電子特氣對半導體產品生產至關重要，可能會成為“卡脖子”領域，需要進一步加快國產替代進程。例如，超純氨是制備 GaN 的重要基礎材料，由 GaN 生產的高靈敏度藍光發光二級管和藍光激光器是國內外搶占的產業；氧化亞氮主要用于半導體光電器件研制生產的介質膜工藝，是直接影響光電器件質量的不可替代的關鍵電子氣體。一旦電子特氣斷供，半導體等核心器件無法生產，將嚴重影響我國國民經濟、國防等領域。因此，我國出臺了多項政策，大力推進電子特氣國產化。2013 年國家發改委將電子特氣的開發與生產列入“第一類鼓勵類”產業，2017 年《新材料產業發展指南》提出“加快高純電子特種氣體研發及產業化，解決極大規模集成電路材料制約”，國家工信部《重點新材料首批次應用示范指導目錄(2017 年版)》將特種氣體列入重點新材料，截至 2019 年全國已有 20 個特種氣體產品入選，入選項目均應用于集成電路和新型顯示行業。在國家政策的支持和推動下，我國電子特氣行業將加速國產化進程，產業將迎來廣闊的發展前景。