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1、晶瑞電材子公司蘇州瑞紅深耕光刻膠近30 年,產品類型豐富,技術水平處于國內領先地位。晶瑞電材子公司蘇州瑞紅1993 年開始光刻膠生產,承擔并完成了國家02 專項“i 線光刻膠產品開發及產業化”項目,擁有達到國際先進水平的光刻膠生產線。光刻膠產品類型覆蓋高中低分辨率的 I 線、G 線紫外正性光刻膠、環化橡膠型負性光刻膠、化學增幅型光刻膠、厚膜光刻膠等類型,應用行業涵蓋 IC、TFT-array、LED、Touch panel、先進封裝等領域。半導體光刻膠方面,公司g 線、i 線產品已實現量產,客戶覆蓋國內一流廠商。蘇州瑞紅完成了多款 g 線、i 線光刻膠產品技術開發工作,并實現銷售。取得中芯國際
2、、揚杰科技、福順微電子等國內企業的供貨訂單,并在士蘭微、吉林華微、深圳方正等知名半導體廠進行測試。目前公司正不斷擴大g/i 線光刻膠的市場占有率。高端半導體光刻膠方面,KrF 光刻膠進入客戶測試階段。目前,KrF(248nm 深紫外)光刻膠已完成中試,產品分辨率達到了 0.250.13m 的技術要求,建成了中試示范線,已進入下游客戶測試階段,公司將視測試情況適時推動量產計劃。ArF 光刻膠研發工作正式啟動,項目投資近 5 億,ASML1900Gi 光刻機安裝調試中。為了滿足當前集成電路產業關鍵材料市場需求,進一步提升公司在高端電子化學品領域的地位, 2021 年初,公司在蘇州晶瑞化學股份有限公
3、司現有廠區內開展“集成電路用高端光刻膠研發項目”,旨在提供 90-28nm 先進制程用 ArF 光刻膠。項目總投資 48,850 萬元,擬使用募集資金不超過 31,300 萬元。同時,公司于 2020 年下半年購買的ASML1900Gi 型光刻機目前正在安裝調試。公司計劃2022 年完成配方研制,2023 年完成中試線和量產線。待最終產業化完成后,可覆蓋晶圓制造 28nm 制程,滿足除手機芯片外的大部分芯片國產化需要。LCD 光刻膠方面,公司 2016 年與日本三菱化學株式會社在蘇州設立了 LCD 用彩色光刻膠共同研究所,為三菱化學的彩色光刻膠在國內的檢測以及中國國內客戶評定檢測服務,并于20
4、19 年開始批量生產供應顯示面板廠家。公司光刻膠銷售收入均處于行業領先水平。由于下游晶圓廠擴張,芯片制造行業國產替代進程加速,光刻膠產品供不應求,價格不斷上漲。2021 年上半年公司光刻膠及配套材料業務實現銷售收入1.43 億元,相比去年同期增長 70.98%。與此同時,公司整體業績向好,尤其是鋰電池材料業務和基礎化工業務營收增長顯著,因此光刻膠及配套材料雖營收創新高但業務占比略降至16.57%。半導體用光刻膠及配套試劑占七成。公司光刻膠業務結構以高技術水平的半導體用光刻膠為主,在2020 年 1.79 億的光刻膠及配套試劑營收中,半導體級別的產品占70%。目前,公司KrF 光刻膠已進入下游客戶測試階段,KrF 光刻膠價格昂貴,約 3500 萬/噸,是目前公司i 線光刻膠產品價格的近 20 倍。待 KrF 光刻膠通過客戶測試,產品量產后,半導體用產品份額22