六氟丁二烯是全球第三大特氣品種，應用于 3D NAND 刻蝕環節。六氟丁二烯可取代傳統四氟化碳，用于 KrF 激光刻蝕半導體制程，典型應用為 3D NAND 刻蝕。在 3D NAND層數持續提升趨勢下，六氟丁二烯用量持續提升。2021 年全球六氟丁二烯市場規模 3.1億美元，消耗量 900 噸，是第三大電子特氣品種，市場規模占比約 7%。根據富士經濟、金宏氣體，2024 年全球六氟丁二烯市場規模將達 4.8 億美元，2028 年全球六氟丁二烯消耗量達 3571 噸，達到 2021 年的 4 倍。