2022年中國電子濕化學品市場需求及國產替代空間分析報告（32頁）.pdf

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1、2022 年深度行業分析研究報告 2 目錄目錄 公司是國內領先的電子化學材料生產商公司是國內領先的電子化學材料生產商.5 公司主要從事電子濕化學品、電子特氣和前驅體材料的研發、生產和銷售.5 公司產品主要應用于集成電路、顯示面板及光伏等下游領域.7 巨化股份和產業投資基金為公司并列第一大股東.8 公司業績表現：營業收入快速增長，預計未來盈利水平向好.9 電子濕化學品市場空間廣闊，國產化替代需求增長電子濕化學品市場空間廣闊，國產化替代需求增長.15 電子濕化學品種類豐富.15 電子濕化學品下游需求旺盛，市場規模持續擴大.16 我國電子濕化學品高端產品不足，國產化替代空間大.18 公司電子濕化學品

2、業務已成規模，市占率不斷提升.21 公司研發實力雄厚，產品品質處于行業領先水平.22 公司電子濕化學品下游客戶認證順利，榮獲多個獎項.24 公司電子特氣及前驅體業務技術領先公司電子特氣及前驅體業務技術領先.26 公司電子特氣驗證順利，營收增速明顯.26 公司前驅體材料產品成功進入客戶認證階段.30 募投項目：擬募集募投項目：擬募集 15億元，主要用于潛江年產億元，主要用于潛江年產 19.6萬噸超純電子化學品萬噸超純電子化學品項目項目.32 AVjWhZgYwVlViXuZhUnVbW8ObP7NpNrRpNmOeRoPnNfQoMmQ7NoPrQvPoNsOxNtQoQ 3 圖表圖表目錄目錄

3、圖表圖表 1.中巨芯業務發展歷程中巨芯業務發展歷程.5 圖表圖表 2.公司產品主要公司產品主要領域領域及所處階段及所處階段.6 圖表圖表 3.中巨芯電子化學材料產品演變中巨芯電子化學材料產品演變.7 圖表圖表 4.中巨芯產品中巨芯產品主要應用于集成電路、顯示面板及光伏等主要應用于集成電路、顯示面板及光伏等下游領域下游領域.8 圖表圖表 5.電子濕化學品和電子特氣參與電子濕化學品和電子特氣參與集成電路的整個制作過程集成電路的整個制作過程.8 圖表圖表 6.中巨芯股權結構中巨芯股權結構.9 圖表圖表 7.公司營業收入持續增長公司營業收入持續增長.10 圖表圖表 8.公司尚未實現盈利公司尚未實現盈利

4、.10 圖表圖表 9.公司營業收入以電子濕化學品為主公司營業收入以電子濕化學品為主.10 圖表圖表 10.公司公司分布于集成電路的營收占比逐年提升分布于集成電路的營收占比逐年提升.10 圖表圖表 11.2019-2021年年公司電子濕化學品各細分產品產能利用率提升，產銷率水平較公司電子濕化學品各細分產品產能利用率提升，產銷率水平較高高.11 圖表圖表 12.2019-2021年公司電子濕化學品各產品均價年公司電子濕化學品各產品均價.11 圖表圖表 13.2019-2021年年公司電子濕化學品各產品收入結構公司電子濕化學品各產品收入結構.11 圖表圖表 14.2019-2021年年公司電子公司電

5、子特氣特氣各細分產品產能利用率各細分產品產能利用率逐漸逐漸提升提升.12 圖表圖表 15.2019-2021年公司電子特氣各產品均價年公司電子特氣各產品均價.12 圖表圖表 16.2019-2021年年公司電子特氣各產品收入結構公司電子特氣各產品收入結構.12 圖表圖表 17.公司主營業務毛利率呈上升趨勢公司主營業務毛利率呈上升趨勢.13 圖表圖表 18.公司電子濕化學品業務毛利率與同行業上市公司對比公司電子濕化學品業務毛利率與同行業上市公司對比.13 圖表圖表 19.公司電子特氣業務毛利率與同行業上市公司對比公司電子特氣業務毛利率與同行業上市公司對比.14 圖表圖表 20.公司期間費用率保持

6、穩定公司期間費用率保持穩定.14 圖表圖表 21.電子濕化學品具體分類電子濕化學品具體分類.15 圖表圖表 22.2019年通用電子濕化學品需求占總電子濕化學品需求的年通用電子濕化學品需求占總電子濕化學品需求的 88.2%.15 圖表圖表 23.電子濕化學品技術標準電子濕化學品技術標準.16 圖表圖表 24.2020年全球電子濕化學品市場規模為年全球電子濕化學品市場規模為 50.84億美元億美元.16 圖表圖表 25.全球電子濕化學品三大應用市場需求不斷增加（單位：萬噸）全球電子濕化學品三大應用市場需求不斷增加（單位：萬噸）.16 圖表圖表 26.2020年我國電子濕化學品市場規模為年我國電子

7、濕化學品市場規模為 100.62億元億元.17 圖表圖表 27.預計預計 2027年我國電子濕化學品市場規模達年我國電子濕化學品市場規模達 210.38億元億元.17 圖表圖表 28.2020-2025年年我國三大應用市場電子濕化學品需求量我國三大應用市場電子濕化學品需求量不斷增加（單位：萬噸）不斷增加（單位：萬噸）.17 圖表圖表 29.2020年全球電子濕化學品市場份額，歐美與日本企業占主導地位年全球電子濕化學品市場份額，歐美與日本企業占主導地位.18 圖表圖表 30.全球主要電子濕化學品企業（除中國大陸）全球主要電子濕化學品企業（除中國大陸）.19 圖表圖表 31.國內電子濕化學品高端產

8、品仍存在不足，國產化率低國內電子濕化學品高端產品仍存在不足，國產化率低（2020年數據）年數據）.20 4 圖表圖表 32.2015-2021年年我國電子濕化學品產量持續擴大我國電子濕化學品產量持續擴大，復合增長率達，復合增長率達 22.55%.20 圖表圖表 33.我國主要電子濕化學品生產企業我國主要電子濕化學品生產企業.21 圖表圖表 34.2019-2021年年中巨芯中巨芯電子濕化學品業務與可比公司營收及復合增速電子濕化學品業務與可比公司營收及復合增速.21 圖表圖表 35.2019-2021年年公司公司電子濕化學品業務市占率逐年提升電子濕化學品業務市占率逐年提升.22 圖表圖表 36.

9、2019-2021年年公司公司研發費用逐年提升研發費用逐年提升，研發費用率高于研發費用率高于同行業同行業可比公司平均可比公司平均水平水平.22 圖表圖表 37.公司公司電子濕化學品產品等級處于行業領先水平電子濕化學品產品等級處于行業領先水平.23 圖表圖表 38.公司公司開展多個電子濕化學品在研項目開展多個電子濕化學品在研項目.24 圖表圖表 39.2021年公司年公司電子濕化學品前四電子濕化學品前四大大客戶情況客戶情況.25 圖表圖表 40.公司公司電子濕化學品獲下游客戶頒發多項榮譽電子濕化學品獲下游客戶頒發多項榮譽.25 圖表圖表 41.晶圓制造領域使用的特種氣體晶圓制造領域使用的特種氣體

10、.26 圖表圖表 42.預計預計 2022年全球電子特氣市場規模將達到年全球電子特氣市場規模將達到 50.01億美元億美元.26 圖表圖表 43.2017-2021年中國電子特氣市場規模復合增速高于全球平均增速年中國電子特氣市場規模復合增速高于全球平均增速.26 圖表圖表 44.我國集成電路市場規模增長迅速我國集成電路市場規模增長迅速.27 圖表圖表 45.2020年年半導體材料需求半導體材料需求比例，電子氣體占比比例，電子氣體占比 14%.27 圖表圖表 46.2018年年全球電子特氣市場全球電子特氣市場格局格局.27 圖表圖表 47.2020年我國年我國電子特氣市場格局電子特氣市場格局.2

11、7 圖表圖表 48.2019-2021年公司年公司電子特氣業務營業收入電子特氣業務營業收入顯著顯著增長增長.28 圖表圖表 49.公司公司電子特氣業務毛利率電子特氣業務毛利率大幅提升，大幅提升，于于 2021年年實現正值實現正值(%).28 圖表圖表 50.公司電子特氣產品技術公司電子特氣產品技術處于處于行業行業領先水平領先水平.29 圖表圖表 51.公司公司電子特氣在研項目電子特氣在研項目.29 圖表圖表 52.全球前驅體市場規?？焖僭鲩L，預計全球前驅體市場規?？焖僭鲩L，預計 2024年將達到年將達到 20.21億美元億美元.30 圖表圖表 53.CVD工藝簡工藝簡圖及前驅體應用圖及前驅體應

12、用.31 圖表圖表 54.ALD工藝簡圖及前驅體應用工藝簡圖及前驅體應用.31 圖表圖表 55.公司公司募投項目資金用途（萬元）募投項目資金用途（萬元）.32 圖表圖表 56.公司公司募集資金投資募集資金投資項目產品方案項目產品方案.32 5 公司是國內領先的電子化學材料生產商公司是國內領先的電子化學材料生產商 公司公司主要從事電子濕化學品主要從事電子濕化學品、電子特氣和前驅體材料的研發、生產和銷售電子特氣和前驅體材料的研發、生產和銷售 中巨芯科技股份有限公司成立中巨芯科技股份有限公司成立于于 2017年，年，專注電子化學材料領域，主要從事電子濕化學品專注電子化學材料領域，主要從事電子濕化學品

13、、電子特電子特氣和前驅體材料的研發、生產和銷售。氣和前驅體材料的研發、生產和銷售。公司產品廣泛應用于集成電路、顯示面板以及光伏等領域的清洗、刻蝕、成膜等制造工藝環節，目前產品已批量供應國內集成電路及顯示面板的下游核心客戶，多項產品已被中芯國際、海力士等知名公司使用。圖表圖表 1.中巨芯業務發展歷程中巨芯業務發展歷程 資料來源：中巨芯招股說明書，中銀證券 公司前身公司前身浙江凱圣氟化學有限公司浙江凱圣氟化學有限公司成立成立于于 2003年，于年，于 2013年開始銷售電子濕化學品，具備多年研發、年開始銷售電子濕化學品，具備多年研發、量產電子量產電子濕濕化學品的經驗?；瘜W品的經驗。電子濕化學品的工

14、藝水平和產品質量對集成電路制造的成品率、電性能及可靠性有重要影響，進而影響終端產品的性能。在集成電路領域，晶圓尺寸越大，單位體積晶圓可生產的芯片越多，生產效率更高，因此大尺寸化是國際主流趨勢。大尺寸晶圓的生產對電子濕化學品的純度有更高要求，集成電路用電子濕化學品純度要求為 G3及以上水平，12英寸晶圓制造一般要求 G4水平。目前國內只有少數幾家企業的產品能夠達到 G4水平，而公司主要產品電子級氫氟酸、電子級硝酸、電子級硫酸均已達到更高的 G5水平，電子級鹽酸、電子級氟化銨、電子級氨水等產品也達到 G4水平。浙江浙江博瑞電子科技有限公司成立于博瑞電子科技有限公司成立于 2014年，于年，于 20

15、16年開始進行電子特氣生產，年開始進行電子特氣生產，2017年并入中巨芯年并入中巨芯，獲國家科技部重點研發專項課題，研發實力雄厚。獲國家科技部重點研發專項課題，研發實力雄厚。電子特氣是集成電路、顯示面板等電子工業生產不可或缺的原材料，廣泛應用于刻蝕、清洗、摻雜、氣相沉積等工藝環節，決定了器件的最終良率和可靠性，具有較高的產品附加值。純度是電子特氣核心指標，集成電路制造對不同氣體的純度要求不一，通常需要純度 5N 及以上的電子特氣。公司主要產品高純氯氣、高純氯化氫純度均達到 6N水平，可應用于 28 nm 以下先進制程的集成電路制造。高純六氟化鎢及高純氟碳類氣體部分產品也達到 5N水平。6 公司

16、于公司于 2018 年開始前驅體材料的研發工作，目前已掌握年開始前驅體材料的研發工作，目前已掌握 HCDS、BDEAS、TDMAT 等前驅體材料的生等前驅體材料的生產制備技術產制備技術。前驅體材料是薄膜沉積工藝的核心制造材料，應用于半導體生產制造工藝，產品主要用于沉積半導體導線間的介電層，以及在半導體柵極中復合金屬材料。集成電路制造中先進制程（28 nm及以下）一般需要前驅體材料純度達到 6N以上。目前公司已實現純度為 6-7N的 HCDS、BDEAS、TDMAT生產，產品已進入客戶端認證環節。圖表圖表 2.公司公司產品主要產品主要領域領域及所處階段及所處階段 12英寸8英寸6英寸電子級氫氟酸

17、刻蝕、清洗、玻璃減薄*量產電子級硫酸酸性清洗、刻蝕*量產電子級硝酸酸性清洗、刻蝕*量產電子級鹽酸酸性清洗、刻蝕*量產電子級氟化銨緩沖氧化物刻蝕液原料*量產電子級氨水堿性清洗、氟化銨原料*量產緩沖氧化物刻蝕液緩釋刻蝕*量產硅刻蝕液硅刻蝕*量產高純氯氣金屬鋁刻蝕、多晶硅刻蝕、光纖脫水*量產高純氯化氫清洗、刻蝕*量產高純氟化氫二氧化硅刻蝕、爐管清洗*量產高純氟碳類氣體刻蝕、清洗*認證高純六氟化鎢沉積集成電路內鎢導電層*認證HCDS*認證BDEAS*認證TDMAT*認證類別產品名稱產品主要用途應用領域所處階段集成電路顯示面板光伏光纖前驅體材料薄膜沉積電子濕化學品1、通用電子化學品2、功能性濕化學品電子

18、特種氣體1、刻蝕、清洗氣體2、成膜氣體 注：*代表產品應用領域 資料來源：中巨芯招股說明書，中銀證券 7 圖表圖表 3.中巨芯電子化學材料產品演變中巨芯電子化學材料產品演變 序號序號 產品產品 等級等級 產品銷售或送樣時間產品銷售或送樣時間 1 電子級氫氟酸 G4 2013年（銷售）G5 2019年（銷售）2 電子級硫酸 G4 2017年（銷售）G5 2021年（銷售）3 電子級硝酸 G4 2015年（銷售）G5 2019年（銷售）4 電子級鹽酸 G4 2017年（銷售）5 電子級氟化銨 G3 2016年（銷售）G4 2021年（銷售）6 電子級氨水 G4 2016年（銷售）7 緩沖氧化物刻蝕

19、液 G4 2018年（銷售）8 硅刻蝕液 G3 2020年（銷售）9 高純氯氣 5N 2018年（銷售）5N5 2020年（銷售）6N 2021年（銷售）10 高純氯化氫 5N 2019年（銷售）5N5 2020年（銷售）6N 2021年（銷售）11 高純氟化氫 5N 2020年（銷售）12 高純六氟化鎢 5N5 2021年（送樣）13 高純三氟甲烷 5N 2021年（送樣）14 高純八氟環丁烷 5N 2021年（送樣）15 高純六氟丁二烯 4N5 2021年（送樣）16 高純八氟環戊烯 4N 2021年（送樣）17 HCDS 7N 2021年（送樣）18 BDEAS 6N 2021年（送樣）

20、19 TDMAT 6N 2021年（送樣）資料來源：中巨芯招股說明書，中銀證券 公司產品公司產品主要應用于集成電路、顯示面板及光伏等主要應用于集成電路、顯示面板及光伏等下游領域下游領域 公司產品位于電子信息產業偏中上游的材料領域公司產品位于電子信息產業偏中上游的材料領域，下游應用領域包括集成電路、顯示面板及光伏等，下游應用領域包括集成電路、顯示面板及光伏等，終端應用場景主要是電子信息產業。終端應用場景主要是電子信息產業。電子化學材料行業是精細化工和電子信息行業交叉的領域，具有品種多、質量要求高、對環境潔凈度要求苛刻、產品更新換代快、產品附加值高、資金投入量大等特點。電子濕化學品和電子特氣伴隨集

21、成電路的整個制作過程，涉及多個制造工藝環節，包括硅片、晶圓制造過程的刻蝕、清洗，以及外延、高溫擴散等。集成電路制程對電子濕化學品和電子特氣的純度、金屬雜質含量、顆粒數量和粒徑、品質一致性要求嚴苛。例如，電子濕化學品金屬雜質含量千億分之一（10-11）級、電子特氣金屬雜質含量百億分之一（10-10）級的波動會對整條集成電路生產線的產品良率造成影響，進而影響終端產品的性能。8 圖表圖表 4.中巨芯產品中巨芯產品主要應用于集成電路、顯示面板及光伏等主要應用于集成電路、顯示面板及光伏等下游領域下游領域 資料來源：中巨芯招股說明書，中銀證券 圖表圖表 5.電子濕化學品和電子特氣參與集成電路的整個制作過程

22、電子濕化學品和電子特氣參與集成電路的整個制作過程 資料來源：中巨芯招股說明書，中銀證券 巨化股份和產業投資基金為公司并列第一大股東巨化股份和產業投資基金為公司并列第一大股東 公司成立于公司成立于 2017年年 12月，由巨化股份、產業投資月，由巨化股份、產業投資基金、遠致富海、盈川基金、盛芯基金、聚源聚芯基金、遠致富海、盈川基金、盛芯基金、聚源聚芯共同出資設立。共同出資設立。公司下設 3 家全資子公司，分別是凱圣氟化學、博瑞電子與中巨芯湖北。招股書顯示，中巨芯無控股股東和實際控制人。截至 2022年 7月 11日，巨化股份和產業投資基金為公司并列第一大股東，持股比例均為 35.1999%。9

23、圖表圖表 6.中巨芯股權結構中巨芯股權結構 資料來源：中巨芯招股說明書，中銀證券 公司業績表現：公司業績表現：營業收入營業收入快速快速增長增長，預計未來盈利水平向好預計未來盈利水平向好 公司公司 2021 年年營業收入營業收入為為 5.66 億元，同比增長億元，同比增長 41.38%。公司 2018年營收為 1.56億元，2021年營收為5.66 億元，2018-2021 年復合增速達 53.61%。2022 年一季度公司營收為 1.72 億元，較上年同期增長44.57%，高于 2018年全年營收。公司營收公司營收逐年遞增、逐年遞增、增速迅猛增速迅猛，原因在于原因在于：1）公司公司子公司凱圣氟

24、化子公司凱圣氟化學電子濕化學品銷售收入逐年上升學電子濕化學品銷售收入逐年上升。由于凱圣氟化學投產較早，2011至 2015年已先后建成電子濕化學品各系列產品的生產裝臵并進入試生產階段，具有良好的客戶基礎，且凱圣氟化學持續投入研發活動、改善產品生產工藝、提升產品品質，使得其產品在市場中具備更高競爭力，可用于更高端的集成電路領域。2）公司子公司博瑞電子的電子特氣公司子公司博瑞電子的電子特氣一期高純氯氣和高純氯化氫建設項目于一期高純氯氣和高純氯化氫建設項目于 2018 年年建成并投產建成并投產。該項目投產時間相對較晚，報告期內公司產品品質不斷提升，在產品逐漸得到市場驗證和認可后，收入規模也同步上升。

25、3）半導體半導體材料材料國產化進程加速國產化進程加速，顯示面板產能向大陸地區轉移顯示面板產能向大陸地區轉移，中國集成電路、顯示面板行業高速發展中國集成電路、顯示面板行業高速發展。隨著近年來集成電路、顯示面板上游電子化學材料國產替代的推動，市場對國產電子濕化學品和電子特氣的需求得到了較大提升，市場規?？焖僭鲩L。公司公司尚未實現盈利尚未實現盈利。2019年至 2021年，公司分別實現歸母凈利潤-620.6萬元、2,467.16萬元、3,332.03萬元，實現扣非歸母凈利潤-2,133.32萬元、7.83萬元、-682.16萬元。公司部分產品尚處于客戶認證階段，新產線投產尚未實現規模效應，折舊壓力較

26、高。且公司研發投入不斷增大，并疊加 2021年確認了 1,362.37 萬元股份支付費用的影響，使得公司 2021 年扣非歸母凈利潤為負，處于尚未盈利狀態。2022年一季度公司實現歸母凈利潤-89.38萬元，同比下降 116.31%，實現扣非歸母凈利潤-224.66萬元，同比下降 151.22%，主要原因系博瑞電子和博瑞中硝部分電子特氣、前驅體材料的產品尚處于客戶認證階段，以及疫情對公司主要生產經營地衢州市 2022年一季度的生產經營和市場開拓活動造成了嚴重影響，公司按存貨成本高于其可變現凈值的差額計提了存貨跌價準備，產生 1,486.02萬元資產減值損失。預計未來公司盈利水平向好。預計未來公

27、司盈利水平向好。隨著博瑞電子已量產產品產能利用率的進一步提升，以及尚處于客戶認證階段的產品認證進程達到預期，預計未來銷售收入呈增長趨勢，虧損也將收窄，直至實現盈利。未來隨著凱圣氟化學生產線的升級、改造和擴產，相關應用領域下游需求穩定、產品銷量持續提升，盈利規模有望繼續增長。綜上，預計公司整體規模將持續擴張，未來公司盈利水平保持向好趨勢。10 圖表圖表 7.公司營業收入公司營業收入持續持續增長增長 圖表圖表 8.公司尚未實現盈利公司尚未實現盈利 資料來源：中巨芯招股說明書，中銀證券 資料來源：中巨芯招股說明書，中銀證券 公司公司營業營業收入收入以以電子濕化學品為主電子濕化學品為主，電子特氣電子特

28、氣收入收入逐年上升。逐年上升。公司目前主營業務為電子濕化學品和電子特氣，其中電子濕化學品對收入貢獻最大。2019年至 2021年，公司電子濕化學品板塊分別實現營業收入 2.98億元、3.37億元、4.47億元，占各期主營業務收入的比例分別為 97.51%、91.98%、83.18%。報告期內公司電子特氣業務收入分別為 0.07億元、0.29億元、0.90億元，占各期主營業務收入的比例分別為 2.43%、8.02%、16.82%。受到各產品線投入和建設時間不同的影響，公司收入呈現以電子濕化學品為主、電子特氣收入逐年上升的趨勢。公司公司產品產品收入主要分布于收入主要分布于集成電路、顯示面板以及光伏

29、等集成電路、顯示面板以及光伏等下游下游應用領域應用領域。由于集成電路工藝用的電子濕化學品和電子特氣主要產品量產或投產時間較晚，部分產品仍處于客戶認證階段，2019-2021 年公司應用于集成電路領域產品的銷售收入占比分別為 43.18%、58.27%、68.48%。圖表圖表 9.公司營業收入以電子濕化學品為主公司營業收入以電子濕化學品為主 圖表圖表 10.公司公司分布于集成電路的分布于集成電路的營收營收占比逐年提升占比逐年提升 資料來源：中巨芯招股說明書，中銀證券 資料來源：中巨芯招股說明書，中銀證券 公司電子濕化學品各產品產能利用率公司電子濕化學品各產品產能利用率提升，提升，產銷率產銷率較高

30、較高。2011-2015 年，公司子公司凱圣氟化學主要產品電子級氫氟酸、硝酸、硫酸的產線先后建成生產裝臵并進入試生產階段，公司先后對電子濕化學品的產線進行技改或擴建，以適應產能利用率的提升。凱圣氟化學電子級氫氟酸 2020年實施技改，產能新增 6,000噸，2021年根據下游市場變化調減 2,500噸/年 40%濃度電子級氫氟酸的產能；電子級硝酸 2021年實施技改，產能新增 9,000噸；電子級硫酸 2021年實施技改和擴建，產能新增 20,000噸。此外公司持續投入研發活動，使產品在市場中具有更高的競爭力，產銷率維持較高水平。11 圖表圖表 11.2019-2021年年公司電子濕化學品各細

31、分產品產能利用率提升公司電子濕化學品各細分產品產能利用率提升，產銷率水平較高，產銷率水平較高 年份年份 產品產品 產能（萬噸）產能（萬噸）產量（萬噸）產量（萬噸）銷量（萬噸）銷量（萬噸）產能利用率產能利用率（%）產銷率產銷率（%）2019 電子級氫氟酸 3.30 2.97 2.86 90.15 96.00 電子級硝酸 0.60 0.38 0.36 64.24 94.80 電子級硫酸 1.00 0.54 0.52 53.88 96.89 2020 電子級氫氟酸 3.90 2.89 2.78 74.14 96.00 電子級硝酸 0.60 0.58 0.59 97.54 100.72 電子級硫酸 1

32、.00 0.67 0.69 67.01 102.54 2021 電子級氫氟酸 3.65 3.15 3.04 86.40 96.51 電子級硝酸 1.50 1.11 1.05 73.99 94.33 電子級硫酸 3.00 1.31 1.30 43.68 98.83 資料來源：中巨芯招股說明書，中銀證券 2019-2021 年年公司電子級氫氟酸、電子級硫酸均價提升，公司電子級氫氟酸、電子級硫酸均價提升，電子級硝酸均價下電子級硝酸均價下行行，各產品收入呈上升趨各產品收入呈上升趨勢。勢。公司電子級氫氟酸均價逐年上升，與產品規格提升、可應用于更高端的下游市場有關。受下游集成電路客戶降本增效影響，公司主動

33、調整電子級硝酸產品價格，2020 年、2021 年均價分別下降3.62%、4.38%。由于集成電路用電子級硫酸規格高且銷售單價較高，隨著其收入占比提升，產品均價上升。2019 年至 2021 年公司電子級氫氟酸、電子級硝酸、電子級硫酸合計收入分別占總營收的89.40%、85.79%、87.04%。公司其他產品包括緩沖氧化物刻蝕液、電子級氨水、硅刻蝕液、電子級氟化銨、電子級鹽酸等，2019 年至 2021 年合計收入占比為 10.60%、14.21%、12.96%。2019-2021 年公司電子濕化學品各產品收入均呈現上升趨勢，主要原因為公司產品技術等級提升以及下游市場開拓。圖表圖表 12.20

34、19-2021年年公司電子濕化學品公司電子濕化學品各產品均價各產品均價 圖表圖表 13.2019-2021年年公司公司電子濕化學品各產品收入電子濕化學品各產品收入結構結構 資料來源：中巨芯招股說明書，中銀證券 注：圖中數據標簽為2019-2021年公司電子濕化學品各產品收入，單位為億元。坐標縱軸代表公司電子濕化學品各產品收入占總營收的比例。資料來源：中巨芯招股說明書，中銀證券 公司電子特氣公司電子特氣產品逐漸通過客戶認證，產能產品逐漸通過客戶認證，產能利用率及利用率及銷售收入提升銷售收入提升。公司生產的電子特氣主要為高純氯化氫、高純氯氣等產品。博瑞電子高純氯化氫、高純氯氣產能利用率較低，主要原

35、因為 2016年底博瑞電子一期電子氣體項目裝臵建成并進行試生產，高純氯氣、高純氯化氫分別于 2018 年、2019年形成銷售，導致報告期內產能利用率較低。2019-2021 年受到集成電路客戶降本增效等影響，公司高純氯化氫均價有所下降；因客戶采購量增加，單位產品的包裝及運輸成本下降，高純氯氣銷售單價下降。隨著公司加強市場開拓力度、產品論證深入，公司高純氯化氫、高純氯氣銷售規模不斷擴大，2021 年分別實現銷售收入 6,023.76 萬元、2,966.74 萬元，2019-2021 年收入復合增長率分別為1,579.71%、146.48%。12 圖表圖表 14.2019-2021年年公司電子公司

36、電子特氣特氣各細分產品產能利用率各細分產品產能利用率逐漸逐漸提升提升 年份年份 產品產品 產能（噸）產能（噸）產量（噸）產量（噸）銷量（噸）銷量（噸）產能利用率產能利用率（%）產銷率產銷率（%）2019 高純氯化氫 1,500.00 7.72 2.47 0.51 31.98 高純氯氣 1,000.00 60.08 49.10 6.01 81.73 2020 高純氯化氫 1,500.00 120.17 124.98 8.01 104.01 高純氯氣 1,000.00 194.96 207.20 19.50 106.28 2021 高純氯化氫 1,500.00 698.12 694.86 46.5

37、4 99.53 高純氯氣 1,000.00 396.18 367.40 39.62 92.74 資料來源：中巨芯招股說明書，中銀證券 圖表圖表 15.2019-2021年公司電子特氣各產品均價年公司電子特氣各產品均價 圖表圖表 16.2019-2021年公司年公司電子特氣各產品電子特氣各產品收入結構收入結構 資料來源：中巨芯招股說明書，中銀證券 注：圖中數據標簽為2019-2021年公司電子特氣各產品收入，單位為萬元。坐標縱軸代表公司電子濕化學品各產品收入占總營收的比例。資料來源：中巨芯招股說明書，中銀證券 公司主營業務毛利率公司主營業務毛利率總體總體呈上升趨勢呈上升趨勢。2019年至 202

38、1年公司主營業務毛利率分別為 20.74%、19.26%、22.69%，呈上升趨勢。電子濕化學品方面，公司不斷加大研發投入、改善生產工藝、提升產品規格，使其可用于更高端的集成電路。隨著客戶積累，銷量進一步提升，整體銷售單價因此上升。2021 年公司電子濕化學品業務毛利率為 20.10%，同比下降 3.35 pct，主要原因為 2021年度大宗商品價格上漲，導致上游原材料價格上漲，使電子濕化學品毛利率下滑。電子特氣方面，2019 年、2020 年公司電子特氣業務毛利率均為負，2021 年毛利率為 35.48%，主要原因為公司電子特氣項目投產較晚，初期處于市場開拓、客戶認證和工藝提升階段，固定資產

39、折舊費用、人工成本等金額較大，且由于產能利用率較低，單位產品材料用量大，導致毛利率為負。隨著公司電子特氣產品品質改善以及客戶數量的增加，產量和銷售收入規模逐漸擴大，毛利率逐年提高。13 圖表圖表 17.公司主營業務毛利率呈上升趨勢公司主營業務毛利率呈上升趨勢 資料來源：中巨芯招股說明書，中銀證券 公司電子濕化學品毛利率略低于公司電子濕化學品毛利率略低于同行業可比公司同行業可比公司，子公司凱圣氟化學毛利率與行業平均毛利率不存子公司凱圣氟化學毛利率與行業平均毛利率不存在明顯差異。在明顯差異。公司電子濕化學品業務主要由凱圣氟化學和凱恒電子開展，其中凱圣氟化學專注于集成電路用電子濕化學品系列產品，產品

40、規格高，是公司未來業務發展重點。凱恒電子從事光伏、顯示面板用電子級氫氟酸的生產和銷售，產品規格較低，主要應用在太陽能電池片清洗、顯示面板玻璃減薄等，其報告期內產生的收入占全部收入的比重逐年下降。若剔除凱恒電子毛利率影響因素，公司子公司凱圣氟化學毛利率與行業可比公司平均毛利率不存在明顯差異。圖表圖表 18.公司公司電子濕化學品業務毛利率與同行業上市公司對比電子濕化學品業務毛利率與同行業上市公司對比 注：江化微和晶瑞電材毛利率為超凈高純試劑；格林達的產品分為功能電子濕化學品和通用電子濕化學品，毛利率為其總毛利率；上海新陽毛利率為電子化學材料毛利率；飛凱材料2019年毛利率為電子化學材料毛利率，20

41、20和2021年毛利率為屏幕顯示材料和半導體材料合計毛利率。新宙邦毛利率為半導體化學品毛利率。資料來源：中巨芯招股說明書，中銀證券 14 公司公司電子特氣電子特氣毛利率與同行業可比公司有較大毛利率與同行業可比公司有較大差異。差異。公司電子特氣投產時間較晚，目前仍處于工藝提升以及市場拓展階段。隨著產能逐步釋放，公司電子特氣毛利率逐步提升，于 2021 年提升至35.48%。同行業公司進入市場較早，產品品種較多，故毛利率高于公司同類產品。圖表圖表 19.公司公司電子特氣電子特氣業務毛利率與同行業上市公司對業務毛利率與同行業上市公司對比比 注：華特氣體、金宏氣體、南大光電和雅克科技毛利率為特種氣體毛

42、利率。資料來源：中巨芯招股說明書，中銀證券 公司公司期間費用率保持穩定。期間費用率保持穩定。2019年至 2021年，公司期間費用總額分別為 6,919.78萬元、6,915.13萬元和 10,968.60萬元，占營業收入的比重分別為 20.89%、17.28%、19.39%。2020年和 2021年公司期間費用率降低，主要是因為公司采用新收入準則，將運輸費用調整至主營業務成本。隨著公司管理體系的日趨成熟、規模經濟和學習效應漸顯，公司期間費用率將逐漸下降。當未來毛利能夠覆蓋期間費用時，可實現扭虧為盈。公司測算扭虧為盈的時間節點約為 2023年。圖表圖表 20.公司期間費用率保持穩定公司期間費用

43、率保持穩定 資料來源：中巨芯招股說明書，中銀證券 15 電子濕化學品電子濕化學品市場空間廣闊，國產化替代需求增長市場空間廣闊，國產化替代需求增長 電子濕化學品種類豐富電子濕化學品種類豐富 電子濕化學品又稱超凈高純試劑或工藝化學品，主體成分純度大于電子濕化學品又稱超凈高純試劑或工藝化學品，主體成分純度大于 99.99%，一般要求控制雜質顆粒一般要求控制雜質顆粒粒徑低于粒徑低于 0.5 m，金屬雜質含量低于，金屬雜質含量低于 ppm 級（級（10-6為為 ppm，10-9為為 ppb，10-12為為 ppt），可分為通用可分為通用電子濕化學品和功能電子濕化學品電子濕化學品和功能電子濕化學品。通用電

44、子濕化學品一般為單組分、單功能、被大量使用的液體電子化學品，例如酸類、堿類、有機溶劑類等；功能電子濕化學品指通過復配手段達到特殊功能、滿足制造中特殊工藝需求的化學品，如剝離液、顯影液、刻蝕液、清洗液等。目前市場需求以通用電子濕化學品為主。中國電子材料行業協會數據顯示，2019 年通用電子濕化學品需求占總電子濕化學品需求的 88.2%。圖表圖表 21.電子濕化學品具體分類電子濕化學品具體分類 類別類別品名品名氫氟酸、硝酸、鹽酸、磷酸、硫酸、乙酸等氨水、氫氧化鈉、氫氧化鉀等醇類甲醇、乙醇、異丙醇等酮類丙酮、丁酮、甲基異丁基酮等酯類乙酸乙酯、乙酸丁酯、乙酸異戊酯等烴類甲苯、二甲苯、環己烷等鹵代烴類三

45、氯乙烯、三氯乙烷、氯甲烷、四氯化碳等雙氧水等金屬刻蝕液、緩沖氧化物刻蝕液、ITO刻蝕液、硅刻蝕液等鋼拋光后清洗液、鋁工藝刻蝕后清洗液、銅工藝刻蝕后清洗液、HKMG假柵去除后清洗液、去溢料清洗液稀釋液丙二醇甲醚醋酸酯、丙二醇甲醚、乳酸乙酯顯影液正膠顯影液、負膠顯影液等剝離液正膠剝離液、負膠剝離液、剝離清洗液、酸性剝離液等子類別子類別通用電子濕化學品酸類堿類有機溶劑類其他類刻蝕液功能電子濕化學品清洗液光刻膠配套試劑 資料來源：中國電子材料行業協會，中銀證券 圖表圖表 22.2019年通年通用電子濕化學品需求占總電子濕化學品需求的用電子濕化學品需求占總電子濕化學品需求的 88.2%類別類別濕化學品名

46、稱濕化學品名稱占總需求比例（）占總需求比例（）合計占比（）合計占比（）過氧化氫16.7%氫氟酸16.0%硫酸15.3%硝酸14.3%磷酸8.7%鹽酸4.8%氫氧化鉀3.8%氨水3.7%異丙酮2.8%醋酸1.9%MEA等極佳溶液3.2%顯影液（半導體用）2.7%蝕刻浪（半導體用）2.2%顯影液（液晶面板用）1.6%剝離液（半導體用）1.2%功能電子濕化學品11.8%通用電子濕化學品88.2%資料來源：中國電子材料行業協會，中銀證券 電子濕化學品具有嚴格的國際技術標準，各應用領域的產品標準不同。電子濕化學品具有嚴格的國際技術標準，各應用領域的產品標準不同。國際半導體設備與材料組織（SEMI）按金屬

47、雜質、控制粒徑、顆粒個數、適應 IC制程范圍等指標制定了國際統一技術標準。G1等級屬于低檔產品，G2等級屬于中低檔產品，G3等級屬于中高檔產品，G4和 G5等級則屬于高檔產品。光伏一般只需要 G1級水平；顯示面板和 LED對電子濕化學品的等級要求一般為 G2、G3水平；集成電路對電子濕化學品的純度要求較高，基本集中在 G3以上水平，晶圓尺寸越大對純度要求越高，12英寸晶圓制造一般要求 G4以上水平；分立器件對電子濕化學品純度的要求略低于集成電路，基本集中在 G2級水平。16 圖表圖表 23.電子濕化學品技術標準電子濕化學品技術標準 SEMI等級等級 G1 G2 G3 G4 G5 金屬雜質（g/

48、L）1000.00（1ppm）10.00（10ppb）1.00（1ppb）0.10（0.1ppb）0.01（10ppt）控制粒徑（m）1.00 0.50 0.50 0.20*顆粒個數（個/ML）25.00 25.00 5.00*適應IC制程范圍（m）1.20 0.80-1.20 0.20-0.60 0.09-0.20 0.09 主要下游應用 光伏 分立器件、顯示面板、LED 顯示面板、LED、集成電路 集成電路 集成電路 資料來源：SEMI，中銀證券 電子濕化學品電子濕化學品下游需求旺盛下游需求旺盛，市場，市場規模持續規模持續擴大擴大 2020年全球電子濕化學品市場規模約為年全球電子濕化學品市

49、場規模約為 50.84億美元，下游需求量不斷增長。億美元，下游需求量不斷增長。受益于半導體、顯示面板、光伏等下游行業的快速發展，全球電子濕化學品市場規模不斷增大。根據智研咨詢數據，全球電子濕化學品市場規模由 2011年的 25.31億美元發展到 2020年的 50.84億美元，復合增長率為 8.06%。2020年受新冠疫情影響，全球電子濕化學品市場規模較 2019年同比下降 4%。預計預計 2025年全球三大年全球三大應用應用領域電子濕化學品市場需求領域電子濕化學品市場需求將將達達 624萬噸。萬噸。集成電路、平板顯示和太陽能電池是電子濕化學品三大應用市場。根據中國電子材料行業協會，2020

50、年全球三大應用市場下游需求量合計 378.3萬噸，其中集成電路領域電子濕化學品需求量 172萬噸，平板顯示領域需求量 145萬噸，太陽能電池領域需求量 62萬噸。中國電子材料行業協會預計 2025年全球三大領域電子濕化學品市場需求合計將達 624萬噸。圖表圖表24.2020年年全球全球電子濕化學品市場規模電子濕化學品市場規模為為50.84億億美美元元 圖表圖表 25.全球電子濕化學品三大應用市場需求不斷增加全球電子濕化學品三大應用市場需求不斷增加（單單位：位：萬噸）萬噸）資料來源：智研咨詢，中銀證券 資料來源：中國電子材料行業協會，中銀證券 2020 年年我我國電子濕化學品國電子濕化學品行業市

51、場規模為行業市場規模為 100.62 億元，億元，復合復合增速高于全球水平增速高于全球水平。隨著半導體國產化進程加速，以及全球半導體和面板制造產業鏈遷移，我國電子濕化學品市場規?？焖僭鲩L，增速遠高于全球平均水平。根據智研咨詢數據，2020 年我國電子濕化學品行業市場規模為 100.62 億元，2011-2020年國內電子濕化學品行業市場規模年復合增長率為 15.31%，高于圖表 24所示全球 8.06%的復合增速。智研咨詢預計未來我國電子濕化學品市場規模將由 2021年的 117.46億元擴大至 2027年的210.38億元，復合增長率為 10.20%。17 圖表圖表 26.2020年我國電子

52、濕化學品市場規模為年我國電子濕化學品市場規模為 100.62億元億元 圖表圖表 27.預計預計 2027年年我國電子濕化學品市場規模我國電子濕化學品市場規模達達 210.38億元億元 資料來源：智研咨詢，中銀證券 資料來源：智研咨詢，中銀證券 我國三大應用市場電子濕化學品需求量我國三大應用市場電子濕化學品需求量大幅提升大幅提升。中國電子材料行業協會數據顯示，2021 年我國集成電路、顯示面板、太陽能光伏應用市場電子濕化學品需求量總計約為 213.52萬噸，與 2020年 156.33萬噸相比增加 36.58%，且未來幾年將有大幅提升，中國電子材料行業協會預計 2025年我國電子濕化學品市場需求

53、將增長至 369.56萬噸，2020-2025年復合增速達 18.78%。未來電子濕化學品的需求增長主要來自半導體和顯示面板行業未來電子濕化學品的需求增長主要來自半導體和顯示面板行業。隨著半導體行業晶圓廠新增產能不斷落地、晶圓尺寸擴大到 12英寸以及顯示面板行業向高世代線產品不斷升級，電子濕化學品技術要求及耗用量大幅提升。根據中國產業信息網數據，12 英寸晶圓制造所消耗的電子濕化學品是 8 英寸晶圓制造的 4.6 倍，6 英寸晶圓制造的 7.9 倍。半導體和顯示面板行業產能的擴張及技術升級將拉動電子濕化學品用量的快速增長。圖表圖表 28.2020-2025年年我國三大應用市場電子濕化學品需求量

54、我國三大應用市場電子濕化學品需求量不斷增加不斷增加（單位：萬噸）（單位：萬噸）資料來源：中國電子材料行業協會，中銀證券 18 我國電子濕化學品我國電子濕化學品高端產品不足，國產化替代空間大高端產品不足，國產化替代空間大 歐美歐美和和日本企業主導日本企業主導全球全球電子濕化學品市場電子濕化學品市場。電子濕化學品行業技術門檻較高，歐美和日本企業憑借技術優勢，占據了全球市場主導地位。2020年歐美傳統電子濕化學品企業占據約 31%的市場份額，代表企業有德國巴斯夫、美國亞什蘭、美國霍尼韋爾等。這些老牌化工企業擁有極強的技術優勢，產品等級可達到 SEMI G4及以上級別。市場第二位主要為日本電子濕化學品

55、企業，合計約 29%市場份額。日本化工行業發展晚于歐美，但進步非?？?，技術已與歐美達到同一水平。市場第三位是韓國、中國大陸及臺灣地區的電子濕化學品企業，約占 38%的市場份額。圖表圖表 29.2020年年全球全球電子濕化學品市場電子濕化學品市場份額份額，歐美與日本企業占主導地位，歐美與日本企業占主導地位 資料來源：華經產業研究院，中銀證券 19 圖表圖表 30.全球主要電子濕化學品企業（除中國大陸）全球主要電子濕化學品企業（除中國大陸）公司名稱公司名稱 地區地區 概況概況 巴斯夫 Basf 德國 為半導體和平板顯示生產提供電子化學品，收購了德國伊默克公司，成為了行業領先企業 漢高集團 Henk

56、el 德國 其開發生產的 LCD清洗液、剝離液以及顯影液在世界以及我國的液晶面板生產企業（如京東方）得到一定規模使用 陶氏化學 Dowchemical 美國 是一家多元化的化學公司，包括特種化學、高新材料、農業科學和塑料等業務，為全球約 180個國家和地區的客戶提供種類繁多的產品及服務，應用于包裝、電子產品、水處理、涂料和農業高速發展的市場。2014年，陶氏年銷售額超 580億美元，在 35個國家和地區運營 201家工廠，產品達 6000多種 美國亞什蘭公司 Ashland 美國 主要業務涉及專業化學品等精細化工產品，在高雄與 UPC（聯金石化公司）建有超純化學島生產基地合資企業 霍尼韋爾公司

57、 Honeywell 美國 供應雜質在 100ppt以下的高純度電子濕化學品，如氫氟酸、氫氧化銨、過氧化氫和鹽酸等產品，材料事業部門每年創收近 10億美元 Avantor Performance公司 美國 以 LCD、IC、LED工業使用的電子級磷酸出名，在世界和我國范圍內有一定規模的市場 ATMI公司 美國 大型化學品供應商，世界知名的半導體聚合物剝離液廠商 Air Roducts公司 美國 主要生產制造特氣、電子化學品及有關設備，在半導體中使用的顯影液、清洗液中有一定的市場地位 關東化學公司 Kanto 日本 主要從事半導體用酸堿類超凈高純化學試劑的生產，研發，在世界上有較高聲譽 三菱化學

58、 Mitsubishi 日本 產高純電子濕化學品，如硫酸、硝酸、鹽酸、草酸、過氧化氫 佳友化學 Sumitomo 日本 業務為超凈高純化學試劑的研發和生產。在日本及亞洲市場上占有一定的份額，特別是在大尺寸品圓制造中應用的電子濕化學品中更其產品優勢 宇部興產 UBE 日本 主要生產半導體、顯示面板等電子濕化學品，品種較多 DaiKin工業公司 日本 擁有氫氰酸和緩沖氫氟酸的核心技術，產品包括以氟化物為基礎的Zielex系列多種藥液 東友精細化工有限公司 韓國 半導體用高純電子化學品及精細化工產品 東進世美肯科技有限公司 韓國 以生產和銷售半導體及 FPD用電子化學品和發泡劑產品為主導，國內設有子

59、公司 ENF科技有限公司 韓國 半導體和 LCD電子材料 臺灣東應化股份有限公司 中國臺灣 半導體、TFT-LCD用剝離液、顯影液 伊默克化學科技股份有限公司 中國臺灣 提供臺灣半導體及平面顯示器工業高純度化學品與相關的生產供應及技術服務 臺灣三?；す煞萦邢薰?中國臺灣 IC半導體、LCD、觸控面板、LED、太陽能面板等產業所需的濕式化學品 鑫林科技股份有限公司 中國臺灣 提供半導體及光電相關產業制程所需的高純度化學品，與日本關東化學技術合作，近年在平板顯示領域有明顯的發展壯大 理盛精密科技股份有限公司 中國臺灣 主要生產高純度磷酸，主要用途是作為液晶面板刻蝕液 資料來源：華經產業研究院，

60、中銀證券 國內電子濕化學品企業距世界整體水平仍有差距國內電子濕化學品企業距世界整體水平仍有差距，國產化替代空間大，國產化替代空間大。在低端電子濕化學品應用領域（太陽能電池、分立器件等），國內已有較多企業掌握相關生產技術，競爭較為激烈，參與者基本是國內電子濕化學品企業。在高端電子濕化學品應用領域，外資企業占據大部分市場。根據中國電子化學材料行業協會數據，2020年集成電路工藝用電子濕化學品整體國產化率為 23%，8英寸及以上晶圓制造用電子濕化學品國產化率不足 20%，國內企業產品供應主要集中在 6 英寸及以下晶圓制造及封裝領域。顯示面板領域，包括各個世代的液晶面板及 OLED 用電子濕化學品整體

61、國產化率為40%，其中 OLED面板及大尺寸液晶面板所需部分電子濕化學品目前仍被韓國、日本和中國臺灣地區廠商壟斷。國內企業已基本實現光伏太陽能電池領域電子濕化學品自主供應。未來國內企業如能在研發、生產技術上有所突破，半導體、新型顯示面板等領域將具有較大的替代進口空間。20 圖表圖表 31.國內電子濕化學品高端產品仍存在不足，國產化率低國內電子濕化學品高端產品仍存在不足，國產化率低（2020年數據）年數據）資料來源：中國電子材料行業協會，中銀證券 我國電子濕化學品產量持續擴大，市場集中度較低。我國電子濕化學品產量持續擴大，市場集中度較低。根據華經產業研究院數據，2021 年我國電子濕化學品產量達

62、 64.35萬噸，2015-2021年復合增長率達 22.55%。華經產業研究院報告顯示，我國共有電子濕化學品生產企業 40 余家，規?；髽I 30 余家。按照銷售規模計算，龍頭企業江化微和格林達2019 年的市占率僅為 4.8%和 5.1%。大陸電子濕化學品企業大致分為三類：1）以江化微、格林達和江陰潤瑪為代表的電子濕化學品專業供應商，主營業務為電子濕化學品，產品種類豐富且毛利率較高；2）以晶瑞電材和飛凱材料為代表的電子材料平臺型企業，以泛半導體業務為主，具有客戶導入優勢；3）以巨化股份和濱化股份為代表的大化工企業，電子濕化學品品種較少，營收占比較小，與其他業務有產業鏈協同效應，在原料方面具

63、有優勢。圖表圖表 32.2015-2021年年我國電子濕化學品產量持續擴大我國電子濕化學品產量持續擴大，復合增長率達，復合增長率達 22.55%資料來源：華經產業研究院，中銀證券 21 圖表圖表 33.我國主要電子濕化學品生產企業我國主要電子濕化學品生產企業 企業企業 地區地區 主營業務主營業務 江化微 江蘇江陰 高純濕電子化學品和功能性材料，全系列的濕電子化學品 江陰潤瑪 江蘇江陰 微電子制造用超凈高純電子化學品 江陰市化學試劑廠 江蘇江陰 超凈高純試劑、光刻膠配套試劑、通用試劑 晶瑞電材 江蘇蘇州 超凈高純試劑、功能性材料、光刻膠、鋰電池粘結劑 達諾爾 江蘇常熟 半導體濕法工藝超高純微電子

64、化學品 格林達 浙江杭州 功能電子濕化學品、通用電子濕化學品 上海新陽 上海 晶圓制造及先進封裝用電鍍液、CMP拋光液、光刻膠等 飛凱材料 上海 屏幕顯示材料、半導體材料（濕電子化學品如顯影液、蝕刻液、剝離液、電鍍液等）、紫外固化材料 彤程新材（北京科華）北京 光刻膠及其配套試劑 西隴科學 廣東廣州 化學試劑（通用、PCB用、超凈高純試劑）、依外診斷試劑、原料藥及食品添加劑 多氟多 河南焦作 無機氟化工 濱化股份 山東濱州 電子級氫氟酸、燒堿、環氧丙烷等 興發集團 湖北宜昌 磷礦石、黃磷及精細磷產品、有機硅產品、草甘膦及副產品、電子化學品、肥料產品、貿易 資料來源：各公司公告，中銀證券 公司公

65、司電子濕化學品業務已成規模，市占率不斷提升電子濕化學品業務已成規模，市占率不斷提升 公司于公司于 2013年開始年開始生產生產電子濕化學品，是國內較早的供應商之一電子濕化學品，是國內較早的供應商之一，經過近十年發展經過近十年發展已成為電子濕化已成為電子濕化學品領域龍頭企業學品領域龍頭企業。2021年公司電子濕化學品營業收入達4.47億元，2019-2021年復合增長率為22.51%，國內市占率由 2.23%增至 5.97%。2021年公司主要產品電子級氫氟酸、電子級硫酸、電子級硝酸的市占率分別達到 19.78%、4.41%、66.39%。隨著公司募投項目規劃產能落地，公司營業收入及市占率有望進

66、一步提升。圖表圖表 34.2019-2021年年中巨芯中巨芯電子濕化學品業務與可比公司營收及復合增速電子濕化學品業務與可比公司營收及復合增速 公司名稱公司名稱 營業收入（營業收入（億億元）元）2019 2020 2021 復合增長率復合增長率（%）江化微 2.87 3.05 4.93 31.12 晶瑞電材 1.79 2.09 3.32 36.23 格林達 5.17 5.75 7.63 21.56 上海新陽 2.12 2.78 4.19 40.54 飛凱材料 10.28 13.22 18.52 34.21 新宙邦 1.15 1.57 2.14 36.75 湖北興福 2.56 2.73 5.28

67、43.61 江陰潤瑪 3.12 3.57 5.24 29.52 中巨芯中巨芯 2.98 3.37 4.47 22.51 資料來源：中巨芯招股說明書，中銀證券 22 圖表圖表 35.2019-2021年年公司公司電子濕化學品業務市占率逐年提升電子濕化學品業務市占率逐年提升 資料來源：中巨芯招股說明書，中銀證券 公司公司研發實力雄厚，產品品質處于行研發實力雄厚，產品品質處于行業領先水平業領先水平 公司公司研發投入快速增長，研發費用率高于可比公司平均水平。研發投入快速增長，研發費用率高于可比公司平均水平。公司通過設立先進電子化學材料浙江省工程研究中心開展研究工作，截至 2021年 12月 31日已獲

68、得總計 47項專利。2021年末公司共有研發人員 82 人，占公司員工總數的 16.14%，其中中高級工程師 26 名。研發人員專業覆蓋面廣，涵蓋化工、電子、材料、物理、化學等專業領域。2019-2021 年公司研發投入由 2,300.75 萬元快速增長至4,017.40萬元，復合增長率達到 32.14%。2021年公司研發費用率達 7.10%，高于同行業可比公司平均水平。圖表圖表 36.2019-2021年年公司公司研發費用逐年提升研發費用逐年提升，研發費用率高于研發費用率高于同行業同行業可比公司平均水平可比公司平均水平 注：同行業可比公司為江化微、晶瑞電材、格林達、上海新陽、飛凱材料、新宙

69、邦、華特氣體、金宏氣體、南大光電、雅克科技。研發費用率=研發費用/營業收入，上述公司數據來源于各公司招股說明書及年報/財務報告。資料來源：中巨芯招股說明書，中銀證券 公司電子濕化學品產品技術優勢明顯，集成電路制造工藝節點不斷提升。公司電子濕化學品產品技術優勢明顯，集成電路制造工藝節點不斷提升。公司電子濕化學品業務主 23 要產品電子級氫氟酸、電子級硫酸、電子級硝酸均達到 G5等級，產品品質處于行業領先水平，與可比公司相比技術優勢明顯，為公司在未來集成電路高端電子濕化學品的發展奠定了基礎。同時，公司通過多個在研項目不斷提升集成電路制造工藝節點，使公司電子濕化學品產品能夠滿足 14 nm 及以下工

70、藝需求。圖表圖表 37.公司公司電子濕化學品產品等級處于行業領先水平電子濕化學品產品等級處于行業領先水平 產品及等級產品及等級 中巨芯中巨芯 江化微江化微 晶瑞電材晶瑞電材 格林達格林達 上海新上海新陽陽 飛凱材飛凱材料料 新宙邦新宙邦 湖北興福湖北興福 江陰瑞瑪江陰瑞瑪 氫氟酸 G5 SL UP-SS-金屬離子 0.1ppb 金屬離子 0.005ppb G4 硫酸 G5 SL UP-SSS-金屬離子 0.01ppb-硝酸 G5 SL UP-SS-金屬離子 0.1ppb G4 鹽酸 G4 SL UP-SS-金屬離子 1ppb-氨水 G4 SL UP-SSS-金屬離子 0.1ppt-G5 氟化銨

71、 G4 SL UP-SS-緩沖氧化 物刻蝕液 G4 SL UP-SS-金屬離子 0.1ppb 金屬離子 0.1ppb G5 硅刻蝕液 G3 UL-金屬離子 5ppb G4 資料來源：中巨芯招股說明書，中銀證券 24 圖表圖表 38.公司公司開展多個開展多個電子電子濕濕化學品在研項目化學品在研項目 序號序號 項目名稱項目名稱 擬達到的主要目標擬達到的主要目標 預算金額（萬元）預算金額（萬元）與行業技術水平比較與行業技術水平比較 1 超高純氫氟酸制備、提純工藝開發與檢測技術 作為國家重大科研項目子課題，實現超高純氫氟酸分離除雜工藝裝備集成研究與優化，多價態無機非金屬離子深度去除，建立可靠的超高純氫

72、氟酸痕量雜質檢測方法。1,766.00 通過本項目實施，制備出超高純氫氟酸以滿足國內最先進的 14 nm及以下工藝需求。2 多官能團金屬離子絡合劑開發 作為國家重大科研項目子課題，研發高效提純除雜制劑，實現氫氟酸原料中金屬離子高效絡合去除。69.50 作為電子級氫氟酸項目的子課題，開發新的金屬離子絡合劑，有效控制金屬離子3 ppt。改變常規用精餾法控制金屬離子雜質的技術，能更高效去除氫氟酸中痕量金屬離子雜質。3 顆粒物去除及包裝材料、包裝物密封工藝研究 作為國家重大科研項目子課題，開發 12英寸晶圓、14納米關鍵節點用超高純氫氟酸包裝需求的過濾膜和包裝材料。168.00 作為電子級氫氟酸項目的

73、子課題，開發支持 14 nm及以下工藝用新型過濾膜和包裝材料，更有效控制金屬離子和顆粒物的析出。4 復配型功能性電子化學品開發 進行蝕刻液配方的設計、研發，對混配方式、溫度、物料配比進行優化，對顆粒去除、金屬離子去除進行研究，產品在客戶端提供驗證。3,067.00 針對 45 nm，28 nm，14 nm及以下集成電路制造中段、后段的刻蝕后清洗液進行開發，為客戶提供定制化產品，突破國外技術壁壘，實現國產替代。5 電子化學品在集成電路中應用開發（二期）為集成電路各工藝段需要制作相應試樣柜，并與集成電路廠商生產機臺對接，實現生產與測試零切換。305.00 根據客戶應用需求和客戶所處行業的技術要求，

74、在產品應用端進行定制化的技術開發，與集成電路廠商生產機臺對接，實現生產與測試零切換，解決產品在客戶端使用的技術問題。6 MAI研發 開發出國內集成電路制造先進制程用電子級混酸、緩沖氧化物刻蝕液系列產品，并實現在客戶端的應用。500.00 在原有功能電子濕化學品技術基礎上，進一步開發滿足 8英寸，12英寸集成電路制造用單晶硅刻蝕液、緩沖氧化物刻蝕液等定制化產品，滿足客戶國產化供應需求。7 電子濕化學品關鍵技術開發 通過提升金屬除雜、顆粒去除、品質分析方法等關鍵技術，使發行人現有電子級硫酸、電子級硝酸、電子級鹽酸、電子級氨水等電子濕化學品品質進一步提升。1,800.00 通過本項目的實施，持續提升

75、通用電子濕化學品的品質，以滿足集成電路制造工藝節點不斷進步的要求。資料來源：中巨芯招股說明書，中銀證券 公司公司電子濕化學品電子濕化學品下游客戶認證順利，榮獲多下游客戶認證順利，榮獲多個個獎項獎項 公司公司電子濕化學品電子濕化學品下游客戶實力雄厚，下游客戶實力雄厚，產品及服務產品及服務榮獲榮獲客戶頒發的客戶頒發的多多個個獎項獎項。公司電子濕化學品主要客戶有 SK 海力士、中芯國際、長江存儲、華虹集團、華潤微電子、紹興中芯等公司。2021 年 SK海力士、中芯國際、長江存儲、華虹集團合計采購公司產品金額 1.72 億元，占公司總營業收入比例的 30.47%。公司產品已經通過下游客戶認證并獲多個獎

76、項。25 圖表圖表 39.2021年年公司公司電子濕化學品前四電子濕化學品前四大大客戶情況客戶情況 序號序號 客戶名稱客戶名稱 銷售內容銷售內容 金額（萬元）金額（萬元）占營業收入比例占營業收入比例 1 SK海力士 電子級氫氟酸 5,705.27 10.08%2 中芯國際 電子級硫酸、電子級硝酸等 4,955.00 8.76%3 長江存儲 電子級硝酸、電子級氫氟酸等 3,390.68 5.99%4 華虹集團 電子級硝酸、電子級氫氟酸等 3,191.26 5.64%合計合計 17242.21 30.47%資料來源：中巨芯招股說明書，中銀證券 圖表圖表 40.公司公司電子濕化學品獲下游客戶電子濕化

77、學品獲下游客戶頒發頒發多項榮譽多項榮譽 序號序號 榮譽名稱或應用證明內容榮譽名稱或應用證明內容 客戶名稱客戶名稱 年份年份 1 凱圣氟化學半年度 QCDSE優秀供應商（化學品類）第二名 中芯國際 2020 2 凱圣氟化學2020最佳服務獎 上海新昇 2020 3 凱圣氟化學電子級氫氟酸批量供應 12英寸 1Xnm（10-20nm）制程、指標達到國際同類產品先進水平、關鍵材料之超高純化學品本土化供應 SK海力士 2020 4 中巨芯首家國產硫酸量產供應一周年 中芯北方 2021 5 中巨芯系列產品批量供應五周年（硫酸、氫氟酸、硝酸、氨水、氯氣）中芯國際 2021 6 中巨芯國產超純電子濕化學品首

78、家量產供應商系列產品合作八周年 華虹宏力 2021 資料來源：中巨芯招股說明書，中銀證券 26 公司公司電子特氣電子特氣及及前驅體業務前驅體業務技術領先技術領先 公司公司電子特氣電子特氣驗證順利，驗證順利，營收營收增速明顯增速明顯 電子特氣是集成電路、顯示面板等電子工業生產不可或缺的原材料電子特氣是集成電路、顯示面板等電子工業生產不可或缺的原材料。電子特氣廣泛應用于刻蝕、清洗、摻雜、氣相沉積等工藝環節，決定了器件的最終良率和可靠性，具有較高的產品附加值。此外，電子特氣在生產過程中涉及原料合成、純化、充裝、分析檢測、氣瓶處理、混合氣配制等多項工藝技術，具有較高的技術壁壘。圖表圖表 41.晶圓制造

79、領域使用的特種氣體晶圓制造領域使用的特種氣體 用途用途 氣體名稱氣體名稱 化學氣相沉積（CVD）氨氣、氦氣、氧化亞氮、TEOS（正硅酸乙酯）、TEB（硼酸三乙酯）、TEPO（磷酸三乙酯）、磷化氫、三氟化氯、二氯硅烷、氟化氮、硅烷、六 氟化鎢、六氟乙烷、四氯化鈦、甲烷等 離子注入 氟化砷、三氟化磷、磷化氫、三氟化硼、三氯化硼、四氟化硅、六氟化硫、氙氣等 光刻膠印刷 氟氣、氦氣、氪氣、氖氣等 擴散 氫氣、三氯氧磷等 刻蝕 氦氣、四氟化碳、八氟環丁烷、八氟環戊烯、三氟甲烷、二氟甲烷、氯氣、溴化氫、三氯化硼、六氟化硫、一氧化碳等 摻雜 含硼、磷、砷等三族及五族原子之氣體，如三氯 化硼、乙硼烷、三氟化硼

80、、磷化氫、砷化氫等 資料來源：金宏氣體招股說明書，中銀證券 我國電子特氣市場規模增長迅速，復合增長率高于全球水平。我國電子特氣市場規模增長迅速，復合增長率高于全球水平。TECHCET 統計顯示，全球電子特氣市場規模由 2017年的 36.91億美元增長至 2021年的 45.38億美元，復合增長率為 5.30%，TECHCET預計2022年全球電子特氣市場規模將達到 50.01億美元，同比增長 10.20%。根據 SEMI統計，中國電子特氣市場規?？焖僭鲩L，2017-2021 年復合增長率達 15.69%，高于全球市場復合增速。SEMI 預計 2022年中國特種氣體市場規模將達到 220.8億

81、元，同比增長 12.77%。圖表圖表 42.預計預計 2022年全球電子特氣市場規模將達到年全球電子特氣市場規模將達到 50.01億美元億美元 圖表圖表 43.2017-2021年中國電子特氣市場規模復合增速高于年中國電子特氣市場規模復合增速高于全球平均增速全球平均增速 資料來源：TECHCET，中銀證券 資料來源：SEMI，中銀證券 受益受益于于國內外半導體產業大發展，上游電子特氣國內外半導體產業大發展，上游電子特氣行業行業迎來發展良機。迎來發展良機。我國是全球需求最大的半導體市場，根據中國半導體行業協會數據，2017-2021年我國集成電路市場規模由 5,411億元增長至 10,458億元

82、，復合增長率為 17.91%，2021年同比增長 18.20%。在半導體下游市場需求增加、國家政策持續推動等環境下，中國半導體行業協會預計 2022年我國半導體市場規模將達到 11,397億元。根據中商產業研究院數據，2020 年在半導體材料需求中，電子氣體占比 14%，僅次于硅片及硅基材料。中國半導體市場規模的不斷增長將帶動半導體上游市場電子特氣行業的持續發展。27 圖表圖表 44.我國我國集成電路集成電路市場規模增長迅速市場規模增長迅速 圖表圖表 45.2020年年半導體材料需求半導體材料需求比例比例，電子，電子氣體氣體占占比比 14%資料來源：中國半導體行業協會，中銀證券 資料來源：中商

83、產業研究院，中銀證券 電子特氣電子特氣市場集中度高，國產市場集中度高，國產化化率較低。率較低。全球電子特氣市場集中度較高，根據前瞻產業研究院數據，2018 年美國空氣化工、林德集團、法國液化空氣和日本太陽日酸四大國際領先企業占全球市場份額的 91%。2020 年在中國大陸市場，上述四大國際領先企業占據了 86%的市場份額，總體市場集中度高。我國電子特氣國產化率仍然處于較低水平，未來國產化替代空間較大。圖表圖表 46.2018年年全球電子特氣市場全球電子特氣市場格局格局 圖表圖表 47.2020年年我國我國電子特氣市場格局電子特氣市場格局 資料來源：前瞻產業研究院，中銀證券 資料來源：前瞻產業研

84、究院，中銀證券 公司電子特氣業務營業收入及毛利率大幅提升。公司電子特氣業務營業收入及毛利率大幅提升。公司電子特氣于 2016年開始試生產。2019年至 2021年，公司電子特氣業務營業收入由 741.54萬元增長至 9,038.44萬元，復合增長率達 249.12%。公司電子特氣業務毛利率于 2021年實現正值，達到 35.48%，接近可比公司平均水平。由于公司電子特氣產品仍處于驗證階段，產能利用率低于 50%，未來營業收入及毛利率有望進一步增長，縮小與可比公司的規模差距。28 圖表圖表 48.2019-2021年年公司公司電子電子特氣業務營業收入特氣業務營業收入顯著顯著增長增長 公司名稱公司

85、名稱 營業收入（萬元）營業收入（萬元）2019 2020 2021 復合增長率復合增長率（%）南大光電 1.64 4.29 7.31 111.40 華特氣體 4.48 5.48 7.97 33.36 金宏氣體 4.60 4.48 6.59 19.65 雅克科技 3.95 3.73 3.91（0.47）派瑞特氣 9.30 11.04 14.94 26.71 黎明化工研究院*綠菱氣體*太和氣體*中巨芯中巨芯 0.07 0.29 0.90 249.12 注1：可比公司資料來源于其年報、招股說明書（申報稿）或官網披露信息；注2：中巨芯2019年、2020年和2021年營業收入均為電子特氣領域收入；可比

86、上市公司南大光電的營業收入為特氣產品營業收入；華特氣體、金宏氣體的營業收入為特種氣體營業收入；雅克科技、派瑞特氣的營業收入均為電子特氣營業收入。資料來源：中巨芯招股說明書，中銀證券 圖表圖表 49.公司公司電子特氣電子特氣業務毛利率業務毛利率大幅大幅提升，提升，于于 2021年年實現正值實現正值(%)公司名稱公司名稱 毛利率毛利率 2019 2020 2021 華特氣體 40.00 30.97 29.37 金宏氣體 54.78 38.18 35.46 南大光電 49.98 43.59 45.01 雅克科技 50.89 43.66 40.17 平均平均 48.91 39.10 37.50 中巨芯

87、中巨芯(59.27)(28.89)35.48 資料來源：中巨芯招股說明書，中銀證券 公司電子特氣產品技術優勢明顯，處于行業領先水平。公司電子特氣產品技術優勢明顯，處于行業領先水平。電子特氣主要產品高純氯氣及高純氯化氫均達到 6N水平，能夠滿足先進制程的純度要求，產品品質處于領先水平，與可比公司相比技術優勢明顯。公司同時開展多個在研項目，布局 14 nm 及以下先進制程用電子特氣的研發工作。公司電子特氣主要客戶有中芯國際、華潤微電子、士蘭微、廈門聯芯、滬硅產業、河北普興等上市公司，產品已通過下游客戶認證。29 圖表圖表 50.公司公司電子特氣產品技術電子特氣產品技術處于處于行業行業領先水平領先水

88、平 產品及等級產品及等級 中巨芯中巨芯 南大光電南大光電 華特氣體華特氣體 金宏氣體金宏氣體 雅克科技雅克科技 派瑞特氣派瑞特氣 黎明化工研黎明化工研究院究院 綠菱氣體綠菱氣體 太和氣體太和氣體 氯氣 6N-5N5 氯化氫 6N-5N5-5N 氟化氫 5N-4N5（在研）-5N-六氟化鎢 5N5-5N-6N 5N-三氟甲烷 5N-5N5-5N-八氟環丁烷 5N-5N 5N-5N-5N-六氟丁二烯 4N5-4N（在研）4N（在研）-4N-八氟環戊烯 4N-注1：可比公司資料來源于其年報、招股說明書（申報稿）或公開披露信息；注2：華特氣體2021年年報披露，其在研項目半導體用六氟丁二烯純化研制目前

89、處于項目驗收小批量生產階段，擬達到目標為99.99%純度并實現規?；a；注3：金宏氣體2021年年報披露，其在研項目高純氟化氫研發目前已經完成工藝包的設計，擬達到目標為99.995%純度并實現規?；a；其在研項目高純六氟丁二烯研發目前已完成工藝包的設計，擬達到目標為99.99%純度并實現規?；a。資料來源：中巨芯招股說明書，中銀證券 圖表圖表 51.公司公司電子特氣在研項目電子特氣在研項目 序號序號 項目名稱項目名稱 擬達到的主要目標擬達到的主要目標 預算金額（萬元）預算金額（萬元）與行業技術水平比較與行業技術水平比較 1 腐蝕性電子氣體品質提升及市場應用 作為國家重大科研項目，對公司現

90、有產品進行升級，HCl品質提升至水分250ppb（成品槽），Fe等單一金屬離子雜質100ppt（成品槽）；HF品質提高至水分 500ppb（成品槽），均通過 12英寸晶圓先進制程驗證并實現量產。400.00 提升后的高純氯化氫氣體目標是應用于 28 nm以下邏輯工藝SiGe選擇性外延生長工藝；高純氟化氫氣體滿足 14 nm及以下淺溝道隔離回刻工藝及偽柵氧去除工藝，解決進口替代問題。2 電子級六氟化鎢關鍵技術開發及產業化 作為衢州市科技項目，開發穩定的 6N純度高純六氟化鎢技術，并應用于產業化裝臵。600.00 開發 6N純度高純六氟化鎢，項目實施后產品品質進一步提升，滿足 8英寸，12英寸晶圓

91、制造，從成熟的0.25 um以上到14 nm以下先進工藝中鎢穿孔沉積工藝需求。3 一氟甲烷（含氟氣體）研發及產業化驗證 開發高純一氟甲烷提純技術并實現產業化，產品品質達到 4N5 純度，滿足集成電路先進制程刻蝕要求。1,355.00 研發集成電路先進制程用高純含氟有機氣體的制備和純化技術，產品滿足 0.35 um到 14 nm特定刻蝕工藝。4 高純有機氣體在集成電路中的應用開發 為集成電路各工藝端開發配套的測試設備：包括氣柜、測試管路設計等，與集成電路廠商生產機臺對接，實現生產與測試無縫對接。320.00 根據客戶應用需求和客戶所處行業的技術要求，在產品應用端進行定制化的技術開發，與集成電路廠

92、商生產機臺對接，實現生產與測試零切換，解決產品在客戶端使用的技術問題。資料來源：中巨芯招股說明書，中銀證券 30 公司公司前驅體材料前驅體材料產品產品成功進入客戶認證階段成功進入客戶認證階段 前驅體是半導體制造的核心材料之一，主要應用于薄膜沉積工藝。前驅體是半導體制造的核心材料之一，主要應用于薄膜沉積工藝。半導體前驅體材料是攜有目標元素、呈氣態或易揮發液態、具備化學熱穩定性、同時具備相應反應活性或物理性能的一類物質，主要應用于薄膜沉積工藝（包括物理沉積 PVD、化學氣相沉積 CVD和原子氣相沉積 ALD），以形成符合半導體制造要求的各類薄膜層、實現不同的電氣特性。前驅體也可用于半導體外延生長、

93、刻蝕、離子注入摻雜和清洗等過程，是半導體制造的核心材料之一；也可用于薄膜封裝技術（TFE），發揮水汽阻隔、延長有機發光物質壽命的作用，是 OLED工藝的核心技術之一。前驅體前驅體材料市場規?？焖僭鲩L。材料市場規?？焖僭鲩L。根據富士經濟數據，全球前驅體市場規模從 2014年約 7.50億美元增至 2019年約 12.00億美元，復合增長率達 9.86%，富士經濟預計 2024年全球前驅體市場規?？蛇_ 20.21億美元，2020-2024年復合增長率達 5.3%。未來隨著集成電路先進制程占比上升，在薄膜沉積工藝中起到關鍵作用的前驅體材料需求將進一步提升。我國是全球半導體前驅體的主要市場之一。根據Q

94、YResearch數據，2021年我國半導體前驅體市場規模達到 5.9億美元，QYResearch預計 2028年我國半導體前驅體市場規模將達到 11.56億美元，復合增長率為 10%。圖表圖表 52.全球前驅體市場規?？焖僭鲩L，預計全球前驅體市場規?？焖僭鲩L，預計 2024年將達到年將達到 20.21億美元億美元 資料來源：富士經濟，中銀證券 公司公司生產的前驅體材料主要用于生產的前驅體材料主要用于 CVD 和和 ALD。CVD是指利用氣態物質通過化學反應在基底表面形成固態薄膜的一種成膜技術；ALD 是指將氣相前驅體材料脈沖交替地通入反應器，并在沉積基體上吸附、反應而形成薄膜的一種技術。CV

95、D 和 ALD 兩項技術均是目前應用廣泛的薄膜沉積技術，兩項技術相比，CVD的沉積速率更快，而 ALD在復雜表面進行沉積的薄膜均勻性和界面質量更好。31 圖表圖表 53.CVD工藝簡圖及前驅體應用工藝簡圖及前驅體應用 圖表圖表 54.ALD工藝簡圖及前驅體應用工藝簡圖及前驅體應用 資料來源：中巨芯招股說明書，中銀證券 資料來源：中巨芯招股說明書，中銀證券 前驅體技術壁壘高，國外企業壟斷嚴重前驅體技術壁壘高，國外企業壟斷嚴重，國產化率極低，國產化率極低。前驅體行業較電子濕化學品、電子特氣準入門檻更高，國外企業深耕該領域已久，市場集中度較高。目前前驅體材料生產商基本為海外企業，如德國默克、法國液化

96、空氣、美國英特格、日本 Tri Chemical、韓國 Soul-Brain、DNF、Hansol Chemical等。國內在前驅體產品開發方面取得了初步進展，例如南大光電已完成以及正在開發多個前驅體產品；雅克科技通過收購韓國 UP Chemical進入前驅體業務領域，多款產品已在國際知名存儲器制造公司中得到應用。目前我國前驅體的產品成熟度仍然很低，與國際先進水平差距很大，國產化率極低。公司公司承擔浙江省重點研發項目，產品進入承擔浙江省重點研發項目，產品進入客戶認證客戶認證階段。階段。公司于 2020年開始承擔集成電路制造用前驅體材料研發項目，目前已掌握 HCDS、BDEAS、TDMAT等前驅

97、體材料的生產制備技術，產品純度達到 6-7N，能夠滿足集成電路制造中先進制程（28 nm及以下）采用原子層沉積技術的純度要求。公司前驅體產品已進入客戶端認證環節，成功送樣至華虹半導體（無錫）等企業，是國內少數能夠進入該領域并完成產品生產的企業之一。32 募投項目：募投項目：擬募集擬募集 15億元，主要用于潛江年產億元，主要用于潛江年產 19.6萬噸超純電萬噸超純電子化學品項目子化學品項目 本次募投項目資金主要用于潛江年產本次募投項目資金主要用于潛江年產 19.6 萬噸超純電子化學品項目。萬噸超純電子化學品項目。公司作為國內電子濕化學品領軍企業，其電子濕化學領域研發技術、擬擴產的各主要產品均已滿

98、足集成電路 8 英寸及以上的品質要求。公司將通過募投項目對電子濕化學品進行開發、擴產，填補國內市場空缺，在政策等外部有利環境的協同推動下，加速電子濕化學品領域高端市場的國產化替代進程。圖表圖表 55.公司公司募投項目資金用途（萬元）募投項目資金用途（萬元）序號序號 項目項目名稱名稱 總投資額總投資額 擬投入募集資金擬投入募集資金 1 中巨芯潛江年產 19.6萬噸超純電子化學品項目 138,000.00 120,000.00 2 補充流動資金 30,000.00 30,000.00 合計合計 168,000.00 150,000.00 資料來源：中巨芯招股說明書，中銀證券 圖表圖表 56.公司公

99、司募集資金投資募集資金投資項目產品方案項目產品方案 序號序號 超純電子化學品名稱超純電子化學品名稱 生產規模（萬噸）生產規模（萬噸）1 電子級硫酸 8.0 2 電子級氫氟酸 3.0 3 電子級硝酸 3.0 4 電子級氨水 2.5 5 電子級雙氧水 2.0 6 電子級異丙醇 1.0 7 電子級混酸 0.1 合計合計 19.6 注：項目分為兩期，一期為4萬噸/年電子級硫酸、1.25萬噸/年電子級氨水；二期為項目其余部分。資料來源：中巨芯招股說明書，中銀證券 募投項目有助于公司鞏固行業競爭優勢和領先地位。募投項目有助于公司鞏固行業競爭優勢和領先地位?，F階段 8 英寸及以上集成電路用電子濕化學品國產化率較低，而下游需求增速明顯，公司在該細分領域研發實力強勁，產品品質位居國內前列，擁有與國際巨頭同臺競爭的能力。募投項目投產后，將繼續鞏固公司在電子濕化學品集成電路應用領域的競爭優勢與市場領先地位，提升公司市占率，保障公司業績持續增長。