【公司研究】萬業企業-公司首次覆蓋報告：地產企業外延并購向集成電路高質量轉型-20210105（19頁）.pdf

1、房地產房地產/房地產開發房地產開發 請務必參閱正文后面的信息披露和法律聲明 1 / 22 萬業企業萬業企業（600641.SH） 2021 年 01 月 05 日 投資評級：投資評級：買入買入（首次首次） 日期 2021/1/5 當前股價(元) 19.66 一年最高最低(元) 30.50/15.90 總市值(億元) 188.33 流通市值(億元) 188.33 總股本(億股) 9.58 流通股本(億股) 9.58 近 3 個月換手率(%) 73.99 股價走勢圖股價走勢圖 數據來源：貝格數據 地產地產企業企業外延并購外延并購，向集成電路向集成電路高質量轉型高質量轉型 公司首次覆蓋報告公司首次覆

2、蓋報告 萬業企業向半導體進軍，萬業企業向半導體進軍，打開業務打開業務新增長點新增長點，首次覆蓋給予，首次覆蓋給予“買入買入”評級評級 公司收購離子注入機龍頭凱世通，技術優勢明顯，雖然目前業務仍以地產為主， 但隨著公司房地產業務逐漸完成， 疊加中美貿易摩擦背景下， 國產替代需求愈加 緊迫，公司半導體業務具有較大空間，未來增長可期。我們預計 2020-2022 年公 司凈利潤分別為 4.03/4.76/5.65 億元，EPS 0.42/0.50/0.59 元，當前股價對應 PE 47/40/33 倍，首次覆蓋給予“買入”評級。 離子注入機行業壁壘高，國產替代離子注入機行業壁壘高，國產替代空間較大空

3、間較大 離子注入機主要應用在光伏、集成電路、面板領域，具有較高的技術、人才、資 金和客戶壁壘，導致市場集中度較高，目前全球離子注入機生產廠商僅 9 家，集 中分布在中國、美國和日本。據 SEMI 統計，2019 年全球集成電路離子注入機市 場規模達 18 億美元，2013-2019 年 CAGR 為 11.18%。IC 離子注入機離子注入機方面方面，晶圓 廠擴產和工藝制程的進步將會驅動 IC 離子注入機需求量的增加；光伏離子注入光伏離子注入 機方面，機方面，國家政策導向和技術升級引導客戶需求改變，將進一步打開國內市場； AMOLED 離子注入機方面，離子注入機方面，AMOLED 以其獨特優勢在

4、智能手機、車載顯示和 智能穿戴等設備中滲透率將不斷提升，面板企業擴產將驅動其需求提升。 凱世通：政策支持凱世通：政策支持+技術領先，國產替代機會巨大技術領先，國產替代機會巨大 凱世通是國際領先的集成電路裝備制造企業，成立于 2009 年，成長速度較快， 2014-2018 年營收 CAGR 達 85.57%，凈利潤 CAGR 達 38.35%。公司由陳炯博士 等五位世界一流離子注入設備專家創立， 技術實力強大， 低能大束流離子注入機 在低能和大束流等核心指標上超過國外同類產品， 且公司在光伏離子機領域市占 率世界第一。 在國產替代需求愈加緊迫的背景下， 通過國家大基金及股東浦東科 投的支持，

5、以及入股上海市半導體設備材料基金， 凱世通有望發掘更多潛在客戶， 充分受益內部協同效應。 風險提示：風險提示：產品研發不及預期、收購整合不及預期、宏觀經濟下行風險。 財務摘要和估值指標財務摘要和估值指標 指標指標 2018A 2019A 2020E 2021E 2022E 營業收入(百萬元) 2,679 1,869 1,237 1,625 2,161 YOY(%) 27.8 -30.2 -33.8 31.3 33.0 歸母凈利潤(百萬元) 972 573 403 476 565 YOY(%) -42.8 -41.1 -29.6 18.1 18.7 毛利率(%) 55.0 50.9 48.3 4

6、7.8 44.1 凈利率(%) 36.3 30.6 32.6 29.3 26.1 ROE(%) 15.7 9.1 6.0 6.9 7.7 EPS(攤薄/元) 1.01 0.60 0.42 0.50 0.59 P/E(倍) 19.4 32.9 46.7 39.6 33.3 P/B(倍) 3.0 3.0 2.8 2.7 2.6 數據來源：貝格數據、開源證券研究所 -30% 0% 30% 60% 90% 2020-012020-052020-09 萬業企業滬深300 開 源 證 券 開 源 證 券 證 券 研 究 報 告 證 券 研 究 報 告 公 司 首 次 覆 蓋 報 告 公 司 首 次 覆 蓋

7、 報 告 公 司 研 究 公 司 研 究 公司首次覆蓋報告公司首次覆蓋報告 請務必參閱正文后面的信息披露和法律聲明 2 / 22 目目 錄錄 1、 萬業企業向半導體進軍，打開業務新增長點 . 4 1.1、 公司向半導體領域轉型，第一大股東浦東科投搭建優良平臺 . 4 1.2、 公司業績波動較大，集成電路營收貢獻增加. 5 2、 離子注入機行業壁壘高，國產替代空間較大 . 6 2.1、 離子注入機：高行業壁壘導致高市場集中度. 6 2.2、 IC 離子注入機：晶圓廠擴產和工藝制程提升驅動需求增加 . 8 2.3、 光伏離子注入機：凱世通市占率全球第一，政策+技術升級打開市場空間 . 11 2.4

8、、 AMOLED 離子注入機：日新公司壟斷，國產替代空間較大 . 12 3、 凱世通：政策支持+技術領先，國產替代機會巨大 . 13 3.1、 專注離子注入機制造，國內實力第一 . 13 3.2、 政策支持+技術領先，凱世通核心競爭力強大 . 14 4、 盈利預測與投資建議 . 18 5、 風險提示 . 19 附：財務預測摘要 . 20 圖表目錄圖表目錄 圖 1： 公司不斷剝離房地產業務，向集成電路產業領域轉型 . 4 圖 2： 公司第一大股東浦東科投，是中國頂級的集成電路投資機構 . 5 圖 3： 近年來公司營收波動較大 . 5 圖 4： 近年來公司歸母凈利潤有所下降 . 5 圖 5： 20

9、17 年之后公司毛、凈利率回落 . 6 圖 6： 公司期間費用率受收購凱士通影響有所上漲 . 6 圖 7： 公司收購凱世通，專用設備制造收入比例顯著提升 . 6 圖 8： 離子注入機主要應用于集成電路、光伏和 AMOLED . 7 圖 9： 離子注入機在集成電路產業鏈中的作用在于改變載流子濃度和導電類型 . 9 圖 10： 2013-2019 年全球離子注入機市場規模 CAGR 為 14.2% . 10 圖 11： 2017 年全球 IC 離子注入機 CR2 為 90% . 10 圖 12： 離子注入機應用于 AMOLED 生產前段 . 12 圖 13： 2014-2018 年凱世通營收 CA

10、GR 高達 85.57% . 14 圖 14： 2014-2018 年凱世通凈利潤 CAGR 達 38.35% . 14 表 1： 離子注入法在摻雜工藝中占主導地位 . 7 表 2： 離子注入機生產廠商集中分布在中國、美國和日本 . 8 表 3： 對能量和束流屬性結合形成不同類型的集成電路離子注入機 . 9 表 4： 2019 年國內重點晶圓代工廠產能擴張 . 11 表 5： 光伏離子注入機在 N 型電池上的應用點. 11 表 6： 凱世通主要設備包括集成電路、光伏和 AMOLED 離子注入機三大類 . 13 表 7： 凱世通五位國際知名專家創始人，經驗豐富 . 14 表 8： 凱世通技術實力

11、強大，承擔多項國家級、省級課題 . 15 表 9： 凱世通擁有多項核心技術 . 16 表 10： 凱世通低能大束流離子注入機核心指標領先 . 17 nMpQnNnQwPnMsNqRnQqNtNbR9RbRmOnNpNnMeRqQqReRoOtMaQrRuMvPnRmNNZsOwO 公司首次覆蓋報告公司首次覆蓋報告 請務必參閱正文后面的信息披露和法律聲明 3 / 22 表 11： 凱世通定制化光伏離子注入機優點明顯 . 18 表 12： 凱世通有望受益內部協同效應 . 18 表 13： 公司作為國內稀缺標的，前景可期 . 19 公司首次覆蓋報告公司首次覆蓋報告 請務必參閱正文后面的信息披露和法律

12、聲明 4 / 22 1、 萬業企業萬業企業向半導體進軍，向半導體進軍，打開打開業務業務新增長點新增長點 1.1、 公司公司向向半導體領域半導體領域轉型，第一大股東轉型，第一大股東浦東科投搭建優良浦東科投搭建優良平臺平臺 公司業務目前公司業務目前主要主要分為房地產開發和集成電路裝備兩分為房地產開發和集成電路裝備兩大板塊大板塊。(1)房地產開發：房地產開發： 公司目前留存房地產開發與銷售業務主要為住宅地產開發，包括高層公寓、多層洋 房與別墅等，業務范圍主要集中在上海、蘇州、無錫等長三角區域；(2)集成電路裝集成電路裝 備：備：公司集成電路核心裝備業務主體為公司 2018 年 8 月收購的子公司凱世

13、通，主要 為研發、 生產和銷售國際領先的高端離子注入機， 重點應用于光伏太陽能電池、 半導 體集成電路和 AMOLED 顯示屏領域。 公司公司不斷不斷剝離房地產業務，剝離房地產業務，深化深化布局半導體布局半導體領域領域。公司前身為上海眾誠實業股 份有限公司，成立于 1991 年，1993 年在上交所主板掛牌上市，后被印尼三林集團收 購。2015 年三林集團與浦東科投簽署股權轉讓協議，完成股份轉讓后，浦東科投成 為公司第一大股東， 并開啟了向集成電路產業領域的轉型之路。 此后， 公司陸續轉讓 地產項目，牽頭成立上海半導體裝備材料產業投資基金，2018 年引入國家集成電路 基金為第三大股東， 同年

14、， 收購凱世通 100%股權， 公司業務重心不斷向半導體轉移。 圖圖1：公司不斷剝離房地產業務，向集成電路產業公司不斷剝離房地產業務，向集成電路產業領域領域轉型轉型 資料來源：公司官網、公司公告、開源證券研究所 公司第一大股東浦東科投，是中國頂級的集成電路投資機構。公司第一大股東浦東科投，是中國頂級的集成電路投資機構。公司前三大股東 分別是浦東科投、 三林萬業和國家集成電路基金， 分別持股 28.44%、 12.92%和 7.07%。 其中，第一大股東浦東科投投資經驗豐富，管理資產規模超 200 億元，曾投資過多 家半導體領域優質企業，如先進半導體、中微半導體、盛美半導體、瀾起科技、芯源 微等

15、， 公司可以借助其集成電路的資源整合平臺， 進一步吸納優質半導體企業， 與凱 世通聯手打造集成電路設備平臺型企業。 公司首次覆蓋報告公司首次覆蓋報告 請務必參閱正文后面的信息披露和法律聲明 5 / 22 圖圖2：公司第一大股東浦東科投，是中國頂級的集成電路投資機構公司第一大股東浦東科投，是中國頂級的集成電路投資機構 資料來源：Wind、公司公告、企查查、開源證券研究所 1.2、 公司公司業績業績波動波動較大較大，集成電路營收貢獻增加集成電路營收貢獻增加 公司營收與歸母凈利潤波動較大。公司營收與歸母凈利潤波動較大。近年來，公司營收和歸母凈利潤均出現不同 程度的下降， 主要系：（1） 公司不斷剝離

16、房地產業務， 處于向集成電路轉型的過渡期； （2）2017 年起，中央推出多項房地產政策監管房地產業發展，堅持住房居住屬性， 優化住房供需結構等，政策縮緊和監管加強使得房地產業受到一定沖擊。 圖圖3：近年來公司近年來公司營收營收波動較大波動較大 圖圖4：近年來公司近年來公司歸母凈利潤有所下降歸母凈利潤有所下降 數據來源：Wind、開源證券研究所 數據來源：Wind、開源證券研究所 公司毛公司毛、凈、凈利率利率較為平穩較為平穩，期間費用期間費用率率受收購凱士通影響有所上漲受收購凱士通影響有所上漲。2017 年之 后，伴隨公司業務調整、房地產政策出臺、收購凱士通資源整合的影響，公司毛、凈 利率有一

17、定程度的回落，其中，毛利率從 2017 年 63.04%降至 2020Q1-3 的 39.60%， 凈利率從 2017 年 81.04%降至 2020Q1-3 的 39.71%。公司財務費用率和銷售費用率 2015 年以來均呈下降趨勢，2018 年之后期間費用率主要因收購凱士通研發費用和折 舊攤銷費用增加導致期間費用率上升。 24.4 31.9 21.0 26.8 18.7 5.6 33.5% 30.8% -34.3% 27.8% -30.2% -67.9% -80% -60% -40% -20% 0% 20% 40% 0 5 10 15 20 25 30 35 營業總收入(億元）YOY 2.

18、1 7.2 17.0 9.7 5.7 2.2 -47.2% 239.7% 136.5% -42.8%-41.1% -61.5% -100% -50% 0% 50% 100% 150% 200% 250% 300% 0 2 4 6 8 10 12 14 16 18 歸母凈利潤(億元）YOY 公司首次覆蓋報告公司首次覆蓋報告 請務必參閱正文后面的信息披露和法律聲明 6 / 22 圖圖5：2017 年之后年之后公司公司毛毛、凈利率、凈利率回落回落 圖圖6：公司期間費用率公司期間費用率受收購凱士通影響有所上漲受收購凱士通影響有所上漲 數據來源：Wind、開源證券研究所 數據來源：Wind、開源證券研究

19、所 收入結構：收入結構： 按按業務業務劃劃分，分， 目前公司房地產營收貢獻占主導地位， 占比超過 90%； 2018 年起公司收購凱士通后，專用設備制造業務營收貢獻不斷上升，2019 年其營收 占比達 4.5%。 圖圖7：公司公司收購凱世通，專用設備制造收入比例顯著提升收購凱世通，專用設備制造收入比例顯著提升 數據來源：Wind、開源證券研究所 2、 離子注入機離子注入機行業壁壘高，行業壁壘高，國產替代國產替代空間較大空間較大 2.1、 離子注入機離子注入機：高行業壁壘導致高高行業壁壘導致高市場集中度市場集中度 離子注入離子注入機機在在摻雜工藝摻雜工藝中中的應用的應用占占主導主導地位地位。目前

20、摻雜工藝。目前摻雜工藝有有兩種：兩種： （1）高溫高溫 熱擴散法熱擴散法：將一定數量和一定種類的雜質在高溫下摻入硅片或其他晶體中。由于熱 擴散存在精度較難控制、高溫熱缺陷等缺點，在現在的工藝中已經較少采用； （2）離離 子注入法子注入法： 在真空低溫條件下， 把雜質離子束加速后入射到材料中去， 離子束與材料 中的原子或分子發生一系列物理和化學反應，入射離子逐漸損失能量，最后停留在 材料中，并引起材料表面成分、結構和性能發生變化，從而優化材料表面性能，或獲 得某些新的優異性能。 與高溫熱擴散法相比， 離子注入法具備單面準直摻雜、 良好的 27.11% 31.64% 63.04% 55.03% 5

21、0.90% 39.60% 10.82%22.67% 81.04% 36.30% 30.71% 39.71% 0% 10% 20% 30% 40% 50% 60% 70% 80% 90% 毛利率凈利率 -8% -6% -4% -2% 0% 2% 4% 6% 8% 10% 12% 銷售費用率管理費用率 財務費用率期間費用率 99.4%99.3%98.5% 96.1% 92.7% 2.2% 4.5% 0% 10% 20% 30% 40% 50% 60% 70% 80% 90% 100% 其他業務專用設備制造房地產 公司首次覆蓋報告公司首次覆蓋報告 請務必參閱正文后面的信息披露和法律聲明 7 / 22

22、 摻雜均勻性和可控性、 摻雜元素的單一性、 容易實現摻雜區域的圖形化等優點， 目前 被廣泛應用。 表表1：離子注入法離子注入法在摻雜工藝中占主導地位在摻雜工藝中占主導地位 摻雜工藝摻雜工藝 動力動力 雜質濃度雜質濃度 結深結深 橫向擴散橫向擴散 均勻性均勻性 溫度溫度 掩蔽膜掩蔽膜 工藝衛生工藝衛生 晶格損傷晶格損傷 設備、設備、 費用費用 應用應用 高溫熱擴高溫熱擴 散法散法 高溫、 雜質的 濃度梯 度平衡 過程 受表面固 溶度限制 摻雜濃度 過高、過 低都無法 實現 結深控制 不精確適 合深結摻 雜 嚴重。橫 向是縱向 擴散線度 的 0.70- 0.85 倍， 擴散線寬 3m 以上 電阻率

23、波 動約 5- 10% 高溫工 藝，約 1000 二氧化硅 等耐高溫 薄膜 易玷污 小 設備簡 單、價 廉 深層摻雜 的雙極型 器件或者 是電路 離子注入離子注入 法法 動能， 5- 500ke V 非平 衡過程 濃度不受 限 結深控制 精確適合 淺結摻雜 較小。特 別在低溫 退火時， 線寬可小 于 1m 電阻率波 動約 1% 常溫注 入，退火 溫度約 800，可 低溫、快 速退火 光刻膠、 二氧化硅 或金屬薄 膜 高真空、 常溫注 入，清潔 損傷大， 退火也無 法完全消 除，注入 過程芯片 帶電 復雜、 費用高 淺結的超 大規模電 路 資料來源：SEMI、開源證券研究所 離子注入機離子注入機

24、按下游應用按下游應用領域領域不同不同，可以分為集成電路離子注入機、光伏離子注 入機和 AMOLED 離子注入機。 圖圖8：離子注入機主要應用于集成電路、光伏和離子注入機主要應用于集成電路、光伏和 AMOLED 資料來源：前瞻產業研究院、開源證券研究所 離子注入機具有較高的離子注入機具有較高的行業壁壘：行業壁壘： （1）技術壁壘：技術壁壘：離子注入機是一個綜合多門 高技術學科的集成體，其研發和生產涉及高壓電子、機械、電氣、計算機控制、等離 子體物理等， 理論門檻高， 系統集成難度大， 同時產品要與下游客戶的生產工藝路線 和技術水平相匹配，準入門檻高。 （2）人才壁壘：人才壁壘：全球離子注入機研發

25、和生產的廠商 寥寥無幾， 從事相關產品的研發人員匱乏， 因此離子注入機很難招到成熟技術員工， 需要自己培養相關人才，人才壁壘較高。 （3）資金壁壘：資金壁壘：離子注入設備的研發投入巨 公司首次覆蓋報告公司首次覆蓋報告 請務必參閱正文后面的信息披露和法律聲明 8 / 22 大，單臺設備產品的造價較高，從數百萬元到幾千萬元不等，研發、測試、生產周期 較長， 從投資啟動研發到生產銷售往往需要數年時間， 同時為滿足變化的市場需求， 還需不斷迭代研發， 開發不同規格和性能的系列化產品， 因此， 對持續的資金投入和 保障要求很高。 （4）客戶壁壘：客戶壁壘：目前離子注入機供給方和需求方都較為集中，且具有

26、很強的針對性， 供需雙方形成較為穩定的長期合作關系， 因此， 打破行業競爭格局存 在較高難度。 目前全球生產離子注入機的企業僅目前全球生產離子注入機的企業僅9家家， 包括美國的應用材料、 Axcelis、 Intevac， 日本的日新離子機、日本真空、住友重工，以及中國的凱世通、北京中科信、AIBT （臺灣） 。 表表2：離子注入機生產廠商集中分布在中國、美國和日本離子注入機生產廠商集中分布在中國、美國和日本 國家國家 企業名稱企業名稱 產品主要應用領域產品主要應用領域 中國 凱世通 太陽能、集成電路、AMOLED 北京中科信電子裝備有限公司 集成電路 AIBT（臺灣） 集成電路 美國 應用材

27、料（收購 Varian） 集成電路 Axcelis（前身 Eaton） 集成電路 Intevac 太陽能、集成電路 日本 日新離子機 AMOLED 日本真空 太陽能、集成電路 住友重工 集成電路 資料來源：前瞻產業研究院、開源證券研究所 2.2、 IC 離子注入機離子注入機：晶圓廠擴產和工藝制程提升驅動晶圓廠擴產和工藝制程提升驅動需求增加需求增加 離子注入機是離子注入機是集成電路集成電路制造前工序中的關鍵設備之一制造前工序中的關鍵設備之一。在集成電路產業中，離 子注入機是通過對半導體材料表面進行某種元素的離子注入摻雜，從而改變半導體 載流子濃度和導電類型的摻雜工藝制程，目前在集成電路制造中被廣

28、泛應用。據 Gartner 統計， 在晶圓制造工藝設備市場中， IC 離子注入機價值量占比為 2.5%-3.3%。 公司首次覆蓋報告公司首次覆蓋報告 請務必參閱正文后面的信息披露和法律聲明 9 / 22 圖圖9：離子注入機在離子注入機在集成電路集成電路產業鏈中的作用在于改變載流子濃度和導電類型產業鏈中的作用在于改變載流子濃度和導電類型 資料來源：前瞻產業研究院、開源證券研究所 集成電路離子注入機分類： （集成電路離子注入機分類： （1）按能量高低劃分：）按能量高低劃分：分為低能離子注入機、中能離 子注入機、高能離子注入機和兆伏離子注入機； （2）按束流大小劃分：）按束流大小劃分：分為小束流離

29、子注入機、中束流離子注入機、大束流離子注入機。 根據應用場景的根據應用場景的差異差異，對能量和束流屬性結合制成的離子注入機進行分類，對能量和束流屬性結合制成的離子注入機進行分類，可 以分為中低束離子注入機、 低能大束流離子注入機、 高能離子注入機和氧注入機。 這 些離子注入機的運行原理基本相似，但應用各有不同。 表表3：對能量和束流屬性結合形成不同類型的集成電路離子注入機對能量和束流屬性結合形成不同類型的集成電路離子注入機 類別類別 描述與應用描述與應用 中低束流離子注入機 高純離子束，電流大于 10mA 束流能量一般小于 180keV 多數情況下硅片固定，掃描離子束 穿通注入專用 低能大束流

30、離子注入機 產生的離子束電流大于 10mA，大劑量注入最大能到 25mA 束流能量一般小于 120keV 多數情況下離子束固定，掃描硅片 超淺源漏區注入的超低能束流（200eV4keV） 高能離子注入機 束流能量超過 200keV，最高達到幾個 MeV 向溝槽或厚氧化層下面注入雜質 能形成倒摻雜阱和埋層 氧注入機 大電流系統用于半導體硅的氧注入 資料來源： 半導體制造技術 、開源證券研究所 規模規模：據 SEMI 統計，2013 年全球離子注入機市場規模為 8.1 億美元，2019 年 市場規模為 18 億美元，2013-2019 年 CAGR 達 14.2%。 公司首次覆蓋報告公司首次覆蓋報

31、告 請務必參閱正文后面的信息披露和法律聲明 10 / 22 圖圖10：2013-2019 年全球離子注入機市場規模年全球離子注入機市場規模 CAGR 為為 14.2% 數據來源：SEMI、開源證券研究所 格局：格局：據 SEMI 統計，2017 年全球 IC 離子注入機市場 CR2 為 90%，應用材料 和 Axcelis 分別占據 70%和 20%的市場份額。 圖圖11：2017 年全球年全球 IC 離子注入機離子注入機 CR2 為為 90% 數據來源：SEMI、開源證券研究所 從未來看，從未來看， 晶圓廠晶圓廠產能產能擴張擴張帶動帶動離子注入機離子注入機需求增加需求增加： 短期來看， 受新

32、冠疫情影響， 智能家居、消費電子等下游需求增加，長期來看，5G、AI、IOT、汽車電子等新興產 業蓬勃發展會帶來新一輪需求高潮，國內晶圓廠紛紛擴產以應對未來可能的需求激 增，據 SEMI 稱，2017 年至 2020 年間全球計劃投產半導體晶圓廠 62 座，其中 26 座 位于中國大陸，占全球總數的 42%。根據 SEMI 數據，截止到 2019 年，中國大陸的 晶圓廠達到 86 座。SEMI 預計中國晶圓產能將從 2015 年的每月 230 萬片，增長至 2020 年的每月 400 萬片，2015-2020 年 CAGR 達到 12%。隨著大批新建晶圓廠產能 擴張，將帶來更多的設備新增需求。

33、 8.1 8.2 10.0 9.1 13.2 15.3 18.0 1.2% 22.0% -9.0% 45.1% 15.9% 17.6% -20% -10% 0% 10% 20% 30% 40% 50% 0 2 4 6 8 10 12 14 16 18 20 市場規模(億美元）YOY 應用材料, 70% Axcelis, 20% 其他, 10% 公司首次覆蓋報告公司首次覆蓋報告 請務必參閱正文后面的信息披露和法律聲明 11 / 22 表表4：2019 年國內重點晶圓代工廠產能擴張年國內重點晶圓代工廠產能擴張 狀態狀態 項目名稱項目名稱 晶圓尺寸晶圓尺寸 產能（產能（K/WPM） 投資投資 投產

34、SK 海力士半導體 12 英寸 80 86 億美元 投產 中芯國際（天津）二期 8 英寸 100 15 億美元 在建 中芯南方集成 12 英寸 35 102 億美元 在建 華虹半導體（無錫）一期 12 英寸 40 25 億美元 在建 三星半導體二期一階段 12 英寸 80 702 美元 在建 廣州粵芯 12 英寸 40 70 億元 在建 中芯集成（紹興） 8 英寸 - 58.8 億元 在建 海辰半導體（無錫） 8 英寸 100 67.9 億元 在建 中芯集成（寧波）二期 8 英寸 30 39.91 億元 在建 上海塔積半導體 12、8、6 英寸 - 359 億元 資料來源：中國產業信息網、開源

35、證券研究所 工工藝藝制程的制程的進步進步增加離子注入工序增加離子注入工序， 將提升對于設備的數量要求。， 將提升對于設備的數量要求。 在摩爾定律作 用下，元器件集成度大幅提高使得集成電路線寬不斷縮小，這會直接導致制造工 藝步驟增多與復雜度增加，進而引起對半導體制造設備需求的增多。根據 SEMI 統計， 20nm 工藝所需總工序約為 1000 道， 而 10nm 和 7nm 工藝所需總工序已超 過 1400 道。 2.3、 光伏離子注入機光伏離子注入機：凱世通市占率全球第一凱世通市占率全球第一， 政策， 政策+技術升級打開市場技術升級打開市場 空間空間 光伏電池的生產過程一般包括硅片的清洗、制絨

36、、摻雜制結、邊緣刻蝕、清洗、 沉積減反射層、絲網印刷、高溫燒結、電池效率測試分選等多個環節。其中擴散制結 過程是指采用熱擴散摻雜技術在硅片中制備 P-N 結的過程，目前離子注入技術用于 光伏電池的摻雜主要包括 P 型晶硅電池的發射極，N 型 PERT、TOPCon 和 IBC 電池 的發射極以及背場。其原理是以一定的能量將摻雜離子注入到硅片中，通過隨后的 退火激活完成摻雜， 摻雜制結過程的質量決定了電池轉換效率、 衰減率、 良品率等多 個關鍵指標， 無論是從工藝的優越性還是成本的低廉性上來看， 離子注入技術都是 N 型高效 TOPCon 電池和 TOPCon IBC 電池的必需技術之一。 表表

37、5：光伏離子注入機在光伏離子注入機在 N 型電池上的應用點型電池上的應用點 電池類型電池類型 N-PERT TOPCon IBC 應用點 鱗背場摻雜，包括全背 場和選擇性背場 N 型多晶硅高劑量摻 雜；繞鍍多晶硅的選擇 性刻蝕 發射極和背場摻雜；前 場摻雜 資料來源：公司公告、開源證券研究所 市場格局：市場格局：目前全球從事離子注入機制造的公司很少，從事光伏離子注入機制目前全球從事離子注入機制造的公司很少，從事光伏離子注入機制 造的公司更少。造的公司更少。自 2015 年美國應用材料公司因設備成本和產能問題宣布退出光伏離 子注入機的生產以后，全球主要有凱世通、美國 Intevac 公司、日本真

38、空 3 家公司生 產光伏離子注入機。 據凱世通公司公告， 2017 年凱世通以銷售 15 臺光伏離子注入機 公司首次覆蓋報告公司首次覆蓋報告 請務必參閱正文后面的信息披露和法律聲明 12 / 22 奪得市占第一的寶座，同年 Intevac 公司銷售 2 臺光伏離子注入機。 從未來看，從未來看，技術升級引起客戶需求技術升級引起客戶需求積極積極轉變：轉變：N 型電池以其效率高、衰減低、價格合 理等優勢逐漸被光伏生產商發掘和追捧，目前國內多家光伏廠商已經開啟了 N 型技 術路線的研發，而光伏離子注入機作為該技術路線中重要的設備也會受益其增長。 政策利好：政策利好：國家光伏補貼退坡和光伏電池轉換效率要

39、求的提出使得光伏生產廠商不 得不降低產品成本、提高產品光伏轉換效率，而目前 N 型技術路線對光伏廠商來說 是較佳的方案選擇。 2.4、 AMOLED 離子注入機離子注入機：日新公司日新公司壟斷壟斷，國產替代空間較大，國產替代空間較大 AMOLED 全稱是主動矩陣有機發光二極體（全稱是主動矩陣有機發光二極體（Active-matrix organic light- emitting diode） ，被稱為下一代顯示技術，是 OLED 自發光顯示器技術的一種。與傳 統 LCD 液晶面板相比，AMOLED 面板具有更薄更輕、主動發光、高清晰、高亮度、 視角廣，響應快速、能耗低、成本低和可實現柔軟顯示

40、等優勢，未來將取代 LCD 成 為主流， 其制備工藝包括： ITO 玻璃清洗光刻再清洗前處理真空蒸鍍有機層 真空蒸鍍背電極真空蒸鍍保護層封裝切割測試模塊組裝產品檢驗及 老化實驗等十幾道工序。 AMOLED 離子注入離子注入機應用于機應用于 AMOLED 生產的生產的前段背板段工藝環節前段背板段工藝環節。背板主 要通過成膜、 曝光、 蝕刻疊加不同圖形、 不同材質的膜層以形成 LTPS （低溫多晶硅， Low Temperature Poly-Silicon） ，離子注入對 AMOLED 中硅載流子進行摻雜，從而改 變 AMOLED 面板的導電特性。 圖圖12：離子注入機應用于離子注入機應用于 A

41、MOLED 生產前段生產前段 資料來源：公司官網、公司公告、開源證券研究所 市場格局市場格局：目前全球市場被目前全球市場被基本被基本被日本日本日新公司壟斷。日新公司壟斷。 從未來看，從未來看， AMOLED優勢顯著， 逐步替代優勢顯著， 逐步替代 LCD， 面板企業擴產將驅動， 面板企業擴產將驅動 AMOLED 離子注入機需求離子注入機需求。相較于 LCD 屏幕，AMOLED 具有顯示效果好、更輕薄、能耗低、 可實現柔性效果等優點， 隨著技術不斷成熟與成本逐漸降低， 其在智能手機、 智能手 表、車載顯示和智能穿戴設備中的滲透率將不斷提升。據 HIS 預測，全球中小尺寸 AMOLED 面板需求

42、2020 年將獲得 20%左右的成長，進而面板企業擴產將帶動 AMOLED 離子注入機需求量的增長。 公司首次覆蓋報告公司首次覆蓋報告 請務必參閱正文后面的信息披露和法律聲明 13 / 22 3、 凱世通：政策支持凱世通：政策支持+技術領先，國產替代機會巨大技術領先，國產替代機會巨大 3.1、 專注離子注入機制造，國內實力第一專注離子注入機制造，國內實力第一 凱世通凱世通是國際領先是國際領先的集成電路裝備制造企業的集成電路裝備制造企業。凱世通成立于 2009 年 4 月，是一 家以離子束技術為核心， 集科研、 制造于一體的高科技企業， 重點發展太陽能離子注 入機、集成電路離子注入機和 AMOL

43、ED 離子注入機三大類設備。 公司 2009 年年與世界排名第二的 Axcelis 合作研發 OHD 低能束流的改進，2011 年年獲美國 Amtech 公司增資 1 億元， 進入太陽能電池制程用離子注入機領域， 2012 年年 起推出第一款產品 IonSolar 光伏注入機， 后逐步推出 AMOLED 離子注入機、 Ipv-2000 光伏注入機、FinFET 注入機、Ipv-3000 光伏注入機、IC 低能大束流注入機等，最新 一代 Ipv-6000 光伏注入機 2020 年年也進入客戶量產階段，目前技術和設備全球領先。 表表6：凱世通主要凱世通主要設備設備包括集成電路包括集成電路、光伏和、

44、光伏和 AMOLED 離子注入機三大類離子注入機三大類 產品大類產品大類 細分產品細分產品 應用場景應用場景 集成電路離子注入機集成電路離子注入機 低能大束流離子注入機 高端制程邏輯 AI/FPGA/CPU、DRAM/3D 存儲器、CIS 高能離子注入機 功率器件 IGBT、5G 射頻/光通信芯片、高清 CIS 光伏離子注入機光伏離子注入機 高產能、高性價比 Ipv-6000 設備 （6000 片/小時） 高效率 N 型 TOPCON 電池、N 型 IBC 電池 AMOLED 離子注入離子注入 機機 6 代 AMOLED 離子注入機（下一代離 子注入機研發） 移動設備 AMOLED 顯示屏、可

45、穿戴設備顯示、大屏 QD-OLED 電視 資料來源：公司公告、公司官網、開源證券研究所 凱世通由凱世通由五位五位世界一流世界一流離子離子注入機專家創立注入機專家創立。凱世通最初是由以陳炯博士為首 的五位國際知名注入機專家創立，其中四位曾有國際離子注入機巨頭企業 AIBT 的 任職經歷， 且陳炯博士還是 AIBT 創始人之一兼首席技術官， 具有豐富的離子注入機 從業經驗， 曾帶領團隊成功開發兩代大束流離子注入機， 并于 2007 年進入當時最先 進 32-28 納米臺積電生產線，實現全球銷售 80 臺套。 公司首次覆蓋報告公司首次覆蓋報告 請務必參閱正文后面的信息披露和法律聲明 14 / 22

46、表表7：凱世通凱世通五位國際知名專家創始人五位國際知名專家創始人，經驗豐富，經驗豐富 管理層管理層 簡介簡介 陳炯 博士 離子注入機領域專家，曾任美國曾任美國 Eaton 公司研發經理，公司研發經理，AIBT 公司創始人、首席技術官，公司創始人、首席技術官，國際離子注 入技術協會終生常務理事，曾以著者或合著者的身份發表論文 15 篇，擁有 16 項美國專利。 陳維 博士 清華大學化工學士，美國明尼蘇達大學化學博士學位。半導體離子注入工藝專家，曾任職于美國道康曾任職于美國道康 寧公司，美國寧公司，美國 Intel 公司，任工程技術部經理，公司，任工程技術部經理，無錫凱世通承包美國 LittleF

47、use 離子注入車間，從事離 子注入服務代工業務，為中車、國家電網、先進半導體等 100 多家公司提供服務。 洪俊華 博士 英國圣安德路斯大學物理學博士，加拿大國家科學院研究員，曾任曾任 AIBT 公司項目經理，擔任國家光公司項目經理，擔任國家光 電設備課題主要負責人，電設備課題主要負責人，20 多年研究和開發經驗。多年研究和開發經驗。曾主導整個太陽能離子注入機的開發，提出創新性 的雙離子源技術和簾狀的寬幅離子束流傳輸系統。 Jeffery Boeker 博士 獲得美國華盛頓大學計算機科學碩士和法學博士(J.D.)學位。半導體設備半導體設備 15 年以上研發經驗，專長于年以上研發經驗，專長于

48、自動化控制和軟件，曾任自動化控制和軟件，曾任 AIBT 公司軟件經理。公司軟件經理。 Donald Berrian 博士 擁有美國普林斯頓大學半導體器件物理學博士學位和羅格斯大學電氣工程學士學位。有超過有超過 30 年的頂年的頂 尖離子注入設備設計研發經驗。曾在尖離子注入設備設計研發經驗。曾在 Varian、Eaton、AIBT 等企業成功開發過多款享譽全球的離子等企業成功開發過多款享譽全球的離子 注入設備。注入設備。 資料來源：公司公告、開源證券研究所 注：AIBT 為世界僅有的少數能夠生產離子注入機的國際巨頭企業之一 凱世通營收和凈利潤凱世通營收和凈利潤 2019 年年有有所所下降。下降。

49、凱世通營收和凈利潤 2014-2018 年保持 較高的增長速度，營收從 2014 年的 914 萬元增長至 2018 年的 1.08 億元，CAGR 達 85.57%， 凈利潤從2014年的330萬元增長至2018年的1209萬元， CAGR為38.35%。 2019 年兩者均有所下降，主要是部分高效晶硅電池生產商對固定資產投資有所延緩 或降低，導致部分已簽訂的銷售合同未能如期執行。 圖圖13：2014-2018 年年凱世通凱世通營收營收 CAGR 高達高達 85.57% 圖圖14：2014-2018 年年凱世通凱世通凈利潤凈利潤 CAGR 達達 38.35% 數據來源：Wind、公司公告、開

50、源證券研究所 數據來源：Wind、公司公告、開源證券研究所 3.2、 政策支持政策支持+技術技術領先，領先，凱世通凱世通核心競爭力核心競爭力強大強大 凱世通凱世通技術實力強大，技術實力強大，獲得國家政策大力支持獲得國家政策大力支持，承擔多項國家承擔多項國家級、級、省省級級課題課題。 受國際復雜政治因素影響，半導體設備國產化需求緊迫，凱世通作為國內離子注入 機龍頭， 承擔著打破國外壟斷的重大使命， 因此， 近年來凱世通受到國家和上海市政 府的大力支持， 先后承擔多項國家級、 省級課題， 包括國家 02 專項“極大規模集成電 路制造裝備及成套工藝”課題，工信部、國家開發銀行組織課題，多項上海市科委