【公司研究】至純科技-加速半導體清洗設備布局開創“芯”篇章-20200507[33頁].pdf

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1、 1 T a 證 券 研 究 報 告 證 券 研 究 報 告 公 司 深 度 研 究 公 司 深 度 研 究 至純科技（至純科技（603690）機械設備 加速半導體清洗設備布局加速半導體清洗設備布局，開創“芯”篇章，開創“芯”篇章 投資要點：投資要點： 立足高純工藝，確立領域龍頭地位。立足高純工藝，確立領域龍頭地位。2018年，至純科技完成的上海華 力12英寸28納米先進工藝產線的建設，驗證了公司服務集成電路制造業先 進工藝的技術能力，確立了公司在國內高純工藝領域的龍頭地位。高純工 藝系統的新增業務訂單總額達8億元。至純作為在高純工藝系統業內具有 獨特競爭優勢的公司，在細分市場具有較強競爭實力

2、。 裝備布局卓有成效，清洗機臺利潤可期。裝備布局卓有成效，清洗機臺利潤可期。至純科技于2017年成立獨立 的半導體濕法事業部，致力打造高端濕法設備制造開發平臺。公司已經具 備生產8-12寸高階單晶圓濕法清洗設備和槽式濕法清洗設備的相關技術， 能夠覆蓋包括晶圓制造、先進封裝、太陽能在內多個下游行業的市場需 求，公司濕法清洗設備已獲得了中芯、萬國、TI、燕東、華潤等用戶的正 式訂單。2018年濕法工藝設備的新增業務訂單總額達到1700萬美元（合人 民幣1.1億元）。 收購波匯拓展業務布局，發揮協同效應。收購波匯拓展業務布局，發揮協同效應。至純科技于2019年3月完成 對波匯科技的收購，波匯科技主要

3、業務為光傳感器及相關光學元器件的研 發、生產和銷售，與現有業務形成協同和補充，2018-2020年承諾凈利潤 不低于3200萬元、4600萬元、6600萬元，通過并購進一步提高盈利能力。 我們預計我們預計公司公司2020年年-2022年營收年營收14.60、19.77、24.76億元，歸母億元，歸母 凈利潤凈利潤2.23、3.16、3.98億元，億元，EPS分別為分別為0.86、1.23、1.54元元/股，對應股，對應 三年三年PE為為44、31、25倍。倍?？紤]公司未來幾年增速較高，目前公司市盈率 水平顯著低于可比公司水平，首次覆蓋給予推薦評級。 風險提示風險提示：高純集成系統訂單不達預期；

4、清洗設備基地建設進展放 緩；清洗設備認證進程不及預期；預測假設與實際情況有差異風險。 Ta bl e_ Fir st| Ta bl e_ Summar y| Ta bl e_ Excel1 財務數據和估值財務數據和估值 2018A2018A 2019A2019A 2020E2020E 2021E2021E 2022E2022E 營業收入（百萬元） 674.09 986.44 1,459.75 1,977.49 2,476.72 增長率（%） 82.64% 46.34% 47.98% 35.47% 25.25% EBITDA（百萬元） 66.69 158.83 298.16 394.97 486

5、.13 凈利潤（百萬元） 29.86 92.08 222.87 315.89 398.10 增長率（%） -37.73% 208.34% 142.04% 41.74% 26.02% EPS（元/股） 0.12 0.36 0.86 1.23 1.54 市盈率（P/E） 327.21 106.12 43.84 30.93 24.54 市凈率（P/B） 22.43 6.59 5.73 4.83 4.04 EV/EBITDA 34.87 25.87 20.51 2020 年 05 月 07 日 投資建議：投資建議： 推薦推薦 首次覆蓋首次覆蓋 當前價格：當前價格： 37.9 元 基本數據基本數據 總股

6、本/流通股本（百萬股） 258/234 流通 A 股市值（百萬元） 8,879 每股凈資產（元） 5.34 資產負債率（%） 55.48 一年內最高/最低（元） 46.96/16.83 一年內股價相對走勢一年內股價相對走勢 馬群星 分析師 執業證書編號：S0590516080001 電話：0510-85613163 郵箱： 相關報告相關報告 請務必閱讀報告末頁的重要聲明 -50% 0% 50% 100% 150% 2019-03 滬深300至純科技 2 請務必閱讀報告末頁的重要聲明 公司深度研究公司深度研究 正文目錄正文目錄 1.1. 立足高純工藝，布局半導體清洗工藝立足高純工藝，布局半導體清

7、洗工藝 . . 4 4 1.1. 公司發展穩健，聚焦半導體產業 .4 1.2. 核心技術優勢明顯，成本控制能力領先 .5 1.3. 主營業務穩定，收入持續增長 .5 1.4. 公司股權穩定，適合長期發展 .7 2.2. 高純工藝系統穩居國內龍頭高純工藝系統穩居國內龍頭 . 8 8 2.1. 高純工藝系統簡介 .8 2.2. 至純科技高純工藝系統位居國內龍頭 . 10 2.3. 至純科技高純工藝的競爭優勢 . 12 3.3. 半導體設備空間廣闊，國產設備迎來機遇半導體設備空間廣闊，國產設備迎來機遇 . 1212 3.1. 半導體設備銷售快速增長，大陸市場占比提升 . 12 3.2. 設備國產化需

8、求強烈，全面國產化成大勢所趨 . 16 3.3. 至純科技抓住半導體機遇飛速發展 . 18 4.4. 清洗設備市場可期，國內企業加速布局清洗設備市場可期，國內企業加速布局 . 1919 4.1. 濕法工藝裝備簡介 . 19 4.2. 近兩年國內清洗設備市場空間超過 120 億元 . 21 4.3. 清洗設備產商集中，國外巨頭把控市場。 . 22 4.4. 大陸市場拉動需求，國內外企業加快布局 . 23 4.5. 投身裝備事業，布局濕法工藝 . 24 5.5. 收購波匯拓展業務布局，發揮協同效應收購波匯拓展業務布局，發揮協同效應 . 2626 5.1. 波匯科技光電技術領先，深耕于光傳感及核心光

9、電元器件領域 . 26 5.2. 收購波匯有利于發揮業務協同效應，提升產品價值，延伸產業鏈 . 30 6.6. 盈利預測盈利預測 . 3131 7.7. 風險提示風險提示 . 3131 圖表目錄圖表目錄 圖表圖表1：至純科技公司發展歷程至純科技公司發展歷程 .4 圖表圖表 2：公司近幾年研發支出（百萬元）：公司近幾年研發支出（百萬元） .5 圖表圖表 3：公司近幾年毛利率和凈利率：公司近幾年毛利率和凈利率 .5 圖表圖表 4：2018年至純科技主營業務收入占比年至純科技主營業務收入占比 .6 圖表圖表 5：公司主要產品：公司主要產品 .6 圖表圖表 6：2016-2018公司主營業務收入（百萬

10、元）公司主營業務收入（百萬元） .6 圖表圖表 7：公司近幾年營業收入及歸屬母公司股東的凈利潤：公司近幾年營業收入及歸屬母公司股東的凈利潤 .7 圖表圖表 8：至純科技公司控制權關系：至純科技公司控制權關系.7 圖表圖表 9：至純科技主要子公司：至純科技主要子公司.8 圖表圖表 10：高純工藝系統所處產業鏈：高純工藝系統所處產業鏈.9 圖表圖表 11：高純工藝下游應用行業區域分布：高純工藝下游應用行業區域分布 .9 圖表圖表 12：公司高純工藝系統業務：公司高純工藝系統業務 . 10 圖表圖表 13：公司高純氣體供應設備：公司高純氣體供應設備 . 11 圖表圖表 14：公司高純化學品輸送及調配

11、設備：公司高純化學品輸送及調配設備 . 11 圖表圖表 15：2014-2019年年H1中國集成電路產業銷售額統計及增長情況中國集成電路產業銷售額統計及增長情況 . 13 圖表圖表 16：2011-2019年集成電路進口情況年集成電路進口情況 . 14 圖表圖表 17：2011-2019年集成電路出口情況年集成電路出口情況 . 14 圖表圖表 18：全球半導體銷量統計情況（億顆）：全球半導體銷量統計情況（億顆）. 15 . 15 rQrOoOrNtOsMnPnMxPnMoN8ObP9PmOpPnPqQkPmMqNeRrRxPbRoOyRNZnPpRwMqMoR 3 請務必閱讀報告末頁的重要聲明

12、 公司深度研究公司深度研究 圖表圖表 20：中國半導體銷售額及增速：中國半導體銷售額及增速. 16 圖表圖表 21：全球半導體設備銷售地區結構：全球半導體設備銷售地區結構. 16 圖表圖表 22： 國家集成電路產業發展推進綱要部分保障措施： 國家集成電路產業發展推進綱要部分保障措施 . 17 圖表圖表 23：集成電路制造過程：集成電路制造過程 . 19 圖表圖表 24：清洗步驟次數與制程的關系：清洗步驟次數與制程的關系 . 20 圖表圖表 25：產線良率與工藝節點的關系：產線良率與工藝節點的關系 . 20 圖表圖表26：清洗工藝分類清洗工藝分類 . 20 圖表圖表 2727：批處理技術和單晶圓

13、清洗技術比較：批處理技術和單晶圓清洗技術比較 . 21 圖表圖表 28：國內清洗設備：國內清洗設備市場空間市場空間 . 22 圖表圖表 29：國內清洗設備市場空間測算（億美元）：國內清洗設備市場空間測算（億美元）. 22 圖表圖表30：半導體清洗設備全球市場份額半導體清洗設備全球市場份額 . 22 圖表圖表 31：半導體濕法清洗設備的主要應用環節：半導體濕法清洗設備的主要應用環節 . 23 圖表圖表32：Mujin半導體設備介紹半導體設備介紹. 23 圖表圖表 3333：清洗設備領域發展歷程：清洗設備領域發展歷程 . 24 圖表圖表 35：公司的槽式清洗設備參數：公司的槽式清洗設備參數. 25

14、 圖表圖表 36：公司單片式清洗設備參數：公司單片式清洗設備參數. 25 圖表圖表 37：公司的單片式濕法清洗：公司的單片式濕法清洗設備設備 . 26 圖表圖表 38：公司的槽式清洗設備：公司的槽式清洗設備 . 26 圖表圖表 39：波匯科技優勢：波匯科技優勢 . 27 圖表圖表 40：光纖傳感器行業發展概況：光纖傳感器行業發展概況. 28 圖表圖表41：光纖傳感產業上下游光纖傳感產業上下游. 28 圖表圖表 42：光模塊成本構成：光模塊成本構成 . 29 圖表圖表 43：光器件原件成本構成：光器件原件成本構成 . 29 圖表圖表 44：光通信行業上下游：光通信行業上下游 . 30 圖表圖表4

15、5：財務預測摘要：財務預測摘要 . 32 4 請務必閱讀報告末頁的重要聲明 公司深度研究公司深度研究 1. 立足高純工藝，布局半導體清洗工藝立足高純工藝，布局半導體清洗工藝 至純科技的主營業務主要包括高純工藝系統的設計、 加工制造和安裝； 半導體濕 法清洗設備研發、生產和銷售。 1.1. 公司發展穩健，聚焦半導體產業公司發展穩健，聚焦半導體產業 至純科技自成立以來主營業務和客戶結構的發展經歷了業務初創期、 設計成型期、 技術成熟期、業務穩定期、結構轉型期五個階段。 第一階段：業務初創期（2000-2005 年） 。在這一階段公司業務主要以工程分包 為主，業務規模小，客戶行業結構相當分散。 第二

16、階段：設計成型期（2005-2008 年） 。公司開始涉足高純工藝系統整體解決 方案領域，能夠自行設計并整體承接高純工藝系統業務。 第三階段：技術成熟期（2008-2011 年） 。在此階段公司加強了研發投入，成功 完成了多項高純工藝系統核心設備及相關控制軟件的研發， 將公司核心技術與工藝提 升至優秀水平。 第四階段：業務穩定期（2011-2016 年） 。公司業務能力和支持體系覆蓋多個下 游行業，盈利能力穩步提升。 第五階段：結構轉型期（2016-至今） 。隨著半導體行業規模的擴大，半導體設備 制造商對高純工藝需求迅速增長， 公司將重心移到半導體行業， 客戶結構覆蓋了目標 市場的主要行業，且

17、基本為各自行業的領軍企業或主要企業。 圖表圖表1：至純科技公司發展歷程至純科技公司發展歷程 來源：公司年報，國聯證券研究所 2018 公司完成了日本設計子公司的正常運行及提升；完成了啟東制造中心 6 萬 平米的建設， 濕法設備制造工廠投入使用； 公司控股子公司至微半導在合肥設立子公 2000年： 至純 科技成立 2000-2005 年：業務以工 程分包為主 2005-2008：確 立以高純工藝系 統整體解決方案 供應商為主營業 2008-2012 年：公司 業務以光伏產業發展 為驅動，躋身業內最 優秀的供應商之列 2012-2015 年：業務 穩定：以醫療產業發 展為驅動力 2016-2017

18、 年： 公司發展驅動力 以半導體為主 2017 年：公司成功 上市，進行半導體 裝備的開發 2017-2019 年：半導 體業務快速增長，在 啟東建立生產基地提 高半導體裝備產能 5 請務必閱讀報告末頁的重要聲明 公司深度研究公司深度研究 耗材領域，服務下游客戶生產期所需的耗材。 1.2. 核心技術優勢明顯，成本控制能力領先核心技術優勢明顯，成本控制能力領先 公司的成本控制能力較強，近幾年內毛利率變動較小，且維持在較高水平。 20152018 年公司平均毛利率達到 36.16%。 公司對于成本的有效控制主要得益于公 司擁有核心的技術能力， 并且公司已經完成了多項高純工藝系統核心設備及相關控制

19、軟件的研發，通過使用自制設備與軟件替代外購，有效降低了生產成本。 目前，至純科技公司擁有 243 項專利權，59 項核心技術，其中包括 36 項高純工 藝系統業務相關核心技術。 同時， 公司已成功完成了多項高純工藝系統核心設備及相 關控制軟件的研發，通過使用自制設備與軟件替代外購。公司工藝水平已能夠實現 ppb（十億分之一）級的不純物控制，獲得了客戶的廣泛認可。 公司的核心技術能力來源于公司持續的研發投入。公司近三年研發費用均超過 1000萬元， 2018年超過3000萬元。 2018年研發費用比2017年同期增加172.23%， 主要是至純科技在新業務板塊半導體濕法設備相關的研發投入。 1.

20、3. 主營業務穩定，收入持續增長主營業務穩定，收入持續增長 2018 年公司實現營業收入 6.74 億元、總資產 14.54 億元、歸屬于母公司所有者 權益 4.36 億元、實現營業利潤 3608.01 萬元、歸屬于母公司所有者凈利潤 3243.91 萬元、每股收益 0.155 元。 據 2019 年業績預增公告：2019 年度實現歸屬于上市公司股東的凈利潤在 11,200.00 萬元至 12,500.00 萬元之間，同比增長 245.26%至 285.34%；歸屬于上市 公司股東的扣除非經常性損益的凈利潤在 9,500.00 萬元至 10,800.00 萬元之間，同 比增長 230.84%至

21、 276.11%。 圖表圖表 2：公司近幾年研發支出（百萬元）：公司近幾年研發支出（百萬元） 圖表圖表 3：公司近幾年毛利率和凈利率：公司近幾年毛利率和凈利率 來源：公司年報，國聯證券研究所 來源：公司年報，國聯證券研究所 0% 1% 2% 3% 4% 5% 6% 0 5 10 15 20 25 30 35 40 2015201620172018 研發費用研發費用/營業收入 0% 5% 10% 15% 20% 25% 30% 35% 40% 45% 2015201620172018 毛利率凈利率 6 請務必閱讀報告末頁的重要聲明 公司深度研究公司深度研究 圖表圖表 6：2016-2018公司主

22、營業務收入（百萬元）公司主營業務收入（百萬元） 來源：公司年報，國聯證券研究所 0 50 100 150 200 250 300 350 400 450 500 醫藥及食品光伏 LED 半導體其他 201620172018 圖表圖表 4：2018年至純科技主營業務收入占比年至純科技主營業務收入占比 圖表圖表 5：公司主要產品：公司主要產品 來源：公司年報，國聯證券研究所 來源：公司年報，國聯證券研究所 醫藥及食品光伏LED半導體其他 至純科技 高純工藝系統 半導體濕法清洗設備 光傳感器及相關光學元器件 7 請務必閱讀報告末頁的重要聲明 公司深度研究公司深度研究 圖表圖表 7：公司近幾年營業收入

23、及歸屬母公司股東的凈利潤：公司近幾年營業收入及歸屬母公司股東的凈利潤 來源：公司年報，國聯證券研究所 1.4. 公司股權穩定，適合長期發展公司股權穩定，適合長期發展 圖表圖表 8：至純科技公司控制權關系：至純科技公司控制權關系 來源：公司公告，國聯證券研究所整理 蔣淵女士、陸龍英女士、尚純投資合計持有公司股份數量為 11,653.20 萬股，占 股本總額的 45.01%，系公司控股股東。其中，陸龍英女士系蔣淵女士的母親，尚純 投資系由陸龍英女士控制并擔任執行事務合伙人的有限合伙企業。 蔣淵女士直接持有 公司 29.36%的股份，且擔任公司董事長、總經理，系公司實際控制人。 0 1,000 2,

24、000 3,000 4,000 5,000 6,000 0 1 2 3 4 5 6 7 8 20142015201620172018 營業收入（億元）歸屬母公司股東的凈利潤（萬元） 蔣 淵 陸 龍 英 尚純 投資 上海至純潔凈系統科技股份有限公司 99.00% 29.36% 10.76% 4.89% 8 請務必閱讀報告末頁的重要聲明 公司深度研究公司深度研究 圖表圖表 9：至純科技主要子公司：至純科技主要子公司 來源：公司招股說明書，國聯證券研究所整理 為了公司長期發展， 至純科技投資至微半導體和啟微半導體設備， 并 100%控股， 著力發展半導體業務，為公司全面轉型半導體奠定基礎。 2. 高

25、純工藝系統穩居國內龍頭高純工藝系統穩居國內龍頭 2.1. 高純工藝系統簡介高純工藝系統簡介 高純工藝系統與廠務動力系統、 尾氣廢液處理系統共同構成了工業企業的廠務系 統， 為工業企業的核心工藝設備運轉提供支持。 高純工藝系統可以滿足生產工藝的純 度要求，能夠將制程所需的高純介質，如特殊氣體、化學品、液體等從源頭穩定地傳 輸至終端設備，同時保證高純介質避免二次污染。隨著泛半導體、生物醫藥等先進制 造業的發展， 生產工藝流程中對制程進行微污染控制變得愈發重要， 高純工藝系統行 業應運而生。在應用領域上，高純工藝系統的使用范圍越來越廣，目前主要用于泛半 導體產業、光纖、生物制藥和食品飲料行業，通過控

26、制高純工藝介質的純度，以實現 其制程精度要求，保障并提升產品良率。 上海至純潔凈系統科技股份有限公司 諾 同 電 子 至 礫 機 電 馭 航 信 息 至 淵 科 技 KOREA PNC 啟 微 半 導 體 至 純 工 程 技 術 至 微 半 導 體 至 純 株 式 會 社 琺 成 制 藥 波 匯 科 技 9 請務必閱讀報告末頁的重要聲明 公司深度研究公司深度研究 圖表圖表 10：高純工藝系統所處產業鏈：高純工藝系統所處產業鏈 來源：公司公告，國聯證券研究所整理 高純工藝主要應用于泛半導體（集成電路、平板顯示、光伏、LED 等） 、光纖、 生物制藥等高科技領域。 作為上述制造業生產工藝過程的核心

27、組成部分， 高純工藝系 統均是建立在客戶的生產基地， 因此高純工藝系統行業的區域性主要取決于上述制造 業生產基地即客戶的區域分布。目前下游應用行業的區域分布如下表所示： 圖表圖表 11：高純工藝下游應用行業區域分布：高純工藝下游應用行業區域分布 下游應用行業 區域分布情況 半導體 已初步形成以長三角、環渤海、珠三角三大核心區域聚集發展的產業空間格局 LCD 主要分布在珠三角、長三角、環渤海地區、西部開發區和海西經濟區。 光伏 以西部省份青海、內蒙古、寧夏、陜西為代表的光照和資源優勢發展的多晶硅 和 光伏電站集群；以西南四川為代表的以電力和科研院優勢發展的多晶硅產業 聚集 區；以華中省份河北、河

28、南和湖南為代表的人才和科研優勢發展的組件和 設備集 群；以長三角地區江蘇和江西為代表的技術、資金和配套優勢發展的光 伏全產業 鏈集群 LED 從產業集群來看，中國 LED 產業形成了珠江三角洲、長江三角洲、環渤海地 區、閩贛地區和兩湖一帶等中西部地區五大區域，85%以上的 LED 企業分布在 這五個區域，每個區域形成比較完整的產業鏈，市場規模增長較為迅速 光纖 地域性特征不明顯。電信運營商一般采用集中招標的方式采購光纖光纜產品，其網 絡規劃與布局覆蓋全國各省市，故本行業沒有明顯的地域性特征 10 請務必閱讀報告末頁的重要聲明 公司深度研究公司深度研究 生物制藥 已初步形成以長三角、環渤海為核心

29、，珠三角、東北等中東部地區快速發展的 產 業空間格局。此外，中部地區的河南、湖北，西部地區的四川、重慶也已經 具備 良好的產業基礎 來源：公司公告，國聯證券研究所 2.2. 至純科技至純科技高純工藝系統高純工藝系統位居位居國內龍頭國內龍頭 目前， 國內高純工藝系統行業內的企業在數量上以小規模供應商為主。 這些供應 商由于設計、 生產水平較低， 業務范圍以系統安裝、 配套工程服務中的勞務分包為主， 無法為客戶提供整體解決方案， 年營業收入一般低于 2,000 萬。 而至純科技的業務已 經涵蓋高純工藝系統及設備的設計、生產、安裝調試，配套工程服務及系統維護與檢 測、廠務托管的全過程。公司這類本土的

30、具有設計、生產、服務能力的供應商數量較 少，但市場占有率持續提升，市場集中度不斷提高。國內與公司經營模式完全相同或 基本覆蓋公司業務范圍的公司較少。公司為國內高純工藝系統龍頭企業。 至純科技所處行業在我國系新興細分行業， 國內尚未成立統一的行業協會， 市場 上可獲得的行業公開數據不充分， 對行業內主要企業的市場占有率等數據缺乏權威的 第三方統計資料。公司行業內技術領先，競爭地位不斷增強，具有承接大項目實力與 經驗， 已經順利進入集成電路一線客戶， 確立了公司在國內高純工藝領域的龍頭地位。 圖表圖表 12：公司高純工藝系統業務：公司高純工藝系統業務 來源：公司年報，國聯證券研究所 高純工藝系統行

31、業的市場需求主要來自泛半導體產業的集成電路、 平板顯示、 光 伏、LED 行業以及光纖、生物制藥、食品飲料等行業。高純工藝系統是相關制造業企 業固定資產投資的重要組成部分，約占其固定資產投資總額的 5%-8%，相關制造業 企業的產能擴張與技術改造需求是本行業需求的主要源泉。 至純作為在高純工藝系統業內具有獨特競爭優勢的公司， 在細分市場具有較強競 2018 11 請務必閱讀報告末頁的重要聲明 公司深度研究公司深度研究 年收入 6.74 億元，較去年同期 3.69 億元增長 82.64%，主要是隨著國家半導體產業 戰略的逐步落地、公司下游先進制造行業固定資產投資需求的持續增長, 公司半導體 業務

32、較去年同期增長較多。 圖表圖表 13：公司高純氣體供應設備：公司高純氣體供應設備 來源：公司官網，國聯證券研究所 圖表圖表 14：公司高純化學品輸送及調配設備：公司高純化學品輸送及調配設備 來源：公司官網，國聯證券研究所 12 請務必閱讀報告末頁的重要聲明 公司深度研究公司深度研究 2.3. 至純科技高純工藝的競爭優勢至純科技高純工藝的競爭優勢 核心技術與工藝達到優秀水平核心技術與工藝達到優秀水平 至純科技公司擁有 243 項專利權，59 項核心技術，其中包括 36 項高純工藝系 統業務相關核心技術。 同時， 公司已成功完成了多項高純工藝系統核心設備及相關控 制軟件的研發， 通過使用自制設備與

33、軟件替代外購。 公司工藝水平已能夠實現 ppb （十 億分之一）級的不純物控制，獲得了客戶的廣泛認可。 精準設計與有效質控 至純科技一直專注于滿足高端制造業客戶不斷提升的制程精度要求， 緊密跟蹤下 游各主要行業新技術、新工藝對于高純工藝系統的新要求。同時，公司注重對客戶的 持續服務與溝通， 不斷加深對客戶工藝要求的理解。 在長期持續研究與大量設計實踐 基礎上， 公司的設計團隊能夠根據不同行業/客戶的不同工藝， 實現快速、 精準設計， 充分滿足客戶需求。 公司深刻認識到高純工藝系統質量對于客戶產品良率的重要影響， 在設備制造與工程安裝全過程都制定了嚴密的質量控制體系。2012 年，公司獲得了 EHS 管理體系認證，反映公司在環保、健康、安全方面能較好地履行責任并達到國 際水平。EHS 管理體系已在很多大型跨國公司廣泛建立，并成為其遴選供應商的重 要標準。 豐富穩定的客戶資源 高純工藝系統對客戶的制程精度與產品良率至關重要， 客戶一般傾向于選擇有良 好合作基礎或經驗豐富的供應商?；诠臼嗄昵诿?、誠