射頻電源為電池片設備核心零部件，PECVD 成本占比 4%。在電池片生產過程中，電源主要應用于擴散和鍍膜環節，其中 TOPCon 路線主要用于擴散、PECVD，HJT 路線主要用于 PECVD/CAT-CVD、RPD/PVD。根據金辰股份 2021 年公告，射頻電源占 PECVD設備成本比重達 4%，是除真空系統（腔、泵、管路）外成本占比最大的零部件。