資本開支不斷壯大，產能擴充刻不容緩。中芯招股說明書顯示，公司 2020年初始募集資本總額約 200億元，其中 40%用于建設 1 條月產能 3.5 萬片的 12 英寸生產線項目，生產技術水平為14nm 及以下，達產后會貢獻額外先進制程收入。此外，本次募資超募資金達 256.63 億元，主要用于 12 英寸芯片 SN1 項目、成熟工藝生產線建設項目、先進及成熟工藝研發項目儲備資金以及補充流動資金。產能的擴張不是一蹴而就的，2022 年 11 月中芯國際表示，中芯深圳、中芯京城、中芯東方、中芯西青將在未來 5-7 年間投入總共約 34萬片 12英寸的新產線建設項目，并根據客戶需求進行多元化平臺開發、產能組合和擴充。上述生產建設的持續擴大顯著拉動了公司資本開支的增長，開支規模從 2021 年的 280.9億元快速攀升至 2023 年的 528.4 億元。