PECVD投資成本中射頻電源占比4%,為核心零部件 射頻電源為電池片設備核心零部件,PECVD 成本占比 4%。在電池片生產過程中,電源主要應用于擴散和鍍膜環節,其中 TOPCon 路線主要用于擴散、PECVD,HJT 路線主要用于 PECVD/CAT-CVD、RPD/PVD。根據金辰股份 2021 年公告,射頻電源占 PECVD設備成本比重達 4%,是除真空系統(腔、泵、管路)外成本占比最大的零部件。 行業數據 下載Excel 下載圖片 原圖定位