億渡數據：2021年中國特種氣體行業短報告（16頁）.pdf

1、2021年中國特種氣體行業短報告2021.12版權所有2021深圳市億渡數據科技有限公司。本文件提供的任何內容（包括但不限于數據、文字、圖表、圖像等）均系億渡數據獨有的高度機密性文件（在報告中另行標明出處者除外）。未經億渡數據事先書面許可，任何人不得以任何方式擅自復制、再造、傳播、出版、引用、改編、匯編本報告內容，若有違反上述約定的行為發生，億渡數據公司保留采取法律措施，追究相關人員責任的權利。目錄第一章 特種氣體行業概述-04特種氣體行業定義與分類-05中國特種氣體行業發展歷程-06全球及中國特種氣體行業市場規模-07中國特種氣體行業產業鏈分析-09中國特種氣體行業競爭格局-10中國特種氣體

2、行業發展趨勢-12第二章 行業典型企業介紹-13廣東華特氣體股份有限公司-14蘇州金宏氣體股份有限公司-15江蘇南大光電材料股份有限公司-16nMsMpNoQtPvNtRoNxOyQuN9P8Q7NpNpPsQsQiNmMmNkPnNtN7NoPnNMYoOzRNZtPzR名詞解釋u特種氣體：是指在特定領域中應用的對純度、品種、性質有特殊要求的氣體。u化學氣相沉積：一種化工技術，該技術主要是利用含有薄膜元素的一種或幾種氣相化合物或單質、在襯底表面上進行化學反應生成薄膜的方法。u刻蝕： 半導體制造工藝，微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中的一種相當重要的步驟。 u摻雜：指多種物質混雜在一起，在化

3、工、材料等領域中，摻雜通常是指為了改善某種材料或物質的性能，有目的在這種材料或基質中，摻入少量其他元素或化合物。u離子注入：把摻雜劑的離子引入固體中的一種材料改性方法。uMO源：即高純金屬有機化合物，是半導體微結構材料的支撐材料，可將半導體和集成電路推向更高的頻率、更快的速度、更低的噪音和更大的功率。行業概述p 特種氣體經過了30年的發展和沉淀，國產化具備了客觀條件p 2016年中國的特種氣體市場規模為156億元，至2020年達到282億元p 中國半導體電子特種氣體市場被國外同行業巨頭壟斷，占據超85%的份額p 特種氣體技術要求持續提高，品種不斷豐富，國產化趨勢明顯定義與分類特種氣體是指在特定

4、領域中應用的對純度、品種、性質有特殊要求的氣體普通工業氣體產品可分為特種氣體、合成氣體、空分氣體三大類。 特種氣體是指在特定領域中應用的對純度、品種、性質有特殊要求的氣體，主要包括電子氣體、醫療氣體、標準氣體、激光氣體、食品氣體、電光源氣體等。電子氣體是特種氣體的一個重要分支電子氣體在電子產品制程工藝中廣泛應用于離子注入、刻蝕、氣相沉積、摻雜等工藝，被稱為集成電路、液晶面板、LED 及光伏等材料的“糧食”和“源”。電子氣體主要品種及用途特種氣體主要品種及應用領域特種氣體是工業氣體中的一個新興門類特種氣體是隨著近年來國防工業、科學研究、自動化技術、精密檢測，特別是微電子技術的發展而發展起來的。從

5、應用領域劃分，特種氣體主要有電子氣體、高純氣體和標準氣體三種，廣泛應用于電子半導體、化工、醫療、環保和高端裝備制造等領域。名 稱主要品種應用領域電子氣體氫化物：超純氨、硅烷、磷烷、砷烷、氫化銻廣泛用于集成電路、顯示面板、光伏能源、光纖光纜等電子產業的加工制造氟化物：六氟化硫、三氟化氮、三氟化硼、五氟化磷、四氟化硅碳氟化合物：四氟化碳、六氟乙烷等高純氣體N2、O2、H2、He、Ar、CO2主要等，純度5N（99.999%）大多用于超大規模集成電路及分離器件、光電子等高科技領域標準氣體單元標準氣體石油、化工、環保、傳感器校核等諸多領域多元標準氣體：由兩種或兩種以上組分氣配制而成類別主要品種主要用途

6、電子特種氣體氨氣、氦氣、氧化亞氮、 TEOS（正硅酸乙酯）、TEB（硼酸三乙酯）、 TEPO（磷酸三乙酯）、磷化氫、三氟化氯、二氯硅烷、氟化氮、硅烷、六氟化鎢、六氟乙烷、四氯化鈦、甲烷等化學氣相沉積（CVD）氟化砷、三氟化磷、磷化氫、三氟化硼、三氯化硼、四氟化硅、六氟化硫、氙氣等離子注入氟氣、氦氣、氪氣、氖氣等光刻膠印刷氫氣、三氯氧磷等擴散氦氣、四氟化碳、八氟環丁烷、八氟環戊烯、三氟甲烷、二氟甲烷、氯氣、溴化氫、三氯化硼一氧化碳等刻蝕含硼、磷、砷等三族及五族原子之氣體，如三氯化硼、乙硼烷、三氟化硼、磷化氫、砷化氫等摻雜電子大宗氣 體氮氣、氧氣、氬氣、二氧化碳等環境氣、保護氣、載體工業氣體是現代

7、工業的基礎原材料，被喻為“工業的血液”發展歷程特種氣體經過了30年的發展和沉淀，國產化具備了客觀條件80年代中期初步發展期：我國電子氣體剛形成產業雛形，產業基礎較為薄弱。技術和裝備都是直接引進，自主研發能力弱和資金投入少?？焖俪砷L期：國外半導體廠商增加在我國國內投資，在設備和人員上增加投入，同時我國加大資金和政策對行業的支持，企業研發投入增加。萌芽期：20世紀八十年代，在全球半導體行業的成長下，特種氣體行業剛剛出現，八十年代中期，通過國外企業在國內建廠。1999年-2007年2008年至今我國特種氣體發展歷程表80年代中期，行業處于萌芽期。美國氣體化工產品公司(APCI)進軍中國，成為第一家在

8、華投資的海外氣體企業，主要向國內鋼鐵公司、化學品公司等銷售空分、制氧裝置等工業氣體設備。1999-2007年期間,行業處于初步發展期。我國電子氣體初步形成產業，但產業基礎較為薄弱。早期由于國內半導體廠商基本是外資獨資或合資,技術和裝備都是直接引進,基本不考慮對國內相關材料配套產業的帶動,導致國內電子氣體長期處于發展滯后。2008-2018年期間，行業處于成長期。一方面，國家陸續出臺相關政策支持鼓勵行業的發展;另一方面，國外半導體廠家紛紛在我國加大投資力度，帶動我國半導體產業鏈的進一步成長。此外，我國企業也通過自主創新突破電子工業技術，成功將多晶硅制成改為單晶硅制成，通過工藝創新變更擴大和推動特

9、種氣體化學品的需求量和產品更新換代速度。這些因素疊加使得我國特種氣體行業得到不斷成長。中國的特種氣體行業已經經過了30年的發展和沉淀。隨著不斷的經驗積累和技術進步，業內領先企業已在部分產品上實現突破，達到國際通行標準，逐步實現了進口替代，特種氣體國產化具備了客觀條件。在需求層面，近年連續建設了多條 8 寸、12 寸大規模集成電路生產線、高世代面板生產線等，為保障供貨穩定、服務及時、控制成本等，特種氣體國產化的需求迫切。此外，近年來國家相繼發布一系列政策，旨在推動包括特種氣體在內的關鍵材料國產化。隨著在技術進步、需求拉動、政策刺激等多重因素的影響下，特氣行業國產化趨勢明顯。在技術進步、需求拉動、

10、政策刺激等多重因素的影響下，特氣行業國產化趨勢明顯市場規模（1/2）中國工業氣體市場規模超千億，未來增長潛力巨大中國工業氣體市場高速增長2016年全球工業氣體市場規模為1048億美元，2020年全球工業氣體市場規模達到1341億美元，2016-2020年期間復合增長率為6.36%，全球工業氣體市場呈現良好增長態勢。同時，2020年全球工業氣體市場規模增長率為9.47%，較去年同比增長幅度進一步提升，增長趨勢良好。2016-2025年全球工業氣體市場規模（億美元）2016-2025年中國工業氣體市場規模（億元）2016年中國工業氣體市場規模為1082億元，約占全球工業氣體市場的15%。2020年

11、，中國工業氣體市場規模為1626億元，比重進一步上升，約占18%。2016-2020年期間復合增長率為10.7%，中國工業氣體市場規模實現高速增長，且增速明顯高于全球市場。在半導體行業復蘇、產業往亞太地區轉移以及我國政府大力支持等綜合因素影響下，未來工業氣體行業預計有很大的增長潛力。數據來源：億渡數據數據來源：億渡數據全球工業氣體市場呈現良好增長態勢10481108116712251341145115751692181819295.73%5.32%4.97%9.47%8.20%8.55%7.43%7.45%6.11%00.010.020.030.040.050.060.070.080.090.

12、10200400600800100012001400160018002000201620172018201920202021E2022E2023E2024E2025E全球工業氣體市場規模（億美元）同比增長108212111342146816261798196421682386260711.92%10.82%9.39%10.76%10.58%9.23%10.39%10.06%9.26%00.020.040.060.080.10.120.14050010001500200025003000201620172018201920202021E2022E2023E2024E2025E中國工業氣體市場規模

13、（億元）同比增長市場規模（2/2）中國特種氣體市場規模實現持續高增速發展中國電子特種氣體占特種氣體比重為六成左右，成長性強中國特種氣體持續高速增長特種氣體占工業氣體比重大約為20%左右。近幾年來，隨著我國工業氣體行業的快速發展，特種氣體行業市場需求得到快速成長，市場規模實現持續高增速發展。2016年中國的特種氣體市場規模為156億元，至2020年達到282億元，2016-2020年期間中國特種氣體市場平均增速達15%以上，增速明顯。預計2020年之后仍將保持以15%以上高速增長趨勢，2025年中國特氣市場有望達到691億元的規模。2016-2025年中國特種氣體市場規模（億元）2016-202

14、5年中國電子特種氣體市場規模（億元）數據來源：億渡數據數據來源：億渡數據我國電子特種氣體占特種氣體比重為六成左右，近幾年來，行業市場規模行業實現持續高增速增長，行業成長性強。2016年中國電子特種氣體行業市場規模為103億元，至2020年達到175億元，2016-2020年期間復合增長率為14.17%，呈現不斷穩步上升趨勢。同時，2020年中國電子特氣市場規模同比2019年市場規模增長22.38%，增長規模進一步擴大。15617520424028234240949658769112.18%16.57%17.65%17.50%21.28%19.59%21.27%18.35%17.72%00.05

15、0.10.150.20.250100200300400500600700800201620172018201920202021E2022E2023E2024E2025E中國特種氣體市場規模（億元）同比增長10311412614317521626431137243510.68%10.53%13.49%22.38%23.43%22.22%17.80%19.61%16.94%00.050.10.150.20.25050100150200250300350400450500201620172018201920202021E2022E2023E2024E2025E中國電子特種氣體市場規模（億元）同比增長

16、產業鏈圖譜特種氣體下游應用領域中，半導體占比超過6成上游原料上游原料中游氣體產品中游氣體產品下游應用下游應用空氣空氣廢氣基礎化學原料大宗氣體特種氣體空氣氣體合成氣體傳統行業標準氣體高純氣體電子特種氣體冶金化工機械制造新興行業刻蝕用氣體CVD用氣體稀釋用氣體摻雜用氣體外延用氣體離子注入氣集成電路晶體面板光伏光纖光纜醫療健康高端裝備其他發光二極管用氣體氧氣氮氣氬氣乙炔二氧化碳工業氨數據來源：億渡數據整理我國特種氣體下游應用占比情況半導體, 64.00%電子器件, 30.20%太陽能, 5.80%四大公司控制著全球50%左右的市場份額，形成寡頭競爭的局面競爭格局（1/2）2020年全球半導體用電子氣

17、體市場中，林德集團（林德集團和普萊克斯合并）、液化空氣、空氣化工、和日本酸素 (原名大陽日酸)等四大公司控制著全球50%左右的市場份額，形成寡頭競爭的局面。2020年全球電子特種氣體行業競爭格局數據來源：億渡數據公司名稱經營模式主要應用領域2020年營業收入（億元）林德集團（德國）主要產品包括氧氣、氮氣、氬氣、稀有氣體、碳氧化物、氦氣、氫氣、電子氣體、特種氣體等，服務于各種終端市場，包括化工和精煉、食品和飲料、電子、醫療保健、制造和金屬。主要應用于半導體、顯示器、太陽能和LED等電子領域用氣體行業，為客戶提供電子大宗氣體和電子特種氣體，以及現場制氣設備和服務。1758.3空氣化工（美國）服務能

18、源、環境和新興市場，為煉油、化工、金屬、電子、制造和食品飲料等數十個行業的客戶提供必要的工業氣體、相關設備和服務。應用于半導體、IC封裝和測試、顯示、太陽能、PCB組裝以及LED市場。575.66液化空氣（法國）主要為冶金、化工、能源等行業客戶供應氧氣、氮氣、氬氣、氫氣、一氧化氮等產品，也為汽車、制造業、食品、醫藥、科技等行業客戶提供工業氣體、制氣設備、安全裝置等。應用于半導體、光伏、平板顯示三大領域。1345.58日本酸素（日本）電子業務板塊中，集團提供各種電子材料氣體，用在半導體、LCD屏幕等電子產業的制造過程中。工業氣體板塊中，主要包括空分氣體、二氧化碳氣體、氦氣、液化石油氣（LP氣體）

19、、切割焊接設備及材料、廠房和機械，醫用氣體和設備等。三大業務：工業氣體業務、電子業務和熱水瓶業務476.32林德集團, 20.20%空氣化工, 6.61%液化空氣, 15.46%大陽特酸, 5.47%其它, 52.25%全球電子特種氣體行業競爭格局全球電子特種氣體行業企業介紹中國半導體電子特種氣體市場被國外同行業巨頭壟斷，占據超85%的份額競爭格局（2/2）中國特種氣體行業競爭格局電子特種氣體占特種氣體比重大約六成左右。中國半導體電子特種氣體市場主要被國外同行業巨頭壟斷，海外幾大氣體巨頭占據超85%的份額，中國半導體用電子特種氣體受制于人的局面十分嚴重。國內主要廠商分別有華特氣體、金宏氣體、凱

20、美特氣、雅克科技、南大光電、和遠氣體、昊華科技、杭氧股份等企業。中國電子特種氣體行業企業介紹2020年中國電子特種氣體行業競爭格局數據來源：億渡數據公司名稱業務區域產品結構（2020年）技術指標華特氣體（688268.SH）銷售區域以廣東省為主，華南區域約50%，華東區 域約20%，海外市場約20% 特種氣體5.48億元，設備與工程業務2.27億元普通工業氣體2.14億高純二氧化碳純度達99.9997%。金宏氣體（688106.SH）銷售區域以長三角為主，江蘇約占65%，上海約占17%，浙江約占5% 。大宗氣體4.82億特種氣體4.48億其他業務1.72億天然氣1.41億超 純 氨 純 度 達

21、99.999998%，高純氧化亞氮純度達99.9999%，高純氫氣純度達99.9999%，高純 二 氧 化 碳 純 度 達99.9998%，高純氮純度達99.9999%。凱美特氣（002549.SZ）銷售區域主要分布在廣東、湖南、安徽、海南、福建等地區?？辗謿怏w0.35億其他工業氣體4.83億二氧化碳純度達99.999%，高 純 氮 純 度 達 99.9998% 。雅克科技（002409.SZ）全國各地電子特氣3.73億六氟化硫產品純度達到99.998%以上南大光電（300346.SZ）全國各地特種氣體4.29億元MO源產品1.20億其他0.45億高純砷烷純度達99.9999%、高純磷烷純度達

22、99.9999%和遠氣體（002971.SZ）銷 售 區 域 以 湖北為主，湖北省內占70%以上普通氣體4.93億特種氣體0.44億高純氫氣純度達99.999%，液氮純度達99.999%?？諝饣? 24.80%林德集團, 22.60%液化空氣, 22.30%太陽日酸, 16.10%其他, 14.20%發展趨勢特種氣體技術要求持續提高，品種不斷豐富，國產化趨勢明顯中國的特種氣體行業經過30 年的發展和沉淀。通過不斷的經驗積累和技術進步，業內領先企業已在部分產品 上實現突破，達到國際標準，逐步實現進口替代，特種氣體國產化具備了客觀條件。我國特種氣體在技術進步、需求拉動、國家政策刺激等多重因素的影

23、響下，國內企業已經在各個產品領域逐步突破，目前國產化進程的增速將尤為明顯。特種氣體已成為高科技應用領域和戰略新興產業發展不可缺少的基礎原材料，隨著下游應用領域及新工藝路線的逐步擴展，氣體的品種也與日俱增。隨著國內經濟的持續穩步發展，國內氣體企業在快速發展中，對技術研發越來越重視，技術研發實力也有了長足的進步，相當一部分生產、檢測、提純和容器處理的技術已經達到國際標準， 比如在超純氨生產工藝上，在過去一直依賴進口，目前部分國內企業利用自身對研發、創新的不斷投入，已經掌握了超純氨的生產、提純工藝和技術。隨著更多制造技術的成熟和發展，更多的氣體產品將逐步走向市場。氣體的產品種類豐富，而多數客戶在其生

24、產過程中對氣體產品亦存在多樣化需求?？蛻粼诳紤]成本、倉儲管理、供應穩定等方面的同時，也 提出更多的定制化的需求，這對氣體供應商的技術、工藝水平和產品種類都提出了更高、更全面 的要求。為了保持氣體供應的穩定，雙方會建立長久的合作關系。此外，由于氣體產品的特殊性，其使用過程中的包裝物、管道以及供氣系統的處理均會對最終使用的產品性能產生影響，因此客戶更希望供應商能夠提供氣體包裝物的處理、檢測、維修，供氣系統、潔凈管道的建設、維 護等全面的專業性增值服務。隨著國內半導體制造的崛起，也加速推動了半導體材料的國產化進程，國產化半導體的產能也會大幅增加，從而導致本土材料的需求量也會增加。全球范圍內，集成電路

25、領域技術快速更迭，晶圓尺寸從 6 寸、8 寸發展 到 12 寸，制程技術從 28nm、14nm、7nm 到 5nm。而國內同樣在產業政策推動、國家集成電路產業投資基金（大基金）扶持等多重因素的促進下，集成電路產業技術在面向世界前沿水平加速追趕。作為集成電路行業的關鍵性材料，伴隨著下游產業技術的快速迭代，特種氣體的精細化程度持續提高，對特種氣體生產企業在氣體純度、混配精度等方面的技術要求都將持續提高。集成電路領域技術快速更迭，特種氣體產品技術要求持續提高氣體企業對新產品研發日益重視，特種氣體品種不斷豐富行業競爭將逐步趨向于綜合服務能力的競爭特種氣體國產化趨勢明顯行業典型企業介紹p 廣東華特氣體股

26、份有限公司p 蘇州金宏氣體股份有限公司p 江蘇南大光電材料股份有限公司6.577.878.188.4410.000.380.490.680.731.0702468101220162017201820192020營業收入（億元）凈利潤（億元）行業典型企業廣東華特氣體股份有限公司華特氣體位于珠三角腹地佛山市南海區，創建于1999年，公司以廣東佛山為產品研發基地，分別在廣東、江西、浙江、陜西、湖北、湖南、香港等地設立了十余家全資子公司?，F已成為國內最大的民營特種氣體及相關設備供應商之一，同時產品出口到50余個國家和地區。企業介紹 研發優勢：公司掌握了特種氣體從生產制備、存儲、檢測到應用服務全流程涉及

27、到的關鍵性技術，包括氣體合成純化、混配（如混合氣）、氣瓶處理、分析檢測以及供氣系統的設計、安裝。 高端應用領域的先發優勢：在集成電路領域，對 8 寸芯片廠商的覆蓋率處于行業領先地位。 豐富的產品種類及“一站式”的綜合服務能力優勢：公司已在特種氣體領域生產出高純四氟化碳、高純六氟乙烷、高純二氧化碳、高純一氧化氮、高純八氟環丁烷、高純三氟甲烷、稀混光刻氣等 20 多個產品并實現了國內同類產品的進口替代。此外公司可實現產品200 公里內均可一日送達。 營銷網絡優勢：公司立足佛山，輻射華東、華中乃至全國，營銷網絡建設日趨完善，市場滲透率、客戶服務質量不斷增強。企業優勢2016-2020年華特氣體財務狀

28、況數據來源:公司公告，億渡數據整理2020 年度，公共衛生事件的發生，全球經濟迎來挑戰，華特氣體董事會和管理層積極應對形勢，及時調整業務拓展布局，并實現營業收入10.00億元，同比增長 18.44%；歸屬于上市公司股東的凈利潤為 1.07億元，同比增長 46.67%。經營狀況蘇州金宏氣體股份有限公司行業典型企業金宏氣體成立于1999年，總部位于蘇州市相城區黃埭鎮潘陽工業園，專業從事氣體的研發、生產、銷售和服務一體化解決方案的環保集約型氣體綜合供應商，主要為客戶提供各種大宗氣體、特種氣體和天然氣的一站式供氣解決方案。企業介紹2020 年，金宏氣體實現營業收入12.43億元，較上年同期增長了 7.

29、13%；歸屬于上市公司股東的凈利潤1.97 億元，較上年同期增長了 11.43%。截至 2020 年 12 月 31 日，公司總資產為 34.55億元，歸屬于上市公司股東的凈資產達到27.71 億元。經營狀況 技術與研發優勢：在研發平臺方面，公司擁有國家企業技術中心、CNAS 認證實驗室、博士后科研工作站、江蘇省特種氣體及吸附劑制備工程技術研究中心、江蘇省重點研發機構等。在產品技術方面，公司擁有 200 項專利，主導或參與制定多項國家標準。 產品品種與服務優勢：，公司生產經營的氣體涵蓋特種氣體、大宗氣體和天然氣三大品類，具體品種達 100 種以上。 客戶資源優勢：下游客戶數量眾多，結構層次穩定

30、。 區位發展優勢：深耕于長三角地區，在長三角地區擁有大量優質戰略新興產業企業客戶。 品牌聲譽優勢：享有較高的品牌知名度和良好的品牌聲譽。企業優勢2016-2020年金宏氣體財務狀況數據來源:公司公告，億渡數據整理6.558.9410.7011.6112.430.120.791.391.771.970246810121420162017201820192020營業收入（億元）凈利潤（億元）江蘇南大光電材料股份有限公司行業典型企業公司是主要從事先進前驅體材料、電子特氣、光刻膠及配套材料三類半導體材料產品生產、研發和銷售的高新技術企業。憑借領先的生產技術、強大的研發創新實力及扎實的產業化能力，公司已

31、經從多個層面打破了所在行業內的國外長期壟斷。前驅體、電子特氣、光刻膠三大關鍵半導體材料的布局基本形成，關鍵技術研發取得突破，產業化及客戶拓展快速推進。企業介紹企業優勢 技術優勢：公司憑借多年的自主研發和實踐積累，掌握了MO源、高純ALD/CVD前驅體、氫類電子特氣、含氟電子特氣、ArF光刻膠等關鍵電子材料的核心技術，先后承擔了國家863計劃MO源全系列產品產業化項目及多項國家“02專項”項目，攻克了多個困擾我國數十年的技術難題，填補了多項國內空白。 創新優勢：始終堅持瞄準國際前沿技術，面向全球產業需求，突破國際技術壟斷，填補國內技術空白。 人才優勢：擁有多名“國家級重大人才引進工程”、江蘇省“

32、雙創”、安徽省“百 人計劃”等海內外高端人才。 客戶服務優勢：在LED、IC、LCD領域擁有多家知名企業的高粘性客戶群，并建立了長期、穩定的合作關系。經營狀況1.011.772.283.215.950.080.340.510.550.870123456720162017201820192020營業收入（億元）凈利潤（億元）數據來源:公司公告，億渡數據整理2020年，南大光電業務結構不斷優化，市場拓展持續進步，管理機制進一步完善，主營業務收入和利潤持續增長。全年實現營業收入5.95億元，同比增長85.13%；主營利潤2.33億元，同比增加73.60%；歸屬于上市公司股東的凈利潤0.87億元，同比增長58.18%。2016-2020年南大光電財務狀況