
集成電路離子注入機的市場份額高度集中,國內凱世通完成 0到 1的突破。美國應用材料公司、Axcelis 占據全球大部分市場份額,其中美國應用材料公司在離子注入機產品上的市占率達到70%,主要產品包括大束流離子注入機、中束流離子注入機、超高劑量的離子注入。美國 Axcelis 主要產品高能離子注入機市占率 55%。除此以外,日本Nissin 主要生產中束流離子注入機,在中束流離子注入機的市占率約為 10%;日本 SEN 公司的產品包括高束流離子注入機、中束流離子注入機、高能量離子注入機,但在中國大陸地區的市占率相對較低。在國內市場,萬業企業旗下凱世通率先完成了國產離子注入機從 0到 1的突破,2022年上半年取得在手訂單超過 11億元,并逐步向客戶批量交付低能離子注入機,邁入 1到 N的放量階段。