富創精密-公司研究報告-琢玉成器護航半導體設備零部件國產替代-230516（32頁）.pdf

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1、請務必閱讀正文后的聲明及說明請務必閱讀正文后的聲明及說明 Table_Info1富創精密富創精密(688409)電子電子 Table_Date發布時間：發布時間：2023-05-16 Table_Invest買入買入 首次覆蓋 股票數據 2023/05/15 6 個月目標價（元）收盤價（元）99.90 12 個月股價區間（元）89.48151.10 總市值（百萬元）20,884.43 總股本（百萬股）209 A 股（百萬股）209 B 股/H 股（百萬股）0/0 日均成交量（百萬股）5 Table_PicQuote歷史收益率曲線 Table_Trend漲跌幅（%）1M 3M 12M 絕對收益-

2、27%-21%相對收益-24%-18%Table_Report相關報告 AI 周跟蹤：短期回調，不改 AI 長期趨勢-20230509 AI 不止，關注“華為+算力+存力”產業鏈機遇-20230417 Table_Author 證券分析師：李玖證券分析師：李玖 執業證書編號：S0550522030001 17796350403 證券分析師：武芃睿證券分析師：武芃睿 執業證書編號：S0550522110001 021-61002910 研究助理：韋松嶺研究助理：韋松嶺 執業證書編號：S0550121070037 021-20361113 Table_Title證券研究報告/公司深度報告 琢玉成器

3、，護航半導體設備零部件國產替代琢玉成器，護航半導體設備零部件國產替代 報告摘要：報告摘要：Table_Summary 公司是國內半導體設備精密零部件的領軍企業，也是少數的能夠量產應用公司是國內半導體設備精密零部件的領軍企業，也是少數的能夠量產應用于于 7 納米工藝制程半導體設備的精密零部件制造商。納米工藝制程半導體設備的精密零部件制造商。公司專注于金屬材料零部件精密制造技術，主要產品包括工藝零部件、結構零部件、模組產品和氣體管路四大類，應用于半導體設備、泛半導體設備及其他領域。需求端：需求端：全球半導體設備市場規模逐步擴張，設備零部件占全球半導體設備全球半導體設備市場規模逐步擴張，設備零部件占

4、全球半導體設備市場的市場的 50%以上。以上。根據 SEMI 統計，全球半導體設備銷售規模從 2010 年 395億美元增長到 2022 年的 1076 億美元。由于設備成本構成中一般 90%以上為精密零部件產品，考慮國際半導體設備公司毛利率一般在 40%-45%左右，從而全部精密零部件市場約為全球半導體設備市場規模的 50%左右。公司涉及的半導體設備精密零部件市場超過全球半導體設備零部件市場規模的20%，具有極大的市場空間。供給端：供給端：公司目前市占率公司目前市占率尚低尚低，國產替代空間大。，國產替代空間大。根據測算 2020 年公司涉及的工藝零部件、結構零部件、模組產品和氣體管路四大類產

5、品全球市場規模合計約 160 億美元。按照公司 2022 年營收 15.44 億元計算，目前公司主要產品的全球市場占有率不足 2%，隨著國產化進程加速，公司產品增長空間巨大。與此同時，半導體設備零部件市場具有種類繁多、單一廠商市占率較低、下游市場分散等特點。公司處于國內領先國際較為落后的局面，與國內廠商靖江科技和托倫斯相比市場份額領先，與國際巨頭 Ferrotec、京鼎精密、超科林相比市場份額落后。增長點：產能利用率持續提升，增長點：產能利用率持續提升，擴產計劃有序進行擴產計劃有序進行，帶動公司營收高增，帶動公司營收高增。公司工藝及結構零部件產能利用率目前已經超過 90%，過去 3 年氣體管路

6、產品產能利用率大幅提升,由 2019 年的 4.55%提升至 2021 年的 63.18%。公司目前初步規劃遼寧沈陽、江蘇南通和北京三大產能基地，未來 3-5 年，公司將進一步加快產能建設，滿足下游需求。首次覆蓋，首次覆蓋，給予給予“買入買入”評級評級。我們看好公司不斷擴充產能，搭乘國產替代東風實現營收與利潤穩定增長。預測公司 2023-2025 年總收入分別為21.27/32.56/44.64 億元，同比增速分別為 37.69%/53.11%/37.09%，實現歸母凈利潤 3.35/5.10/6.92 億元，對應 EPS 分別為 1.6/2.44/3.31 元。風險提示：風險提示：下游需求不

7、及預期，擴產不及預期，盈利預測與估值不及預期下游需求不及預期，擴產不及預期，盈利預測與估值不及預期 Table_Finance財務摘要（百萬元）財務摘要（百萬元）2021A 2022A 2023E 2024E 2025E 營業收入營業收入 843 1,544 2,127 3,256 4,464(+/-)%75.21%83.18%37.69%53.11%37.09%歸屬母公司歸屬母公司凈利潤凈利潤 126 246 335 510 692(+/-)%35.28%94.19%36.27%52.49%35.67%每股收益（元）每股收益（元）0.81 1.45 1.60 2.44 3.31 市盈率市盈率

8、 0.00 74.56 62.39 40.92 30.16 市凈率市凈率 0.00 4.87 4.19 3.80 3.38 凈資產收益率凈資產收益率(%)12.90%12.19%6.72%9.30%11.20%股息收益率股息收益率(%)0.00%0.70%0.00%0.00%0.00%總股本總股本(百萬股百萬股)157 209 209 209 209-20%-10%0%10%20%30%40%50%2022/102023/12023/4富創精密滬深300請務必閱讀正文后的聲明及說明請務必閱讀正文后的聲明及說明 2/32 富創精密富創精密/公司深度公司深度 目目 錄錄 1.國內半導體設備零部件企

9、業領導者國內半導體設備零部件企業領導者.41.1.耕耘十四載，公司步入高速發展期.41.2.深耕半導體設備零部件領域，國內領軍企業之一.51.3.廣開源，營收利潤持續大增.101.4.研發投入不斷加大，擴寬產品護城河.132.需求端：空間大增速快，市場潛力巨大需求端：空間大增速快，市場潛力巨大.152.1.半導體零部件為基，支撐半導體產業萬億市場規模.152.2.半導體設備需求旺盛，零部件市場增長迅速.153.供給端：市占率尚低供給端：市占率尚低，有望搭乘國產替代東風有望搭乘國產替代東風.213.1.公司市占率較低，成長空間大.213.2.技術達到國際一流水平，市場份額逐步擴大.224.增長點

10、：行業爆發在即，擴產勢在必行增長點：行業爆發在即，擴產勢在必行.254.1.產能利用率不斷提升，為營收增長保駕護航.254.2.借力 IPO，擴充產能迎業績高增.255.盈利預測與估值盈利預測與估值.275.1.盈利預測.275.2.估值分析.286.風險提示風險提示.29圖表目錄圖表目錄 圖圖 1：公司發展歷程：公司發展歷程.4 圖圖 2：公司股權結構：公司股權結構.5 圖圖 3：公司部分產品示意圖：公司部分產品示意圖.6 圖圖 4：半導體設備與非半導體設備銷售額占比：半導體設備與非半導體設備銷售額占比.10 圖圖 5：公司歷年營收（左）及增速（右）：公司歷年營收（左）及增速（右）.11 圖

11、圖 6：公司歷年歸母凈利潤（左）及增速（右）：公司歷年歸母凈利潤（左）及增速（右）.11 圖圖 7：2019-2022 各板塊營收（百萬元）各板塊營收（百萬元）.11 圖圖 8：公司毛利率與凈利率：公司毛利率與凈利率.12 圖圖 9：公司期間費用率：公司期間費用率.12 圖圖 10：各產品毛利率：各產品毛利率.12 圖圖 11：公司主營業務在各地區營收占比：公司主營業務在各地區營收占比.13 圖圖 12：公司研：公司研發投入及占比（百萬元）發投入及占比（百萬元）.14 圖圖 13：公司研發人員數量及占比：公司研發人員數量及占比.14 圖圖 14：半導體行業市場空間：半導體行業市場空間.15 圖

12、圖 15：半導體設備產業鏈：半導體設備產業鏈.15 圖圖 16：半導體設備市場規模（左）及增長率（右）：半導體設備市場規模（左）及增長率（右）.16 圖圖 17：零部件規模測算示意圖：零部件規模測算示意圖.17 圖圖 18：2020 年中國晶圓廠商采購的年中國晶圓廠商采購的 8-12 寸晶圓設寸晶圓設備零部件產品結備零部件產品結構構.18 圖圖 19：公司營業收入按地區劃分：公司營業收入按地區劃分.21 圖圖 20：公司產能利用率：公司產能利用率.25 表表 1：公司高管團隊介紹：公司高管團隊介紹.5 表表 2：工藝零部件產品介紹：工藝零部件產品介紹.7 OYfWtXhUnVtRpNqN9Pa

13、OaQmOnNmOmPfQmMnQkPqRoRbRrQnMvPnNqOvPmPrQ 請務必閱讀正文后的聲明及說明請務必閱讀正文后的聲明及說明 3/32 富創精密富創精密/公司深度公司深度 表表 3：工藝零部件銷售情況：工藝零部件銷售情況.7 表表 4：結構零部件產品介紹：結構零部件產品介紹.8 表表 5：結構零部件銷售情況：結構零部件銷售情況.8 表表 6：氣體管道產品介紹：氣體管道產品介紹.8 表表 7：氣體管道銷售情況：氣體管道銷售情況.9 表表 8：模組產品介紹：模組產品介紹.9 表表 9：模組銷售情況：模組銷售情況.9 表表 10：公司主要產品下游應用：公司主要產品下游應用.10 表表

14、 11：公司前五大客戶：公司前五大客戶.13 表表 12：2021 年半導體公司直接材料占比及毛利率年半導體公司直接材料占比及毛利率.16 表表 13：半導體設備零部件市場情況：半導體設備零部件市場情況.17 表表 14：公司涉及半導體設備零部件：公司涉及半導體設備零部件.18 表表 15：2020 年各半導體設備零部件國產化情況年各半導體設備零部件國產化情況.19 表表 16：中國：中國 8-12 寸晶圓設備主要零部件供應商及自給率情況寸晶圓設備主要零部件供應商及自給率情況.20 表表 17：公司市占率測算：公司市占率測算.21 表表 18：工藝零部件對比：工藝零部件對比.22 表表 19：

15、結構零部件對比：結構零部件對比.23 表表 20：氣體管路對比：氣體管路對比.23 表表 21：模組產品對比：模組產品對比.24 表表 22：各公司市占率對比：各公司市占率對比.24 表表 23：工藝及結構零部件產：工藝及結構零部件產能及產能利用率能及產能利用率.25 表表 24：氣體管路產品產能及產能利用率：氣體管路產品產能及產能利用率.25 表表 25：募資運用狀況：募資運用狀況.26 表表 26：業務拆分（百萬元）：業務拆分（百萬元）.27 請務必閱讀正文后的聲明及說明請務必閱讀正文后的聲明及說明 4/32 富創精密富創精密/公司深度公司深度 1.國內半導體設備零部件企業領導者國內半導體

16、設備零部件企業領導者 1.1.耕耘十四載，公司步入高速發展期 2008-2014 年為公司原始積累期。年為公司原始積累期。公司引進行業專家，自研產品多為 90 納米以上制程半導體設備的工藝零部件和結構零部件，向北方微電子、上海微電子、拓荊科技等 10 余家企業交付了 1000 余種精密零部件，實現了半導體設備部分精密零部件國產化的自主可控。2014-2018 年為年為公司公司快速發展期?？焖侔l展期。通過持續研發投入，公司實現 22 納米以下制程半導體設備零部件的產業化應用，達到主流國際客戶標準。在此期間，公司成為客戶A 的戰略供應商，供應東京電子、VAT 等國際知名企業，并為北方華創、中科信裝

17、備、拓荊科技等國內知名半導體設備企業提供精密零部件的研發及量產服務。2018 年至今年至今為為公司高速發展公司高速發展期期。公司進入 HITACHI High-Tech、ASMI 等多個全球半導體設備龍頭廠商供應鏈體系。隨著國內半導體設備企業的崛起，公司實現了對主流國內半導體設備廠商的量產配套，內銷收入規模不斷提升。公司氣體管路和模組功能部件制造能力日趨完善，并在江蘇南通和北京亦莊等地積極擴大產能。目前公司部分高端產品已應用于 7 納米制程的半導體設備，實現整體高速發展。圖圖 1：公司發展歷程：公司發展歷程 數據來源：公司招股說明書，東北證券 股權結構清晰，股權結構清晰，公司管理層公司管理層經

18、驗豐富經驗豐富。截至招股說明書簽署日，公司董事長、總經 請務必閱讀正文后的聲明及說明請務必閱讀正文后的聲明及說明 5/32 富創精密富創精密/公司深度公司深度 理鄭廣文控制公司合計 34.03%的股份表決權，為公司實際控制人，比第二大股東寧波祥浦（持股 21.56%）高出 10%以上，對公司生產經營、重大決策具有實際的控制力。公司董事在擔任本公司董事前擁有豐富從業經驗，覆蓋技術、管理、銷售、投資、財務等方面，全面的履歷有助于幫助公司走向正確的發展道路，制定合理的發展規劃。圖圖 2：公司股權結構：公司股權結構 數據來源：公司招股說明書，東北證券 表表 1：公司：公司高管團隊高管團隊介紹介紹 姓名

19、姓名 職務職務 履歷履歷 鄭廣文 董事長，總經理 汽車物資銷售，沈陽先進董事、總經理、執行董事，芯源微董事 陳悉遙 副總經理 歷任任鞍山天廣美誠汽車銷售服務有限公司總經理，富創有限計劃管控中心部長、制造中心總監，富創精密副總經理.宋巖松 副總經理 歷任沈陽變壓器廠研究員、科長、副總工程師，特變電工沈陽變壓器集團有限公司專家、副總工程師，富創有限/富創精密副總經理.倪世文 副總經理 歷任鴻準精密模具（昆山）有限公司制造工程師，富士邁半導體精密工業（上海）有限公司生產經理，茂琦精密模具有限公司生產副總經理 楊爽 財務總監 歷任樂金電子(沈陽)有限公司財務部會計、經營診斷部次長，華潤置地(沈陽)物業

20、服務有限公司財務副總監,任富創有限/富創精密財務總監.徐丹 董秘 歷任遼寧天健會計師事務所項目經理，德勤華永會計師事務所項目經理，遼寧奧克化學股份有限公司和哈爾濱黎明氣體有限公司財務總監、董事會秘書等職務，富創有限副總經理，沈陽先進副總經理富創精密董事,董事會秘書.數據來源：公司招股說明書，東北證券 1.2.深耕半導體設備零部件領域，國內領軍企業之一 公司是國內半導體設備精密零部件的領軍企業，也是公司是國內半導體設備精密零部件的領軍企業，也是少數少數的能夠量產應用于的能夠量產應用于 7 納米納米 請務必閱讀正文后的聲明及說明請務必閱讀正文后的聲明及說明 6/32 富創精密富創精密/公司深度公司

21、深度 工藝制程半導體設備的精密零部件制造商。工藝制程半導體設備的精密零部件制造商。公司專注于金屬材料零部件精密制造技術，主要產品包括工藝零部件、結構零部件、模組產品和氣體管路四大類，廣泛應用于半導體設備、泛半導體設備及其他領域。圖圖 3：公司部分產品示意圖：公司部分產品示意圖 數據來源：公司招股說明書，東北證券 工藝零部件廣泛用于刻蝕與鍍膜設備，在晶圓制造過程中具有重要作用。工藝零部件廣泛用于刻蝕與鍍膜設備，在晶圓制造過程中具有重要作用。工藝零部件在半導體設備中直接與晶圓接觸或參與晶圓反應，制作工藝復雜，起到延長設備使用壽命，提升晶圓制造良率作用，具備高精密、高潔凈、超強耐腐蝕性、耐擊穿電壓等

22、特點。工藝零部件主要應用于刻蝕設備、薄膜沉積設備，也少量應用于離子注入設備和高溫擴散設備等。請務必閱讀正文后的聲明及說明請務必閱讀正文后的聲明及說明 7/32 富創精密富創精密/公司深度公司深度 表表 2：工藝零部件產品介紹：工藝零部件產品介紹 代表產品代表產品 圖示圖示 主要應用設備主要應用設備 所起作用所起作用 過渡腔 刻蝕設備 薄膜沉積設備 設備中晶圓真空環境入口。晶圓從外部運輸至設備入口前端模塊進入過渡腔，從大氣環境轉為真空環境，需要保證真空性、密封性和無污染。傳輸腔 刻蝕設備 薄膜沉積設備 過渡腔和反應腔之間進行轉移的中間平臺，需要保持密封度和真空性。同時因為要跟不同工藝反應腔連接，

23、需要采用不同表面處理工藝保證潔凈度和耐腐蝕性 反應腔 刻蝕設備 薄膜沉積設備 晶圓加工和生產的工作空間。晶圓加工過程中有多種工業氣體流入反應腔內發生化學反應，從而對潔凈度和耐腐蝕性要求較高。內襯 刻蝕設備 反應腔體內核心零件，通過表面高致密涂層起到保護反應腔表面作用。內襯比反應腔更加接近晶圓反應過程、對潔凈度、耐腐蝕性要求更高，需定期更換。勻氣盤 刻蝕設備 薄膜沉積設備 特種工藝氣體通過勻氣盤上的小孔后均勻沉積在晶圓表面，保證晶圓表面膜層的均勻性和一致性。因此，對勻氣盤零件上孔徑一致性及零件高潔凈度有嚴苛要求，同時需定期更換。數據來源：公司招股說明書，東北證券 公司工藝公司工藝零部件品類多、不

24、同產品價格差異大零部件品類多、不同產品價格差異大。公司的工藝零部件既包括單價約 20萬元的大型腔體，也包括單價約 1000 元的機械手部件。公司承接工藝零部件訂單時綜合考慮產能安排、訂單毛利率水平和下游客戶需求，產品單價并非核心因素，承接不同客戶定制化訂單導致的產品結構變化致使工藝零部件平均單價在近年呈現一定波動。表表 3：工藝零部件銷售情況：工藝零部件銷售情況 項目項目 2022 年 2021 年年 2020 年年 2019 年年 銷售收入（萬元）40,782 17,834 11,693 6,662 銷售量（個）49,510 17,373 10,260 5.067 平均單價（元）8,237

25、10,266 11,397 13,147 數據來源：公司招股說明書，東北證券 結構零部件在半導體設備中起連接、支撐、冷卻等作用，制作工藝相對簡單。結構零部件在半導體設備中起連接、支撐、冷卻等作用，制作工藝相對簡單。結構零部件對機械加工精度要求較高，部分產品同樣要求高潔凈、超強耐腐蝕性、耐擊穿電壓等性能。公司的結構零部件種類繁多，不同產品差異較大，具有代表性的產品包括托盤軸、流量計底座、冷卻板等，廣泛用于拋光、刻蝕、鍍膜與顯影設備中。請務必閱讀正文后的聲明及說明請務必閱讀正文后的聲明及說明 8/32 富創精密富創精密/公司深度公司深度 表表 4：結構零部件產品介紹：結構零部件產品介紹 代表產品代

26、表產品 圖示圖示 主要應用設備主要應用設備 所起作用所起作用 托盤軸 化學機械拋光設備 支撐化學機械拋光設備平臺，在不斷研磨晶圓過程中保持平臺高水平平整度。鑄鋼平臺 化學機械拋光設備 化學機械拋光設備安裝平臺，通常在 1 米以上。流量計底座 刻蝕設備 薄膜沉積設備 承載測量特種工藝氣體傳輸流量的底盤裝置。定子冷卻套 化學機械拋光設備 化學機械拋光設備的內部冷卻裝置，用于密封內部冷卻液體 冷卻板 制造顯示面板的薄膜沉積設備 涂膠顯影設備 制造顯示面板的薄膜沉積設備的內部冷卻裝置，產品多為 2 米尺寸的鋁合金薄板，用于反應腔體上蓋的冷卻。數據來源：公司招股說明書，東北證券 結構零部件生產流程及工藝

27、要求相較工藝零部件簡單，平均結構零部件生產流程及工藝要求相較工藝零部件簡單，平均單價單價低于工藝零部件。低于工藝零部件。隨著公司投入高端數控設備、提升加工能力，推出更多承接結構復雜、加工精度高的高單價、高附加值產品（如托盤軸、定子冷卻套、流量計閥塊等），近三年內公司結構零部件的平均單價呈現上升趨勢。表表 5：結構零部件銷售情況：結構零部件銷售情況 項目項目 2022 年 2021 年年 2020 年年 2019 年年 銷售收入（萬元）49,969 35,208 19,682 11,831 銷售量（個）647,260 466,639 322,398 226,557 平均單價（元）772 754

28、611 522 數據來源：公司招股說明書，東北證券 氣體管道用于半導體設備中特殊工藝氣體傳輸，是連接氣源到反應腔的通道。氣體管道用于半導體設備中特殊工藝氣體傳輸，是連接氣源到反應腔的通道。由于晶圓加工過程中的氣體具有純度高、腐蝕性強、易燃易爆及毒性的特點，因此對管路的密封性、潔凈度及耐腐蝕能力有較高要求。公司的氣體管道產品主要應用于刻蝕、鍍膜以及離子注入設備。表表 6：氣體管道產品介紹：氣體管道產品介紹 代表產品代表產品 圖示圖示 主要應用設備主要應用設備 所起作用所起作用 氣體管路 刻蝕設備 應用于半導體設備中的特殊工藝氣體傳送，是連接氣源到反應腔的傳輸管道。薄膜沉積設備 離子注入設備 數據

29、來源：公司招股說明書，東北證券 隨著公司技術成熟，隨著公司技術成熟，氣體管道產品銷售量突飛猛進。氣體管道產品銷售量突飛猛進。公司多種氣體管路產品通過客戶 A、北方華創等核心客戶認證后，持續量產供貨，銷量和銷售收入高速增長。2022年公司氣體管路收入規模約為 2019 年 38 倍。隨著銷量攀升，公司氣體管路制造工藝不斷成熟，市場份額不斷擴大。請務必閱讀正文后的聲明及說明請務必閱讀正文后的聲明及說明 9/32 富創精密富創精密/公司深度公司深度 表表 7：氣體管道銷售情況：氣體管道銷售情況 項目項目 2022 年 2021 年年 2020 年年 2019 年年 銷售收入（萬元）銷售收入（萬元）2

30、1,177 13,784 5,890 558 銷售量（個）銷售量（個）163,276 102,305 36,117 4,521 平均單價（元）平均單價（元）1,297 1,374 1,631 1,234 數據來源：公司招股說明書，東北證券 模組產品是將工藝零部件、結構零部件、氣體管道和外購電子標準件模組產品是將工藝零部件、結構零部件、氣體管道和外購電子標準件/機械標準件進機械標準件進行組裝，形成具備部分半導體設備核心功能產品。行組裝，形成具備部分半導體設備核心功能產品。公司基于工藝零部件、結構零部件以及氣體管道等核心產品，發展多種模組，包括離子注入機模組、傳輸腔模組、過渡腔模組、刻蝕閥體模組以

31、及氣柜模組，廣泛用于離子注入、刻蝕以及鍍膜設備。表表 8：模組產品介紹：模組產品介紹 代表產品代表產品 圖示圖示 主要應用設備主要應用設備 所起作用所起作用 離子注入機模組 離子注入機設備 承載離子注入技術，產品制造及功能檢測需模擬實際使用場景，使組裝后的產品滿足客戶要求。傳輸腔模組 刻蝕設備 薄膜沉積設備 傳輸腔模組核心作用同傳輸腔，產品制造及功能檢測需模擬實際使用場景，使組裝后的產品滿足客戶要求。過渡腔模組 刻蝕設備 薄膜沉積設備 過渡腔模組核心作用同過渡腔，產品制造及功能檢測需模擬實際使用場景，使組裝后的產品滿足客戶要求?？涛g閥體模組 刻蝕設備 刻蝕閥體模組是控制反應腔壓力平衡的裝置，閥

32、體與反應腔體相連，通過閥門的開關來調整反應腔體的壓力，確保反應環境的壓力參數滿足客戶要求。氣柜模組 刻蝕設備 薄膜沉積設備 離子注入設備 特種工藝氣體輸送控制裝置，按照晶圓生產工藝的具體需求對不同特殊工藝氣體進行傳輸、分配和混合。數據來源：公司招股說明書，東北證券 模組價值高于單一零部件，銷售收入快速增長。模組價值高于單一零部件，銷售收入快速增長。公司提供的模組產品需外購電子標準件、機械標準件，并結合自產工藝及結構零部件、氣體管路進行組裝，因此模組產品單價遠高于其他單一零部件品類。隨著公司產品不斷得到客戶認可，提供的模組產品集成度和附加值不斷提升（公司向客戶 A 提供單價超過 10 萬元的刻蝕

33、閥體模組），平均單價整體呈增長趨勢。表表 9：模組銷售情況：模組銷售情況 項目項目 2022 年 2021 年年 2020 年年 2019 年年 銷售收入（萬元）40,896 16,124 10,036 5,876 銷售量（個）23,248 5,539 2,996 3,549 平均單價（元）17,591 29,110 33,498 16,556 數據來源：公司招股說明書，東北證券 半導體設備領域半導體設備領域貢獻主要營收，占比快速上升貢獻主要營收，占比快速上升。公司產品可應用于半導體設備、泛半導體設備（主要為液晶面板）及其他領域，覆蓋集成電路制造中刻蝕、薄膜沉積、請務必閱讀正文后的聲明及說明請

34、務必閱讀正文后的聲明及說明 10/32 富創精密富創精密/公司深度公司深度 光刻及涂膠顯影、化學機械拋光、離子注入等核心環節設備，部分產品已應用于 7納米制程的前道設備中。2019-2022 年，公司半導體設備銷售額為分別為1.74/3.85/7.32/12.94 億元，占比分別達到 69.70%/81.41%/88.22%/83.81%，半導體設備銷售占比快速提升。圖圖 4：半導體設備與非半導體設備銷售額占比：半導體設備與非半導體設備銷售額占比 數據來源：公司招股說明書，公司年報，東北證券 表表 10：公司主要產品下游應用：公司主要產品下游應用 工藝流程工藝流程 高溫擴散高溫擴散 光刻及相關

35、涂膠顯影光刻及相關涂膠顯影 刻蝕刻蝕 離子注入離子注入 薄膜沉積薄膜沉積 化學機械拋光化學機械拋光 應用設備應用設備 立式擴散爐 光刻機、涂膠顯影設備 刻蝕設備 離子注入設備 PVD、CVD、ALD CMP 公司產品公司產品 工藝零部件 結構零部件 結構零部件 工藝零部件 結構零部件 模組產品 氣體管路 工藝零部件 模組產品 氣體管路 工藝零部件 結構零部件 模組產品 氣體管路 結構零部件 境外客戶境外客戶 客戶 A/客戶 A HITACHI High-Tech 客戶 A 客戶 A ASMI 客戶 A 境內客戶境內客戶 北方華創 上海微電子 芯源微 北方華創 中微公司 中科信裝備 凱世通 北方

36、華創 拓荊科技 華海清科 最高制程最高制程 7nm 96nm（光刻機）28nm（涂膠顯影設備）7nm 28nm 7nm 14nm 數據來源：公司招股說明書，東北證券 1.3.廣開源，營收利潤持續大增 營收及利潤迎來爆發。營收及利潤迎來爆發。公司 2019-2022 年營業收入從 2.25 億元增長到 15.44 億元，0%10%20%30%40%50%60%70%80%90%100%2019202020212022半導體設備營收非半導體設備營收 請務必閱讀正文后的聲明及說明請務必閱讀正文后的聲明及說明 11/32 富創精密富創精密/公司深度公司深度 CAGR 為 82.68%；2020-202

37、2 年歸母凈利潤從 0.94 億元增長到 2.46 億元，CAGR 為62.09%。受益于近年來半導體行業迅速發展，帶動上游半導體零部件行業快速增長，富創精密作為國內半導體零部件領先企業實現業績加速突破。圖圖 5：公司歷年營收（左）及增速（右）：公司歷年營收（左）及增速（右）圖圖 6：公司歷年歸母凈利潤（左）及增速（右）：公司歷年歸母凈利潤（左）及增速（右）數據來源：公司招股說明書，公司年報，東北證券 數據來源：公司招股說明書，公司年報，東北證券 公司產品具體包括工藝零部件、結構零部件、模組產品和氣體管路四大類。公司產品具體包括工藝零部件、結構零部件、模組產品和氣體管路四大類。工藝零部件主營業

38、務收入占比較低，主要因為技術更復雜，客戶選擇或替代其他供應商更為謹慎；結構零部件工藝制程相對簡單，公司與客戶的合作往往從結構零部件開始，從而放量更快。模組產品和氣體管路屬于公司新開拓產品品類，公司選擇的產品型號標準化程度較高，一旦通過驗證容易批量化生產，能夠更快拉動公司收入和利潤規模。圖圖 7：2019-2022 各板塊營收（百萬元）各板塊營收（百萬元）數據來源：公司招股說明書，公司年報，東北證券 毛利率毛利率持續提升持續提升，費用率，費用率持續持續優化。優化。2019 年行業景氣度羸弱，并且當年預投產能轉固大幅增加折舊與攤銷，產能利用率較低，各類產品及整體毛利率處于較低水平。2020 年后隨

39、著行業景氣度回升帶動產能利用率提高，公司毛利率同比 2019 年大幅0%10%20%30%40%50%60%70%80%90%100%0200400600800100012001400160018002019202020212022營收/百萬元YoY-800%-600%-400%-200%0%200%400%600%-500501001502002503002019202020212022歸母凈利潤/百萬元YoY0200400600800100012001400160018002019202020212022工藝零部件結構零部件模組產品氣體管路 請務必閱讀正文后的聲明及說明請務必閱讀正文后的聲

40、明及說明 12/32 富創精密富創精密/公司深度公司深度 提高。分產品來看，工藝零部件和結構零部件占營收主要部分，毛利率已穩定在 30%-35%區間，模組產品和氣體管路產品毛利率上升趨勢明顯。隨著公司收入規?？焖偬嵘?，受益于明顯的規模效應，公司的期間費用率大幅下降，進而帶動凈利率提升。未來隨著公司業務擴張，期間費用率仍有進一步下降空間。圖圖 8：公司毛利率：公司毛利率與凈利率與凈利率（%）圖圖 9：公司期間費用率：公司期間費用率（%）數據來源：公司招股說明書，公司年報，東北證券 數據來源：招股說明書，公司年報，東北證券 圖圖 10：各產品毛利率：各產品毛利率（%）數據來源：公司招股說明書，東北

41、證券 營收主要來源于中國和北美，營收主要來源于中國和北美，國內營收國內營收占比提升較快。占比提升較快。北美客戶營收占比相對穩定，2019-2021 年分別為 36.45%/40.36%/37.79%，2021 年前一直是公司最大營收來源地。受益于國內半導體產業的快速發展，國內客戶營收迅速上升，2019-2021 年來自國內客戶的營收占比分別為 15.10%/21.92%/38.68%。2022 年來自國內客戶的營收占比更是首次過半，達到了 54.61%。來源于亞洲其他國家的營收占比下滑嚴重，2019-2021 年占比分別為 46.76%/35.49%/21.74%。-20%-10%0%10%2

42、0%30%40%2019202020212022毛利率凈利率0%2%4%6%8%10%12%14%16%2019202020212022銷售費用率管理費用率研發費用率財務費用率-5%0%5%10%15%20%25%30%35%40%2019202020212022工藝零部件結構零部件氣體管路模組產品 請務必閱讀正文后的聲明及說明請務必閱讀正文后的聲明及說明 13/32 富創精密富創精密/公司深度公司深度 圖圖 11：公司主營業務在各地區營收占比：公司主營業務在各地區營收占比 數據來源：公司招股說明書，東北證券 公司前五大客戶占比較高，客戶公司前五大客戶占比較高，客戶 A 占比超過占比超過 50

43、%。公司前五大客戶中帆宣科技和TOCALO 的最終客戶均為客戶 A，2019-2021 年公司最終銷往客戶 A 的銷售收入占當期營業收入比例為 75.24%、74.54%和 58.26%，具有較高集中度。隨著公司產品在各大下游客戶順利驗證，來自客戶 A 的營收呈降低趨勢。表表 11：公司前五大客戶：公司前五大客戶 時間時間 客戶名稱客戶名稱 產品類型產品類型 占營收比重占營收比重 2021 年 客戶 A 工藝零部件、結構零部件、氣體管路、模組產品 55.97%北方華創 工藝零部件、結構零部件、氣體管路、模組產品 19.11%華海清科 結構零部件、氣體管路、模組產品 5.47%客戶 C 結構零部

44、件、氣體管路、模組產品 3.29%拓荊科技 工藝零部件、結構零部件、氣體管路 2.39%2020 年 客戶 A 工藝零部件、結構零部件、氣體管路、模組產品 66.23%北方華創 工藝零部件、結構零部件、氣體管路、模組產品 10.54%TOCALO 工藝零部件、結構零部件 6.95%客戶 B 工藝零部件、結構零部件 1.83%拓荊科技 工藝零部件、結構零部件、氣體管路 1.70%2019 年 客戶 A 工藝零部件、結構零部件 69.01%VAT 工藝零部件、結構零部件、氣體管路、模組產品 6.62%北方華創 工藝零部件、結構零部件 5.50%TOCALO 工藝零部件、結構零部件 3.64%帆宣科

45、技 結構零部件、氣體管路 2.58%數據來源：公司招股說明書，東北證券 1.4.研發投入不斷加大，擴寬產品護城河 0%10%20%30%40%50%60%70%80%90%100%201920202021中國大陸北美亞洲其它地區歐洲請務必閱讀正文后的聲明及說明請務必閱讀正文后的聲明及說明 14/32 富創精密富創精密/公司深度公司深度 研發投入持續提升，研發投入持續提升，造就技術領先造就技術領先地位地位。隨著工藝積累和技術成熟，公司研發從承接國家課題為主已過渡到工藝開發自研項目為主。公司 2019-2022 年研發投入分別為 2881/3693/7420/12185 萬元，占營收比重分別為 1

46、1.37%/7.67%/8.8%/7.89%。盡管因為營收規模增加拉低了研發投入占比，但從絕對值看公司研發投入仍保持高速增長，2019-2022 年研發投入 CAGR 達到了 61.72%。研發投入的大幅增加，為后續發展更高端工藝奠定了技術基礎。圖圖 12：公司研發投入及占比（百萬元）：公司研發投入及占比（百萬元）數據來源：公司招股說明書，東北證券 加強技術攻關，加強技術攻關，核心技術人員數量及占比均有所提升。核心技術人員數量及占比均有所提升。公司 2019-2022 年研發人員數量分別為 82、121、225 和 333，占總員工比例分別為 15.89%、19.74%、20.68%和 18.

47、09%。目前我國半導體行業人才短缺，公司有意培養自身的研發團隊，有利于應對激烈的市場競爭，持續拓展先進工藝，為客戶提供高質量產品。圖圖 13：公司研發人員數量及占比：公司研發人員數量及占比 數據來源：公司招股說明書，公司年報，東北證券 0%2%4%6%8%10%12%0204060801001201402019202020212022研發投入/百萬元研發投入占比0%5%10%15%20%25%0501001502002503003502019202020212022研發人員數量占比請務必閱讀正文后的聲明及說明請務必閱讀正文后的聲明及說明 15/32 富創精密富創精密/公司深度公司深度 2.需求

48、端：空間大增速快，市場潛力巨大需求端：空間大增速快，市場潛力巨大2.1.半導體零部件為基，支撐半導體產業萬億市場規模 零部件撬動萬億美元數字市場，公司聚焦零部件撬動萬億美元數字市場，公司聚焦半導體半導體設備零部件設備零部件領域。領域。公司主要產品應用于半導體設備，各期相應主營業務收入占比均在 65%以上，且不斷提升。半導體設備的升級迭代很大程度上有賴于精密零部件的技術突破，因此半導體精密零部件是國內半導體設備企業“卡脖子”的環節之一。盡管當前全球半導體零部件市場規模在百億美元量級，但卻是整個萬億集成電路市場的地基。圖圖 14：半導體行業市場空間：半導體行業市場空間 數據來源：公司招股說明書，S

49、EMI，東北證券 圖圖 15：半導體設備產業鏈：半導體設備產業鏈 數據來源：招股說明書，東北證券 2.2.半導體設備需求旺盛，零部件市場增長迅速 多重因素驅動半導體設備快速發展，帶動零部件市場規模迅速增長。多重因素驅動半導體設備快速發展，帶動零部件市場規模迅速增長。推動半導體設備資本開支上行的動力有：1）晶圓制程不斷升級，單位產能投資規模增長。2）需求增長帶動晶圓產能持續增長，目前汽車電子、AIOT 等新興領域仍有巨大的上升空間。3）各國逐漸重視半導體自主生產，本土化需求帶來額外晶圓廠投資。目前中國，美國，歐洲，日本等國開始加強建設本國的半導體產業鏈，半導體設備投資出 請務必閱讀正文后的聲明及

50、說明請務必閱讀正文后的聲明及說明 16/32 富創精密富創精密/公司深度公司深度 現短期激增。全球半導體設備市場規模全球半導體設備市場規?？焖倏焖贁U張。擴張。據 WSTS 統計，2010 年到 2022 年，全球半導體產品市場規模從 2983 億美元迅速提升至 5735 億美元，預計到 2030 年有望達到萬億美元。半導體設備的市場景氣度與半導體市場規模高度相關。根據 SEMI 統計，全球半導體設備銷售規模從 2010 年 395 億美元增長到 2022 年的 1076 億美元。盡管受到行業下行影響，SEMI 預計 2023 年全球半導體制造設備市場規模將收縮至 912 億美元，但在 2024

51、 年將在前端和后端市場的推動下反彈。圖圖 16：半導體設備市場規模（左）及增長率（右）：半導體設備市場規模（左）及增長率（右）數據來源：招股說明書，SEMI，東北證券 受益于半導體設備市場旺盛需求，設備零部件空間不容小覷。受益于半導體設備市場旺盛需求，設備零部件空間不容小覷。設備成本構成中一般90%以上為精密零部件產品，考慮國際半導體設備公司毛利率一般在40%-45%左右，從而可以推導出全球精密零部件市場約為全球半導體設備市場規模的 50%左右。根據 SEMI 數據顯示 2022 年半導體設備銷售額為 1076 億美元，可以粗略估算出設備零部件銷售額為 535 億美元左右。表表 12：2021

52、 年半導體公司直接材料占比及毛利率年半導體公司直接材料占比及毛利率 半導體公司半導體公司 直接材料占比直接材料占比 毛利率毛利率 北方華創北方華創 81.45%39.41%芯源微芯源微 93.48%38.08%中微公司中微公司 90.43%43.36%盛美上海盛美上海 92.59%42.53%拓荊科技拓荊科技 94.48%44.01%華海清科華海清科 92.87%44.73%平均值平均值 90.88%42.02%數據來源：公司公告，東北證券 半導體設備零部件作為半導體設備的基礎，景氣度受電子產品需求影響小。半導體設備零部件作為半導體設備的基礎，景氣度受電子產品需求影響小。后疫情時代，地緣政治、

53、產能緊缺等因素極大地影響了半導體產業的發展。為了解決缺芯問題，晶圓廠擴產動作不斷，根據 Gartner 的數據，全球芯片制造商 2022 年的資本支出預計合計將達到 1460 億美元，比疫情暴發前的水平高出約 50%。而半導體設-30%-20%-10%0%10%20%30%40%50%020040060080010001200銷售額/億美元增速 請務必閱讀正文后的聲明及說明請務必閱讀正文后的聲明及說明 17/32 富創精密富創精密/公司深度公司深度 備零部件在各種設備中都有舉足輕重的地位，可以簡單分為七大類，在氣體輸送、機械運動、電氣信號控制、晶圓傳輸、維持設備整體結構穩定等諸多方面起到重要作

54、用，為設備的穩定運行，安全可靠提供保障。表表 13：半導體設備零部件市場情況：半導體設備零部件市場情況 分類分類 占半導體設占半導體設備市場比例備市場比例 具體類別具體類別 國際主要企業國際主要企業 國內主要企業國內主要企業 國產化率國產化率 機械類機械類 12%金屬工藝件、金屬結構件、非金屬機械件 京鼎精密、Ferrotec、Hana 等 富創精密、靖江先鋒、菲利華等 整體較高，高端產品較低 電器類電器類 6%射頻電源、射頻匹配器、遠程等離子源、供電系統等 Advanced Energy、MKS 等 英杰電器、北方華創等 核心模塊（射頻電源等）低，主要應用于光伏、LED 等 機電一體類機電一

55、體類 8%EFEM、機械手、加熱帶、腔體模組、閥體模組等 京鼎精密、Brooks、Automation 等 富創精密、華卓精科等 整體中等，高端產品未國產化 氣液真空系氣液真空系統類統類 9%氣體運輸系統、真空系統、氣動液壓系統等 超科林、Edwards、Ebara 等 富創精密、萬業企業、新萊應材等 整體中等，高端產品較低 儀表儀器類儀表儀器類 1%氣體流量計、真空壓力計等 MKS、Horiba 等 北方華創、萬業企業等 國產化率低，高端產品未國產化 光學類光學類 8%光學元件、光柵、激光源等 Zeiss、Cymer、ASML 國望光學科技有限公司等 國產化率低，高端產品未國產化 其他其他

56、2%定制設備、耗材等 數據來源：公司招股說明書，東北證券 晶圓廠晶圓廠直采帶動直采帶動設備零部件設備零部件，構筑第二增長曲線，構筑第二增長曲線。晶圓廠在長期使用半導體設備的過程中會產生磨損，需要對零部件進行替換。一部分較為復雜的設備零部件需要向設備原廠進行采購，另外一部分較為簡單的零部件會直接向零部件廠商進行采購。在晶圓廠的運營當中，設備折舊與當年設備銷售之間存在一定比值關系，通過將設備銷售額分 5 年折舊可得每年晶圓廠設備折舊額約為設備銷售額的 70%。進一步可以估算出 2021 年前道設備和后道設備帶來的零部件規模分別為 407 億美元和 61 億美元。據晶合集成招股說明書披露，晶圓廠直接

57、采購材料中，零配件占成本的比重約為 10%。由此測算得出 2021 年全球零部件市場規模達到 618 億美元。圖圖 17：零部件規模測算示意圖：零部件規模測算示意圖 數據來源：東北證券 請務必閱讀正文后的聲明及說明請務必閱讀正文后的聲明及說明 18/32 富創精密富創精密/公司深度公司深度 公司涉及的半導體設備精密零部件市場超過全球市場規模的公司涉及的半導體設備精密零部件市場超過全球市場規模的 20%。根據公司招股說明書披露，目前公司產品涉及的半導體設備精密零部件全球市場規模 2020 年約為160 億美元，占當年全球半導體設備市場規模的 22%。表表 14：公司涉及半導體設備零部件：公司涉及

58、半導體設備零部件 設備名稱設備名稱 2020 年全球市場規模年全球市場規模（億美元）（億美元）工藝和結構零部件工藝和結構零部件占比占比 模組產品模組產品占比占比 氣柜和氣體管氣柜和氣體管路占比路占比 所占市場規模所占市場規模（億美元）（億美元）薄膜沉積設備薄膜沉積設備 172 14%11.50%9%59 刻蝕設備刻蝕設備 137 19.50%8%12.50%55 光刻設備光刻設備 134 7.50%10 清洗設備清洗設備 35 12%4 涂膠顯影設備涂膠顯影設備 24 12%17.50%7 化學機械拋光設備化學機械拋光設備 16 19.50%12.50%5 熱處理設備熱處理設備 15 17.5

59、0%11.50%12.50%6 離子注入設備離子注入設備 14 12%5%2%3 去膠設備去膠設備 5 17.50%11.50%12.50%2 其他前道、測試、封裝設備其他前道、測試、封裝設備 160 5%8 合計合計 712 11.80%5.60%5%160 數據來源：公司招股說明書，東北證券 設備零部件國產化率低，成長空間大設備零部件國產化率低，成長空間大。根據芯謀研究數據，中國晶圓制造廠商采購的設備零部件主要有石英（Quartz）、射頻發生器（RF Generator）、各種泵（Pump）等，占零部件采購金額的比重達到或超過 10%。此外，各產品國產化率均不高，呈現精度要求高、材料要求高

60、、市場碎片化的特質。圖圖 18：2020 年中國晶圓廠商采購的年中國晶圓廠商采購的 8-12 寸晶圓設寸晶圓設備零部件產品結備零部件產品結構構 數據來源：芯謀研究，東北證券 11%10%10%9%9%8%6%3%2%2%1%29%石英制品射頻發生器泵閥門靜電吸盤噴淋頭邊緣環組件測量器流量計陶瓷制品密封圈其他請務必閱讀正文后的聲明及說明請務必閱讀正文后的聲明及說明 19/32 富創精密富創精密/公司深度公司深度 表表 15：2020 年各半導體設備零部件國產化情況年各半導體設備零部件國產化情況 設備零部件設備零部件 國外廠商國外廠商 國內廠商國內廠商 國產化率國產化率 機械類機械類 鈑金件 華亞

61、智能、偉泰科技 50%金屬件 富創精密、靖江先鋒、托倫斯 50%腔體 富創精密、新萊應材、江豐電子 50%硅電極 SK chem、Hana、WDX 神功股份 10%-50%噴淋頭 新鶴 靖江先鋒、江豐電子 10%-50%石英件 Ferrotec、Heraeus 凱德石英、菲利華、太平洋石英 10%-50%靜電吸盤 Shinko、TOTO、NTK Ceratec 華卓精科 10%密封圈 Dupont 芯密科技 10%氣氣/液路類液路類 管路 Kuze 萬業企業、新萊應材 10%-50%泵 Edwards、Ebara 沈陽科儀、漢鐘精機 10%-50%過濾器 科百特 10%-50%氣體輸送系統 U

62、ltra Clean Tech、Ichor 萬業企業 10%-50%閥 VAT、MKS、Fujikin、Kuze 新萊應材 10%-50%真空規 MKS 50%溫控裝置 京儀自動化 10%-50%機械手 Brooks Automation、Yaskawa 新松機器人、京儀自動化 10%EFEM Brooks Automation、Rorze 新松機器人、京儀自動化 10%雙工臺 ASML 華卓精科 商業化早期 浸液系統 ASML 商業化早期 電氣類電氣類 可編程電源 英杰電氣 10%-50%射頻電源 Advanced Energy、MKS 北方華創、英杰電氣 10%邊緣環組件 Tokai Ca

63、rbon，EPP 珍寶，神工半導體 10%噴淋頭 新鶴 靖江先鋒，江豐電子 10%泵 Alcatel,Pfeiffer,Edwards,Ebara,Ulvac,Leybold,Varian 沈陽科儀、京儀 5%-10%陶瓷制品 蘇州柯瑪 5%-10%射頻發生器 AE，MKS，Kyosan，Daihen 北廣科技、中科院微電子 1%-5%機器人 Brooks,Yaskawa,Kawasaki,JEL,Rorze,Sankyo,Robostar,RND,Kostek 新松機器人 1%-5%流量計 Brooks,MKS,Fujikin,Horiba,CDK 北方華創 1%-5%閥門 Fujikin,

64、VAT,MKS,Swagelok,Hamlet 1%測量計 MKS，Inficon 1%密封圈 Dupont 1%數據來源：芯謀研究，東北證券 請務必閱讀正文后的聲明及說明請務必閱讀正文后的聲明及說明 21/32 富創精密富創精密/公司深度公司深度 3.供給端：市占率尚低供給端：市占率尚低，有望搭乘國產替代東風有望搭乘國產替代東風3.1.公司市占率較低，成長空間大 公司公司產品對應市場規模大，低市占率帶來大成長空間產品對應市場規模大，低市占率帶來大成長空間。根據測算 2020 年公司涉及的工藝零部件、結構零部件、模組產品和氣體管路四大類產品全球市場規模合計約160 億美元。根據前述全球市場空間

65、測算，目前公司主要產品的全球市場占有率不足 1%，成長空間巨大。表表 17：公司市占率測算：公司市占率測算 項目項目 2020 年全球市場規模年全球市場規模（億美元）（億美元）2020 年公司營業收入年公司營業收入（億美元）（億美元）全球市場全球市場占有率占有率 工藝和結構零部件工藝和結構零部件 84 0.46 0.54%模組產品模組產品 40 0.14 0.36%氣柜及氣體管路氣柜及氣體管路 35 0.09 0.24%合計合計 160 0.69 0.43%數據來源：公司招股說明書，東北證券 國內收入占比快速提高，國內收入占比快速提高，國產替代國產替代有望有望助公司業績助公司業績快速增長快速增

66、長。中國大陸已成為全球半導體設備第一大市場，隨著政策扶持和技術突破，半導體設備的國產化率提升趨勢明顯。公司已成為北方華創、中微公司、華海清科、拓荊科技、屹唐股份、中科信裝備等主流國產半導體設備廠商的合格供應商。近四年，公司內銷收入規模分別為 0.38/1.05/3.26/8.35 億元，CAGR 達到 179.45%。內銷收入占比由 2019 年的 15.34%提升至 2022 年的 54.61%。隨著國內供應鏈自主化程度的提升，公司有望實現業績快速增長。圖圖 19：公司營業收入按地區劃分：公司營業收入按地區劃分 數據來源：公司招股說明書，公司年報，東北證券 0%10%20%30%40%50%

67、60%01002003004005006007008009002019202020212022中國大陸/百萬元收入占比 請務必閱讀正文后的聲明及說明請務必閱讀正文后的聲明及說明 22/32 富創精密富創精密/公司深度公司深度 3.2.技術達到國際一流水平，市場份額逐步擴大 公司產品可做到國際一流，國內領先。公司產品可做到國際一流，國內領先。主要可比公司為日本的 FerroTec、臺灣地區的京鼎精密、美國的超科林、國內的靖江先鋒和托倫斯。通過對比國際主流客戶對產品的具體性能要求，公司產品的技術性能滿足主流客戶標準。目前公司是全球為數不多的能夠為 7 納米制程的半導體設備批量提供精密零部件的廠商，

68、是國內少有的能夠提供滿足甚至超過國際主流客戶標準的精密零部件產品的供應商。表表 18：工藝零部件對比：工藝零部件對比 主要產品主要產品 指標指標 公司標準公司標準 與主流客戶標準對比與主流客戶標準對比 其他主流供應其他主流供應商商 過渡腔過渡腔 耐腐蝕性 酸性鹽霧環境中幾十天膜層不發生腐蝕 一致 少量美國廠商、臺灣廠商京鼎精密等，無內資企業 密封性 氦側漏率達到極低水平 優于 潔凈度 紫外線檢測下表面無可視熒光粒子 一致 傳輸腔傳輸腔 耐腐蝕性 酸性鹽霧環境中幾十天膜層不發生腐蝕 一致 少量美國廠商、臺灣廠商京鼎精密等，無內資企業 密封性 氦側漏率達到極低水平 優于 潔凈度 紫外線檢測下表面無

69、可視熒光粒子 一致 真空度 可達極低的 torr 數值（torr 為氣體壓強單位）優于 反應腔反應腔 耐腐蝕性 陽極膜層在鹽酸中浸泡數小時不產生任何氣泡 優于 少量美國廠商、臺灣廠商京鼎精密等，無內資企業 密封性 氦側漏率達到極低水平 優于 潔凈度 紫外線檢測下表面無可視熒光粒子 一致 真空度 可達極低的 torr 數值（torr 為氣體壓強單位）優于 耐擊穿電壓 每 0.001 英寸膜厚的耐擊穿電壓達到較高水平 優于 內襯內襯 耐腐蝕性 陽極膜層在鹽酸中浸泡數小時不產生任何氣泡 優于 少量美國 廠 商、韓 國Iones、日本Tocalo 等，無內資企業 致密性 孔隙率達到較低水平 優于 潔凈

70、度 LPC 液態粒子檢測和 ICP 金屬元素檢測 優于 耐擊穿電壓 低于反應腔 優于 勻氣盤勻氣盤 潔凈度 LPC 液態粒子檢測和 ICP 金屬元素檢測 優于 少量新加坡廠商、臺灣廠商京鼎精密等，無內資企業 微孔加工 加工最小孔徑 0.3 毫米，尺寸公差可控制在幾微米 優于 數據來源：公司招股說明書，東北證券 請務必閱讀正文后的聲明及說明請務必閱讀正文后的聲明及說明 23/32 富創精密富創精密/公司深度公司深度 表表 19：結構零部件對比：結構零部件對比 主要產品主要產品 指標指標 公司標準公司標準 與主流客戶標準對比與主流客戶標準對比 其他主流供應商其他主流供應商 托盤軸托盤軸 平面度 形

71、位公差小于幾十微米 優于（國內）除大陸外，靖江先鋒、托倫斯等公司也可提供 平行度 形位公差小于幾十微米 優于（國內）尺寸公差精度 尺寸公差小于幾十微米 一致（國內）鑄鋼平臺鑄鋼平臺 平面度 形位公差小于幾十微米，特殊噴涂 一致（國內）除大陸外，靖江先鋒、托倫斯等公司也可提供 平行度 形位公差小于幾十微米，特殊噴涂 一致（國內）定子冷卻套定子冷卻套 尺寸公差精度 尺寸公差小于幾十微米 優于（國內）除大陸外，靖江先鋒、托倫斯等公司也可提供 流量計底座流量計底座 表面粗糙度 小于 Ra 零點幾微米 一致 少量日資企業，無內資企業 耐腐蝕性 鉻鐵比和氧化鉻鐵比高于一定比例 優于 密封性 粗糙度小于 R

72、a 零點幾微米 優于 硬度大于一定維氏硬度 冷卻板冷卻板 平整度 尺寸公差小于幾十微米 優于 少量臺灣、韓國廠商，無內資企業 潔凈度 NaCI 當量達到較低水平 優于 耐電壓性 承受一定數額 優于 密封性 氣體密封測試一定時間內不漏氣 優于 數據來源：公司招股說明書，東北證券 表表 20：氣體管路對比：氣體管路對比 主要產品主要產品 指標指標 公司標準公司標準 與主流客戶標準對比與主流客戶標準對比 其他主流供應商其他主流供應商 氣體管路氣體管路 潔凈度 大于零點幾微米顆粒數量少 優于 美國超科林等少量美國廠商和日本廠商，無內資企業 高端制程無顆粒 密封性 氦側漏率極低 優于 耐腐蝕性 臨界點蝕

73、溫度高于某一溫度 一致 數據來源：公司招股說明書，東北證券 請務必閱讀正文后的聲明及說明請務必閱讀正文后的聲明及說明 24/32 富創精密富創精密/公司深度公司深度 表表 21：模組產品對比：模組產品對比 主要產品主要產品 指標指標 公司標準公司標準 與主流客戶標準與主流客戶標準對比對比 其他主流供應商其他主流供應商 離子注入機離子注入機 密封性 氦側漏率極低 優于（國內）少量境外廠商 傳輸腔模組傳輸腔模組 密封性 氦側漏率極低 優于 臺灣廠商京鼎精密等，無內資企業 過渡腔模組過渡腔模組 密封性 氦側漏率極低 優于 少量美國廠商等，無內資企業 閥值模組閥值模組 密封性 氦側漏率極低 優于 少量

74、瑞士廠商和臺灣廠商京鼎精密等，無內資企業 氣柜模組氣柜模組 精準控制 氣體流量精度在滿量程的幾%以下 優于 美國超科林等少量美國廠商和日本廠商，無內資企業 密封性 氦側漏率極低 一致 安全性 可燃氣體泄漏量小于著火極限 一致 有毒氣體泄漏量小于一定比例 潔凈度 大于零點幾微米顆粒數量少 一致 高端制程無顆粒 數據來源：公司招股說明書，東北證券 半導體設備零部件行業較為分散，擁有眾多單品種類，單一廠商市占率均較低。半導體設備零部件行業較為分散，擁有眾多單品種類，單一廠商市占率均較低。公司處于國內領先國際較為落后的地位，與國內廠商靖江科技和托倫斯相比市場份額領先，與國際巨頭 Ferrotec、京鼎

75、精密、超科林相比市場份額落后。不過近年來隨著我國半導體行業崛起，公司營收增長率要遠高于行業增長率，市占率與國際廠商相比差值正在逐漸減小。表表 22：各公司市占率對比：各公司市占率對比 公司名稱公司名稱 產品情況產品情況 全球市占率全球市占率 富創精密 工藝零部件、結構零部件、模組產品和氣體管路，零部件以鋁合金金屬材料為主 不到 1%Ferrotec 石英、陶瓷、硅、碳化硅等非金屬零部件，也涉及金屬零部件、模組 約 2%京鼎精密 工藝零部件、結構零部件、模組等產品 約 3%超科林 氣體和流體運輸等模組材料為主，也設計金屬零部件 超過 10%靖江科技 工藝零部件、結構零部件為主 低于富創精密 托倫

76、斯 工藝零部件、結構零部件，擅長不銹鋼材料 低于富創精密 數據來源：公司招股說明書，東北證券 開展自動化產線探索，促進產品高效生產開展自動化產線探索，促進產品高效生產。公司已經探索自動化方案，未來隨著零部件的量增加，會有自動化產線的產生。隨著公司未來產量提升，將推出自動化產線，預計 2025 年前后可以在國內遠程控制海外制造。請務必閱讀正文后的聲明及說明請務必閱讀正文后的聲明及說明 25/32 富創精密富創精密/公司深度公司深度 4.增長點：行業爆發在即，擴產勢在必行增長點：行業爆發在即，擴產勢在必行4.1.產能利用率不斷提升，為營收增長保駕護航 工藝及結構零部件產能利用率超過工藝及結構零部件

77、產能利用率超過 90%，氣體管路產品產能利用率大幅提升。工藝，氣體管路產品產能利用率大幅提升。工藝及結構零部件：及結構零部件：2019 年受半導體行業景氣度波動及中美貿易摩擦影響，當年下游需求未按預期增長，產能利用率較低。但隨著行業景氣度提升以及中國大陸半導體設備廠商崛起，公司訂單量自 2020 年起快速增加，產能利率用逐步提升，2021 年基本達到“滿產”狀態。氣體管路：氣體管路：公司于 2018 年拓展氣體管路業務并預投了設備產能，業務發展初期產能利用率較低。隨著公司氣體管路產品獲得核心客戶認證，業務規模不斷擴大，產能利用率顯著提升。模組產品：模組產品：生產流程主要為裝配和測試，生產組織具

78、有一定靈活性，且產品具有多品種、定制化的特點，因此難以使用單一指標衡量模組產品的產能。表表 23：工藝及結構零部件產能及產能利用率：工藝及結構零部件產能及產能利用率 項目項目 2021 年年 2020 年年 2019 年年 產能（萬小時）97.2 58.65 47.87 產能利用率 90.17%81.21%62.70%數據來源：公司招股說明書，東北證券 表表 24：氣體管路產品產能及產能利用率：氣體管路產品產能及產能利用率 項目項目 2021 年年 2020 年年 2019 年年 產能（件）180,000 180,000 144,000 產能利用率 63.18%23.32%4.55%數據來源：

79、公司招股說明書，東北證券 圖圖 20：公司產能利用率：公司產能利用率 數據來源：招股說明書，東北證券 4.2.借力 IPO，擴充產能迎業績高增 持續新建產線，助力半導體零部件快速發展。持續新建產線，助力半導體零部件快速發展。公司 IPO 項目“集成電路裝備零部件0%10%20%30%40%50%60%70%80%90%100%201920202021工藝及結構零部件氣體管路產品請務必閱讀正文后的聲明及說明請務必閱讀正文后的聲明及說明 26/32 富創精密富創精密/公司深度公司深度 全工藝智能制造生產基地”圍繞公司主營業務進行，新建具有較高自動化和信息化水平的全新生產線設備，擴大公司現有產品產能

80、。公司目前規劃遼寧沈陽、江蘇南通和北京三大產能基地，未來 3-5 年，公司將充分利用資本市場，進一步加快公司產能建設，保障客戶日益旺盛的需求。表表 25：募資運用狀況：募資運用狀況 項目名稱項目名稱 投資金額（億元）投資金額（億元）使用募集資金金額（億元）使用募集資金金額（億元）集成電路裝備零部件全工藝智能制造生產基地 10 10 補充流動資金 6 6 數據來源：公司招股說明書，東北證券 三大工廠齊頭并進，滿足下游日益增長的需求。三大工廠齊頭并進，滿足下游日益增長的需求。公司沈陽工廠 15 億產值已經滿產，未來還有小部分提升空間，主要面向美國應材。南通工廠設計產值 20 億，預計 2023年

81、Q2 陸續投產，2025 年達產，面向大規模制造和國內新客戶。北京工廠 2023 年年底設備陸續進廠，2024 年投產，2027 年滿產，面向研發和北方華創。三個工廠全部達產后，產值將達到 60 億。多地建設工廠將有助于公司產品輻射全國，并且能夠有效保護客戶產品的知識產權。請務必閱讀正文后的聲明及說明請務必閱讀正文后的聲明及說明 27/32 富創精密富創精密/公司深度公司深度 5.盈利預測與估值盈利預測與估值 5.1.盈利預測 公司主要產品包括工藝零部件、結構零部件、模組產品和氣體管路四大類。我們預測公司 2023-2025 年總收入分別為 21.27/32.56/44.64 億元，同比增速分

82、別為37.69%/53.11%/37.09%，實現歸母凈利潤 3.35/5.10/6.92 億元。工藝零部件工藝零部件：公司 2022 年工藝零部件營收 4.08 億元，隨著行業景氣度不斷高漲以及國產半導體設備廠商崛起，下游需求的旺盛驅動工藝零部件銷量和收入逐年高速增長。預計公司 2023-2025 年工藝零部件營收分別為 5.68/8.32/10.56 億元。結構零部件結構零部件：公司 2022 年結構零部件營收 5 億元，隨著公司投入高端數控設備、提升加工能力，結構零部件附加值穩定提升。預計 2023-2025 年結構零部件營收分別為 5.70/7.68/9.44 億元。模組產品模組產品：

83、公司 2022 年模組產品營收 4.09 億元，當前公司模組產品規模較小，市場需求快速提升，有望實現快速增長。預計 2023-2025 年模組產品營收分別為6.95/11.61/17.53 億元。氣體管路氣體管路：公司 2022 年氣體管路營收 2.12 億元，隨著銷量攀升，公司氣體管路制造工藝不斷成熟，市場份額不斷擴大。預計 2023-2025 年氣體管路營收分別為2.76/4.75/6.89 億元。表表 26：業務拆分（百萬元）：業務拆分（百萬元）2022 2023E 2024E 2025E 工藝零部件工藝零部件 407.82 568.13 832.14 1,055.71 YoY 128.

84、68%39.31%46.47%26.87%毛利率毛利率 35.65%35.50%34.00%34.00%結構零部件結構零部件 499.69 569.59 768.23 944.09 YoY 41.93%13.99%34.88%22.89%毛利率毛利率 32.73%32.00%32.00%32.00%模組產品模組產品 408.96 695.12 1,160.54 1,752.90 YoY 153.64%69.97%66.96%51.04%毛利率毛利率 35.84%26.00%27.00%27.00%氣體管路氣體管路 211.77 275.94 475.46 689.42 YoY 53.64%30

85、.30%72.31%45.00%毛利率毛利率 35.84%35.00%36.00%36.00%其他業務其他業務 16.23 17.85 19.64 21.60 YoY 19.00%10%10%10%毛利率毛利率 80.31%70%70%70%總計總計 1544.46 2126.62 3256.01 4463.73 YoY 83.18%37.69%53.11%37.09%毛利率毛利率 32.67%31.68%31.54%31.31%數據來源：wind，東北證券 請務必閱讀正文后的聲明及說明請務必閱讀正文后的聲明及說明 28/32 富創精密富創精密/公司深度公司深度 5.2.估值分析 首首次覆蓋，

86、次覆蓋，給予給予“買入買入”評級。評級。公司作為國內半導體設備零部件領軍企業，有望充分受益于國產替代，實現營收與利潤的快速增長。因國內沒有與公司業務相似的零部件企業，公司業績與半導體設備公司具有較強相關性，因此采用終局法進行估值。據前述測算，2021 年全球半導體零部件市場規模為 618 億美元，假設 5%復合增速，則到 2027 年全球半導體零部件市場規模為 828.18 億美元。公司產品覆蓋約 20%的半導體零部件市場，對應需求空間為 165.64 億美元。假設國內市場占 30%，則國內外需求分別為 49.69 億美元和 115.95 億美元。假設未來國內半導體零部件國產化率為 50%，富

87、創精密營收占內資產商 40%，對應國內收入 64.60 億元；假設富創精密未來占海外市場份額的 2%，對應海外市場營收 15.07 億元，合計 79.67 億元。假設遠期凈利率 20%，給予遠期 20 倍 PE，則公司市值看到 318.68 億元，給予買入評級。請務必閱讀正文后的聲明及說明請務必閱讀正文后的聲明及說明 29/32 富創精密富創精密/公司深度公司深度 6.風險提示風險提示下游需求不及預期，擴產不及預期，盈利預測與估值判斷不及預期。請務必閱讀正文后的聲明及說明請務必閱讀正文后的聲明及說明 30/32 富創精密富創精密/公司深度公司深度 附表：財務報表預測摘要及指標附表：財務報表預測

88、摘要及指標 Table_Forcast資產負債表（百萬元）資產負債表（百萬元）2022A 2023E 2024E 2025E 現金流量表（百萬元）現金流量表（百萬元）2022A 2023E 2024E 2025E 貨幣資金 1,989 2,087 2,239 2,572 凈利潤凈利潤 235 335 510 692 交易性金融資產 1,153 1,153 1,153 1,153 資產減值準備 31 0 0 0 應收款項 571 800 1,100 1,517 折舊及攤銷 119 164 190 204 存貨 533 839 895 1,320 公允價值變動損失-3 0 0 0 其他流動資產 1

89、10 110 110 110 財務費用 38 28 28 28 流動資產合計流動資產合計 4,417 5,069 5,617 6,835 投資損失-12 0 0 0 可供出售金融資產 運營資本變動-438-200-347-562 長期投資凈額 11 11 11 11 其他 6 0 0 0 固定資產 1,065 1,164 1,224 1,160 經營活動經營活動凈凈現金流現金流量量-22 327 381 363 無形資產 139 139 139 139 投資活動投資活動凈凈現金流現金流量量-1,938-201-201-1 商譽 0 0 0 0 融資活動融資活動凈凈現金流現金流量量 3,637-

90、28-28-28 非非流動資產合計流動資產合計 2,223 2,260 2,272 2,069 企業自由現金流企業自由現金流-1,889 88 141 319 資產總計資產總計 6,640 7,329 7,889 8,904 短期借款 65 65 65 65 應付款項 605 928 929 1,200 財務與估值指標財務與估值指標 2022A 2023E 2024E 2025E 預收款項 0 0 0 0 每股指標每股指標 一年內到期的非流動負債 15 15 15 15 每股收益（元）1.45 1.60 2.44 3.31 流動負債合計流動負債合計 845 1,199 1,248 1,571

91、每股凈資產（元）22.22 23.82 26.26 29.57 長期借款 519 519 519 519 每股經營性現金流量（元）-0.11 1.56 1.82 1.73 其他長期負債 507 507 507 507 成長性指標成長性指標 長期負債合計長期負債合計 1,027 1,027 1,027 1,027 營業收入增長率 83.2%37.7%53.1%37.1%負債合計負債合計 1,872 2,226 2,275 2,598 凈利潤增長率 94.2%36.3%52.5%35.7%歸屬于母公司股東權益合計 4,645 4,980 5,490 6,183 盈利能力指標盈利能力指標 少數股東權

92、益 124 124 124 124 毛利率 32.7%31.7%31.5%31.3%負債和股東權益總計負債和股東權益總計 6,640 7,329 7,889 8,904 凈利潤率 15.9%15.7%15.7%15.5%運營效率指標運營效率指標 利潤表（百萬元）利潤表（百萬元）2022A 2023E 2024E 2025E 應收賬款周轉天數 101.89 110.00 100.00 100.00 營業收入營業收入 1,544 2,127 3,256 4,464 存貨周轉天數 136.56 170.00 140.00 130.00 營業成本 1,040 1,453 2,229 3,066 償債能

93、力指標償債能力指標 營業稅金及附加 7 11 16 22 資產負債率 28.2%30.4%28.8%29.2%資產減值損失-16 0 0 0 流動比率 5.23 4.23 4.50 4.35 銷售費用 29 43 65 89 速動比率 4.42 3.40 3.64 3.38 管理費用 111 166 247 335 費用率指標費用率指標 財務費用 17-12-13-17 銷售費用率 1.9%2.0%2.0%2.0%公允價值變動凈收益 3 0 0 0 管理費用率7.2%7.8%7.6%7.5%投資凈收益 12 0 0 0 財務費用率1.1%-0.5%-0.4%-0.4%營業利潤營業利潤 273

94、360 549 745 分紅指標分紅指標 營業外收支凈額-6 0 0 0 股息收益率 0.7%0.0%0.0%0.0%利潤總額利潤總額 267 360 549 745 估值指標估值指標 所得稅 33 25 38 52 P/E（倍）74.56 62.39 40.92 30.16 凈利潤 235 335 510 692 P/B（倍）4.87 4.19 3.80 3.38 歸屬于母公司凈利潤歸屬于母公司凈利潤 246 335 510 692 P/S（倍）14.63 9.82 6.41 4.68 少數股東損益-11 0 0 0 凈資產收益率 12.2%6.7%9.3%11.2%資料來源：東北證券 請務

95、必閱讀正文后的聲明及說明請務必閱讀正文后的聲明及說明 31/32 富創精密富創精密/公司深度公司深度 研究團隊簡介：研究團隊簡介：Table_Introduction李玖：北京大學光學博士，北京大學國家發展研究院經濟學學士（雙學位），電子科技大學本科，曾任華為海思高級工程師、光峰科技博士后研究員，具有三年產業經驗，2019 年加入東北證券，現任電子行業首席分析師。武芃睿：英國南安普頓大學光電研究中心碩士，華中科技大學光電信息本科，武漢大學工商管理學士（雙學位）。曾任華為和上海微電子光電工程師，具有三年產業經驗，2020 年加入東北證券，現任電子行業高級分析師。韋松嶺：上海財經大學本科，澳大利亞

96、國立大學碩士，2021 年加入東北證券，現任機械行業研究助理，研究方向為機床、刀具等領域。分析師聲明分析師聲明 作者具有中國證券業協會授予的證券投資咨詢執業資格，并在中國證券業協會注冊登記為證券分析師。本報告遵循合規、客觀、專業、審慎的制作原則，所采用數據、資料的來源合法合規，文字闡述反映了作者的真實觀點，報告結論未受任何第三方的授意或影響，特此聲明。投資投資評級說明評級說明 股票 投資 評級 說明 買入 未來 6 個月內，股價漲幅超越市場基準 15%以上。投資評級中所涉及的市場基準：A 股市場以滬深 300 指數為市場基準，新三板市場以三板成指（針對協議轉讓標的）或三板做市指數（針對做市轉讓

97、標的）為市場基準；香港市場以摩根士丹利中國指數為市場基準；美國市場以納斯達克綜合指數或標普 500指數為市場基準。增持 未來 6 個月內，股價漲幅超越市場基準 5%至 15%之間。中性 未來 6 個月內，股價漲幅介于市場基準-5%至 5%之間。減持 未來 6 個月內，股價漲幅落后市場基準 5%至 15%之間。賣出 未來 6 個月內，股價漲幅落后市場基準 15%以上。行業 投資 評級 說明 優于大勢 未來 6 個月內，行業指數的收益超越市場基準。同步大勢 未來 6 個月內，行業指數的收益與市場基準持平。落后大勢 未來 6 個月內，行業指數的收益落后于市場基準。請務必閱讀正文后的聲明及說明請務必閱

98、讀正文后的聲明及說明 32/32 富創精密富創精密/公司深度公司深度 重要聲明重要聲明 本報告由東北證券股份有限公司（以下稱“本公司”）制作并僅向本公司客戶發布，本公司不會因任何機構或個人接收到本報告而視其為本公司的當然客戶。本公司具有中國證監會核準的證券投資咨詢業務資格。本報告中的信息均來源于公開資料，本公司對這些信息的準確性和完整性不作任何保證。報告中的內容和意見僅反映本公司于發布本報告當日的判斷，不保證所包含的內容和意見不發生變化。本報告僅供參考，并不構成對所述證券買賣的出價或征價。在任何情況下，本報告中的信息或所表述的意見均不構成對任何人的證券買賣建議。本公司及其雇員不承諾投資者一定獲

99、利，不與投資者分享投資收益，在任何情況下，我公司及其雇員對任何人使用本報告及其內容所引發的任何直接或間接損失概不負責。本公司或其關聯機構可能會持有本報告中涉及到的公司所發行的證券頭寸并進行交易，并在法律許可的情況下不進行披露；可能為這些公司提供或爭取提供投資銀行業務、財務顧問等相關服務。本報告版權歸本公司所有。未經本公司書面許可，任何機構和個人不得以任何形式翻版、復制、發表或引用。如征得本公司同意進行引用、刊發的，須在本公司允許的范圍內使用，并注明本報告的發布人和發布日期，提示使用本報告的風險。若本公司客戶（以下稱“該客戶”）向第三方發送本報告，則由該客戶獨自為此發送行為負責。提醒通過此途徑獲得本報告的投資者注意，本公司不對通過此種途徑獲得本報告所引起的任何損失承擔任何責任。Table_Sales地址地址 郵編郵編 中國吉林省長春市生態大街 6666 號 130119 中國北京市西城區錦什坊街 28 號恒奧中心 D 座 100033 中國上海市浦東新區楊高南路 799 號陸家嘴世紀金融廣場 3 號樓 10 層 200127 中國深圳市福田區福中三路 1006 號諾德中心 34D 518038 中國廣東省廣州市天河區冼村街道黃埔大道西 122 號之二星輝中心 15 樓 510630