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1、光刻機制作人：星河智源報告生成時間：2024-08-26星河智源 助力科技 創新科技提升 質量成促進果轉化專利轉化概況趨勢展力示該術領域逐年公轉化開的升申請、升授權及請、對應率域開的公轉化請、升（率域開的升當/開的升）。公域較多展力示該術份為）熱公域較度開 的概況高新，上可以展力示該術反映研發投高新概況/入呈映由請、公于明周度轉化逐年期長具有延度后性因2-此域公開的升近請、對，3和能/開的域偏低開的請、請、類型20占比15644此82比全部此2920占6156.64占260部全比920占.156全240此比8部24920占815全占8比6.6占部.6920占全15占占0比.0占6此部44920

2、2015占比048全此比全部此89202占15占682860比占部占此9202215占8比全6比2此比部0.9202此15204062占此0部4492024156此占.此占占部比.9星河智源 助力科技 創新科技提升 質量成促進果轉化偏低趨勢展力示該術公轉化偏低%7度映由近分布技低實用3申是功高公科技度結構外觀實權設計結構公科技/產品映由類型一熱度般科技越為一熱則分布技低程；設計公側重量則設計小偏。申改技種更換公代快結構外觀和。/偏低行升映由轉化占此.占.分布技低248此結構外觀.2星河智源 助力科技 創新科技提升 質量成促進果業數法律轉化長狀延多長狀公轉化，上布呈態、度效狀轉化力示維失不業數再

3、受度保護轉化，上不審時再受度請、有失態、/效狀中后可以臨原公力示主體申水平主體 管/業數法律行升長狀.比8此理狀4比比6等保4占此此星河智源 助力科技 創新科技提升 質量成促進果力示生無于明趨勢轉化開的升在轉化開的人行升命時間公與隨推移果公而利/%變率情力示該術生無于明析前所處度與階段測力示映趨未來/方命時間向周度開的升近開的 人行升如增都創新度大由展轉化力示前呈向周明/入呈轉化逐年公具有延度因幅域公開的升近開的人行升，3和能/開的域開的升開的人行升20占比6442比820占66.62比比20占.6全2此0820占8全占8此.此20占全占占0比4482020占比046占占202占占682.6此

4、2022占8比全848202此2040全此020246此占4占2星河智源 助力科技 創新科技提升 質量成促進果轉化開的護表兩國%7趨勢展力示該術等護表省兩國公轉化開的升%7/開的升）增公市術度展各市區地長通常力示相關度通常力示公反集）多群量/究先一顏大由開的升一。度色 深鼠標定位程度究先到右條勢權及公開的升度各會護通及開的升公市術顯右熱圖/各術開的升高也此866亮海200比江蘇占6全2北京占比全此廣亮84.東浙.8占安徽624四江比全8川湖4比6陜西亮此全8黑京此26龍山此占.吉林2此.福建20此四天202津南占64；遼占比0亮湖占0全河江全4河天84北湖.0黑湖68寧慶44甘天4占護表肅云2

5、0臺灣占此貴州內8也天8護表蒙古.南香6技港4夏也占星河智源 助力科技 創新科技提升 質量成促進果力示%變力示功成趨勢展力示該術臨疆力示%青公轉化%7/轉化升）。公力示%青度科技份為通權）熱度率情力示該術公要支空，3實白等機右/%偏點鼠潛轉化行升號0此義.（20部G光授F外曝應其制布備通復制外曝發號0此照2.（00當印2006部0占B比0占占號0此義全（00中申州申版申備申會片大框公權紋面鼠標度準方或例各應號0此義.（22自群則備通州公制曝發號0此義占（00則等其制布公備通復外曝護公發號0此照2.（00當印2006部0占B880號0此義.（00會片框度準方度復動大框公備通制方光刻優刷則會片框備

6、通制布公工藝度方：材光料含致抗公工藝則會片框備通制公轉布外曝應布呈蝕劑優刷公光料含致抗是功特通常公標殊度準方度照44見度置0占C度準方度置0占C2占（00度置0比H當印2006部0占B4.全置0占C2占（02.部部段等置0占C2占（占8面置0占C2占（此4L護K材公多量產組公光刻優刷等包步原半高制作導之印2006部0占B4此此照8占見占（00等掩貴面F高制膜面前平公基殊面造裝應照8占見此（00自群當印2006部0占B406置0占C此占（占8部轉系統布呈制膜面前平門適這些面F5些公未業面外曝印2006部0占B此64置0占C2占（6.部轉系統布呈等制膜面前平器越護前平包步原面件過原這些公基殊則轉系

7、統電呈等包步原面件過原這些面5些公制膜面前平器越護前平固公基殊印2006部0占B此占8置0占C2占（此此6部部部部部部合長晶帶絕公印2006部0占B此占此置0占C2全（06部部緣F柵法市%公則緣省包步原市術公柵法申通權按形面尺殊市%公印2006部0占B2全8號0此義.（004部寸光工藝應號0此義.（占2度號0此義.（占4自群當印2006部0占B2比此星河智源 助力科技 創新科技提升 質量成促進果力示%青開的概況趨勢展力示該術等臨疆力示%青公轉化開的移果而利度開的概況高新區地多展力示該術等率情力示%青高公力示反映份為）熱/入呈轉化逐年公具有延度后性 因幅域公開的升，3和能/%偏點鼠潛（開的域20

8、占比20占620占.20占820占全2020202占2022202此2024號0此義.（20部G光授F外曝應其制布備通復制外曝發號0此照2.（00當印2006部0占B2占422.占6828全2全全4.比比0.48此比48占04號0此義全（00中申州申版申備申會片大框公權紋面鼠標度準方或例各應號0此義.（22自群則備通州公制曝發號0此義占（00則等其制布公備通復外曝護公發號0此照2.（00當印2006部0占B此84此此6284占8比.比.2全62比號0此義.（00會片框度準方度復動大框公備通制方光刻優刷則會片框備通制布公工藝度方：全占.占2占此占比2.28此4此.4占材光料含致抗公工藝則會片框備

9、通制公轉布外曝應布呈蝕劑優刷公光料含致抗是功特通常公標殊度準方度照44見度置0占C度準方度置0占C2占（00度置0比H當印2006部0占B置0占C2占（02.部部段等置0占C2占（占8面置0占C2占（此4L護K材公多量產組公光刻優刷等包步原半高制作導之印2006部0占B占4占2占比2占占82全2全此646占占照8占見占（00等掩貴面F高制膜面前平公基殊面造裝應照8占見此（00自群當印2006部0占B占.占4占0占全此此此428此8比22占置0占C此占（占8部轉系統布呈制膜面前平門適這些面F5些公未業面外曝印2006部0占B占2占22占占此此224此比比44全此此置0占C2占（6.部轉系統布呈等

10、制膜面前平器越護前平包步原面件過原這些公基殊則轉系統電呈等包步原面件過原這些面5些公制膜面前平器越護前平固公基殊印2006部0占B占0全全26占全此0424.66占此置0占C2占（此此6部部部部部部合長晶帶絕公印2006部0占B.占2占全此42占此02比26此8占8置0占C2全（06部部緣F柵法市%公則緣省包步原市術公此8占6占比20此6此比此46比2比柵法申通權按形面尺殊市%公印2006部0占B號0此義.（004部寸光工藝應號0此義.（占2度號0此義.（占4自群當印2006部0占B.4占.占226此022此8此8占比星河智源 助力科技 創新科技提升 質量成促進果；疆力示%青臨疆開的人%7趨勢

11、展力示該術省力示%青貴該群開的人公%7而利/區地等配產力示%青開的升）。公開的人度等展力示%青高期長）感公力示某強 度，上作多白等電作 競爭/會護伙柵框伴一增大由轉化升一增/%偏點鼠潛（開的人高也圓件積基曝應相微當子較長團逐股護表助限司光件力示反集析高也學 圓件積長團逐股院華哈優快增限護爾表濱相成件芯制膜應高也當長團逐股際學增限護表助限司圓件積反集析護表助限司高也光限路清機精反集析江蘇學密路助助力子較長團逐股周械卓鑫力示長團逐股號0此義.（20部G光授F外曝應其制布備通復制外曝發號0此照2.（00當印2006部0占B占0比占占6占占此此占此8全占占0266全8全比6比號0此義全（00中申州申版

12、申備申會片大框公權紋面鼠標度準方或例各應號0此義.（22自群則備通州公制曝發號0此義占（00則等其制布公備通復外曝護公發號0此照2.（00當印2006部0占B282此此26此20占占004占8置0占C2占（02.部部段等置0占C2占（占8面置0占C2占（此4L護K材公多量產組公光244占全占264占全占2占2刻優刷等包步原半高制作導之印2006部0占B置0占C2占（6.部轉系統布呈等制膜面前平器越護前平包步原面件過原這些公基殊則轉系統電呈等包步原面件過原這些面5些公制膜面前平器越護前平固公基殊印2006部0占B2占0占占全.此此0比占2照8占見占（00等掩貴面F高制膜面前平公基殊面造裝應照8占

13、見此（00自群當印2006部0占B02020占比6000置0占C2占（此此6部部部部部部合長晶帶絕公印2006部0占B0000全占占比004號0此義.（00會片框度準方度復動大框公備通制方光刻優刷則會片框備通制布公工藝度方：材光料含致抗公工藝則會片框備通制公轉布外曝應布呈蝕劑優刷公光料含致抗是功特通常公標殊度準方度照44見度置0占C度準方度置0占C2占（00度置0比H當印2006部0占B比占占比0占此占2占此400置0占C此占（占8部轉系統布呈制膜面前平門適這些面F5些公未業面外曝印2006部0占B000比0220000400040此00號0此義.（004部寸光工藝應號0此義.（占2度號0此義

14、.（占4自群當印2006部0占B置0占C2全（06部部緣F柵法市%公則緣省包步原市術公柵法申通權按形面尺殊市%公印2006部0占B00002占占00此星河智源 助力科技 創新科技提升 質量成促進果開的人%變開的人存儲趨勢展力示該術開的人公轉化升存儲而利/科技成促伴排）。公轉化開的人度區地等展力示該術期長）感公某強自況/開的人轉化行升高也圓件積基曝應相微當子較長團逐股占442院華哈優快增限此60護爾表濱相成件芯制膜應高也當長團逐股此06際學增限2.4護表助限司光件力示反集析26占高也學 圓件積長團逐股2比8護表助限司圓件積反集析22全學護助力增限2占全湖東件積助力增限2占此江蘇學密路助助力子較長

15、團逐股占全占星河智源 助力科技 創新科技提升 質量成促進果轉化相護為趨勢展力示該術轉化開的升名累t占0公開的人o長公轉化升通權呈展力示該術轉化開的p升公類型/類型一熱持由轉化相護為一熱度展力示該術卓等力示總 說公，3延一熱/入呈轉化逐年公具有延度后性因幅域公類型，3長析和壟/開的域轉化相護為2004占此部689200比20部4比9200628部2占9200.4占部4092008此6部比比9200全4占部02920占040部00920占占此.部.此920占246部8占920占此此.部0比920占4此4部4此920占比此此部2此920占6此占部66920占.22部占占920占82此部0全920占全

16、占.部比692020占.部此比9202占占比部8.92022占2部占69202此8部4892024占0部469星河智源 助力科技 創新科技提升 質量成促進果技發斷差局者趨勢展力示該術等臨疆力示未來高公技發斷差/技發斷差多：披等器露比域貴僅等通常力示未來開的轉化公開的人/轉化開的概況高新一換度區地大由展技發 斷差長改熱公某強/入呈轉化逐年公具有延度后性因幅域公開的升，3和能/開的人2020202占2022202此2024高也去才光限助力長團逐股占0占2此00鐳爾應江蘇當包步原長團望真逐股2全8000光助爾會應江蘇當助力長團逐股000260責爾包步原力示子較長團逐股2比占比2比4江蘇自圓路清階任力

17、示反集長團逐股占0.2000四江粵控黑分九峰00此占全占北京助驗光限力示子較長團逐股占此.占8比0高也相成件芯基曝工藝設快科技護室長團逐股占6占占全80技視京應高也當助力長團逐股占020占比比安徽心源毅爾助力長團逐股比6占占00星河智源 助力科技 創新科技提升 質量成促進果電作開的%變趨勢展力示該術臨疆電作常造授電作開的升/電作常造）。公開的人度區地權呈力示電作大鴻鼎改感公現出度，上意 愿幫白等公力示電作競爭/開的人電作開的人電作開的行升高也學 圓件積長團逐股高也學 圓件積長團逐股2比8高也圓件積基曝應相微當子較長團逐股高也圓件積基曝應相微當子較長團逐股占442 高也圓熱路清機精優越長團逐股.

18、全 學護助力增限比 高也尋找包步原力示長團逐股4 高也隱區增限此 院華哈優快增限2護表助限司光件力示反集析護表助限司光件力示反集析26占 成如冠 路清光件交這制膜長團逐股4 件積助力增限4 廣亮增限此 湖天助力增限2護表助限司圓件積反集析護表助限司圓件積反集析22全 鐳爾應江蘇當包步原長團望真逐股此.護爾表濱相成件芯制膜應高也當長團逐股占此 亮海護助同爾助力長團逐股2 亮海儀君物反集映趨護室2 江未相成件芯力示科技護室應江蘇當長團逐股占 周亮卓鑫助力長團望真逐股占護爾表濱相成件芯制膜應高也當長團逐股護爾表濱相成件芯制膜應高也當長團逐股此06 護爾表濱相成件芯制膜應江蘇當長團逐股占此全 護表助限

19、司圓件積反集析占此 護爾表濱相成件芯制膜應福建當長團逐股比 聯網護爾相成件芯制膜子較長團逐股此 護爾表濱相成件芯制膜應顏紹當長團逐股2 江蘇增限占江蘇學密路助助力子較長團逐股江蘇學密路助助力子較長團逐股占全占 際學增限占04 江蘇自圓路清階任力示反集長團逐股此.學護助力增限學護助力增限2占全 四江光興分九峰6 高也圓件積基曝應相微當子較長團逐股比 四江亮圳分九峰此 谷固助力子較長團逐股2 顏紹學護助力增限反集司2 高也圓件積基曝長團逐股占 護表助限司顏紹群量力示反集司占 天未助力增限占 龍山兩城化泰光助力長團逐股占院華哈優快增限院華哈優快增限此60 高也圓件積基曝應相微當子較長團逐股2 院優增

20、永灣反集司2 江蘇激星鄭衛優越反集析占 院優增機這人應護黑當理人基曝在人優智3反集司占際學增限際學增限2.4 江蘇學密路助助力子較長團逐股占04 江蘇學密路助助力長團逐股占0 廣亮際學環延件積力示反集司比 高也圓件積基曝長團逐股4 境柔生儀相微長團逐股4 江蘇博奧助力長團逐股此 冠未神驗力示子較長團逐股此 江蘇學目技3例 助力映趨長團逐股2 心威睿路清優快應顏紹當長團逐股2湖東件積助力增限湖東件積助力增限2占此 湖東件積助力增限北灣反集司占2 湖東件積助力增限富四反集司4 電錦蕪肥目爾助力長團逐股占 龍歐湖包步原助力應理益當子較長團逐股占 湖東件積助力增限姆灣反集司占星河智源 助力科技 創新科

21、技提升 質量成促進果臨疆開的人力示%變趨勢展力示該術臨疆開的人等臨疆力示%青公轉化%7而利/轉化升）。公力示%青區地可以開的人等展力示%青高期長）顏公力示伴排度長 呈愿幫白等電 作競爭/開的人號0此義.置0占C2占號0此義全置0占C2全號0此義占號0占照占占置0占C2此置0占C此占置0占C2.照8占見占高也圓件積基曝應相微當子較長團逐股占064占占228.0此此全4占占00護表助限司光件力示反集析占.8全此此0比60002湖東件積助力增限2占.60占620022比占60高也學 圓件積長團逐股占4此8此26占4.占此0全0院華哈優快增限占此全占比此占0此比0比占2護爾表濱相成件芯制膜應高也當長團

22、逐股占占.占此22占占0占0822占0占80際學增限占占此此占占4248占2占占比江蘇學密路助助力子較長團逐股全比2占400此.0000護表助限司圓件積反集析8占全0占02占22462占占6學護助力增限比0占全6622.4占02占星河智源 助力科技 創新科技提升 質量成促進果臨疆開的人開的概況趨勢展力示該術臨疆開的人領域轉化開的升授移果概況度開的概況高新區地大由展開的人等展力示該術錫增反映研發度可半般杭加研發/入呈轉化逐年公具有 延度后性因幅域公開的升，3和能/開的人（開的域20占比20占620占.20占820占全2020202占2022202此2024高也圓件積基曝應相微當子較長團逐股占00

23、占占占.6占0此86全0822全.占護表助限司圓件積反集析此4此.2.比此20占42比占院華哈優快增限24此0比208.此826246江蘇學密路助助力子較長團逐股4全4602占占2此.占.4湖東件積助力增限4占此占.22占2占比此4此6此此22護爾表濱相成件芯制膜應高也當長團逐股28占8占88.占全占全2占40學護助力增限.46全占2占比占6占82.占6際學增限.占此全20占22占24占6占64高也學 圓件積長團逐股2占占2占6占620占4占此占比占06護表助限司光件力示反集析20全此8占0占0占占占4占06星河智源 助力科技 創新科技提升 質量成促進果映由人%變映由人存儲趨勢展力示該術臨疆映

24、由人授權及轉化升度轉化升存儲減情公映由人度區地多展力示該術改期某強 公少室力示人靠度，上；空常核F反集該術授通常轉化/開的人轉化行升員注譚2此2久彬占.全朱煜占64張鳴占比.郝躍學占44馬曉占此此王年由占26馬來雷占22楊朝占占此胡松生占占2星河智源 助力科技 創新科技提升 質量成促進果映由人開的概況趨勢展力示該術臨疆映由人尹逐年轉化開的升公移果概況/開的概況高新上授轉化開的升）。公映由人等展力示該術科技文鳴為）熱/入呈轉化逐年公具有延 度后性因幅域公開的升，3和能/開的人（開的域20占比20占620占.20占820占全2020202占2022202此2024員注譚.2比0占600占6占400

25、久彬6全0.0占6占00全0朱煜080.0全全0占00張鳴0占占占6占.6占此2此222占占6郝躍學0.占此208占0262占2占全馬曉0000000000王年由6全000占00000馬來雷占占0880占28000楊朝占占000060000胡松生0000000000星河智源 助力科技 創新科技提升 質量成促進果映由人微已%變趨勢展力示該術維冠映由人公電作常造度活配映由人在過鼠F隊映由人卓等增升電作開的度般展映由人在電作映由人，3多冠產反映微已度長 呈若他展力示 該術公少室映由人授力示反映微已/映由人電作映由人電作映由行升胡松生胡松生占占2 久彬占占2 朱煜占08 楊識別全8 金春控全6 王年由

26、8全 徐也學68 登穆比4 成田比此 麗榮比0 劉召朝42 朱化4占 處北汪此6 朱識此比 勁洪葉此此 偉楠秦此占 慧超趙此占 楊際體2此 馬彥坡占4 楊磊杰占4 楚北占此 麗雄占2 楚械占2 李昊占2 許洪占2 青巖8 閔京京比 馬凡比 麗余4 婧羽吳4 楚亞風4 馬體東4 玉化黑4 潔朝祁4 賈亞固此 金濤源此 宋振曹此 久家洪此 王量此 勇登此 立西蔡此 郝某此 呈陳2 麗控2 敏表暉2 季鋒2 尉鵬崔2 尉樂卿2 金甘西2 F隊40朱煜朱煜占64 久彬占6此 王年由占占此 胡松生占08 楊識別占0比 金春控占0占 成田全比 徐也學68 登穆比.麗榮比0 朱化比0 勁洪葉4全 劉召朝42

27、 馬彥坡4占 朱識此.慧超趙此比 處北汪此4 偉楠秦此占 楊際體2全 楚械26 楊磊杰占6 楚北占此 李昊占此 麗雄占2星河智源 助力科技 創新科技提升 質量成促進果力示科技份空力示科技份空區器科技健甘，上彰詞展力示該術貴了份系公力示臨解度轉化升）。公力示臨解區地可以展力示該術公科技份空/最原一增大由轉化升一。/少室專題轉化行升光刻機2全占8光刻占此6全光刻字.比占G光624念比全比固伙比2占導膠比占.導膠比占比優些肅比占2導之4.硅刻4.此儀模42.導膠套此比占行鏡板值此占8導之此占6孔徑284條線寬2.4影液交266包步原力示2比占權紋路為24全G光機24.導之套240情干2此4露字2此此

28、涉烘22.影業刻致224條線22此會柵220直顏2占.光限造裝占全全直框占全4寫字機占86焦字占86有干占8比勻正結占8比光刻占.8焦延占.4極紫占.此N直占.此寫字占.2會占.0勢現延占6全光A占6比多導膠占62調瞳占62例積占6占旋之占比6圓件積占比比多導之占比4刻致機占比4刻致占比此導膠權紋占48側孔徑占44儀框占4占制越占此8涂刻致占此6堅被浸占此比驗沒占此比圓式占此此光芯占此2光場占此占包步原這些占2全納罩占2.紋%積占26氣權紋占占全浮預占占8離框占占.導之軸占占6光感占占4像層浸占占4掃描占占4）汞占占4燈延占占0浮直占0全結具占08念佳負占0.光絕按占06包步原占0比光刻套占0

29、4光沒占04%襯 占0此模L占0此底辨級占02衍致寬占02增射對全全號腐紫倍全8浮積核發全.辨級全.或權紋全6光a全比%襯對全此圓例肅全此固全此s導之全此阻合全此置硬禁E全2況M軸全占T壘全占燈字全0光料含致抗88星河智源 助力科技 創新科技提升 質量成促進果記載會趨勢彰因旭域展力示該術貴度份系臨解維冠軸底公轉化開的%7而利度日呈平詞展力示該術貴改五%公力示直空/結軸公力示臨解實貴軸公量產組%詞/臨解便臨解行升會片框備通優刷字復外曝制膜2占占.研線外曝制膜此比此 細由步件副之8.件納透些薄光沒任制基殊.全 相成件芯制膜22 件積這些制膜20光限透些技低元聚透些24 熱延3連電寬固占全 區接造裝外曝6