氣柜和氣體管路產品占下游不同設備售價的比例及市場規模(單位:億美元) 氣柜模組的主要技術要求:1)精準控制:公司可針對不同晶圓制程的氣柜功能自主設計,對工藝氣體的壓力、溫度、流量、潔凈度、混配比等參數實現精準控制;2)密封性:基本同工藝零部件;3)安全性:模組具備互鎖系統和氣體探測系統的檢測能力,確保安全。 行業數據 下載Excel 下載圖片 原圖定位