氣體混配為電子特氣生產的核心工藝之一 (2)氣體混配:氣體混配是指根據不同需求,運用重量法、分壓法、動態體積法等方法,將兩種或兩種以上組分的氣體按照特定比例混合,對配制過程的累計誤差控制、配制精度、配制過程的雜質控制等均有非常高要求。對于混合氣而言,配比的精度是核心參數,隨著產品組分的增加、配制精度的上升,常要求氣體供應商能夠對多種 ppm(10-6)乃至 ppb(10-9)級濃度的氣體組分進行精細操作,其配制過程的難度與復雜程度也顯著增大。 行業數據 下載Excel 下載圖片 原圖定位