工藝零部件主要是半導體設備中晶圓制備工藝的關鍵零部件，少量應用于泛半導體設備及其他領域。該類產品一般需要經過高精密機械制造和復雜的表面處理特種工藝過程，具備高精密、高潔凈、超強耐腐蝕能力、耐擊穿電壓等特點。 工藝零部件主要應用于刻蝕設備、薄膜沉積設備，也少量應用于離子注入設備和高溫擴散設備等。