 145.4 萬片/月。根據離子注入設備產率和工藝注入量的不同，預計成熟制程產線每萬片/月需要約 4 臺大束流離子注入機，先進制程產線每萬片/月需要約 8 臺大束流離子注入機。12 英寸邏輯芯片的每萬片/月產能則可能需采購 12-15臺離子注入機，其中 60%為低能大束流設備、20%為中束流設備、20%為高能設備。

5、根據上述情況，我們假設未來平均每萬片/月 8 英寸晶圓產線需要 6 臺離子注入機，12 英寸晶圓產線需要 10 臺離子注入機。單臺低能大束流離子注入機平均價格為 3000 萬元，中束流離子注入機平均價格為 2000 萬元，高能離子注入機平均價格為 5000 萬元。根據集微網統計的遠期總目標產能，基于上述不同產線對應不同類型的離子注入機數量和價格，在不考慮晶圓廠的實際擴產進度或完成時間，只考慮遠期目標達成的情況下，我們對離子注入機的國內市場空間做了如下測算。預計未來 8 英寸產線需要新增 61 萬片/月產能，對應 366 臺設備，假設平均單價為 3000 萬元，則對應 109.8 億元市場空間。預計 12 英寸產線需要新增 106.5 萬片/月產能，對應 1065 臺設備，假設平均單價為 3000*60%+2000*20%+5000*20%=3200 萬元，則對應 340.8 億元。加總后我們預計國內離子注入機的遠期市場空間高達 450.6 億元。