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電子元器件行業：芯片良率的重要保障半導體清洗設備國產替代正當時-211117（26頁）.pdf 報告預覽

電子元器件行業：芯片良率的重要保障半導體清洗設備國產替代正當時-211117（26頁）.pdf

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電子元器件行業：芯片良率的重要保障半導體清洗設備國產替代正當時-211117（26頁）.pdf

1、(1) 至純科技擁有 8-12 英寸高階單晶圓濕法清洗設備和槽式濕法清洗設備的相關技術，產品覆蓋晶圓制造、先進封裝、太陽能等多個下游應用。公司濕法設備有槽式和單片式(812 反應腔)兩種，可以提供到 28 納米節點全部濕法工藝，已經切入中芯國際、華虹集團等一線用戶，單片式濕法設備已獲得國內重要用戶多個訂單。(2) 盛美半導體是國內半導體清洗設備的龍頭，在 12 寸線清洗設備處于行業領先地位，產品線豐富，清洗設備營收體量國內最大。公司主要產品為集成電路領域的單片清洗設備，其中包括單片 SAPS 兆聲波清洗設備、單片 TEBO 兆聲波清洗設備、單片背面清洗設備、單片前道刷洗設備、槽式清洗設備、單片

2、槽式組合清洗設備等。(3) 北方華創是國內半導體設備龍頭，產品線豐富，包括刻蝕機、PVD、CVD、ALD、氧化/擴散爐、退火爐、清洗機，公司通過收購美國半導體設備生產商 Akrion Systems LLC 完善了清洗設備產線，目前公司主要清洗設備產品為單片和槽式清洗設備，可適用于技術節點為 65nm、28nm 工藝的芯片制造。(4) 芯源微目前產品主要產品包括光刻工序涂膠顯影設備(涂膠/顯影機、噴膠機)和單片式濕法設備(清洗機、去膠機、濕法刻蝕機)，公司生產的前道 Spin Scrubber 清洗機設備目前已達到國際先進水平，成功實現進口替代，已經在中芯國際、上海華力、廈門士蘭集科等多個客戶處通過工藝驗證，并獲得國內多家 Fab 廠商的批量重復訂單。

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