【公司研究】北方華創-國內半導體設備最全玩家晶圓廠擴產推動業績持續增長-20200529[38頁].pdf

1、 Table_StockInfo 2020 年年 05 月月 29 日日 證券研究報告證券研究報告公司研究報告公司研究報告 持有持有 （首次）（首次） 當前價： 150.72 元 北方華創（北方華創（002371） 電子電子 目標價： 元（6 個月） 國內半導體設備最全玩家，國內半導體設備最全玩家， 晶圓廠晶圓廠擴產推動擴產推動業績業績持續增長持續增長 投資要點投資要點 西南證券研究發展中心西南證券研究發展中心 分析師：倪正洋 執業證號：S1250520030001 電話：021-58352138 郵箱： 相對指數表現相對指數表現 數據來源：聚源數據 基礎數據基礎數據 總股本(億股) 4.95

2、 流通 A 股(億股) 4.58 52 周內股價區間(元) 56.19-183.79 總市值(億元) 746.24 總資產(億元) 141.49 每股凈資產(元) 11.88 相關相關研究研究 Table_Report 國內半導體產品線最全玩家，國內半導體產品線最全玩家，16-19 年歸母凈利潤年歸母凈利潤 CAGR+49.2%。公司產品覆 蓋集成電路、光伏、LED、面板四大泛半導體領域以及真空設備（主要為光伏 單晶爐）、前中段鋰電設備和電子元器件，其中泛半導體業務收入占比過半。 公司 16 年收購北方微電子拓展高端 Etch、PVD、CVD 等業務，16-19 年公司 收入 CAGR+35.

3、8%，歸母凈利潤 CAGR+49.2%。2019 年公司研發投入收入占 比達 28.0%，毛利率 40.53%，凈利率 9.11%。20Q1 公司反映訂單預收款的合 同負債科目金額達 26.4 億元，較年初+79.6%，反應公司在手訂單充裕。 半導體設備國產替代加速，多元布局助力設備公司穿越周期半導體設備國產替代加速，多元布局助力設備公司穿越周期。全球半導體產業 鏈正在向中國大陸轉移。據中國半導體產業協會統計，2018 年國內半導體設備 國產率不足 12%，提升空間廣闊。受 EUV13.5nm 波長限制，14nm 及以下先 進工藝主要靠刻蝕、薄膜沉積突破，清洗則是提升先進工藝產品良率的關鍵。

4、2019 年國內刻蝕、薄膜沉積、清洗設備市場規模分別為 181 億元、134 億元和 50 億元。在政策指引疊加大基金支持下，中微公司、北方華創、精測電子和盛 美半導體等公司設備已進入主流晶圓廠產線量產。 光伏行業光伏行業裝機量復蘇，裝機量復蘇， 20 年單晶爐市場空間達年單晶爐市場空間達 119 億元。億元。 據光伏協會預計， 2020 年國內新增裝機量達 35-45GW，同比增長 15%-50%；國內單晶硅片產能增量 達 59.5GW，隆基、中環占比超 8 成，龍頭企業設備投資擴產強勁，預計 2020 年單晶爐投資規模將達 119 億元。 晶圓廠加速投資背景下公司市占率提升晶圓廠加速投資背

5、景下公司市占率提升，國產替代推動公司未來，國產替代推動公司未來業績業績增長。增長。據 芯思想研究院統計，2019 年底國內投產年底國內投產+在建在建+規劃中的晶圓廠共有規劃中的晶圓廠共有 57 個，合個，合 計投資額超過計投資額超過 15000 億元億元，其中以中芯國際、長江存儲、積塔、華虹、燕東等 先進制程、存儲器和特色工藝廠為主。公司公司刻蝕、薄膜、清洗、爐管設備刻蝕、薄膜、清洗、爐管設備在上在上 述晶圓廠中述晶圓廠中市占率不斷提升。市占率不斷提升。此外，預計光伏龍頭隆基預計光伏龍頭隆基股份股份擴產將為公司未來擴產將為公司未來 兩年帶來兩年帶來19.4億元收入。億元收入。 泛半導體設備國產

6、替代加速將推動公司未來業績增長。 盈利預測與投資建議盈利預測與投資建議：鑒于下游晶圓廠進入投資擴張期，以及公司泛半導體產 品線豐富， 高端產品不斷突破， 預計預計 2020-2022 年公司歸母凈利潤為年公司歸母凈利潤為 4.7 億元、億元、 7.4 億元、億元、9.6 億元。對應億元。對應 PE 158/101/77 倍倍，首次覆蓋給予“持有持有”評級。 風險提示：風險提示：半導體產業周期波動、國產替代不及預期、美國技術管制加強。 指標指標/年度年度 2019A 2020E 2021E 2022E 營業收入（百萬元） 4058.31 5740.69 7511.51 9555.16 增長率 2

7、2.10% 41.45% 30.85% 27.21% 歸屬母公司凈利潤（百萬元） 309.03 473.75 740.24 964.37 增長率 32.24% 53.30% 56.25% 30.28% 每股收益 EPS（元） 0.62 0.96 1.50 1.95 凈資產收益率 ROE 6.06% 7.86% 10.96% 12.53% PE 241 158 101 77 PB 12.23 11.53 10.37 9.17 數據來源：Wind，西南證券 -19% 17% 54% 91% 127% 164% 19/519/719/919/1120/120/320/5 北方華創 滬深300 公司研

8、究報告公司研究報告 / 北方華創（北方華創（002371） 目目 錄錄 1 產品線涵蓋四大泛半導體領域，營收穩定高增長，產品線涵蓋四大泛半導體領域，營收穩定高增長，20 年在手訂單充裕年在手訂單充裕 . 1 1.1 設備覆蓋 IC、光伏、LED 和面板四大泛半導體領域，高端設備持續突破 . 1 1.2 多元布局+高端產品助公司增長穩定，一季度在手訂單充裕 . 4 2 半導半導體設備國產替代進行時，多元布局穿越半導體設備周期體設備國產替代進行時，多元布局穿越半導體設備周期 . 7 2.1 半導體產業轉向中國，政策+大基金加速產業鏈國產替代 . 7 2.2 半導體設備周期波動性大，多元布局強化抗風

9、險能力 . 10 2.3 薄膜沉積與刻蝕設備推動先進工藝發展，清洗設備成為提高良率關鍵 . 11 3 2020 年光伏單晶爐市場空間達年光伏單晶爐市場空間達 119 億元，鋰電設備前、中段投資占比達億元，鋰電設備前、中段投資占比達 70% . 20 3.1 單晶硅片龍頭企業擴產提速，預計 20 年國內單晶爐市場規模達 119 億元 . 20 3.2 國內鋰電設備市場空間達 186 億元，前、中段合計 130 億元 . 22 4 國內晶圓廠進入擴產周期，公司多種產品迎接國產替代紅利國內晶圓廠進入擴產周期，公司多種產品迎接國產替代紅利 . 23 4.1 國內晶圓廠擴產加速，先進制程、存儲器和特色工

10、藝推動設備投資 . 23 4.2 公司刻蝕、薄膜沉積、清洗、爐管均已實現國產替代，未來將享受下游晶圓廠擴產紅利 . 26 4.3 綁定單晶硅片龍頭隆基股份，單晶爐成為公司 20 年收入增長點 . 28 5 盈利預測與估值盈利預測與估值 . 29 5.1 盈利預測 . 29 5.2 相對估值 . 30 6 風險提示風險提示 . 31 nMtMrQoNrMrQzQoMuMnRxP6M9RaQpNnNoMnNfQmMsMiNoOrQaQrRyRxNnQpNuOoMtQ 公司研究報告公司研究報告 / 北方華創（北方華創（002371） 圖圖 目目 錄錄 圖 1：公司成立于 2001 年，前身可追溯至“

11、一五時期” . 1 圖 2：16-19 年公司收入 CAGR 為 35.8% . 4 圖 3：16-19 年歸母凈利潤 CAGR 為 49.2% . 4 圖 4：19 年公司毛利率 40.5%，凈利率 9.1% . 5 圖 5：19 年公司三費率合計為 22.1% . 5 圖 6：2019 年公司研發投入占比達 28.0% . 5 圖 7：19 年研發人員 1121 人，占全部員工比例為 24.1% . 5 圖 8：19 年電子工藝裝備占比 78.6% . 6 圖 9：20Q1 預收賬款（合同負債）較年初增加 11.7 億元，推動經營現金流轉正 . 7 圖 10：半導體產業鏈轉向中國 . 7

12、圖 11：大基金一期重點布局 IC 制造 . 9 圖 12：全球半導體市場規模預計 20 年回暖 . 10 圖 13：19 年全球半導體設備市場規模達 598 億美元 . 10 圖 14：全球半導體設備波動大于半導體市場整體波動 . 11 圖 15：刻蝕、光刻和薄膜沉積分別占半導體設備總投資的 19%、18%、14% . 12 圖 16：刻蝕設備和沉積設備在晶圓制造設備投資中的占比不斷提升 . 12 圖 17：10 納米多重模板工藝依托刻蝕設備和薄膜沉積設備的多次配合 . 13 圖 18：硅刻蝕與金屬刻蝕占刻蝕設備投資比重的 50% . 14 圖 19：泛林半導體占據刻蝕機市場份額半壁江山 .

13、 14 圖 20：CVD 占薄膜沉積投資比重的 68.2% . 16 圖 21：PECVD、AP/LPCVD 與 ALD 占薄膜沉積設備投資的 84% . 16 圖 22：PECVD 常用于沉積 SiO2、PSG、BPSG、SiNx、SiOxNy . 17 圖 23：LPCVD 臺階覆蓋率更好 . 17 圖 24：ALD 中每個周期生長的薄膜至多一個單原子層 . 17 圖 25：AMAT 占據 85%的 PVD 市場份額 . 18 圖 26：AMAT、TEL 和泛林半導體合計占 CVD 的 70% . 18 圖 27：制程提升導致良率下降 . 19 圖 28：良率下降提升清洗步驟 . 19 圖

14、 29：2018 年盛美半導體在清洗設備的全球市占率達 2.3% . 20 圖 30：預計 2020 年國內光伏累計裝機量將達 240-250GW . 21 圖 31：預計 2020 年國內新增光伏裝機量將達 35-45GW . 21 圖 32：2020 年國內新能源汽車產量將達 125-150 萬輛 . 22 圖 33：中國新能源汽車電池裝機量持續增長 . 22 圖 34：北方華創在各大晶圓廠中標情況梳理（其他包含青島芯恩、中電彩虹、京東方、華虹宏力等） . 27 圖 35：隆基股份 2020 年迎來新一輪單晶硅片擴產期 . 29 公司研究報告公司研究報告 / 北方華創（北方華創（00237

15、1） 表表 目目 錄錄 表 1：公司承擔 02 重大科技專項累計獲得政府資助金額超 20 億元 . 2 表 2：公司產品覆蓋集成電路、光伏、LED、面板等多個領域 . 3 表 3：北方華創微電子（主營泛半導體設備）收入占公司收入 63.8% . 6 表 4：政策推動國內半導體產業發展 . 8 表 5：2020Q1 中芯國際與臺積電收入增速超預期，全年資本支出維持高位 . 10 表 6：全球營收前十五半導體設備公司業務分布廣泛 . 11 表 7：國內介質刻蝕、硅刻蝕和金屬刻蝕市場規模分別為 87.0、85.2 和 5.4 億元 . 14 表 8：CVD 適合沉積電介質、PVD 適合沉積合金 .

16、15 表 9：相較蒸發法來說，濺射鍍膜優勢明顯 . 15 表 10：國內介質刻蝕、硅刻蝕和金屬刻蝕市場規模分別為 87.0、85.2 和 5.4 億元 . 18 表 11：單片式設備清洗效果好，槽式設備清洗效率高 . 19 表 12：國內清洗設備市場規模達 50 億元 . 20 表 13：2020 年國內單晶硅片新增產能預計將達 59.5GW, 隆基、中環占增量份額超 80% . 21 表 14：單晶爐投資額約 2 億/GW（單位：萬元） . 22 表 15：鋰電設備前段、中段分別占設備投資的 40%和 30%. 23 表 16：國內晶圓廠投資擴產加速（持續更新中） . 24 表 17：公司各

17、類設備在長江存儲、華虹無錫、上海積塔等晶圓廠中實現國產替代 . 28 表 18：截至 2017 年底公司公告與隆基股份設備采購訂單超 13 億元 . 28 表 19：分業務收入及毛利率 . 30 表 20：可比公司估值（截至 2020.5.28） . 30 附表：財務預測與估值 . 32 公司研究報告公司研究報告 / 北方華創（北方華創（002371） 1 1 產品線涵蓋四大泛半導體領域，產品線涵蓋四大泛半導體領域，營收穩定高增長，營收穩定高增長，20 年在手訂單充裕年在手訂單充裕 1.1 設備設備覆蓋覆蓋 IC、光伏、光伏、LED 和面板四大泛半導體領域和面板四大泛半導體領域，高端設，高端設

18、 備持續突破備持續突破 國內半導體設備最全玩家， 產品覆蓋國內半導體設備最全玩家， 產品覆蓋 IC、 光伏、 光伏、 LED 和面板四大領域。和面板四大領域。 公司成立于 2001 年，前身可追溯到國家“一五”期間建設的軍工重點項目，距今已有 60 多年歷史。2001 年 9 月， 北京電控整合原國營 707、 718 廠等數家優質企業， 成立七星華創電子股份有限公司， 主營泛半導體設備和精密元器件；同年 10 月，北京電控聯合清華、北大中科院微電所成立 北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司，專注于等離子刻蝕、PVD、CVD 等高端 半導體設備；2010 年 3 月，七星華創在深圳交易所

19、上市，2016 年 8 月七星華創與北方微電 子完成戰略重組；2017 年公司更名為北方華創，2019 年公司收購美國半導體清洗設備公司 Akrion 的收購，完善結構體系，2020 年，子公司北方華創微電子擬以 6397 萬元收購關聯方 北京北廣科技，進入射頻發射設備領域。目前目前公司主營業務包含公司主營業務包含電子工藝裝備和電子元器件電子工藝裝備和電子元器件 兩大板塊，兩大板塊，電子工藝裝備電子工藝裝備覆蓋覆蓋 IC、光伏、光伏、LED 和面板和面板四大泛半導體領域四大泛半導體領域以及真空設備和以及真空設備和鋰鋰 電新能源設備電新能源設備，精密元器件包含電阻、電容、晶體器件、模塊電源等軍用

20、和民用電子元件。 公司已成為國內半導體設備產品線最全玩家。 圖圖 1：公司成立于公司成立于 2001 年年，前身可追溯至，前身可追溯至“一五時期”“一五時期” 數據來源：公司招股說明書、公司官網，西南證券整理 公司承擔國家重大科技專項累計獲得資助金額超公司承擔國家重大科技專項累計獲得資助金額超 20 億元億元，14nm 在研產品進入客戶驗在研產品進入客戶驗 證證。公司作為國家 02 重大科技專項承擔單位，通過承擔重大專項多項課題的科研任務，先 后完成了 12 寸集成電路制造設備 90-28nm 等多個關鍵制程的攻關工作，所開發的用于 12 寸晶圓制造的刻蝕機、PVD、CVD、立式氧化爐、擴散爐

21、、清洗機和氣體質量流量控制器等 設備產品已成功實現了產業化。其中 28nm 及以上技術代制程設備已批量進入了國內主流集 成電路生產線量產， 部分產品更成為了中芯國際的量產線 Baseline 機臺； 各類 8 英寸集成電 路設備也全面進駐國內主流代工廠和 IDM 企業。目前所承擔的 02 專項在研課題 14nm 制程 設備已交付至客戶端進行工藝驗證，CuBS PVD 設備成功進入長江存儲產線。公司在集成電 路裝備領域取得了大量的研發與產業化成果，在國家推動芯片產業化進程中發揮了核心骨干 的帶頭作用。 公司研究報告公司研究報告 / 北方華創（北方華創（002371） 2 表表 1：公司承擔：公司

22、承擔 02 重大科技專項累計獲得政府資助金額超重大科技專項累計獲得政府資助金額超 20 億元億元 時間時間 內容內容 資助金額（萬元）資助金額（萬元） 完成情況完成情況 備注備注 2009 300mm90/65nm 立式氧化爐/質量流量控制器研制與產業化項目 超 5087 已完成，并實現銷售 02 專項 2010 65nm 超精細清洗設備研制與產業化項目 11838 已完成，并實現銷售 02 專項 2011 45-32nm LPCVD 設備研制與產業化項目 10649.52 已完成，并實現銷售 02 專項 2013 65nm-45nm 銅互連清洗設備產業化 5676 已完成，并實現銷售 02

23、專項 2013 90/65nm 硅刻蝕機研發與產業化項目 16174 已完成，并實現銷售 02 專項 2013 65-45nm 硅 PVD 設備研發項目 10708 已完成，并實現銷售 02 專項 2013 32-22nm 柵刻蝕機 1895 已完成，并實現銷售 02 專項 2013 45-22nm 銅 PVD 設備研發及產業化 3452 已完成，并實現銷售 02 專項 2014 14nm 立體柵刻蝕機研發與產業化項目 80653.07 處于驗證中 02 專項 2015 28-14nm 原子層沉積系統（ALD）產品研發及產業化 36095 處于驗證中 02 專項 2016 14-7nm CuBS 多工藝腔室集成裝備研發及產業化 29842.3 處于驗證中 02 專項 合計 超 20 億元 數據來源：公司公告，西南證券整理 目前公司產品線覆蓋目前公司產品線覆蓋集成電路 （集成電路 （IC） 、 功率器件、 功率器件 （Power） 、 微機電系統 （微機電系統 （MEMS） 、 LED、 顯示顯示面板、光伏面板、光伏等泛半導體設備和等泛半導體設備和鋰電設備鋰電設備、真空設備（真空設備中的光伏單晶爐主要用于、真空設備（真空設備中的光伏單晶爐主要用于 光伏領域）以及光伏領域）以及精密元器件精密元器件。 IC、 Power、 MEMS： 布局