【研報】新材料行業半導體材料系列之六：下游市場向國內轉移國產靶材廠商正在崛起-20200420[38頁].pdf

1、 證券研究報告 請務必閱讀正文之后的免責條款 下游市場向國內轉移，國產靶材下游市場向國內轉移，國產靶材廠商廠商正在崛起正在崛起 新材料行業半導體材料系列之六2020.4.20 中信證券研究部中信證券研究部 核心觀點核心觀點 袁健聰袁健聰 首席新材料分析師 S1010517080005 李超李超 有色首席分析師 S1010520010001 徐濤徐濤 首席電子分析師 S1010517080003 敖翀敖翀 首席周期產業 分析師 S1010515020001 靶靶材主要應用在半導體、顯示面板材主要應用在半導體、顯示面板、記錄媒體、光伏等領域、記錄媒體、光伏等領域，受其下游主要應用領域，受其下游主要

2、應用領域 需求的拉升， 預計需求的拉升， 預計 2020 年年國內國內靶材需求靶材需求有望有望達達到到 459 億元。億元。 目前目前靶材市場份額靶材市場份額仍被仍被美、美、 日日壟斷壟斷，受益，受益下游需求逐步向國內轉移下游需求逐步向國內轉移，我國的靶材龍頭企業正在乘勢而上，在各自，我國的靶材龍頭企業正在乘勢而上，在各自 的細分領域進行技術突破和產能提升的細分領域進行技術突破和產能提升。半導體靶材領域重點推薦有研新材，建議關注。半導體靶材領域重點推薦有研新材，建議關注 江豐電子；顯示面板領域重點推薦隆華科技，建議關注阿石創。江豐電子；顯示面板領域重點推薦隆華科技，建議關注阿石創。 靶材靶材主

3、要應用在半導體、顯示主要應用在半導體、顯示面板、記錄媒體、光伏等領域面板、記錄媒體、光伏等領域。靶材的核心功能是 作為沉積薄膜的濺射源，按材質可分為金屬靶、陶瓷靶與合金靶。靶材的主要應 用領域集中在顯示面板（33.8%）、記錄媒體（28.6%）、光伏電池（18.5%）與 半導體（11.4%），各領域使用靶材種類不同對靶材性能具有不同的要求。 半導體、顯示面板、光伏電池、記錄媒體是驅動靶材行業發展的四駕馬車。半導體、顯示面板、光伏電池、記錄媒體是驅動靶材行業發展的四駕馬車。半導半導 體體領域領域：晶圓產能向國內轉移，預計 2023 年全球半導體用靶材的需求上升至 86 億元，中國大陸需求為 21

4、 億元（占全球 24%）。顯示面板領域：顯示面板領域：基于顯示基板 尺寸不斷擴大的趨勢與國內面板產能不斷擴張的現實，預計 2023 年國內顯示面 板靶材市場可達 246 億元（占全球 46%）。光伏電池領域：光伏電池領域：光伏靶材的主要需求 來自薄膜光伏電池和 HIT 電池市場規模的擴張，預計 2023 年全球光伏電池用濺 射靶材市場達 575 億元。記錄媒體領域：記錄媒體領域：大數據發展推動存儲設備的需求不斷提 高，機械硬盤 HDD 為磁性靶材市場最主要的下游應用領域，短期其存儲優勢地 位難以被取代，預計 2023 年國內磁記錄靶材市場可達 107 億元。 靶材市場份額現階段仍以國外為主靶材

5、市場份額現階段仍以國外為主，國內企業正逐漸實現國產替代。國內企業正逐漸實現國產替代。美國和日本 公司幾乎壟斷全球靶材市場份額，日礦金屬、霍尼韋爾、東曹和普萊克斯合計占 據全球靶材市場 80%的市場份額?，F階段國內靶材行業龍頭包括有研新材、隆華 科技、江豐電子以及阿石創等。半導體靶材領域有研新材作為國內超高純金屬靶 材龍頭，銅鈷靶材技術優勢明顯，同時具備上游金屬原材料提純能力；江豐電子 實行產業鏈縱向拓展，多品類橫向擴張策略占據半導體靶材市場份額；顯示面板 靶材領域，隆華科技擁有子公司四豐電子、晶聯光電和豐聯科，具備國內唯一鉬 靶材量產和國產替代能力、 國內唯一供貨 TFT 用 ITO 靶材能力

6、， 并且實現了靶材 生產到綁定自主可控；阿石創為國內 PVD 鍍膜材料細分領域領先供應商。 風險因素：風險因素：靶材下游行業景氣度不及預期；半導體國產替代進程不及預期；靶材 廠商產能釋放不及預期。 投資策略投資策略：目前靶材市場份額仍被美、日壟斷，受益下游需求逐步向國內轉移， 我國的靶材龍頭企業正在乘勢而上， 在各自的細分領域進行技術突破和產能提升。 半導體領域靶材領域重點推薦有研新材、江豐電子；顯示面板領域重點推薦隆華 科技，建議關注阿石創。 靶材靶材行業行業 評級評級 強于大市強于大市（首次首次） 重點公司盈利預測、估值及投資評級重點公司盈利預測、估值及投資評級 簡稱簡稱 收盤價收盤價 （

7、元）（元） EPS（元）（元） PE 評級評級 2018 2019E 2020E 2018 2019E 2020E 隆華科技 7.49 0.15 0.20 0.26 50 37 29 買入 有研新材 12.37 0.09 0.12 0.22 137 103 56 買入 江豐電子 50.70 0.27 0.17 0.27 188 122 188 買入 阿石創 29.29 0.20 0.10 0.28 146 293 105 - 資料來源：Wind，中信證券研究部預測 注：股價為2020 年4 月15 日收盤價，阿石創為wind 一致預期 新材料行業半導體材料新材料行業半導體材料系列系列之六之六2

8、020.4.20 請務必閱讀正文之后的免責條款部分 目錄目錄 靶材主要用于靶材主要用于平板顯示器、半導體、光伏電池、記錄媒體等領域平板顯示器、半導體、光伏電池、記錄媒體等領域 . 1 靶材是用濺射法沉積薄膜的原材料 . 1 靶材生產工藝 . 2 靶材主要應用在平板顯示器、半導體、光伏電池、記錄媒體等領域 . 3 “四駕馬車四駕馬車”驅動靶材需求驅動靶材需求 . 5 半導體靶材：半導體產能轉向國內，靶材需求有望受益 . 5 顯示面板靶材：靶材下游最大的應用領域 . 10 光伏電池靶材：HIT 和薄膜光伏電池市場未來可期 . 13 記錄媒體靶材：需求穩定增長 . 16 靶材行業格局與國內相關上市公

9、司概況靶材行業格局與國內相關上市公司概況 . 19 靶材行業格局 . 19 風險因素風險因素 . 20 投資建議與重點公司推薦投資建議與重點公司推薦 . 20 有研新材：國內超高純金屬靶材龍頭，銅鈷靶材技術優勢明顯 . 21 隆華科技：鉬靶材和 ITO 靶材國內領軍 . 24 江豐電子：國內半導體用靶材龍頭產業鏈縱向拓展，多品類橫向擴張 . 27 阿石創：國內 PVD 鍍膜材料領先廠商 . 29 先導稀材：國內光伏靶材與顯示靶材的生產領導者 . 31 nMrOqQsOsPpRtRqRzRmNpM7N8QaQoMrRsQnNfQqQsOiNmOmNaQoOuMuOqMnNwMqMtR 新材料行業

10、半導體材料新材料行業半導體材料系列系列之六之六2020.4.20 請務必閱讀正文之后的免責條款部分 插圖目錄插圖目錄 圖 1：靶材產品 . 1 圖 2：濺射靶材原理示意圖 . 1 圖 3：靶材的基本分類（按材質） . 1 圖 4：靶材的基本制備工藝 . 2 圖 5：國內外核心靶材技術差距 . 3 圖 6：靶材設計面臨的工藝問題 . 3 圖 7：2018 年全球濺射靶材應用結構 . 4 圖 8：不同應用領域的金屬純度要求 . 5 圖 9：上游管控制約我國靶材市場發展 . 5 圖 10：集成電路對靶材的高性能要求 . 6 圖 11：2010-2018 年全球半導體銷售額（單位：億美元） . 6 圖

11、 12：2015-2018 年中國半導體銷售額（單位：億美元） . 6 圖 13：全球半導體材料銷售額（單位：億美元） . 7 圖 14：國內半導體材料銷售額（單位：億美元） . 7 圖 15：2010-2020 年全球 12 英寸晶圓廠數量（單位：座） . 8 圖 16：2017-2020 年全球擬投產晶圓廠數量地區分布 . 8 圖 17：2018 年全球晶圓產能市場份額 . 8 圖 18：2016-2018 年全球晶圓產能增速排名 . 8 圖 19：2018-2025 全球、中國大陸半導體用靶材市場規模（單位：億元） . 9 圖 20：全球晶圓代工廠各制程市場規模（單位：十億美元） . 9

12、 圖 21：鈷、銅、鎢、鋁靶材的物理特性 . 10 圖 22：LCD 和觸控屏幕結構 . 10 圖 23：靶材在面板制程中的使用部位 . 11 圖 24：各時代玻璃基板尺寸（單位：mm） . 11 圖 25：智能手機屏幕尺寸演變（單位：mm） . 11 圖 26：全球顯示面板供需平衡（單位：百萬平方米） . 12 圖 27：全球面板需求分類 . 12 圖 28：全球顯示面板產能格局（單位：百萬平方米） . 12 圖 29：顯示面板用靶材市場規模測算（單位：億元） . 13 圖 30：光伏電池主要發展歷史. 13 圖 31：全球和國內新增光伏裝機容量（單位：GW） . 14 圖 32：全球能源結

13、構預測（單位：GW） . 14 圖 33：光伏薄膜電池結構 . 14 圖 34：國內薄膜光伏電池產量（單位：MW） . 15 圖 35：全球薄膜光伏電池產量（單位：MW） . 15 圖 36：HIT 電池結構. 15 圖 37：HIT 電池提效路徑 . 16 圖 38：磁記錄設備的結構 . 17 圖 39：存儲器產品分類 . 17 圖 40：2018-2020 年國內信息記錄材料市場預測（單位：億元） . 18 圖 41：2018-2020 年國內磁記錄靶材市場預測（單位：億元） . 18 圖 42：靶材行業全球格局分布. 19 新材料行業半導體材料新材料行業半導體材料系列系列之六之六2020

14、.4.20 請務必閱讀正文之后的免責條款部分 圖 43：國內四家代表性靶材龍頭企業概況 . 20 圖 44：子公司有研億金銅鈷靶材相關專利 . 21 圖 45：有研億金部分超純銅、鈷靶材的獲獎情況 . 21 圖 46：公司高端銅/鈷靶材產能擴張情況 . 22 圖 47：公司高純靶材制備工藝和毛利率預測 . 22 圖 48：有研億金主要下游客戶. 23 圖 49：兩家公司主要下游客戶及營收預測 . 24 圖 50：公司靶材領域主要產品布局 . 24 圖 51：長條靶材拼接用作大屏，寬幅靶材切割用在小屏 . 24 圖 52：公司研制靶材所獲獎項. 24 圖 53：晶聯光電 ITO 研制發展歷程 .

15、 25 圖 54：晶聯光電 ITO 靶材國內使用情況. 25 圖 55：晶聯光電制粉新技術和殘靶回收專有技術 . 26 圖 56：靶材綁定技術示意圖 . 26 圖 57：綁定環節是靶材生產到交貨的重要環節 . 26 圖 58：豐聯科綁定技術 . 27 圖 59：向產業鏈上游延伸，實現高純鋁、鈦的內部生產 . 28 圖 60：湖南江豐項目在湖南益陽舉行開工儀式 . 28 圖 61：公司靶材產品在不同技術節點的應用 . 28 圖 62：公司從集成電路用靶材向顯示面板用靶材拓展 . 28 圖 63：阿石創設立以來產品演變歷程 . 30 圖 64：阿石創核心技術 . 30 圖 65：先導稀材公司發展沿

16、革. 31 圖 66：先導稀材公司研發技術實力 . 32 圖 67：先導稀材公司產能布局. 32 圖 68：先導稀材公司客戶 . 33 表格目錄表格目錄 表 1：各應用領域靶材分類及性能要求 . 4 表 2：2018 年全球和國內半導體用靶材市場規模推算表 . 7 表 3：國內近期在建顯示面板產線梳理 . 11 表 4：全球光伏靶材市場規模（單位：億元） . 16 表 5：SSD 和 HDD 性能比較 . 18 表 6：有研新材盈利預測與估值 . 23 表 7：隆華科技盈利預測與估值 . 27 表 8：公司靶材募投項目情況說明（單位：萬元） . 29 表 9：江豐電子盈利預測與估值 . 29

17、表 10：公司募投項目及進度情況（單位：萬元） . 31 新材料行業半導體材料新材料行業半導體材料系列系列之六之六2020.4.20 請務必閱讀正文之后的免責條款部分 1 靶材靶材主要用于主要用于平板顯示器、半導體、光伏電池、記錄平板顯示器、半導體、光伏電池、記錄 媒體等領域媒體等領域 靶材靶材是用濺射法沉積薄膜的原材料是用濺射法沉積薄膜的原材料 濺射靶材是用濺射法沉積薄膜的原材料。濺射靶材是用濺射法沉積薄膜的原材料。靶材主要由靶胚和背板組成。其中靶胚是靶 材工作的核心功能部分，其進行濺射形膜的主要原理是靶胚作為濺射源受高速荷能粒子轟 擊發生濺射，濺射產物沉積在基片上形成薄膜。同時由于靶材的整

18、體工作環境要求一定的 機械強度，所以靶胚需要與背板材料進行焊接，背板起固定靶胚的作用。 圖 1：靶材產品 資料來源：天助網 圖 2：濺射靶材原理示意圖 資料來源：阿石創招股書，中信證券研究部 靶材按照材質來分類可分為金屬靶材、陶瓷靶材、合金靶材。靶材按照材質來分類可分為金屬靶材、陶瓷靶材、合金靶材。金屬靶材中應用較為廣 泛的有鋁、鈦、銅、鉬靶；陶瓷靶材中主要有 ITO（氧化銦錫）靶、AZO（氧化鋁鋅）靶、 氧化鎂靶、氧化鋅靶；合金靶材中主要有鐵鈷靶、鋁硅靶、鎢鈦靶、鈦硅靶。 圖 3：靶材的基本分類（按材質） 資料來源：半導體風向標，中信證券研究部 新材料行業半導體材料新材料行業半導體材料系列系

19、列之六之六2020.4.20 請務必閱讀正文之后的免責條款部分 2 靶材生產工藝靶材生產工藝 濺射靶材的制備工藝主要分熔融鑄造法和粉末冶金法兩種。濺射靶材的制備工藝主要分熔融鑄造法和粉末冶金法兩種。熔融鑄造法的優點是靶材 雜質含量(特別是氣體雜質含量) 低, 密度高, 可大型化，缺點是需要后續加工和熱處理工 藝降低其孔隙率，難以做到成分均勻化。粉末冶金法優點是靶材成分均勻，節約原材料， 生產效率高；缺點是密度低, 雜質含量高。 圖 4：靶材的基本制備工藝 資料來源：中國報告網，中信證券研究部 半導體用金屬靶材方面，國內外相關企業的差距在于超高純金屬控制與提純技術。半導體用金屬靶材方面，國內外相

20、關企業的差距在于超高純金屬控制與提純技術。先 進半導體等高端制造行業所需金屬純度在 6N 及其以上，一般的金屬提純技術無法滿足。 目前超高純銅、超高純鋁等核心技術多掌握在霍尼韋爾、日礦、東曹等美、日企業手中， 他們占據了 80%以上超高純領域的市場份額，并且持有專有技術。 顯示與光伏用顯示與光伏用 ITO 靶材方面，國內外相關企業的差距靶材方面，國內外相關企業的差距在于大尺寸靶材技術。在于大尺寸靶材技術。國內目前 ITO 靶材生產的，大多還采用高成本的熱等靜壓工藝，該技術生產的靶材產品規格一旦超 過 200mm200mm，就會出現斷裂、密度低等問題，而且在使用過程中經常出現靶材中 毒的現象。同

21、時大型燒結爐的制備技術還沒有完全國產化，對于很多中小企業來說，進口 設備依舊非常昂貴。 新材料行業半導體材料新材料行業半導體材料系列系列之六之六2020.4.20 請務必閱讀正文之后的免責條款部分 3 圖 5：國內外核心靶材技術差距 資料來源：江豐電子、隆華科技公司公告，中信證券研究部 靶材設計主要面臨金屬純化、微粒飛濺、結晶取向控制、利用率靶材設計主要面臨金屬純化、微粒飛濺、結晶取向控制、利用率低等問題。低等問題。解決該類 問題是靶材行業的核心技術壁壘。靶材制造環節首先需要根據下游應用領域的性能、需求 進行特有的工藝設計，然后再進行反復的塑性變形、熱處理等，過程中需要精確地控制晶 粒、晶向等

22、關鍵指標，再經過焊接、機械加工、清洗干燥、真空包裝等工序。濺射靶材制 造所涉及的工序精細且繁多，工序流程管理及制造工藝水平將直接影響到濺射靶材的質量 和良品率。 圖 6：靶材設計面臨的工藝問題 資料來源：濺射靶材的種類、應用、制備及發展趨勢（陳建軍），中信證券研究部 靶材靶材主要主要應用在應用在平板顯示器、半導體、平板顯示器、半導體、光伏光伏電池、記錄媒體等領域電池、記錄媒體等領域 濺射靶材的下游應用主要包括平板顯示器、半導體、光伏電池、記錄媒體等領域。濺射靶材的下游應用主要包括平板顯示器、半導體、光伏電池、記錄媒體等領域。根 據 WSTS 2018 年數據， 面板市場占比最大， 達 33.8

23、%； 其次是記錄媒體， 占比達到 28.6%； 光伏電池占 18.5%；半導體規模目前僅有 11.4%，具有較大的增長空間。 新材料行業半導體材料新材料行業半導體材料系列系列之六之六2020.4.20 請務必閱讀正文之后的免責條款部分 4 圖 7：2018 年全球濺射靶材應用結構 資料來源：全球半導體貿易統計協會，中信證券研究部 各應用領域使用的靶材種各應用領域使用的靶材種類不同，對性能也有不同要求。類不同，對性能也有不同要求。集成電路使用鋁、銅、鈦、 鉭、鉈靶材，要求純度高、尺寸大、集成度高、結晶取向控制準確；顯示面板使用鋁、銅、 硅、鉬、ITO 靶，要求尺寸大、均勻性好、純度高；光伏薄膜電

24、池使用鋁、銅、鉬、鉻、 ITO 靶，要求大的應用范圍；記錄媒體使用鈷、鎳、鉻、鐵合金，要求高儲存密度、高壽 命、高傳輸速度。 表 1：各應用領域靶材分類及性能要求 應用領域 應用產品細化應用產品細化 主要靶材類型主要靶材類型 性能要求性能要求 半導體 晶圓制造（介質層、導體層和保護層） 鋁、銅、鈦、鉭、鉈靶 純度高、尺寸大、集成度高、結晶取向 顯示器 電視、筆記本顯示器膜層 鋁、銅、硅、鉬、ITO 靶 尺寸大、純度高、均勻性好 光伏電池 光伏薄膜電池背電極 鋁、銅、鉬、鉻、ITO 靶 技術要求高、應用范圍大 信息存儲 光驅、光盤磁頭 鈷、鎳、鉻、鐵合金 高儲存密度、高壽命、高傳輸速度 資料來源

25、：江豐電子招股說明書，中信證券研究部 不同應用領域對靶材純度要求也不同不同應用領域對靶材純度要求也不同。在金屬純度方面，應用領域不同對應考核指標 要求也不盡相同，半導體靶材純度要求通常達 99.9995%（5N5）甚至 99.9999%（6N） 以上；而顯示靶材純度要求 99.999%（5N） ，磁記錄和薄膜光伏電池純度通常是 99.99% （4N） 。 新材料行業半導體材料新材料行業半導體材料系列系列之六之六2020.4.20 請務必閱讀正文之后的免責條款部分 5 圖 8：不同應用領域的金屬純度要求 資料來源：蒂姆新材料，中信證券研究部 產業鏈上游附加值高，產業鏈上游附加值高，靶材行業靶材行

26、業壟斷趨勢明顯。壟斷趨勢明顯。靶材產業鏈中主要環節為“金屬提純- 靶材制造-濺射鍍膜-終端應用”。其中，產業鏈上游的金屬或者陶瓷原料提純占據靶材產業 鏈的高附加值地位。長期以來，國內廠商主要通過從國外進口獲得高純金屬供給，美、日 等國家的高純金屬生產商依托先進的提純技術對下游具有較強的議價能力，提高了靶材的 生產成本。 圖 9：上游管控制約我國靶材市場發展 資料來源：有研新材官網，中信證券研究部 “四駕馬車”驅動靶材需求“四駕馬車”驅動靶材需求 半導體靶材：半導體靶材：半導體產能轉向國內，半導體產能轉向國內，靶材需求有望受益靶材需求有望受益 半導體行業對靶材的純度、晶粒尺寸、晶向都有半導體行業對靶材的純度、晶粒尺寸、晶向都有更更高要求高要求。由于集成