金辰股份-HJT曙光已至PECVD打開第二成長曲線-210826（29頁）.pdf

1、HJT 具備多項優勢，未來發展空間較大HJT 是一種 N 型單晶雙面電池，具有工藝簡單、發電量高、度電成本低的優勢。制作工藝上，首先在 N 型單晶硅片(c-Si)的正面沉積很薄的本征非晶硅薄膜(i-aJ3-Si:H)和 p型非晶硅薄膜(p-a-Si:H)，然后在硅片的背面沉積很薄的本征非晶硅薄膜(i-a-Si:H)和 n型非晶硅薄膜(n-a-Si:H)形成背表面場;再在電池的兩面沉積透明氧化物導電薄膜(TCO)， TCO 不僅可以減少收集電流時的串聯電阻，還能起到像晶硅電池上氮化硅層那樣的減反作用;最后在 TCO 上制作金屬電極。降本、增效是光伏行業發展所遵循的兩條原則，與主流的 PERC 電

2、池相比，HJT 具有工藝流程短、轉換效率高、功率衰減低等優點，同時面臨著成本較高的問題。工藝：HJT 電池工藝簡單，僅需要經過清洗制絨、非晶硅薄膜沉積、TCO 鍍膜、絲網印刷四道工序，與其他電池技術工藝相比具有顯著優勢(PERC 電池需要 8-10 道工序)：清洗制絨：異質結及界面決定電池的最終特性，硅襯底作為異質結界面的一部分，其品質是決定電池性能的關鍵因素之一。因此需要制絨清洗工序優化電池的陷光性能，有效絨面結構可使入射光在表面進行多次反射和折射，形成潔凈表面，減少硅片表面不潔凈而引入的缺陷和雜質，從而降低結界面處載流子的復合損失?，F今主要有兩種清洗法：美國無線電公司推出的 RCA 清洗法

3、，以及臭氧清洗。針對兩種清洗方法，雖然基于臭氧的清洗工藝成本較低，但 RCA 清洗工藝因性能更為穩定而被廣泛推廣。其進行控制。這一步驟十分關鍵，因為 pn 結是在表面形成的并且沉積層也決定了鈍化的效果，因此這是決定 HJT 性能好壞的關鍵。TCO 膜沉積：在 HJT 工藝中沉積的后半部分涉及制備透明導電氧化層 TCO 薄膜，用作減反層以及橫向輸運載流子至電極的導電層。 TCO 薄膜的制備方法較多，包括各種物理氣相沉積(PVD)，化學氣相沉積(CVD)，噴射熱分解法以及溶膠-凝膠法(Sol-Gel)，每種方法都有其各自的優缺點。目前行業中 TCO 薄膜通常應用濺射的方法在 PVD 設備中完成，或者運用 RPD 設備霧狀成膜方式，通過能量源帶上去。絲網印刷：絲網印刷的作用是制備電極，即與 PN 結兩端形成歐姆接觸，是目前行業內最常用的制備電極的方法，能與硅形成牢靠的歐姆接觸，具有良好的導電性能，高電流收集效率等優點。但由于 HJT 電池不耐高溫，所以本工藝采用銀漿不同于常規產品，工藝中使用低溫銀漿印刷及低溫固化，具體工藝流程包括背電極印刷、烘干、正電極印刷、烘干和低溫固化。