2020年全球薄膜沉積設備市場規模達172億美元,預計到2025年市場規模將達340億美元
,復合年增長率近19%。高效能DRAM、AMOLED應用以及光伏等新興應用需求增加是半導體薄膜沉積設備市場增長的核心驅動力。按鍍膜原理不同,薄膜沉積設備可分為物理氣相沉積(PVD)、化學氣相沉積(CVD)、和原子層沉積(ALD)等;其中,CVD設備市場占比近57%,超半壁江山;PVD、ALD占約25%,ALD及其他鍍膜設備占18%。

數據來源《北方華創-公司深度報告:晶圓廠擴張“賣水人”平臺化布局“刻蝕+沉積+清洗+熱處理”-20211113(105頁)》