電力設備新能源行業光伏新技術系列（一）：成結、鍍膜、金屬化探究電池技術進步的本質-230411（141頁）.pdf

1、 敬請參閱最后一頁特別聲明-1-證券研究報告 2023 年 4 月 11 日 行業行業研究研究 成結、鍍膜、金屬化：探究電池技術進步的本質成結、鍍膜、金屬化：探究電池技術進步的本質 光伏新技術系列（一）電力設備新能源電力設備新能源 從底層工藝出發，從底層工藝出發，探究電池技術進步的本質探究電池技術進步的本質。盡管光伏電池技術路線不斷迭代，效率不斷提升，但基于晶硅電池的基本原理和核心工序并未改變。即清洗制絨、擴散制結、鈍化鍍膜、金屬化四大步驟。本篇報告力圖跳出對 PERC、TOPCon、HJT 等光伏電池技術的分類討論，而是從底層技術出發，透視光伏電池技術進步的本質。摻雜與成結摻雜與成結，熱場與

2、氣場的矛盾調和，熱場與氣場的矛盾調和。同質結電池：擴散是主要的摻雜手段，并由此衍生出磷擴與硼擴。由于發射極與非發射極區對摻雜濃度的要求不同，衍生出 SE（選擇性發射極）技術。異質結電池：由沉積方法實現摻雜。非成結摻雜：摻雜工藝除了可以形成 P-N 結之外，還被用作高低結。擴散爐：要解決均勻性問題，核心是氣場與熱場的均勻。大尺寸趨勢催生水平放片和多段進氣。鈍化鈍化是提效是提效關鍵關鍵，鍍膜工藝鍍膜工藝的關鍵的關鍵：致密性、均勻性、厚度：致密性、均勻性、厚度。要逼近極限效率，必須解決光學損失和電學損失。鈍化則是有效應對載流子復合的關鍵。PERC：Al2O3發揮關鍵作用；TOPCon：氧化硅（隧穿氧

3、化層）+多晶硅；HJT：（氫化）非晶硅。從 BSF 的面接觸到 PERC 的線接觸，再到 TOPCon 和 HJT 的鈍化接觸，鈍化層進步起到關鍵作用。我們預計 2025 年 TOPCon、HJT 產能分別達到790/200GW，帶動整線設備需求 420/250 億元。不同的設備和工藝影響鍍膜質量，從而決定最佳膜層厚度。鍍膜質量則取決于三個要素：氣場、熱場、電場。TOPCon：看好 PECVD 與原位摻雜、一次硼擴；HJT：線性串聯式設備、I-IN-P鍍膜順序具備優勢，腔體與腔室的路線之爭各有優劣，看好邁為多腔體路線。金屬化與電池進步金屬化與電池進步：工藝與材料的耦合。工藝與材料的耦合。從 P

4、ERC 到 TOPCon，雙面化和銀鋁漿線寬導致銀耗增大；從 PERC 到 HJT，低溫工藝引發較大阻礙。低溫固化、樹脂殘留先天弱化了低溫銀漿的導電性能，電鍍銅可能是終極方案。中短期內，銀包銅+0BB 可能成為主流過渡路線。銀漿國產化順利推進，銀粉國產化迫在眉睫。展望 2025 年，高溫銀漿需求量超 6895 噸，低溫銀漿需求量 1181 噸。當前時點：當前時點：TOPConTOPCon 步入放量期，步入放量期，HJTHJT 曙光初現，天花板高。曙光初現，天花板高。TOPCon 的弱點在正面鈍化，提效路線為：SE、薄 poly、正面 poly；HJT 的弱點在正面光學寄生吸收，微晶化首當其沖，

5、其次是金屬化降本。從電池效率提升難度來看，SE+薄 poly 助力 TOPCon 效率進一步提升。HJT 最新記錄 26.81%，天花板更高。因此中期維度 TOPCon 將放量，長期維度 HJT 具備優勢。沿著功率曲線，尋找用武之地沿著功率曲線，尋找用武之地。激光的應用是平臺技術，基于激光功率和物質形變，依次為光注入、SE、開槽/消融、激光轉印、無損劃片、打孔。投資建議：投資建議：規?；?、技術進步、降本互相交織，推動光伏電池效率向極限進發。我們認為，光伏電池效率的提升有望帶來產業的新一輪增長，同時為設備端、制造端、材料端帶來超額回報。短期內 TOPCon 已走向成熟，并在 SE 技術下效率進一

6、步提升；2023-24 年，HJT 各降本路徑有望取得階段性進展并迎來平價拐點。重點推薦：重點推薦：捷佳偉創、邁為股份、帝爾激光、奧特維、英杰電氣、橫店東磁、鈞達股份、賽伍技術。建議關注：帝科股份、聚和材料、金辰股份、海目星、蘇州固锝、東威科技、芯碁微裝。風險分析：風險分析：上網電價政策風險、技術進步與提效低于預期、投資與產能過剩風險。買入買入（維持）（維持）作者作者 分析師：殷中樞分析師：殷中樞 執業證書編號：S0930518040004 010-58452071 分析師：黃帥斌分析師：黃帥斌 執業證書編號：S0930520080005 0755-23915357 分析師：郝騫分析師：郝騫

7、執業證書編號：S0930520050001 021-52523827 行業與滬深行業與滬深 300300 指數對比圖指數對比圖 資料來源：Wind 相關研報相關研報 電池技術：引領下一階段光伏提效、降本（2022-05-11）-30%-19%-8%2%13%03/2206/2208/2212/22電力設備新能源滬深300要點要點 敬請參閱最后一頁特別聲明-2-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 投資聚焦投資聚焦 從 2022 年開始，光伏電池技術加速從 P 型向 N 型過渡。TOPCon 和 HJT 作為兩大熱門路線，不僅引發了業界關注，形成了兩大陣營，也正在對產業鏈上下游產生一系列影

8、響。本篇報告試圖回答以下幾個問題：1）光伏電池技術進步的本質；2）擴散、鍍膜設備的核心原理和工藝要點；3）金屬化工藝與材料的互相耦合與不同電池技術路線的方案選擇；4）激光作為一種平臺技術，基于功率和物質形變的應用場景。我們區別于市場的觀點我們區別于市場的觀點 1 1）創新）創新研究研究框架?？蚣?。對于光伏技術的解析，市場普遍采用自下而上的方法，分路線介紹 PERC、TOPCon 和 HJT，而缺乏對技術普適性的理解。我們認為，基于晶硅電池的制結、鈍化、金屬化工藝并未改變，我們從基本工序出發，透視光伏電池技術進步的本質。2 2）深入揭示工藝原理。）深入揭示工藝原理。市場對光伏技術的理解往往停留在

9、表觀層面，我們通過文獻研究與學習，揭示了擴散制結中熱場與氣場的矛盾調和，探討了真空鍍膜中熱場、氣場、電場對成膜質量的影響，以及成膜厚度與均勻致密性的關聯，并對金屬化工藝和材料的耦合做了梳理。3 3）基于）基于功率和物質形變的激光應用場景。功率和物質形變的激光應用場景。激光在光伏電池制造中應用廣泛，市場普遍按不同的電池路線進行區分，而忽視了底層工藝的穩定。我們按照激光功率大小與其造成的物質形變為參照，探討了激光在照射、加熱、融化、氣化、分解等作用下，分別形成的光注入、SE、開槽、轉印、劃片、打孔等功能。股價上漲的催化因素股價上漲的催化因素 1）光伏新技術取得階段性突破。本輪光伏技術進步由國內設備

10、商主導，技術進步有望為下游制造商帶來超額收益，繼而帶動企業資本開支。若光伏技術提效降本取得階段性突破，則有望打開下游應用市場，提高新技術擴產預期，繼而對設備商股價形成催化。2）光伏新技術產出端放量。TOPCon 和 HJT 組件具備高效、低衰減、低溫度系數等優點，一旦降本進程跨過臨界點，下游產出有望迅速放量，從而帶動相關產業鏈配套產品，如組件、電池、銀漿、膠膜、以及銅金屬化等。投資觀點投資觀點 規?；?、技術進步、降本互相交織，推動光伏電池效率向極限進發。技術方面日拱一卒，不斷創造新的世界紀錄，產業鏈方面逐步成熟，適應 N 型技術的主輔材走向規?；?。我們認為，光伏電池效率的提升有望帶來產業的新一

11、輪增長，同時為設備端、制造端、材料端帶來超額回報。短期內，TOPCon 已走向成熟，并在 SE 技術下效率進一步提升；2023-24 年，HJT 在各降本路徑有望取得階段性進展并迎來平價拐點。重點推薦：重點推薦：捷佳偉創、邁為股份、帝爾激光、奧特維、英杰電氣、橫店東磁、鈞達股份、賽伍技術。建議關注：帝科股份、聚和材料、金辰股份、海目星、蘇州固锝、東威科技、芯碁微裝。敬請參閱最后一頁特別聲明-3-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 目目 錄錄 1、晶硅電池的基本原理與核心工序晶硅電池的基本原理與核心工序 .1212 2、摻雜摻雜與成結：光伏電池的與成結：光伏電池的“心臟心臟”.1414

12、2.1、同質結：磷擴與硼擴.16 2.2、同質結：SE.19 2.3、異質結：摻雜與非摻雜.20 2.4、非成結摻雜.21 2.5、擴散爐.22 3、鈍化：提效的關鍵鈍化：提效的關鍵 .2424 3.1、鈍化：有效減少復合.25 3.2、鈍化層的選擇，決定了電池路徑.27 3.3、鈍化接觸：高效路線的本質.31 4、光伏鍍膜工藝：致密性、均勻性、厚度光伏鍍膜工藝：致密性、均勻性、厚度 .3535 4.1、真空鍍膜工藝總覽.37 4.2、TOPCon 鍍膜設備.40 4.2.1、鍍膜的質量與厚度.42 4.2.2、趨勢：LP 與 PE 路線.45 4.3、HJT 鍍膜設備.50 4.3.1、鍍膜

13、的質量與厚度.50 4.3.2、趨勢：腔室、鍍膜順序.53 5、先進電池進步的思路與方向先進電池進步的思路與方向 .5858 5.1、TOPCon：主要缺口來自前表面.58 5.2、HJT：完美鈍化，主要缺口來自光學損失.60 6、金屬化與電池進步金屬化與電池進步 .6464 6.1、金屬化之材料：漿料區別與改進路線.68 6.1.1、高溫漿料：從 PERC 漿料到 TOPCon 銀漿.69 6.1.2、低溫漿料與銀包銅.72 6.1.3、銀漿與銀粉國產化.76 6.2、金屬化之工藝：接觸式與非接觸式.80 6.2.1、接觸式.80 6.2.2、非接觸式.84 7、激光的應用：沿著功率曲線，尋

14、找用武之地激光的應用：沿著功率曲線，尋找用武之地 .9393 8、當前時點：當前時點：TOPCon 擴產具備確定性，擴產具備確定性，HJT 到了降本關鍵節點到了降本關鍵節點 .9898 9、相關標的梳理相關標的梳理 .100100 9.1、捷佳偉創.101 9.2、邁為股份.102 9.3、奧特維.104 9.4、帝爾激光.110 9.5、鈞達股份.111 9.6、英杰電氣.115 9.7、橫店東磁.119 9.8、賽伍技術.123 9.9、帝科股份.128 9.10、聚和材料.129 9.11、金辰股份.132 9.12、海目星.133 9.13、蘇州晶銀.135 敬請參閱最后一頁特別聲明-

15、4-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 9.14、微導納米.135 9.15、理想萬里暉.136 9.16、鈞石能源.137 9.17、拉普拉斯.138 10、風險分析風險分析 .139139 敬請參閱最后一頁特別聲明-5-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 圖目錄圖目錄 圖 1：光伏電池分類.12 圖 2：組件價格與累計出貨量的關系.12 圖 3：光伏不同技術的轉化效率及未來前景.12 圖 4：產業化太陽能電池技術發展歷程.13 圖 5：按照 P-N 結對光伏電池進行分類.14 圖 6：空穴與電子示意圖.14 圖 7：內建電場示意圖.14 圖 8：表面鈍化能夠增加同一位置下載

16、流子被收集的概率.15 圖 9：P-N 結雜質濃度分布.16 圖 10：擴散高低方阻的區別以及對電池片的影響.16 圖 11：低壓硼擴散原理圖.16 圖 12：硼擴與磷擴原理.17 圖 13：雜質在硅材料中的固溶度.17 圖 14：硼擴與磷擴工藝區別.17 圖 15：硼擴的兩種路線.18 圖 16：硼擴散的技術路線預測.18 圖 17：SE 原理圖.19 圖 18：異質結電池基本結構.20 圖 19：備選的空穴及電子傳輸層材料能帶結構圖.21 圖 20：TOPCon 電池中的 P-N 結與高低結.21 圖 21：HJT 電池中的 P-N 結與高低結.21 圖 22：垂直放片與水平放片.22 圖

17、 23：類 PE 順向放片.23 圖 24：LPCVD 多段進氣.23 圖 25：AM 1.5G（地表光譜輻照度）太陽光譜下能夠被硅吸收的部分.24 圖 26：太陽能電池的效率損失機理.24 圖 27：晶體硅太陽電池中四種復合過程.25 圖 28：晶體缺陷引起晶格局部彈性變形稱晶格畸變.26 圖 29：懸掛鍵示意圖.26 圖 30：晶硅太陽能電池的鈍化.26 圖 31：不同光伏電池的鈍化層組合.27 圖 32：不同電池模型的理論最大效率.28 圖 33：不同的鈍化介質會的鈍化界面特性.28 圖 34：不同電池模型的理論最大效率（隆基）.28 圖 35：PERC 電池結構.29 圖 36：不同鈍

18、化介質會的鈍化界面特性.29 圖 37：Al2O3 鈍化界面.29 圖 38：HJT 電池鈍化機理.30 圖 39：TOPCon 電池鈍化機理.31 敬請參閱最后一頁特別聲明-6-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 圖 40：鋁背場電池結構.31 圖 41：PERC 電池結構.31 圖 42：鈍化接觸原理.32 圖 43：不同隧穿層材料的鈍化特性.32 圖 44：不同隧穿層材料的鈍化特性.32 圖 45：TOPCon、HJT 的鈍化結構.33 圖 46：TOPCon 與 PERC 的背面電流示意圖.33 圖 47：不同電池路線的開路電壓.33 圖 48：PERC、TOPCon、HJT

19、的開路電壓、短路電流、效率對比.34 圖 49：光伏鍍膜工藝的要點.35 圖 50：氣場示意圖（LPCVD）.35 圖 51：熱場示意圖（LPCVD）.36 圖 52：PECVD（電場）.36 圖 53：薄膜沉積設備技術分類.38 圖 54：PERC、TOPCon、HJT 電池中鍍膜工序.39 圖 55：TOPCon 電池正面采用 Al2O3鈍化.42 圖 56：Al2O3薄膜制備方法.42 圖 57：氧化鋁沉積技術對比.43 圖 58：ALD 沉積氧化鋁由兩個自限半反應組成.43 圖 59：PERC 電池背鈍化技術市場占比.43 圖 60：載流子隧穿機制.44 圖 61：過薄的多晶硅層會導致

20、金屬漿料燒穿.44 圖 62：背表面多晶硅薄膜減薄有助于提升電池效率.44 圖 63：背表面多晶硅薄膜寄生吸收原理.44 圖 64：背表面多晶硅薄膜厚度下降趨勢預測.45 圖 65：關鍵結構的制程選擇.45 圖 66：LPCVD 和 PECVD 鍍膜優劣勢對比.46 圖 67：制備工藝.47 圖 68：原位摻雜與非原位摻雜市占率.47 圖 69：不同的鍍膜技術路線市占率.47 圖 70：優化涂層與加工工藝可延長石英管壽命.48 圖 71：PECVD（石墨舟）.48 圖 72：LPCVD（石英舟）.48 圖 73：管式 PECVD 與板式 PECVD 的區別.49 圖 74：常見的 TCO 材料

21、.51 圖 75：不同產線構型示意圖.53 圖 76：線性串聯式（鈞石）.54 圖 77：團簇并聯式（AM）.54 圖 78：線性并聯式（MB）.54 圖 79：IN-IP 鍍膜順序.55 圖 80：I-IN-P 鍍膜順序.55 敬請參閱最后一頁特別聲明-7-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 圖 81：多個腔室鍍制一層同性質薄膜示意圖.56 圖 82：各家設備公司路線選擇.56 圖 83：鈞石能源設備特點.57 圖 84：鈞石能源關鍵改進.57 圖 85：理想萬里暉設備特點.57 圖 86：理想萬里暉關鍵改進.57 圖 87：邁為設備示意圖.57 圖 88：邁為設備特點.57 圖 8

22、9：n-TOPCon 電池模擬及損失分析.58 圖 90：TOPCon 電池效率提升路線圖.59 圖 91：正表面全鈍化接觸.59 圖 92：正表面局部鈍化接觸.59 圖 93：HJT 電池電學損失分析.60 圖 94：a-Si:H、c-Si:H 和 c-Si 的光吸收.60 圖 95：微晶硅可減少非晶硅的寄生吸收.60 圖 96：微晶硅的形成需要更高的稀釋率.61 圖 97：稀釋率提高后沉積速率變慢.61 圖 98：VHF 在微晶硅沉積中的技術優勢.61 圖 99：金屬化與鈍化鍍膜的接觸與配合.64 圖 100：金屬化漿料設計要點.64 圖 101：全鋁背場電向 PERC 電池的進步.65

23、圖 102：中潤光能 157 多晶單面太陽能電池.65 圖 103：愛旭 PERC 電池.66 圖 104：一道 182N 型 TOPCon 電池.66 圖 105：華晟 M6-12BB 異質結電池.67 圖 106：金屬化材料與工藝.67 圖 107：電池片銀耗趨勢（182，前+后表面）.68 圖 108：電池片銀耗趨勢（M6+M10 平均）.68 圖 109：前表面金屬化.68 圖 110：正面印刷工藝.68 圖 111：正面細柵寬度.68 圖 112：主柵路線（M10）.68 圖 113：PERC 細柵漿料印刷路線.69 圖 114：從 PERC 電池到 TOPCon 電池結構變化.69

24、 圖 115：TOPCon 銀漿組合（賀利氏）.70 圖 116：TOPCon 銀漿組合（帝科）.70 圖 117：TOPCon 銀漿組合（聚和新材）.70 圖 118：背面細柵需控制燒穿深度.71 圖 119：正面細柵需控制銀鋁尖刺.71 圖 120：光伏電池表面接觸機理.71 圖 121：低溫銀漿基本構成及要求.72 敬請參閱最后一頁特別聲明-8-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 圖 122：高低溫銀漿電極對比.72 圖 123：片狀銀粉+球狀銀粉復配有助于提高銀粉間接觸面積.72 圖 124：低溫銀漿印刷較低.73 圖 125：化學鍍銀包銅粉示意圖.73 圖 126：銀包銅粉制

25、備關鍵技術.73 圖 127：銀包銅制備技術路線.74 圖 128：銀包銅粉制備工藝流程.74 圖 129：異質結電池銀耗降低路線.76 圖 130：光伏銀漿制備工藝.76 圖 131：聚和材料原材料采購.76 圖 132：帝科股份原材料采購.76 圖 133：銀粉的分類及功能.77 圖 134：國產正面銀漿市占率.78 圖 135：各類銀漿國產化率.78 圖 136：聚和材料銀粉采購（2021 年）.79 圖 137：帝科股份銀粉采購（2019 年）.79 圖 138：絲網印刷示意圖.80 圖 139：絲網印刷機.80 圖 140：分步印刷和兩次印刷原理.81 圖 141：MBB 技術縮短電

26、流收集路徑.82 圖 142：MBB 技術對電池片隱裂容忍度更高.82 圖 143：圓形焊帶的光學優勢.82 圖 144：SMBB 技術可以縮短電流傳導距離，降低電阻.82 圖 145：華晟 15BB 半片 N 型異質結電池（G12）.82 圖 146：主柵數量增加，收集路徑和主柵寬度降低.83 圖 147：主柵數量增加，串聯電阻降低，電池功率提升.83 圖 148：網版結構差異.84 圖 149：激光轉印過程示意圖.85 圖 150：不同激光功率下激光轉印過程.85 圖 151：無主柵技術.85 圖 152：圓絲銅線有效減少遮光.86 圖 153：主柵數量呈上升趨勢.86 圖 154：銦錫層

27、與銀形成接觸.86 圖 155：SWCT 技術可實現低溫熔融接觸.86 圖 156：SWCT 技術縮短電流收集路徑.87 圖 157：SWCT 技術對電池片隱裂容忍度更高.87 圖 158：SWCT 技術可實現更小應力.87 圖 159：銅電鍍工藝流程.88 圖 160：鍍銅可以實現更好的接觸.89 圖 161：優化設計的電鍍電池與絲印電池比較.90 圖 162：退火對銅金屬化電池外量子效率 EQE 的影響.90 敬請參閱最后一頁特別聲明-9-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 圖 163：不同功率激光在光伏領域應用.93 圖 164：光注入增效原理.93 圖 165：異質結太陽電池交

28、替光注入后效率變化.94 圖 166：光注入設備.94 圖 167：雙面單晶硅 PERC 電池截面結構示意圖.95 圖 168：電池片背部激光開槽圖案設計.95 圖 169：HBC 工藝步驟.95 圖 170：激光用于激光轉印的轉移過程.96 圖 171：激光劃片工藝分類.96 圖 172：光伏電池多分片趨勢（M10 尺寸）.96 圖 173：有損與無損激光劃片.97 圖 174：冷卻法與直接法無損劃片.97 圖 175：MWT 原理.97 圖 176：光伏玻璃打孔原理.97 圖 177：電池新技術投資的三個階段.98 圖 178：捷佳偉創發展歷程.101 圖 179：邁為股份發展歷程.103

29、 圖 180：奧特維發展歷程.104 圖 181：奧特維產品布局.105 圖 182：奧特維營收情況.105 圖 183：奧特維歸母凈利潤情況.105 圖 184：奧特維分部業務營收.106 圖 185：奧特維分部業務毛利率.106 圖 186：帝爾激光發展歷程.110 圖 187：捷泰科技發展歷程.112 圖 188：鈞達股份營收情況.112 圖 189：鈞達股份歸母凈利潤情況.112 圖 190：英杰電氣發展歷程.115 圖 191：英杰電氣營收情況.115 圖 192：英杰電氣歸母凈利潤情況.115 圖 193：英杰電氣分部營收（按應用領域）.116 圖 194：英杰電氣分部營收（按產品

30、）.116 圖 195：橫店東磁營收情況.119 圖 196：橫店東磁歸母凈利潤情況.119 圖 197：橫店東磁分部業務營收.120 圖 198：橫店東磁分部業務毛利率.120 圖 199：賽伍技術發展歷程.123 圖 200：賽伍技術營收情況.123 圖 201：賽伍技術歸母凈利潤情況.123 圖 202：賽伍技術分部業務營收.124 圖 203：賽伍技術膠膜與背板銷量（萬平米）.124 敬請參閱最后一頁特別聲明-10-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 圖 204：帝科股份 TOPCon 金屬化方案.128 圖 205：帝科股份 HJT 金屬化方案.128 圖 206：聚和材料發

31、展歷程.129 圖 207：聚和材料產品、客戶、研發體系.130 圖 208：聚和材料 TOPCon 金屬化方案.130 圖 209：聚和材料 TOPCon 電池用銀漿性能指標.130 圖 210：金辰股份電池片設備發展歷程.132 圖 211：金辰股份在 TOPCon 電池設備領域的布局.132 圖 212：海目星業務布局.133 圖 213：海目星在光伏領域產品布局.134 圖 214：微導納米發展歷程.136 圖 215：理想萬里暉發展歷程.137 圖 216：理想萬里暉客戶基礎.137 圖 217：鈞石能源發展歷程.138 圖 218：鈞石能源 PECVD 設備特點.138 圖 219

32、：鈞石能源提供異質結整線裝備.138 圖 220：拉普拉斯發展歷程.139 圖 221：拉普拉斯主要產品設備.139 表目錄表目錄 表 1：硼擴 SE 不同路線對比.20 表 2：硼擴 SE 各路線效率潛力分析.20 表 3：各種鈍化介質特性.27 表 4：真空表面處理技術的分類.37 表 5：薄膜沉積技術對比.38 表 6：常見的薄膜生成原理.39 表 7：TOPCon 技術路線對比.40 表 8：不同廠家的設備參數對比.40 表 9：TOPCon 擴產廠商設備選擇.41 表 10：LPCVD 和 PECVD 鍍膜特性.46 表 11：HJT CVD 路線參考.50 表 12：HJT TCO

33、 制備路線參考.51 表 13：不同廠家的設備參數對比.52 表 14：HJT 擴產廠商設備選擇.52 表 15：不同設備廠家的產線構型.54 表 16：光伏電池需求與擴產.62 表 17：HJT 與 TOPCon 設備市場空間.63 表 18：異質結漿料與高溫正銀差異.72 表 19：銀包銅漿料性能指標.75 表 20：銀包銅漿料測試結果.75 敬請參閱最后一頁特別聲明-11-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 表 21：銀包銅電池（背面副柵）組件 CTM 數據.75 表 22：銀漿與銀粉的國產化情況.78 表 23：全球主要銀粉廠家.79 表 24：全球主要銀粉廠家產品性能.80

34、表 25：銅電鍍領域各公司進度.89 表 26：銅電鍍和絲印銀漿電池效率對比.90 表 27：金屬化設備市場空間.90 表 28：金屬化漿料市場空間.91 表 29：組件環節設備市場空間.92 表 30：設備公司 TOPCon 激光 SE 研發進展.94 表 31：各類電池成本拆分.99 表 32：TOPCon 電池設備重點國內廠家.100 表 33：HJT 電池設備重點國內廠家.100 表 34：捷佳偉創盈利預測與估值簡表.102 表 35：邁為股份盈利預測與估值簡表.104 表 36：奧特維營業收入盈利預測表.108 表 37：可比公司估值比較.109 表 38：奧特維業績預測和估值指標.

35、109 表 39：帝爾激光盈利預測與估值簡表.111 表 40：鈞達股份產能及出貨量預測.113 表 41：鈞達股份營業收入盈利預測表.114 表 42：可比公司估值比較.114 表 43：鈞達股份業績預測和估值指標.114 表 44：英杰電氣營業收入盈利預測表.117 表 45：可比公司估值比較.118 表 46：英杰電氣業績預測和估值指標.118 表 47：橫店東磁產能預測.120 表 48：橫店東磁營業收入盈利預測表.121 表 49：可比公司估值比較.122 表 50：橫店東磁業績預測和估值指標.122 表 51：賽伍技術背板、膠膜出貨量預測.125 表 52：賽伍技術營業收入盈利預測

36、表.127 表 53：可比公司估值比較.127 表 54：賽伍技術業績預測和估值指標.128 表 55：光伏正面銀漿銷售體量同業對比.130 表 56：聚和材料各電池路線銀漿銷售.131 表 57：銀漿企業專利情況對比.131 表 58：海目星在光伏領域研發項目.135 表 59：微導納米光伏設備產品.136 表 60：行業重點上市公司盈利預測、估值與評級.140 敬請參閱最后一頁特別聲明-12-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 1 1、晶硅電池的基本原理與核心工序晶硅電池的基本原理與核心工序 全球光伏電池市場以晶硅電池占據主導地位。據 CPIA 數據，2021 年全球晶硅電池市場占

37、有率為 96.2%，同比提升了 0.2 個百分點。圖圖 1 1：光伏電池分類光伏電池分類 資料來源：靳瑞敏新型太陽電池：材料器件應用、光大證券研究所 晶硅電池的提效降本是光伏行業發展的關鍵，規?；?、技術進步、成本降低三者互相促進。從最初規?；慨a的鋁背場電池，到 PERC（發射極鈍化和背面接觸），再到 HJT（本征非晶層的異質結）電池和 TOPCon（隧穿氧化層鈍化接觸電池），以及未來的疊層電池，光伏電池效率不斷逼近極限，并由此帶來成本與規模的突破。圖圖 2 2：組件價格與累計出貨量的關系：組件價格與累計出貨量的關系 圖圖 3 3：光伏不同技術的轉化效率及未來前景光伏不同技術的轉化效率及未來前

38、景 資料來源：ITRPV 資料來源：上海交通大學、光大證券研究所；截至 2022.4 盡管光伏電池技術路線不斷迭代，效率不斷提升，但基于晶硅電池的基本原理和核心工序并未改變，即清洗制絨、擴散制結、鈍化鍍膜、金屬化四大步驟。光伏電池晶硅電池薄膜電池多晶硅電池多元化合物薄膜電池單晶硅電池有機半導體薄膜電池燃料敏化納米薄膜電池非晶硅薄膜電池多晶硅薄膜電池BSF、PERC、TOPcon、HJT銅銦硒、碲化鎘、砷化鎵TOPConHJT 敬請參閱最后一頁特別聲明-13-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 圖圖 4 4：產業化太陽能電池技術發展歷程產業化太陽能電池技術發展歷程 資料來源：黃志平晶體硅

39、太陽能電池摻雜與金屬化工藝研究 1 1）清洗制絨）清洗制絨 清洗主要用來清除硅片表面雜質、去除硅片表面損傷層，制絨則用于在硅片表面形成金字塔結構，從而降低反射率。2 2）擴散制結）擴散制結 通過擴散的形式，形成光伏電池的核心結構：P-N 結。通常適用于同質結電池。3 3）鈍化鍍膜）鈍化鍍膜 通過真空鍍膜的形式，在電池片表面形成一層鈍化膜，起到降低少子復合、提供場鈍化效應、降低反射率的作用，對于電池效率的提高起到關鍵作用，也是光伏電池提效的主要出發點。4 4）金屬化）金屬化 用于形成光伏電池的前電極和背電極，通常使用絲網印刷的方式。金屬化的工藝路線與鈍化工藝密切相關，同時對降低少子復合、降低電阻

40、損失起到關鍵作用。此外，還包括刻蝕、檢測等通用步驟，在不同的電池技術路線中區別不大。敬請參閱最后一頁特別聲明-14-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 2 2、摻雜摻雜與成結與成結：光伏電池的：光伏電池的“心臟心臟”P-N 結是光伏電池的“心臟”。按照 P-N 結類型，光伏電池可以分為同質結電池和異質結電池。其中同質結電池主要通過擴散的方式，在同一種類型的硅片（P 型或 N 型）上實現摻雜，從而得到 P-N 結。異質結電池的 P 型區和 N 型區由不同類型的半導體材料構成，可分為摻雜型和非摻雜型。圖圖 5 5：按照：按照 P P-N N 結對光伏電池進行分類結對光伏電池進行分類 資料來

41、源：光大證券研究所 當 P 型半導體和 N 型半導體結合在一起，由于 P 型半導體中空穴濃度高，而 N型半導體中電子濃度高，因此會形成熱擴散運動。即 P 型半導體中空穴向 N 型區擴散，N 型半導體中的電子向 P 型區擴散。而后在 P 型區形成負電荷，而 N 型區形成正電荷，兩者之間形成一個內建電場。在光照條件下，能量大于禁帶寬度的光子被吸收，在 PN 結的兩邊產生電子-空穴對，并在內建電場的作用下相互分開，從而產生光生電流。圖圖 6 6：空穴與電子示意圖空穴與電子示意圖 圖圖 7 7：內建電場示意圖內建電場示意圖 資料來源：solarspace 資料來源：段春艷晶體硅太陽電池生產工藝、光大證

42、券研究所 “收集概率”描述了光照射到電池的某個區域產生的載流子被 P-N 結收集并參與到電流流動的概率。其大小與光生載流子需要運動的距離和電池表面特性有關。距離耗散區越遠，被收集的概率就越小，而表面鈍化能夠增加同一位置下載流子被收集的概率。同質結異質結P-N結N型硅片：硼擴散P型硅片：磷擴散摻雜型非摻雜型 敬請參閱最后一頁特別聲明-15-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 圖圖 8 8：表面鈍化能夠增加同一位置下載流子被收集的概率表面鈍化能夠增加同一位置下載流子被收集的概率 資料來源：solarspace 什么是擴散？什么是擴散？擴散描述了一種物質在另一種物質中運動的情況。本質在于原子

43、、分子和離子的布朗運動，造成由濃度高的地方向濃度低的地方進行擴散。晶體硅太陽電池制造采用了高溫化學熱擴散的方式來實現摻雜制結。熱擴散利用高溫驅動雜質穿過硅的晶格結構，這種方法受到時間和溫度的影響，需要 3 個步驟：預淀積、推進和激活。擴散的三個指標：方阻、結深、表面濃度擴散的三個指標：方阻、結深、表面濃度 方阻值大小主要為表面濃度和結深的綜合表征，其對電池片參數的影響主要有以下三點：1）擴散 P-N 結深度直接影響到其對短波光線的吸收，因此在一定范圍內擴散P-N 結越淺（方阻值越高），電流值越高；2）擴散磷元素的摻雜濃度從一定程度上影響其 N 型硅部分的導電性能，因此摻雜濃度越高（方阻值越?。?/p>

44、，填充因子越高；3）一般來說，在一定范圍內，擴散濃度增大，開路電壓隨之增大。敬請參閱最后一頁特別聲明-16-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 圖圖 9 9：P P-N N 結雜質濃度分布結雜質濃度分布 圖圖 1010：擴散高低方阻的區別以及對電池片的影響擴散高低方阻的區別以及對電池片的影響 資料來源：solarspace 資料來源：solarspace 2.12.1、同質結：同質結：磷擴與磷擴與硼擴硼擴 同質結電池中，P 型區和 N 型區為同一種類型的半導體材料，一般使用摻雜的方法形成 P-N 結。常見的摻雜方法包括：1）管式擴散（低壓、常壓）；2）離子注入+退火；3）涂布源擴散（絲

45、網印刷、旋涂、噴涂、滾筒印刷）。目前大多采用低壓管式擴散。圖圖 1111：低壓硼擴散原理圖低壓硼擴散原理圖 資料來源：龍輝基于 BCl3 源的低壓硼擴散設備及工藝研究 敬請參閱最后一頁特別聲明-17-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 圖圖 1212：硼擴與磷擴硼擴與磷擴原理原理 資料來源：段春艷晶體硅太陽電池生產工藝、光大證券研究所 磷擴：磷擴：POCl3分解產生的 P2O5淀積在硅片表面，P2O5與硅反應生成 SiO2和磷原子，并在硅片表面形成一層磷硅玻璃，然后磷原子再向硅中進行擴散。硼擴：硼擴：BBr3/BCl3分解產生的B2O3淀積在硅片表面，B2O3與硅反應生成SiO2和硼原

46、子，并在硅片表面形成一層硼硅玻璃，然后硼原子再向硅中進行擴散。由上可知，不管是硼擴還是磷擴，需形成硼原子或磷原子的基礎上，向硅基體擴散。相比磷擴散，硼擴散的難度更大。原因在于硼原子在硅基體中的固溶度較低，導致硼擴的溫度須達到 1000以上。且表面摻雜量較多時容易在表面形成硼堆積，即富硼層（BRL），對后續清洗造成挑戰。圖圖 1313：雜質在硅材料中的固溶度雜質在硅材料中的固溶度 圖圖 1414：硼擴與磷擴工藝區別硼擴與磷擴工藝區別 資料來源：理想晶延TOPCon 電池相關設備進展 資料來源：理想晶延TOPCon 電池相關設備進展 5POCl3=3PCl5+P2O54POCl3+3O2=2P2O

47、5+6Cl24PCl5+5O2=2P2O5+10Cl22P2O5+5Si=5SiO2+4P4BBr3+3O2=2B2O3+6Br2Si+O2=SiO22B2O3+3Si=3SiO2+4B4BCl3+3O2 =2B2O3+6Cl22BCl3 =2B+3Cl2Si+O2=SiO22B2O3+3Si=3SiO2+4B液態POCl3液態BBr3氣態BCl3磷擴硼擴P-PERCN-TOPCon雜質原子大小(Si:0.117nm)P:0.11nmB:0.088nm氧化物沸點P2O5:360B2O3:1860推進溫度8008809001100雜質源POCl3:常溫下液態BCl3：常溫下氣態摻雜玻璃PSG易去

48、除BSG難去除，界面富硼，粘舟，裂管擴散系數Dp(SiO2)Db(Si)敬請參閱最后一頁特別聲明-18-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 對于硼擴來說，目前有 BBr3/BCl3兩種路線。BBr3常溫下為液體，安全性相對較好，但生成的 B2O3呈黏狀，需要 DCE 清洗，維護成本高。BCl3常溫下為氣體，安全性相對較差，但生成的 B2O3呈顆粒狀，容易清理，缺點是 B-Cl 鍵能更大，不易分解，造成擴散溫度下利用率不高。圖圖 1515：硼擴的兩種路線硼擴的兩種路線 資料來源：拉普拉斯公眾號 根據 ITRPV 預測，未來 BBr3路線仍將占據多數份額，但 BCl3路線的占比將會逐步提升

49、，到 2032 年約達到 40%左右的市場份額。圖圖 1616：硼擴散的技術路線預測硼擴散的技術路線預測 資料來源：ITRPV 敬請參閱最后一頁特別聲明-19-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 2.22.2、同質結：同質結：SESE 為什么需要 SE（選擇性發射極）？原因在于：常規晶體硅太陽能電池采用均勻高濃度摻雜的發射極。較高濃度的摻雜可以改善硅片與電極之間的歐姆接觸，降低串聯電阻，但也容易造成較高的表面復合。為此，需要使用選擇性發射極（SE）技術，在金屬柵線（電極）與硅片接觸部位及其附近進行高濃度摻雜深擴散，而在電極以外的區域進行低濃度摻雜淺擴散。圖圖 1717：SESE 原理圖

50、原理圖 資料來源：中科院電工所 SESE 結構的優勢：結構的優勢：1）電極下的重摻雜使得接觸電阻較常規電池有所下降，從而提高填充因子；2）電極間的輕摻雜可有效降低載流子在擴散層橫向流動時的復合概率，提高載流子收集效率；3）太陽光短波段基本在硅片正表面被吸收，淺擴散可以提高短波段太陽光的激發效率，從而提高短路電流；4）形成一個 n+-n+/p+-p+的高低結，可以降低電極下方的少數載流子復合，提高開路電壓。綜合來說，SE 較常規電池更好地平衡了金屬半導體間的接觸電阻和光子收集之間的矛盾?；谂饠U的技術難度，在硼擴的基礎上做出 SE 相較磷擴 SE 難度更大，目前主要發展出一次硼擴和二次硼擴兩種技

51、術路線。根據通威股份基于 PECVD 技術制備超薄隧穿氧化層及 poly-Si 在 TOPCon 電池中的應用，目前行業內常見的硼擴 SE 有五種方案，其中激光開膜路線是目前最成熟的方案。從量產前景來看，Etch-back 路線、激光直摻路線是最可能實現量產的路線。五種方案中，刻蝕漿料路線、硼漿路線、Etch-back 路線都需要外部開發不同的漿料。敬請參閱最后一頁特別聲明-20-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 表表 1 1：硼擴硼擴 SESE 不同路線對比不同路線對比 序號序號 SESE 方案方案 優點優點 缺點缺點 1 激光開膜路線 行業內最廣泛采用的，效率記錄都是用此方案 硼

52、擴散機臺是正常的 2 倍；ps 激光還存在 mark 點不容易識別 2 刻蝕漿料路線 效率增益比方案一高 0.06%；沒有激光損傷，清洗流程簡單，設備成本低 和方案一同樣，硼擴散機臺是正常的 2 倍 3 硼漿路線 預期簡化流程 硼漿成分復雜，雜質過多，而且無法清洗，導致重擴區復合太高；量產成本較高 4 Etch-back 路線 預期流程最簡單；擴散機臺預期是所有路線中最少的 掩膜漿料可能存在清洗不干凈問題 5 激光直摻路線 簡化了擴散機臺數量 效率增益不如二次擴散路線；需要特殊定制的激光 資料來源：通威股份基于 PECVD 技術制備超薄隧穿氧化層及 poly-Si 在 TOPCon 電池中的應

53、用 表表 2 2：硼擴：硼擴 SESE 各路線效率潛力分析各路線效率潛力分析 工序工序 世界紀錄世界紀錄 25.8%(FhG25.8%(FhG-ISE)ISE)刻蝕漿料二次擴散刻蝕漿料二次擴散 （目前水平）（目前水平）EtchEtch-backback （目前水平）（目前水平）激光直摻激光直摻 （預期）（預期）常規擴散常規擴散 （未來預期）（未來預期）輕擴區方阻(/sq)300 220 225 160 130 重擴區方阻(/sq)15 45 55 90 效率增益 0.3-0.4%0.3-0.4%0.2-0.25%電池片尺寸(cm2)4 330.15 330.15 330.15 330.15 資

54、料來源：通威股份基于 PECVD 技術制備超薄隧穿氧化層及 poly-Si 在 TOPCon 電池中的應用 2.32.3、異質結：摻雜與非摻雜異質結：摻雜與非摻雜 從本質上講，熱擴散是實現摻雜的一種方法，用于在同一種半導體上形成 PN 結。其他方法還包括離子注入、氣相沉積等。如通過氣相沉積的方法在晶硅表面沉積本征非晶硅和摻雜非晶硅，由于晶硅與非晶硅不屬于同一種半導體材料，故形成的 P-N 結名異質結。圖圖 1818：異質結電池基本結構：異質結電池基本結構 資料來源：賽拉弗高效異質節電池（HIT）在疊瓦組件上的應用 敬請參閱最后一頁特別聲明-21-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 異質

55、結電池采用氣相沉積實現摻雜，而非擴散的形式。這帶來的一個問題是，前表面的非晶硅帶隙較小，導致嚴重的光學寄生吸收，從而限制了飽和電流的提升；且非晶硅層摻雜效率低致使電池良率較低。這就引發了對免摻雜異質結電池的應用和探索。N 型過渡金屬氧化物（TMO）材料被嘗試用作空穴傳輸層。根據中山大學相關資料，HJT 電池中利用 MoOx代替 p 型摻雜非晶硅，最高轉換效率已達 23.5%。圖圖 1919：備選的空穴及電子傳輸層材料能帶結構圖備選的空穴及電子傳輸層材料能帶結構圖 資料來源：中山大學 何堅新型晶體硅鈍化接觸異質結太陽電池技術 2.42.4、非成結摻雜非成結摻雜 摻雜工藝除了可以形成 P-N 結之

56、外，還被用作形成高低結。所謂高低結，指的是在電池基體和底電極間建立一個同種雜質的濃度梯度，制備一個 P-P+或 N-N+高低結，形成背電場，可以提高載流子的有效收集，改善太陽電池的長波響應，提高短路電流和開路電壓，這種電池被稱為“背場電池”。典型的案例是在 TOPCon 電池中，正面使用硼摻雜在 N 型硅片上形成 P-N 結，背面使用磷摻雜制成的 N 型多晶硅，起到高低結的作用。HJT 電池中，正表面 i層非晶硅與 n 型硅基底形成 P-N 結，背表面 n 型非晶硅與 n 型硅基底形成高低結。圖圖 2020：TOPConTOPCon 電池中的電池中的 P P-N N 結與高低結結與高低結 圖圖

57、 2121：HJTHJT 電池中的電池中的 P P-N N 結與高低結結與高低結 資料來源：中科院寧波所基于 PECVD 的 TOPCon 技術研究進展、光大證券研究所 資料來源：中山大學新型晶體硅鈍化接觸異質結太陽電池技術、光大證券研究所 敬請參閱最后一頁特別聲明-22-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 從廣義上來講，只要是通過同種雜質的濃度梯度建立起電場，從而影響載流子收集的結構，都可以稱作高低結。如硼擴/磷擴中的選擇性發射極、BSF 電池中的鋁背場、PERC 電池中的局部鋁背場、以及 TOPCon 電池正表面的銀鋁漿細柵。2.52.5、擴散爐擴散爐 國內 PERC 電場的磷擴散

58、設備已完全實現國產化，并發展出了適用于大硅片、大產能的設備，綜合考慮熱場、氣場的均勻性，硅片的放置模式有水平、垂直、類PE 型垂直等多種模式。硼擴散設備的要求比磷擴散更高，主要體現在：均勻性、擴散時間長、擴散溫度高、硅片寄生 OSF 位錯。均勻性問題：核心是氣場與熱場的均勻。均勻性問題：核心是氣場與熱場的均勻。垂直放片和水平放片各有優劣，垂直放片有利于熱輻射傳遞，但不利于氣流傳輸；水平放片有利于氣流傳輸，但對熱輻射有遮擋。隨著硅片尺寸變大變薄，垂直放片的均勻性受到挑戰，一方面大硅片導致兩硅片間氣體運動距離變長，阻力增大；另一方面薄硅片垂直放置時彎曲度變大。拉普拉斯采用水平背對背放置，氣流從端口

59、和側面進入，不僅增加了氣流的均勻性，而且硅片背對背放置，在重力作用下自然壓緊，可減少繞鍍。圖圖 2222：垂直放片與水平放片：垂直放片與水平放片 資料來源：拉普拉斯高溫鈍化接觸電池技術路線分析及設備發展方向 也有廠商采用類 PE 順向放片，即硅片豎直放置，但與石英管軸向平行。一定程度上兼顧了氣流傳輸與熱輻射。敬請參閱最后一頁特別聲明-23-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 圖圖 2323：類：類 PEPE 順向放片順向放片 資料來源：北方華創TOPCon 量產技術路徑思考及核心干法工藝裝備之實踐 另一方面，隨著單爐產能不斷增加，爐管長度隨之增加，帶來了超長溫區內氣流與熱場均勻性問題。

60、目前多采取多段進氣的方式，增加爐管內氣流均勻性。圖圖 2424：LPCVDLPCVD 多段進氣多段進氣 資料來源：理想晶延TOPCon 電池相關設備進展 敬請參閱最后一頁特別聲明-24-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 3 3、鈍化：提效的關鍵鈍化：提效的關鍵 光伏電池效率的熱力學極限光伏電池效率的熱力學極限 一方面，考慮到晶體硅在室溫下的光學帶隙為 1.12eV，能量低于 1.12eV 的光子不足以激發電子-空穴對，因此能夠有效利用的光子能量有限。另一方面，能量太高的光子中高于 1.12eV 的能量以熱弛豫形式散發。能夠被吸收的能量約為49%，又由于禁帶電勢差與電池開路電壓的差異，

61、能夠有效輸出的電能約為 60%。因此，常溫下硅基光伏單結電池的效率極限約為 29.4%。圖圖 2525：AM 1.5GAM 1.5G（地表光譜輻照度）（地表光譜輻照度）太陽光譜太陽光譜下下能夠被硅能夠被硅吸收吸收的的部分部分 資料來源：李仲晶體硅太陽電池效率的損失分析 逼近極限：可彌補的損失逼近極限：可彌補的損失 對于硅基光伏單結電池來說，即使極限效率僅有 29.4%，目前的量產技術水平仍有較大的提升空間。整體來看，可彌補的太陽電池效率損失可以分為兩大類，即光學損失和電學損失，電學損失又有復合損失和電阻損失兩部分。圖圖 2626：太陽能電池的效率損失機理：太陽能電池的效率損失機理 資料來源：黃

62、志平晶體硅太陽能電池摻雜與金屬化工藝研究 效率損失光學損失電學損失表面反射柵線遮擋長波透射歐姆損失復合損失太陽能電池材料 基底電阻 發射極電阻接觸材料 細柵 主柵 發射極接觸電阻 焊接帶電阻發射區 主要是俄歇復合 輻射復合較小基區 主要是SRH復合表面 主要是表面復合 敬請參閱最后一頁特別聲明-25-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 1 1、光學損失光學損失 1）表面反射。晶體硅的折射率與空氣相差很大，這會導致很大一部分入射光被反射，一般通過表面制絨和沉積減反膜來降低表面反射；2）長波透射。部分長波不能被硅基體完全吸收而從電池背面透過，可適度增加硅片厚度以消除該不利因素；3）柵線遮擋

63、。部分入射光被正面金屬電極柵線遮擋，一般可通過優化柵線設計或使用背電極來解決。2 2、電學損失電學損失 1）復合損失。主要指晶體硅太陽電池中，由于摻雜、雜質、缺陷等因素，電子-空穴以各種形式形成復合，通常包括輻射復合、俄歇復合、SRH 復合、表面復合四種。減弱光生載流子復合的方法包括鈍化（熱氧、原子氫、表面擴散）、增加背場等；2）電阻損失。包括串聯電阻和并聯電阻，串聯電阻主要由硅基體電阻、電極接觸電阻、發射極電阻、主柵/細柵電阻、焊帶電阻組成；并聯電阻主要來自 pn結結構和制備過程中的工藝，一般認為是在晶體硅太陽能電池的邊緣產生。圖圖 2727：晶體硅太陽電池中四種復合過程晶體硅太陽電池中四種

64、復合過程 資料來源：王子磊晶體硅太陽電池中載流子選擇性接觸材料研究 3.13.1、鈍化：有效減少復合鈍化：有效減少復合 少數載流子的復合是影響電池性能的關鍵因素，因此界面鈍化成為晶體硅太陽能電池提效的關鍵手段。晶體硅材料體內的缺陷，包括雜質、空位、晶格畸變等，以及材料表面缺陷，如吸附雜質、懸掛鍵等，會成為載流子的復合中心，從而影響材料的少數載流子壽命。敬請參閱最后一頁特別聲明-26-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 晶體硅太陽能電池中表面或者晶界的局域態缺陷主要由以下三方面原因引起：1）懸掛鍵，主要是由于基體表面斷鍵引起的晶體缺陷。2）器件制備過程中由工藝引入的雜質摻雜，在高濃度摻雜

65、的情況下會引入死層(未激活的摻雜劑)缺陷從而引起晶格發生畸變。另外，高濃度摻雜情況下會引入俄歇復合。3）硅晶體在硅錠制備的過程引入了雜質、晶體不良等缺陷。圖圖 2828：晶體缺陷引起晶格局部彈性變形稱晶格畸變晶體缺陷引起晶格局部彈性變形稱晶格畸變 圖圖 2929：懸掛鍵示意圖懸掛鍵示意圖 資料來源：機電之家 資料來源：索比光伏網 在各種缺陷中，最突出的表面缺陷。在硅片切割過程中，硅原子周期性排列的中斷導致懸掛鍵的存在，從而形成復合中心。而鈍化的過程是指通過使已存在的缺陷失去活性，從而達到減少載流子表面復合的作用。主要有兩種互補的鈍化方法：（一）場效應鈍化。（一）場效應鈍化。通過在表面附近產生一

66、個電場，可以阻止類似極性的電荷載流子靠近，從而極大地減少一種極性的載流子達到表面的數量；（二）化學鈍化。（二）化學鈍化。一種是在表面生長一個表面層，使原子有足夠的時間和能量達到最佳能級，從而使表面懸空鍵飽和。另一種是沉積一層富 H 的電介質層，通過其在燒結過程中釋放的游離氫來占據懸空鍵的空位，從而起到鈍化效果。圖圖 3030：晶硅太陽能電池的鈍化：晶硅太陽能電池的鈍化 資料來源：TaiyangNewsTOPCon 電池技術報告 鈍化場效應鈍化：在近表面處創建電場。以相同極性排斥載流子化學鈍化：通過飽和懸空鍵來弱化介面電子態降低高表面濃度的摻雜密度增加一層具有高度穩定電荷的介質膜在表面附近營造一

67、個梯度電場提供一個使原子擁有足夠時間和能量以飽和懸空鍵的表層沉積高氫介質膜，后續工序中將氫原子釋放出來，填補空穴，從而鈍化懸空鍵 敬請參閱最后一頁特別聲明-27-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 3.23.2、鈍化層的選擇，鈍化層的選擇，決定了決定了電池電池路徑路徑 鈍化是光伏電池提效的關鍵，因此選擇合適的鈍化材料至關重要，需要根據表面電荷特性和電池結構進行合理搭配。而正是不同的鈍化結構，決定了不同的電池技術路線。表表 3 3：各種各種鈍化介質特性鈍化介質特性 電解質電解質 晶硅類型晶硅類型 量產適用沉積量產適用沉積工藝工藝 沉積后續工序中沉積后續工序中的穩定性的穩定性 場鈍化效應場

68、鈍化效應 化學鈍化化學鈍化 整體鈍化質量整體鈍化質量 加工費用加工費用 PERCPERC 應用量應用量產情況產情況 局限局限 氧化鋁 單晶 多晶 PECVD、ALD、APCVD、濺射 新型材料，需適用昂貴前驅體 TMA 熱生長氧化硅 單晶 高溫熱生長 沉積極薄薄膜可行的量產方案，但因自身鈍化效果不充分，需外覆氧化鋁和氮化硅疊層 氮氧化硅 單晶 PECVD 金屬化工序需要特別仔細優化，僅僅適用于單晶硅 碳化硅 單晶 多晶 PECVD 高密度固定正電荷形成反轉層 非晶硅 單晶 多晶 PECVD 不適用于一般加工環境，而低溫加工可以獲得極佳效率（如松下 HIT）氮化硅 單晶 多晶 PECVD 高密度

69、固定正電荷形成反轉層 資料來源：公眾號光伏百科；極佳；優；可用；不可用；直接覆鋁后環境溫度高于 500 攝氏度時不穩定，需覆膜隔離；高于 450 攝氏度時不穩定；根據 Jan Schmidt 等人 2018 年建立的理論模型，不同的鈍化介質會形成不同的鈍化界面特性（如飽和電流 J0、接觸電阻c 等），選取電子選擇接觸層、空穴選擇接觸層相互組合后，理論上可以計算出不同電池模型的最大效率?；诖四Ｐ秃透鞣N鈍化膜的鈍化和電導性結果，得到了雙面 TOPCon 電池的理論極限效率為 28.7%，而 HJT 電池的理論極限效率為 27.5%。圖圖 3131：不同光伏電池的鈍化層組合不同光伏電池的鈍化層組合

70、 資料來源：Wei LongOn the limiting efficiency for silicon heterojunction solar cells，光大證券研究所 敬請參閱最后一頁特別聲明-28-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 圖圖 3232：不同電池模型的理論最大效率不同電池模型的理論最大效率 圖圖 3333：不同的鈍化介質會的鈍化界面特性不同的鈍化介質會的鈍化界面特性 資料來源：Jan Schmidt Surface passivation of crystalline silicon solar cells:Present and future 資料來源：Jan

71、Schmidt Surface passivation of crystalline silicon solar cells:Present and future 2021 年，隆基公司 Wei Long 等人對該模型進行了修正。采用微晶、納米晶材料替代原有的 i、p 層非晶硅，得到了更低的鈍化膜接觸電阻，但鈍化特性并沒有變差。根據修正后的結果，雙面 TOPCon 電池的理論極限效率為 28.7%，而 HJT 電池的理論極限效率為 28.5%。圖圖 3434：不同電池模型的理論最大效率（隆基）不同電池模型的理論最大效率（隆基）資料來源：Wei LongOn the limiting effic

72、iency for silicon heterojunction solar cells 氧化鋁：氧化鋁：PERCPERC 走向工業化的關鍵走向工業化的關鍵 PERC電池結構最早于1989年由新南威爾士大學Martin Green所領導的研究小組提出。該電池正面采用光刻工藝制備“倒金字塔”陷光結構，雙面生長高質量氧化硅層，正面氧化硅層作為減反膜，進一步改善正面的陷光效果。背面氧化硅層作為鈍化膜，避免背金屬電極與硅片全接觸。UNSW 開發的 PERC 系列電池雖然轉換效率高，但技術復雜，成本高，特別是需要利用多次光刻和高溫熱氧鈍化工藝，這導致該系列電池沒有走向產業化。真正使 PERC 電池產業化

73、取得突破性進展的是氧化鋁應用于太陽能電池做界面鈍化層。敬請參閱最后一頁特別聲明-29-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 圖圖 3535：PERCPERC 電池結構電池結構 資料來源：王子磊晶體硅太陽電池中載流子選擇性接觸材料研究 2006 年，G.Agostinelli 等利用原子層沉積（ALD）技術在 p 型單晶硅表面沉積Al2O3薄膜，將表面復合速率降低至 10cm/s。2010 年，Thomas Lauermann等率先將 Al2O3鈍化用于 125mm125mm 的 p 型 CA 硅片，背面采用15nmALD-Al2O3/80nmPECVD-SiN 疊層鈍化，效率為 18.6

74、%，從而促進了大尺寸 PERC 電池的產業化進展。圖圖 3636：不同不同鈍化介質會的鈍化界面特性鈍化介質會的鈍化界面特性 圖圖 3737：Al2O3Al2O3 鈍化界面鈍化界面 資料來源：G.DingemansStatus and prospects of Al2O3-based surface passivation schemes for silicon solar cells 資料來源：Jan SchmidtIndustrially relevant Al2O3 deposition techniques for the surface passivation of Si solar

75、cells 對于對于 p p 型表面來說，型表面來說，AlAl2 2O O3 3是最佳的鈍化材料。是最佳的鈍化材料。因為：1）大多數鈍化膜都帶正電荷正電荷，如氧化硅、氮氧化硅、氮化硅等，但氧化鋁在沉積過程中，負電荷恰好處在氧化鋁和硅晶表面生成的氧化硅界面的交界處，且負電荷密度高，可確保產生高效的場鈍化效果；2）氧化鋁的化學鈍化效果也非常好，飽和了晶體硅表面的懸空鍵，降低了界面態密度。目前采用 AlOx/SiNx 疊層鈍化膜進行 PERC 電池的背表面鈍化。原因主要是：1）氮化硅層實現對氧化鋁層的保護；2）厚度達到 100nm 以上，實現內反射。敬請參閱最后一頁特別聲明-30-證券研究報告 電力

76、設備新能源電力設備新能源 （氫化）非晶硅（氫化）非晶硅：HJTHJT 電池的關鍵鈍化材料電池的關鍵鈍化材料 20 世紀 60 年底后期，氫化非晶硅（a-Si:H）的發現引發了研究者極大的興趣，具有合適的載流子遷移率的 a-Si:H 成為潛在的光伏材料。研究過程中有兩個里程碑：1）1974 年，Lewis 等解釋了氫在飽和 Si 原子懸掛鍵和形成穩定的互聯 Si-H 環結構中的作用；2）1975 年實現取代摻雜，n 型摻雜（p 型摻雜）通過向硅烷氣體中加入磷（乙硼烷）而實現。1979 年，三洋公司首次發布商用 a-Si:H 太陽能電池，用于手持計算器。20 世紀 80 年代后期，三洋的研究部門用

77、 a-Si:H 和 c-Si 形成硅基異質結，并在 1991年以商標 HIT 為他們的 a-Si/c-Si 異質結（SHJ）電池的混合設計申請了專利。2011 年專利到期后，國內外開始嘗試規?；慨a。圖圖 3838：HJTHJT 電池鈍化機理電池鈍化機理 資料來源：王子磊晶體硅太陽電池中載流子選擇性接觸材料研究 氧化氧化硅硅（隧穿氧化層）（隧穿氧化層）+多晶硅多晶硅 隧穿氧化層鈍化接觸（tunnel oxide passivated contact,TOPCon）太陽能電池，是 2013 年在第 28 屆歐洲 PVSEC 光伏大會上德國 Fraunhofer 太陽能研究所首次提出的一種新型鈍化

78、接觸太陽能電池。氫化非晶硅對溫度的要求十分苛刻（不超過 200），而多晶硅薄膜對溫度忍耐性高，結合對電子和空穴具有選擇性通過的隧穿薄膜形成鈍化接觸結構，并通過高溫擴散工藝完成摻雜的異質發射極。實際上，多晶硅薄膜發射技術在 1980 年的半導體集成電路工藝上已實現商業化應用。早期的雙二極管研究工作中，發現薄 SiOx 層加摻雜的多晶硅層可以獲得低復合速率，并在 1990 年證明可以用于晶體硅太陽能電池的接觸鈍化。隧穿層的備選方案包括 Al2O3、SiO2、a-Si:H、SiNx 等，本來 a-Si:H 是比較理想的，但由于寄生光吸收、熱穩定性差等原因，目前晶體硅電池上研究較多和產業化應用的隧穿層

79、主要是 SiO2材料。敬請參閱最后一頁特別聲明-31-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 圖圖 3939：TOPConTOPCon 電池鈍化機理電池鈍化機理 資料來源：中科院寧波所基于 PECVD 的 TOPCon 技術研究進展 3.33.3、鈍化接觸：高效路線的本質鈍化接觸：高效路線的本質 正確理解鈍化和接觸正確理解鈍化和接觸 在傳統鋁背場電池和 PERC 電池中，金屬與晶硅層是相互接觸的，不同的是鋁背場電池中采取了面接觸（BSF），而改進后的 PERC 電池采取了線接觸（LBSF）。原因在于，盡管全界面鈍化對背面鈍化效果是最好的，但不能滿足金屬化的要求，這就需要對背面鈍化層進行開孔

80、并實現局域金屬接觸。一方面，局域接觸面積較小，將電極接觸處復合降至最低，另一方面，也滿足了電流傳導的金屬化要求。但是，在金屬和半導體的直接接觸區域，金屬層在接觸界面附近的帶隙內引入了巨量的電子態，導致電池端有超過 50%的載流子復合損失。圖圖 4040：鋁背場電池結構鋁背場電池結構 圖圖 4141：PERCPERC 電池結構電池結構 資料來源：通威股份高效晶硅量產技術趨勢 資料來源：通威股份高效晶硅量產技術趨勢 敬請參閱最后一頁特別聲明-32-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 除了進行金屬接觸區域的局部重摻雜，減少金屬/半導體的接觸面積之外，一個行之有效的辦法就是：采用超薄介質薄膜將

81、金屬和半導體隔離采用超薄介質薄膜將金屬和半導體隔離，鈍化硅片表面，同時薄膜可以實現載流子的隧穿效應以保證載流子傳導，這種技術被稱為鈍化（界面）接觸（電接觸）技術。圖圖 4242：鈍化接觸鈍化接觸原理原理 資料來源：宋登元接觸鈍化：一種最適合光伏產業升級的高效電池技術路線 這就意味著既要有良好的界面鈍化效果，又要能實現良好的電接觸，可選擇的材料包括 AlAl2 2O O3 3、SiOSiO2 2、a a-Si:HSi:H、SiNSiNx x等等。圖圖 4343：不同隧穿層材料的鈍化特性不同隧穿層材料的鈍化特性 圖圖 4444：不同隧穿層材料的鈍化特性不同隧穿層材料的鈍化特性 資料來源：Andre

82、s CuevasSkin Care for Healthy Silicon Solar Cells 資料來源：Andres CuevasSkin Care for Healthy Silicon Solar Cells 敬請參閱最后一頁特別聲明-33-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 從鈍化效果來看，SiO2、a-Si:H、Ta2O5/SiNx 具有較好的鈍化效果。N+polySi和 a-Si:H 具備較低的復合電流，但 a-Si:H 的接觸電阻大于 N+polySi。由于對SiOSiO2 2、a a-Si:HSi:H 的鈍化路線的選擇，形成了 TOPCon、HJT 兩大 N 型電池

83、技術路線。又由于 a-Si:H 的熱穩定性差，決定了 HJT 需采用低溫路線。圖圖 4545：TOPConTOPCon、HJTHJT 的鈍化結構的鈍化結構 資料來源：宋登元接觸鈍化：一種最適合光伏產業升級的高效電池技術路線 TOPConTOPCon：薄 SiO2層在接觸鈍化中起到關鍵作用，而摻雜多晶硅一方面通過 n+/n 高低場作用減少了硅基體界面處少數載流子密度，另一方面為多數載流子提供良好的傳導性能。圖圖 4646：TOPConTOPCon 與與 PERCPERC 的背面電流示意圖的背面電流示意圖 圖圖 4747：不同電池路線的開路電壓不同電池路線的開路電壓 資料來源：宋登元N 型電池產業

84、化現狀與發展趨勢 資料來源：沈文忠新形勢下晶硅太陽電池技術發展趨勢 敬請參閱最后一頁特別聲明-34-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 鈍化接觸效果直接體現在開路電壓和短路電流上。從開路電壓從開路電壓VocVoc來看，來看，HJTTOPConPERC。PERC普遍不超過700mV，TOPCon則處于 720-730mV（單面鈍化接觸），HJT 則普遍大于 735mV，甚至接近 750mV（雙面鈍化接觸）。從短路電流來看，從短路電流來看，TOPConPERCHJT。受到前表面寄生吸收的影響，HJT 短路電流較低。圖圖 4848：PERCPERC、TOPConTOPCon、HJTHJT 的

85、的開路電壓、開路電壓、短路電流、效率對比短路電流、效率對比 資料來源：拉普拉斯TOPCon 電池產業化進展 敬請參閱最后一頁特別聲明-35-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 4 4、光伏鍍膜工藝：致密性、均勻性、厚度光伏鍍膜工藝：致密性、均勻性、厚度 在確定選擇鍍膜介質后，不同的設備和工藝路線將對鍍膜質量（即致密性、均勻性）產生影響，從而決定了完成鈍化所需的膜層厚度。而在真空鍍膜工藝下，鍍膜質量本質上與三個要素有關：氣場、熱場、電場。圖圖 4949：光伏鍍膜工藝光伏鍍膜工藝的要點的要點 資料來源：光大證券研究所 在氣相沉積工藝中，通入氣體由反應物質與攜帶反應物質的惰性氣體組成。在大硅

86、片背景下，為了提高單線產能，石英管長度與半徑都有增加趨勢。此時氣場的均勻性受到挑戰，為了實現更好的管內氣場，前進氣、后進氣、多段進氣等工藝先后得到應用。圖圖 5050：氣場示意圖（氣場示意圖（LPCVDLPCVD）資料來源：北方華創TOPCon 量產技術路徑思考及核心干法工藝裝備之實踐 設備均勻/致密性厚度氣場熱場（電場）敬請參閱最后一頁特別聲明-36-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 熱場的控制關鍵在于對管內溫度更精準的控制。特別是光伏電池效率不斷逼近極限，熱場的精準調節有助于提高膜層質量。北方華創溫控解決方案：采用多段超長溫區溫控系統，非對稱爐體設計，關鍵步驟階梯控溫技術，串級低

87、超調快速回溫技術，窄溫度梯度工藝控制。圖圖 5151：熱場示意圖（熱場示意圖（LPCVDLPCVD）資料來源：北方華創TOPCon 量產技術路徑思考及核心干法工藝裝備之實踐 在管式 PECVD 中，石墨舟既是載具也是電極，以折疊的形式最大程度提升電極的有效面積。高頻電場是制造等離子體的關鍵。圖圖 5252：PECVDPECVD（電場）（電場）資料來源：中科院寧波所面向 TOPCon 產業應用的 PECVD 技術研究進展 敬請參閱最后一頁特別聲明-37-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 4.14.1、真空鍍膜工藝真空鍍膜工藝總覽總覽 薄膜：由原子、分子或離子沉積所形成的二維材料稱之為薄

88、膜。各種薄膜制備技術總體可分為兩類：1）在液相中進行的化學物理制備方法，例如電鍍、化學鍍、熱浸涂、熱噴涂等；2）在氣相中進行的化學物理制備方法，例如常規沉積、真空沉積、等離子體沉積、離子束沉積、離子束輔助沉積、等離子體噴涂等。除常規沉積外，大部分屬于真空鍍膜的范圍，其目的是為了改變基體表面的物理化學性能。表表 4 4：真空表面處理技術的分類真空表面處理技術的分類 表面處理目的表面處理目的 處理方法處理方法 粒子運動能量粒子運動能量/eV/eV 工作方法工作方法 等離子體等離子體 高真空高真空 薄膜沉積（表面厚度增加）PVD（物理氣相沉積）真空蒸發鍍膜 0.11 等離子熔射 輝光放電分解 電阻加

89、熱蒸發 電子束蒸發 真空電弧蒸發 真空感應蒸發 分子束外延 真空濺射鍍膜 10100 放電方式：直流、交流、高頻 電極數目：1 級、2 級、3 級 反應濺射、磁控濺射、對向靶濺射 離子束濺射鍍膜 真空離子鍍膜 數十5000 直流二極型 多陰極型 ARE（活性反應蒸鍍）型 增強 ARELPPD（低壓等離子體離子鍍）型 HCD（電弧放電型離子鍍）型高頻型 單一離子束鍍膜 集團離子束鍍膜 CVD（化學氣相沉積）等離子增強化學氣相沉積（PECVD）低壓等離子化學氣相沉積（LPCVD）微細加工（表面厚度減少）離子刻蝕 數百數千 高頻濺射刻蝕 等離子刻蝕 反應離子刻蝕 離子束刻蝕 反應離子束刻蝕 電子束刻

90、蝕 X 射線曝光 表面改性（不改變表面厚度）離子注入 數百數千 活性離子沖擊 離子氮化 離子注入 資料來源：陸峰真空鍍膜技術與應用 薄膜沉積設備通常用于在基底上沉積導體、絕緣體或者半導體等材料膜層，使之具備一定的特殊性能，廣泛應用于光伏、半導體等領域的生產制造環節。薄膜沉積設備按照工藝原理的不同可分為物理氣相沉積（PVD）設備、化學氣相沉積（CVD）設備和原子層沉積（ALD）設備。1 1）PVDPVD 物理氣相沉積（PVD）技術是指在真空條件下采用物理方法將材料源（固體或液體）表面氣化成氣態原子或分子，或部分電離成離子，并通過低壓氣體（或等離子體）過程，在基體表面沉積具有某種特殊功能的薄膜的技

91、術。PVD 鍍膜技術主要分為三類：真空蒸發鍍膜、真空濺射鍍膜和真空離子鍍膜。2 2）CVDCVD 化學氣相沉積（CVD）是通過化學反應的方式，利用加熱、等離子或光輻射等各種能源，在反應器內使氣態或蒸汽狀態的化學物質在氣相或氣固界面上經化學反 敬請參閱最后一頁特別聲明-38-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 應形成固態沉積物的技術，是一種通過氣體混合的化學反應在基體表面沉積薄膜的工藝，可應用于絕緣薄膜、硬掩模層以及金屬膜層的沉積。3 3）ALDALD ALD 技術是一種特殊的真空薄膜沉積方法，具有較高的技術壁壘。通過 ALD 鍍膜設備可以將物質以單原子層的形式一層一層沉積在基底表面，每

92、鍍膜一次/層為一個原子層，根據原子特性，鍍膜 10 次/層約為 1nm。表表 5 5：薄膜沉積技術對比薄膜沉積技術對比 項目項目 PVDPVD 技術技術 CVDCVD 技術技術 ALDALD 技術技術 優勢與劣勢（1）沉積速率較快；（2）薄膜厚度較厚，對于納米級的膜厚精度控制差；（3）鍍膜具有單一方向性；（4）厚度均勻性差；（5）階梯覆蓋率差。（1）沉積速率一般（微米/分鐘）；（2）中等的薄膜厚度（依賴于反應循環次數）；（3）鍍膜具有單一方向性；（4）階梯覆蓋率一般。（1）沉積速率較慢（納米/分鐘）；（2）原子層級的薄膜厚度；（3）大面積薄膜厚度均勻性好；（4）階梯覆蓋率最好；（5）薄膜致密無

93、針孔。主要應用領域（1）HJT 光伏電池透明電極；（2）柔性電子金屬化、觸碰面板透明電極；（3）半導體金屬化。（1）PERC 電池背面鈍化層、PERC 電池減反層；（2）TOPCon 電池接觸鈍化層、減反層；（3）HJT 電池接觸鈍化層；（4）柔性電子介質層、柔性電子封裝層；（5）半導體介質層（低介電常數）、半導體封裝層。（1）PERC 電池背面鈍化層；（2）TOPCon 電池隧穿層、接觸鈍化層、減反層；（3）柔性電子介質層、柔性電子封裝層；（4）半導體高 k 介質層、金屬柵極、金屬互聯阻擋層、多重曝光技術 資料來源：微導納米招股說明書 圖圖 5353：薄膜沉積設備技術分類薄膜沉積設備技術分類

94、 資料來源：微導納米招股說明書 CVD 工藝一般需滿足三個條件：1 1）先驅反應物全部為氣體。）先驅反應物全部為氣體。若先驅反應物在室溫下為氣體，則可用簡單的沉積裝置來滿足成膜要求。若先驅反應物在室溫下揮發性很少，則需通過加熱使其揮發，且同時對從反應源到反應室的管道進行加熱，以便采用運載氣體將先驅反應物帶入反應室；先進薄膜沉積設備CVDPVDALD低壓型（LPCVD）常壓型（APCVD）金屬有機化合物型（MOCVD）等離子增強型（PECVD）熱蒸發沉積等離子體濺射沉積熱原子層沉積（TALD）等離子體增強原子層沉積（PEALD）空間原子層沉積（SALD）電化學原子層沉積（ECALD）敬請參閱最后

95、一頁特別聲明-39-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 2 2）生成物為固體生成物為固體（+氣體氣體）。生成物除了用于沉積物質為固態薄膜外，其他反應物均為揮發性氣體，以便被抽氣系統排出；3）沉積薄膜物質的蒸氣壓需足夠低，以保證在反應的全過程中沉積物質能夠在一定溫度的基體上形成薄膜。表表 6 6：常見的薄膜生成原理常見的薄膜生成原理 目標薄膜目標薄膜 反應物反應物 生成物生成物 SiNx SiH4（氣）+4NH3（氣）Si3N4（固）+12H2（氣）AlxOy TMA(Al2(CH3)6)三甲基鋁（氣）+N2O（氣）AlxOy（固）+CO2（氣）+H20（氣）+N2（氣）SiO2 SiH

96、4（氣）+N2O（氣）SiO2（固）+H20 Si SiH4（氣）Si（固）+H2（氣）資料來源：陸峰真空鍍膜技術與應用、光大證券研究所 圖圖 5454：PERCPERC、TOPConTOPCon、HJTHJT 電池中鍍膜工序電池中鍍膜工序 資料來源：中科院寧波所基于 PECVD 的 TOPCon 技術研究進展 制絨硼擴散SE預留BSG刻蝕和背面拋光LPCVD ex-situ隧穿層+a-Si(i)LPCVD/PVD in-situ隧穿層+a-Si(n)PECVD 隧穿層+a-Si(n)磷擴散退火退火去繞鍍去繞鍍清洗正面Al2O3正面+背面SiNx絲網印刷燒結光注入退火增效硅片吸雜背面拋光清洗制

97、絨PECVD制備雙面非晶硅摻雜層PVD制備雙面TCOCat-CVD制備雙面非晶硅摻雜層RPD制備雙面TCO絲網印刷燒結光注入退火增效制絨磷擴散激光SEPSG刻蝕和背面拋光背面Al2O3正面+背面SiNx激光開槽絲網印刷燒結光注入退火增效PERCTOPconHJT 敬請參閱最后一頁特別聲明-40-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 4.24.2、TOPConTOPCon 鍍膜設備鍍膜設備 TOPCon 電池中，主要針對標志性的隧穿氧化層和摻雜多晶硅層進行分析。隧穿 SiO2層：可采用熱氧化法、PECVD、PEALD 等鍍膜方法；摻雜多晶硅層：主要有 LPCVD、PECVD 兩種路線。表表

98、 7 7：TOPConTOPCon 技術路線對比技術路線對比 LPCVDLPCVD PECVDPECVD PVDPVD 原理 在低壓下用熱力活化氣體物質，使其分解或發生化學反應，然后沉積在基材表面形成所需薄膜 在微波或射頻的幫助下，將含有薄膜原子變成等離子體狀態，等離子體化學活性強，易于反應，在基材上沉積所需薄膜 在真空條件下，通過物理方法（真空濺射鍍膜）將材料沉積在工件上的薄膜制備技術 優點 技術成熟，更容易控制，厚度均勻性好，致密度高 原位摻雜，輕微環繞，冷壁，成膜速度快 原位摻雜，無饒鍍，冷壁，成膜速度快 缺點 薄膜沉積速度慢并且有饒鍍問題，需要高溫，石英器件沉積嚴重 厚度均勻性有較大提

99、升空間，純度低。氣泡問題導致膜層致密度低 設備資本支出高，靶材消耗大，正常運行時間短 成膜速度 5-8nm/min（本征）；1-3nm/min（原位摻雜）10nm/min（原位摻雜）10nm/min（原位摻雜）摻雜 二次摻雜 POCl3 擴散或離子注入結合退火 原位摻雜 原位摻雜 繞鍍 繞鍍，需要額外的蝕刻并且控制更復雜蝕刻工藝 輕微繞鍍，容易去除 無饒鍍 處理時間 沉積本征硅（120 分鐘）POCl3 擴散或離子注入結合退火 原位摻雜硅沉積（20-40 分鐘），結晶和退火（30 分鐘）NA 良率 90%-98%預計高于 LPCVD，但仍有待證實 97%（中來）設備要求 擴散爐或離子注入設備/

100、退火爐，蝕刻機 結晶過程需要退火爐，這取決于設備自帶的技術方案 隧道氧化層需要 PECVD 設備；結晶過程需要退火爐，取決于設備自帶的技術解決方案 常見問題 繞鍍，石英沉積 泡沫，粉末 正常運行時間低 主要制造商 拉普拉斯、SEMCO、丹普、普樂新能源、捷佳偉創、北方華創、紅太陽 捷佳偉創、紅太陽、金辰、微導(SiO2:PEALD&n-Poly:PECVD)杰太 資料來源：InfoLink Consulting 對比不同廠家的設備參數，目前采用 LPCVD 的廠家主要有：拉普拉斯、北方華創、松煜、紅太陽、賽瑞達；采用 PECVD 路線的廠家主要有：捷佳偉創、金辰。不同的技術路線的區別點主要在于

101、產能、良率、均勻性等指標。表表 8 8：不同廠家的設備參數對比不同廠家的設備參數對比 拉普拉斯拉普拉斯 北方華創北方華創 松煜松煜 紅太陽紅太陽 賽瑞達賽瑞達 捷佳偉創捷佳偉創 金辰金辰 微導微導 工藝 2 in 1 隧穿 SiO2(熱氧)+非原位 Poly(LPCVD)2 in 1 隧穿 SiO2(熱氧)+非原位 Poly(LPCVD)2 in 1 隧穿 SiO2(熱氧)+非原位 Poly(LPCVD)2 in 1 隧穿 SiO2(熱氧)+非原位 Poly(LPCVD)2 in 1 隧穿 SiO2(熱氧)+非原位 Poly(LPCVD)3 in 1 隧穿 SiO2 (PECVD）+原位 Po

102、ly(PECVD)3 in 1 隧穿 SiO2(熱氧)+原位 Poly(PECVD)3 in 1 隧穿 SiO2 (PEALD）+原位 Poly(PECVD)模式 管式 管式 管式 管式 管式 管式 管式 管式 原位摻雜 可選 可選 可選 可選 可選 是 是 是 硅片尺寸(mm)156-210 156-210 156-230 166-230 156-210 156-210 156-210 敬請參閱最后一頁特別聲明-41-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 硅片擺放 水平 垂直 垂直 垂直 垂直 垂直 垂直 垂直 管數 5/6 管 5/6 管 5 管 5 管 5/6 管 4/5/6 管

103、4/5/6/10 管-繞鍍 是 是 是 是 是 少 少 少 每個真空腔中硅片數 2400 片/腔M10 2000 片/腔G12 1600 片/腔 1200 片/腔 2200 片/腔M6 2000 片/腔 M10 1800 片/腔G12 1320 片/腔 M10 1100 片/腔G12-580 片/腔16X 504 片/腔18X 432 片/腔210 580 片/腔18X 486 片/腔G12 產能 (片/小時)6000(本征膜)2800(原位摻雜)-7100 166 6200 182 5700 210 4300M10 3600G12-4800M10 4000G12 良率-=96%=96%=97

104、%-=98%溫度區間 400-1100-350-850 500-750 500-700 200-550 350-500 100-600 厚度均勻性 批間 3%批間 3%批間 4%批間 5%批間 3%批間 5%SiO2:4%Poly:5%批間 3%片間 5%片間 3%片間 4%片間 5%片間 3%片間 5%片間 3%片內 5%片內 3%片內 3%片內 5%片內 4%片內 4%片內 3%客戶 晶科、捷泰 天合、一道 億晶、日升 順風、晶澳 天合 晶澳、天合、通威 晶澳、日升 通威、尚德 BYD 資料來源：InfoLink Consulting 從終端電池片廠商的選擇來看，拉普拉斯的 LPCVD 路

105、線具備先發優勢，目前已在晶科、捷泰、通威、正泰等廠商實現應用；捷佳偉創的 PECVD 路線亦取得較快進步，主要在天合、晶澳、通威等廠商實現應用；微導主要采用 PEALD+PECVD路線，目前也已取得小范圍供貨；中來股份采用獨特的 POPAID 路線，主要設備由杰太供應。表表 9 9：TOPConTOPCon 擴產廠商設備選擇擴產廠商設備選擇 公司公司 中來中來 中來中來 晶科晶科 晶科晶科 通威通威 通威通威 捷泰捷泰 正泰正泰 正泰正泰 一道一道 一道一道 天合天合 天合天合 晶澳晶澳 晶澳晶澳 產能（MW）3600 4000 8000+8000 8000+11000 1000 8000 8

106、000 250 2000 250 1000 500 8000 RD 1300 地點 泰州 太原 合肥 海寧 眉山 眉山 滁州 海寧 海寧 衢州 泰州 宿遷 宿遷 揚州 寧晉 尺寸 M6/M10 M10/G12 M10 M10 G12/M10 M10 M10 M6 M10 G1 M10 G12 G12R-M10 Poly 技術路線 LP/PVD*PVD LP LP LP/PE PE LP LP LP LP LP/PE*LP/PE*PE LP/PE LP/PE*清洗制絨 無錫琨圣 無錫琨圣 捷佳偉創 捷佳偉創 捷佳偉創 捷佳偉創 捷佳偉創 無錫琨圣 捷佳偉創 捷佳偉創 捷佳偉創 捷佳偉創 捷佳偉創

107、 無錫琨圣 捷佳偉創 捷佳偉創 硼擴 拉普拉斯 拉普拉斯 拉普拉斯 拉普拉斯 捷佳偉創 北方華創 拉普拉斯 SMECO 北方華創 松煜 北方華創 北方華創 賽瑞達 賽瑞達 捷佳偉創 北方華創 松煜 紅太陽 BSG&背刻蝕 無錫琨圣 無錫琨圣 捷佳偉創 捷佳偉創 捷佳偉創 捷佳偉創微導 捷佳偉創 無錫琨圣 捷佳偉創 捷佳偉創 捷佳偉創 捷佳偉創 捷佳偉創 無錫琨圣 捷佳偉創 捷佳偉創 隧穿層+n-Poly-Si 1 2.LP一次硼擴 隧穿氧化物 熱處理 拉普拉斯 普樂 松煜 拉普拉斯 拉普拉斯 拉普拉斯 拉普拉斯 SMECO紅太陽 拉普拉斯 松煜 北方華創 北方華創 賽瑞達 北方華創 松煜 紅太

108、陽 i-Poly-Si LPCVD n-Poly-Si 磷擴散 3 隧穿氧化物 PEALD 微導 微導 n-Poly-Si PECVD 退火 4 隧穿氧化物 熱處理 金辰 n-Poly-Si PECVD 退火 5 隧穿氧化物 PECVD 捷佳偉創 捷佳偉創 捷佳偉創(RD)捷佳偉創 賽瑞達 捷佳偉創紅太陽 n-Poly-Si PECVD 退火 捷佳偉創 紅太陽 6 隧穿氧化物 PECVD 杰太 杰太 n-Poly-Si PVD 退火 松煜 紅太陽 清洗制絨 無錫琨圣 無錫琨圣 捷佳偉創 捷佳偉創 捷佳偉創 捷佳偉創 捷佳偉創 無錫琨圣 捷佳偉創 捷佳偉創 捷佳偉創 捷佳偉創 捷佳偉創 無錫琨圣

109、 捷佳偉創 捷佳偉創 前表面 Al2O3 理想 理想 理想 微導 微導 微導 微導 理想 理想 微導 微導 理想 理想 理想 微導 敬請參閱最后一頁特別聲明-42-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 前表面 SiNx 紅太陽 捷佳偉創 紅太陽 北方華創捷佳偉創 北方華創捷佳偉創 捷佳偉創 北方華創捷佳偉創 捷佳偉創 Fullshare 捷佳偉創 捷佳偉創 捷佳偉創 捷佳偉創 捷佳偉創 賽瑞達 CT 紅太陽 背表面 SiNx 紅太陽 捷佳偉創 紅太陽 北方華創捷佳偉創 北方華創捷佳偉創 捷佳偉創 北方華創捷佳偉創 捷佳偉創 Fullshare 捷佳偉創 捷佳偉創 捷佳偉創 捷佳偉創 捷佳

110、偉創 賽瑞達 CT 紅太陽 絲網印刷 科隆威 科隆威 邁為 邁為 邁為 邁為 邁為 科隆威 科隆威 邁為 邁為 邁為 邁為 應材 科隆威 應材 資料來源：InfoLink Consulting 4.2.14.2.1、鍍膜的鍍膜的質量與厚度質量與厚度 氧化鋁氧化鋁 作為 P 型表面絕佳的鈍化材料，Al2O3自帶負電荷，可以同時提供化學鈍化和場鈍化效應，在 PERC 電池背表面鈍化過程中起到重要作用。目前，TOPCon 電池正表面鈍化仍采用 Al2O3。在制備方法上，可供選擇的路線通常包括 ALD、PECVD、APCVD 等。圖圖 5555：TOPConTOPCon 電池正面采用電池正面采用 Al

111、Al2 2O O3 3鈍化鈍化 圖圖 5656：AlAl2 2O O3 3薄膜制備方法薄膜制備方法 資料來源：宋登元N 型電池產業化現狀與發展趨勢 資料來源：宋登元N 型電池產業化現狀與發展趨勢 根據丁建寧高效晶體硅太陽能電池技術，PECVD 可以在同一設備完成氧化鋁和氮化硅薄膜沉積，工藝集成性好，但 PECVD 沉積的氧化鋁致密性略差，鈍化效果不如 ALD，因此 PECVD 沉積氧化鋁厚度一般需大于 15nm。根據宋登元N 型電池產業化現狀與發展趨勢，3-5nm 氧化鋁薄膜效果最好，復合降到電流 15fA/cm2以下。Jan Schmidt 等人研究表明，各種沉積氧化鋁技術中，按鈍化效果排序

112、：ALDPECVD濺射。原因在于，ALD 沉積氧化鋁由兩個自限半反應組成，每次反應被限制在一層原子，通過交替通入反應物，氧化鋁得以一層一層生長，所以其結構致密，鈍化效果好。敬請參閱最后一頁特別聲明-43-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 圖圖 5757：氧化鋁沉積技術對比氧化鋁沉積技術對比 圖圖 5858：ALDALD 沉積氧化鋁由兩個自限半反應組成沉積氧化鋁由兩個自限半反應組成 資料來源：Jan SchmidtIndustrially relevant Al2O3 deposition techniques for the surface passivation of Si sol

113、ar cells 資料來源：Jan SchmidtIndustrially relevant Al2O3 deposition techniques for the surface passivation of Si solar cells 根據 CPIA中國光伏產業發展路線圖(2021 年版)，ALD 沉積技術有更精確的層厚控制和更好的鈍化效果，2021 年在 PERC 電池背鈍化市場占比約 41.4%。而在 TOPCon 正面鈍化領域，我們估計 ALD 沉積氧化鋁市占率更高。根據微導公司披露，截至 2022 年 9 月，公司已斬獲 TOPCon 等相關新型高效電池訂單近 80GW。圖圖 5

114、959：PERC PERC 電池背鈍化技術市場占比電池背鈍化技術市場占比 資料來源：CPIA 氧化硅（隧穿氧化層）氧化硅（隧穿氧化層）在 TOPCon 電池鈍化結構中，SiO2膜具有重要作用。它的鈍化效果很好，但卻是絕緣的。目前有兩種導電機制可以使得電流通過這層絕緣膜：1）針孔作用；2）隧穿機理。敬請參閱最后一頁特別聲明-44-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 根據宋登元N 型電池產業化現狀與發展趨勢，SiOx 在不同厚度下，載流子隧穿機制有所不同：1）SiOx2nm，載流子穿過氧化硅層是針孔機制+隧穿機制；3）1.43nm 和 1.25nm，FF 較差由于隧穿導電機制不能提供充足的

115、導電，不能較好阻擋磷雜質進入硅襯底；4）SiOx=1.55nm，得到比較好的鈍化效果。SiO2膜制備方法可以包括：濕法氧化、熱氧化、PECVD、PVD、ALD。從致密度排序來看，ALD 制備的膜鈍化效果最佳，其次是熱氧化法，其次是 PECVD，最后是濕法氧化。一般情況下，ALD-SiO2膜在 0.7nm0.7nm，而熱氧-SiO2需達到 1.3nm1.3nm。圖圖 6060：載流子隧穿機制載流子隧穿機制 圖圖 6161：過薄的多晶硅層會導致金屬漿料燒穿過薄的多晶硅層會導致金屬漿料燒穿 資料來源：宋登元N 型電池產業化現狀與發展趨勢 資料來源：宋登元接觸鈍化：一種最適合光伏產業升級的高效電池技術

116、路線 摻雜多晶硅摻雜多晶硅 目前多晶硅膜厚度為 120-150nm。理論上來講，多晶硅層越厚，越不容易燒穿，金屬化燒結窗口越寬，但硅帶來顯著的長波段寄生吸收，導致短路電流損失。將背表面多晶硅薄膜的表面摻雜濃度及厚度降低，可以有效減少光學的 FCA 損失，但過薄的多晶硅層會導致金屬漿料燒穿，需結合金屬化過程進行綜合分析。圖圖 6262：背表面多晶硅薄膜減薄有助于提升電池效率背表面多晶硅薄膜減薄有助于提升電池效率 圖圖 6363：背表面多晶硅薄膜背表面多晶硅薄膜寄生吸收寄生吸收原理原理 資料來源：宋登元N 型電池產業化現狀與發展趨勢 資料來源：晶科量產 n 型 TOPCon 電池產品創新與技術進步

117、 敬請參閱最后一頁特別聲明-45-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 根據 ITRPV2022 年國際光伏技術路線圖，TOPCon 電池中 poly 硅厚度將保持下降趨勢，由 2022 年的 120nm 下降至 2029 年的 80nm。圖圖 6 64 4：背表面多晶硅薄膜厚度下降趨勢預測背表面多晶硅薄膜厚度下降趨勢預測 資料來源：ITRPV 4.2.24.2.2、趨勢趨勢：LPLP 與與 PEPE 路線路線 對于TOPCon電池中摻雜poly硅沉積，目前主要有LPCVD和PECVD兩大路線。并由此衍生出原位摻雜和非原位摻雜兩條路徑。圖圖 6565：關鍵結構的制程選擇關鍵結構的制程選擇

118、 資料來源：北方華創TOPCon 量產技術路徑思考及核心干法工藝裝備之實踐 LPCVD 制備 poly 硅的工藝相對成熟，且成膜質量好，但缺點在于成膜速率低，特別是進行原位摻雜時速率更低。且容易產生繞鍍，在石英管和石英舟上也沉積非晶硅膜，造成維護周期短，去繞鍍難度高。敬請參閱最后一頁特別聲明-46-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 PECVD 制備 poly 硅的工藝屬于新技術，優點在于沉積速率快，且可實現原位摻雜。但其缺點在于制備的膜中氫含量較高，在后期高溫退火過程中容易析出氣泡，造成鈍化膜破損。表表 1010：LPCVDLPCVD 和和 PECVDPECVD 鍍膜特性鍍膜特性 L

119、PCVDLPCVD 管式管式 PECVDPECVD 板式板式 PVDPVD 工作原理 將一種或數種氣態物質，再較低壓力下，用熱激活能，使其發生熱分解反應，沉積在襯底表面形成所需薄膜 借助微波或射頻等使含有薄膜組成原子的氣體，在局部形成等離子體，而等離子體化學活性很強，很容易發生反應，在基片上沉積出所期望的薄膜 在真空條件下，用物理的方法(真空濺射鍍膜)，使材料沉積在被鍍工件上的薄膜制備技術 成膜速率 5-8nm/min（intrinsic）1-3nm/min（in-situ doping）10nm/min（in-situ doping）10nm/min（in-situ doping）WPH/臺

120、 單插：4300pcs，雙插：8000pcs 4200pcs 8000pcs 摻雜方式 P 擴散/離子注入 原位摻雜（增加退火)原位摻雜（增加退火）原位摻雜（增加退火）PVD 硅（靶材），PECVD 磷（PH3）隧穿氧化層生長方式 原位/熱氧化 PEALD(甲基硅烷）、O2 plasma、N2O plasma 連續 O2 plasma、N2O plasma 繞鍍情況 LAPLACE 水平插片：四周均勻、10mm 以內（已解決，年底推廣）豎直插片：四周不均勻，10-30mm 繞鍍面積較小，邊緣 2mm 以內 取決于上下鍍膜方式以及載板設計，邊緣2mm 以內或邊緣無膜 運行成本（石英件維護）石英舟

121、壽命6 個月/清洗周期 15 天 石英管壽命 4-12 個月（不清洗+涂層）個別廠家使用金屬套管存在掉渣風險 石墨舟清洗周期 30-40run 板式運行方式，容易掉片，開腔維護保養時間長，uptime 低 保養周期 30 天，保養時間 2 天；換靶材需要3 天；效率 GW 量產效率 24.9%研發實驗室最高效率 25.7%待 GW 級量產驗證 量產效率 24.5%優勢 1、熱氧化、原位生長氧化質量高；2、氧化層厚度與溫度線性關系較好；3、Poly 生長質量高，鈍化效果高。1、鍍膜速率快，單機臺產能大，投入成本低 2、繞鍍2s)顯著低于主流的單晶 PERC、TOPCon 高溫銀漿。圖圖 1241

122、24：低溫銀漿印刷低溫銀漿印刷較低較低 資料來源：聚合新材高效 TOPCon 電池金屬化技術探討 銀包銅銀包銅 由于低溫銀漿導電性較差，加上雙面使用銀漿，使得 HJT 電池的單位銀漿耗量約為 PERC 電池的 2 倍，拉大了成本方面的差距。銀包銅作為一種有效的降本手段，引起業界重視。銀包銅粉是一種核殼結構材料，具有銅的物化性能和銀的優良金屬特性以及高導電性、抗氧化性和熱穩定性，既節約貴金屬又降低了成本。由于高溫下銅容易氧化，因此銀包銅漿料目前僅適用于異質結電池。圖圖 125125：化學鍍銀包銅粉示意圖化學鍍銀包銅粉示意圖 圖圖 126126：銀包銅粉制備關鍵技術銀包銅粉制備關鍵技術 資料來源：

123、高聚科技高可靠性銀包銅粉體技術特性與制備工藝 資料來源：高聚科技高可靠性銀包銅粉體技術特性與制備工藝 制備技術路線方面，化學鍍法具備工藝簡單、成本低等優點，目前已成為主流路線。工藝方面根據沉積機理不同，又分為還原法和置換法兩種。敬請參閱最后一頁特別聲明-74-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 圖圖 127127：銀包銅制備技術路線銀包銅制備技術路線 資料來源：施玉雷銀包銅粉的制備、表征及性能研究 運用化學鍍法制備銀包銅粉的過程中，鍍液的主要成分是由硝酸銀溶液組成，并與銅離子發生置換反應，游離的銀離子因為有較高的氧化-還原電位，導致鍍液穩定性不佳，制得的鍍層不夠致密。因此，現代工藝多采

124、用絡合劑來絡合游離的銀離子，提高銀離子的絡合常數，保證鍍液在金屬包覆過程中的穩定性。常見的絡合體系包括：氨水絡合體系、EDTA 鹽體系、胺烯類化合物體系。圖圖 128128：銀包銅粉制備工藝流程銀包銅粉制備工藝流程 資料來源：施玉雷銀包銅粉的制備、表征及性能研究 根據蘇州晶銀的銀包銅漿料產品性能，不管是主柵還是細柵漿料，在粘度、固化溫度、拉力方面均保持同等水平，但銀包銅漿料的體電阻率略高于純銀漿料，主要原因可能在于部分銅粉未完全包覆?；瘜W鍍法熔融霧化法機械球磨法還原法置換法氨水絡合體系EDTA鹽體系胺烯類化合物體系技術路線絡合體系銅粉制備硫酸銨氨水混合溶液預處理處理后的銅粉懸濁液銀鹽溶液氨水銀

125、氨溶液銅離子絡合劑置換反應過濾洗滌干燥銀包銅粉 敬請參閱最后一頁特別聲明-75-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 表表 1919：銀包銅漿料銀包銅漿料性能指標性能指標 分步印刷主柵銀包銅漿料分步印刷主柵銀包銅漿料 HAC539HAC539-ZTZT 系列系列 項目項目 HC339HC339-Z Z HAC539HAC539-ZTZT 銀含量（%）92-93 55-75 體電阻率（.cm)6.0-7.0 6.5-7.5 粘度（Pas)250-380 250-380 固化溫度（)180-220 180-220 固化時間（min)3-8；28-35 3-8；28-35 主柵拉力(N/mm)

126、2.2 2.2 分步印刷細柵銀包銅漿料 HAC539-T 系列 項目 HC449 HAC539-T 銀含量（%）92-93 43-70 體電阻率（.cm)5.0-6.0 5.5-8.0 粘度（Pas)250-380 250-380 印刷速度（mm/s)150-200 170-220 拉力(N/mm)0.5-1.0 0.5-1.0 資料來源：蘇州晶銀高效異質結低溫漿料研發方向及進展 根據安徽華晟測試結果，背面副柵使用銀包銅漿料代替后，電池片效率降低0.08%，主要反映在填充系數 FF 的差異。組件方面，銀包銅電池（背面副柵）組件 CTM 也表現出了類似的微幅下降趨勢。表表 2020：銀包銅漿料測

127、試結果銀包銅漿料測試結果 測試數量測試數量 EtaEta VocVoc IscIsc FFFF 產線純銀漿料 120000 24.51%0.745 10.701 84.28%背面副柵銀包銅漿料 120000 24.43%0.7451 10.696 84.05%資料來源：安徽華晟HJT 的量產現狀與展望 表表 2121：銀包銅電池（背面副柵）組件銀包銅電池（背面副柵）組件 CTMCTM 數據數據 類型類型 電池效率電池效率 組件版型組件版型 測試日期測試日期 測試數量測試數量 功率差異功率差異/W/W CTMCTM 差異差異 銀包銅 24.30%144 2022.4.15 412-0.7-0.1

128、5%常規組件 24.30%144 2022.4.4 234 資料來源：安徽華晟HJT 的量產現狀與展望 從安徽華晟新能源公布的異質結電池銀耗降低路線來看，預計到 2023 年全面應用銀包銅漿料結合 0BB 技術，單片耗量70mg，每瓦 10mg。長期來看，銀包銅路線傾向于定位為一種過渡路線，直到電鍍銅技術得到成熟應用。敬請參閱最后一頁特別聲明-76-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 圖圖 129129：異質結電池銀耗降低路線異質結電池銀耗降低路線 資料來源：安徽華晟HJT 的量產現狀與展望 6.1.36.1.3、銀漿與銀粉國產化銀漿與銀粉國產化 不管是高溫銀漿，還是低溫銀漿，都是以銀

129、粉作為導電相。銀粉在太陽能電池導電銀漿中占質量的 70%90%，是決定銀漿和形成銀電極性能的關鍵因素。圖圖 130130：光伏銀漿制備工藝光伏銀漿制備工藝 資料來源：聚和股份招股說明書 從已上市銀漿企業的披露數據來看，銀粉占據了企業原材料采購的絕大部分。2021 年，銀粉占聚和材料原材料采購成本的 97.21%。2019 年帝科股份銀粉占原材料采購成本的比例也達到了 96.8%。2022 年上半年，聚和材料存在部分外購銀錠委外加工成銀粉的情況，該比例下降至 74.6%。圖圖 131131：聚和材料聚和材料原材料采購原材料采購 圖圖 132132：帝科股份原材料采購帝科股份原材料采購 資料來源：

130、聚和材料招股說明書；單位：萬元 資料來源：帝科股份招股說明書；單位：萬元 M6 12BB電池，效率24.5%，單片耗量150mg，每瓦22.3mg2022年3月SMBB+鋼網+專用漿料，單片耗量120mg，每瓦17.6mg背面副柵使用銀包銅漿料，單片耗量100mg，每瓦14.6mg全面應用銀包銅漿料結合0BB技術，單片耗量9BB 34.0%65.9%70.0%72.0%74.0%無主柵 0 0.1%2.0%4.0%6.0%主柵路線（主柵路線（GWGW）5BB 22.85-9BB 114.23 75.72 77.53 78.64 67.65 9BB 70.62 146.76 193.83 235

131、.91 250.31 無主柵-0.22 5.54 13.11 20.30 單價單價 普通串焊機（萬元/GW）2,200 2,000 1,900 1,850 1,800 多主柵串焊機（萬元/GW）2,310 2,100 1,995 1,943 1,890 SMBB 串焊機（萬元/GW）2,376 2,160 2,052 1,998 1,944 無主柵串焊機（萬元/GW）2,420 2,200 2,090 2,035 1,980 市場空間（億元）市場空間（億元）普通串焊機 5.03-多主柵串焊機 26.39 15.90 15.47 15.28 12.79 SMBB 串焊機 16.78 31.70

132、39.77 47.13 48.66 無主柵串焊機-0.05 1.16 2.67 4.02 合計 48.19 47.65 56.40 65.08 65.47 資料來源：InfoLink Consulting、光大證券研究所預測 敬請參閱最后一頁特別聲明-93-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 7 7、激光的應用：沿著功率曲線，尋找用武激光的應用：沿著功率曲線，尋找用武之地之地 圖圖 163163：不同功率激光在光伏領域應用不同功率激光在光伏領域應用 資料來源：大族激光激光加工技術在光伏電池制造中的應用和前景、光大證券研究所 1 1）標準光照下，主要功能：光注入）標準光照下，主要功能：光

133、注入 異質結電池在經過光照后，會出現效率提升的現象?？赡艿脑蛟谟?，通過升溫激活 SiNx 中的 H 原子，通過光照控制 H 原子的價態，使 H 原子在發射極和基底與復合中心結合，最終實現良好的鈍化效果。在光源方面，可以選擇激光或 LED。圖圖 164164：光注入增效原理光注入增效原理 資料來源：沃特維高效電池金屬化工藝及再生平臺陶瓷輥道燒結爐/光注入設備 根據余友林硅異質結太陽電池光注入性能增益分析數據，異質結太陽電池在1-sun 標準光強下入光面順序為正面-背面-正面時，效率出現兩次提升。首次進行正面光注入時，電池效率在 1h 內達到穩定，所產生的絕對效率增益為0.22%。接著進行背面光

134、注入，電池在 2h 光注入后重新達到穩定，累計產生的絕對效率增益為0.42%。最后再次進行正面光注入1h 后，電池性能無明顯變化。主要效應加熱功率密度相互作用時間融化融化和氣化氣化氣化和電離升華和直接分解30W/mm21kW/mm210kW/mm21MW/mm210W/mm210GW/mm2smsmsmsnsps/fs光伏領域應用SE、擴硼串焊激光開槽（PERC、電鍍、IBC）激光轉印無損劃片MWT打孔、網版切割照射30W/mm230-60s光注入 敬請參閱最后一頁特別聲明-94-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 圖圖 165165：異質結異質結太陽電池交替光注入后效率太陽電池交替光

135、注入后效率變化變化 圖圖 166166：光注入設備光注入設備 資料來源：余友林硅異質結太陽電池光注入性能增益分析 資料來源：山東金晟陽光官網 2 2）激光功率）激光功率 30W/mm230W/mm2，主要功能：加熱，應用領域：，主要功能：加熱，應用領域：SESE、硼擴、硼擴 不管是硼擴還是磷擴，都會在硅基體表面形成硼硅玻璃/磷硅玻璃，然后以硼原子或磷原子的形式向硅基體擴散。而擴散摻雜的本質是原子的熱運動，因此利用激光的精準特性實現對硼硅玻璃/磷硅玻璃實現線性加熱，從而實現 SE（選擇性摻雜）的作用。在 PERC 時代，激光 SE 已成為產線標配。在 TOPCon 電池領域，由于硼在硅的固溶度低

136、于磷，摻雜難度更高，在推進時需求更高的能量，即采用功率更高的激光器。但功率過高時，容易對絨面產生損傷。目前行業內激光硼擴 SE 已實現突破。2022 年 10 月，晶科能源 182N 型高效單晶硅電池技術全面積電池轉化效率達到 26.1%，效率的提升主要依靠界面缺陷修復、高透多晶硅膜以及激光 SE 基礎的超細金屬電極等多項適用于大尺寸的先進技術。我們認為，激光 SE 技術是 TOPCon 電池轉換效率從 25.5%向 26%效率平臺邁進的關鍵技術。設備層面，主要有海目星、帝爾激光、英諾激光、杰普特、大族激光。表表 3030：設備公司設備公司 TOPConTOPCon 激光激光 SESE 研發進

137、展研發進展 公司公司 激光硼擴激光硼擴 SESE 進展進展 海目星 與晶科合作在 TOPCON SE 環節率先突破，2022 年 4 月獲得晶科 10.67 億元中標通知，主要產品為 TOPCon 激光微損設備 帝爾激光 在 TOPCon 電池工藝上，公司一次摻雜方案在 5-6 家客戶處驗證，穩定在 0.2%-0.3%效率提升，預計年底前會實現量產訂單 英諾激光 利用在 PERC 電池領域的經驗積累，基于“光源+光學/運控+工藝”的一體化解決方案能力，成功開發了 QuaPulseTM 激光時空調制技術，2022 年 11 月 7 日正式推出基于該技術的定制激光器及 TOPCON 激光 SE 直

138、摻設備 杰普特 2022 年 10 月，杰普特實現 TOPCon SE 激光一次硼擴的激光光源研發并完成交付，為光伏行業頭部設備商客戶提供高效的激光硼摻雜解決方案 大族激光 公司現有研發項目包括低壓硼擴散爐、TOPCon 激光摻硼設備、LPCVD 設備等，低壓硼擴散爐、TOPCon 激光摻硼設備處于客戶驗證階段 資料來源：各公司公告 3 3）激光功率）激光功率 10kW/mm10kW/mm2 2，主要功能：融化和氣化，應用領域：激光開槽、消融，主要功能：融化和氣化，應用領域：激光開槽、消融 激光開槽是 PERC 電池必需的工藝。為了實現載流子傳輸，需要對鈍化膜 Al2O3進行開槽，從而滿足金屬

139、化需要。開槽后絲印鋁漿，鋁漿與硅基體接觸處形成局部鋁背場（LBSF），一定程度上抵消了金屬與硅基體接觸帶來的復合效應。敬請參閱最后一頁特別聲明-95-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 激光開槽的圖形經過改進，由最初連續線型圖案改為不連續短線圖案。有研究表明，采用不連續短線作為開槽圖案，當工藝控制虛實比為 1:2 時，電池輸出性能最佳。圖圖 167167：雙面單晶硅雙面單晶硅 PERC PERC 電池截面結構示意圖電池截面結構示意圖 圖圖 168168：電池片背部激光開槽圖案設計電池片背部激光開槽圖案設計 資料來源：王立富背面選擇性激光開槽圖案優化雙面 PERC 單晶電池輸出性能研究

140、資料來源：王立富背面選擇性激光開槽圖案優化雙面 PERC 單晶電池輸出性能研究 圖圖 169169：HBCHBC 工藝步驟工藝步驟 資料來源：伍小瓊激光消熔制備 HBC 太陽電池圖形化發射極的研究 激光消融、開槽在 IBC 領域用途更廣，其用途主要包括 1）刻蝕掩膜、制備 PN區交叉指結構；2）PN 區隔離；3）鈍化膜開槽。4 4）激光功率）激光功率 1 1MMW/mmW/mm2 2，主要功能：氣化，應用領域：激光，主要功能：氣化，應用領域：激光轉印轉印 敬請參閱最后一頁特別聲明-96-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 激光通過透明膜，照射在事先固定在薄膜中的銀漿上。其產生的熱能使漿

141、料和溝槽之間的界面區域中的有機成分汽化，并在漿料/薄膜界面處形成高壓蒸汽層。當在漿料/薄膜界面處建立足夠的壓力時，漿料會釋放到基材表面上。圖圖 170170：激光用于激光轉印的轉移過程激光用于激光轉印的轉移過程 資料來源：MDPI 5 5）激光功率）激光功率 10MW/mm10MW/mm2 2，主要功能：氣化和電離，應用領域：，主要功能：氣化和電離，應用領域：電池片電池片劃片劃片 隨著半片工藝在電池片封裝中的應用，激光劃片（切割）得到推廣。激光劃片主要分為有損劃片和無損劃片。有損激光切割：以激光燒蝕配合機械掰片，首先利用激光在電池的背面加工出一條貫穿表面深度 40-60%的切割道，再采用機械法

142、將電池片沿著切割道掰開；無損激光切割：為激光自動低溫切割電池片，不存在切割區，通過溫度差進行自然裂片，無機械裂片環節，無激光加工的殘留痕跡。圖圖 171171：激光劃片激光劃片工藝工藝分類分類 圖圖 172172：光伏電池多分片趨勢光伏電池多分片趨勢（M10M10 尺寸）尺寸）資料來源：光大證券研究所 資料來源：ITRPV 第一代無損劃片采用冷卻法。通過激光加熱太陽能電池片后，再通過冷卻噴頭噴水冷卻，熱應力使電池片自然裂開，實現電池片無損傷切割。最新一代的無損劃片技術取消了冷卻噴頭，因此也叫無水無損劃片。根據大族激光披露的內容，主要利用超快激光短脈寬、高峰值功率特性，使材料在極短的時間內達到預

143、定的溫度，并且利用脈沖激光高重頻特性使熱量在消散之前重新聚集，激光劃片有損劃片無損劃片冷卻法直接法 敬請參閱最后一頁特別聲明-97-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 不斷累積的能量形成合適的溫度梯度場，進而產生熱應力誘導裂紋形成和擴展，在無需液體冷卻的情況下實現電池片的應力切割。圖圖 173173：有損與無損激光劃片有損與無損激光劃片 圖圖 174174：冷卻法與直接法無損劃片冷卻法與直接法無損劃片 資料來源：耿亞飛不同激光切割晶硅太陽電池片的性能及應用 資料來源：大族激光激光加工技術在光伏電池制造中的應用和前景 6 6）激光功率）激光功率 10GW/mm10GW/mm2 2，主要功

144、能：升華和直接分解，應用領域：，主要功能：升華和直接分解，應用領域：MWTMWT 打孔、打孔、玻璃打孔玻璃打孔 當激光功率進一步增大，可以對被作用物體直接進行打孔，或切割。激光打孔在光伏領域的應用主要有兩種情形：1、MWT 電池。MWT（MetalWrapThrough，金屬穿孔卷繞）是一種將電池的正負電極均制備在電池的背面（背接觸，backcontact）的技術，采用激光打孔、背面布線的技術消除了正面電極的主柵線，僅保留正面細柵線，其搜集的電流通過孔洞中的銀漿引到背面，使得電池的正負電極點都分布在電池片的背面。2、光伏玻璃打孔。主要用于在雙玻組件的背板玻璃上制備出線孔。由于激光打孔具有良率、

145、效率、成本方面的優勢，逐步替代機械打孔成為主流路線。圖圖 175175：MWTMWT 原理原理 圖圖 176176：光伏玻璃打孔原理光伏玻璃打孔原理 資料來源：日托光伏 資料來源：林加富激光打孔技術在光伏背板玻璃上的應用 敬請參閱最后一頁特別聲明-98-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 8 8、當前時點當前時點：TOPConTOPCon 擴產具備確定性，擴產具備確定性，HJTHJT 到了降本關鍵節點到了降本關鍵節點 根據我們對新技術投資的三階段劃分：第一階段：第一階段：市場關注“概念”與“認知提升”，重點指標為技術的先進性與量產可行性。對于改變產業鏈利潤分配的重大技術變化，一般呈現一

146、級市場與二級市場共振的局面；第二階段：第二階段：市場關注“兌現程度”，重點指標為先行者的盈利情況。量產順利的情況下，新技術會帶來超額收益。此時量產能力作為檢驗企業技術實力與執行落地能力的標準，“兌現”的企業會獲得進一步的關注；第三階段：第三階段：在超額收益的吸引下，以及先行企業技術擴散的帶動下，大批社會資本開始進入新技術投資。此時重點指標為技術的可復制性，也是檢驗新技術壁壘的重要時期。對于技術壁壘高、依賴企業綜合實力而非個別員工的領域，技術擴散的技術會相對較慢，先行企業獲得超額收益的時間會拉長。當前時點，TOPCon 正處于第二階段向第三階段過渡的時期，晶科、捷泰等先行企業已獲得超額收益的驗證

147、，并吸引資本加速進場。根據我們不完全統計，截至2022 年 12 月底，TOPCon 已投產 71.65GW，在建 209W，規劃待建 215GW。HJT 則仍然處于第一階段向第二階段過渡的時期。盡管華晟新能源、金剛光伏、愛康科技等已有 GW 級的產業投產，但受制于 HJT 成本劣勢，組件產品仍局限于部分對價格接受程度高的細分市場。據我們不完全統計，截至 2022 年 12 月底，HJT 已投產 10.38GW，在建 88.4GW，規劃待建 111.14GW。圖圖 177177：電池新技術投資的三個階段：電池新技術投資的三個階段 資料來源：光大證券研究所 而制約 HJT 降本的最大環節，正是金

148、屬化環節。由于低溫銀漿的天然特性，目前單耗仍處于較高水平（150mg/片），加上低溫銀漿進口比例高，反映到銀漿單瓦成本上，HJT 為 0.12 元/W，TOPCon 為 0.08 元/W，PERC 為 0.05 元/W（截至 2022 年 11 月底）。能否如期實現 HJT 銀耗降低，成為 HJT 走向量產的決速步。我們關注 2022 年底至 2023 年初銀包銅+0BB 的實際應用情況，理想情況下可以將銀漿成本降至0.05 元/W 附近，實現與 PERC 打平。第三階段關注“兌現”指標：第一批投資開始盈利第二階段第一階段關注：”概念”指標：技術先進性&可行性鈣鈦礦關注“再投資”指標：超額收益

149、驗證引發再投資TOPconHJTHPBC 敬請參閱最后一頁特別聲明-99-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 表表 3131：各類電池成本拆分：各類電池成本拆分 M10M10 單位單位 PERCPERC TOPConTOPCon 提升提升 HJTHJT 提升提升 備注備注 硅片成本 硅片面積 mm2 33015 33015 33015 硅片厚度 m 150 130 110 鋸縫厚度 m 55 50 50 切片槽距 m 205 180 160 切片良品率%95%95%90%每公斤方棒出片數 片/kg 60 69 73 損耗率%95%95%93%單片硅耗 g/片 17.47 15.34 1

150、4.70 電池片轉換效率%23.50%25.50%25.50%組件實際轉換效率%23.20%24.10%24.50%對應單片瓦數 W/片 7.66 7.96 8.09 72 片組件瓦數 W 551 573 21 582 31 TOPCon 組件功率高 21W 單瓦硅耗 g/W 2.28 1.93 1.82 硅料價格（含稅）元/kg 202 212.1 212.1 N 型硅料售價高 5%硅料成本（不含稅）元/片 3.12 2.88 2.76 非硅成本 元/片 0.84 0.84 0.84 假設硅片端拉棒切片成本一樣 硅片成本（硅片+電池片一體化）元/片 3.96 3.72 3.60 硅片單瓦成本

151、（硅片+電池片一體化）元/W 0.52 0.47-0.05 0.45-0.07 硅片成本（外購）元/片 6.40 6.52 6.26 中環最新保價 硅片單瓦成本（外購）元/W 0.74 0.73-0.01 0.68-0.05 外購硅片，TOPCon 便宜 1 分，HJT 便宜 5 分 非硅成本 正銀耗量 mg/片 60 110 125 背銀耗量 mg/片 25 0 0 正銀耗量 mg/W 7.83 13.82 15.45 正銀價格（不含稅）元/kg 6100 6100 7000 背銀價格（不含稅）元/kg 4000 銀漿成本 元/W 0.06 0.08 0.02 0.11 0.05 銀漿成本

152、TOPCon 貴 2 分，HJT 貴 5 分 化學試劑成本 元/W 0.02 0.02 0.02 化學品成本 元/W 0.01 0.01 0.01 折舊成本 元/W 0.025 0.037 0.01 0.058 0.03 PERC1.5 億/GW，TOPCon2.2 億/GW，HJT3.5億/GW，產線按 6 年折舊（根據通威最新政策）能源成本 元/W 0.02 0.01-0.01 0.01-0.01 TOPCon、HJT 功率高，能源攤薄便宜 1 分 人工成本 元/W 0.02 0.02 0.02 靶材成本 元/W 0.04 0.04 HJT 需要用到 ITO 其他非硅成本 元/W 0.01

153、 0.02 0.01 0.01 TOPCon 爐管/石英舟更換頻率更高，生產節拍更慢，單瓦貴 1 分 總非硅成本 元/W 0.17 0.20 0.04 0.28 0.11 非硅成本 TOPCon 貴 3 分，HJT 貴 1 毛 2 匯總 電池片售價 元/W 1.08 1.18 0.1 1.18 0.10 一道報價 總成本(硅片+電池片一體化）元/W 0.68 0.67-0.01 0.72 0.04 一體化前提下，TOPCon 總成本便宜 1 分，HJT貴 4 分 單瓦毛利(硅片+電池片一體化）元/W 0.27 0.38 0.10 0.32 0.05 毛利率（硅片+電池片一體化）%28.5%36

154、.0%7.5%30.9%總成本（硅片外購）元/W 0.91 0.93 0.02 0.96 0.06 外購硅片，TOPCon 總成本貴 2 分，HJT 貴 6分 單瓦毛利（硅片外購）元/W 0.05 0.12 0.07 0.08 0.03 資料來源：Solarzoom、光大證券研究所測算；截至 2023 年 3 月底 敬請參閱最后一頁特別聲明-100-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 9 9、相關標的相關標的梳理梳理 表表 3232：TOPConTOPCon 電池設備重點國內廠家電池設備重點國內廠家 TOPConTOPCon 設備名稱設備名稱 重點國內廠家重點國內廠家 制絨清洗 捷佳偉

155、創、無錫琨圣 硼擴散 擴散爐 拉普拉斯、捷佳偉創 SE 帝爾激光、海目星、大族激光 刻蝕 捷佳偉創、無錫琨圣 隧穿層+poly(1)LPCVD：本征+磷擴 LPCVD：拉普拉斯、普樂、松煜、北方華創(2)PECVD+退火 PECVD：捷佳偉創、金辰、紅太陽 Al2O3+SiNx PECVD 設備 理想、微導、捷佳偉創、北方華創 絲印燒結 絲?。哼~為、科隆威 激光轉?。旱蹱柤す?資料來源：TaiyangNews 2021、光大證券研究所整理 表表 3333：HJTHJT 電池設備重點國內廠家電池設備重點國內廠家 HJTHJT 設備名稱設備名稱 重點國內廠家重點國內廠家 制絨清洗 捷佳偉創、YAC

156、、啟威星（邁為）PECVD(1)板式 邁為、鈞石、理想(2)管式 捷佳偉創 TCO(1)PVD 鈞石、邁為、理想(2)RPD 捷佳偉創 印刷 絲?。哼~為、捷佳偉創 激光轉?。旱蹱柤す?資料來源：TaiyangNews 2021、光大證券研究所整理 規?；?、技術進步、降本互相交織，推動光伏電池效率向極限進發。技術方面日拱一卒，不斷創造新的世界紀錄，產業鏈方面逐步成熟，適應 N 型技術的主輔材走向規?；?。我們認為，光伏電池效率的提升有望帶來產業的新一輪增長，同時為設備端、制造端、材料端帶來超額回報。短期內，TOPCon 已走向成熟，并在 SE 技術下實現效率進一步提升；2023-24 年，HJT

157、在各降本路徑有望取得階段性進展并迎來平價拐點。重點推薦：重點推薦：捷佳偉創、邁為股份、帝爾激光、奧特維、英杰電氣、橫店東磁、鈞達股份、賽伍技術。建議關注：帝科股份、聚和材料、金辰股份、海目星、蘇州固锝、東威科技、芯碁微裝。敬請參閱最后一頁特別聲明-101-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 9.19.1、捷佳偉創捷佳偉創 公司成立于 2003 年，并于 2018 年于深交所上市。2005 年公司以清洗制絨設備為切入點，進軍光伏行業；2008-2009 年，先后推出擴散爐、PECVD 等設備。進入 PERC 時代后，公司管式氧化鋁鍍膜設備、超高產能管式 PECVD 取得較高市占率。面向高

158、效電池技術，公司不但擁有了 TOPCon、HIT、鈣鈦礦三大主線領域，還由此拓展到 MWT、TBC、HBC、疊層電池等細分領域，各技術路線均具備了完全的整線設備供應能力及技術實力。圖圖 178178：捷佳偉創：捷佳偉創發展歷程發展歷程 資料來源：公司官網 TOPCon 電池方面，公司 TOPCon 核心設備 PE-Poly 實現了隧穿層、Poly 層、原位摻雜層的“三合一”制備，不僅解決了傳統TOPCon電池生產過程中繞鍍、能耗高、石英件高損耗的固有難點，而且大大縮短了原位摻雜工藝時間，提高了生產效率，有效提升 TOPCon 的轉換效率和良率。據公司微信公眾號披露，2023 年以來，公司取得了

159、行業內多家客戶合計 50GW的 TOPCon 電池設備訂單，中標設備包括了濕法設備、正背膜設備、PE-poly、硼擴及配套自動化設備。隨著 TOPCon 擴產規模的快速增加，公司的 PE-poly裝備技術方案成為 TOPCon 技術路線的主流選擇，市占率已超過 50%，并呈逐步上升趨勢。HJT 電池方面，公司 2020 年底實現關鍵設備板式 PECVD 的交付，從而具備了完全自主 HJT 整線交付能力；2021 年，公司在常州建設的 HJT 中試線實現首片下線，并探索將管式 PECVD 適用于 HJT 領域，目前已完成工藝匹配和量產化定型。2022 年 11 月，公司 HJT 板式 PECVD

160、 路線微晶工藝的量產平均轉換效率持續穩定達到 25%以上。鈣鈦礦電池方面，公司 RPD 設備取得多個鈣鈦礦產線訂單，積極穩健推進鈣鈦礦及疊層電池整線裝備的研發及升級，公司持續深入開發并獲得了狹縫涂布、PVD/RPD、蒸發鍍膜等設備訂單。2022 年 7 月，公司首臺套量產型鈣鈦礦電池核心裝備(RPD)出貨。隨后中標鈣鈦礦低溫低損薄膜真空沉積設備訂單（某央企研究院）、反應式等離子鍍膜設備2003前董事長蔣柳健先生于深圳市寶安區創立深圳市捷佳創精密設備有限公司2004自主研制成功首臺單晶槽式制絨酸洗設備，并成功向無錫尚德電力實現銷售2005正式進軍光伏行業，推出單晶槽式制絨酸洗設備2008向市場推

161、出首臺自主研制等離子體刻蝕機，自主研制新型閉管軟著陸高溫擴散爐2009自主研制出 PD-305 型 PECVD 設備并成功推向市場2010捷佳有限通過重組深圳捷佳創和收購常州捷佳創，全面整合公司業務2013注重自動化方面的研發，成功推出鏈式設備自動上下片機、自動石墨舟裝卸片機、自動石英舟裝卸片機等系列產品2016新型管式 PECVD 設備和擴散爐實現了量產；形成電池片生產線整線自動化能力2019背鈍化技術氧化鋁鍍膜設備研發已形成批量生產銷售2020首臺國產大產量RPD和異質結關鍵設備板式PECVD先后出廠交付，Topcon項目氣態源（BCl3）210硅片硼擴散工藝已研發成功2021TOPCon

162、：核心設備PE-Poly和硼擴散設備已成功交付客戶量產運行，具備整線設備交付能力；HJT：管式PECVD已進入工藝匹配和量產化定型 敬請參閱最后一頁特別聲明-102-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 訂單（某國家科學院）、鈣鈦礦共蒸法真空鍍膜設備（某全球頭部光伏企業）。從 2022 年下半年至 2023 年 2 月，公司已向十多家光伏頭部企業和行業新興企業及研究機構提供鈣鈦礦裝備及服務，訂單金額超過 2 億元。半導體設備領域，公司全資子公司創微微電子自主開發了 6 吋、8 吋、12 吋濕法刻蝕清洗設備，涵蓋多種前道濕法工藝，實現了公司從光伏裝備領域向半導體裝備領域的戰略上的拓展。維持

163、“買入”評級。維持“買入”評級?；?TOPCon 擴產順利，長期發展前景看好，我們上調公司 2022-2024 年盈利預測 0.9%/2.2%/2.8%至 10.66/13.86/17.43 億元，對應EPS 為 3.06/3.98/5.01 元，當前股價對應 22-24 年 PE 為 38/29/23 倍。TOPCon電池技術擴產加速，激光 SE 助力電池效率進一步提升，公司 PE-Poly 設備接連取得訂單，整線設備在國內外取得突破，未來有望保障公司業績穩步提升，維持“買入”評級。風險提示：風險提示：公司擴產進度不及預期；新設備推廣應用進度不及預期；存貨規模較大，流動性資金面臨壓力的風險

164、。表表 3434：捷佳偉創：捷佳偉創盈利預測與估值簡表盈利預測與估值簡表 指標指標 20202020 20212021 2022E2022E 2023E2023E 2024E2024E 營業收入（百萬元）4,044 5,047 6,807 8,812 10,923 營業收入增長率 60.03%24.80%34.86%29.47%23.96%凈利潤（百萬元）523 717 1,066 1,386 1,743 凈利潤增長率 36.95%37.16%48.59%29.98%25.80%EPS（元）1.63 2.06 3.06 3.98 5.01 ROE（歸屬母公司)（攤?。?7.23%11.57%1

165、4.79%16.33%17.28%P/E 71 56 38 29 23 P/B 12.3 6.5 5.6 4.8 4.0 資料來源：Wind，光大證券研究所預測，股價時間為 2023 年 4 月 7 日 由于回購、增發、股權激勵等原因，公司 2020 年/2021 年/2022 年底股本分別是 3.212 億股/3.483 億股/3.482 億股 9.29.2、邁為股份邁為股份 公司成立于 2010 年，主要產品包括全自動太陽能電池絲網印刷生產線、異質結高效太陽能電池制造整體解決方案、OLED 激光切割設備、微型 LED 激光設備、半導體晶圓激光切割設備等。公司 2019 年交付第一條光伏異質

166、結整線設備。在原有絲網印刷設備的基礎上完善改進了 HJT 絲網印刷設備，通過自主研發陸續突破核心工藝環節非晶硅薄膜沉積、TCO 膜沉積所需的 PECVD 設備和 PVD 設備，并通過參股子公司吸收引進日本 YAC 的制絨清洗技術，從而實現了 HJT 電池設備的整線供應能力。2022 年以來，公司先后中標信實工業（4.8GW）、安徽華晟（7.2GW）、金剛玻璃（4.8GW）、三五互聯（1.2GW）異質結生產線，在異質結設備領域地位穩固。敬請參閱最后一頁特別聲明-103-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 圖圖 179179：邁為股份：邁為股份發展歷程發展歷程 資料來源：公司官網 公司依托

167、現有技術優勢，進軍半導體封裝設備、顯示面板設備，并取得了快速發展。半導體封裝設備方面，與半導體芯片封裝制造企業長電科技、三安光電就半導體晶圓激光開槽設備先后簽訂了供貨協議，并與其他五家企業簽訂了試用訂單。顯示面板設備方面，公司中標國內顯示面板龍頭企業京東方的第 6 代 AMOLED生產線項目，將供應兩套自主研制的 OLED 柔性屏彎折激光切割(BendingCut)設備，分別應用于京東方綿陽工廠以及京東方重慶工廠的智能手機柔性AMOLED 面板生產線。2022 年，公司在珠海成立了邁為技術（珠海）有限公司，擬出資 21 億元，投資建設“邁為半導體裝備項目”，推進公司半導體設備領域業務。絲網印刷

168、方面：絲網印刷方面：公司在太陽能電池絲網印刷領域占據龍頭地位。主要產品太陽能電池絲網印刷整線設備的國內市占率連續六年（20162021 年）、全球市占率連續四年（20182021 年）位居第一，且于 2020 年榮獲國家“制造業單項冠軍產品”。公司實現了在二次印刷、雙頭雙軌印刷、高速高精軟件控制等前沿技術上的突破，具備了與國外廠商角逐市場的實力。目前，公司的太陽能電池絲網印刷生產線成套設備產品已經實現了進口替代，在國內增量市場的份額連續多年居于首位。同時，公司還在逐步占領國內市場的基礎上，加強海外銷售網絡的建設，完成了向印度、越南、泰國、馬來西亞等光伏新興國家的出口。根據 2022 年中報披露

169、，公司生產的太陽能電池絲網印刷生產線成套設備印刷產能較大，碎片率較低，印刷精度較高，目前公司主營產品的印刷產能（PERC 設備工藝）可以達到單軌 4000 片/小時，雙軌 8000 片/小時，碎片率可以達到小于 0.1%，印刷精度可以達到5 微米。維持“買入”評級維持“買入”評級：公司與華晟、金剛玻璃、愛康科技等頭部異質結電池片廠商深度綁定，訂單及業績有望加速釋放，我們維持 22-24 年歸母凈利潤預測9.06/13.45/21.43 億元，對應 EPS 為 5.21/7.73/12.31 元，當前股價對應 22-24年 PE 為 57/38/24 倍。公司憑借在電池片制造環節的絲網印刷整套設

170、備龍頭地2010吳江邁為技術有限公司成立2009取得第一項發明專利一種角度可調整的絲網印刷及其角度調整裝置，獲得“高新技術企業”認定2013獲得“江蘇省首臺套重大裝備“認定2016邁為智能產業園(63畝)開工建設，邁為絲網印刷整線設備市占率躍居國內首位2018邁為股份正式在深交所上市，邁為絲網印刷整線設備市占率躍居全球首位2019公司首臺OLED G6 Half激光切割量產設備交付，公司首條光伏異質結電池制造整線設備交付2020絲網印刷整線設備榮獲“制造業單項冠軍產品”2021榮獲國家技術發明獎二等獎，獲國家“能源領域首臺（套）重大技術裝備項目”認定，HJT整線設備首次出口海外 敬請參閱最后一

171、頁特別聲明-104-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 位，積極布局培育 HJT 技術生態并實現突破，未來將持續受益于新一輪電池片產能革新，我們看好公司未來的發展前景和業績的持續提升，維持“買入”評級維持“買入”評級。風險提示：風險提示：光伏行業景氣度下降的風險；行業競爭加劇導致市場份額下降的風險；HJT 高效電池設備的技術路線存在不確定性。表表 3535：邁為股份：邁為股份盈利預測與估值簡表盈利預測與估值簡表 指標指標 20202020 20212021 2022E2022E 2023E2023E 2024E2024E 營業收入（百萬元）2,285 3,095 4,484 6,747

172、 10,535 營業收入增長率 58.96%35.44%44.87%50.45%56.16%凈利潤（百萬元）394 643 906 1,345 2,143 凈利潤增長率 59.34%62.97%40.97%48.41%59.35%EPS（元）7.57 5.95 5.21 7.73 12.31 ROE（歸屬母公司)（攤?。?2.59%10.95%13.70%17.29%22.20%P/E 39 50 57 38 24 P/B 8.8 5.5 7.8 6.6 5.3 資料來源：Wind，光大證券研究所預測，股價時間為 2023 年 4 月 7 日 由于資本公積金轉增股本、轉債轉股原因，公司 202

173、0 年/2021 年/2022 年底股本分別是 0.52 億股/1.08 億股/1.74 億股 9.39.3、奧特維奧特維 公司創立于 2010 年，擁有員工近 3000 名，是光伏、鋰電和半導體專業領域知名的智能設備制造商。產品覆蓋光伏產業鏈的硅片/棒、組件、電池四大環節，核心產品多主柵串焊機、硅片分選機擁有強勁的市場競爭力，獲得了行業龍頭企業客戶的高度認可，市場占有率較高。公司自主研發了鋰電模組、PACK 智能生產線及鋰電池外觀分選設備，得到行業知名客戶多批次多項目的復選采購；并于2021 年正式推出半導體鍵合設備，已獲得批量訂單。圖圖 180180：奧特維奧特維發展歷程發展歷程 資料來源

174、：公司官網 2016 奧特維智能裝備公司成立，跨入鋰電行業2017 鋰電圓柱PACK線獲高新技術產品認定，獲江蘇省首臺（套）重大裝備產品2017 硅片分選機打破進口壟斷2018 發布激光劃片機2018 鍵合機項目啟動，進軍半導體行業；發布光注入退火爐2019 鍵合機焊接工藝研究，首套樣機裝配完成2020 科創板上市，拉力鉤針技術突破，鍵合機樣機出廠量產驗證控股松瓷機電奧特維旭睿成立SAP系統上線鋁線鍵合機獲得首批訂單中標蜂巢能源生產線項目2010 公司成立2012 研制光伏串焊機2013 串焊機首次公開亮相SNEC展2014 實現銷售額300萬到2億2015 開拓海外業務，首單出口馬來西亞，首

175、次參加境外展會2010-2015（串焊機起步）2016-2017（鋰電板塊起步，豐富光伏板塊）2018-2020（半導體板塊起步，豐富光伏板塊）2021（上市，進軍單晶爐）敬請參閱最后一頁特別聲明-105-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 圖圖 181181：奧特維：奧特維產品布局產品布局 資料來源：公司公告 根據公司業績快報，2022 年公司實現營收 35.40 億元，同比增長 72.94%，實現歸母凈利潤 6.98 億元，同比增長 88.29%。公司業績實現快速增長，主要由于以串焊機為代表的光伏設備較快交付。圖圖 182182：奧特維奧特維營收情況營收情況 圖圖 183183：奧

176、特維奧特維歸母凈利潤情況歸母凈利潤情況 資料來源：Wind、光大證券研究所；2022 年數據是公司業績快報數據 資料來源：Wind、光大證券研究所；2022 年數據是公司業績快報數據 新能源車/電動工具鋰電設備光伏發電硅片電池片組件半導體封裝應用領域市場拓展201320142015201620172021201820192020單軌串焊機IBC 串焊機高速串焊機雙軌串焊機貼膜機超高速串焊機串檢模組多主柵串焊機激光劃片機超高速劃焊一體機多主柵劃焊一體機疊瓦機光注入退火爐濕法黑硅制絨設備軟包模組PACK線圓柱模組PACK線圓柱電芯分選機超高速、大尺寸多主柵串焊機大尺寸硅片分選機無損激光劃片機燒結退

177、火一體爐半導體鋁線鍵合機單晶爐圓柱電芯外觀檢測設備劃焊連體機高速排版機高速疊焊機劃焊排疊方案0204060801000510152025303540201720182019202020212022營業總收入（億元）同比(%)（右軸）04080120160012345678201720182019202020212022歸母凈利潤（億元）同比(%)（右軸）敬請參閱最后一頁特別聲明-106-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 圖圖 184184：奧特維奧特維分部業務營收分部業務營收 圖圖 185185：奧特維奧特維分部業務毛利率分部業務毛利率 資料來源：Wind、光大證券研究所；單位：百萬

178、元 資料來源：Wind、光大證券研究所；單位：%光伏板塊光伏板塊 1 1）組件設備）組件設備 公司在組件環節的拳頭產品為串焊機，近年來隨著光伏技術創新加快，特別大尺寸、多主柵、超薄片、多分片等技術的普及，加速了串焊機技術迭代進程。據公司公告，公司率先研發出適用于大尺寸、多主柵的高速串焊機，2021-2022 年在串焊機領域出貨市占率達到 60-70%。除了串焊機之外，公司還開發了劃焊排疊一體機，為用戶提供一體化的解決方案。隨著 SMBB、無主柵技術的普及，我們預計串焊機將面臨新一輪的技術升級。2 2）電池片設備）電池片設備 公司在電池片環節的產品主要是光注入退火爐。通過調節光伏電池片費米能級變

179、化，控制 H 總量及價態，提高 H 鈍化與缺陷修復效率，達到降低 P 型電池衰減效應，提高 N 型電池轉換效率的效果，最新型號的產能達 8000 片/小時。根據公司公告披露，2021 年公司光注入退火爐訂單約 8000 萬，2022 年上半年取得的訂單量已接近 2021 年全年。3 3）硅片設備）硅片設備 公司在硅片環節的產品主要是直拉單晶爐和硅片分選機。其中直拉單晶爐主要通過控股子公司松瓷機電生產，在 2021 年推出產品后，當年取得宇澤半導體 1.4億元訂單，2022 年 1-6 月，公司大尺寸 N 型單晶爐獲得訂單超 6 億元。產能方面，截至三季度末，公司單晶爐產能擴張已超 200 臺/

180、月。由于兩家頭部硅片廠商隆基股份與 TCL 中環都有各自綁定的硅片設備廠商，公司主要目標市場為隆基、中環外的增量市場。根據公司公告披露，截至 2022 年初，公司在硅片分選機領域的市場份額約 50%。鋰電板塊鋰電板塊 公司在鋰電板塊的主要產品為鋰電模組/PACK 生產線、圓柱外觀檢測設備。隨著公司的產品逐步推向市場，目前已與蜂巢能源、遠景動力、贛鋒鋰電、太普動力新能源、星恒電源、金康動力新能源、孚能科技、沃太能源、LG 新能源等電芯、PACK、整車知名企業，建立了較好的業務合作關系。2021 年，公司鋰電05001,0001,5002,0002,50020172018201920202021光

181、伏設備鋰電設備其他主營業務其他業務-100102030405020172018201920202021整體毛利率光伏設備鋰電設備 敬請參閱最后一頁特別聲明-107-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 模組/PACK 生產線取得蜂巢能源大額訂單，實現鋰電業務單一訂單金額過億的突破。產品方面，因鋰電設備定制化程度高，公司采取以銷定產的生產模式，嚴格根據客戶的訂單來確定采購計劃和生產計劃。但隨著新能源車、儲能行業快速發展，下游對電芯模組和 pack 線的產品復制化的需求開始逐步顯現出來，公司加快對鋰電模組/PACK 生產線標準化、模塊化的推動，后續出貨速度、毛利率有上行空間。半導體板塊半導體

182、板塊 公司在半導體板塊的主要產品為半導體封裝環節鋁線鍵合機，適用于焊接功率器件。隨著新能源汽車對功率器件需求的放大，其市場規模會有較大幅度增長。目前國內功率器件鋁線鍵合機市場基本仍由庫力索法、ASM 太平洋等公司所占有，國產化率較低。隨著先進封裝的工藝發展，國產設備性能的不斷提升，國產設備替代進口設備的趨勢明顯。公司 2018 年立項研發半導體鍵合機，于 2021 年初成功推出高端鍵合機產品，陸續發往客戶端試用。截至 2022 年上半年已有試用客戶接近 20 家，已取得通富微電、德力芯及其他客戶小批量訂單。同時，適用于處理器、存儲器等器件的金銅線鍵合、倒裝鍵合、裝片等工藝的中高端設備仍由境外廠

183、商生產，半導體封裝測試設備領域進口替代空間仍然較大。根據公司公告，公司未來會向前延伸做裝片機，橫向做金銅線鍵合機，不斷擴大產品覆蓋范圍。盈利預測、估值與評級盈利預測、估值與評級 關鍵假設：公司以精密位置控制技術、精密檢測技術、智能制造技術、特種材料加工技術 4 大類核心支撐技術，衍生出光伏電池先進加工技術、鋰電電芯外觀檢測技術、半導體引線鍵合技術等 9 項核心應用技術。光伏板塊：以組件端的串焊機、硅片端的拉晶爐為核心產品，2022-24 年串焊機市場空間為47.6/56.4/65.1 億元，由于公司技術領先，假設公司串焊機業務市占率為57%/63%/63%，營收分別為 27.2/35.5/41

184、.0 億元；假設 2022-24 年硅片環節新增產能 245/240/200GW，公司業務拓展順利，預計在拉晶爐新增市場（除隆基中環外）滲透率為 1.7%/6.7%/12.0%，則拉晶爐業務營收 2.7/8.8/13.2 億元。隨著公司電池片設備、劃焊一體機、劃焊排疊一體機等設備放量，假設串焊機、拉晶爐兩大核心產品營收占光伏板塊營收的比例為 93%/90%/86%，則 2022-24年光伏板塊營收分別為 32.0/49.3/63.0 億元，隨著大尺寸串焊機換代完成，以及拉晶爐放量，毛利率小幅下降分別為 37.5%/37.0%/36.5%。鋰電板塊：主要產品為鋰電模組/PACK 生產線、圓柱外觀

185、檢測設備,與電芯、PACK、整車知名企業，建立了較好的業務合作關系。隨著新能源車、儲能行業快速發展，下游對電芯模組和 pack 線的需求快速提升，假設 2022-24 年公司鋰電板塊確認營收分別為 1.1/1.7/2.3 億元，增速分別為 14.1%/50.0%/40.0%，毛利率為24.2%/24.2%/24.2%。半導體板塊：敬請參閱最后一頁特別聲明-108-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 主要產品為半導體封裝環節鋁線鍵合機，適用于焊接功率器件。隨著新能源汽車對功率器件需求的放大，預計國產化替代逐步推進，假設 2022-24 年公司半導體板塊確認營收分別為 1.0/1.5/2.

186、1 億元，2023-24 年增速分別為 50.0%/40.0%，參照相關半導體公司的毛利率，預計2022-24年毛利率為35.0%/35.0%/35.0%。其他主營業務：主要為設備改造業務，整體需求與現有業務板塊的更新換代相關。假設 2022-24年該板塊營收分別為 1.3/1.5/1.8 億元，毛利率為 47.5%/47.5%/47.5%。預 計2022-24年 銷 售 費 用 率 為3.5%/3.5%/3.5%，管 理 費 用 率 為5.8%/5.8%/5.8%，研發費用率為 7.0%/7.0%/7.0%。我們預計公司 22-24 年營業收入分別為 35.4/54.0/69.3 億元，歸母

187、凈利潤分別為 6.98/10.70/13.77 億元，對應 EPS 分別為 4.52/6.93/8.92 元。表表 3636：奧特維奧特維營業收入盈利預測表營業收入盈利預測表 項目項目 20202020A A 202021A21A 2022022 2E E 2022023 3E E 2022024 4E E 主營收入（百萬元）1,144 2,047 3,540 5,399 6,926 增長率 51.7%78.9%72.9%52.5%28.3%毛利（百萬元）412 771 1,322 1,989 2,516 主營毛利率 36.1%37.7%37.3%36.8%36.3%光伏板塊 收入（百萬元）9

188、68 1,725 3,201 4,931 6,302 增長率 44.7%78.2%85.6%54.0%27.8%毛利（百萬元）346 647 1,201 1,825 2,300 毛利率 35.7%37.5%37.5%37.0%36.5%鋰電板塊 收入（百萬元）34 96 110 165 231 增長率-33.8%181.0%14.1%50.0%40.0%毛利（百萬元）9 23 27 40 56 毛利率 27.1%24.2%24.2%24.2%24.2%半導體板塊 收入（百萬元）100 150 210 增長率 50.0%40.0%毛利（百萬元）35 53 74 毛利率 35.0%35.0%35.

189、0%其他主營業務 收入（百萬元）83 223 125 150 180 增長率 161.6%168.2%-44.0%20.0%20.0%毛利（百萬元）41 106 59 71 86 毛利率 49.8%47.5%47.5%47.5%47.5%資料來源：Wind，光大證券研究所預測；注：2020 年營收中存在非織造布設備一項，為偶發性業務 考慮到公司主要營收來源為光伏設備，且具備較強的市場地位和競爭優勢，我們選擇光伏設備公司邁為股份、捷佳偉創、帝爾激光三家公司作為可比公司?？杀裙井斍肮蓛r對應 22/23 年 PE 均值為 44/29 倍，公司當前股價對應 22/23 年PE 為 39/25 倍，低

190、于可比公司均值。敬請參閱最后一頁特別聲明-109-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 表表 3737：可比公司估值比較：可比公司估值比較 公司名稱公司名稱 收盤價（元）收盤價（元）EPSEPS（元）（元）PEPE（X X）CAGRCAGR -2 2/20/202222 PEGPEG -20202222 市值市值 （億元）（億元）2022023 3/4 4/7 7 2021A2021A 2022E2022E 2023E2023E 2024E2024E 2021A2021A 2022E2022E 2023E2023E 2024E2024E 邁為股份 296.56 5.95 5.36 9.1

191、1 13.56 50 55 33 22 59.06%0.94 516 捷佳偉創 116.02 2.12 2.89 4.03 5.29 55 40 29 22 35.33%1.14 404 帝爾激光 109.01 3.59 2.92 4.22 5.95 30 37 26 18 42.81%0.87 186 平均值 45 44 29 21 45.73%0.98 奧特維 175.10 3.76 4.52 6.93 8.92 47 39 25 20 40.46%0.96 270 資料來源：奧特維為光大證券研究所預測，其余為 wind 一致預期 我們預計公司 22-24 年凈利潤分別為 6.98/10.

192、70/13.77 億元，對應 EPS 分別為4.52/6.93/8.92 元,當前股價對應 22-24 年 PE 分別為 39/25/20 倍。公司以四大核心技術為依托，產品覆蓋光伏、鋰電、半導體三大景氣行業，特別是在光伏設備領域具備較強競爭力。首次覆蓋給予“首次覆蓋給予“買入買入”評級?！痹u級。風險提示：風險提示：光伏行業景氣度下降的風險；新設備推廣應用進度不及預期；行業競爭加劇導致市場份額下降的風險。表表 3838：奧特維：奧特維業績預測和估值指標業績預測和估值指標 指標指標 20202020 20212021 2022E2022E 2023E2023E 2024E2024E 營業收入（百

193、萬元）1,144 2,047 3,540 5,399 6,926 營業收入增長率 51.67%78.93%72.94%52.54%28.28%凈利潤（百萬元）155 371 698 1,070 1,377 凈利潤增長率 111.57%138.63%88.29%53.29%28.71%EPS（元）1.57 3.76 4.52 6.93 8.92 ROE（歸屬母公司)（攤?。?4.26%26.33%35.83%37.17%34.06%P/E 111 47 39 25 20 P/B 15.9 12.3 13.9 9.4 6.7 資料來源：Wind，光大證券研究所預測，股價時間為 2023 年 4 月

194、 7 日 由于增發、股權激勵等原因，公司 2021 年/2022 年底股本分別是 0.99 億股/1.54 億股 敬請參閱最后一頁特別聲明-110-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 9.49.4、帝爾激光帝爾激光 帝爾激光成立于 2008 年，提供高效太陽能電池激光加工綜合解決方案，客戶包括隆基、阿特斯、通威、天合、晶科、愛旭、晶澳等國內外知名光伏企業。20162021 年，公司營業收入由 0.77 億元增長至 12.57 億元，5 年 CAGR 高達74.82%，歸母凈利潤由 0.30 億元增長至 3.81 億元，5 年 CAGR 高達 66.03%。圖圖 186186：帝爾激光：

195、帝爾激光發展歷程發展歷程 資料來源：公司官網 PERCPERC：激光摻雜：激光摻雜+消融消融。激光 SE（選擇性發射極）較常規電池更好地平衡金屬半導體間的接觸電阻和光子收集之間的矛盾，光電轉換效率絕對值可提高 0.3%至 0.5%。激光 PERC 消融（開槽）是為了解決氧化鋁鈍化層與金屬化之間的矛盾而采取的局部接觸技術，是 PERC 電池走向商業化的關鍵。公司推出高效太陽能電池 PERC 激光消融設備和 SE 激光摻雜設備，占領了全球PERC 高效太陽能激光設備 80%以上的市場份額。2022 年公司取得 PERC 電池近 100GW 訂單。TOPConTOPCon：激光硼摻雜：激光硼摻雜。在

196、 TOPCon 電池工藝上，公司擁有激光硼摻雜、激光開膜、特殊漿料開槽等相關技術儲備。截至 2023 年 2 月，公司 TOPCon SE 一次激光摻雜設備在手訂單和中標產能累計已經超 100GW。HJTHJT：LIALIA 激光修復激光修復。在 HJT 電池工藝上，公司的 LIA 激光修復技術已取得客戶量產訂單。IBCIBC：激光開槽。：激光開槽。在 IBC 電池工藝上，公司的激光開槽技術在 2022 年取得近 40GW訂單。激光轉?。杭す廪D?。耗壳笆俏ㄒ坏囊患矣眉す廪D印的方式來進行電池銀漿印刷的公司，已在全球范圍內申請專利保護。公司的激光轉印設備在 2022 年三季度末實現了單200820

197、0820122012于武漢光谷成立于武漢光谷成立201020102011201120132013201420142015201520162016201820182019201920212021引進六合創投引進六合創投配合配合PLUTOPLUTO高效太陽能高效太陽能電池研發激光設備電池研發激光設備推出研發型推出研發型PERCPERC激光消融設激光消融設備，首獲東湖高新區“瞪羚企備，首獲東湖高新區“瞪羚企業”，之后連續多年獲此殊榮業”，之后連續多年獲此殊榮成功研發成功研發SESE激光激光摻雜設備摻雜設備在新三板在新三板(NEEQ)(NEEQ)掛牌掛牌推出量產型推出量產型PERCPERC激激光消融設

198、備，獲得武光消融設備，獲得武漢市科技進步獎漢市科技進步獎武漢市光伏激光加工武漢市光伏激光加工設備工程技術研究中設備工程技術研究中心落戶公司心落戶公司PERC+SEPERC+SE高效太陽能高效太陽能電池激光設備全球市電池激光設備全球市占率超過占率超過70%70%首次公開發行股首次公開發行股票并在創業板上票并在創業板上市市占領全球占領全球PERCPERC高效太陽高效太陽能激光設備能激光設備80%80%以上的市以上的市場份額場份額20202020國家六部門發布國家六部門發布20202020年年第第3232號公告，入選智能號公告，入選智能光伏試點示范企業光伏試點示范企業20172017成功研發成功研發

199、LID/RLID/R激光修復設備激光修復設備 敬請參閱最后一頁特別聲明-111-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 機訂單，激光轉印在 HJT 工藝上有 30-40%漿料用量的節約，0.3%以上效率的提升，預計優先會在 HJT 工藝上實現整線量產訂單。銅電鍍：銅電鍍：公司的激光干法刻蝕技術已實現量產訂單，具體應用為電鍍前的圖形化工藝。由于電鍍銅環節對激光的精準性工藝要求較高，既要開比較精細的槽且無損傷，同時還要實現后續銅離子的較好吸附，因此激光設備的單 GW 價值量較高。公司是一家擁有不同電池技術對應激光設備研發及應用能力的“隱形冠軍”企業，對 PERC、TOPCon、HJT、IBC

200、等光伏電池均有激光設備布局，技術實力、品牌影響力、產品質量處于行業領先地位，未來市場空間廣闊。我們維持原盈利預測，預計公司 2022-24 年的營業收入分別為 17.39/24.17/35.59 億元，歸母凈利潤分別為 5.31/7.19/10.65 億元，EPS 分別為 3.11/4.21/6.24 元。當前股價對應22-24 年 PE 分別為 35/26/17 倍?？紤]到公司正在進行產品升級，激光轉印、顯示面板等產品進展順利，未來增長動力強。維持維持“買入”評級?！百I入”評級。風險提示：風險提示：光伏行業景氣度下降的風險；新設備推廣應用進度不及預期；行業競爭加劇導致市場份額下降的風險。表表

201、 3939：帝爾激光：帝爾激光盈利預測與估值簡表盈利預測與估值簡表 指標指標 20202020 20212021 2022E2022E 2023E2023E 2024E2024E 營業收入（百萬元）1,072 1,257 1,739 2,417 3,559 營業收入增長率 53.19%17.21%38.40%38.97%47.24%凈利潤（百萬元）373 381 531 719 1,065 凈利潤增長率 22.28%2.11%39.31%35.48%48.16%EPS（元）3.53 3.59 3.11 4.21 6.24 ROE（歸屬母公司)（攤?。?0.73%16.51%19.24%21.3

202、6%24.88%P/E 31 30 35 26 17 P/B 6 5 7 6 4 資料來源：Wind，光大證券研究所預測，股價時間為 2023 年 4 月 7 日 由于資本公積金轉增股本、轉債轉股原因，公司 2021 年/2022 年股本分別是 1.06 億股/1.71 億股 9.59.5、鈞達股份鈞達股份 鈞達股份原有業務為汽車飾件業務，2021-2022 年公司通過資產重組，完成對捷泰科技 100%股權的并購，并剝離原有汽車飾件業務，成功轉型為光伏電池片生產商。重組過程：重組過程：2021 年 2 月 18 日，通過增資，上市公司持有上饒弘業（捷泰科技子公司）12%股權；2021 年 9

203、月 28 日，通過重大資產購買，上市公司持有捷泰科技 51%股權；2022 年 6 月 10 日，通過重大資產出售，剝離與汽車飾件業務相關的資產組；2022 年 7 月 28 日，通過并購捷泰科技 49%股權，捷泰科技成為公司全資子公司。捷泰科技成立于 2019 年，曾用名展宇科技，系由展宇新能源光伏電池業務重組發展而來。公司建成及規劃中的生產基地有 3 處，規劃年產能 53.5GW。敬請參閱最后一頁特別聲明-112-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 具體為：1）上饒基地。擁有 9.5GW 大尺寸 P 型 PERC 產能，產品轉換效率達 23.5%；2）滁州基地。規劃 18GW N

204、型 TOPCon 產能。一期 8GW 已于 2022Q3 建成達產，產品效率達 24.9%以上，二期 10GW 正在建設中，并于 2023 年 2 月完成首片下線；3)淮安基地。2022 年 10 月公司與淮安市漣水縣政府簽訂年產 26GW N 型電池片項目合作協議，項目分二期實施，一期 13GW 正在建設中，預計 2023 年投產。圖圖 187187：捷泰科技捷泰科技發展歷程發展歷程 資料來源：公司官網 2022 年公司實現營收 116.0 億元，同比增長 305%，實現歸母凈利潤 7.17 億元，扣非歸母凈利潤 4.94 億元。公司業績實現快速增長，主要由于公司完成對汽車飾件業務的剝離，轉

205、型光伏業務，加上前瞻布局 TOPCon，實現出貨量大幅增長。圖圖 188188：鈞達股份鈞達股份營收情況營收情況 圖圖 189189：鈞達股份鈞達股份歸母凈利潤情況歸母凈利潤情況 資料來源：Wind、光大證券研究所 資料來源：Wind、光大證券研究所 2010電池廠奠基，開工建設2011年產300MW高效太陽能電池項目投產2014二期項目投產，總產能突破600MW2015通過技改升級，新增600MW電池片產能，總產能突破1.2GW2017黑硅電池產能達2.6GW，成為全球最大黑硅電池供應商2019通過資產重組設立捷泰科技，引進戰略投資，年產3GW單晶PERC電池項目投產2020年產5GW大尺寸

206、高效電池項目竣工投產，產能突破8.5GW20218.5GW電池滿產，安徽滁州16GW N型TOPcon電池開工2022N型TOPcon：滁州一期8GW投產，二期8GW開工，淮安一期13GW開工-200%0%200%400%020406080100120140201720182019202020212022營業收入(億元）同比（右軸）-1600%-1200%-800%-400%0%400%-4-202468201720182019202020212022歸母凈利潤(億元）同比（右軸）敬請參閱最后一頁特別聲明-113-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 盈利預測、估值與評級盈利預測、估值與

207、評級 關鍵假設：公司產品主要為光伏電池片。表表 4040：鈞達股份鈞達股份產能及出貨量預測產能及出貨量預測 20222022 20232023E E 20242024E E 2025E2025E 年末總產能(GW)17.5 40.5 53.5 68.5 PERC 9.5 9.5 9.5 9.5 TOPCon 8.0 31.0 44.0 59.0 出貨量(GW)10.7 28.0 44.5 54.5 PERC 8.85 9.0 9.5 9.5 TOPCon 1.87 19.0 35.0 45.0 電池片單價（元/W）1.03 0.82 0.72 0.63 PERC 1.02 0.80 0.69

208、0.59 TOPCon 1.06 0.84 0.73 0.63 營收（億元）110.5 230.8 321.2 341.1 PERC 90.6 71.9 65.6 56.3 TOPCon 19.9 159.0 255.6 284.8 資料來源：Wind，光大證券研究所預測 2022 年上饒捷泰電池片出貨量 10.72GW（其中 P 型 PERC 產品 8.85GW，N 型TOPCon 產品 1.87GW）。根據公司產能規劃，PERC 產能將維持在 9.5GW，2022 年底擁有 TOPCon 產能8GW（滁州一期），2023 年底將擁有 TOPCon 產能 31GW（滁州一期/二期+淮安一期）

209、，2024 年底將擁有 TOPCon 產能 44GW（滁州一期/二期+淮安一期/二期），2025 年我們預計達到 59GW。由于電池片產能相對緊缺，預計未來 2-3年內TOPCon電池仍能保持較好的盈利能力和市場需求。根據各基地投產進度，預計 2023-25 年 PERC 電池出貨量為 9.0/9.5/9.5 GW，TOPCon 電池出貨量為19/35/45 GW。由于硅料供應逐步寬松，帶動產業鏈價格下行，預計 2023-25 年 PERC 電池單價（不含稅）為 0.80/0.69/0.59 元/W，TOPCon 電池單價（不含稅）為0.84/0.73/0.63 元/W，則 2023-25 年

210、電池片業務營收為 230.8/321.2/341.1 億元。由于硅料供應趨于寬松，電池片產能受到大尺寸緊缺及 TOPCon 溢價拉動，毛利率趨于上行，預計 2023-25 年分別為 15.0%/15.2%/15.5%。汽車汽車飾件業務：飾件業務：2022 年上半年公司剝離汽車配件業務，往后年度不再做預測。其他業務：其他業務：主要包括與主營業務無關的固定資產出租、代收代付等，假設 2023-25 年營收增速 28.0%/25.0%/20.0%，毛利率分別為 15.0%/15.0%/15.0%。預 計 2023-25 年 銷 售 費 用 率 為 0.25%/0.25%/0.25%，管 理 費 用

211、率 為1.2%/1.2%/1.2%，研發費用率為 2.6%/2.5%/2.0%。我們預計公司 2023-25 年營業收入分別為 231.2/321.6/341.7 億元，歸母凈利潤分別為 20.8/29.7/34.9 億元，對應 EPS 分別為 14.24/20.39/23.94 元。敬請參閱最后一頁特別聲明-114-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 表表 4141：鈞達股份鈞達股份營業收入盈利預測表營業收入盈利預測表 項目項目 202021A21A 2022022 A2 A 2022023 3E E 2022024 4E E 2022025 5E E 主營收入（億元）28.6 11

212、6.0 231.2 321.6 341.7 增長率 233.68%305.01%99.40%39.10%6.24%毛利（億元）3.4 13.4 34.7 48.9 53.0 主營毛利率 11.97%11.60%15.00%15.20%15.50%電池片業務 收入（億元）16.4 111.0 230.8 321.2 341.1 增長率 0.00%576.00%107.97%39.12%6.22%毛利（億元）2.2 12.6 34.6 48.8 52.9 毛利率 13.14%11.38%15.00%15.20%15.50%汽車飾件 收入（億元）11.6 4.7 增長率 38.61%-59.75%毛

213、利（億元）1.2 0.8 毛利率 10.27%16.60%其他業務 收入（億元）0.7 0.3 0.4 0.5 0.5 增長率 30.00%30.00%28.00%25.00%20.00%毛利（億元）0.1 0.0 0.1 0.1 0.1 毛利率 12.63%15.00%15.00%15.00%15.00%資料來源：Wind，光大證券研究所預測 考慮到公司主要營收來源為光伏電池片，綜合考慮公司業務領域與市場地位，我們選擇主營電池片業務的愛旭股份、一體化組件企業晶科能源和晶澳科技三家公司作為可比公司?？杀裙井斍肮蓛r對應 22/23 年 PE 均值為 32/17 倍，公司當前股價對應 22/23

214、 年 PE 為 28/10 倍，低于可比公司均值。表表 4242：可比公司估值比較：可比公司估值比較 公司名稱公司名稱 收盤價（元）收盤價（元）EPSEPS（元）（元）PEPE（X X）CAGRCAGR -2 2/20/202 22 2 PEGPEG -20202 22 2 市值市值 （億元）（億元）2022023 3/4 4/7 7 2021A2021A 20222022A A 2023E2023E 2024E2024E 2021A2021A 2022E2022E 2023E2023E 2024E2024E 愛旭股份 32.47-0.06 1.33 2.58 3.48-24 13 9 37.

215、84%0.65 423 晶科能源 13.72 0.14 0.29 0.60 0.79 98 47 23 17 39.81%1.19 1372 晶澳科技 56.45 1.27 2.38 3.78 4.89 44 24 15 12 27.10%0.88 1330 平均值 71 32 17 13 34.92%0.90 鈞達股份 142.54-1.30 5.07 14.66 21.00-28 10 7 60.63%0.46 202 資料來源：鈞達股份為光大證券研究所預測，其余為 wind 一致預期；晶科能源 2022 年業績為業績快報數據 我們預計公司 2023-25 年凈利潤分別為 20.8/29.

216、7/34.9 億元，對應 EPS 分別為14.66/21.00/24.65 元,當前股價對應 2023-25 年 PE 分別為 10/7/6 倍。公司在N 型 TOPCon 電池領域具備先發優勢，加快產能落地，享受新技術溢價。首次首次覆蓋給予“覆蓋給予“買入買入”評級?！痹u級。風險提示：風險提示：競爭格局惡化；原材料大幅上漲；設備性能未能滿足行業需求。表表 4343：鈞達股份：鈞達股份業績預測和估值指標業績預測和估值指標 指標指標 20212021 20222022 2023E2023E 2024E2024E 2025E2025E 營業收入（百萬元）2,863 11,595 23,121 32

217、,162 34,169 營業收入增長率 233.5%305.0%99.4%39.1%6.2%凈利潤（百萬元）(179)717 2,075 2,972 3,489 凈利潤增長率-1418.7%-189.4%43.2%17.4%EPS（元）(1.30)5.07 14.66 21.00 24.65 敬請參閱最后一頁特別聲明-115-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 ROE（歸屬母公司)（攤?。?17.8%68.2%68.2%53.3%41.2%P/E-28 10 7 6 P/B 19.5 19.2 6.6 3.6 2.4 資料來源：Wind，光大證券研究所預測，股價時間為 2023 年 4

218、 月 7 日 由于轉債轉股等原因，公司 2021 年/2022 年底股本分別是 1.373 億股/1.415 億股 9.69.6、英杰電氣英杰電氣 公司成立于1996年，是專業的工業電源設計及制造企業，是國家高新技術企業、國家知識產權優勢企業、國家專精特新“小巨人”企業。公司專注于以功率控制電源、特種電源為代表的工業電源設備的研發制造，產品廣泛應用于石油、化工、冶金、機械、建材等傳統行業以及光伏、核電、半導體、環保等新興行業。圖圖 190190：英杰電氣英杰電氣發展歷程發展歷程 資料來源：公司官網 2022 年前三季度，公司實現營收 7.72 億元，同比增長 63.6%，實現歸母凈利潤2.08

219、 億元，同比增長 71.6%。公司業績實現快速增長，主要由于前期訂單逐步步入確認周期，光伏、半導體等細分領域增速較快。根據公司 2022 年業績預告，公司 2022 年實現歸母凈利潤 3.17-3.64 億元，同比增長 101.4%-131.4%，實現扣非歸母凈利潤 3.07-3.49 億元，同比增長133.6%-142.8%。圖圖 191191：英杰電氣：英杰電氣營收情況營收情況 圖圖 192192：英杰電氣英杰電氣歸母凈利潤情況歸母凈利潤情況 資料來源：Wind、光大證券研究所 資料來源：Wind、光大證券研究所 1996四川英杰電氣有限公司成立2005研發出國內首臺“全數字單晶硅直流電源

220、”進入光伏行業2007推出“全數字多晶硅高壓啟動電源”，并成為行業首選2008推出“12對棒多晶硅還原爐電源”2010被評定為“國家級高新技術企業”2015成功研發出國內首臺“大功率高頻逆變電子槍電源”；“模塊化編程電源”全面投入使用2016全資子公司“四川蔚宇電氣有限責任公司”成立，進入充電樁領域2018全資子公司“四川英杰晨冉科技有限公司”成立2019第10000臺單晶電源成功下線2020英杰電氣在深交所創業板掛牌上市；被評定為“國家專精特新小巨人企業”2021控股“深圳英杰晨戈科技有限公司”；進入光伏電池設備電源領域-3003060900.0 3.0 6.0 9.0 2017201820

221、19202020212022Q1-3營業收入（億元）同比（%）（右軸）-3003060901200.0 0.5 1.0 1.5 2.0 2.5 201720182019202020212022Q1-3歸母凈利潤（億元）同比（%）（右軸）敬請參閱最后一頁特別聲明-116-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 圖圖 193193：英杰電氣：英杰電氣分部營收（按應用領域）分部營收（按應用領域）圖圖 194194：英杰電氣：英杰電氣分部營收（按產品）分部營收（按產品）資料來源：Wind、光大證券研究所；單位：億元 資料來源：Wind、光大證券研究所；單位：億元 光伏電源：立足多晶、單晶電源，開拓

222、電池片電源。光伏電源：立足多晶、單晶電源，開拓電池片電源。公司以光伏多晶硅還原提純電源、單晶硅晶體生長電源的國產替代為切入點，市場占有率常年保持在 70%以上。立足多晶、單晶電源，公司向電池片設備電源拓展，如 TOPCon 電池設備中的中頻濺射電源、異質結用射頻電源。根據公司披露，公司射頻電源中端產品在 2021 年初已經投向市場，截至 2022 年 9 月，高端產品有 1-2 個廠商正在測試。半導體電源：乘半導體設備國產替代東風。半導體電源：乘半導體設備國產替代東風。公司產品主要應用于上游材料行業，如電子級多晶硅、半導體用單晶硅、碳化硅晶體、LED 用藍寶石、LED 外延片等生產設備。在其他

223、電子材料領域，公司產品主要應用于光纖拉絲、化成、腐蝕、電子銅（鋁）箔等。公司目前已在 MOCVD（中微半導體）、碳化硅設備電源、刻蝕機電源等實現了進口替代，特別是碳化硅長晶電源領域已實現 80%市場份額。在其他半導體設備上也有新電源研發成功，處于試用階段。冶金玻纖及其他：行業需求可持續冶金玻纖及其他：行業需求可持續，公司處于行業優勢地位，公司處于行業優勢地位。包括鋼鐵冶金、玻璃玻纖、科研院所、電化學等行業，公司在這類行業里的產品一直處于優勢，有較高的市場地位。節能減排背景下，電爐需求將持續增加，而玻璃玻纖為建筑、交通、電子、電氣、化工、冶金、環境保護、國防等行業必不可少的原材料，因此公司工業用

224、功率控制電源仍有較大的發展空間。充電樁：國內外齊發力，未來空間廣闊。充電樁：國內外齊發力，未來空間廣闊。公司成立全資子公司四川蔚宇電氣，負責新能源汽車充電樁的研發制造。國內方面，公司已與蜀道集團成功簽訂戰略合作協議，產品已覆蓋四川省內 100 余個高速公路服務區，同時公司正有序推進與成都交投、重慶交運、云南能投、成都城投的商務洽談，有望未來達成合作；國外方面，除已在美國、德國、意大利、英國等多個國家市場推廣新能源充電樁產品獲得訂單外，公司將進一步開拓海外用戶，拓展海外市場。營收方面，2021 年，公司光伏/半導體電源/科研院所/冶金玻纖及其他板塊分別實現營收 3.59/0.71/0.19/2.

225、11 億元，同比增加 42.8%/74.7%/81.6%/79.4%。2022 年上半年，公司光伏/半導體電源/冶金玻纖及其他板塊分別實現營收1.95/0.58/1.65 億元，分別同比增加 22.1%/187.1%/103.9%。訂單方面，2021 年，公司光伏/半導體電源/充電樁板塊分別實現訂單9.8/2.08/0.68 億元，分別同比增加 224.5%/300.0%/553.5%；2022 年上半年，光伏/半導體電源/充電樁板塊實現訂單 9.18/1.73/0.78 億元，同比增加33.2%/86.2%/458%。0123456720172018201920202021光伏半導體等電子材

226、料科研院所冶金玻纖及其他0123456720172018201920202021功率控制系統裝置特種電源充電樁其他主營業務其他業務 敬請參閱最后一頁特別聲明-117-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 盈利預測、估值與評級盈利預測、估值與評級 關鍵假設：公司主要業務為功率控制電源、特種電源，應用領域主要包括光伏（硅料、硅片、電池片）、半導體（MOCVD、碳化硅等）、冶金玻纖、充電樁等。光伏：營收占比 50%以上，是公司的主要業務。碳中和背景下，全球光伏裝機量快速提升，產業鏈上下游積極擴產，對硅料、硅片、電池片設備需求旺盛。公司已在硅料、硅片設備電源領域取得優勢地位，市占率常年在 70%

227、以上，目前正拓展電池領域，有望獲得新的增長極。2022 年上半年，公司光伏業務實現營收 1.95 億元，同比+22%?？紤]到設備確認周期的不均勻性，我們預計下半年公司將加速確認節奏，根據新增訂單情況，預計 22-24 年營業收入增速分別為110%/45%/30%，預計 22-24 年毛利率分別為 39.0%/38.0%/38.0%。半導體等電子材料：公司已在 MOCVD、碳化硅設備電源、刻蝕機電源等實現了進口替代，與中微半導體形成穩定合作。根據新增訂單和交付情況，預計 22-24年營業收入增速分別為 90%/60%/30%，預計 22-24 年毛利率分別為50.0%/50.0%/50.0%?？?/p>

228、研院所：主要面向科研院所的研究需求，預計該部分需求保持穩定增長。2022年受交付節奏影響，該部分收入增速較快，長期增速預計為 5%左右。根據新增訂單和交付情況，預計 22-24 年營業收入增速分別為 95%/5%/5%，預計 22-24年毛利率分別為 50.0%/50.0%/50.0%。冶金玻纖及其他：碳中和背景下，電爐冶金比例提升，同時玻纖用途廣泛，需求具備一定韌性，預計該部分需求長期保持增長。根據新增訂單和交付情況，預計22-24 年營業收入增速分別為 30%/25%/20%，預計 22-24 年毛利率分別為43.0%/41.0%/41.0%。充電樁：受到國內外需求拉動，預計充電樁需求保持

229、較高增速。公司在國內與蜀道集團在內的多家客戶保持合作，在海外已進入美國、歐洲多個國家，預計 22-24年 營 業 收 入 分 別 為 1.0/2.0/3.0 億 元，預 計 22-24 年 毛 利 率 分 別 為30.0%/30.0%/30.0%。我們預計公司 22-24 年營業收入分別為 13.0/18.9/24.5 億元，歸母凈利潤分別為 3.18/4.55/6.00 億元，對應 EPS 分別為 2.21/3.17/4.17 元。表表 4444：英杰電氣英杰電氣營業收入盈利預測表營業收入盈利預測表 項目項目 20202020A A 202021A21A 2022022 2E E 20220

230、23 3E E 2022024 4E E 主營收入（百萬元）421 660 1,300 1,891 2,454 增長率-5.0%56.9%97.0%45.4%29.8%毛利（百萬元）175.1 278.3 505.3 727.5 947.0 主營毛利率 41.6%42.2%38.9%38.5%38.6%光伏 收入（百萬元）252 359 755 1,094 1,423 增長率 12.0%42.8%110.0%45.0%30.0%毛利（百萬元）89.6 141.7 294.3 415.8 540.6 毛利率 35.6%39.4%39.0%38.0%38.0%半導體等電子材料 收入（百萬元）40

231、71 134 215 279 增長率-66.2%74.7%90.0%60.0%30.0%毛利（百萬元）35.9 67.1 107.4 139.7 毛利率 50.9%50.0%50.0%50.0%科研院所 敬請參閱最后一頁特別聲明-118-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 收入（百萬元）10 19 37 39 41 增長率-53.8%81.6%95.0%5.0%5.0%毛利（百萬元）9.9 18.5 19.5 20.4 毛利率 52.1%50.0%50.0%50.0%冶金玻纖及其他 收入（百萬元）117 211 274 342 411 增長率 55.3%79.4%30.0%25.0%2

232、0.0%毛利（百萬元）57.0 90.6 43.0 82.0 123.0 毛利率 48.6%43.0%43.0%41.0%41.0%充電樁 收入（百萬元）100 200 300 增長率 100.0%50.0%毛利（百萬元）82.1 102.6 123.2 毛利率 30.0%30.0%30.0%資料來源：Wind，光大證券研究所預測 考慮到公司為光伏、半導體設備產業鏈企業，我們選擇半導體設備公司晶盛機電、光伏設備公司奧特維、工業電源公司麥格米特三家公司作為可比公司?？杀裙井斍肮蓛r對應 22/23 年 PE 均值為 34/23 倍，公司當前股價對應 22/23 年 PE 為43/30 倍，高于可

233、比公司均值。鑒于公司屬于電源平臺型企業，未來在 TOPCon、HJT 電池設備電源有望加快國產替代，同時充電樁業務有望放量，估值具備提升空間。表表 4545：可比公司估值比較：可比公司估值比較 公司名稱公司名稱 收盤價（元）收盤價（元）EPSEPS（元）（元）PEPE（X X）CAGRCAGR -2 2/20/202222 PEGPEG -20202222 市值市值 （億元）（億元）2022023 3/4 4/7 7 2021A2021A 2022E2022E 2023E2023E 2024E2024E 2021A2021A 2022E2022E 2023E2023E 2024E2024E 晶

234、盛機電 69.44 1.33 2.26 3.29 4.11 52 31 21 17 34.82%0.88 909 奧特維 175.10 3.76 4.52 6.55 8.63 47 39 27 20 38.20%1.01 270 麥格米特 29.85 0.78 0.89 1.34 1.84 38 33 22 16 43.74%0.76 149 平均值 46 34 23 18 38.92%0.89 英杰電氣 95.77 1.65 2.21 3.17 4.17 58 43 30 23 37.30%1.16 138 資料來源：英杰電氣為光大證券研究所預測，其余為 wind 一致預期；奧特維 22 年

235、是業績快報數據，晶盛機電 22 年是年報數據 我們預計公司 22-24 年凈利潤分別為 3.18/4.55/6.00 億元，對應 EPS 分別為2.21/3.17/4.17 元,當前股價對應 22-24 年 PE 分別為 43/30/23 倍。公司深耕工業電源領域，下游需求配套光伏、半導體等景氣賽道，且通過自主創新不斷拓展應用范圍。首次覆蓋給予“首次覆蓋給予“買入買入”評級?！痹u級。風險提示：風險提示：競爭格局惡化；原材料大幅上漲；充電樁需求不及預期。表表 4646：英杰電氣：英杰電氣業績預測和估值指標業績預測和估值指標 指標指標 20202020 20212021 2022E2022E 20

236、23E2023E 2024E2024E 營業收入（百萬元）421 660 1,300 1,891 2,454 營業收入增長率-5.04%56.87%97.00%45.42%29.79%凈利潤（百萬元）105 157 318 455 600 凈利潤增長率-5.83%50.60%102.16%43.08%31.76%EPS（元）1.10 1.65 2.21 3.17 4.17 ROE（歸屬母公司)（攤?。?.86%13.24%21.80%24.59%25.42%P/E 87 58 43 30 23 P/B 8.6 7.7 9.4 7.4 5.8 資料來源：Wind，光大證券研究所預測，股價時間為

237、2023 年 4 月 7 日 由于轉增、股權激勵等原因，公司 2021 年/2022 年底股本分別是 0.953 億股/1.437 億股 敬請參閱最后一頁特別聲明-119-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 9.79.7、橫店東磁橫店東磁 公司主要從事磁性材料+器件、光伏+鋰電兩大產業群相關產品的研發、生產、銷售以及提供一站式技術解決方案的服務。1）磁性材料產品包括預燒料、永磁、軟磁、塑磁等，器件產品包括振動器件、電感、環形器/隔離器等。磁性材料+器件產品主要應用于家電、汽車、光伏、消費電子、5G 基站、大數據中心、充電樁、智能終端、工業互聯網等領域；2）光伏產品主要包括電池和組件等，

238、主要應用于地面電站和分布式電站的建設；鋰電產品主要包括三元圓柱鋰電池及小動力 PACK 系統，主要應用于電動二輪車、電動工具、便攜式儲能、智能小家電等領域。截至 2022 年 12 月底，公司磁性材料產業具有年產 22 萬噸鐵氧體預燒料、16.2萬噸永磁鐵氧體、5 萬噸軟磁鐵氧體、2.5 萬噸塑磁的產能，是國內規模最大的鐵氧體磁性材料生產企業；光伏產業具有年產 8GW 電池、7GW 組件的內部產能，公司組件出貨量連續多年穩居歐洲分布式市場第一梯隊，并塑造了黑組件市場的領導品牌；鋰電產業具有年產 2.5GWh 鋰電池的產能，隨著產能的持續擴張將逐步躋身于小動力行業細分市場前列。新建產能方面：新建

239、產能方面：包括年產 6GWh 高性能鋰電池項目、高效一體電感項目、1.5 萬噸軟磁鐵氧體項目、江蘇泗洪 2.5GW 組件項目、廣西梧州 2.2 萬噸永磁鐵氧體項目等。公司在四川建設年產 20GW 新型高效電池一期項目 6GWTOPCon 電池。截止 2022 年底，江蘇泗洪二期已建成投產，橫店本部的部分項目和梧州工廠已部分實現量產。2022年公司實現營收194.5億元，同比增長54.3%，實現歸母凈利潤16.7億元，同比增長 49.0%。公司業績實現快速增長，主要由于歐洲能源危機下對光伏組件需求快速增長，拉動公司光伏組件出貨。圖圖 195195：橫店東磁：橫店東磁營收情況營收情況 圖圖 196

240、196：橫店東磁橫店東磁歸母凈利潤情況歸母凈利潤情況 資料來源：Wind、光大證券研究所 資料來源：Wind、光大證券研究所 -20%0%20%40%60%80%04080120160200240201720182019202020212022營業收入(億元）同比（右軸）0%10%20%30%40%50%60%0369121518201720182019202020212022歸母凈利潤(億元）同比（右軸）敬請參閱最后一頁特別聲明-120-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 圖圖 197197：橫店東磁：橫店東磁分部業務營收分部業務營收 圖圖 198198：橫店東磁：橫店東磁分部業務毛

241、利率分部業務毛利率 資料來源：Wind、光大證券研究所；單位：億元 資料來源：Wind、光大證券研究所 對于光伏新技術，2022 年上半年公司搭建了 TOPCon 和 P-IBC 中試線，為下一步新技術規?；瘜肓慨a奠定了基礎。2022 年 11 月，公司發布公告，擬在四川省宜賓市分步投資年產 20GW 新型高效電池項目，項目分三期實施，其中第一期投資建設年產 6GW 新型高效 TOPCon 電池，第二期投資建設年產 6GW 新型高效 TOPCon 電池，第三期投資建設年產 8GW 下一代高效電池。目前公司正推動一期 6GWTOPCon 電池工廠建設。盈利預測、估值與評級盈利預測、估值與評級

242、關鍵假設：公司產品主要應用領域包括光伏電池片/組件、消費鋰電池、磁性材料。表表 4747：橫店東磁橫店東磁產能預測產能預測 業務板塊業務板塊 產品產品 20222022 2023E2023E 2024E2024E 20252025E E 磁性材料（萬噸）鐵氧體預燒 22.0 24.0 26.0 28.0 永磁鐵氧體 16.2 17.0 18.0 19.0 軟磁鐵氧體 5.0 6.0 7.0 8.0 塑磁 2.5 2.5 2.5 2.5 器件 電感（億只）10.0 10.0 10.0 10.0 振動馬達（億只）4.0 4.0 4.0 4.0 光伏 光伏電池（GW）8.0 14.0 20.0 28

243、.0 光伏組件（GW）7.0 12.0 16.0 20.0 鋰電 鋰電池（GWh）2.5 7.0 8.5 12.0 資料來源：公司公告、光大證券研究所預測 光伏板塊：光伏板塊：2022 年公司光伏產品出貨 8.0GW，2023 年光伏業務產能目標為 14GW 電池+12GW 組件。綜合考慮公司產能規劃和出貨規劃，我們預計公司 23-25 年組件出貨量9.0/13.0/17.0GW，電池出貨量 2.0/2.0/2.0GW，預計組件單價（不含稅）為1.55/1.42/1.37 元/W，電池單價（不含稅）為 0.88/0.71/0.62 元/W。則 23-25年光伏板塊營收 157.1/198.2/

244、245.6 億元。由于公司組件出口比例較大，且依靠050100150200250201720182019202020212022太陽能光伏磁性材料新能源電池振動器件其他業務0%10%20%30%40%201720182019202020212022太陽能光伏磁性材料新能源電池振動器件其他業務 敬請參閱最后一頁特別聲明-121-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 黑組件獲取一定溢價，假設 23-25 年毛利率仍能保持較高水平，分別為14%/14%/14%。新能源電池新能源電池：公司新投建 6GWh 高性能鋰電池項目，2023 年進入量產爬坡階段。一方面，公司繼續拓展電動二輪車、便攜式儲能

245、、電動工具客戶，另一方面公司正開發戶儲產品，目前低壓產品在歐洲的認證已經全部通過。2022 年公司鋰電板塊累計出貨 1.9 億只，營收 15.6 億元。我們預計公司 23-25 年消費鋰電池出貨量分別為 4.0/6.0/8.0 億只，單價分別為7.5/7.2/7.0 元/只，鋰電板塊營收分別為 30.0/43.2/56.0 億元，隨著碳酸鋰供需關系改善，毛利率保持平穩，23-25 年分別為 20.4%/20.4%/20.4%。磁性材料磁性材料及振動器件及振動器件：公司永磁 90%+應用在家電和汽車領域，10%不到應用在工業電機上；軟磁 40%+用于在通訊和家電，30%+用于光伏、汽車電子，20

246、%+用于照明、電腦等其他行業。受家電、消費電子和傳統汽車等領域景氣度影響，永磁需求階段性疲軟，而新能源汽車、光伏、充電樁、服務器等領域拉動了軟磁需求。2022 年公司磁材板塊累計出貨 18.4 萬噸，同比下降 11.2%，營收 42.0 億元，同比增長 1.8%。綜合公 司產 能擴張 進度 與市場 需求，我們 預 計 23-25 年 磁材出 貨量20.0/22.0/24.0 萬噸，器件出貨量 3.8/3.8/3.8 億只。預計 23-25 年磁材單價2.28/2.28/2.28 萬元/噸，器件單價 1.82/1.82/1.82 元/只。則 23-25 年磁性材料板塊營收分別為 45.7/50.

247、3/54.8 億元，毛利率分別為 23.7%/23.7%/23.7%；振動器件板塊營收分別為 6.9/6.9/6.9 億元，毛利率分別為 20.5%/20.5%/20.5%。預計 2023-25 年銷售費用率為 1.2%/1.2%/1.2%，規模效應下管理費用率為2.4%/2.2%/2.0%，研發費用率為 4.6%/4.6%/4.6%。我們預計公司 23-25 年營業收入分別為 244.4/304.4/370.3 億元，歸母凈利潤分別為 21.07/26.43/32.88 億元，對應 EPS 分別為 1.30/1.63/2.02 元。表表 4848：橫店東磁橫店東磁營業收入盈利預測表營業收入盈

248、利預測表 項目項目 202021A21A 2022022 2A A 2022023 3E E 2022024 4E E 2022025E5E 主營收入（億元）126.1 194.5 244.4 304.4 370.3 增長率 55.5%54.3%25.6%24.6%21.6%毛利（億元）34.0 34.1 41.2 50.9 61.4 主營毛利率 27.0%17.5%16.9%16.7%16.6%太陽能光伏 收入（億元）65.0 125.9 157.1 198.2 245.6 增長率 87.4%93.7%24.7%26.2%23.9%毛利（億元）8.0 18.7 22.0 27.8 34.4

249、毛利率 12.3%14.9%14.0%14.0%14.0%磁性材料 收入（億元）41.3 42.0 45.7 50.3 54.8 增長率 22.3%1.8%8.7%10.0%9.1%毛利（億元）10.7 10.0 10.8 11.9 13.0 毛利率 25.9%23.7%23.7%23.7%23.7%新能源電池 敬請參閱最后一頁特別聲明-122-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 收入（億元）8.7 15.6 30.0 43.2 56.0 增長率 87.2%79.0%92.2%44.0%29.6%毛利（億元）1.7 3.2 6.1 8.8 11.4 毛利率 19.5%20.4%20.4

250、%20.4%20.4%振動器件 收入（億元）6.5 7.2 6.9 6.9 6.9 增長率 28.5%10.5%-3.8%0.0%0.0%毛利（億元）1.4 1.5 1.4 1.4 1.4 毛利率 21.2%20.5%20.5%20.5%20.5%其他主營業務 收入（億元）4.5 3.7 4.7 5.8 7.0 增長率 57.8%-17.9%25.0%25.0%20.0%毛利（億元）0.8 0.7 0.8 1.0 1.2 毛利率 17.4%17.8%17.8%17.8%17.8%資料來源：Wind，光大證券研究所預測；總營收中包含其他業務 考慮到公司主要營收來源為光伏電池片/組件、消費鋰電池、

251、磁性材料，綜合考慮公司業務領域與市場地位，我們選擇同樣布局光伏電池片/組件業務的天合光能、布局消費鋰電池的蔚藍鋰芯、布局磁性材料領域的鉑科新材三家公司作為可比公司?？杀裙井斍肮蓛r對應 22/23 年 PE 均值為 38/23 倍，公司當前股價對應 22/23 年 PE 為 20/16 倍，低于可比公司均值。表表 4949：可比公司估值比較：可比公司估值比較 公司名稱公司名稱 收盤價（元）收盤價（元）EPSEPS（元）（元）PEPE（X X）CAGRCAGR -2 2/20/202 22 2 PEGPEG -20202 22 2 市值市值 （億元）（億元）2022023 3/4 4/7 7 2

252、021A2021A 2022E2022E 2023E2023E 2024E2024E 2021A2021A 2022E2022E 2023E2023E 2024E2024E 天合光能 50.61 0.87 1.73 3.15 4.15 58 29 16 12 33.87%0.86 1100 蔚藍鋰芯 14.38 0.65 0.43 0.80 1.13 22 34 18 13 38.29%0.88 166 鉑科新材 89.58 1.16 1.76 2.63 3.61 77 51 34 25 26.99%1.88 98 平均值 52 38 23 17 33.05%1.21 橫店東磁 20.32 0

253、.69 1.03 1.30 1.63 30 20 16 13 16.56%1.20 331 資料來源：橫店東磁為光大證券研究所預測，其余為 wind 一致預期；天合光能 22 年為業績快報 我們預計公司 23-25 年凈利潤分別為 21.07/26.43/32.88 億元，對應 EPS 分別為 1.30/1.63/2.02 元,當前股價對應 23-25 年 PE 分別為 16/13/10 倍。公司在磁性材料領域具備較高的市占率，同步覆蓋光伏、鋰電池等景氣賽道，公司的黑組件產品在歐洲具備較強的市場認可度。首次覆蓋給予“首次覆蓋給予“買入買入”評級?！痹u級。風險提示：風險提示：競爭格局惡化；原材料

254、大幅上漲；光伏行業需求不及預期。表表 5050：橫店東磁：橫店東磁業績預測和估值指標業績預測和估值指標 指標指標 20202121 2022022 2 2022023 3E E 2022024 4E E 2022025E5E 營業收入（百萬元）12,607 19,451 24,436 30,445 37,033 營業收入增長率 55.54%54.28%25.63%24.59%21.64%凈利潤（百萬元）1,120 1,669 2,107 2,643 3,288 凈利潤增長率 10.54%48.98%26.25%25.43%24.39%EPS（元）0.69 1.03 1.30 1.63 2.02

255、 ROE（歸屬母公司)（攤?。?6.65%21.54%22.74%23.66%24.29%P/E 30 20 16 13 10 P/B 4.9 4.3 3.6 3.0 2.4 資料來源：Wind，光大證券研究所預測，股價時間為 2023 年 4 月 7 日 敬請參閱最后一頁特別聲明-123-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 9.89.8、賽伍技術賽伍技術 公司主要從事以粘合劑為核心的薄膜形態功能性高分子材料的研發、生產和銷售，將材料設計、樹脂改性、膠粘劑配方、界面技術、測試評價的基干技術與涂布、復合、流延制膜的工藝技術構成技術平臺，在同一個技術平臺上不斷開發適用不同應用領域的功能性材

256、料，實現同心圓多元化經營模式。目前已成規模的應用業務有：光伏材料（背板與封裝膠膜產品）、光伏電站維修材料（MoPro）、交通電力材料、3C 通訊及消費電子材料和半導體材料。圖圖 199199：賽伍技術：賽伍技術發展歷程發展歷程 資料來源：公司官網 2022 年前三季度，公司實現營收 32.2 億元，同比增長 54.0%，實現歸母凈利潤2.3 億元，同比增長 87.9%。公司業績實現快速增長，主要由于公司背板產品出貨結構改善，銷量實現提升，同時 SET 板塊實現產品放量。圖圖 200200：賽伍技術：賽伍技術營收情況營收情況 圖圖 201201：賽伍技術賽伍技術歸母凈利潤情況歸母凈利潤情況 資料

257、來源：Wind、光大證券研究所 資料來源：Wind、光大證券研究所 2006吳小平先生和宇野敬一博士在日本京都建立MacropolyLab2008遷移到中國蘇州，獲聯想出資，建立蘇州賽伍，開發成功中國第一款背板粘合劑2009KPK背板量產，并且被Suntech、CSI采用2010引領行業從透明背板變為白色，并且被Trina、Yinli、Jinko采用2011獲背板國標第一起草人資格，開發成功耐高溫微收縮E膜暨超級KPE，并且被Trina、Yinli、Jinko采用2012中國首家開發成功交聯型POE膠膜，世界首家不溢邊白色POE，開發成功暨世界首創KPf，并迅速成為主流背板2013世界首創背板

258、修補膠帶，KPf被天合、阿特斯、晶澳作為主力背板2014中國首家開發成功導電膠帶，世界首創低成本的高阻水背板，繼連續4年背板出貨量國產第一后，躍居世界第一2015背板出貨量超18GW，連續4年出貨量全球領先，POE量產，主要客戶：阿特斯、隆基、天合、國電投、協鑫2020背板出貨量累計超100GW，連續6年出貨量全球領先，POE性能全球領先2020正式登陸上交所0%20%40%60%02040201720182019202020212022Q1-3營業收入(億元）同比（右軸）-20%20%60%100%0.0 0.5 1.0 1.5 2.0 2.5 20172018201920202021202

259、2Q1-3歸母凈利潤(億元）同比（右軸）敬請參閱最后一頁特別聲明-124-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 圖圖 202202：賽伍技術：賽伍技術分部業務營收分部業務營收 圖圖 203203：賽伍技術：賽伍技術膠膜與背板銷量（萬平米）膠膜與背板銷量（萬平米）資料來源：Wind、光大證券研究所；單位：億元 資料來源：Wind、光大證券研究所 光伏板塊光伏板塊 1 1）背板）背板 公司銷售的背板產品主要為自主原創的專利產品KPf 型背板，是應用于單面發電組件的通用背板，截至 2021 年底該產品已經連續 7 年保持全球市占率第一。2021 年以來，受 K 膜的原材料PVDF 粒子的供應緊

260、缺和價格大幅上漲的影響，KPf 背板的成本大幅上升。公司通過供應鏈改善，降低了 KPf 的成本，在繼續保持高可靠性細分市場的龍頭地位的同時，提高了毛利率。同時，低成本的PPf 和 FPf 的銷售出貨量比例已超過三分之一，背板總體的盈利開始走上恢復的軌道，在未增加設備的情況下完成了年產 2.2 億平米的產能擴大。2 2）膠膜）膠膜 公司在 POE 膠膜領域是全球市占率第二的主要供應商。在領先的純 POE 膠膜業務的基礎上，根據雙玻組件封裝出現的低成本化的 EPE 的需求，2022 年上半年完成了 EVA+EPE 膠膜的開發，獲得了晶澳、天合、晶科、阿特斯、東方日升、正泰、通威等客戶的測試認證，獲

261、得了晶澳等客戶的批量訂單。針對 HJT 異質結電池組件，公司在行業內率先開發成功的 UV 轉換膠膜，并于 2022 年 11 月與華晟新能源簽訂約 10GW 的戰略供貨協議，并于 2023 年 2 月實現批量交付。SETSET（半導體、電氣、交通運輸工具）材料業務（半導體、電氣、交通運輸工具）材料業務板塊板塊 1 1）電動車）電動車 2021 年度公司產生銷售的主流產品增加到 5 類，包括側板絕緣膜（黑膜）、電芯采集系統集成封裝膠膜（CCS 熱壓膜）、電芯殼體保護膜（電芯藍膜）、疊層母排 Busbar 絕緣膜、車載高壓匯流排絕緣膜、車用膠帶、鋁塑膜保護膜等。截至 2021 年底，公司在售和在研

262、產品的價值量約為 2000 元/臺車。2022 年，公司在先期進入到寧德時代和比亞迪的基礎上，擴大到國軒高科、孚能科技等行業內領軍企業供應鏈，并應用于特斯拉、大眾新能源、吉利新能源、上汽乘用車等電動化的主力車型的關鍵零部件上，間接地進入了上述整機廠。其中，電池 PACK 的側板絕緣膜、CCS 熱壓膜和車規級電芯藍膜已給國內前十大動力鋰電池生產廠商批量化供應，同時也已向某些儲能電池生產廠商供貨。2022年上半年，公司這些產品的市占率在 2021 年的基礎上進一步上升到 35%左右，并開始送交國外電池廠商測試。051015202530352018201920202021背板膠膜SET3C其他-1,

263、000 2,000 3,000 4,000 5,000 膠膜背板 敬請參閱最后一頁特別聲明-125-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 2 2）半導體）半導體 公司主要產品包括：(1)IGBT 模組材料；(2)晶圓加工過程材料；(3)MLCC 加工過程材料等。由于半導體材料被世界各國認為是戰略性物資，因此中國國產材料很難進入西方國家的市場，公司目前只考慮服務于國內市場和客戶的機會。截至 2022 年上半年，公司 UV 減粘膜和 IGBT 散熱材料實現量產，批量性地進入格力等優質客戶，并取得 2 家重大新客戶的認證。在半導體領域，公司主要向格力新元提供 IGBT（智能功率模塊）的熱管理結

264、構材料。3C 3C 消費電子材料消費電子材料 目前公司3C 消費電子材料和產品方案主要應用在電子消費類產品中的結構粘結或者工藝制程中的過程保護等領域。包括應用于手機 LCD 模組的聚氨酯（PU）保護膜、應用于手機、智能穿戴 OLED 模組的 OCA 膠膜、網格泡棉一體化膠帶等。在 3C 行業領域，公司繼續服務歐菲光、歌爾聲學、維信諾、天馬、京東方、東尼等重要客戶，并進入了小米供應鏈。盈利預測、估值與評級盈利預測、估值與評級 關鍵假設：公司產品主要應用領域包括光伏板塊（背板+膠膜）、SET 業務（半導體+鋰電）、3C 消費電子。光伏板塊：光伏板塊：2022 年全球光伏組件產量 289GW，假設

265、2023-24 年全球光伏組件產量分別為438/538GW，隨著雙玻組件占比提升，2022-24 年背板組件占比逐年下降為60%/51%/50%。隨著組件轉換效率提升，背板單位需求趨于下降，假設 2022-24年 分 別 為 500/480/470 萬 平/GW，則 2022-24 年 全 球 背 板 需 求 量 為8.7/10.7/12.6 億平。隨著組件轉換效率提升，膠膜單位需求同樣趨于下降，假設 2022-24 年分別為945/941/936 萬平/GW，則 2022-24 年全球膠膜需求量為 27.3/41.1/50.3 億平。表表 5151：賽伍技術賽伍技術背板、膠膜出貨量預測背板、

266、膠膜出貨量預測 20212021 20222022E E 20232023E E 20242024E E 全球組件產量（GW）221 289 438 538 背板組件占比 62.6%60.0%51.0%50.0%背板組件產量（GW）138 173 223 269 背板單位需求（萬平/GW）500 500 480 470 全球背板需求（萬平）69,110 86,700 107,100 126,420 賽伍背板出貨（萬平）13,121 13,547 17,136 20,859 賽伍背板市占率 19.0%15.6%16.0%16.5%膠膜單位需求（萬平/GW）950 945 941 936 全球膠膜

267、需求（萬平）209,760 273,177 411,479 503,004 賽伍膠膜出貨量（萬平）9,510 18,556 31,000 45,000 賽伍膠膜市占率 4.5%6.8%7.5%8.9%資料來源：CPIA、光大證券研究所預測；2022 年全球組件產量為已知數據 敬請參閱最后一頁特別聲明-126-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 1 1）背板）背板 由于雙玻組件占比提升，傳統背板的市占率受到擠壓。加上 2021 年起 PVDF 基膜大幅漲價，公司優勢產品 KPf 背板價格優勢弱化，2021 年公司背板銷量 1.31億平，較2020年1.32億平略有下降，市占率則從2020

268、年的22.4%下降至19%。2022 年，一方面公司通過供應鏈降本，向下游順價，毛利率同比有所提升，另一方面公司積極進行產品結構改善，2022 上半年背板中低成本的 PPf 和 FPf 的出貨量比例已超過三分之一。展望未來，隨著公司產品結構優化，PVDF 價格高位下行，預測公司背板市占率穩定回升，22-24 年分別為 15.6%/16.0%/16.5%，出貨量分別為 1.35/1.71/2.09 億平。由于 PVDF 價格下行及無氟背板占比提升，預計背板單價平穩下降，22-24 年分別為 11.5/9.8/9.5 元/平米（2022 年前三季度均價為 11.76 元/平米），營收分別為 15.

269、6/16.8/19.8 億元。預計毛利率保持平穩，22-24 年分別為 12.0%/12.0%/12.0%。2 2）膠膜）膠膜 公司膠膜產品以 POE 膠膜為主，適用于雙玻組件、TOPCon、HJT 等 N 型組件。2022 年上半年公司完成 EVA+EPE 膠膜開發，獲得了晶澳等客戶的批量訂單。隨著 N 型組件放量，公司以 POE 膠膜為主的產品優勢有望得到體現，公司與華晟新能源簽訂 2 年約 10GWHJT 轉光膜供貨協議，將進一步拉動公司膠膜出貨。預計22-24年膠膜出貨量分別為1.86/3.1/4.50億平。由于HJT轉光膜單價較高，拉動整體平均單價至 13.0/15.0/16.2 元

270、/平米（2022 年前三季度均價為 13.05 元/平米），營收分別為 24.2/46.4/72.8 億元，受轉光膜拉動，預計 22-24 年毛利率分別為 13.0%/17.0%/17.5%。SETSET 材料板塊：材料板塊：公司在電動車領域進展順利，在銷的主要產品包括電芯藍膜、CCS 熱壓膜、FFC線束封裝膜、結構件熱壓膜等，在先期進入到寧德時代和比亞迪的基礎上，擴大到國軒高科、孚能科技等行業內領軍企業供應鏈，并應用于特斯拉、大眾、吉利等車企。2022 年上半年電動車領域營收 2 億元，同比增加 125%，毛利率 32%。由于電動車下半年銷量普遍好于上半年，預計 SET 板塊 22-24 年

271、出貨量分別為0.39/0.51/0.66億平，單價分別為11.0/10.0/9.0元/平米，營收分別為4.3/5.1/5.9億元，隨著產品放量，毛利率略下降，22-24 年分別為 32.8%/30%/28%。3C3C 板塊：板塊：受益于公司膜類產品品類增加，預計該板塊營收增速高于行業增速。2022 年上半年該板塊取得營收 2400 萬元，同比持平，主要由于車間投產進度延遲。假設2022-24 年該板塊出貨量增速分別為 10.0%/20.0%/18.0%，出貨量分別為915/1098/1296 萬平，產品單價分別為 6.0/5.0/5.0 元/平米，營收分別為0.5/0.5/0.6 億元，假設毛

272、利率保持平穩，分別為 21.0%/21.0%/21.0%。預計 2022-24 年規模效應下銷售費用率為 1.4%/1.2%/1.1%，管理費用率為1.9%/1.9%/1.9%，研發費用率為 3.0%/3.0%/3.0%。我們預計公司 22-24 年營業收入分別為 46.1/70.3/100.7 億元，歸母凈利潤分別為 3.03/5.77/8.65 億元，對應 EPS 分別為 0.69/1.31/1.97 元。敬請參閱最后一頁特別聲明-127-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 表表 5252：賽伍技術賽伍技術營業收入盈利預測表營業收入盈利預測表 項目項目 20202020A A 20

273、2021A21A 2022022 2E E 2022023 3E E 2022024 4E E 主營收入（億元）21.83 30.17 46.12 70.27 100.66 增長率 2.2%38.2%52.9%52.4%43.2%毛利（億元）3.92 4.41 6.77 11.77 17.14 主營毛利率 18.0%14.6%14.7%16.7%17.0%光伏膠膜 收入（億元）7.25 11.38 24.18 46.35 72.75 增長率 56.9%112.6%91.7%57.0%毛利（億元）1.27 1.47 3.14 7.88 12.73 毛利率 17.5%13.0%13.0%17.0%

274、17.5%光伏背板 收入（億元）13.14 14.25 15.59 16.79 19.82 增長率 8.5%9.4%7.7%18.0%毛利（億元）2.25 1.77 1.87 2.02 2.38 毛利率 17.1%12.4%12.0%12.0%12.0%SET 材料 收入（億元）0.63 2.50 4.29 5.07 5.93 增長率 297.3%71.4%18.2%17.0%毛利（億元）0.25 0.82 1.41 1.52 1.66 毛利率 39.2%32.8%32.8%30.0%28.0%3C 收入（億元）0.39 0.54 0.55 0.55 0.65 增長率 38.7%2.6%0.0

275、%18.0%毛利（億元）0.11 0.11 0.12 0.12 0.14 毛利率 29.5%21.0%21.0%21.0%21.0%資料來源：Wind，光大證券研究所預測；注：總營收中包含其他收入 考慮到公司主要營收來源為光伏背板、光伏膠膜、鋰電絕緣/保護膜，綜合考慮公司業務領域與市場地位，我們選擇具有類似光伏背板公司中來股份、光伏膠膜龍頭福斯特、以及光伏輔材玻璃龍頭福萊特三家公司作為可比公司?？杀裙井斍肮蓛r對應 22/23 年 PE 均值為 34/20 倍，公司當前股價對應 22/23 年 PE 為36/19 倍，公司 2023 年估值接近可比公司均值。表表 5353：可比公司估值比較：可

276、比公司估值比較 公司名稱公司名稱 收盤價（元）收盤價（元）EPSEPS（元）（元）PEPE（X X）CAGRCAGR -2 2/20/202 22 2 PEGPEG -20202 22 2 市值市值 （億元）（億元）2022023 3/4 4/7 7 2021A2021A 2022E2022E 2023E2023E 2024E2024E 2021A2021A 2022E2022E 2023E2023E 2024E2024E 福斯特 56.26 2.35 1.85 2.63 3.17 24 30 21 18 19.60%1.55 749 中來股份 14.84-0.29 0.40 0.90 1.3

277、5-37 16 11 50.12%0.74 162 福萊特 33.29 0.99 0.99 1.46 1.92 34 34 23 17 24.68%1.36 652 平均值 29 34 20 15 31.47%1.22 賽伍技術 24.82 0.42 0.69 1.31 1.97 59 36 19 13 41.84%0.86 109 資料來源：賽伍技術為光大證券研究所預測，其余為 wind 一致預期，福萊特 22 年 EPS 是實際數據 我們預計公司 22-24 年凈利潤分別為 3.03/5.77/8.65 億元，對應 EPS 分別為0.69/1.31/1.97 元,當前股價對應 22-24

278、年 PE 分別為 36/19/13 倍。公司以薄膜技術為依托，不斷擴大產品范圍，目前產品覆蓋光伏、鋰電、半導體等領域，HJT 轉光膜具備先發優勢，有望貢獻超額收益。首次覆蓋給予“首次覆蓋給予“買入買入”評級?！痹u級。風險提示：風險提示：競爭格局惡化；原材料大幅上漲；光伏行業需求不及預期。敬請參閱最后一頁特別聲明-128-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 表表 5454：賽伍技術：賽伍技術業績預測和估值指標業績預測和估值指標 指標指標 20202020 20212021 2022E2022E 2023E2023E 2024E2024E 營業收入（百萬元）2,183 3,017 4,61

279、2 7,027 10,066 營業收入增長率 2.20%38.25%52.86%52.36%43.24%凈利潤（百萬元）194 170 303 577 865 凈利潤增長率 2.01%-12.36%78.26%90.44%49.86%EPS（元）0.49 0.42 0.69 1.31 1.97 ROE（歸屬母公司)（攤?。?0.36%7.63%12.22%19.26%23.09%P/E 51 59 36 19 13 P/B 5.3 4.5 4.4 3.6 2.9 資料來源：Wind，光大證券研究所預測，股價時間為 2023 年 4 月 7 日 由于回購、轉債轉股原因，公司 2021 年/202

280、2 年/2023 年股本分別是 4.04 億股/4.40 億股/4.40 億股 9.99.9、帝科股份帝科股份 公司成立于2010年，是一家專注于高性能電子材料開發與應用的材料科技公司，也是中國首家光伏與半導體導電銀漿上市公司，工信部“專精特新”小巨人企業。在光伏新能源領域，作為全球領先的光伏導電銀漿供應商之一，公司通過豐富的導電銀漿產品組合推動各類光伏創新技術的量產實踐。在半導體電子封裝領域，公司主要產品是導電銀漿、導電粘合劑等多維產品組合。公司通過多年來的技術研發和持續創新，掌握了以玻璃體系、有機體系、銀粉體系為代表的多項核心技術，形成了多系列光伏導電銀漿產品，獲得了包括通威太陽能、天合光

281、能、晶科能源、晶澳太陽能、愛旭科技、韓華新能源、正泰太陽能等光伏產業知名廠商的廣泛認可并建立了長期穩定的合作關系，已處于全球光伏導電銀漿供應鏈第一梯隊。2020-2021 年，公司銀漿銷量 328/492 噸，全球光伏銀漿總耗量 2990/3478 噸，公司市占率分別為 11.0%/14.2%。公司 2021 年 10 月光伏銀漿產能為 600-800 噸/年，其 500 噸導電漿料搬遷及擴產項目正在施工過程中，建成后總產能將突破 1000 噸/年。此外，公司在東營投資 4 億元建設電子專用材料項目，包括年產 5000 噸硝酸銀項目、年產 2000 噸金屬粉項目、年產 200 噸電子級漿料項目

282、。第一期為年產5000 噸硝酸銀產線建設項目，計劃于 2023 年開始投產；第二期為年產 2000 噸金屬粉產線建設項目，計劃于 2024 年開始投產；第三期為年產 200 噸電子級漿料產線建設項目，計劃于 2025 年開始投產。圖圖 204204：帝科股份：帝科股份 TOPConTOPCon 金屬化方案金屬化方案 圖圖 205205：帝科股份：帝科股份 HJTHJT 金屬化方案金屬化方案 資料來源：帝科股份適用于 N 型電池的先進金屬化工藝和導電漿料 資料來源：帝科股份適用于 N 型電池的先進金屬化工藝和導電漿料 敬請參閱最后一頁特別聲明-129-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源

283、針對 TOPCon 電池，公司開發了正面（DK71A 副柵銀鋁漿+DK81A 主柵銀漿）+背面（DK93T 副柵銀漿+DK81A 主柵銀漿）。DK71A 定制化無機策略可實現穩健的效率增益和良率保證，已協助領先客戶實現24.5%TOPCon 電池生產（截至 2021 年底）。DK93T 大幅減少銀微晶對 PolySi 層的破壞，推動超薄 PolySi工藝（100nm）量產。針對 HJT 電池，公司開發了正面（DK61A 副柵銀漿+DK51A 主柵銀漿）+背面（DK61A 副柵銀漿+DK51A 主柵銀漿）。DK61A 副柵低溫銀漿具有優異的高速印刷性，支持 350mm/s 高速印刷，同時具有卓越

284、的體電阻和柵線形貌，為異質結低溫銀漿用量下降釋放空間。風險提示：風險提示：光伏行業景氣度下降的風險；原材料大幅漲價導致利潤受擠壓的風險；行業競爭加劇導致市場份額下降的風險。9.109.10、聚和材料聚和材料 公司成立于 2015 年 8 月，是一家專業從事新型電子漿料研發、生產和銷售的高新技術企業，目前主要產品為太陽能電池用正面銀漿。圖圖 206206：聚和材料：聚和材料發展歷程發展歷程 資料來源：聚和材料招股說明書 公司基于核心技術開發的產品已能滿足多晶 PERC 電池、單晶單面氧化鋁 PERC電池、單晶雙面氧化鋁 PERC 電池、N 型 TOPCon 電池、HJT 電池等多種主流及新型高效

285、電池對正面銀漿的需求，并針對金剛線切片技術、MBB 技術、疊瓦技術、無網結網版印刷等特定工藝特點開發了相適配的正面銀漿產品。公司已與通威太陽能、東方日升、橫店東磁、晶澳科技、中來光電、潤陽悅達、阿特斯、金寨嘉悅、英發睿能等規模較大的太陽能電池片生產商建立了良好的合作關系。2020 年度，公司正面銀漿產品銷量 500.7 噸，全球市占率 16.7%，市場占有率排名國產廠商第一位、全行業第二位；2021 年度，公司正面銀漿產品銷量 944.32 噸，光伏正銀全球市場占有率達到 37.09%，第一次取代境外銀漿企業，成為全球正面銀漿出貨第一的企業。截至 2021 年底，公司月出貨量突破 100 噸，

286、全球市占率 40%，實現了全球 TOP1出貨量。敬請參閱最后一頁特別聲明-130-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 圖圖 207207：聚和材料產品、客戶、研發體系：聚和材料產品、客戶、研發體系 資料來源：聚和材料高效 TOPCon 電池金屬化技術探討 收入結構方面，根據公司招股說明書披露，2019-2021 年公司 HJT 銀漿銷售收入占比分別為 0.03%、0.11%、0.10%；2022 年 1-6 月單晶 PERC 電池用正銀銷售收入占正銀銷售收入比例超過 85.00%，TOPCon 銀漿在公司營收占比已超過 10%。圖圖 208208：聚和材料聚和材料 TOPConTOPC

287、on 金屬化方案金屬化方案 圖圖 209209：聚和材料聚和材料 TOPConTOPCon 電池用銀漿電池用銀漿性能指標性能指標 資料來源：聚和材料高效 TOPCon 電池金屬化技術探討 資料來源：聚和材料招股說明書 表表 5555：光伏正面光伏正面銀漿銷售體量同業對比銀漿銷售體量同業對比 20222022 年年 1 1-6 6 月月 20212021 年度年度 20202020 年度年度 20192019 年度年度 銷售數量（噸）銷售金額（萬元）銷售數量（噸）銷售金額（萬元）銷售數量（噸）銷售金額（萬元）銷售數量（噸）銷售金額（萬元）帝科股份/146,438.68 492.27 269,52

288、0.99 328.25 158,149.73 311.83 129,911.53 蘇州晶銀/99,104.71 229.33 117,008.62 154.01 75,253.20 235.47 96,882.75 匡宇科技/2,314.42/7,096.06/21,796.91/26,268.50 聚和材料 683.54 337,130.82 944.32 506,613.97 500.73 250,179.52 209.17 89,062.58 資料來源：聚和材料招股說明書 發行人供應商四+發行人+供應商五發行人供應商六+發行人+發行人開路電壓（V）702.7701.9707.3706.9

289、短路電流（A）10.51910.51111.07911.058填充因子（%）82.8182.9383.4383.62電池轉換效率（%）24.2924.2824.4524.45單位耗量/pcs120122.5107.6110拉力（N）54.23.73.7印刷線寬（m）3131.53030.5印刷速度（mm/s）380380400400客戶五客戶六 敬請參閱最后一頁特別聲明-131-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 表表 5656：聚和材料：聚和材料各電池路線銀漿銷售各電池路線銀漿銷售 20222022 年年 1 1-6 6 月月 20212021 年度年度 20202020 年度年度

290、20192019 年度年度 金額（萬元）比例（%）金額（萬元）比例（%）金額（萬元）比例（%）金額（萬元）比例（%）單晶 331,744 98.4 489,498 96.6 231,760 92.6 64,097 72.0 其中：PERC 294,397 87.3 443,081 87.5 220,267 88.0 58,292 65.5 TOPCon 36,601 10.9 45,922 9.1 11,226 4.5 5,777 6.5 HJT 746 0.2 496 0.1 266 0.1 27 0.0 多晶 5,409 1.6 17,116 3.4 18,420 7.4 24,966 2

291、8.0 合計 337,153 100.0 506,614 100.0 250,180 100.0 89,063 100.0 資料來源：聚和材料招股說明書 公司在已授權專利總數方面遠高于同行業可比公司，主要由于公司通過一系列收購和交叉授權，形成了覆蓋面較廣的專利池。2020 年 12 月 4 日，公司與三星 SDI、無錫三星簽署了資產購買協議，以800 萬美元價格向三星 SDI、無錫三星購買了與光伏銀漿生產相關的設備及境內外專利或專利申請權、非專利技術及交叉許可協議等無形資產。2021 年 6 月 29 日，公司與昭榮化學簽署了專利購買協議，公司以 400 萬美元價格向昭榮化學購買了昭榮化學與賀

292、利氏金屬共同擁有的 23 項光伏銀漿相關專利的 49%份額。2022 年 8 月 7 日，公司與江蘇索特簽署了交叉許可協議，將其分別擁有的除已包含在美國杜邦及三星 SDI 于 2019 年 11 月簽署的專利許可協議外的部分美國杜邦及三星 SDI 專利進行交叉授權。表表 5757：銀漿企業專利情況對比：銀漿企業專利情況對比 公司名稱公司名稱 專利情況專利情況 帝科股份 截至 2021 年 12 月 31 日，帝科股份取得 58 項專利，其中發明專利 14 項、實用新型專利 44 項 蘇州晶銀 截至 2020 年 10 月，蘇州晶銀累計取得授權專利 26 項，其中發明專利 16 項、實用新型專利

293、 10 項 匡宇科技 截至 2020 年末，匡宇科技累計取得授權專利 16 項，其中發明專利 6 項，實用新型專利 10 項 聚和材料 截至 2022 年 6 月 30 日，公司及子公司累計獲授權 315 項專利，其中發明專利 305 項，實用新型專利 10 項 資料來源：聚和材料招股說明書 風險提示：風險提示：光伏行業景氣度下降的風險；原材料大幅漲價導致利潤受擠壓的風險；行業競爭加劇導致市場份額下降的風險。敬請參閱最后一頁特別聲明-132-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 9.119.11、金辰股份金辰股份 金辰股份成立于 2004 年，是中國國家高新技術企業，專注于真空鍍膜技術、

294、自動化技術、設備智能化解決方案。公司在上市之初主營太陽能光伏組件自動化生產線、層壓機、串焊機等，以及港口物流自動化相關設備，相關產品處于行業頭部地位。公司積極拓展光伏電池片設備，緊緊抓住 TOPCon、HJT 先進電池工藝迭代機遇，與外部機構合作，進軍高效電池核心設備。圖圖 210210：金辰股份：金辰股份電池片設備電池片設備發展歷程發展歷程 資料來源：公司官網 在 TOPCon 電池領域，公司與中科院寧波材料所展開戰略合作，探索出用管式PECVD 裝備實現 TOPCon 光伏電池核心材料“超薄氧化硅+原位摻雜非晶硅”的制備，同時在抑制非晶硅爆膜、防止電場導通、實現高效電池全工藝集成等關鍵技術

295、方面取得了重大突破，推出了簡化工藝流程解決方案。在 HJT 電池領域，公司與瑞士 H2GEMINI 公司積極合作，專注研發應用于 HJT技術的新型 PECVD 工藝與設備，通過不斷嘗試與創新，最終取得了突破性進展，研發生產的HJT太陽能電池PECVD非晶硅薄膜設備具有產能大、成本低等優點。圖圖 211211：金辰股份在：金辰股份在 TOPConTOPCon 電池設備領域的布局電池設備領域的布局 資料來源：公司官網 2019.8金辰股份與寧波材料所簽約合作開發管式PECVD裝備量產工藝技術2019.12金辰首臺套管式PECVD-TOPcon設備研發成功，運到合作伙伴研發中心安裝2020.5在合作

296、伙伴研發平臺，開始用金辰PECVD設備開發TOPcon電池量產工藝2022實現管式PECVD超隧穿薄SiOx及摻P非晶硅a-Si:H三合一量產工藝，進入產業化驗證階段金辰股份已有布局清洗+制絨硼擴散BSG刻蝕和背面拋光超薄SiO2+(n+a-Si:H)高溫退火濕法去繞鍍+正面去BSG正面Al2O3正面+背面SiNx絲網印刷燒結光注入退火增效管式低壓硼擴散爐三合一-管式PECVD管式退火爐管式PEALD-Al2O3管式PECVD-SiNxTOPcon工藝流程 敬請參閱最后一頁特別聲明-133-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 2020 年，公司組建團隊開始研發 HJTPECVD 設備；

297、2021 年 6 月，公司自主研發的首臺 HJTPECVD 設備進駐晉能科技并成功通過設備工藝驗證。2022 年 8月，公司首臺基于微晶工藝的 HJTPECVD 量產設備成功交付。2021 年 11 月，公司助力中科院寧波材料所實現 TOPCon 晶硅太陽電池效率突破 25.53%。截至 2021 年 11 月，公司生產的管式 PECVD 裝備在多家光伏龍頭公司已通過中試驗證，量產n型TOPCon電池平均效率24%（最高效率24.5%），同時在二合一設備開發上也取得了突破。風險提示：風險提示：光伏行業景氣度下降的風險；新設備推廣應用進度不及預期；行業競爭加劇導致市場份額下降的風險。9.129.

298、12、海目星海目星 公司是激光及自動化綜合解決方案提供商，主要從事消費電子、動力電池、鈑金加工等行業激光及自動化設備的研發、設計、生產及銷售，并在光伏、新型顯示等領域取得突破性進展，在激光、自動化和智能化綜合運用領域已形成較強的優勢。圖圖 212212：海目星海目星業務布局業務布局 資料來源：公司公告 動力電池領域：動力電池領域：主要產品包括高速激光制片機、電芯裝配段產線、電芯裝配段產線（電芯干燥線），覆蓋了極片制片、電芯裝配、烘烤干燥等動力電池生產關鍵工藝流程。主要客戶包括特斯拉、CATL、ATL、長城汽車、蜂巢能源、中創新航、力神、億緯鋰能等。3C3C 消費電子領域：消費電子領域：主要產品

299、包括 3C 結構件激光及自動化設備及生產線、3C 通用激光打標設備及自動化生產線、變壓器激光及自動化設備及生產線、3C 電池裝配與 PACK 自動 敬請參閱最后一頁特別聲明-134-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 化設備及生產線，主要客戶包括華為，中興，偉創力，比亞迪、富士康、勝美達、賽爾康、雅達電子、華之歐、華生電機、比路電子等。鈑金激光切割領域：鈑金激光切割領域：主要應用在汽車工業、軌道交通、家具、機械設備等領域的板材、管材加工，主要包含鈑金激光切板機和鈑金激光管材切割機，主要客戶包括新會中集、金龍客車等。訂單方面，2021 年公司新簽訂單 57 億元（其中動力電池領域 46

300、億元），同比增加 165%，2021 年末在手訂單 51 億元，同比增加 200%；2022年H1公司新簽訂單36億元（其中動力電池領域24億元），同比增加65%，2022 年 6 月末在手訂單 72 億元，同比增加 121%。光伏領域：光伏領域：2021 年 4 月，公司新設光伏事業群。同時與哈工大機械工程學院系、西安交大材料系開展深入合作，投入大量研發經費，面向光伏行業 PERC 電池、TOPCon電池、HJT 電池、無損切割等新技術進行產業化和創新研究。目前已有產品包括全自動激光開槽設備（晶硅太陽能行業）、全自動激光摻雜設備（晶硅太陽能行業）、全自動無損激光劃裂設備（晶硅太陽能行業）、全

301、自動激光劃刻設備（薄膜太陽能行業）、全自動電池芯片清邊設備（薄膜太陽能行業）、非標玻璃激光鉆孔設備（薄膜太陽能行業）、非標玻璃激光切割設備（薄膜太陽能行業）。2022 年 4 月，公司光伏業務獲得客戶 10.67 億元中標通知，主要產品為 TOPCon激光微損設備，這是公司光伏激光及自動化設備首次獲得大規模訂單，為公司進軍光伏專用設備領域奠定了良好的基礎。據公司微信公眾號披露，2023 年 2 月，公司 20GW 的 TOPCon 一次摻雜設備在客戶處實現持續穩定量產，產線提效在 0.3%左右。2023 年以來，公司 TOPCon一次摻雜設備在已開標的項目中標率超 60%。圖圖 213213：

302、海目星海目星在光伏領域產品布局在光伏領域產品布局 資料來源：公司公告 晶硅太陽能行業薄膜太陽能行業全自動激光開槽設備全自動激光摻雜設備全自動無損激光劃裂設備全自動激光刻劃設備全自動電池芯片清邊設備非標玻璃激光切割設備非標玻璃激光打孔設備 敬請參閱最后一頁特別聲明-135-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 表表 5858：海目星：海目星在光伏領域研發項目在光伏領域研發項目 項目名稱項目名稱 預計總投資規預計總投資規模模（元）（元）累計投入累計投入金額金額（元）（元）進展或階段進展或階段性成果性成果 擬達到目標擬達到目標 技術水平技術水平 光伏硅片高速高精度傳輸與 CCD 定位系統研發

303、3,500,000 2,769,566 設計階段，進行中 1.整機產能10000pcs/h2，單片傳輸時間400ms3，硅片傳輸精度0.5mm4，視覺定位精度15um 目前光伏硅片傳輸與 CCD 定位系統，行業內整機產能在 7200pcs/h，單片傳輸時間在 400ms，視覺定位精度在30um，本公司光伏硅片高速高精度傳輸與 CCD 定位系統，使用多軸同步運動控制與驅動器高速探針相結合技術，提高硅片傳輸速度與精度，增加視覺定位系統提高激光加工精度 高效光伏電池激光摻雜系統研發 5,600,000 1,729,687 設計階段，進行中 1.產能10000pcs/h2，系統定位精度15um3，激光

304、圖形精度15um4，碎片率0.02%目前光伏行業內，激光摻雜系統產能均在 7200pcs/h 左右，本公司研發的高效光伏電池激光摻雜系統，集成了硅片高速傳輸與高精度視覺定位技術以及高效激光加工技術，實現高效、高精度激光摻雜 資料來源：公司公告；截至 2022 年 6 月底 風險提示：風險提示：光伏行業景氣度下降的風險；新設備推廣應用進度不及預期；行業競爭加劇導致市場份額下降的風險。9.139.13、蘇州晶銀蘇州晶銀 蘇州晶銀成立于 2011 年，由蘇州固锝控股，并于 2021 年成為蘇州固锝（002079.SZ）的全資子公司，專注于新能源領域的材料，目前主營業務為光伏銀漿。2020-2021

305、年，公司銀漿銷量 154/229 噸，全球光伏銀漿總耗量 2990/3478 噸，公司市占率分別為 5.2%/6.6%。PERC 方面，公司 PERC 單晶 SE 正銀完成數家戰略客戶的驗證及批量銷售，光伏電池背面銀漿產品在多個客戶實現量產，2021 年銷售 23.92 噸，較 2020 年增長 1639%；HJT 方面，公司所研發的新一代高效低量快速印刷低溫銀漿產品在耗量降低近30%，印刷速度快 20%的情況下還能保持轉換效率的優勢，實現了向鉅能等客戶的大批量供貨；2021 年，公司 HJT 銀漿實現銷售 5.14 噸，2022 年 1-9 月，公司 HJT 銀漿出貨量接近 20 噸。同時，

306、公司還順利推出銀包銅 HJT 低溫漿料，新開發出銀包銅主柵漿料，突破了銀包銅漿料附著力和焊接的問題，在客戶處得到較高評價，目前已順利通過可靠性測試，數家客戶小批量量產已經完成，并在客戶端進行戶外實證電站驗證。從銀含量來看，截至 2022 年 11 月，公司實際出貨的銀包銅漿料含銀量已降至50%左右。TOPCON 方面，公司 TOPCON 銀漿在正面主細柵漿料和背面主細柵銀漿產品上也在數家客戶獲得良好的測試效果。風險提示：風險提示：光伏行業景氣度下降的風險；原材料大幅漲價導致利潤受擠壓的風險；行業競爭加劇導致市場份額下降的風險。9.149.14、微導納米微導納米 微導納米成立于 2015 年，公

307、司以原子層沉積技術為核心，致力于先進微、納米級薄膜沉積技術和設備的研究與產業化應用，為光伏、集成電路、柔性電子等半導體與泛半導體行業提供高端裝備與技術解決方案。2021 年，按應用領域劃分，公司在光伏領域、半導體領域分別實現營收2.75、0.25億元，占比91.6%、8.4%。敬請參閱最后一頁特別聲明-136-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 招股說明書顯示，公司控股股東為萬海盈投資，實際控制人為王燕清、倪亞蘭、王磊（王燕清同時為先導智能實控人、董事長兼總經理）。公司產品主要以批量式（管式）ALD 設備為主，率先用于光伏電池片生產過程中的薄膜沉積環節，已覆蓋包括通威太陽能、隆基股份、

308、晶澳太陽能、阿特斯、天合光能等在內的多家知名太陽能電池片生產商。2021 年，公司產品中 ALD 設備、PECVD 設備、PEALD 二合一平臺設備分別實現營收 1.36、0.71、0.68 億元。圖圖 2 21414：微導納米：微導納米發展歷程發展歷程 資料來源：公司官網 2022 年 9 月 1 日，微導納米公眾號稱，公司先后中標 2 家頭部太陽能制造商年產 20GW TOPCon 高效電池項目。截至 2022 年 9 月，公司已斬獲 TOPCon 等相關新型高效電池訂單近近 80GW80GW。2022 年 10 月 1 日，微導納米公眾號稱，公司交付的全球首條 AEP原子層沉積技術 GW

309、 級 TOPCon 整線項目取得量產效率平均 25%的突破性進展。表表 5959：微導納米：微導納米光伏設備產品光伏設備產品 產品系列產品系列 設備類型設備類型 鍍膜工藝鍍膜工藝 目前應用領域目前應用領域 產業化階段產業化階段 夸父（KF）系列原子層沉積（ALD）系統 TALD Al2O3 工藝 PERC 電池背面鈍化層、TOPCon 電池正面鈍化層 PERC：產業化應用TOPCon：產業化驗證 夸父（KF）管式 PECVD 系統 PECVD SiNX 工藝 PERC 電池減反層 產業化應用 PECVD SiNX 工藝 TOPCon 電池背面減反層 產業化驗證 祝融（ZR）管式 PEALD 系

310、統 PEALD 和 PECVD Al2O3 和 SiNX 二合一工藝 PERC 電池背面鈍化層、減反層 產業化應用 PEALD 和 PECVD Al2O3 和 SiNX 二合一工藝 TOPCon 電池正面鈍化層、減反層 產業化驗證 PEALD 和 PECVD 隧穿層和摻雜多晶硅層二合一工藝 TOPCon 電池隧穿層、摻雜多晶硅層 產業化驗證 羲和（XH）低壓擴散爐系統 爐管設備 非晶硅晶化及雜、擴散摻 TOPCon 電池擴散、退火 產業化驗證 資料來源：微導納米招股說明書 風險提示：風險提示：光伏行業景氣度下降的風險；新設備推廣應用進度不及預期；行業競爭加劇導致市場份額下降的風險。9.159.

311、15、理想萬里暉理想萬里暉 上海理想萬里暉薄膜設備有限公司由陳金元博士創立，前身是理想能源 PECVD事業部，2012 年經過拆分重組，于 2013 年完成注冊。2021 年，公司完成 B 輪融資，并落戶臨港新片區。2022 年，公司完成 C 輪融資并完成股改。2015微導有限成立2016第一代ALD KF4500打破國際壟斷，成功量產，全球產能最高背鈍化設備問世2017首批ALD鈍化設備成功驗收，獲多個客戶批量訂單，PERT電池效率達22%2018ALD成功用于PERC電池量產，電池效率達22.2%2019新一代KF10000產能全球記錄，全球首發；ZR 4000 PEALD技術，PERC+

312、電池效率23.1%2020新一代ZR 5000 PEALD 高效電池設備量產，TOPcon電池最高效率24.65%，XH 1600擴散設備首發2022首發過會并提交科創板IPO注冊 敬請參閱最后一頁特別聲明-137-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 全資子公司理想萬里暉真空裝備（泰興）有限公司于 2017 年 1 月在泰興高新區成立，擁有 22000 平方米的廠房，可實現異質結 PECVD 裝備年產能 10GW10GW（截至 2022 年 11 月底）。公司主營太陽能、泛半導體和半導體高端 PECVD 裝備，系列光伏和 AMOLED顯示等領域高端 PECVD 系列產品多次打破國外壟斷

313、、填補國內空白，是中國高端 PECVD 裝備的優選供應商。圖圖 215215：理想萬里暉理想萬里暉發展歷程發展歷程 資料來源：公司官網 截至 2022 年 7 月，公司擁有異質結領域客戶 14 家，驗收客戶 9 家，代表性客戶包括隆基、通威、東方日升、華晟等。2021 年 10 月至 2022 年 6 月，隆基使用公司異質結設備，分別以 26.3%和 26.5%刷新 HJT 效率世界紀錄。圖圖 216216：理想萬里暉理想萬里暉客戶基礎客戶基礎 資料來源：理想萬里暉微晶硅 PECVD 助力 HJT 效率的持續提升；截至 2022 年 6 月 9.169.16、鈞石能源鈞石能源 福建鈞石能源的創

314、始人為林朝暉，曾創建非晶硅薄膜太陽能設備企業鉑陽精工（2009 年在香港上市，后被漢能集團收購并更名為漢能薄膜）。2009 年，福建鈞石能源有限公司（GS-SOLAR）成立，并在硅基薄膜太陽能電池生產裝備領域取得較大市場份額。而后隨著市場形勢改變，鈞石能源轉向異質結太陽能設備領域，并于 2011 年建設高效異質結太陽能電池項目小型研發實驗2009理想萬里暉前身理想能源成立，PECVD被列為上海市高新技術產業化項目2011打破國外壟斷，首臺硅基薄膜PECVD設備成功下線；45MW硅基薄膜產線在客戶處成功量產2012獲得薄膜PECVD設備重復訂單，獲得首臺SHJ用PECVD設備訂單，承擔國家科技部

315、PECVD863項目2013理想萬里暉成立，研發完成SHJ用PECVD量產機臺，研發完成AMOLED用PECVD型量產機臺2014建立SHJ中試線；SHJ用PECVD機臺獲得客戶重復訂單，獲得ISO9001認證2017第1代年產能60MW SHJ用PECVD全面推向市場，獲得22臺量產設備訂單2019完成A輪融資OAK-DU-5獲得兩套訂單；新增3家客戶，新增HJT客戶數量市場占有率50%2021完成B輪融資收購瑞碩科技，完成異質結整線集成戰略布局；客戶用公司PECVD設備半年內三次打破世界紀錄2022第3代HJT用PECVD設備研制完成（OAK-FU）敬請參閱最后一頁特別聲明-138-證券研

316、究報告 電力設備新能源電力設備新能源 室。2016 年，建成首個 100MW 級國產異質結中試線。2020 年，入選國家能源局能源領域第一批首臺（套）重大裝備技術項目。2021 年，領頭組建“高效太陽電池裝備與技術國家工程研究中心”獲得國家發改委批復。圖圖 217217：鈞石能源鈞石能源發展歷程發展歷程 資料來源：公司官網 2016 年，福建金石能源有限公司成立，專業從事異質結太陽能設備研發及生產。大股東為林朝暉控制的香港鈞石電力，經過數輪融資，股東包括比亞迪、寧德時代等。2017 年，鈞石能源成立鉅能電力，專業從事異質結電池片生產。圖圖 218218：鈞石能源鈞石能源 PECVDPECVD

317、設備特點設備特點 圖圖 219219：鈞石能源鈞石能源提供異質結整線裝備提供異質結整線裝備 資料來源：公司官網 資料來源：公司官網 9.179.17、拉普拉斯拉普拉斯 深圳市拉普拉斯能源技術有限公司成立于 2016 年 5 月，創始人為林佳繼，是一家由海內外多名半導體及光伏設備行業頂尖專家創立的泛半導體高端裝備與解決方案供應商。目前公司核心產品以熱制程（擴散，氧化，退火等），鍍膜（PECVD，LPCVD，ALD 等）以及配套自動化設備+檢測分析為主，主要應用在光伏和半導體相關研發和生產制造。公司已在深圳，廣州，無錫和泰州建有不同產品線和制造基地，2005進入硅基薄膜太陽電池技術及裝備研發200

318、9交付第一條交鑰匙硅基薄膜太陽能電池生產線，2年內占領硅基薄膜太陽能電池生產裝備90%市場份額，交付產能超1.3GW2011高效異質結太陽能電池項目小型研發實驗線建設成功2014第四代量產型PECVD、PVD開發成功2016高效HDT異質結第三代產線正式投產，為中國首條百MW級的自主知識產權的高效太陽電池生產線，常規組件功率超過320W，電池效率超過22.8%2018輸出500MW高效HDT異質結生產線，產線平均效率達到24%2020入選國家能源局能源領域第一批首臺（套）重大裝備技術項目2021HJT量產效率達到最高的25.3%，二代HBC電池轉換效率超26.5%2021福建金石能源有限公司領

319、頭組建的“高效太陽電池裝備與技術國家工程研究中心”獲得國家發展改革委批復 敬請參閱最后一頁特別聲明-139-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 并在西安和海寧等地建有 3 個服務中心。截至 2022 年 8 月，擁有員工近 2000人，其中研發人員 200+人，售后和工藝人員 600+人。圖圖 220220：拉普拉斯拉普拉斯發展歷程發展歷程 資料來源：公司官網 拉普拉斯作為 TOPCon 核心工序供應商，主要提供硼擴和 LPCVD 設備，硼擴和LP 市占率做到了 90%90%以上。圖圖 221221：拉普拉斯拉普拉斯主要產品設備主要產品設備 資料來源：公司官網 1010、風險分析風險分

320、析 （1）政策風險：“雙碳”政策節奏發生變化，新能源上網電價政策發生變化；（2）技術風險：TOPCon、HJT、IBC 設備國產化、材料降本低于預期、效率提升進度低于預期；（3）市場風險：投資過剩，產能過剩，導致格局惡化，新技術難以獲得超額收益。2016.5深圳市拉普拉斯能源技術有限公司成立2017.7完成硼擴散設備LRB350/03定型銷售，實現N-PERT電池量產2018.4完成多主柵串焊設備LMB3000/00定型銷售2018.5完成水平PECVD VEGA設備LVG490/04定型銷售，實現P-PERC和N-PERT電池量產2018.5完成LPCVD設備LLP350/03定型銷售，實現

321、TOPCon量產2018.10榮獲國家高新技術企業證書2019.2完成磷擴散設備LRP350/04定型銷售，實現PERC+SE量產2019.12完成硼擴散設備LRB370/05和LPCVD設備LLP370/05定型銷售，滿足180mm+和210mm硅片量產2022.5完成PECVD Twin設備LPE430/10定型銷售，滿足180mm+和210mm硅片量產 敬請參閱最后一頁特別聲明-140-證券研究報告 電力設備新能源電力設備新能源 表表 6060：行業重點上市公司盈利預測、估值與評級行業重點上市公司盈利預測、估值與評級 證券證券 代碼代碼 公司公司 名稱名稱 收盤價收盤價 （元）（元）EP

322、S(EPS(元元)P/E(x)P/E(x)P/B(x)P/B(x)投資評級投資評級 2121A A 2 22 2E E 2 23 3E E 2121A A 2 22 2E E 2 23 3E E 2121A A 2 22 2E E 2 23 3E E 本本次次 變動變動 300724.SZ 捷佳偉創 116.02 2.06 3.06 3.98 56 38 29 7 6 5 買入 維持 300751.SZ 邁為股份 296.56 5.95 5.21 7.73 50 57 38 6 8 7 買入 維持 688516.SH 奧特維 175.10 3.76 4.52 6.93 47 39 25 12

323、14 9 買入 首次 300776.SZ 帝爾激光 109.01 3.59 3.11 4.21 30 35 26 5 7 6 買入 維持 002865.SZ 鈞達股份 142.54-1.30 5.07 14.66-28 10 20 19 7 買入 首次 300820.SZ 英杰電氣 95.77 1.65 2.21 3.17 58 43 30 8 9 7 買入 首次 002056.SZ 橫店東磁 20.32 0.69 1.03 1.30 30 20 16 5 4 4 買入 首次 603212.SH 賽伍技術 24.82 0.42 0.69 1.31 59 36 19 5 4 4 買入 首次 資料

324、來源：Wind，光大證券研究所預測，股價時間為 2023 年 4 月 7 日；注：鈞達股份、橫店東磁 2022 年 EPS 為年報已披露數據 敬請參閱最后一頁特別聲明-141-證券研究報告 行業及公司評級體系行業及公司評級體系 評級評級 說明說明 行行 業業 及及 公公 司司 評評 級級 買入 未來 6-12 個月的投資收益率領先市場基準指數 15%以上 增持 未來 6-12 個月的投資收益率領先市場基準指數 5%至 15%；中性 未來 6-12 個月的投資收益率與市場基準指數的變動幅度相差-5%至 5%；減持 未來 6-12 個月的投資收益率落后市場基準指數 5%至 15%；賣出 未來 6-

325、12 個月的投資收益率落后市場基準指數 15%以上；無評級 因無法獲取必要的資料，或者公司面臨無法預見結果的重大不確定性事件，或者其他原因，致使無法給出明確的投資評級?；鶞手笖嫡f明：基準指數說明：A 股主板基準為滬深 300 指數；中小盤基準為中小板指；創業板基準為創業板指；新三板基準為新三板指數；港股基準指數為恒生指數。分析、估值方法的局限性說明分析、估值方法的局限性說明 本報告所包含的分析基于各種假設，不同假設可能導致分析結果出現重大不同。本報告采用的各種估值方法及模型均有其局限性，估值結果不保證所涉及證券能夠在該價格交易。分析師聲明分析師聲明 本報告署名分析師具有中國證券業協會授予的證券

326、投資咨詢執業資格并注冊為證券分析師，以勤勉的職業態度、專業審慎的研究方法，使用合法合規的信息，獨立、客觀地出具本報告，并對本報告的內容和觀點負責。負責準備以及撰寫本報告的所有研究人員在此保證，本研究報告中任何關于發行商或證券所發表的觀點均如實反映研究人員的個人觀點。研究人員獲取報酬的評判因素包括研究的質量和準確性、客戶反饋、競爭性因素以及光大證券股份有限公司的整體收益。所有研究人員保證他們報酬的任何一部分不曾與，不與，也將不會與本報告中具體的推薦意見或觀點有直接或間接的聯系。法律主體聲明法律主體聲明 本報告由光大證券股份有限公司制作，光大證券股份有限公司具有中國證監會許可的證券投資咨詢業務資格

327、，負責本報告在中華人民共和國境內（僅為本報告目的，不包括港澳臺）的分銷。本報告署名分析師所持中國證券業協會授予的證券投資咨詢執業資格編號已披露在報告首頁。中國光大證券國際有限公司和 Everbright Securities(UK)Company Limited 是光大證券股份有限公司的關聯機構。特別聲明特別聲明 光大證券股份有限公司（以下簡稱“本公司”）創建于 1996 年，系由中國光大（集團）總公司投資控股的全國性綜合類股份制證券公司，是中國證監會批準的首批三家創新試點公司之一。根據中國證監會核發的經營證券期貨業務許可，本公司的經營范圍包括證券投資咨詢業務。本公司經營范圍：證券經紀；證券投

328、資咨詢；與證券交易、證券投資活動有關的財務顧問；證券承銷與保薦；證券自營；為期貨公司提供中間介紹業務；證券投資基金代銷；融資融券業務；中國證監會批準的其他業務。此外，本公司還通過全資或控股子公司開展資產管理、直接投資、期貨、基金管理以及香港證券業務。本報告由光大證券股份有限公司研究所（以下簡稱“光大證券研究所”）編寫，以合法獲得的我們相信為可靠、準確、完整的信息為基礎，但不保證我們所獲得的原始信息以及報告所載信息之準確性和完整性。光大證券研究所可能將不時補充、修訂或更新有關信息，但不保證及時發布該等更新。本報告中的資料、意見、預測均反映報告初次發布時光大證券研究所的判斷，可能需隨時進行調整且不

329、予通知。在任何情況下，本報告中的信息或所表述的意見并不構成對任何人的投資建議?？蛻魬灾髯鞒鐾顿Y決策并自行承擔投資風險。本報告中的信息或所表述的意見并未考慮到個別投資者的具體投資目的、財務狀況以及特定需求。投資者應當充分考慮自身特定狀況，并完整理解和使用本報告內容，不應視本報告為做出投資決策的唯一因素。對依據或者使用本報告所造成的一切后果，本公司及作者均不承擔任何法律責任。不同時期，本公司可能會撰寫并發布與本報告所載信息、建議及預測不一致的報告。本公司的銷售人員、交易人員和其他專業人員可能會向客戶提供與本報告中觀點不同的口頭或書面評論或交易策略。本公司的資產管理子公司、自營部門以及其他投資業務

330、板塊可能會獨立做出與本報告的意見或建議不相一致的投資決策。本公司提醒投資者注意并理解投資證券及投資產品存在的風險，在做出投資決策前，建議投資者務必向專業人士咨詢并謹慎抉擇。在法律允許的情況下，本公司及其附屬機構可能持有報告中提及的公司所發行證券的頭寸并進行交易，也可能為這些公司提供或正在爭取提供投資銀行、財務顧問或金融產品等相關服務。投資者應當充分考慮本公司及本公司附屬機構就報告內容可能存在的利益沖突，勿將本報告作為投資決策的唯一信賴依據。本報告根據中華人民共和國法律在中華人民共和國境內分發，僅向特定客戶傳送。本報告的版權僅歸本公司所有，未經書面許可，任何機構和個人不得以任何形式、任何目的進行

331、翻版、復制、轉載、刊登、發表、篡改或引用。如因侵權行為給本公司造成任何直接或間接的損失，本公司保留追究一切法律責任的權利。所有本報告中使用的商標、服務標記及標記均為本公司的商標、服務標記及標記。光大證券股份有限公司版權所有。保留一切權利。光大證券股份有限公司版權所有。保留一切權利。光大證券研究所光大證券研究所 上海上海 北京北京 深圳深圳 靜安區南京西路 1266 號 恒隆廣場 1 期辦公樓 48 層 西城區武定侯街 2 號 泰康國際大廈 7 層 福田區深南大道 6011 號 NEO 綠景紀元大廈 A 座 17 樓 光大證券股份有限公司關聯機構光大證券股份有限公司關聯機構 香港香港 英國英國 中國光大證券國際有限公司中國光大證券國際有限公司 香港銅鑼灣希慎道 33 號利園一期 28 樓 Everbright Securities(UK)Company LimitedEverbright Securities(UK)Company Limited 64 Cannon Street，London，United Kingdom EC4N 6AE