電力設備及新能源行業光伏系列報告：TOPCon規模推廣加快有望帶來新一輪電池裝備需求-220612（18頁）.pdf

1、 敬請閱讀末頁的重要說明 證券研究報告 | 行業深度報告 2022 年 06 月 12 日 推薦推薦（維持）（維持） TOPCon 規模規模推廣加快推廣加快，有望帶來有望帶來新一輪電池新一輪電池裝備裝備需求需求 中游制造/電力設備及新能源 電池片環節新一輪技術變革正在啟動，電池片環節新一輪技術變革正在啟動，TOPCon、HPBC、HJT、IBC 為代表為代表的新的新技術都在技術都在加速迭代，其中加速迭代，其中 TOPCon 規模應用規模應用已經開始已經開始，與，與 PERC 相比相比，TOPCon 新增新增了了隧穿氧化層生長與多晶硅沉積設備隧穿氧化層生長與多晶硅沉積設備，硼擴設備硼擴設備更多更

2、多。而而在在幾種幾種制備鈍化層技術路線上，目前制備鈍化層技術路線上，目前 LPCVD 路線體量占主導路線體量占主導，PECVD 是頗具是頗具潛力潛力的的方向方向，如果能進一步優化，如果能進一步優化，也也有望得到大有望得到大規模應用規模應用。除晶科能源，我們預計除晶科能源，我們預計下半年將有下半年將有 3-5 家企業啟動大規模家企業啟動大規模 TOPCon 投建，這些企業可能會根據下半投建，這些企業可能會根據下半年裝備公司迭代后情況比較以及自身工藝掌握程度年裝備公司迭代后情況比較以及自身工藝掌握程度選擇選擇其其 TOPCon 路線路線?？??？傮w來看，體來看，具備先發優勢的具備先發優勢的裝備裝備企

3、業企業將受益于這一輪電池片技術的升級換代將受益于這一輪電池片技術的升級換代。 TOPCon 裝備體系與裝備體系與 PERC 類似類似，鈍化層設備是難點，鈍化層設備是難點。TOPCon 電池相較于 PERC 電池有較強的延續性，主要區別在鈍化層制備，TOPCon 增加了隧穿氧化層及多晶硅沉積設備，還要用更多的硼擴散裝備，其余制備流程與PERC 比較接近。隧穿氧化層生長及多晶硅層沉積是 TOPCon 工藝難點，其單 GW 設備投資較 PERC 增加約 3000-4000 萬元，主要系：a）由于硼擴散的速度較慢，因此硼擴設備數量增加；b）增加隧傳氧化層與多晶硅層制備。目前 TOPCon 產線基本為新

4、建產能，后續擴產可能也將以新建為主。 鈍化層制備路線不同鈍化層制備路線不同，PECVD 與與 LPCVD 可能并行可能并行。PERC 電池裝備經過較長時期技術工藝探索和實證檢驗后工藝趨于成熟，企業間差異不明顯。TOPCon 仍處在推廣初期，因此在隧穿氧化層、多晶硅層的制備方面選擇也比較多樣，目前主要有 LPCVD/PECVD/PVD 三種路線。LPCVD 相對成熟，鈍化效果好，但熱壁沉積等問題會增加運維成本；PECVD 路線目前應用進度不如 LPCVD，但潛力較大，如果其技術問題得到解決，考慮綜合成本降本是不錯選擇。目前 PECVD 與 LPCVD 目前設備造價基本在 1.6-1.9 億元/G

5、W 附近，主要差異在背膜沉積設備，其余設備價值量基本相同。 TOPCon 規模應用已經啟動，將帶來相應的需求與機會規模應用已經啟動，將帶來相應的需求與機會。晶科能源等公司在成功解決繞鍍等技術難題后，率先啟動 TOPCon 的大擴產。目前 TOPCon相較 PERC 已有一定經濟性，隨著未來 TOPCon 眾多技術應用與規模效應體現，其經濟性將進一步加強。我們判斷今年下半年將有 3-5 家企業會啟動較大規模的 TOPCon 擴建，2022-2024 年是 TOPCon 密集擴產的時期，估算年均電池需求超過 120 億元，具備先發優勢的設備企業將受益。 推薦與推薦與關注關注：海目星/捷佳偉創（機械

6、聯合）、奧特維/帝爾激光（機械）、金辰股份（機械聯合）、京山輕機（機械）、羅博特科（機械）。 風險提示：風險提示：TOPCon 產業化進度不及預期產業化進度不及預期，技術路線迭代的不確定性技術路線迭代的不確定性。 重點公司主要財務指標重點公司主要財務指標（部分參照（部分參照 wind 一致預期）一致預期） 股價股價 21EPS 22EPS 23EPS 22PE 23PE PB 評級評級 海目星 69.00 0.55 1.75 3.72 39 19 8.8 強烈推薦 捷佳偉創 93.38 2.06 2.70 3.46 35 27 5.0 未有評級 帝爾激光 151.71 2.24 3.00 4.

7、39 51 35 7.1 未有評級 奧特維 260.93 3.76 5.59 7.79 47 33 16.8 未有評級 金辰股份 75.90 0.52 1.64 2.24 46 34 6.2 未有評級 京山輕機 11.07 0.23 0.48 0.68 23 16 2.3 未有評級 羅博特科 37.60 -0.43 0.84 1.44 45 26 4.9 未有評級 資料來源：公司數據、招商證券 行業規模行業規模 占比% 股票家數（只） 280 5.9 總市值（億元） 67295 8.4 流 通 市 值 （ 億元） 54142 8.1 行業指數行業指數 % 1m 6m 12m 絕對表現 22.8

8、 -18.5 38.5 相對表現 14.7 -2.3 58.1 資料來源：公司數據、招商證券 相關相關報告報告 1、政策頻出，繼續大力支持新能源發展光伏系列報告（50）2022-05-31 2、硅料大擴張帶來新需求，三氯氫硅盈利可能超預期光伏系列報告（49）2022-05-31 3、關注特高壓、分布式智能電網的 機 會 電 力 設 備 專 題 報 告（20）2022-05-26 游家訓游家訓 S1090515050001 胡小禹胡小禹 S1090522050002 趙旭趙旭 S1090519120001 張偉鑫張偉鑫 S1090521070003 -40-20020406080Jun/21Se

9、p/21Jan/22May/22(%)電力設備及新能源滬深300光伏系列報告（光伏系列報告（五十一）五十一） 敬請閱讀末頁的重要說明 2 行業深度報告 正文正文目錄目錄 一、TOPCon 電池相較于 PERC 電池有較強的延續性，主要區別在鈍化層制備 . 4 二、鈍化層制備路線不同，PECVD 與 LPCVD 可能并行 . 6 2.1 TOPCon 電池生產工藝流程介紹 . 6 2.2 目前以 LPCVD 為主，PECVD 可能會與其并行 . 8 三、TOPCon 規模應用已經啟動，將帶來相應的需求與機會. 12 3.1 TOPCon 單 GW 設備投資略高于 PERC. 12 3.2 預計未

10、來幾年 TOPCon 電池設備年均需求超 120 億元 . 13 投資建議 . 14 相關報告 . 15 風險提示 . 17 圖表圖表目錄目錄 圖 1：光伏電池技術迭代路線 . 4 圖 2：電池效率趨勢圖 . 4 圖 3 PERC 電池結構示意圖 . 4 圖 4 TOPCon 電池結構示意圖 . 4 圖 5：先導智能 TOPCon 光伏電池智能工廠整體解決方案 . 5 圖 6 PERC/TOPCon 電池環節工藝變化 . 5 圖 7 槽式制絨設備 . 6 圖 8 管式硼擴散爐 . 6 圖 9 硼擴散設備原理示意圖 . 7 圖 10 低壓水平硼擴散系統 . 7 圖 11 堿刻蝕拋光工藝. 7 圖

11、 12 槽式堿拋光清洗設備 . 7 圖 13 管式等離子體多晶硅薄膜淀積爐 . 7 圖 14 管式等離子體氧化鋁淀積爐 . 7 圖 15：TOPCon 鈍化層技術路線及優劣. 9 圖 16 TOPCon 結構的制備方法. 10 圖 17 LPCVD 繞鍍示意圖 . 10 pOpQqRnOwOtOnPtQyRtRnMaQ9R8OsQrRpNoMfQqQpRfQmNtP9PpPuNxNsOuMNZoPqM 敬請閱讀末頁的重要說明 3 行業深度報告 圖 18 LPCVD 繞鍍實際情況 . 10 圖 19 LPCVD 設備結構示意圖 . 10 圖 20 LPCVD 工作原理. 10 圖 21 PECV

12、D 工藝流程圖 . 11 圖 22 PECVD 工作原理 . 11 圖 23 蒸發 PVD 原理圖. 11 圖 24 濺射 PVD 原理圖 . 11 圖 25：企業間 TOPCon 轉換效率對比 . 13 重點公司主要財務指標（部分參照 wind 一致預期）. 1 表 1：TOPCon 主流工藝流程對比 . 8 表 2：LPCVD 與 PECVD 設備投資 . 12 表 3：PERC 初期存在多種技術方案選擇 . 12 表 4：TOPCon 設備空間測算 . 13 表 5：重點公司主要財務指標（部分參照 wind 一致預期） . 14 敬請閱讀末頁的重要說明 4 行業深度報告 一一、TOPCo

13、n 電池相較于電池相較于 PERC 電池有較強的延續性，電池有較強的延續性，主要區別在鈍化層制備主要區別在鈍化層制備 TOPCon 將快速替代將快速替代 PERC。光伏電池技術經歷多輪迭代，隨著 PERC 電池效率逐步接近 24.5%理論極限，同時 TOPCon 自身的繞鍍問題也已經解決，目前這一技術路線已具備經濟性，有望快速替代 PERC 成為電池主力技術路線。 TOPCon 與與 PERC 工藝兼容度高。工藝兼容度高。TOPCon 電池基本由 PERC 電池的基礎架構升級而來，除襯底由 P 型變為 N 型外，主要差別在于硼擴與鈍化層的制備：a）由于硼擴散的速度較慢，因此硼擴設備數量增加；b

14、）背面鈍化接觸結構有變化，由隧穿氧化層與摻雜多晶硅構成。隧穿氧化層提供了良好的化學鈍化性能，降低界面復合并允許多數載流子隧穿至摻雜多晶硅層，摻雜多晶硅層與基體形成 n+/n 高低場，阻止少數載流子運動至表面，形成選擇性鈍化接觸。 電池環節電池環節主要區別在鈍化層制備主要區別在鈍化層制備，其他環節設備變化不大。，其他環節設備變化不大。TOPCon 與 PERC 電池結構有較強的延續性，除使用硼擴散裝備外，區別主要在于鈍化層制備，TOPCon 增加隧穿氧化層及多晶硅沉積設備，其余電池制備環節基本與 PERC 兼容。TOPCon 使用 N 型襯底，對硅料純度要求高于 P 型（硅料企業多數產能均可生產

15、 N 型料），此外，TOPCon硅片規格與切片厚度與 PERC 大體一致，因此在重資產的硅料、硅片環節不涉及設備變更。組件方面，TOPCon 電池為高溫工藝，與 PERC 相同，因此在組件焊接等過程不需要變更設備（多主柵趨勢下，可能需要增加焊接設備量）?？傮w來看，除電池環節的硼擴與鈍化層制備需要新增設備外，硅料、硅片、組件不需要設備變更。 圖圖 1 1：光伏電池技術迭代路線：光伏電池技術迭代路線 圖圖 2 2：電池效率趨勢圖：電池效率趨勢圖 資料來源：晶科能源、招商證券 資料來源：晶科能源、摩爾光伏、招商證券 圖圖 3 3 P PERCERC 電池結構示意圖電池結構示意圖 圖圖 4 4 TOP

16、CTOPConon 電池結構示意圖電池結構示意圖 資料來源：賀利氏可再生能源、招商證券 資料來源：賀利氏可再生能源、招商證券 10%15%20%25%30%效率perc極限hjt極限topcon極限 敬請閱讀末頁的重要說明 5 行業深度報告 圖圖 5 5：先導智能先導智能 TOPConTOPCon 光伏電池智能工廠整體解決方案光伏電池智能工廠整體解決方案 資料來源：先導智能、招商證券 圖圖 6 6 PERC/TOPConPERC/TOPCon 電池環節工藝變化電池環節工藝變化 資料來源：Continuously Evolving Tech、招商證券 敬請閱讀末頁的重要說明 6 行業深度報告 二

17、二、鈍化層制備路線不同鈍化層制備路線不同，PECVD 與與 LPCVD 可能并行可能并行 2.1 TOPCon 電池生產工藝流程介紹電池生產工藝流程介紹 清洗制絨清洗制絨。硅片切割后其邊緣有損傷，硅的晶格結構被破壞、表面復合嚴重，清洗制絨主要目的在于去除表面損傷并形成表面金字塔陷光結構、增加光線吸收，并提升少子壽命。 硼擴散硼擴散。主要作用是制備 PN 結，由于硼在硅中的固溶度低，因此需要高溫和更長的時間進行擴散。同時，擴散源的選擇對生產過程也會有影響，氯化物腐蝕性較強，溴化物黏性大，清洗過程繁瑣、增加運維費用。 摻雜。摻雜。主要目的是形成重摻雜區，提高光電轉換效率。發射極摻雜對太陽電池轉換效

18、率影響較大，高濃度摻雜降低硅片與電極的接觸電阻，進而減小電池的串聯電阻，但會導致載流子復合變大、降低少子壽命降低，影響電池的開路電壓和短路電流，而低濃度摻雜則相反。激光 SE 可提效 0.3-0.4%，且 PERC 電池已普遍使用激光 SE 工序，電池生產商與設備制造商均有一定積累，可能是主要路線。 刻蝕?？涛g?？涛g的主要作用為去除 BSG 和背結。擴散過程會在硅片表面及周邊均形成擴散層，周邊擴散層容易形成短路，表面擴散層影響后續鈍化，因此需要去除。目前刻蝕主要采用濕法，先在鏈式設備中去除背面與周邊擴散層，之后處理正面。 制備隧穿氧化層與多晶硅層。制備隧穿氧化層與多晶硅層。背面沉積 1-2nm

19、 隧穿氧化層，之后沉積 60-100nm 多晶硅層形成鈍化結構。TOPCon 鈍化層制備方式較多，主要分為 LPCVD、PECVD、PVD 路線等，目前以 LPCVD 為主，PECVD 具備較強潛力。 制備背面減反射膜。制備背面減反射膜。在電池背面制備減反射鈍化膜層增加對光的吸收，同時，在 SiNx 薄膜形成過程中產生的氫原子對硅片具有鈍化作用。 正面鍍正面鍍氧化鋁氧化鋁。在硅片正面沉積一層氧化鋁膜層，與其他膜層共同形成正面鈍化作用。 制備制備正面正面減反射膜減反射膜。正面減反膜與背面作用基本相同，此外，正面沉積的氧化鋁薄膜非常薄，容易在后續電池組件的制作中被破壞，正面 SiNx 對氧化鋁也具

20、有保護作用。 絲網印刷絲網印刷。通過絲網印刷制備前后電極。 燒結燒結。通過高溫燒結形成良好的歐姆接觸。 自動分選自動分選。對不同轉換效率的電池片進行分檔。 圖圖 7 槽式制絨設備槽式制絨設備 圖圖 8 管式硼擴散爐管式硼擴散爐 敬請閱讀末頁的重要說明 7 行業深度報告 資料來源：捷佳偉創、招商證券 資料來源：捷佳偉創、招商證券 圖圖 9 硼擴散設備原理示意圖硼擴散設備原理示意圖 圖圖 10 低壓水平硼擴散系統低壓水平硼擴散系統 資料來源：中國知網、招商證券 資料來源：拉普拉斯官網、招商證券 圖圖 11 堿堿刻蝕刻蝕拋拋光工藝光工藝 圖圖 12 槽式槽式堿拋堿拋光清洗設備光清洗設備 資料來源：光

21、伏技術、招商證券 資料來源：捷佳偉創、招商證券 圖圖 13 管管式等離子體多晶硅薄膜淀積爐式等離子體多晶硅薄膜淀積爐 圖圖 14 管式管式等離子體氧化鋁淀積爐等離子體氧化鋁淀積爐 資料來源：捷佳偉創、招商證券 資料來源：捷佳偉創、招商證券 敬請閱讀末頁的重要說明 8 行業深度報告 2.2 目前以目前以 LPCVD 為主，為主，PECVD 可能會與其并行可能會與其并行 目前目前準備鈍化層的準備鈍化層的技術路線以技術路線以 LPCVD 為主，為主，PECVD 可能會與可能會與 LPCVD 并行并行。隧穿氧化層生長及多晶硅層沉積是 TOPCon 工藝的難點，以多晶硅層的制備方式劃分，主要分為三種技術

22、路線，分別為 LPCVD（低壓力化學氣相沉積法，可進一步細分為以全擴散工藝與離子注入磷工藝）、PECVD（等離子體增強化學的氣相沉積法）、PVD（物理氣相沉積法）。TOPCon 仍處在推廣初期，因此在隧穿氧化層、多晶硅層的制備方面選擇也比較多樣，LPCVD 路線在解決繞鍍問題后應用相對較多，但熱壁沉積等問題會增加運維成本，PECVD 路線目前應用進度不如 LPCVD，但潛力較大，具體使用何種工藝制備鈍化層，需要看各企業對不同技術路線的掌握程度。 LPCVD 相對成熟相對成熟。LPCVD（等離子體增強化學的氣相沉積法）是將反應氣體在反應器內進行沉積反應時的操作壓力降低到大約 133Pa 以下的一

23、種 CVD 反應，此時，分子的自由程與氣體擴散系數增大，使氣態反應物和副產物的質量傳輸速率加快，形成薄膜的反應速率增加。LPCVD 方案在生成隧穿氧化層是時采取熱氧法，沉積多晶硅層采取LPCVD 方案（本征+離子注入/磷擴），這一技術工藝相對成熟，鈍化效果好，但需附加解決繞鍍問題，此外，由于沉積時會在石英舟/石英管同時形成膜層，需后續清理，因此運維比較麻煩。 PECVD 以管式為主，潛力較大。以管式為主，潛力較大。PECVD（等離子體增強化學的氣相沉積法）是依靠射頻感應產生的等離子體，實現薄膜沉積工藝，這一技術路線成膜速度快、節省能源、運營成本相對較低，但是存在氫含量高，易爆膜的困擾。目前 P

24、ECVD 推進可能會比之前快，但是區別于 LPCVD 通過解決核心繞鍍問題實現產業化突破，PECVD 的進步很難具體界定是哪個特定環節取得突破，主要是因產線每次都需要面對不一樣的問題并提供不同的解決方案，一項工藝變動發生后，可能會影響此前看似已經解決的問題，此外，不同環節看到的問題也不一樣。如果 PECVD 技術問題得到解決，可能會成為綜合考慮成本及后續降本空間的選擇，目前有板式 PECVD 和管式 PECVD 兩種方式，但考慮到設備成本，預計 TOPCon 的 PECVD 會以管式為主。 PVD 方案方案同樣值得期待同樣值得期待。PVD（物理氣相沉積）指將材料源表面氣化并通過低壓氣體/等離子

25、體在基體表面沉積，包括蒸發、濺射、離子束等，該技術路線由江蘇杰太光電提出，由 PECVD 形成氧化層，PVD 完成多晶硅沉積，成膜速度較快且基本無繞鍍影響，缺陷在于設備占地面積較大，初始投資較高。 表表 1 1：TOPConTOPCon 主流工藝流程對比主流工藝流程對比 LPCVDLPCVD PECVDPECVD PVDPVD 設備投資設備投資 CAPEXCAPEX 低 低 高 繞鍍繞鍍 wrapwrap- -around around 嚴重 小 基本無繞鍍影響 不同尺寸兼容性不同尺寸兼容性 可以 可以 高 產能產能 高 可以 高 原位摻雜原位摻雜 較難，SiH4+PH3 容易，SiH4+PH

26、3/B2H6 容易，硅靶+PH3 膜層質量膜層質量 較好 一般，易爆膜 較好 耗氣量耗氣量 低 高 低 特氣特氣 SiH4，PH3 SiH4+PH3/B2H6，H2 PH3 易耗品成本易耗品成本 高（石英舟、石英管） 一般（石墨舟清洗） 低（載板清洗） 占地面積占地面積 ?。↙ 9m*W 2m*H 4m) ?。↙ 9m*W 2m*H 4m) 大（L 30m) 能耗能耗 高 中 低 敬請閱讀末頁的重要說明 9 行業深度報告 LPCVDLPCVD PECVDPECVD PVDPVD 優點優點 工藝成熟度高，多年規模量產經驗 氣體用量小 成膜質量較好 設備投資少 占地面積小 工藝時間短（沉積速率快）

27、 易原位摻雜（p 型和 n 型，沉積速率基本不受摻雜影響） 占地面積小 無繞鍍 工藝時間短 易原位摻雜（p 型和 n 型） 不同尺寸硅片兼容 利于薄片化 多功能升級 缺點缺點 繞鍍 原位摻雜較難 能耗大 石英耗材成本較高 不同尺寸硅片兼容性差 繞鍍 膜層均勻性差 易爆膜 氣體用量大 不同尺寸硅片兼容性差 設備投資大 占地面積大 資料來源：普樂新能源、CPIA、招商證券 圖圖 1515：TOPConTOPCon 鈍化層技術路線及優劣鈍化層技術路線及優劣 資料來源：PVinfolink、招商證券 敬請閱讀末頁的重要說明 10 行業深度報告 圖圖 16 TOPCon 結構的制備方法結構的制備方法 資

28、料來源：中科院寧波材料所、招商證券 圖圖 17 LPCVD 繞鍍示意圖繞鍍示意圖 圖圖 18 LPCVD 繞鍍實際情況繞鍍實際情況 資料來源：中科院寧波材料所、招商證券 資料來源：中科院寧波材料所、招商證券 圖圖 19 LPCVD 設備設備結構示意圖結構示意圖 圖圖 20 LPCVD 工作原理工作原理 資料來源：北方華創官網、招商證券 資料來源：中科院寧波材料所、招商證券 敬請閱讀末頁的重要說明 11 行業深度報告 圖圖 21 PECVD 工藝流程圖工藝流程圖 圖圖 22 PECVD 工作原理工作原理 資料來源：中科院寧波材料所、招商證券 資料來源：中科院寧波材料所、招商證券 圖圖 23 蒸蒸

29、發發 PVDPVD 原理圖原理圖 圖圖 24 濺射濺射 PVD 原理圖原理圖 資料來源：pvtvacuum、招商證券 資料來源：蒂姆新材料、招商證券 敬請閱讀末頁的重要說明 12 行業深度報告 三、三、TOPCon 規模應用已經啟動，將帶來相應的需求與機規模應用已經啟動，將帶來相應的需求與機會會 3.1 TOPCon 單單 GW 設備投資略高于設備投資略高于 PERC 投資強度略高于投資強度略高于 PERC，設備投資差異主要在于硼擴與，設備投資差異主要在于硼擴與鈍化層制備。鈍化層制備。根據 CPIA 統計數據，2021 年 PERC 產線投資額約 1.94 億/GW，TOPCon 為 2.2

30、億/GW，新建產線投資強度已經和 PERC 接近。近期根據產業反饋，目前 PERC 產線投資額已經降至 1.5 億/GW 以下，TOPCon 產線投資額也降至 1.6-1.8 億/GW。TOPCon 設備單 GW 投資強度高于 PERC 約 3000-4000 萬元，主要差別在于硼擴設備數量與鈍化層的制備：a）由于硼擴速度慢于 PERC，因此硼擴設備數量增加；b）與 PERC 相比增加隧傳氧化層與多晶硅層的制備。 鈍化層制備路線不同，設備價值量差別不大。鈍化層制備路線不同，設備價值量差別不大。PERC 推廣初期在選擇性發射極制備、鈍化膜沉積、背面局部接觸方案上有多樣化選擇，經過較長時期技術工藝

31、探索和實證檢驗后工藝趨于成熟，企業間差異不明顯。目前 TOPCon 仍處在推廣初期，因此在隧穿氧化層、多晶硅層的制備方面選擇也比較多樣，此外，結合各環節的差異化選擇，最終體現為量產效率與成本方面的差異。PECVD 與 LPCVD 目前設備造價基本在 1.6-1.9 億元/GW 附近。以 LPCVD 為例：清洗制絨與刻蝕設備價值量約為 2400-3000 萬元/GW，約占整線設備價值量的 15%；硼擴散設備價值量約為 1600-2000 萬元/GW，約占整體的10%；正膜沉積設備價值量約為 1600-2000 萬元/GW，約占整體的 10%；背膜沉積設備價值量約為 4500-550 萬元/GW，

32、約占整體的 25-30%；絲印燒結設備價值量約為 3500-4500 萬元/GW，約占整體的 20-25%；自動化設備價值量約為 2000-3000 萬元/GW，約占整體的 10-15%；其他設備價值量約為 500-1000 萬元/GW，約占整體的 3-5%。 PECVD 路線設備總投資額約為 1.6-1.8 億元/GW，主要差異在于背膜沉積設備價值量約為 3500-5000 萬元/GW，約占整線設備價值量的 20-30%；其余設備價值量與 LPCVD路線基本相同。 表表 2 2：LPCVDLPCVD 與與 P PECVDECVD 設備投資設備投資 LPCVDLPCVD PECVDPECVD

33、占比占比 投資額（億元）投資額（億元） 占比占比 投資額（億元）投資額（億元） 清洗制絨+刻蝕 15% 0.24-0.3 15% 0.24-0.3 硼擴散 10% 0.16-0.2 10% 0.16-0.2 正膜沉積 10% 0.16-0.2 10% 0.16-0.2 背膜沉積 25-30% 0.45-0.55 20-30% 0.35-0.5 絲印燒結 20-25% 0.35-0.45 20-25% 0.35-0.45 自動化 10-15% 0.2-0.3 10-15% 0.2-0.3 其他 3-5% 0.05-0.1 3-5% 0.05-0.1 合計 1.6-1.9 1.6-1.8 資料來源

34、： 高效晶體硅太陽能電池技術 、招商證券 表表 3 3：PERCPERC 初期存在多種技術方案選擇初期存在多種技術方案選擇 制造環節制造環節 SESE 鈍化膜鈍化膜 背面局域金屬接觸背面局域金屬接觸 技術方案 化學返刻蝕法 濺射 光刻 氧化掩膜法 APCVD 腐蝕漿料開孔 激光摻雜法 PECVD 激光燒結 離子注入法 ALD 激光開孔 資料來源： 高效晶體硅太陽能電池技術 、招商證券 敬請閱讀末頁的重要說明 13 行業深度報告 圖圖 2525：企業間：企業間 TOPConTOPCon 轉換效率對比轉換效率對比 資料來源：企業官網、公司公告、PVinfolink、招商證券 3.2 預計預計未來未

35、來幾年幾年 TOPCon 電池電池設備設備年均需求年均需求超超 120 億元億元 預計預計 TOPCon 產能產能將以新將以新建建為主。為主。從改建角度看，PERC 產線需要增加的投資額（包括硼擴、沉積設備等）大致在 0.4-0.6 億/GW，投資額并不高，制約 PERC 產線改造的因素主要為技術方案和預留場地空間是否足夠，隨著 TOPCon 設備投資額逐漸下降，目前新增 TOPCon 產能主要以新建產能為主，預計此后 TOPCon 產能當中，新建可能占絕大多數。 TOPCon 規模應用已經啟動，將帶來相應的需求與機會規模應用已經啟動，將帶來相應的需求與機會。晶科能源等公司在成功解決繞鍍等技術

36、難題后，率先啟動 TOPCon 的大擴產，目前 TOPCon 相較 PERC 已經有一定經濟性，未來隨著 TOPCon 眾多技術應用與規模效應的體現，其經濟性進一步加強?？紤]到多數組件廠在 TOPCon 領域均有布局，預計今年下半年還將有 3-5 家企業會啟動較大規模的 TOPCon 產能建設，TOPCon 將在 2022-2024 年迎來密集擴產期，估算未來幾年電池設備年均市場空間將超過 120 億元，具備先發優勢的設備企業將受益。 表表 4：TOPCon 設備空間測算設備空間測算 2021 2022E 2023E 2024E 2025E 20212021- -2025CAGR2025CAG

37、R 全球新增光伏裝機（GW） 165 240 280 340 410 容配比 1.2 1.2 1.2 1.2 1.2 組件需求（GW） 198 288 336 408 492 26% TOPCon 占比 1% 12% 28% 43% 55% TOPCon 組件規模（GW） 2 35 94 175 271 產能利用率 100% 100% 100% 95% 90% TOPCon 實際設備產能（GW） 2 35 94 185 301 年新增 TOPCon 產能（GW） 8 38 66 96 116 92% 新增產線占比 100% 95% 97% 100% 100% 新增產線設備總投資額（億元/GW）

38、 2.2 1.8 1.75 1.7 1.65 新增產線設備市場規模（億元） 18.7 64.9 111.6 162.6 190.9 改建產線占比 0% 5% 3% 0% 0% 改建產線設備投資額（億元/GW） 0.6 0.5 0.45 0.4 0.35 改建產線設備市場規模（億元） 0.0 0.9 0.9 0.0 0.0 TOPCon 設備總市場規模（億元） 18.7 65.9 112.5 162.6 190.9 79% 同比增速 252% 71% 45% 17% 資料來源：招商證券 23.2%23.4%23.6%23.8%24.0%24.2%24.4%24.6%企業1企業2企業3企業4企業5

39、企業6 敬請閱讀末頁的重要說明 14 行業深度報告 投資建議投資建議 電池片環節新一輪技術變革正在啟動，TOPCon、HPBC、HJT、IBC 為代表的新技術都在加速迭代，其中 TOPCon 規模應用已經開始，與 PERC 相比，TOPCon 新增了隧穿氧化層生長與多晶硅沉積設備，硼擴設備更多。而在幾種制備鈍化層技術路線上，目前LPCVD 路線體量占主導，PECVD 是頗具潛力的方向，如果能進一步優化，也有望得到大規模應用。除晶科能源，我們預計下半年將有 3-5 家企業啟動大規模 TOPCon 投建，這些企業可能會根據下半年裝備公司迭代后情況比較以及自身工藝掌握程度選擇其TOPCon 路線?？?/p>

40、體來看，具備先發優勢的裝備企業將受益于這一輪電池片技術的升級換代。 建議關注：海目星/捷佳偉創（機械聯合）、奧特維/帝爾激光（機械）、金辰股份（機械聯合）、京山輕機（機械）、羅博特科（機械）。 表表 5：重點公司主要財務指標（部分參照重點公司主要財務指標（部分參照 wind 一致預期）一致預期） 股價股價 2 21 1EPSEPS 2 22 2EPSEPS 2 23 3EPSEPS 2 22 2PEPE 2 23 3PEPE PBPB 評級評級 海目星 69.00 0.55 1.75 3.72 39 19 8.8 強烈推薦 捷佳偉創 93.38 2.06 2.70 3.46 35 27 5.0

41、 未有評級 帝爾激光 151.71 2.24 3.00 4.39 51 35 7.1 未有評級 奧特維 260.93 3.76 5.59 7.79 47 33 16.8 未有評級 金辰股份 75.90 0.52 1.64 2.24 46 34 6.2 未有評級 京山輕機 11.07 0.24 0.48 0.68 23 16 2.3 未有評級 羅博特科 37.60 -0.43 0.84 1.44 45 26 4.9 未有評級 資料來源：Wind，招商證券 敬請閱讀末頁的重要說明 15 行業深度報告 相關報告相關報告 光伏系列報告之（五十） ：政策頻出，繼續大力支持新能源發展 2022-05-31

42、 光伏系列報告之（四十九） ：硅料大擴張帶來新需求，三氯氫硅盈利可能超預期 2022-05-31 光伏系列報告之（四十八） ：TOPCon 溢價未充分反應，規?；瘧眠M度可能顯著超預期2022-04-06 光伏系列報告之（四十七） ：三部委聯手推進解決可再生能源補貼拖欠問題 2022-03-29 光伏系列報告之（四十六） ：歐洲將進一步加強清潔能源投入 2022-03-10 光伏系列報告之（四十五） ：新能源運營環節有望迎來價值重估 2022-03-10 光伏系列報告之（四十四）TOPCon 開始規模應用，優勢企業可能提前開始收獲 2022-03-07 光伏系列報告之（四十三）組件是光伏行業的

43、戰略制高點 2022-02-28 光伏系列報告之（四十二）整縣推進模式有望激活分布式市場 2021-08-10 光伏系列報告之（四十一）BIPV 醞釀突破，將是光伏領域的下一個重要應用 2021-04-09 光伏系列報告之（四十）構建新型電力系統將深刻影響行業各環節發展 2021-03-22 光伏系列報告之（三十九）業內再提解決補貼欠款，價格普漲頭部企業可能再超預期2020-08-02 光伏系列報告之（三十八）行業價格有望提前迎來普漲 2020-07-26 光伏系列報告之（三十七）硅片有望通過提價有效傳導硅料漲價 2020-07-23 光伏系列報告之（三十六）硅料價格大幅上調，漲價具備延續性和

44、較大空間 2020-07-22 光伏系列報告之（三十五）硅料漲價的力度與持續性或超預期，頭部企業有彈性 2020-07-21 光伏系列報告之（三十四） ：高功率組件迎來爆發，Q4 大尺寸電池片供應偏緊2020-07-16 光伏系列報告之（三十三） ：競價規模超預期，搶裝有望帶動產業鏈價格復蘇 2020-07-04 光伏系列報告(三十二） ：國產設備快速進步，HJT 產業化瓶頸即將打開 2020-05-29 光伏系列報告(三十一） ：行業集中度繼續提升，頭部企業競爭力更強 光伏系列報告(三十） ：OCI 韓國多晶硅產能將退出，全球份額加速向國內龍頭集中 光伏系列報告(二十九） ：HJT 不斷得到

45、認可，產業化進程或加速 2020-1-4 光伏系列報告之（二十八） ：產業化加速，HJT 電池片技術正醞釀著突破 2019-12-15 光伏系列報告之（二十七） ：2020 年海外需求可見度較高，行業正在新一輪大發展前夜 光伏系列報告之（二十六） ：國內 2020 年有望高增長，行業正在新一輪大發展的前夜 光伏系列報告之（二十五） ：REC 新加坡 HJT 開始量產，產品數據超預期 2019-10-14 光伏系列報告之（二十四） ：山煤國際擬攜手鈞石能源發展異質結（HJT）電池業務 敬請閱讀末頁的重要說明 16 行業深度報告 2019-7-26 光伏系列報告之（二十三） ：異質結電池產業化正在

46、加快，2020 可能是產業元年 2019-7-24 光伏系列報告之（二十二） ：硅料產能釋放導致短期價格調整 2019-04-22 光伏系列報告之（二十一） ：中環股份將擴產 25GW 單晶硅片，行業進入第二輪擴產周期 2019-03-19 光伏系列報告之（二十） ：量價齊升，光伏玻璃行業進入盈利擴張期 2019-03-04 光伏系列報告之（十九） ：海外市場將保持可持續繁榮 2019-02-19 光伏系列報告之（十八） ： PERC 電池進入全盛階段，帶來設備產業繁榮 2018-12-12 光伏系列報告之（十七） ：上游分化明顯，組件進入微利時代 2018-09-10 光伏系列報告（十六）

47、：印度光伏貿易保護措施點評：印度關稅征收尚有變數，中國出口依舊有優勢 2018-07-27 光伏系列報告之（十五） ：政策波動，行業加速平價上網 2018-06-03 光伏系列報告之（十四） ：組件高效化趨勢超預期，單晶及高效產品盈利性強 2018-05-23 光伏系列報告之（十三） ：2017 年年報總結：龍頭崛起，平價與技術推動行業發展2018-05-15 光伏系列報告之（十二） ：美國“201”法案執行稅率好于預期 2018-01-24 光伏系列報告之（十一） ：補貼溫和下降，競價制度加速平價進程 2017-12-24 光伏系列報告之（十） ：金剛線切割快速普及，顯著降低光伏發電成本 2

48、017-11-13 光伏系列報告之（九） ：市場化交易擺脫單一客戶風險，分布式將大發展 2017-11-12 光伏系列報告之（八） ：單晶硅片如期降價，替代趨勢逐步加強 2017-10-29 光伏系列報告之（七） ：成本下降推動分布式超預期 2017-10-17 光伏系列報告之（六） ：美或啟動光伏貿易制裁 2017-09-25 光伏系列報告之（五） ：等靜壓石墨緊缺影響單晶擴張，單晶龍頭優勢將更突出 2017-09-11 光伏系列報告（四） ：2017 年中報總結：分化、龍頭崛起，平價與技術進步是未來2017-09-03 敬請閱讀末頁的重要說明 17 行業深度報告 風險提示風險提示 1）TO

49、PCon 產業化進度不及預期產業化進度不及預期 TOPCon 處于規?；瘧玫某跗?，可能會有推廣進度不及預期的可能； 2）技術路線迭代的不確定性技術路線迭代的不確定性 TOPCon 剛剛起步，除 LPCVD 外，尚有多種路線可供選擇，技術路線迭代存在不確定性； 敬請閱讀末頁的重要說明 18 行業深度報告 分析師分析師承諾承諾 負責本研究報告的每一位證券分析師，在此申明，本報告清晰、準確地反映了分析師本人的研究觀點。本人薪酬的任何部分過去不曾與、現在不與，未來也將不會與本報告中的具體推薦或觀點直接或間接相關。 游家訓：游家訓：浙江大學碩士，曾就職于國家電網公司上海市電力公司、中銀國際證券，201

50、5 年加入招商證券，現為招商證券電氣設備新能源行業首席分析師。 劉劉珺涵：涵：美國克拉克大學碩士，曾就職于臺灣元大證券，2017 年加入招商證券，覆蓋新能源汽車中游產業，現為招商證券電氣設備與新能源行業聯席首席分析師。 劉?。簞⑽。旱聡箞D加特大學車輛工程碩士，曾就職于保時捷汽車、沙利文咨詢公司，2020 年加入招商證券，覆蓋新能源車汽車產業鏈、工控自動化。 趙旭：趙旭：中國農業大學碩士，曾就職于川財證券，2019 年加入招商證券，覆蓋風電、光伏產業。 張偉鑫：張偉鑫：天津大學電氣工程碩士，曾就職于國金證券，2021 年加入招商證券，覆蓋新能源發電產業。 投資投資評級定義評級定義 報告中所涉及

51、的投資評級采用相對評級體系，基于報告發布日后 6-12 個月內公司股價（或行業指數）相對同期當地市場基準指數的市場表現預期。其中，A 股市場以滬深 300 指數為基準；香港市場以恒生指數為基準；美國市場以標普 500 指數為基準。具體標準如下： 股票股票評級評級 強烈推薦：預期公司股價漲幅超越基準指數 20%以上 增持：預期公司股價漲幅超越基準指數 5-20%之間 中性：預期公司股價變動幅度相對基準指數介于 5%之間 減持：預期公司股價表現弱于基準指數 5%以上 行業評級行業評級 推薦：行業基本面向好，預期行業指數超越基準指數 中性：行業基本面穩定，預期行業指數跟隨基準指數 回避：行業基本面轉

52、弱，預期行業指數弱于基準指數 重要重要聲明聲明 本報告由招商證券股份有限公司（以下簡稱“本公司”）編制。本公司具有中國證監會許可的證券投資咨詢業務資格。本報告基于合法取得的信息，但本公司對這些信息的準確性和完整性不作任何保證。本報告所包含的分析基于各種假設，不同假設可能導致分析結果出現重大不同。報告中的內容和意見僅供參考，并不構成對所述證券買賣的出價，在任何情況下，本報告中的信息或所表述的意見并不構成對任何人的投資建議。除法律或規則規定必須承擔的責任外，本公司及其雇員不對使用本報告及其內容所引發的任何直接或間接損失負任何責任。本公司或關聯機構可能會持有報告中所提到的公司所發行的證券頭寸并進行交易，還可能為這些公司提供或爭取提供投資銀行業務服務?？蛻魬斂紤]到本公司可能存在可能影響本報告客觀性的利益沖突。 本報告版權歸本公司所有。本公司保留所有權利。未經本公司事先書面許可，任何機構和個人均不得以任何形式翻版、復制、引用或轉載，否則，本公司將保留隨時追究其法律責任的權利。