基礎化工行業深度報告：電子特氣迎風起國產替代正當時-230518（40頁）.pdf

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1、基礎化工基礎化工 請務必參閱正文后面的信息披露和法律聲明 1/40 基礎化工基礎化工 2023 年 05 月 18 日 投資評級：投資評級：看好看好（維持維持）行業走勢圖行業走勢圖 數據來源：聚源 基礎化工繁星落地，靜待花開行業投資策略-2023.5.15 2022 年化工業績短期承壓，2023 年或將底部反彈行業深度報告-2023.5.15 電子產品朝高集成化發展，導熱材料 需 求 空 間 廣 闊 行 業 周 報-2023.5.14 電子特氣迎風起，電子特氣迎風起，國產替代正當時國產替代正當時 行業深度報告行業深度報告 金益騰（分析師）金益騰（分析師）蔣跨躍（聯系人）蔣跨躍（聯系人）徐正鳳（

2、聯系人）徐正鳳（聯系人） 證書編號：S0790520020002 證書編號：S0790122010041 證書編號：S0790122070041 電子特氣：電子特氣：半導體材料的“糧食”半導體材料的“糧食”與與“源”“源”工業中，把常溫常壓下呈氣態的產品統稱為工業氣體產品。根據應用領域的不同，工業氣體被分為大宗氣體與特種氣體，特種氣體又可以被分為電子特種氣體以及醫療氣體、激光氣體、食品氣體等非電子特種氣體。其中，電子電子特種氣體特種氣體在電子在電子產品制程中廣泛應用于刻蝕、清洗、氣相沉積、摻雜等工藝，被稱為集成電路、產品制程中廣泛應用于刻蝕、清洗、氣相沉積、摻雜等工藝，被稱為集成電路、液晶面板

3、、液晶面板、LED 及光伏等半導體材料的“糧食”和“源”。及光伏等半導體材料的“糧食”和“源”。供給端：供給端：國內電子特氣受制于人，國產替代亟待加速國內電子特氣受制于人，國產替代亟待加速 電子特氣生產的核心壁壘在于：（電子特氣生產的核心壁壘在于：（1）技術：）技術：電子特氣種類繁多，生產涉及合成、純化、分離、混配、充裝、分析檢測、氣瓶處理等多項技術，對生產企業的技術實力要求較高。（2）認證：）認證：電子特氣下游為集成電路、顯示面板等大型廠商，通常采用認證采購的方式，電子特氣產品需經過多輪嚴格認證，且認證周期較長。（3）資質）資質：由于氣體具有易燃易爆、易致窒息等特點，國內政府將工業氣體作為危

4、險化學品納入監管，相關監管政策十分嚴苛。競爭格局方面，競爭格局方面，國內電子特氣產業起步較晚，當前國內市場份額多被空氣化工等海外企業占據，截至 2020 年國產化率不足 15%，國產替代亟待加速。展望未來展望未來，伴隨伴隨國家國家相關相關產業支持政產業支持政策策的陸續出臺的陸續出臺，電子特氣電子特氣國產化率有望持續提高。國產化率有望持續提高。需求端：需求端：三大應用領域齊頭并進，下游需求加速釋放三大應用領域齊頭并進，下游需求加速釋放 根據根據 TECHCET 及觀研天下數據，預計及觀研天下數據，預計 2025 年全球電子特氣市場規模年全球電子特氣市場規模將將達到達到60.23 億億美美元，元，

5、2022-2025 年年 CAGR 達到達到 6.39%；同時；同時預計預計 2024 年年國內電子特國內電子特氣市場規模氣市場規模將將達到達到 230 億元，億元，2022-2024 年年 CAGR 達到達到 10.31%。具體來看：。具體來看：（1）集成電路：集成電路：2022Q2 以來，受終端需求疲軟及庫存調整等因素影響，半導體行業景氣度持續下滑。根據 IDC 數據，2023 年全球半導體行業市場規模預計將同比下降 5.3%。但是分季度來看，IDC 預計 2023H1 或是半導體行業景氣低點，2023H2 開始半導體行業景氣度有望逐季改善。同時，從中長期來看，IDC 預計2021-202

6、5 年全球半導體行業市場規模將由 5840 億美元提升至 7260 億美元，CAGR 達到 4.5%。此外，AI 產業快速拓展，相應的算力芯片、存儲芯片等芯片需求有望快速增長，也或將為電子特氣需求貢獻重要增量。（2）顯示面板顯示面板：根據Omdia 數據，2021 年全球顯示面板出貨面積合計 2.6 億平方米，預計 2028 年將達到 3.18 億平方米，2021-2028 年 CAGR 達到 2.92%。同時，分類型來看，2021年 AMOLED 面板出貨面積約 1421 萬平方米，占比 5%，預計 2028 年將達到 2878萬平方米，占比提升至 9%，2021-2028 年 CAGR 達

7、到 10.61%。未來伴隨顯示面板出貨面積的逐步提升以及 AMOLED 滲透率的持續提高，電子特氣需求有望繼續維持穩步增長。（3）光伏：光伏：CPIA 預計 2023 年全球光伏新增裝機量將達到280-330GW，其中國內光伏新增裝機量將達到 95-120GW。隨著上游原材料硅料價格的逐步下降，光伏終端需求有望加速釋放，上游電子特氣也或將充分受益。受益標的：受益標的：中船特氣、華特氣體、金宏氣體、昊華科技、凱美特氣、和遠氣體。風險提示：風險提示：國產替代不及預期、原材料價格大幅波動、下游需求大幅下滑等。-19%-10%0%10%19%2022-052022-092023-012023-05基礎

8、化工滬深300相關研究報告相關研究報告 開源證券開源證券 證券研究報告證券研究報告 行業深度報告行業深度報告 行業研究行業研究 行業深度報告行業深度報告 請務必參閱正文后面的信息披露和法律聲明 2/40 目目 錄錄 1、電子特氣：氣體領域的璀璨明珠.5 1.1、工業氣體應用領域廣泛，可分為大宗氣體與特種氣體.5 1.2、電子特氣產品高端，被稱為半導體材料的“糧食”與“源”.6 2、供給：國內電子特氣受制于人，國產替代亟待加速.7 2.1、電子特氣生產工藝復雜、客戶認證壁壘深厚.7 2.1.1、電子特氣工藝復雜，氣體純化與混配為核心工藝.7 2.1.2、電子特氣下游認證周期較長，行業準入難度較大

9、.9 2.1.3、電子特氣生產涉及資質壁壘，監管政策嚴格.9 2.2、電子特氣呈海外寡頭壟斷格局，國產化率仍有較大提升空間.10 2.3、支持政策相繼出臺，促進國內電子特氣產業發蓬勃發展.12 3、需求：需求驅動成長，未來前景可期.13 3.1、電子特氣主要用于集成電路、顯示面板等領域，市場規模持續增長.13 3.2、三大應用領域齊頭并進，下游需求加速釋放.14 3.2.1、集成電路：半導體行業周期底部將至，AI 需求或將貢獻重要增量.14 3.2.2、顯示面板：出貨面積提升與產品結構升級共振，助力電子特氣需求增長.18 3.2.3、光伏：新增裝機規模持續擴張，有望進一步拉動電子特氣需求.20

10、 4、受益標的.21 4.1、中船特氣：電子特氣行業龍頭，正式登陸資本市場.21 4.2、華特氣體：特氣行業領跑者，2022 年業績高速增長.23 4.3、金宏氣體：氣體綜合供應商，電子特氣與電子大宗氣體齊頭并進.25 4.4、昊華科技：央企材料平臺，老牌電子特氣供應商.31 4.5、凱美特氣：食品級二氧化碳龍頭，積極進軍電子特氣領域.32 4.6、和遠氣體：潛江與宜昌兩大基地齊頭并進，持續加碼電子特氣業務.35 5、風險提示.38 圖表目錄圖表目錄 圖 1：工業氣體產業鏈上游為原材料與設備.5 圖 2：根據供應模式的不同，工業氣體經營模式可以分為零售供氣和現場供氣.6 圖 3：氣體純化為電子

11、特氣生產的核心工藝之一.8 圖 4：氣體混配為電子特氣生產的核心工藝之一.8 圖 5：電子特氣下游客戶為集成電路、顯示面板等行業的大型廠商.9 圖 6：2021 年全球電子特氣呈現海外寡頭壟斷格局.10 圖 7：2020 年國內電子特氣國產化率不足 15%.10 圖 8：2021 年化學與能源為林德集團貢獻 21%的收入.11 圖 9：2021 年美洲地區為林德集團貢獻 39%的收入.11 圖 10：電子特氣下游主要為集成電路、顯示面板、半導體照明、光伏等領域.13 圖 11：2021 年集成電路領域占全球電子特氣需求 71%.13 圖 12：2021 年集成電路領域占國內電子特氣需求 42%

12、.13 圖 13：預計 2025 年全球電子特氣市場規模 60 億美元.14 圖 14：預計 2024 年國內電子特氣市場規模為 230 億元.14 圖 15：電子特氣為晶圓制造過程中的第二大耗材.15 EYhU3UlX9YEYkZ0XmUfWbRbPaQoMqQnPoNfQqQnQkPmNxO7NqQuNNZmQpRNZnNmR行業深度報告行業深度報告 請務必參閱正文后面的信息披露和法律聲明 3/40 圖 16：電子特氣可用于硅片清洗等工藝流程.15 圖 17：在集成電路領域，刻蝕用氣占比 36%.15 圖 18：電子特氣主要用于沉積、光刻、刻蝕、摻雜等工藝.16 圖 19：IDC 預計半導

13、體行業景氣度將從 2023H2 開始回升.17 圖 20：IDC 預計 2021-2025 年全球半導體行業市場規模 CAGR 為 4.5%.17 圖 21：AI 產業鏈包括基礎層、技術層與應用層.18 圖 22：顯示面板所用電子特氣以三氟化氮、硅烷為主.18 圖 23：顯示面板所用電子大宗氣體以氮氣、氦氣為主.18 圖 24：平板顯示的主流技術包括 TFT-LCD 與 AMOLED.19 圖 25：預計 2021-2028 年 AMOLED 出貨面積 CAGR 達到 10.61%.20 圖 26：2022 年全球光伏新增裝機 230GW.21 圖 27：2022 年國內光伏新增裝機 87.4

14、GW.21 圖 28：2022 年公司歸母凈利潤同比增長 7.92%.22 圖 29：2022H1 集成電路與顯示面板行業營收占比分別達到 54%、33%（億元）.23 圖 30：2022H1 公司電子特氣營收占比 90%（億元）.23 圖 31：2022H1 公司電子特氣毛利占比 89%（億元）.23 圖 32：2022 年公司歸母凈利潤同比增長 59.48%.25 圖 33：2022 年公司電子特氣營收占比 73%（億元）.25 圖 34：2022 年公司電子特氣毛利占比 84%（億元）.25 圖 35：2022 年公司營業收入同比增長 12.97%.29 圖 36：2022 年公司歸母凈

15、利潤同比增長 37.14%.29 圖 37：2022 年公司特種氣體營收占比 38%（億元）.29 圖 38：2022 年公司特種氣體毛利占比 44%（億元）.29 圖 39：2022 年半導體行業營收占比 19%（億元）.30 圖 40：2022 年半導體行業毛利占比 24%（億元）.30 圖 41：2022 年公司歸母凈利潤同比增長 30.67%.31 圖 42：2022 年公司化工材料營收占比 36%（億元）.32 圖 43：2022 年公司化工材料毛利占比 52%（億元）.32 圖 44：2022 年公司歸母凈利潤同比增長 19.25%.34 圖 45：2022 年公司特種氣體營收占比

16、 30.3%（億元）.35 圖 46：2022 年公司特種氣體毛利占比 39.4%（億元）.35 圖 47：2022 年公司歸母凈利潤同比下降 16.69%.37 圖 48：2022 年公司特種氣體營收占比為 7%（億元）.38 表 1：根據應用領域的不同，工業氣體可以被分為大宗氣體與特種氣體.5 表 2：工業氣體的供應模式與供應規模、供應半徑、合同期等方面息息相關.6 表 3：電子特氣可用于集成電路、液晶面板、LED 及光伏等領域.7 表 4：電子特氣生產涉及純化、合成、分離等多項技術.7 表 5：電子特氣生產涉及資質壁壘，監管政策嚴格.9 表 6：海外電子特氣生產企業業務多元，客戶布局遍布

17、全球.11 表 7：國內電子特氣生產企業已在部分細分領域實現國產替代.11 表 8：作為關鍵性電子材料，電子特氣是政策鼓勵與支持的重點方向.12 表 9：2021 年全球排名前十的電子特氣市場規模合計達到 25.37 億元.14 表 10：相較于 TFT-LCD，AMOLED 使用的特氣種類更多.20 表 11：中船特氣電子特氣產品主要包括高純三氟化氮、高純六氟化鎢等.21 行業深度報告行業深度報告 請務必參閱正文后面的信息披露和法律聲明 4/40 表 12：中船特氣含氟新材料產品主要包括三氟甲磺酸等.22 表 13：中船特氣電子特氣產品的客戶以集成電路和顯示面板行業為主.22 表 14：公司

18、主營業務涵蓋特種氣體、普通工業氣體與相關氣體設備與工程.24 表 15：公司產品獲得下游一線知名客戶的廣泛認可.24 表 16：金宏氣體主營業務涵蓋特種氣體、大宗氣體和天然氣三大類.26 表 17：金宏氣體特氣客戶涵蓋集成電路、液晶面板、LED、光伏等領域.27 表 18：金宏氣體在半導體領域的營收主要由電子特氣貢獻，2019 年占比達到 77%.30 表 19：公司高純食品級液體二氧化碳現有產能為 56 萬噸/年.32 表 20：公司岳陽電子特種稀有氣體項目于 2020 年 7 月正式投產.33 表 21：公司光刻氣產品被列入 ASML 子公司 Cymer 公司的合格供應商名單.34 表 2

19、2：和遠氣體積極布局電子特氣業務.36 表 23：公司客戶分布于食品飲料、家電、汽車等領域.37 表 24：受益標的盈利預測.38 行業深度報告行業深度報告 請務必參閱正文后面的信息披露和法律聲明 5/40 1、電子特氣：電子特氣：氣體領域的璀璨明珠氣體領域的璀璨明珠 1.1、工業氣體工業氣體應用領域廣泛，應用領域廣泛，可分為可分為大宗氣體與特種氣體大宗氣體與特種氣體 工業氣體應用領域廣泛，被喻為工業氣體應用領域廣泛，被喻為“工業的血液”“工業的血液”。工業中，把常溫常壓下呈氣態的產品統稱為工業氣體產品。作為現代工業的基礎原材料，工業氣體應用領域十分廣泛，既包含戰略新興和國計民生行業，如集成電

20、路、液晶面板、LED、光纖通信、光伏、醫療健康、節能環保、新材料、新能源、高端裝備制造、食品等領域，也涉及如冶金、化工、機械制造等傳統行業。從產業鏈來看，工業氣體分為產業鏈分為上、中、下游三個環節。從產業鏈來看，工業氣體分為產業鏈分為上、中、下游三個環節。其中，上游環節主要為原材料（空氣、工業廢氣、基礎化學原料）與設備（氣體分離及純化設備、壓力容器設備等）、中游環節為工業氣體的制備（包括大宗氣體與特種氣體）、下游環節為眾多終端應用領域。圖圖1：工業氣體產業鏈工業氣體產業鏈上游為原材料與設備上游為原材料與設備 資料來源：華特氣體招股說明書、金宏氣體招股說明書、開源證券研究所 根據應用領域的不同，

21、工業氣體可以根據應用領域的不同，工業氣體可以被被分為大宗氣體分為大宗氣體與與特種氣體。特種氣體。其中，大宗氣體又可以分為電子大宗氣體（用于環境氣、保護氣與載體）與非電子大宗氣體（用于冶金、化工、機械加工等），而特種氣體則主要包括電子特種氣體以及醫療氣體、激光氣體、食品氣體等非電子特種氣體。表表1：根據應用領域的不同，工業氣體可以被分為大宗氣體與特種氣體根據應用領域的不同，工業氣體可以被分為大宗氣體與特種氣體 分類分類 細分領域細分領域 終端應用領域終端應用領域 主要產品主要產品 大宗氣體 電子大宗氣體 集成電路、液晶面板、LED、光伏等 氧、氮、氬、二氧化碳等 非電子大宗氣體 冶金、化工、機械

22、加工、家電照明等 氧、氮、氬、工業氨等 特種氣體 電子特種氣體 集成電路、液晶面板、LED、光伏等 高純四氟化碳、高純六氟乙烷、氪氖混合氣、氟氖混合氣、高純氨、硅烷、乙硼烷、三氯化硼、磷烷等 非電子特種氣體 醫療、激光、食品、電光源等 醫用氧、血氣測定氣、氦氖激光氣、密封束激光氣、二氧化碳、氬、氪、氖、氙及其混合氣等 資料來源：華特氣體招股說明書、金宏氣體招股說明書、開源證券研究所 空氣工業廢氣上游原材料與設備基礎化學原料中游工業氣體下游終端應用領域氣體分離及純化設備壓力容器設備工業氣體大宗氣體特種氣體非電子大宗氣體電子大宗氣體電子特種氣體非電子特種氣體原材料設備冶金、化工、機械加工等集成電路

23、、液晶面板、LED、光伏等醫療、食品、激光等行業深度報告行業深度報告 請務必參閱正文后面的信息披露和法律聲明 6/40 根據根據供應供應模式的不同，工業氣體經營模式可以分為零售供氣和現場供氣。模式的不同，工業氣體經營模式可以分為零售供氣和現場供氣。零售供氣模式下，供應商通過采購、提純、分裝等工藝加工后向客戶配送銷售瓶裝供氣和儲槽氣；現場供應模式下，氣體供應商一般在客戶生產工廠附近修建氣體工廠，通過管道供氣，供應商擁有并為客戶運營該工廠。圖圖2：根據供應模式的不同，工業氣體經營模式可以分為零售供氣和現場供氣根據供應模式的不同，工業氣體經營模式可以分為零售供氣和現場供氣 資料來源：金宏氣體招股說明

24、書 表表2：工業氣體的工業氣體的供應模式供應模式與供應規模、供應半徑、合同期等方面息息相關與供應規模、供應半徑、合同期等方面息息相關 業務模式業務模式 盈利模式盈利模式 規模規模 供應供應半徑半徑 合同期合同期 特點特點 客戶群客戶群體體 零售供氣 瓶裝氣 根據需要隨時送達客戶端 小批量 特種氣體不受運輸半徑限制；大宗氣體覆蓋充氣站半徑 50km 左右 1-3 年 客戶分布廣泛；高度網絡密集型；看重配送和交付能力 行業不限 儲槽氣 通過低溫槽車送達客戶端，將低溫液體產品儲存在客戶現場的儲槽中，供客戶規模要求自行氣化使用 中等規模 200km 左右 3-5 年 要求客戶關系和配送能力，易受市場影

25、響 電子半導體、化工、機械制造、食品、醫療健康 現場供氣 在客戶端建造現場制氣裝置通過管網供應氣體 大規模-10-20 年 資本密集，服務要求高；技術和客戶關系穩定；盈利能力持續性強，現金流穩定 化工、煉油、電子半導體、冶金 資料來源：金宏氣體招股說明書、開源證券研究所 1.2、電子特氣電子特氣產品高端，被稱為半導體材料的“糧食產品高端，被稱為半導體材料的“糧食”與“源”與“源”電子特氣作為特種氣體的一種，在電子產品制程中廣泛應用于刻蝕、清洗、氣相沉積、摻雜等工藝，被稱為集成電路、液晶面板、LED 及光伏等半導體材料的“糧食”和“源”。相較于一般的工業氣體，電子特氣對氣體的純度、質量穩定性與一

26、致性、包裝容器等要求更高。例如在純度方面，普通工業氣體要求在 99.99%左右，但是在先進制程的集成電路制造過程中，氣體純度要求通常在 5N（99.999%）以上。行業深度報告行業深度報告 請務必參閱正文后面的信息披露和法律聲明 7/40 表表3：電子特氣可用于電子特氣可用于集成電路、液晶面板、集成電路、液晶面板、LED 及光伏等及光伏等領域領域 應用行業應用行業 主要用途主要用途 主要氣體主要氣體 集成電路 成膜 六氟化鎢（WF6）、四氟化硅（SiF4）、乙炔（C2H2）、丙烯（C3H6）、氘氣（D2）、乙烯（C2H4）、硅烷（SiH4）、氧氬混合氣（Ar/O2）、氘代氨（ND3）等 光刻

27、氟氪氖（F2/Kr/Ne）、氪氖（Kr/Ne）等混合氣 刻蝕、清洗 三氟化氮（NF3）、六氟乙烷（C2F6）、八氟丙烷（C3F8）、八氟環丁烷（C4F8）、六氟丁二烯（C4F6）、氟化氫（HF）、氯化氫（HCl）、氧氦（O2/He）、氯氣（Cl2）、氟氣（F2）、溴化氫（HBr）、六氟化硫（SF6）等 離子注入 砷烷（AsH3）、磷烷（PH3）、四氟化鍺（GeF4）、三氟化硼（11BF3）等 其他 六氯乙硅烷（Si2Cl6）、六氯化鎢（WCl6）、四氯化鈦（TiCl4）、四氯化鉿（HfCl4）、四乙氧基硅（Si（OC2H5）4）等 顯示面板 成膜、清洗等 三氟化氮（NF3）、硅烷（SiH4）、

28、氨氣（NH3）、笑氣（N2O）、氧氬混合氣（Ar/O2）、氯化氫氫氖混合氣（HCl/H2/Ne）半導體照明 外延 砷烷（AsH3）、磷烷（PH3）、三氯化硼（BCl3）、氨氣（NH3）等 光伏 沉積、擴散、刻蝕 三氟化氮（NF3）、硅烷（SiH4）、氨氣（NH3）、四氟化碳（CF4）等 資料來源：中船特氣招股說明書、開源證券研究所 2、供給供給：國內電子特氣受制于人，國產替代亟待加速：國內電子特氣受制于人，國產替代亟待加速 2.1、電子特氣生產工藝復雜、客戶認證壁壘深厚電子特氣生產工藝復雜、客戶認證壁壘深厚 2.1.1、電子特氣電子特氣工藝復雜工藝復雜，氣體純化氣體純化與混配與混配為核心為核心

29、工藝工藝 電子特氣生產工藝復雜電子特氣生產工藝復雜、種類繁多、種類繁多，對，對生產生產企業技術實力要求較高。企業技術實力要求較高。從生產工藝看，電子特氣的生產涉及合成、純化、分離、混配、充裝、分析檢測、氣瓶處理等多項技術，生產流程較長、工藝難度較大。同時，電子特氣種類繁多，根據全球半導體協會統計，目前常用的電子氣體純氣有 60 多種、混合氣體有 80 多種。而不同氣體產品的合成、純化等工藝方面也可能存在較大差異，這進一步提高了對于生產企業的技術實力要求。表表4：電子特氣生產涉及電子特氣生產涉及純化、純化、合成、分離合成、分離等多項技術等多項技術 工藝工藝 具體具體介紹介紹 氣體純化 通過精餾、

30、吸附等方式將氣體原材料精制成更高純度的氣體產品 氣體合成 將原材料在特定壓力、溫度、催化劑等條件下，通過化學反應得到氣體產品 空氣分離 利用空氣分離設備，通過低溫精餾等方式分離生產氮氣、氧氣等空分氣體 氣體充裝 以加壓泵（壓縮機）通過自動控制（PLC）連鎖壓力、流量、溫度的方式將產品氣體充填進氣瓶、長管拖車、管束式集裝箱等包裝容器 氣體混配 使平衡氣和各組分氣在分析合格后經管道進入氣體混配裝置，根據客戶需求的混配比例，調節各組分氣及平衡氣的比例進行混合 氣體檢測 將樣品通入分析儀器進行分析，經過電腦數據處理軟件處理后得到樣品分析數據 鋼瓶處理 根據載氣性質及需求的不同，對氣瓶內部、內壁表面及外

31、觀進行處理的過程，以保證氣體存儲、運輸過程中產品的穩定 資料來源：金宏氣體招股說明書、開源證券研究所 行業深度報告行業深度報告 請務必參閱正文后面的信息披露和法律聲明 8/40 氣體純化氣體純化與與氣體氣體混配混配為電子特氣為電子特氣生產的生產的主要主要核心核心工藝工藝：（1）氣體）氣體純化：純化：純度是電子特氣純度是電子特氣產品的核心產品的核心指標之一，直接影響下游產品的良指標之一，直接影響下游產品的良品率和可靠性。品率和可靠性。通常情況下，氣體純度用百分數表示。氣體純化是通過多重高效吸附、精餾等方式，對氣體原料中的水分、空氣、金屬離子、顆粒物等雜質進行去除，將氣體純度提至 5N（99.99

32、9%）、6N（99.9999%）乃至 7N（99.99999%）?，F階段，伴隨集成電路制造工藝的快速升級，對電子特氣的純度等性能要求也在持續提高。圖圖3：氣體純化為電子特氣生產的核心工藝氣體純化為電子特氣生產的核心工藝之一之一 資料來源：金宏氣體招股說明書 （2）氣體）氣體混配：混配：氣體混配是指根據不同需求，運用重量法、分壓法、動態體積法等方法，將兩種或兩種以上組分的氣體按照特定比例混合，對配制過程的累計誤對配制過程的累計誤差控制、配制精度、配制過程的雜質控制等均有差控制、配制精度、配制過程的雜質控制等均有非常非常高要求高要求。對于混合氣而言，配比的精度是核心參數，隨著產品組分的增加、配制精

33、度的上升，常要求氣體供應商能夠對多種 ppm（10-6）乃至 ppb（10-9）級濃度的氣體組分進行精細操作，其配制過程的難度與復雜程度也顯著增大。圖圖4：氣體混配氣體混配為電子特氣生產的核心工藝為電子特氣生產的核心工藝之一之一 資料來源：金宏氣體招股說明書 行業深度報告行業深度報告 請務必參閱正文后面的信息披露和法律聲明 9/40 2.1.2、電子特氣下游認證周期較長，電子特氣下游認證周期較長，行業行業準入難度較大準入難度較大 電子特氣下游電子特氣下游認證認證周期較長，周期較長，準入準入難度較大。難度較大。電子特氣下游企業主要為集成電路、顯示面板等行業的大型廠商，其對電子特氣的產品質量與供應

34、穩定性等方面的要求非常嚴格，通常采用認證采購的方式。在進入下游客戶供應鏈體系過程中，電子特氣企業需要經過審廠、產品認證等多輪嚴格的審核認證，且由于必須對產品的穩定度進行驗證，認證周期也相對較長。其中，光伏領域客戶認證時間約 0.5-1 年，顯示面板領域約為 1-2 年，集成電路領域客戶最長的認證時間甚至需要 3 年。與此同時，為了保障原料的供應及質量穩定性，下游大型廠商在確定電子特氣供應商以后，一般不會輕易更換供應商。整體來看，由于電子特氣下游客戶粘性較強，對于新進入者而言，這進一步提高了行業準入門檻。圖圖5：電子特氣下游客戶為集成電路、顯示面板等行業的大型廠商電子特氣下游客戶為集成電路、顯示

35、面板等行業的大型廠商 資料來源：各公司官網 2.1.3、電子特氣電子特氣生產生產涉及涉及資質壁壘資質壁壘，監管政策嚴格，監管政策嚴格 由于氣體由于氣體具有具有易燃易爆易燃易爆、易易致致窒息等特點，窒息等特點，國內國內政府政府將將工業氣體作為危險化學工業氣體作為危險化學品納入監管，品納入監管，因此因此工業氣體的生產、充裝、儲存、運輸、經營等工業氣體的生產、充裝、儲存、運輸、經營等方面方面都都具有具有嚴格的嚴格的規定。規定。近年來國家環保部、安全生產監管總局、工信部等多個國家部門對?；髽I的生產經營、?；返牡缆愤\輸監管日益趨嚴，要求相關企業嚴格執行包括環境保護法、危險化學品安全生產“十二五”規劃

36、等法律條例，已在全國范圍內督促多家?；髽I整改、搬遷或關停。此外，行業內企業在新的區域開展工業氣體業務需要向安全生產監督管理、質量技術監督管理、食品藥品監督管理等政府部門申請相應的許可證書，從而形成較高的資質壁壘。表表5：電子電子特氣特氣生產生產涉及資質壁壘，監管政策嚴格涉及資質壁壘，監管政策嚴格 經營內容經營內容 序號序號 法律法規法律法規 主要許可及資質證書主要許可及資質證書 氣體生產 1 中華人民共和國安全生產法 安全生產許可證、排污許可證（或登記）2 中華人民共和國消防法 3 危險化學品安全管理條例 行業深度報告行業深度報告 請務必參閱正文后面的信息披露和法律聲明 10/40 4 中華

37、人民共和國產品質量法 5 中華人民共和國環境保護法 6 危險化學品生產企業安全生產許可證實施辦法 7 危險化學品重大危險源監督管理暫行規定 8 排污許可管理辦法（試行）氣體經營 9 危險化學品經營許可證管理辦法 危險化學品經營許可證、危險化學品登記證 10 危險化學品登記管理辦法 11 道路危險貨物運輸管理規定 12 危險貨物道路運輸安全管理辦法 氣體充裝及氣瓶使用 13 特種設備生產和充裝單位許可規則 氣瓶充裝許可證、移動式壓力容器充裝許可證 14 特種設備使用管理規則 15 特種設備安全監察條例 資料來源：中船特氣招股說明書、開源證券研究所 2.2、電子特氣電子特氣呈海外寡頭壟斷格局呈海外

38、寡頭壟斷格局，國產化率仍有較大提升空間國產化率仍有較大提升空間 全球電子特氣呈現海外寡頭壟斷格局全球電子特氣呈現海外寡頭壟斷格局，2020 年國產化率不足年國產化率不足 15%。根據觀研天下數據，2021 年全球電子特氣市場份額中，空氣化工、林德集團、液化空氣與太陽日酸占比分別達到 25%、25%、23%、18%，合計占比超過 90%。國內方面，國內方面，由于國內電子特氣產業起步較晚，在技術上與國外企業具有一定差距，當前仍以進口為主，截至 2020 年國產化率不足 15%。以集成電路領域為例，根據中國工業氣體工業協會數據，現階段集成電路所用的電子特氣中，我國僅能生產約 20%的品種，其余品種均

39、依賴進口。圖圖6：2021 年年全球電子特氣全球電子特氣呈現呈現海外寡頭壟斷格局海外寡頭壟斷格局 圖圖7：2020 年國內電子特氣國產化率不足年國內電子特氣國產化率不足 15%數據來源：觀研天下、開源證券研究所 數據來源：智研咨詢、開源證券研究所 海外海外電子特氣電子特氣生產生產企業企業業務多元業務多元，客戶客戶布局遍布全球。布局遍布全球。海外電子特氣產業歷史悠久，主要生產企業的創立最早可以追溯至 20 世紀初前后。同時從業務與客戶布局來看，海外企業多為綜合性工業氣體供應商，產品涵蓋普通的大宗氣體與各類特種氣體，下游客戶布局遍布全球。以林德集團為例，以林德集團為例，2021 年林德集團銷售收入

40、 308 億美元，同比增長 13%。按終端應用領域劃分，化學與能源、醫療健康、制造業、金屬與開采、食品飲料、電子空氣化工,25%林德集團,25%液化空氣,23%太陽日酸,18%其他,9%空氣化工林德集團液化空氣太陽日酸其他空氣化工,24.8%林德集團,22.6%液化空氣,22.3%太陽日酸,16.1%其他,14.2%空氣化工林德集團液化空氣太陽日酸其他行業深度報告行業深度報告 請務必參閱正文后面的信息披露和法律聲明 11/40 產品領域貢獻分別占比 21%、19%、19%、13%、10%、8%。按地區劃分，美洲地區、EMEA（歐洲、中東與非洲）、APAC（亞太地區）收入占比分別達到 39%、1

41、9%、19%。表表6：海外電子特氣海外電子特氣生產生產企業業務多元，客戶布局遍布全球企業業務多元，客戶布局遍布全球 企業名稱企業名稱 基本情況介紹基本情況介紹 主要產品主要產品 下游應用領域下游應用領域 林德集團 1879 年成立于英國，1992 年在紐交所上市，2018 年與氣體行業巨頭普萊克斯合并，成為全球最大的工業氣體供應商。林德集團氣體業務遍布全球，也是最早進入中國的、布局最多的氣體行業外資巨頭，亞太市場也是其增長最快的市場。氧氣、氮氣、氬氣、稀有氣體、碳氧化物、氦氣、氫氣等 化學品與能源、食品飲料、醫療健康、制造業、金屬與開采、電子產品等 液化空氣 1902 年成立于法國巴黎，200

42、7 年在巴黎股票市場上市，在林德集團與普萊克斯合并前是全球市值最大的氣體供應商。液化空氣氣體業務遍布全球。氧氣、氮氣、氬氣、氫氣、一氧化氮等 冶金、化工、能源、汽車、制造業、食品、醫藥、科技等 空氣化工 1940 年成立于美國賓州，1980 年在紐交所上市，是全球第三大氣體供應商?？辗謿怏w、特種氣體、氣體設備等 煉油、化工、金屬、電子、制造、食品飲料等 太陽日酸 1910 年成立于日本東京，2001 年在東京證券交易所上市。大陽日酸主要在日本、中國、韓國、澳大利亞、美國等亞太地區和歐洲地區生產及銷售工業氣體產品。氧氣、氮氣和氬氣等氣體產品 鋼鐵、化工、電子、汽車、建筑、造船和食品等 資料來源：

43、金宏氣體招股說明書、各公司官網、開源證券研究所 圖圖8：2021 年化學與能源為林德集團貢獻年化學與能源為林德集團貢獻 21%的收入的收入 圖圖9：2021 年美洲地區為林德集團貢獻年美洲地區為林德集團貢獻 39%的收入的收入 數據來源：林德集團公司官網、開源證券研究所 數據來源：林德集團公司官網、開源證券研究所 國內電子特氣國內電子特氣產業起步較晚，產業起步較晚，已已在在部分細分領域部分細分領域成功成功實現國產替代實現國產替代。相較于海外氣體公司，國內電子特氣產業起步較晚，相關生產企業由于技術實力較弱，產品品種相對單一、整體產品結構偏中低端。但是經過多年的技術研發與客戶積累，當前各生產企業已

44、經在某些細分產品領域成功實現進口替代并且規?；?。表表7：國內電子特氣生產企業國內電子特氣生產企業已在部分細分領域實現國產替代已在部分細分領域實現國產替代 企業名稱企業名稱 主要主要電子特氣電子特氣產品產品 華特氣體 高純六氟乙烷、高純四氟化碳、高純二氧化碳、高純一氧化碳、光刻氣、高純一氧化氮等 金宏氣體 超純氨、高純氧化亞氮、氦氣、高純氫、高純二氧化碳、硅烷混合氣等 中船特氣 六氟化硫、三氟化氮等 化學與能源,21%醫療健康,19%制造業,19%金屬與開采,13%食品飲料,10%電子產品,8%其他,10%美洲地區,39%EMEA（歐洲、中東與非洲）,19%APAC（亞太地區）,19%林德工

45、程,13%其他地區,10%行業深度報告行業深度報告 請務必參閱正文后面的信息披露和法律聲明 12/40 企業名稱企業名稱 主要主要電子特氣電子特氣產品產品 昊華科技 六氟化硫、三氟化氮等 雅克科技 六氟化硫、四氟化碳等 南大光電 砷烷、磷烷等 綠菱氣體 高純六氟乙烷、高純三氟甲烷、高純八氟環丁烷等 資料來源：金宏氣體招股說明書、開源證券研究所 2.3、支持政策相繼出臺支持政策相繼出臺，促進促進國內電子特氣產業發國內電子特氣產業發蓬勃發展蓬勃發展 電子特氣作為關鍵性電子材料，如今卻面臨國產化率較低、供給受制于人的問題，這對國內集成電路等高端產業的供應鏈安全性與穩定性帶來了較大的挑戰。在此背景下，

46、近年來國家各部委相繼出臺一系列產業支持政策，積極推動電子特氣產業的蓬勃發展。表表8：作為關鍵性電子材料作為關鍵性電子材料，電子特氣是政策鼓勵與支持的重點方向，電子特氣是政策鼓勵與支持的重點方向 序號序號 政策名稱政策名稱 頒布時間頒布時間 頒布單位頒布單位 主要內容主要內容 1 重點新材料首批次應用示范指導目錄（2021 年版）2021.12 工信部 在“113.特種氣體”中列示 33 種特種氣體，對純度等指標提出明確要求 2 新時期促進集成電路產業和軟件產業高質量發展的若干政策 2020.08 國務院 聚焦高端芯片、集成電路裝備和工藝技術、集成電路關鍵材料、集成電路設計工具、基礎軟件、工業軟

47、件、應用軟件的關鍵核心技術研發，不斷探索構建社會主義市場經濟條件下關鍵核心技術攻關新型舉國體制。3 戰略性新興產業分類2018）2018.11 國家統計局 在“1.2.3 高儲能和關鍵電子材料制造”的重點產品和服務中包括了“超高純度氣體外延用原料”，在“3.3.6 專用化學品及材料制造”的重點產品和服務中包括了“電子大宗氣體、電子特種氣體”4 新材料產業發展指南 2017.01 工信部、國家發改委等四部委 在重點任務中提出“加快高純特種電子氣體研發及產業化，解決極大規模集成電路材料制約”5 戰略性新興產業重點產品和服務指導目錄（2016）2017.01 國家發改委 在“1.3.5 關鍵電子材料

48、”中包括“超高純度氣體等外延用原料”6 “十三五”國家戰略性新興產業發展規劃 2016.12 國務院 提出優化新材料產業化及應用環境，提高新材料應用水平，推進新材料融入高端制造供應鏈，到 2020 年力爭使若干新材料品種進入全球供應鏈，重大關鍵材料自給率達到 70%以上 7 國家重點支持的高新技術領域目錄（2016）2016.02 科技部、財政部、稅務總局 在“四、新材料”之“（五）精細和專用化學品”之“2、電子化學品制備及應用技術”中明確指出包括“特種（電子）氣體的制備及應用技術”資料來源：中船特氣招股說明書、開源證券研究所 行業深度報告行業深度報告 請務必參閱正文后面的信息披露和法律聲明

49、13/40 3、需求需求：需求驅動成長，未來前景可期需求驅動成長，未來前景可期 3.1、電子特氣電子特氣主要用于主要用于集成電路、顯示面板等領域，市場規模集成電路、顯示面板等領域，市場規模持續持續增長增長 電子特氣電子特氣需求主要來源于需求主要來源于集成電路、顯示面板等領域。集成電路、顯示面板等領域。根據中船特氣招股說明書，全球電子特氣消費結構中，集成電路、顯示面板、光伏與 LED 分別占比 71%、18%、3%、8%。相較于全球，國內電子特氣下游應用中，顯示面板領域占比較高，達到 37%，此外集成電路、光伏、LED 也分別占比 42%、13%、8%。圖圖10：電子特氣電子特氣下游下游主要主要

50、為為集成電路、顯示面板集成電路、顯示面板、半導體照明、光伏、半導體照明、光伏等領域等領域 資料來源：中船特氣招股說明書 圖圖11：2021 年年集成電路領域集成電路領域占全球電子特氣需求占全球電子特氣需求 71%圖圖12：2021 年年集成電路集成電路領域占國內電子特氣需求領域占國內電子特氣需求 42%數據來源：中船特氣招股說明書、開源證券研究所 數據來源：中船特氣招股說明書、開源證券研究所 全球及國內全球及國內電子特氣市場規模電子特氣市場規模持續持續增長。增長。伴隨集成電路及顯示面板等下游應用領域的穩步發展，電子特氣作為其生產過程中的重要耗材之一，其市場規模也在持續增長。根據 TECHCET

51、 數據，2017-2021 年間全球電子特氣市場規模由 36.91 億美元增長至 45.38 億美元，CAGR 達到 5.30%，同時預計到 2025 年達到 60.23 億美元，2022-2025 年 CAGR 達到 6.39%。國內方面，國內方面，根據觀研天下數據，2016-2021 年間國內電子特氣市場規模由 98 億元逐步提升至 167 億元，CAGR 達到 11.25%，同時預計到 2024 年達到 230 億元，2022-2024 年 CAGR 達到 10.31%。集成電路,71%顯示面板,18%光伏,3%LED,8%集成電路顯示面板光伏LED集成電路,42%顯示面板,37%光伏,

52、13%LED,8%集成電路顯示面板光伏LED行業深度報告行業深度報告 請務必參閱正文后面的信息披露和法律聲明 14/40 圖圖13：預計預計 2025 年全球電子特氣年全球電子特氣市場規模市場規模 60 億美元億美元 圖圖14：預計預計 2024 年年國內國內電子特氣電子特氣市場規模市場規模為為 230 億元億元 數據來源：TECHCET、開源證券研究所 數據來源：觀研天下、開源證券研究所 電子特氣種類眾多，單一產品市場規模相對較小。電子特氣種類眾多，單一產品市場規模相對較小。根據 Linx Consulting 數據，2021 年全球電子特種氣體市場規模為 44.23 億美元（此處與上文 T

53、ECHCET 的數據略有不同，或因統計口徑問題），其中三氟化氮（NF3）、六氟化鎢（WF6）等全球市場規模排名前十的電子特氣合計達到 25.37 億美元，占市場總規模的 58%。表表9：2021 年全球排名前十的電子特氣市場規模合計達到年全球排名前十的電子特氣市場規模合計達到 25.37 億元億元 序號序號 氣體名稱氣體名稱 市場規模（億美元）市場規模（億美元）占電子占電子特特氣氣市場規模市場規模比重比重 主要主要應用的工藝環節應用的工藝環節 1 三氟化氮（NF3）8.8 20%清洗、刻蝕 2 六氟化鎢（WF6）3.35 8%成膜 3 六氟丁二烯（C4F6）3.11 7%刻蝕 4 氨氣（NH3

54、）1.85 4%成膜 5 氙氣（Xe）1.75 4%離子注入、刻蝕 6 硅烷（SiH4）1.68 4%成膜 7 一氧化二氮（N2O）1.39 3%成膜 8 磷烷（PH3）1.2 3%離子注入、成膜 9 激光氣（混合氣）1.15 3%光刻 10 三氟化氯（ClF3）1.09 2%清洗 合計合計 25.37 58%-數據來源：Linx Consulting、開源證券研究所 3.2、三大應用領域齊頭并進，三大應用領域齊頭并進，下游下游需求加速釋放需求加速釋放 3.2.1、集成電路集成電路：半導體半導體行業行業周期周期底部底部將至將至，AI 需求需求或將或將貢獻貢獻重要重要增量增量 電子特氣為晶圓制造

55、電子特氣為晶圓制造過程中過程中的第二大耗材，的第二大耗材，占比達到占比達到 13%，僅次于硅片。僅次于硅片。在集成電路領域，電子特氣主要應用于前端晶圓制造中的清洗、沉積、氧化成膜、光刻、刻蝕、摻雜等諸多工藝流程，幾乎滲透到生產過程中的每一個環節，對產品的性能、成品率、集成度等方面均具有重要影響。根據觀研天下數據，電子特氣在集成電路-2%0%2%4%6%8%10%12%010203040506070201720182019202020212022E2023E2024E2025E全球電子特氣市場規模（億美元）全球電子特氣市場規模YOY0%2%4%6%8%10%12%14%0501001502002

56、502016201720182019202020212022E 2023E 2024E國內電子特氣市場規模（億元）國內電子特氣市場規模 YOY行業深度報告行業深度報告 請務必參閱正文后面的信息披露和法律聲明 15/40 領域中刻蝕用氣占比 36%，摻雜用氣占比 34%，外延沉積、光刻及其他用氣合計占比 30%。同時根據 SEMI 數據，在晶圓制造材料中，硅片成本占比最大，達到 35%，此外電子特氣作為第二大耗材，占比也達到 13%，僅次于硅片。圖圖15：電子特氣為晶圓制造過程中的第二大耗材電子特氣為晶圓制造過程中的第二大耗材 數據來源：SEMI、開源證券研究所 圖圖16：電子特氣電子特氣可可用

57、于用于硅片清洗硅片清洗等工藝等工藝流程流程 圖圖17：在在集成電路集成電路領域領域，刻蝕用氣占比刻蝕用氣占比 36%資料來源：中船特氣招股說明書 數據來源：觀研天下、開源證券研究所 具體來看，電子特氣在集成電路領域主要應用于沉積、光刻、刻蝕、具體來看，電子特氣在集成電路領域主要應用于沉積、光刻、刻蝕、摻雜、退摻雜、退火、反應室清潔等六大工藝，同時在不同工藝中，使用的氣體種類也有所區別：火、反應室清潔等六大工藝，同時在不同工藝中，使用的氣體種類也有所區別：（1）沉積沉積：沉積是制造導體、半導體和絕緣體等電子器件內部材料的生產工藝。通常，將兩種或多種氣相反應物導入反應室內，此時襯底也被加熱至有利于

58、進行反應所需的高溫，這樣就可以直接在襯底表面發生化學反應來生成薄膜產品，以此滿足某些特定的性能。（2）光刻光刻：光刻是指通過勻膠、曝光、顯影等一系列步驟將晶圓表面薄膜特定部分除去的工藝。光刻的目標是根據電路設計的要求，生成尺寸精確的特征圖形，并且在晶圓表面的位置正確且與其它部件的關聯正確。常用于圖像光刻的光源是以氣相激光為基礎，采用少量的氟氣、氯氣、氯化氫、氬氣以及混合大量氖氣為平衡氣的氙氣。硅片,35%電子特氣,13%光掩膜,12%光刻膠輔助材料,8%濕電子化學品,7%CMP拋光材料,6%光刻膠,6%濺射靶材,2%其他材料,11%硅片電子特氣光掩膜光刻膠輔助材料濕電子化學品CMP拋光材料光刻

59、膠濺射靶材其他材料刻蝕,36%摻雜,34%外延沉積+光刻+其他,30%刻蝕摻雜外延沉積+光刻+其他行業深度報告行業深度報告 請務必參閱正文后面的信息披露和法律聲明 16/40（3）刻蝕刻蝕：刻蝕是指采用化學或物理方法，有選擇性地從硅片表面去除多余材料的工藝，且通常在光刻之后來永久固定光刻工藝中形成的圖樣和形狀。從分類來看，刻蝕包括濕法刻蝕和干法刻蝕。其中，濕法刻蝕為化學反應過程，其利用溶液與預刻蝕材料之間的化學反應來去除未被掩蔽膜材料掩蔽的部分而達到刻蝕目的。干法刻蝕則是利用氣態中產生的等離子體，通過經光刻而開出的掩蔽層窗口，與暴露于等離子體中的硅片進行物理或化學反應，以此刻蝕掉硅片上暴露的表

60、面材料。（4）摻雜摻雜：摻雜是指將某些雜質摻入本征半導體材料內，旨在改善半導材料的導電率。要加入摻雜原子，可通過氣體在表面發生反應，并滲入經過加熱處理的襯底中，或通過等離子體激活方法。（5）退火退火：退火是指將半導體材料在一定的溫度下加熱一段時間，然后緩慢冷卻的過程。退火過程中，半導體材料的晶格結構發生改變、缺陷被修復、雜質被擴散，從而改善了半導體材料的電學性能和結構性能。通常，氧氣或氫氣在高壓和高溫條件下用于已有材料層發生反應，以在表面上形成新的氧化或氫化層。在其他應用中，會對具有更多薄膜層的襯底進行加熱和冷卻處理，這樣最頂層薄膜就能夠形成結晶相。（6）反應反應室室清潔清潔：反應室清潔是保持

61、反應腔處于工作狀態的一個重要工藝。過多的化學反應物和產物不僅會沉積在襯底上，而且還會沉積在反應腔腔壁以及反應腔內其他設備之上。而鹵化物氣體可通過等離子體激活，與多余材料發生反應，從而去除多余材料。圖圖18：電子特氣主要用于沉積、光刻、刻蝕、摻雜等工藝電子特氣主要用于沉積、光刻、刻蝕、摻雜等工藝 資料來源：林德集團公司官網、開源證券研究所 刻蝕刻蝕沉積沉積光刻光刻深紫外激光掩模版透鏡晶圓激光氣體：激光氣體：95+%Ne,with Ar,kr,and F2二氧化碳：二氧化碳：CO2氫氣：氫氣：H2氮系氣體：氮系氣體：NH3、N2O硅系氣體：硅系氣體：SiH4、Si2H6、TCS、HCDS、TMS其

62、他：其他：WF6、GeH4、O2碳氟化合物碳氟化合物：CxHyFz、CF4、C2F6、C3F8、C4F8、C5F8、C4F6、CHF3、CH2F2、CH3F、C2HF5六氟化硫六氟化硫：SF6鹵化物：鹵化物：HCl、Cl2、HF、F2、HBr、ClF3、XeF2氧氣氧氣：O2反應室清洗反應室清洗摻雜摻雜退火退火氧氣：氧氣：O2氫氣：氫氣：H2氬氣：氬氣：Ar氫化物：氫化物：AsH3、BF3、B2H6、PH3、GeH4、Ge2H6三氟化三氟化氮：氮：NF3其他氟化物氣體：其他氟化物氣體：CF4、C2F6、C4F8、ClF3、SF6氯化物其他：氯化物其他：HCl、Cl2氟：氟：F2擴散（中性粒子）

63、離子注入（帶電粒子）等離子沉積“受污染的”反應室側壁沉積膜反應室為后續工序準備等離子清洗晶圓行業深度報告行業深度報告 請務必參閱正文后面的信息披露和法律聲明 17/40 半導體半導體行業行業周期底部周期底部將將至，至，中長期中長期成長成長性性仍值得期待。仍值得期待。2022Q2 以來，受終端需求疲軟及庫存調整等因素影響，半導體行業景氣度持續下滑。根據 IDC 數據，2023年全球半導體行業市場規模預計將同比下降 5.3%。但是分季度來看，IDC 預計2023H1 或是半導體行業景氣低點，2023H2 開始半導體行業景氣度有望逐季改善。同時，從中長期來看，IDC 預計 2021-2025 年全球

64、半導體行業市場規模將由 5840 億美元提升至 7260 億美元，CAGR 達到 4.5%。圖圖19：IDC 預計半導體行業景氣度將從預計半導體行業景氣度將從 2023H2 開始回升開始回升 資料來源：IDC 圖圖20：IDC 預計預計 2021-2025 年全球半導體行業市場規模年全球半導體行業市場規模 CAGR 為為 4.5%資料來源：IDC AI 產業快速發展，或產業快速發展，或貢獻貢獻重要增量。重要增量。從產業鏈來看，AI 產業鏈主要分為三層：基礎層、技術層與應用層。其中，基礎層為 AI 產業的基礎，為其提供數據及算力支撐，主要包括研發硬件及軟件，如傳感器、AI 芯片、數據資源、云計算

65、平臺等。技術層是人工智能產業的核心，強調關鍵技術的研究，包括深度學習框架、算法模型行業深度報告行業深度報告 請務必參閱正文后面的信息披露和法律聲明 18/40 開發等。應用層是 AI 產業的延伸，負責實體產業應用，提供行業解決方案服務、硬件產品和軟件產品。未來伴隨未來伴隨 AI 產業的產業的不斷不斷發展，相應的算力芯片、存儲芯片等芯發展，相應的算力芯片、存儲芯片等芯片需求片需求有望快速增長，這或將為電子特氣需求貢獻重要增量。有望快速增長，這或將為電子特氣需求貢獻重要增量。圖圖21：AI 產業鏈包括基礎層、技術層產業鏈包括基礎層、技術層與與應用層應用層 資料來源：新材料在線、開源證券研究所 3.

66、2.2、顯示面板：顯示面板：出貨出貨面積面積提升與提升與產品結構升級產品結構升級共振，共振，助力助力電子特氣需求電子特氣需求增長增長 顯示面板所用顯示面板所用的的電子特氣以三氟化氮電子特氣以三氟化氮與與硅烷為主硅烷為主，二者分別占比，二者分別占比 50%、24%。根據林德集團數據，顯示面板使用的電子氣體包括電子特種氣體與電子大宗氣體。其中，電子特氣包括三氟化氮、硅烷、六氟化硫、氨氣以及磷化氫混合物，合計占顯示面板制造所用氣體的 52%，而電子大宗氣體則主要包括氮氣、氫氣、氦氣、氧氣、二氧化碳以及氬氣，合計占顯示面板制造所用氣體的 48%。圖圖22：顯示面板顯示面板所用所用電子電子特氣以三氟化氮

67、、硅烷為主特氣以三氟化氮、硅烷為主 圖圖23：顯示面板顯示面板所用所用電子電子大宗氣體以氮氣、氦氣為主大宗氣體以氮氣、氦氣為主 數據來源：林德集團官網、開源證券研究所 數據來源：林德集團官網、開源證券研究所 基礎層（算力+數據）數據資源大數據/數據采集/數據標注及分類/數據分析硬件設施芯片傳感器計算力云計算/邊緣計算/智能云平臺/大數據平臺技術層（感知與認知）AI軟件框架TensorFlow/Caffe/Pytorch/Angel/MXNet/CNTK算法模型神經網絡模型/支持向量機/決策樹/聚類/分類通用技術機器學習/深度學習/自然語言處理/知識圖譜/計算機視覺/語音識別應用層（場景及產品）

68、應用產品應用平臺及服務應用場景智能推薦/自動駕駛汽車/無人機/智能語音助手/智能機器人智能終端/推薦系統/模型預測控制/定位與地圖構建智慧城市/教育/交通/醫療/家居/金融/營銷三氟化氮,50%硅烷,24%六氟化硫,5%氯氣,11%氨氣,5%1%磷化氫/氫氣,5%三氟化氮硅烷六氟化硫氯氣氨氣1%磷化氫/氫氣氮氣,67%氦氣,16%氫氣,8%氧氣,4%二氧化碳,3%氬氣,2%氮氣氦氣氫氣氧氣二氧化碳氬氣行業深度報告行業深度報告 請務必參閱正文后面的信息披露和法律聲明 19/40 從技術來看從技術來看，平板顯示的主流平板顯示的主流技術包括技術包括 TFT-LCD 與與 AMOLED。按照發光方式的

69、不同，平板顯示技術可以分為自發光與非自發光，其中自發光又可以分為 OLED與等離子技術，而非自發光則主要為液晶顯示技術（LCD）。目前 TFT-LCD 面板依靠其工作電壓低、功耗小、分辨率高、抗干擾性好、應用范圍廣等諸多優點，成為顯示面板產業的主流產品，廣泛應于筆記本電腦、桌面顯示器、電視、移動通信設備等領域。同時，伴隨生產工藝的不斷進步以及生產成本的逐步下降，AMOLED 技術也開始在手機、可穿戴設備等小尺寸領域逐步推廣。圖圖24：平板顯示的主流技術包括平板顯示的主流技術包括 TFT-LCD 與與 AMOLED 資料來源：瑞聯新材招股說明書、開源證券研究所 相較于相較于 TFT-LCD，生產

70、，生產 AMOLED 使用的電子氣體種類更多、用量更大使用的電子氣體種類更多、用量更大，主要，主要原因在于原因在于：薄膜晶體管薄膜晶體管（TFT）是）是 TFT-LCD 與與 AMOLED 的重要部件。的重要部件。在 LCD 領域，TFT 可以調節每個子像素（紅綠藍）的電壓，以調整液晶分子的扭曲程度，從而控制子像素的亮度。AMOLED 全稱為“主動矩陣有機發光二極體”，屏幕上的每一個像素既能完成顯示色彩的功能，還具有自發光的特性，同時每個像素點也均由 TFT 來控制。在生產中，制作 TFT 基板的過程和制造芯片的過程非常相似，區別在于一個在硅片上制造，一個在玻璃上制造。進一步進一步來看，來看，

71、薄膜晶體管薄膜晶體管（TFT）的制造材料的制造材料主要分為主要分為非晶硅（非晶硅（a-Si）、低）、低溫多晶硅（溫多晶硅（LTPS）和金屬氧化物（）和金屬氧化物（MO）。）。根據林德集團數據，相較于 a-Si晶體管顯示屏，生產 LTPS 單位玻璃面積氣體消耗量將增加 25%、生產 MO增加約 50%。一般而言，在 TFT-LCD 領域，a-Si 晶體管多用于低分辨率顯示屏和電視機，高分辨率顯示屏則采用 LTPS 晶體管（但由于成本較高、可擴展性受限，一般用于中小型顯示屏）。而在 AMOLED 領域，LTPS 與MO 晶體管為主流方向，其中 MO 晶體管適合大尺寸 OLED、LTPS 晶體管適合

72、小尺寸 OLED。平板顯示技術（FPD）液晶顯示技術（LCD）等離子技術（PDP）OLEDTN-LCDSTN-LCDCSTN-LCDTFT-LCDPMOLEDAMOLED非自發光非自發光自發光自發光單色顯示單色顯示彩色顯示彩色顯示行業深度報告行業深度報告 請務必參閱正文后面的信息披露和法律聲明 20/40 表表10：相較于相較于 TFT-LCD，AMOLED 使用的特氣種類更多使用的特氣種類更多 分類分類 工藝工藝 產品產品 TFT-LCD 氣相沉積鍍膜 SiH4（硅烷）、NF3（三氟化氮）、N2O（笑氣）、H2（氫氣）、1%PH3/H2（磷烷混氫）、NH3（氨氣）干刻蝕 Cl2（氯氣）、CH

73、F3（三氟甲烷）、SF6（六氟化硫）AMOLED 氣相沉積鍍膜、封裝鍍膜 SiH4（硅烷）、NH3（氨氣）、NF3（三氟化氮）、N2O（笑氣）、H2（氫氣）干刻蝕 Cl2（氯氣）、SF6（六氟化硫）、C2HF5（五氟乙烷）、P-CO2（制程用二氧化碳）準分子退火 4.5%HCl/0.9%H2/Ne（氯化氫混氫混氦）、100ppmH2/Ne（氫氦混合氣）、Xe（氙氣）、P-He（制程用高純氦氣）其他 20%PH3/H2（磷烷混氫氣）、5%B2H6/H2（乙硼烷混氫）、5%TMB/H2（三甲基硼混氫）、BF3（三氟化硼）資料來源：周莉（2022 年）關于半導體、平板顯示行業特氣系統構筑的要點分析、

74、開源證券研究所 出貨出貨面積面積提升與產品結構升級共振，助力電子特氣需求增長。提升與產品結構升級共振，助力電子特氣需求增長。根據 Omdia 數據，2021年全球顯示面板出貨面積合計2.6億平方米，預計2028年將達到3.18億平方米，2021-2028 年 CAGR 達到 2.92%。同時，分類型來看，2021 年 AMOLED 面板出貨面積約 1421 萬平方米，占比 5%，預計 2028 年將達到 2878 萬平方米，占比提升至 9%，2021-2028 年 CAGR 達到 10.61%。展望未來，伴隨顯示面板出貨面積的逐步提升以及 AMOLED 滲透率的持續提高，電子特氣需求有望繼續維

75、持穩步增長。圖圖25：預計預計 2021-2028 年年 AMOLED 出貨面積出貨面積 CAGR 達到達到 10.61%數據來源：Omdia、開源證券研究所 3.2.3、光伏：光伏：新增裝機規模新增裝機規模持續持續擴張，擴張，有望進一步有望進一步拉動電子特氣需求拉動電子特氣需求 光伏光伏新增裝機規模持續擴張，新增裝機規模持續擴張，有望有望進一步拉動電子特氣需求進一步拉動電子特氣需求。根據 CPIA 與國家能源局數據，2022 年全球及國內光伏新增裝機規模分別達到 230GW、87.4GW，分別同比增長 35.3%、59.3%。同時 CPIA 預計，2023 年全球光伏新增裝機量將達到280-

76、330GW，其中國內光伏新增裝機量將達到 95-120GW。未來伴隨上游原材料硅料價格的逐步下降，光伏終端需求有望加速釋放，上游電子特氣或將隨之充分受益。0.00.51.01.52.02.53.03.520212028E顯示面板出貨面積（億平方米）AMOLED出貨面積（億平方米）CAGR=2.92%CAGR=10.61%行業深度報告行業深度報告 請務必參閱正文后面的信息披露和法律聲明 21/40 圖圖26：2022 年全球光伏新增裝機年全球光伏新增裝機 230GW 圖圖27：2022 年國內光伏新增裝機年國內光伏新增裝機 87.4GW 數據來源：CPIA、開源證券研究所 數據來源：國家能源局、

77、開源證券研究所 4、受益標的受益標的 4.1、中船特氣：電子特氣行業龍頭，中船特氣：電子特氣行業龍頭，正式正式登陸資本市場登陸資本市場 主營業務方面：主營業務方面：公司主要從事電子特種氣體及三氟甲磺酸系列產品的研發、生產和銷售，主要產品包括高純三氟化氮、高純六氟化鎢、高純氯化氫、高純氟化氫、高純四氟化硅、高純氘氣、高純六氟丁二烯、高純八氟環丁烷、高純電子混合氣等電子特種氣體，以及三氟甲磺酸、三氟甲磺酸酐、雙（三氟甲磺酰）亞胺鋰等含氟新材料。其中，電子特氣是半導體制造不可或缺的關鍵原材料之一，廣泛應用于集成電路、顯示面板等領域，三氟甲磺酸系列產品具有對環境友好、催化作用強等特點，廣泛應用于鋰電新

78、能源、醫藥、化工等行業。目前公司已經具備電子特種氣體目前公司已經具備電子特種氣體及含氟新材料等及含氟新材料等 50 余種產品的生產能力，成為行業內產業規模大、客戶覆蓋余種產品的生產能力，成為行業內產業規模大、客戶覆蓋廣、創廣、創新能力強且具備參與全球競爭能力的頭部企業。新能力強且具備參與全球競爭能力的頭部企業。表表11：中船特氣電子特氣產品主要包括中船特氣電子特氣產品主要包括高純三氟化氮、高純六氟化鎢高純三氟化氮、高純六氟化鎢等等 類別類別 產品名稱產品名稱 純度純度等級等級 主要用途主要用途 主要應用領域主要應用領域 所處階段所處階段 集成電路集成電路 顯示面板顯示面板 光纖光纖 LOGIC

79、 DRAM 3D NAND 主要氣體 三氟化氮 5N 清洗、刻蝕 -量產 六氟化鎢 6N 沉積 -量產 無機類氣體 氯化氫 5N5 清洗、刻蝕 -量產 氟化氫 5N 清洗、刻蝕 -量產 四氟化硅 5N 沉積 -量產 氘氣 5N 熱處理、光纖抗老化處理 -量產 混合氣 氦氮混氣、氙氫混氣、氧氦混氣、氪氖混氣、氬氙氖混氣等 6N 刻蝕、退火、光刻等 量產 碳氟類氣體 六氟丁二烯 4N 刻蝕 -試生產 八氟環丁烷 5N 清洗、刻蝕 -量產 八氟丙烷 5N5 清洗、刻蝕 -量產 六氟乙烷 5N 清洗、刻蝕 -量產 資料來源：中船特氣招股說明書、開源證券研究所 0%5%10%15%20%25%30%35

80、%40%45%50%0501001502002502016201720182019202020212022全球光伏新增裝機規模（GW）全球光伏新增裝機規模 YOY-60%-40%-20%0%20%40%60%80%01020304050607080901002016201720182019202020212022國內光伏新增裝機規模（GW）國內光伏新增裝機規模 YOY行業深度報告行業深度報告 請務必參閱正文后面的信息披露和法律聲明 22/40 表表12：中船特氣中船特氣含氟新材料含氟新材料產品主要包括產品主要包括三氟甲磺酸三氟甲磺酸等等 產品名稱產品名稱 主要用途主要用途 主要應用領域主要應用

81、領域 所處階段所處階段 三氟甲磺酸 醫藥或化工中間體的反應原料及催化劑 醫藥、有機硅、香精香料、化工等 量產 三氟甲磺酸酐 三氟甲磺酸三甲基硅酯 雙（三氟甲磺酰）亞胺鋰 鋰電電解液添加劑、離子液體原料、顯示材料中間體等 鋰電新能源、顯示材料等 量產 三氟甲磺酸鋰 資料來源：中船特氣招股說明書、開源證券研究所 客戶方面：客戶方面：公司電子特氣產品的客戶以集成電路和顯示面板行業為主，以醫藥、鋰電新能源、光纖等行業為輔。在集成電路領域，在集成電路領域，公司已實現對中芯國際、長江存儲、上海華虹、長鑫存儲等境內主要晶圓制造企業的全覆蓋，并已進入臺積電、聯華電子、海力士、鎧俠、格羅方德、德州儀器等全球領先

82、的晶圓制造企業供應鏈。在顯示面板領域，在顯示面板領域，公司已成為京東方、TCL 科技、天馬微電子、咸陽彩虹、維信諾、群創光電、LGD、SDP 等國內外企業的重要供應商。表表13：中船特氣中船特氣電子特氣產品的客戶以集成電路和顯示面板行業為電子特氣產品的客戶以集成電路和顯示面板行業為主主 分類分類 主要客戶主要客戶 集成電路 中芯國際、長江存儲、上海華虹、長鑫存儲、臺積電、聯華電子、海力士、鎧俠、格羅方德、德州儀器等 顯示面板 京東方、TCL 科技、天馬微電子、咸陽彩虹、維信諾、群創光電、LGD、SDP 等 資料來源：中船特氣招股說明書、開源證券研究所 財務方面：財務方面：2019 年至 202

83、2 年間，伴隨下游需求的持續釋放以及公司產品產能的不斷擴張，公司業績穩步增長。其中，營業收入由 10.37 億元提升至 19.56 億元，歸母凈利潤由1.96億元提升至3.83億元，二者年均復合增速分別達到23.56%、25.02%。圖圖28：2022 年公司歸母凈利潤同比增長年公司歸母凈利潤同比增長 7.92%數據來源：Wind、開源證券研究所-20%-10%0%10%20%30%40%50%60%051015202520192020202120222023Q1營業收入（億元）歸母凈利潤（億元）營業收入 YOY歸母凈利潤 YOY行業深度報告行業深度報告 請務必參閱正文后面的信息披露和法律聲明

84、 23/40 分行業來看，分行業來看，2022H1 集成電路集成電路與顯示面板與顯示面板行業營收占比行業營收占比分別達到分別達到 54%、33%。根據 Wind 數據，2022H1 集成電路與顯示面板（OLED&LCD）行業為公司主要營收來源，二者分別貢獻營收 5.13 億元、3.13 億元，分別占公司總營收的 54%、33%。圖圖29：2022H1 集成電路集成電路與與顯示面板行業營收占比分別達到顯示面板行業營收占比分別達到 54%、33%（億元）（億元）數據來源：Wind、開源證券研究所 分產品來看，分產品來看，2022H1 公司電子特氣產品營收與毛利占比分別達到公司電子特氣產品營收與毛利

85、占比分別達到 90%、89%。根據 Wind 數據，2022H1 公司實現營收 9.55 億元、毛利 3.91 億元，其中電子特氣產品貢獻營收 8.58 億元、毛利 3.49 億元，分別占公司總營收與總毛利的 90%、89%。圖圖30：2022H1 公司電子特氣營收占比公司電子特氣營收占比 90%（億元）（億元）圖圖31：2022H1 公司電子特氣毛利占比公司電子特氣毛利占比 89%（億元）（億元）數據來源：Wind、開源證券研究所 數據來源：Wind、開源證券研究所 4.2、華特氣體華特氣體：特氣行業領跑者，：特氣行業領跑者，2022 年業績高速增長年業績高速增長 主營業務方面：主營業務方面

86、：公司的主營業務以特種氣體的研發、生產及銷售為核心，輔以公司的主營業務以特種氣體的研發、生產及銷售為核心，輔以普通工業氣體和相關氣體設備與工程業務。普通工業氣體和相關氣體設備與工程業務。其中，公司生產銷售的特種氣體主要包括高純六氟乙烷、高純四氟化碳、高純二氧化碳、高純一氧化碳、光刻氣等約 230 余種，普通氣體 10 余種，氣體設備與工程則主要包括低溫絕熱氣瓶等產品及配套的供氣系統設計、安裝服務。公司產品廣泛應用于集成電路、液晶面板、LED、光纖通信、光伏、醫療健康、節能環保、新材料、新能源、航天航空、高端裝備制造、食品、冶金、化工、機械制造等眾多行業。集成電路,5.13,54%顯示面板(OL

87、ED&LCD),3.13,33%化工材料,0.35,4%化學制藥,0.19,2%鋰電新能源,0.14,1%其他行業,0.42,4%其他業務,0.19,2%電子特種氣體,8.58,90%三氟甲磺酸系列,0.78,8%其他業務,0.19,2%電子特種氣體三氟甲磺酸系列其他業務電子特種氣體,3.49,89%三氟甲磺酸系列,0.26,7%其他業務,0.17,4%電子特種氣體三氟甲磺酸系列其他業務行業深度報告行業深度報告 請務必參閱正文后面的信息披露和法律聲明 24/40 表表14：公司主營業務公司主營業務涵蓋涵蓋特種氣體特種氣體、普通工業氣體普通工業氣體與與相關氣體設備與工程相關氣體設備與工程 類別類

88、別 簡介及用途簡介及用途 特種氣體（1）廣泛用于半導體、顯示面板、光伏新能源、光纖光纜等電子產業的加工制造過程，主要包括清洗、蝕刻、沉積）廣泛用于半導體、顯示面板、光伏新能源、光纖光纜等電子產業的加工制造過程，主要包括清洗、蝕刻、沉積/成膜、成膜、光刻等工序所用氣體光刻等工序所用氣體，具體情況如下：清洗、蝕刻氣：高純四氟化碳、高純六氟乙烷、八氟丙烷、高純二氧化碳等；光刻氣：氪氖混合氣、氟氖混合氣等；外延氣體、沉積/成膜氣體（亦可稱為前驅體）：高純氨、硅烷、乙硅烷等；摻雜氣體：乙硼烷、三氯化硼、磷烷、鍺烷等；其他：氮（6N）、氫氣（6N）、氬（5.5N）等；（2）除電子領域外，用于醫療、測量、食

89、品等眾多新型領域的產品：）除電子領域外，用于醫療、測量、食品等眾多新型領域的產品：醫療氣體：醫用氧、血氣測定混合氣、環氧乙烷、消毒氣等，用于診斷、手術、醫學研究等；標準氣體：由高純碳氫氣體配制，在物理、化學、生物工程等領域中用于校準測量儀器和測量過程，評價準確度和檢測能力，確定材料的特性量值；激光氣體：氦氖激光氣、密封束激光氣等，用于國防建設、激光加工等；食品氣體：二氧化碳、乙炔、氬等，用于飲料氣體、蔬菜/水果保鮮等；電光源氣體：氬、氪、氖、氙及其混合氣，用于電器、燈具生產。普通工業氣體 主要為氧、氮、氬、工業氨等氣體，在金屬冶煉、化工、機械制造、家電照明等眾多產業領域。氣體設備與工程（1）氣

90、體設備包括低溫絕熱氣瓶、汽化器、撬裝裝置等，可廣泛用于氣體的存儲、充裝等過程；（2）氣體工程主要是為客戶提供的供氣系統設計、安裝、維修服務。資料來源：華特氣體公司公告、開源證券研究所 客戶方面：客戶方面：經過多年技術研發與積累，公司成為國內首家打破高純六氟乙烷、高純三氟甲烷、高純八氟丙烷、高純二氧化碳、高純一氧化碳、高純一氧化氮、Ar/F/Ne混合氣、Kr/Ne 混合氣、Ar/Ne 混合氣、Kr/F/Ne 混合氣等產品進口制約的氣體公司，并實現了近 20 個產品的進口替代。與此同時，隨著純度、精度和穩定度持續提高以及市場開拓的深入，公司產品獲得了下游相關產業一線知名客戶的廣泛認可，并實實現了對

91、國內現了對國內 8 寸以上集成電路制造廠商超過寸以上集成電路制造廠商超過 80%的客戶覆蓋率的客戶覆蓋率，解決了中芯國際、華虹宏力、長江存儲、武漢新芯、華潤微電子、臺積電（中國）、和艦科技、士蘭微電子、柔宇科技、京東方等客戶多種氣體材料制約，并進入了英特爾（進入了英特爾（Intel）、美光）、美光科技（科技（Micron）、德州儀器（）、德州儀器（TI）、海力士（）、海力士（Hynix）等全球領先的半導體企業供應）等全球領先的半導體企業供應鏈體系鏈體系。其中，根據公司公告，公司的拳頭產品光刻氣（Ar/Ne/Xe、Kr/Ne、F2/Kr/Ne、F2/Ar/Ne）成功通過 ASML 和 GIGAP

92、HOTON 的認證，是國內唯一通過兩家認證的氣體公司。表表15：公司產品獲得下游一線知名客戶的廣泛認可公司產品獲得下游一線知名客戶的廣泛認可 分類分類 現有下游客戶現有下游客戶/已進入其供應鏈的客戶已進入其供應鏈的客戶 國內 中芯國際、華虹宏力、長江存儲、武漢新芯、華潤微電子、臺積電（中國）、和艦科技、士蘭微電子、柔宇科技、京東方等 海外 英特爾（Intel）、美光科技（Micron）、德州儀器（TI）、海力士（Hynix）等 資料來源：華特氣體公司公告、開源證券研究所 財務方面：財務方面：2014 年至 2017 年間，公司業績整體維持穩定。截至 2017 年，公司當年實現營業收入 7.87

93、 億元，歸母凈利潤 0.49 億元。2018 年起，公司業績開始呈現快速增長態勢，2018-2022 年間，公司營收由 8.18 億元提升至 18.03 億元，歸母凈利潤由 0.68 億元提升至 2.06 億元，年均復合增速分別達到 21.85%、31.93%。其中，2022 年受益于半導體需求增長帶來的產品銷量增加以及產品結構優化帶來的毛利率行業深度報告行業深度報告 請務必參閱正文后面的信息披露和法律聲明 25/40 提升，公司當年營收與歸母凈利潤分別同比增長 33.84%、59.48%。圖圖32：2022 年公司歸母凈利潤同比增長年公司歸母凈利潤同比增長 59.48%數據來源：Wind、開

94、源證券研究所 分產品來看，分產品來看，2022 年年公司公司電子特氣電子特氣營收與毛利占比分別達到營收與毛利占比分別達到 73%、84%。根據Wind 數據，2022 年公司合計實現營收 18.03 億元、毛利 4.85 億元，其中電子特氣產品貢獻營收 13.22 億元、毛利 4.08 億元，分別占公司總營收與總毛利的 73%、84%。圖圖33：2022 年公司電子特氣營收占比年公司電子特氣營收占比 73%（億元）（億元）圖圖34：2022 年公司電子特氣毛利占比年公司電子特氣毛利占比 84%（億元）（億元）數據來源：Wind、開源證券研究所 數據來源：Wind、開源證券研究所 4.3、金宏氣

95、體金宏氣體：氣體綜合供應商氣體綜合供應商，電子特氣與電子大宗氣體齊頭并進，電子特氣與電子大宗氣體齊頭并進 主營業務方面：主營業務方面：公司為專業從事氣體的研發、生產、銷售和服務一體化解決方案的環保集約型氣體綜合供應商。目前公司已建立品類豐富、布局合理、配送可靠的氣體供應和服務網絡，能夠為電子半導體、醫療健康、節能環保、新材料、新能源、高端裝備制造等行業客戶提供特種氣體、大宗氣體和天然氣三大類提供特種氣體、大宗氣體和天然氣三大類 100 余種氣余種氣體產品。體產品。公司主要產品包括：（包括：（1）超純氨、氫氣、氧化亞氮、干冰、硅烷、氦氣、混合氣、醫用氣體、氟碳氣體等特種氣體；（2）氧氣、氮氣、氬

96、氣、二氧化碳、乙炔等大宗氣體；（3）天然氣。-30%-20%-10%0%10%20%30%40%50%60%70%02468101214161820201420152016201720182019202020212022 2023Q1營業收入（億元）歸母凈利潤（億元）營業收入 YOY歸母凈利潤 YOY電子特種氣體,13.22,73%設備工程,2.34,13%工業氣體（行業）,2.20,12%其他業務,0.27,2%電子特種氣體設備工程工業氣體（行業）其他業務電子特種氣體,4.08,84%設備工程,0.29,6%工業氣體（行業）,0.27,6%其他業務,0.19,4%電子特種氣體設備工程工業氣體

97、（行業）其他業務行業深度報告行業深度報告 請務必參閱正文后面的信息披露和法律聲明 26/40 表表16：金宏氣體主營業務涵蓋金宏氣體主營業務涵蓋特種氣體、大宗氣體和天然氣三特種氣體、大宗氣體和天然氣三大類大類 產品名稱產品名稱 供應模式供應模式 簡介簡介 特種氣體特種氣體 超純氨 儲槽、鋼瓶 超純氨主要應用于新型光電子材料領域，是 MOCVD 技術制備 GaN 的重要基礎材料。由 GaN 生產的高靈敏度藍光發光二級管和藍光激光器，以及其他相關電子器件，是國內外都在搶占的產業。超純氨還是制備三氟化氮、氮化硅的基礎材料。此外，液氨廣泛地應用于半導體工業、冶金工業，以及需要保護氣氛的其他工業和科學研

98、究。氫氣 鋼瓶、魚雷車 氫是主要的工業原料，也是最重要的工業氣體和還原劑，在石油化工、電子工業、冶金工業、食品加工、浮法玻璃、精細有機合成、航空航天等方面有著廣泛的應用。在石化工業中，需加氫通過去硫和氫化裂解等來進行原油的提煉。在輕工業中，也常使用氫氣對人造黃油、食用油、洗發精、潤滑劑、家庭清潔劑及其他產品中的脂肪氫化。同時氫具有高燃料性以及清潔性，航天工業常使用液氫作為燃料，汽車工業中也加大了對于使用氫氣的新能源汽車的研發。氧化亞氮 鋼瓶、魚雷車 氧化亞氮俗稱笑氣，高純氧化亞氮作為電子氣體，主要用于半導體光電器件研制生產的介質膜工藝，是直接影響光電器件質量的不可替代的關鍵電子氣體。高純氧化亞

99、氮在化學氣相沉積（CVD）工藝中，可用于制備摻雜 SiO2 膜。氧化亞氮還廣泛應用在醫用麻醉劑、食品懸浮劑、制藥、化妝品等領域。干冰 干冰箱 干冰是固態的二氧化碳，可用于模具行業清洗、石油化工電力行業清洗主風機、氣壓機、煙機、汽輪機、鼓風機等設備及各式加熱爐、反應器等結焦結炭的清除、電子行業清潔機器人、自動化設備的內部油脂、污垢、集成電路板、焊后焊藥、污染涂層、樹脂、溶劑性涂覆、保護層以及印刷電路板上光敏抗腐蝕劑等清除，以及冷藏保鮮運輸，如低溫冷凍醫療用途以及血漿、疫苗等特殊藥品的低溫運輸、電子低溫材料，精密元器件的長短途運輸以及高檔食品的保鮮運輸。硅烷 鋼瓶 硅烷作為一種提供硅組分的氣體源，

100、可用于制造高純度多晶硅、單晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、異質硅、各種金屬硅化物。因其高純度和能實現精細控制，已成為許多其他硅源無法取代的重要特種氣體。硅烷廣泛應用于微電子、光電子工業，用于制造太陽電池、平板顯示器、玻璃和鋼鐵鍍層，并且是迄今世界上唯一的大規模生產粒狀高純度硅的中間產物。硅烷的高科技應用還在不斷出現,包括用于制造先進陶瓷、復合材料、功能材料、生物材料、高能材料等等，成為許多新技術、新材料、新器件的基礎。氦氣 鋼瓶、魚雷車 氦氣是一種無色無味的不可燃氣體，利用液氦的低沸點特性，其在超導領域有廣泛應用，主要用于航天、醫療、泛半導體行業。而低密度與高穩定性的雙重特性，使其可替代

101、氫氣常用于飛艇或廣告氣球中的充入氣體。在光學領域，氦氣由于其穩定性，可用作氣相色譜法中的載色劑、溫度計的填充氣，并用于蓋革計數器和氣泡室等輻射測量設備中?；旌蠚?鋼瓶 混合氣是指標準氣或含有兩種或兩種以上有效組份的氣體。對于現實生活、生產中的一些特殊要求，單一組份氣體難以滿足，可通過對于不同組份氣體的混合來解決。在半導體電子行業中，電子氣號稱電子元器件制造的糧食，多規格的混合氣直接決定半導體器件的性能。在照明領域，不同稀有氣體的組份會產生不同的色彩。乙炔與氧氣的混合氣則能產生單一組份無法達到的高溫。在醫用領域，不同氦氧比例混合氣各有其獨特性能，具有廣泛應用。氟碳氣體 鋼瓶 包含六氟乙烷、八氟環

102、丁烷、四氟化碳等。六氟乙烷也稱全氟乙烷，可用作電子工業中的刻蝕氣、制冷空調業中的冷媒、化學工業中的添氟劑、電力工業中的絕緣劑及高介強度冷卻劑等；八氟環丁烷也稱全氟環丁烷，是一種無色無臭、非易燃的氣體，可用作穩定無毒的食品氣體噴射劑、介質氣體，此外可作為制冷劑應用，作為一種刻蝕氣在半導體行業也有重要應用；四氟化碳是目微電子工業中用量最大的等離子體蝕刻氣體之一，其高純氣及與高純氧氣的混合氣，可廣泛用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻，并且在低溫制冷、電子器件表面清洗和氣相絕緣等方面也被廣泛應用。醫用氣體 鋼瓶、儲槽 醫用氣體是指用于醫學診斷和生命救助的氣體，應用領域包括血液氣體檢

103、測，肺功能試驗，心肺試驗，外科激光器，麻醉監測，呼吸監測，醫學研究，放射性示蹤等。常用的醫用氣體有醫用氧、醫用二氧化碳，醫用氧化亞氮以及部分稀有氣體等。其中，醫用氧是包括新冠肺炎在內眾多疾病治療所需的重要物資；氦有時用于改善哮喘患者的呼吸；氙在超極化核磁共振成像中用于拍攝肺的醫學影像；具有強輻射性的氡只能微量制取，可用于放射線療法。大宗氣體大宗氣體 氧氣 鋼瓶、儲槽、現場制氣 氧氣約占空氣的 21%，工業上一般用液態空氣分離法大規模生產氧氣。氧氣是最重要的氧化劑，在冶煉工業中，通常使用高純度氧替代空氣以加速氧化反應，降低鋼的碳含量，清除磷、硫、硅等雜質。氧氣也是很好的助燃劑，如液氧被用作火箭推

104、進助燃劑。而將氧和乙炔混合燃燒時溫度高達 3,500，被廣泛的用于鋼鐵的焊接和切割。同時，氧氣作為維持生命必不可少的要素，在醫療、救援以及高海拔等特殊領域和地域都也有著極為重要的應用。在半導體行業中，氧氣可作為芯片制造工藝中重要步驟熱氧化過程的原料，與硅晶圓片反應生成二氧化硅膜，形成熱氧化層中重要的閘極氧化層與場氧化層。氮氣 鋼瓶、儲氮氣約占大氣總量的 78%，可同氧氣一樣用空氣分離法大規模生產。氮氣的化學性質不活潑，低溫下的液氮可用作深度冷凍行業深度報告行業深度報告 請務必參閱正文后面的信息披露和法律聲明 27/40 產品名稱產品名稱 供應模式供應模式 簡介簡介 槽、現場制氣 劑。常溫下的氮

105、氣則在工業中被廣泛應用于保護氣體，也可用作食品的保鮮保質。而在高溫下，氮氣可用于合成氨原料，是化學工業中最為重要的原料之一。在氣體工業中，通常采用無縫碳鋼瓶盛放氮氣，大批量使用時，可以選擇液氮杜瓦罐、液氮儲槽、制氮機現場生產供應等氮氣供應方式。超純氮氣等載氣對于高科技半導體行業至關重要，其直接應用于芯片與顯示器制造工藝，用來吹掃真空泵、排放系統等，營造超凈的氣體環境以保護制造工具。氬氣 鋼瓶、儲槽 氬氣是稀有氣體，又被稱為惰性氣體。利用其極不活潑的化學性質，氬氣廣泛應用于保護氣，例如活潑金屬的焊接，半導體晶體管的制造，燈泡中的填充氣等。而稀有氣體通電時會發光的性質，使其在光學領域也被廣泛應用。

106、同時由于其穩定的特點，在光學儀器中，也被用作氣相色譜儀等儀器的載氣，標準氣，平衡氣，零點氣等。在半導體行業，氬氣被用于等離子沉積和蝕刻工藝，還可用于深紫外光刻激光器中半導體芯片的最小特征的圖案上。液態氬氣的液滴還被越來越多的用于清洗最小、最脆弱的芯片結構中的碎屑。二氧化碳 鋼瓶、儲槽 二氧化碳是無色、無味、窒息性氣體。二氧化碳可用于核磁共振、青霉素制造，魚類、奶油、奶酪、冰糕等的保存及蔬菜保鮮，低溫輸送、滅火劑，冷卻劑；在半導體制造中用于氧化、擴散、化學氣相淀積，還可用于支持先進的浸沒光刻，專用低溫清洗應用以及 DI（去離子水）處理。液體二氧化碳可用于冷卻劑、焊接、鑄造工業、清涼飲料、碳酸鹽類

107、的制造、殺蟲劑、氧化防止劑、植物生長促進劑、發酵工業、藥品（局部麻醉）、制糖工業、膠及動物膠制造等。二氧化碳還可用于某些反應的惰性介質、石墨反應器的熱載體、輸送易燃液體的壓入氣體、標準氣、校正氣、在線儀表標準氣、特種混合氣等。乙炔 鋼瓶 乙炔也叫電石氣，常溫常壓下為無色、微毒的易燃氣體，具有弱麻醉和阻止細胞氧化的作用。乙炔受熱及震動等因素易引發爆炸，但在丙酮溶液中較為穩定，且溶解度極大，故工業上的乙炔是溶解在丙酮里的，也叫溶解乙炔。乙炔化學性質活潑，能與很多試劑發生加成反應，是有機合成的重要原料。此外其在金屬的焊接和切割、原子吸收光譜、標準氣、校正氣、合成橡膠、照明等領域也有應用。天然氣天然氣

108、 天然氣 鋼瓶、儲槽 天然氣是一種多組分的混合氣態化石燃料，主要成分是烷烴，其中甲烷占絕大多數，另有少量的乙烷、丙烷和丁烷。天然氣主要用作燃料，具有燃燒后無廢渣、廢水產生，相較煤炭、石油等能源有使用安全、熱值高、潔凈等優勢，被廣泛使用于生活、生產燃料以及工業發電等領域。同時天然氣也是制造氮肥的原料之一，具有投資少、成本低、污染少的特點。資料來源：金宏氣體招股說明書、開源證券研究所 客戶方面：客戶方面：（1）LED、光伏光伏與光纖光纜與光纖光纜：公司已經對國內 LED 芯片行業上市公司實現全覆蓋，對國內前十五大光伏企業的覆蓋率超過 50%，與亨通光電、住友電工、富通集團等全球光纖光纜十強企業建立

109、了良好的合作關系。（2）液晶面板及集）液晶面板及集成電路：成電路：目前公司已經開始向國內主要的液晶面板生產商京東方、三星電子、TCL華星、中電熊貓、天馬微電子、龍騰光電，以及知名集成電路廠商聯芯集成、華潤微電子、華力微電子、矽品科技、華天科技、深南電路、晶方科技等供貨或提供服務。此外，公司致力于電子半導體領域的特種氣體國產化，已逐步實現了超純氨、高純氧化亞氮、電子級正硅酸乙酯、高純二氧化碳等一系列產品的進口替代。公司自主研發的超純氨、高純氧化亞氮等產品已正式供應中芯國際、海力士、鎂光、聯芯集成、積塔等一批知名半導體客戶。表表17：金宏氣體特氣客戶涵蓋集成電路、液晶面板、金宏氣體特氣客戶涵蓋集成

110、電路、液晶面板、LED、光伏等領域、光伏等領域 所屬行業所屬行業 客戶名稱客戶名稱 協議協議/訂單首次簽訂時間訂單首次簽訂時間 主要銷售產品主要銷售產品 集成電路 深南電路 2019 年 純氬、液氮、高純氮、高純氧、高純乙炔、工業氧、五元混合氣、四氟化碳、乙炔 華力微電子 2018 年 液氮 聯芯集成 2018 年 超純氨 華潤微電子 2017 年 純氫 松下半導體 2016 年 高純二氧化碳、液氮、高純氮、高純氦、超純氬、純氬 行業深度報告行業深度報告 請務必參閱正文后面的信息披露和法律聲明 28/40 上海新傲 2015 年 高純氫、超純氨 美新半導體 2015 年 高純氧、高純二氧化碳、

111、液氮 華碩科技 2015 年 工業氮、液氮、高純氮 富士康電子 2015 年 高純氮、高純乙炔、液氮、高純氧 華天科技 2014 年 六氟化硫、八氟環丁烷、液氮、三氟化氮、四氟化碳 晶方科技 2012 年 高純二氧化碳、液氮、高純氬、高純氧、高純氦、六氟化硫、八氟環丁烷、四氟化碳、高純乙炔 矽品科技（日月光集團）2007 年 高純氧、高純氬、二氧化碳、混合氣 液晶面板 三星電子 2019 年 氣體運維服務 TCL 華星 2019 年 氧化亞氮 天馬微電子 2019 年 氧化亞氮 中電熊貓 2017 年 氧化亞氮、超純氨、標準氣 歐菲光 2016 年 液氮、高純氮、高純氬、高純氧 京東方 201

112、5 年 高純氦 龍騰光電 2013 年 超純氨 LED 士蘭明芯（士蘭微）2018 年 超純氨 圓融光電 2017 年 超純氨 中晶半導體 2017 年 超純氨 乾照光電 2015 年 超純氨、液氮、高純氫、氫氮混合氣 三安光電 2015 年 超純氨 華燦光電 2013 年 高純氫、超純氨、液氮、超純氧、超純氬 澳洋順昌 2013 年 高純氧、高純氬、超純氬、硅烷混合氣、四氟化碳混合氣、標準氣、高純氮、超純氮、氧化亞氮、三氟甲烷、高純氦 聚燦光電 2012 年 高純氦、四氟化碳、超純氨、硅烷混合氣、超純氧、四氟化碳混合氣、氧化亞氮、超純氬、三氯化硼 光纖通信 住友電工 2018 年 丙烷、液氮

113、、高純氮、甲烷、高純氦、純氬 安費諾集團 2018 年 液氮 康普通訊 2017 年 純氮、液氮、純氦、液氬、高純氬、工業氧、二氧化碳 亨通光電 2015 年 液氮、高純氮、高純氫、液氧、高純液氧、液體二氧化碳、高純二氧化碳、乙炔、液氬、標準氣、工業氧 富通集團 2015 年 四氟化碳 亨鑫科技 2015 年 液氬 通鼎光電 2015 年 純氬、高純氮、高純氦、氦氬混合氣、乙炔、工業氧、高純二氧化碳、氫氮混合氣、液氬、丙烷 光伏 中能硅業（協鑫集團）2019 年 氦氣、標準氣、混合氣 展宇新能源 2019 年 氧化亞氮、甲烷 通威太陽能 2017 年 超純氨、氧化亞氮、甲烷、高純氫、超純氬 愛

114、康科技 2015 年 甲烷、超純氮、硅烷、氧化亞氮、超純氨 隆基股份 2015 年 超純氨、氧化亞氮、高純氮、液氮、超純氮、混合氣、標準氣 阿特斯集團 2014 年 液氮、高純氮、高純氧、氫氮混合氣、超純氨、硅烷 億晶光電 2013 年 超純氮、高純氮、高純氦、高純氫、硅烷、超純氨、氧化亞氮、超純氬、純氬、高純氧 晶科能源 2013 年 氧化亞氮、超純氨 天合光能 2012 年 超純氨、超純氮、硅烷、高純氮、純氬、氧化亞氮、超純氬、高純乙炔、高純氦、高行業深度報告行業深度報告 請務必參閱正文后面的信息披露和法律聲明 29/40 純氧、高純氬 騰暉光伏（中利集團）2012 年 超純氬、超純氨、硅

115、烷、氧化亞氮、東方日升 2011 年 高純氮、超純氨、硅烷、高純氦、甲烷、氧化亞氮 鴻禧能源 2011 年 甲烷、高純甲烷、超純氮、氧化亞氮、液氧、液氮、超純氨、三氟化氮 資料來源：金宏氣體招股說明書、開源證券研究所 財務方面：財務方面：營收端，營收端，公司營收規模持續擴張，2012 年至 2022 年間營業收入由3.51 億元提升至 19.67 億元，年均復合增速達到 18.81%。利潤端，利潤端，公司歸母凈利潤整體呈上升趨勢，其中 2016 年受超純氨產品毛利率下降、銷售費用大幅增長等因素影響，公司歸母凈利潤同比下滑 76.73%至 0.12 億元；2022 年，公司繼續加大市場開發力度并

116、且原材料價格回落、產品毛利率有所提升，當年實現歸母凈利潤 2.29 億元，同比增長 37.14%。圖圖35：2022 年公司營業收入同比增長年公司營業收入同比增長 12.97%圖圖36：2022 年公司歸母凈利潤同比增長年公司歸母凈利潤同比增長 37.14%數據來源：Wind、開源證券研究所 數據來源：Wind、開源證券研究所 分產品來看，分產品來看，2022 年公司特種氣體產品營收與毛利占比分別年公司特種氣體產品營收與毛利占比分別達到達到 38%、44%。根據 Wind 數據，2022 年公司實現營收 19.67 億元、毛利 7.08 億元，其中大宗氣體、工業氣體與清潔煤氣產品的營收占比分別

117、達到 40%、38%、11%，貢獻毛利占比分別達到 39%、44%、5%。圖圖37：2022 年公司特種氣體營收占比年公司特種氣體營收占比 38%（億元）（億元）圖圖38：2022 年公司特種氣體毛利占比年公司特種氣體毛利占比 44%（億元）（億元）數據來源：Wind、開源證券研究所 數據來源：Wind、開源證券研究所 0%5%10%15%20%25%30%35%40%45%0510152025營業收入（億元）營業收入 YOY-200%-100%0%100%200%300%400%500%600%0.00.51.01.52.02.5歸母凈利潤（億元）歸母凈利潤 YOY大宗氣體,7.92,40%

118、特種氣體,7.44,38%清潔煤氣,2.21,11%其他業務,2.10,11%大宗氣體特種氣體清潔煤氣其他業務大宗氣體,2.78,39%特種氣體,3.07,44%清潔煤氣,0.36,5%其他業務,0.87,12%大宗氣體特種氣體清潔煤氣其他業務行業深度報告行業深度報告 請務必參閱正文后面的信息披露和法律聲明 30/40 分行業來看，分行業來看，2022 年半導體行業營收與毛利貢獻占比分別達到年半導體行業營收與毛利貢獻占比分別達到 19%、24%。營收方面，2022 年半導體行業實現營收 3.81 億元，占公司總營收的 19%，同時新材料、機械制造、高端裝備制造、醫療及食品、環保新能源領域的營收

119、占比也分別達到 17%、16%、12%、7%、6%。此外，在毛利方面，2022 年半導體行業貢獻毛利 1.68 億元，占公司總毛利的 24%，為公司毛利的主要來源。圖圖39：2022 年半導體行業營收占比年半導體行業營收占比 19%（億元）（億元）圖圖40：2022 年半導體行業毛利占比年半導體行業毛利占比 24%（億元）（億元）數據來源：Wind、開源證券研究所 數據來源：Wind、開源證券研究所 具體到半導體細分領域，具體到半導體細分領域，公司對半導體領域客戶銷售的產品主要包括超純氨、公司對半導體領域客戶銷售的產品主要包括超純氨、高純氫、高純氧化亞氮、高純二氧化碳、硅烷混合氣、八氟環高純氫

120、、高純氧化亞氮、高純二氧化碳、硅烷混合氣、八氟環丁烷、高純氬、高純丁烷、高純氬、高純氮等電子特種氣體，以及電子半導體領域生產中所用到的氮氣、氧氣、氬氣、二氧氮等電子特種氣體，以及電子半導體領域生產中所用到的氮氣、氧氣、氬氣、二氧化碳等電子大宗氣體?；嫉入娮哟笞跉怏w。根據公司招股說明書數據，截至 2019 年，公司在半導體領域實現營收 3.27 億元，占公司主營業務收入的 31.18%，其中電子特氣與電子大宗氣體分別貢獻營收 2.52 億元、0.75 億元，分別占公司半導體領域營收的 77%、23%。進一步來看，在電子特氣方面，光伏、光纖通信、LED、液晶面板與集成電路行業分別貢獻營收 0.6

121、2 億元、0.36 億元、0.71 億元、0.40 億元、0.44 億元，合計 2.52 億元，占公司電子特氣收入的 64.54%。表表18：金宏氣體在半導體領域的營收主要由電子特氣貢獻，金宏氣體在半導體領域的營收主要由電子特氣貢獻，2019 年占比達到年占比達到 77%行業類別行業類別 2017 年度年度 2018 年度年度 2019 年度年度 營收營收（整體）（整體）其中：其中：電子特氣電子特氣 其中：其中：電子大宗氣體電子大宗氣體 營收營收（整體）（整體）其中：其中：電子特氣電子特氣 其中：其中：電子大宗氣體電子大宗氣體 營收營收（整體）（整體）其中：其中：電子特氣電子特氣 其中：其中：

122、電子大宗氣體電子大宗氣體 光伏 4667 4273 394 5125 4638 487 6762 6246 517 光纖通信 1961 1359 602 5256 2437 2818 7070 3575 3494 LED 8625 7136 1489 8819 8022 797 8979 7056 1922 液晶面板 522 339 183 2432 2213 219 4145 4020 125 集成電路 2379 1758 620 4044 2777 1267 5762 4351 1411 合計（合計（A）18154 14866 3288 25676 20087 5589 32718 252

123、49 7470 主營業務收入（B）或電子特氣收入（C）81508 28063 -95544 33235 -104937 39122 -占比占比（A/B 或或 A/C）22.27%52.97%-26.87%60.44%-31.18%64.54%-數據來源：金宏氣體招股說明書、開源證券研究所 半導體行業,3.81,19%新材料,3.41,17%機械制造,3.09,16%高端裝備制造,2.37,12%醫療及食品,1.38,7%環保新能源,1.19,6%其他制造,2.33,12%其他業務,2.10,11%半導體行業,1.68,24%新材料,0.83,12%機械制造,1.17,17%高端裝備制造,0.8

124、8,12%醫療及食品,0.58,8%環保新能源,0.36,5%其他制造,0.70,10%其他業務,0.87,12%行業深度報告行業深度報告 請務必參閱正文后面的信息披露和法律聲明 31/40 4.4、昊華科技：昊華科技：央企材料平臺央企材料平臺，老牌電子特氣供應商，老牌電子特氣供應商 主營業務方面：主營業務方面：公司主要業務為高端氟材料、電子化學品和航空化工材料的研發、生產與銷售，同時在工程技術服務與創新等領域也有較大發展。其中，目前公司電子化學品產業主要集中在子公司昊華氣體，其業務涵蓋電子特氣（蝕刻清洗氣、離子注入/摻雜氣、化學氣相沉積/原子層沉積氣、高純混配氣等）、電子大宗氣體（超純氮/氧

125、/氫/氬/氦等）、電子產業含氟精細化學品、工業氣體及標準氣、工程服務及供氣技術、分析檢驗服務等，核心產品包括三氟化氮、四氟化碳、六氟化硫、六氟化鎢、磷烷、砷烷、三氟化硼、綠色四氧化二氮、高純硒化氫、高純硫化氫、高純氦氣、VOCs 標氣、標準混合氣體等?？蛻舴矫妫嚎蛻舴矫妫汗倦娮犹貧猱a品已進入中芯國際、長鑫存儲、華虹宏力、華潤上華、鎂光、德州儀器、吉林華微電子等十余家半導體生產企業。同時公司為京東方特氣領域最大供應商，供應的產品對對集團旗下 15 座工廠幾乎實現全覆蓋。財務方面：財務方面：作為平臺型企業，公司依托強大的技術研發能力，不斷開拓新業務與新產品，驅動公司不斷成長。截至 2022 年，

126、公司當年實現營業收入 90.68 億元，同比增長 22.13%，實現歸母凈利潤 11.65 億元，同比增長 30.67%。圖圖41：2022 年年公司歸母凈利潤同比增長公司歸母凈利潤同比增長 30.67%數據來源：Wind、開源證券研究所 分產品來看，分產品來看，2022 年電子氣體、聚氨酯及化學推進劑業務營收與毛利占比分別年電子氣體、聚氨酯及化學推進劑業務營收與毛利占比分別為為 8%、9%。根據 Wind 數據，2022 年公司營收與毛利結構中，化工材料產品為最大的收入與毛利來源，分別占比 36%、52%；此外，電子氣體、聚氨酯及化學推進劑業務合計貢獻營收 7.06 億元、毛利 1.92 億

127、元，分別占公司總營收與總毛利的 8%、9%。-10%0%10%20%30%40%50%60%70%0102030405060708090100201820192020202120222023Q1營業收入（億元）歸母凈利潤（億元）營業收入 YOY歸母凈利潤 YOY行業深度報告行業深度報告 請務必參閱正文后面的信息披露和法律聲明 32/40 圖圖42：2022 年公司化工材料營收占比年公司化工材料營收占比 36%（億元）（億元）圖圖43：2022 年公司化工材料毛利占比年公司化工材料毛利占比 52%（億元）（億元）數據來源：Wind、開源證券研究所 數據來源：Wind、開源證券研究所 4.5、凱美

128、特氣凱美特氣：食品級二氧化碳龍頭，積極進軍電子特氣領域：食品級二氧化碳龍頭，積極進軍電子特氣領域 主營業務方面：主營業務方面：公司是以石油化工尾氣（廢氣）、火炬氣為原料，研發、生產多種氣體產品的專業環保企業。公司主要產品包括高純食品級液體二氧化碳、干冰、氬氣、氮氣、氫氣、氧氣、戊烷、液化氣及可燃氣等其它氣體，其中：公司高純食公司高純食品級液體二氧化碳品級液體二氧化碳現有現有產能為產能為 56 萬噸萬噸/年，為國內食品級二氧化碳龍頭企業。年，為國內食品級二氧化碳龍頭企業。表表19：公司高純食品級液體二氧化碳現有產能為公司高純食品級液體二氧化碳現有產能為 56 萬噸萬噸/年年 基地基地 產品產品

129、現有產能現有產能 在建在建/擬建產能擬建產能 母公司湖南凱美特 食品級液體二氧化碳 20 萬噸/年-液氧 1.5 萬噸/年-液氮 4.5 萬噸/年-液氬 2.29 萬噸/年-安慶凱美特 食品級液體二氧化碳 10 萬噸/年-安慶特氣分公司 精餾液化可燃氣 52,080 噸/年-氫氣 3214 萬 Nm3/年-燃料氣 5564 萬 Nm3/年-戊烷工業烴 11,400 噸/年-惠州凱美特 食品級液體二氧化碳 13 萬噸/年-優質干冰 2 萬噸/年-高純態 10 萬標瓶/年-岳陽長嶺凱美特 氫氣 4,760 噸/年-燃料氣 10.6 萬噸/年-海南凱美特 食品級二氧化碳 3 萬噸/年-燃料氣 7.3

130、 萬噸/年-轉化爐用燃料氣 15.2 萬噸/年-氫氣 1.072 萬噸/年-氮氣 5.24 萬噸/年-福建凱美特 食品級液體二氧化碳 10 萬噸/年 10 萬噸/年 優質干冰 3,000 噸/年-氫氣 1,852.8 萬 Nm3/年-化工材料,32.38,36%氟材料,20.25,22%工程咨詢及技術服務,16.10,18%電子氣體、聚氨酯及化學推進劑業務,7.06,8%貿易及其他,11.18,12%其他業務,3.70,4%化工材料,11.39,52%氟材料,4.39,20%工程咨詢及技術服務,2.93,13%電子氣體、聚氨酯及化學推進劑業務,1.92,9%貿易及其他,0.55,2%其他業務,

131、0.85,4%行業深度報告行業深度報告 請務必參閱正文后面的信息披露和法律聲明 33/40 燃料氣 1,580 萬 Nm3/年-揭陽凱美特 食品級二氧化碳-30 萬噸/年 工業、電子級雙氧水-30 萬噸/年 資料來源：凱美特氣公司公告、開源證券研究所 公司積極進軍電子特氣領域。公司積極進軍電子特氣領域。在鞏固二氧化碳氣體行業龍頭地位的基礎上，2018年起公司積極進軍電子特氣領域。2020 年 7 月，公司岳陽電子特種稀有氣體項目正式投產，已生產出的合格產品包括：99.99996%二氧化碳、99.9999%氦氣、99.999%氖氣、99.9999%氬氣、99.999%氪氣、99.9995%氙氣、

132、99.997%一氧化碳、99.9999%氮氣、99.9999%氫氣、氯化氫基準分子激光混配氣、氟基準分子激光混配氣、動態激光混配氣。此后，公司陸續投資建設郴州宜章凱美特特種氣體項目等，持續加碼電子特氣產業。表表20：公司岳陽電子特種稀有氣體項目公司岳陽電子特種稀有氣體項目于于 2020 年年 7 月正式投產月正式投產 項目項目 產品產品 產能（產能（Nm3/年）年）級別（級別（%）狀態狀態 岳陽電子特種稀有氣體項目 二氧化碳壓縮的或液化的 36 99.99996 在產 一氧化碳 2.5 99.997 氪壓縮的或液化的 1.175 99.999 氙壓縮的或液化的 0.09 99.9995 氫 1

133、4.4 99.9999 氮壓縮的或液化的 14.4 99.9999 氬壓縮的或液化的 14.4 99.9999 氦壓縮的或液化的 14.4 99.9999 氖壓縮的或液化的 6.8 99.999 氟基激光混配氣 1.4-氯化氫基激光混配氣 0.36-動態混配氣 0.86-郴州宜章凱美特特種氣體項目 電子級氯化氫、電子級溴化氫、電子級碘化氫、氟基混配氣、五氟化銻、電子級三氟化氯、電子級碳酰氟、電子級乙炔、氘氣等 在建 岳陽凱美特配套己內酰胺產業鏈裝置尾氣回收綜合利用項目 利用己內酰胺產業鏈搬遷與升級轉型發展項目的貧氪氙液氧、粗氖氦氮氣生產氪氙混合氣、氖氣、氦氣等電子特氣產品 在建 巴陵 9000

134、0Nm3/h 空分裝置稀有氣體提取項目 可解決氦、氖、氪、氙粗制原料氣自給 在建 資料來源：凱美特氣公司公告、開源證券研究所 客戶方面：客戶方面：目前公司食品級液體二氧化碳產品已通過可口可樂和百事可樂的認證，被可口可樂和百事可樂等公司確認為在中國的策略供應商，并為杭州娃哈哈集團、屈臣氏集團、百威英博啤酒集團、青島啤酒、華潤雪花啤酒、燕京啤酒、珠江啤酒集團、中煙集團等眾多知名食品飲料、煙草客戶和中國中車集團、三一重工、中聯重科、山河智能、岳陽林紙等特大型工業客戶廣泛采用。在電子特氣領域，在電子特氣領域，2023年年 2 月，公司月，公司收到收到 ASML 子公司子公司 Cymer 公司發來的合格

135、供應商認證函，公司發來的合格供應商認證函，公司公司光刻光刻氣產品氣產品成功成功通過通過 Cymer 公司審查公司審查，被，被列入合格供應商名單。列入合格供應商名單。行業深度報告行業深度報告 請務必參閱正文后面的信息披露和法律聲明 34/40 表表21：公司光刻氣產品被列入公司光刻氣產品被列入 ASML 子公司子公司 Cymer 公司公司的的合格供應商名單合格供應商名單 領域領域 現有客戶現有客戶/已通過認證的潛在客戶已通過認證的潛在客戶 食品飲料 可口可樂、百事可樂、杭州娃哈哈集團、屈臣氏集團、百威英博啤酒集團、青島啤酒、華潤雪花啤酒、燕京啤酒、珠江啤酒集團、中煙集團等 煙草 中煙集團 特大型

136、工業客戶 中國中車集團、三一重工、中聯重科、山河智能、岳陽林紙等 電子半導體 ASML 等 資料來源：凱美特氣公司公告、開源證券研究所 財務方面：財務方面：2013 年至 2021 年間，公司整體業績穩中有升，其中 2015 年受液體氣及戊烷價格大幅下降、長嶺凱美特全年停車帶來資產減值損失等因素的影響，公司實現營收 1.52 億元，同比下降 42.04%，實現歸母凈利潤-0.46 億元，同比下降244.68%；2021 年，受益于液化氣與戊烷產品價格大幅上漲、二氧化碳產品產銷量有所提升等因素，公司實現營收 6.68 億元，同比增長 28.68%，實現歸母凈利潤 1.39億元，同比增長 92.3

137、4%。2022 年公司業績繼續維持高速增長，全年實現營收 8.52億元，同比增長 27.66%，實現歸母凈利潤 1.66 億元，同比增長 19.25%。圖圖44：2022 年年公司歸母凈利潤同比增長公司歸母凈利潤同比增長 19.25%數據來源：Wind、開源證券研究所 分產品來看，分產品來看，2022 年年公司特種氣體營收與毛利占比分別達到公司特種氣體營收與毛利占比分別達到 30.3%、39.4%。根據 Wind 數據，2022 年公司合計實現營收 8.52 億元、毛利 3.40 億元，其中特種氣體產品貢獻營收 2.58 億元、毛利 1.34 億元，分別占公司總營收與總毛利的 30.3%、39

138、.4%。-300%-250%-200%-150%-100%-50%0%50%100%150%200%(1)012345678920132014201520162017201820192020202120222023Q1營業收入（億元）歸母凈利潤（億元）營業收入 YOY歸母凈利潤 YOY行業深度報告行業深度報告 請務必參閱正文后面的信息披露和法律聲明 35/40 圖圖45：2022 年年公司特種氣體營收公司特種氣體營收占比占比 30.3%（億元）（億元）圖圖46：2022 年年公司特種氣體公司特種氣體毛利占比毛利占比 39.4%（億元）（億元）數據來源：Wind、開源證券研究所 數據來源：Win

139、d、開源證券研究所 4.6、和遠氣體和遠氣體：潛江與宜昌兩大基地齊頭并進，潛江與宜昌兩大基地齊頭并進，持續加碼持續加碼電子特氣業務電子特氣業務 主營業務方面：主營業務方面：公司專注于氣體產品的生產和銷售，產品大致分為三類：（產品大致分為三類：（1）普通氣體，普通氣體，包括氧、氮、氬、二氧化碳、乙炔、丙烷等；（2）特種氣體，）特種氣體，包括氦氣、氫氣等；（3）清潔能源，）清潔能源，包括液態天然氣等。公司積極布局電子特氣業務。公司積極布局電子特氣業務。公司利用多年來在氣體分離、提純、合成等方面積累的技術與經驗，以宜昌化工園、潛江化工園的氟、硅、碳、氫、氯等資源為基礎原材料，打造電子特氣、電子化學品

140、、功能性新材料、氣凝膠、前驅體、同位素等全產業鏈循環體系，建設電子特氣與功能性材料產業園，不斷加快向產業鏈下游半導體等高端產業領域延伸拓展的步伐：（1）潛江基地：）潛江基地：2020 年 4 月，公司公告投資 2.8 億元，在湖北省潛江化工園興建電子特氣產業園，建設年產 8 萬噸電子級超純氨、32000 萬方電子級高純氫氣（最大產能）項目。2021 年 9 月，公司公告將電子特氣產業園項目投資預算增加至 3.91億元，同時將該項目產品產能調整為：純氨，生產能力年產 20 萬噸，其中包含電子級高純氨年產 2 萬噸；電子級高純氫氣最大生產能力保持 32000 萬方/年不變（純氨和高純氫氣在設計上可

141、相互轉換）。后 2021 年 10 月，公司公告投資 3.7 億元，新增電子特氣及電子化學品項目。該項目采用合成、分離、提純等技術，一方面將合成氨生產的變壓吸附提氫的解析氣進行分離、提純，對其中的一氧化碳、二氧化碳、甲烷、氫氣等組分加以利用，制取高純一氧化碳、高純二氧化碳、高純甲烷等電子級化學品；另一方面，利用現有氨-碳-氫-氯-硅-硫等資源，建設高純羰基硫、高純氯氣、高純氯化氫、高純鹽酸、高純氨水等電子級化學品生產裝置，以及食品級二氧化碳生產裝置。（2）宜昌基地：）宜昌基地：2022 年 3 月，公司與宜昌高新技術產業開發區管理委員會簽訂關于建設宜昌電子特氣及功能性材料產業園項目的合作協議書

142、，投資建設電子特氣及功能性材料產業園項目。該項目總投資約 50 億元，分兩期建設，其中一期項目投資 20 億元，建設周期 24 個月，二期項目投資 30 億元，建設周期 24 個月。二氧化碳,2.45,28.8%燃料,1.48,17.4%氫氣,1.71,20.1%特種氣體,2.58,30.3%空分氣體,0.28,3.3%其他業務,0.01,0.1%二氧化碳,1.07,31.5%燃料,0.53,15.6%氫氣,0.43,12.6%特種氣體,1.34,39.4%空分氣體,0.02,0.6%其他業務,0.01,0.3%行業深度報告行業深度報告 請務必參閱正文后面的信息披露和法律聲明 36/40 表表

143、22：和遠氣體和遠氣體積極布局電子特氣業務積極布局電子特氣業務 基地基地 類別類別 具體產品具體產品 建設規模建設規模 狀態狀態 宜昌基地 電子特氣及硅基功能性新材料 電子級硅烷 5000t/a 在建 六氟丁二烯 50t/a 三氟化氮 2000t/a 六氟化鎢 500t/a 光伏級三氯氫硅 80000t/a 半導體級三氯氫硅 1000t/a 半導體級二氯二氫硅 300t/a 光導纖維級四氯化硅 15000t/a 半導體級四氯化硅 500t/a 工業級 TEOS 5000t/a 半導體級 TEOS 5000t/a 3-氯丙基三乙氧基硅烷 50000t/a 3-氯丙基三甲氧基硅烷 10000t/a

144、 雙-3-（三乙氧基硅基)-丙基-四硫化物 18000t/a 雙-3-（三乙氧基硅基)-丙基-二硫化物 5000t/a 3-巰丙基三甲氧基硅烷 1500t/a 3-巰丙基三乙氧基硅烷 1500t/a 3-氨丙基三甲氧基硅烷 3000t/a 3-氨丙基三乙氧基硅烷 8000t/a N-（2-氨乙基)-3-氨丙基三乙氧基硅烷 3000t/a N-（2-氨乙基)-3-氨丙基三甲氧基硅烷 1000t/a N-十二烷基三甲氧基硅烷 1000t/a N-辛基三乙氧基硅烷 1000t/a 3-（甲基丙烯酰氧基)丙基三乙氧基硅烷 2000t/a 3-（甲基丙烯酰氧基)丙基三甲氧基硅烷 8000t/a 乙烯基三

145、甲氧基硅烷 10000t/a 乙烯基三乙氧基硅烷 2000t/a 3-縮水甘油醚氧丙基三甲氧基硅烷 10000t/a 潛江基地 電子特氣及電子化學品 純氨 200000t/a 在建 其中：電子級超純氨 20000t/a 電子級高純氫氣 32000 萬方/年 MDEA 脫碳裝置 原料氣量 4890Nm3/h 食品級二氧化碳裝置 20000t/a 高純二氧化碳 純化裝置 2000t/a 深度脫碳和脫水裝置/甲烷提純裝置（高純甲烷）500t/a 一氧化碳分離裝置/一氧化碳純化裝置（高純一氧化碳）200t/a 羰基硫合成裝置 200t/a 羰基硫提純裝置（高純羰基硫）100t/a 氯氣純化裝置（高純氯

146、氣）500t/a 氯化氫合成裝置 10000t/a 行業深度報告行業深度報告 請務必參閱正文后面的信息披露和法律聲明 37/40 氯化氫純化裝置（高純氯化氫）5000t/a 高純鹽酸裝置 10000t/a 高純氨水裝置 10000t/a 超純水裝置 13300t/a（供高純氨水、高純鹽酸使用）資料來源：和遠氣體公司公告、開源證券研究所 客戶方面：客戶方面：公司產品多元化，客戶數量眾多，整體客戶結構層次穩定，與大量下游行業的代表性企業保持長期穩定供應關系，涉及行業廣泛，積累了一批優質客戶，多次被客戶評為優秀供應商，其中包括興發集團、武船重工、菲利華、臺基半導體、中國石化、格力電器、美的電器、海爾

147、電器、TCL、東風汽車、百事、統一、紅牛、伊利、加多寶、蒙牛、匯源、銀鷺等數千家客戶。表表23：公司客戶公司客戶分布于食品飲料、家電、汽車等領域分布于食品飲料、家電、汽車等領域 分類分類 主要客戶主要客戶 食品飲料 百事、統一、紅牛、伊利、加多寶、蒙牛、匯源、銀鷺等 家電與汽車 格力電器、美的電器、海爾電器、TCL、東風汽車等 特大型工業客戶 興發集團、武船重工、菲利華、中國石化等 半導體 臺基半導體等 資料來源：和遠氣體公司公告、開源證券研究所 財務方面：財務方面：公司營收與利潤規模持續擴張，2015 年至 2021 年間營業收入由 3.04億元提升至 9.92 億元、歸母凈利潤由 0.20

148、 億元提升至 0.90 億元，年均復合增速分別達到 21.79%、28.49%。2022 年公司營收規模繼續擴張，全年實現營收 13.22 億元，同比增長 33.25%，但受產品毛利率下降、政府補助減少等因素影響，全年實現歸母凈利潤 0.75 億元，同比下降 16.69%。圖圖47：2022 年公司歸母凈利潤同比下降年公司歸母凈利潤同比下降 16.69%數據來源：Wind、開源證券研究所 -40%-20%0%20%40%60%80%100%120%02468101214201520162017201820192020202120222023Q1營業收入（億元）歸母凈利潤（億元）營業收入 YOY

149、歸母凈利潤 YOY行業深度報告行業深度報告 請務必參閱正文后面的信息披露和法律聲明 38/40 分產品來看，分產品來看，2022 年年公司特種氣體營收占比公司特種氣體營收占比為為 7%。根據 Wind 數據，2022 年公司合計實現營收 13.22 億元，其中特種氣體產品貢獻營收 0.98 億元，占比 7%。圖圖48：2022 年年公司特種氣體營收占比為公司特種氣體營收占比為 7%（億元）（億元）數據來源：Wind、開源證券研究所 表表24：受益標的盈利預測受益標的盈利預測 股票代碼股票代碼 證券簡稱證券簡稱 總市值總市值（億元）（億元）收盤價收盤價（元（元/股）股）EPS（攤?。〝偙?元）元

150、）PE（倍）（倍）評級評級 2022A 2023E 2024E 2025E 2022A 2023E 2024E 2025E 688106.SH 金宏氣體 120 24.71 0.47 0.63 0.81 1.02 39.8 39.2 30.5 24.2 買入 600378.SH 昊華科技 338 37.12 1.28 1.42 1.73 2.01 33.6 26.2 21.5 18.4 買入 688268.SH 華特氣體 98 81.50 1.71 2.20 2.88 3.78 43.3 37.0 28.3 21.6 未評級 002549.SZ 凱美特氣 73 11.42 0.26 0.38

151、0.51 0.65 58.3 30.2 22.4 17.7 未評級 002971.SZ 和遠氣體 42 26.02 0.47 1.19 1.78 2.97 38.5 21.9 14.6 8.8 未評級 688146.SH 中船特氣 234 44.20 0.85 0.85 1.07 1.30 -51.8 41.5 34.0 未評級 數據來源：Wind、開源證券研究所 注：1、除金宏氣體外，其余均來自 Wind 一致預期；2、上述盈利預測及估值數據均以 2023 年 5 月 18 日為基礎。5、風險提示風險提示 國產替代進程不及預期、原材料價格大幅波動、下游需求大幅下滑等。普通氣體,6.45,49

152、%工業化學品及新型材料,4.64,35%清潔煤氣,0.79,6%特種氣體,0.98,7%其他業務,0.36,3%普通氣體工業化學品及新型材料清潔煤氣特種氣體其他業務行業深度報告行業深度報告 請務必參閱正文后面的信息披露和法律聲明 39/40 特別特別聲明聲明 證券期貨投資者適當性管理辦法、證券經營機構投資者適當性管理實施指引（試行）已于2017年7月1日起正式實施。根據上述規定，開源證券評定此研報的風險等級為R3（中風險），因此通過公共平臺推送的研報其適用的投資者類別僅限定為專業投資者及風險承受能力為C3、C4、C5的普通投資者。若您并非專業投資者及風險承受能力為C3、C4、C5的普通投資者，

153、請取消閱讀，請勿收藏、接收或使用本研報中的任何信息。因此受限于訪問權限的設置，若給您造成不便，煩請見諒！感謝您給予的理解與配合。分析師承諾分析師承諾 負責準備本報告以及撰寫本報告的所有研究分析師或工作人員在此保證，本研究報告中關于任何發行商或證券所發表的觀點均如實反映分析人員的個人觀點。負責準備本報告的分析師獲取報酬的評判因素包括研究的質量和準確性、客戶的反饋、競爭性因素以及開源證券股份有限公司的整體收益。所有研究分析師或工作人員保證他們報酬的任何一部分不曾與，不與，也將不會與本報告中具體的推薦意見或觀點有直接或間接的聯系。股票投資評級說明股票投資評級說明 評級評級 說明說明 證券評級證券評級

154、 買入（Buy）預計相對強于市場表現 20%以上；增持（outperform）預計相對強于市場表現 5%20%；中性（Neutral）預計相對市場表現在5%5%之間波動；減持（underperform）預計相對弱于市場表現 5%以下。行業評級行業評級 看好（overweight）預計行業超越整體市場表現；中性（Neutral）預計行業與整體市場表現基本持平；看淡（underperform）預計行業弱于整體市場表現。備注：評級標準為以報告日后的 612 個月內，證券相對于市場基準指數的漲跌幅表現，其中 A 股基準指數為滬深 300 指數、港股基準指數為恒生指數、新三板基準指數為三板成指（針對協議

155、轉讓標的）或三板做市指數（針對做市轉讓標的）、美股基準指數為標普 500 或納斯達克綜合指數。我們在此提醒您，不同證券研究機構采用不同的評級術語及評級標準。我們采用的是相對評級體系，表示投資的相對比重建議；投資者買入或者賣出證券的決定取決于個人的實際情況，比如當前的持倉結構以及其他需要考慮的因素。投資者應閱讀整篇報告，以獲取比較完整的觀點與信息，不應僅僅依靠投資評級來推斷結論。分析、估值方法的局限性說明分析、估值方法的局限性說明 本報告所包含的分析基于各種假設，不同假設可能導致分析結果出現重大不同。本報告采用的各種估值方法及模型均有其局限性，估值結果不保證所涉及證券能夠在該價格交易。行業深度報

156、告行業深度報告 請務必參閱正文后面的信息披露和法律聲明 40/40 法律聲明法律聲明 開源證券股份有限公司是經中國證監會批準設立的證券經營機構，已具備證券投資咨詢業務資格。本報告僅供開源證券股份有限公司（以下簡稱“本公司”）的機構或個人客戶（以下簡稱“客戶”）使用。本公司不會因接收人收到本報告而視其為客戶。本報告是發送給開源證券客戶的，屬于商業秘密材料，只有開源證券客戶才能參考或使用，如接收人并非開源證券客戶，請及時退回并刪除。本報告是基于本公司認為可靠的已公開信息，但本公司不保證該等信息的準確性或完整性。本報告所載的資料、工具、意見及推測只提供給客戶作參考之用，并非作為或被視為出售或購買證券

157、或其他金融工具的邀請或向人做出邀請。本報告所載的資料、意見及推測僅反映本公司于發布本報告當日的判斷，本報告所指的證券或投資標的的價格、價值及投資收入可能會波動。在不同時期，本公司可發出與本報告所載資料、意見及推測不一致的報告?？蛻魬斂紤]到本公司可能存在可能影響本報告客觀性的利益沖突，不應視本報告為做出投資決策的唯一因素。本報告中所指的投資及服務可能不適合個別客戶，不構成客戶私人咨詢建議。本公司未確保本報告充分考慮到個別客戶特殊的投資目標、財務狀況或需要。本公司建議客戶應考慮本報告的任何意見或建議是否符合其特定狀況，以及（若有必要）咨詢獨立投資顧問。在任何情況下，本報告中的信息或所表述的意見并

158、不構成對任何人的投資建議。在任何情況下，本公司不對任何人因使用本報告中的任何內容所引致的任何損失負任何責任。若本報告的接收人非本公司的客戶，應在基于本報告做出任何投資決定或就本報告要求任何解釋前咨詢獨立投資顧問。本報告可能附帶其它網站的地址或超級鏈接，對于可能涉及的開源證券網站以外的地址或超級鏈接，開源證券不對其內容負責。本報告提供這些地址或超級鏈接的目的純粹是為了客戶使用方便，鏈接網站的內容不構成本報告的任何部分，客戶需自行承擔瀏覽這些網站的費用或風險。開源證券在法律允許的情況下可參與、投資或持有本報告涉及的證券或進行證券交易，或向本報告涉及的公司提供或爭取提供包括投資銀行業務在內的服務或業

159、務支持。開源證券可能與本報告涉及的公司之間存在業務關系，并無需事先或在獲得業務關系后通知客戶。本報告的版權歸本公司所有。本公司對本報告保留一切權利。除非另有書面顯示，否則本報告中的所有材料的版權均屬本公司。未經本公司事先書面授權，本報告的任何部分均不得以任何方式制作任何形式的拷貝、復印件或復制品，或再次分發給任何其他人，或以任何侵犯本公司版權的其他方式使用。所有本報告中使用的商標、服務標記及標記均為本公司的商標、服務標記及標記。開開源證券源證券研究所研究所 上海上海 深圳深圳 地址：上海市浦東新區世紀大道1788號陸家嘴金控廣場1號 樓10層 郵編：200120 郵箱： 地址：深圳市福田區金田路2030號卓越世紀中心1號 樓45層 郵編：518000 郵箱： 北京北京 西安西安 地址：北京市西城區西直門外大街18號金貿大廈C2座9層 郵編：100044 郵箱： 地址：西安市高新區錦業路1號都市之門B座5層 郵編：710065 郵箱：