凱美特氣-食品級液體二氧化碳龍頭電子特氣貢獻新增長動力-220420（23頁）.pdf

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1、 請仔細閱讀本報告末頁聲明請仔細閱讀本報告末頁聲明 證券研究報告 | 首次覆蓋報告 2022 年 04 月 20 日 凱美特氣凱美特氣（002549.SZ） 食品級食品級液體液體二氧化碳龍頭，電子特氣二氧化碳龍頭，電子特氣貢獻貢獻新增長動力新增長動力 深耕氣體行業三十余年，深耕氣體行業三十余年，盈利水平居行業前列盈利水平居行業前列。凱美特氣成立于 1991 年，以石油化工尾氣（廢氣） 、火炬氣為原料，生產和銷售工業氣體、醫用氣體、標準氣體、特種氣體、混合氣體、食品添加劑氣體、電子化學品等氣體產品。2021 年公司營收同比增長28.7%至6.68億元， 歸母凈利潤同比大幅增長92.3%至1.39

2、億元， 毛利率42.0%，凈利率 20.8%，均位于行業前列。2018 年公司成立岳陽凱美特電子特種稀有氣體公司，布局電子氣體，生產高純度二氧化碳、氦氣、氖氣、氬氣、氟氬氖、氟氪氖等半導體、面板、航天、醫療等領域急需的超高純氣體和多元混配氣。 電子特氣需求空間大，拉開進口替代序幕電子特氣需求空間大，拉開進口替代序幕。根據 Techcet，預計 2022 年全球電子氣體市場規模有望達到 70 億美金，其中特氣約 50 億美金，電子大宗氣體 20 億美金。2020 年中國大陸電子特氣市場規模達到 173.6 億元，未來隨著國內下游晶圓廠產能擴充、制程升級以及全球面板產能不斷向大陸轉移，有望對我國電

3、子氣體需求帶來持續強勁的拉動。當前由于技術、資金等壁壘，國內市場由海外龍頭公司主導，海外大型氣體公司占據了 80%以上的市場份額， 近年來國產廠商在電氣特氣領域持續突破，充分受益于大陸電子特氣市場不斷增長及國產化率不斷提升的趨勢，增長動力充足。 二氧化碳業務地位穩固，優勢明顯。二氧化碳業務地位穩固，優勢明顯。液體二氧化碳產品一直是公司最主要的收入來源，2021 年相關收入 2.85 億元，毛利率達到 52.4%。原料：原料：“雙碳”背景下公司與上游能化龍頭企業形成穩固合作關系，確保穩定供應?？蛻簦嚎蛻簦汗臼强煽诳蓸?、百事可樂在中國的策略供應商，高純度、質量穩定的氣體產品已得到食品飲料及工業界

4、廣大客戶認可，大多數已發展為長約客戶。產能布局：產能布局：生產線廣泛布局于相關食品飲料需求旺盛的南方市場，解決二氧化碳運輸半徑及運輸成本問題。 原料保障、產能建設、產品放量及認證多線并進，電子特氣業務有望成為公司新增原料保障、產能建設、產品放量及認證多線并進，電子特氣業務有望成為公司新增長源。長源。原料：原料：公司將通過自產、與上游深度合作等方式實現二氧化碳、稀有氣體原氣等原料的自供。產線：產線：岳陽電子特氣項目可生產超高純度二氧化碳、氦氣、氖氣、氬氣、氪氣、氙氣、氯化氫基準分子激光配氣等；宜章電子特氣項目建設公司將增加高純氯化氫、氟化氫、溴化氫等，完善公司產品體系。放量情況：放量情況：202

5、1 年實現高純氪氣氙氣氖氣銷售共 1938 萬元，2022 年 3 月簽訂價值 4500 萬元氖氣銷售合同，電子特氣將成為公司未來利潤增長重要驅動。認證：認證：二氧化碳、氪、氙產品已通過法國液化空氣認證，用于 ExciStar 激光器的 193nm 激光混配氣已通過美國相干的設備測試，同時混配氣產品在阿斯麥、大陽日酸等廠商認證在有序推進。我們預計公司 2022/2023/2024 年實現營收 10.1/15.5/18.0 億元，歸母凈利潤 3.0/5.4/6.5 億元，對應 PE 28.8/15.9/13.4x，首次覆蓋，給予“買入”評級。 風險提示風險提示：新冠疫情、經濟周期波動等因素導致下

6、游需求不及預期、新產品研發及客戶認證不及預期 財務財務指標指標 2020A 2021A 2022E 2023E 2024E 營業收入（百萬元） 519 668 1,010 1,548 1,803 增長率 yoy（%） 0.8 28.7 51.3 53.3 16.5 歸母凈利潤（百萬元） 72 139 300 544 646 增長率 yoy（%） -19.1 92.3 116.5 80.9 18.8 EPS 最新攤?。ㄔ?股） 0.12 0.22 0.48 0.87 1.04 凈資產收益率（%） 7.4 12.7 21.7 28.9 25.8 P/E（倍） 119.9 62.3 28.8 15.

7、9 13.4 P/B（倍） 8.8 8.0 6.2 4.6 3.5 資料來源：Wind，國盛證券研究所 注：股價為 2022 年 4 月 20 日收盤價 買入買入（首次首次） 股票信息股票信息 行業 化學制品 4 月 20 日收盤價(元) 14.27 總市值(百萬元) 8,900.20 總股本(百萬股) 623.70 其中自由流通股(%) 99.58 30 日日均成交量(百萬股) 14.95 股價走勢股價走勢 作者作者 分析師分析師 鄭震湘鄭震湘 執業證書編號：S0680518120002 郵箱： 分析師分析師 王席鑫王席鑫 執業證書編號：S0680518020002 郵箱： 分析師分析師 佘

8、凌星佘凌星 執業證書編號：S0680520010001 郵箱： 相關研究相關研究 -41%-21%0%21%41%62%82%103%123%2021-042021-082021-122022-04凱美特氣滬深300 2022 年 04 月 20 日 P.2 請仔細閱讀本報告末頁聲明請仔細閱讀本報告末頁聲明 財務報表和主要財務比率財務報表和主要財務比率 資產負債表（資產負債表（百萬元） 利潤表利潤表（百萬元） 會計會計年度年度 2020A 2021A 2022E 2023E 2024E 會計年度會計年度 2020A 2021A 2022E 2023E 2024E 流動資產流動資產 658 73

9、4 679 659 1117 營業收入營業收入 519 668 1010 1548 1803 現金 438 441 309 225 679 營業成本 325 387 502 687 788 應收票據及應收賬款 53 67 114 164 160 營業稅金及附加 6 8 12 18 20 其他應收款 5 4 9 11 12 營業費用 26 29 42 65 76 預付賬款 8 4 14 14 19 管理費用 74 83 111 147 170 存貨 27 30 44 57 59 研發費用 33 43 59 90 110 其他流動資產 127 188 188 188 188 財務費用 13 12

10、-4 -7 -13 非流動資產非流動資產 968 939 1329 1929 2081 資產減值損失 0 0 0 0 0 長期投資 0 0 0 0 0 其他收益 33 27 35 40 32 固定資產 815 767 1124 1670 1804 公允價值變動收益 0 1 0 0 0 無形資產 92 89 88 89 91 投資凈收益 6 4 5 6 5 其他非流動資產 62 83 116 170 186 資產處置收益 0 -1 0 0 0 資產資產總計總計 1626 1673 2007 2588 3198 營業利潤營業利潤 81 136 328 594 691 流動負債流動負債 455 46

11、1 474 506 529 營業外收入 1 0 2 3 1 短期借款 320 310 310 310 310 營業外支出 1 0 1 1 1 應付票據及應付賬款 59 47 90 97 117 利潤總額利潤總額 81 137 328 595 691 其他流動負債 76 104 74 98 102 所得稅 9 -2 26 46 43 非流動非流動負債負債 191 123 143 181 154 凈利潤凈利潤 72 138 302 549 648 長期借款 156 93 113 152 124 少數股東損益 0 0 2 5 2 其他非流動負債 35 30 30 30 30 歸屬母公司凈利潤歸屬母公

12、司凈利潤 72 139 300.46 543.56 645.66 負債合計負債合計 646 584 616 687 683 EBITDA 196 255 449 783 931 少數股東權益 2 1 3 8 10 EPS（元/股） 0.12 0.22 0.48 0.87 1.04 股本 624 624 624 624 624 資本公積 40 40 40 40 40 主要主要財務比率財務比率 留存收益 306 413 580 912 1353 會計會計年度年度 2020A 2021A 2022E 2023E 2024E 歸屬母公司股東權益 978 1087 1388 1892 2505 成長能力

13、成長能力 負債負債和股東權益和股東權益 1626 1673 2007 2588 3198 營業收入（%） 0.8 28.7 51.3 53.3 16.5 營業利潤（%） -21.1 67.9 140.1 81.3 16.3 歸屬母公司凈利潤（%） -19.1 92.3 116.5 80.9 18.8 獲利獲利能力能力 毛利率（%） 37.4 42.0 50.3 55.6 56.3 現金現金流量流量表表（百萬元） 凈利率（%） 13.9 20.8 29.8 35.1 35.8 會計年度會計年度 2020A 2021A 2022E 2023E 2024E ROE（%） 7.4 12.7 21.7

14、28.9 25.8 經營活動現金流經營活動現金流 160 254 373 660 873 ROIC（%） 5.7 9.5 16.7 23.2 21.8 凈利潤 72 138 302 549 648 償債償債能力能力 折舊攤銷 98 107 110 173 230 資產負債率（%） 39.7 34.9 30.7 26.6 21.4 財務費用 13 12 -4 -7 -13 凈負債比率（%） 12.6 5.1 12.4 16.4 -6.6 投資損失 -6 -4 -5 -6 -5 流動比率 1.4 1.6 1.4 1.3 2.1 營運資金變動 -17 14 -29 -48 14 速動比率 1.2 1

15、.5 1.2 1.1 1.9 其他經營現金流 -1 -13 0 0 0 營運能力營運能力 投資活動投資活動現金流現金流 -14 -137 -495 -766 -376 總資產周轉率 0.3 0.4 0.5 0.7 0.6 資本支出 55 78 390 600 152 應收賬款周轉率 10.0 11.1 11.1 11.1 11.1 長期投資 0 0 0 0 0 應付賬款周轉率 4.9 7.4 7.4 7.4 7.4 其他投資現金流 41 -59 -105 -166 -224 每股指標（元）每股指標（元） 籌資籌資活動現金流活動現金流 -83 -106 -11 23 -43 每股收益（最新攤?。?/p>

16、 0.12 0.22 0.48 0.87 1.04 短期借款 60 -10 0 0 0 每股經營現金流（最新攤?。?0.26 0.41 0.60 1.06 1.40 長期借款 -43 -63 20 39 -27 每股凈資產（最新攤?。?1.57 1.74 2.23 3.03 4.02 普通股增加 0 0 0 0 0 估值估值比率比率 資本公積增加 -2 0 0 0 0 P/E 119.9 62.3 28.8 15.9 13.4 其他籌資現金流 -99 -33 -31 -16 -16 P/B 8.8 8.0 6.2 4.6 3.5 現金凈增加額現金凈增加額 62 11 -132 -83 454

17、EV/EBITDA 44.5 33.5 19.3 11.3 9.0 資料來源：Wind，國盛證券研究所 注：股價為 2022 年 4 月 20 日收盤價 zWcZmUkVlYiYhXsVkW6MbP6MnPmMnPoMjMrRnRjMoMpOaQoOyQNZsPnRNZnMqM 2022 年 04 月 20 日 P.3 請仔細閱讀本報告末頁聲明請仔細閱讀本報告末頁聲明 內容目錄內容目錄 一、食品級液體二氧化碳領軍者，進軍電子特氣 . 5 1.1 深耕氣體行業三十余年 . 5 1.2 業績大幅增長，電子特氣帶來新增長動力 . 6 1.3 定增擴產完善產品布局，股權激勵彰顯信心 . 9 二、電子特

18、氣，需求空間大，拉開進口替代序幕 . 10 2.1 電子特氣是半導體行業的基礎原材料 . 10 2.2 市場需求空間大，拉開進口替代序幕 . 14 三、傳統氣體業務地位穩固，電子特氣業務支撐增長. 17 3.1 傳統氣體：國內二氧化碳龍頭廠商優勢明顯 . 17 3.2 電子特氣：原料保障、產能建設、產品放量及認證多線并進 . 18 四、盈利預測 . 20 五、風險提示 . 22 圖表目錄圖表目錄 圖表 1：凱美特氣發展歷程 . 5 圖表 2：公司所處產業鏈情況 . 5 圖表 3：公司各分子公司主營產品及 2021 年財務情況（億元） . 6 圖表 4：公司股權結構（2022.4.10） . 6

19、 圖表 5：公司營收及增速（億元） . 7 圖表 6：公司扣非歸母凈利潤及增速（億元） . 7 圖表 7：公司歸母凈利潤及增速 . 7 圖表 8：公司毛利率及凈利率 . 7 圖表 9：近五年公司各類產品收入（億元） . 8 圖表 10：公司液體二氧化碳及氫氣產品毛利率 . 8 圖表 11：公司毛利率位于行業前列 . 8 圖表 12：公司扣非凈利率位于行業上游 . 8 圖表 13：公司研發支出情況（億元） . 9 圖表 14：公司研發費用率位于行業前列 . 9 圖表 15：公司定增募投項目情況（萬元） . 9 圖表 16：公司 2022 年限制性股票激勵計劃情況（萬股） . 10 圖表 17：2

20、022 年限制性股票激勵成本攤銷情況（萬元） . 10 圖表 18：高純電子特氣市場格局（按應用） . 11 圖表 19：氣體按純度分類 . 11 圖表 20：電子特氣按用途分類 . 12 圖表 21：電子特氣在晶圓制造中的應用 . 12 圖表 22：MOCVD 制備氮化鎵器件的流程 . 13 圖表 23：四氟化碳用于等離子刻蝕氣體 . 13 圖表 24：摻雜的擴散和離子注入兩種工藝 . 14 圖表 25：硅的氣相外延過程會用到硅烷 . 14 圖表 26：全球半導體材料市場規模 . 14 圖表 27：2018 年全球晶圓制造材料成本構成 . 15 圖表 28：全球電子特氣市場規模（億美金） .

21、 15 圖表 29：全球電子氣體市場規模及預測（百萬美元） . 15 2022 年 04 月 20 日 P.4 請仔細閱讀本報告末頁聲明請仔細閱讀本報告末頁聲明 圖表 30：我國電子特氣市場規模（億元） . 16 圖表 31：我國電子氣體市場格局（2020 年） . 16 圖表 32：芯片尺寸與氣體純度關系 . 16 圖表 33：公司已形成穩定的三級客戶結構 . 18 圖表 34：公司產線廣泛分布于南方市場 . 18 圖表 35：公司電子特氣項目建設規劃 . 19 圖表 36：公司電子特氣產品認證情況 . 20 圖表 37：2021 年至今公司披露的電子特氣銷售訂單 . 20 圖表 38：凱美

22、特氣盈利預測（萬元） . 21 圖表 39：可比公司估值對比（總市值取 2022 年 4 月 15 日收盤價，凱美特氣盈利預測為國盛電子測算，可比標的盈利預測取 Wind 一致預期，億元） . 21 2022 年 04 月 20 日 P.5 請仔細閱讀本報告末頁聲明請仔細閱讀本報告末頁聲明 一一、食品級液體二氧化碳領軍者，進軍電子特氣食品級液體二氧化碳領軍者，進軍電子特氣 1.1 深耕氣體行業深耕氣體行業三十余年三十余年 凱美特氣成立于 1991 年，于 2011 年在深圳證券交易所掛牌上市，成立至今在湖南岳陽長嶺、廣東惠州、安徽安慶、海南?？?、福建泉州等地成立有分子公司。公司主營業務為以石油

23、化工尾氣 （廢氣） 、 火炬氣為原料， 生產和銷售工業氣體、 醫用氣體、 標準氣體、特種氣體、混合氣體、食品添加劑氣體、電子化學品等氣體產品，各類產品廣泛覆蓋飲料、冶金、食品、煙草、石油、農業、化工、電子等多個領域。 圖表 1：凱美特氣發展歷程 資料來源：公司官網，公司公告，國盛證券研究所 圖表 2：公司所處產業鏈情況 資料來源：國盛電子根據公司公告整理，國盛證券研究所 多地設立分子公司， 完善傳統氣體多地設立分子公司， 完善傳統氣體+電子電子特氣特氣布局。布局。 公司岳陽總部及惠州、 安慶、 長嶺、海南、福建的凱美特氣體分公司主要生產傳統應用氣體，如二氧化碳、氫氣、氧氣、氮氣、戊烷等；201

24、8 年公司成立岳陽凱美特電子特種稀有氣體公司，布局電子特氣市場，生產高純度二氧化碳、氦氣、氖氣、氬氣、氟氬氖、氟氪氖等半導體、面板、航天、醫療等領域廣泛應用的超高純氣體和多元混配氣。 2022 年 04 月 20 日 P.6 請仔細閱讀本報告末頁聲明請仔細閱讀本報告末頁聲明 圖表 3：公司各分子公司主營產品及 2021 年財務情況（億元） 分子公司分子公司 主營主營產品產品 2021 年營收年營收 2021 年凈利潤年凈利潤 惠州凱美特 二氧化碳、干冰 1.13 0.24 安慶凱美特 二氧化碳、氫氣、戊烷、液化氣 1.90 0.52 岳陽長嶺凱美特 氫氣、可燃氣(甲烷) 0.43 -0.04

25、海南凱美特 二氧化碳、氫氣、可燃氣（工業瓦斯、解析氣、甲烷氫、一氧化碳） 1.00 0.30 福建凱美特 二氧化碳、氫氣、可燃氣（工業瓦斯、解析氣、甲烷氫、一氧化碳） 1.00 0.22 岳陽凱美特電子特氣 電子特氣 0.18 -0.13 資料來源：公司公告，國盛證券研究所 董事長祝恩福先生直接及間接控制公司董事長祝恩福先生直接及間接控制公司 42.22%的股份，為公司實控人。的股份，為公司實控人。根據 Wind，浩訊科技為公司第一大股東，持有公司 41.66%的股份，其中祝恩福先生持有浩訊科技90%股份，為其實控人，同時祝恩福先生直接持有公司 0.56%的股份，總計直接及間接控制公司 42.

26、22%的股份，為公司實際控制人。公司第二大股東為湖南省財信資產管理有限公司，持有公司 7.45%股份，且浩訊科技將其所持公司股份中的 1 億股（占公司總股本的 16.03%）質押于財信資產。公司前十大股東中，財信常勤壹號為財信資產、財信精信一致行動人，三者合計持有公司 19.68%股份。 圖表 4：公司股權結構（2022.4.10） 資料來源：Wind，國盛證券研究所 1.2 業績大幅增長，電子特氣帶來新增長動力業績大幅增長，電子特氣帶來新增長動力 2021 年營收同比增長近三成，扣非歸母凈利潤年營收同比增長近三成，扣非歸母凈利潤倍增。倍增。受益于公司各類產品全面增長，以及電子特氣新產品形成收

27、入，且新冠疫情對公司產銷活動的影響緩解，2021 年公司營收同比增長 28.7%至 6.68 億元，扣非歸母凈利潤同比增長 124.3%至 1.26 億元。 2022 年 04 月 20 日 P.7 請仔細閱讀本報告末頁聲明請仔細閱讀本報告末頁聲明 圖表 5：公司營收及增速（億元） 圖表 6：公司扣非歸母凈利潤及增速（億元） 資料來源：Wind，國盛證券研究所 資料來源：Wind，國盛證券研究所 盈利水平維持高位盈利水平維持高位，扣非扣非凈利率創近凈利率創近五五年新高。年新高。隨著公司產品結構優化，液化氣毛利率修復，2021 年公司毛利率及扣非凈利率均較 2020 年回升，毛利率從 2020

28、年的 37.4%回升至 42.0%，扣非凈利率從 2020 年的 10.8%提升至 18.9%。 圖表 7：公司歸母凈利潤及增速 圖表 8：公司毛利率及凈利率 資料來源：Wind，國盛證券研究所 資料來源：Wind，國盛證券研究所 液體二氧化碳為公司收入最大來源，液體二氧化碳為公司收入最大來源，毛毛利率超利率超 50%。液體二氧化碳產品一直是公司最主要的收入來源，2021 年相關收入達 2.85 億元，由于根據會計準則處理規則將運營費用計入成本，毛利率與之前毛利率略有降低，但仍超過 50%達到 52.4%。氫氣為公司開拓近十年的產品， 是公司的第二大營收來源， 2021 年氫氣收入再創新高達到

29、 1.57 億元。 0%10%20%30%40%50%60%70%01234567820172018201920202021營業總收入同比-50%0%50%100%150%200%250%0.00.20.40.60.81.01.21.420172018201920202021扣非歸母凈利潤同比-40%-20%0%20%40%60%80%100%00.20.40.60.811.21.41.620172018201920192020歸母凈利潤(億元)yoy0%5%10%15%20%25%30%35%40%45%50%20172018201920202021毛利率扣非凈利率 2022 年 04 月

30、20 日 P.8 請仔細閱讀本報告末頁聲明請仔細閱讀本報告末頁聲明 圖表 9：近五年公司各類產品收入（億元） 圖表 10：公司液體二氧化碳及氫氣產品毛利率 資料來源：Wind，國盛證券研究所 資料來源：Wind，國盛證券研究所 與行業內代表公司相比，公司毛利率及扣非凈利率均位于上游。與行業內代表公司相比，公司毛利率及扣非凈利率均位于上游。公司主營業務為液體二氧化碳，上游石化尾氣供應穩定，在主要目標市場均有產線布局，二氧化碳運輸成本得以降低，下游食品級客戶均為食飲類大型廠商，價格及需求量穩定，工業級客戶為大型汽車機械客戶，公司產品能夠滿足客戶的高標準，價格高于一般市場價格。因此公司液體二氧化碳產

31、品盈利能力能夠一直維持較高水平，支撐公司毛利率及扣非凈利率在行業內維持較高水平。 圖表 11：公司毛利率位于行業前列 圖表 12：公司扣非凈利率位于行業上游 資料來源：Wind，國盛證券研究所 資料來源：Wind，國盛證券研究所 研發投入不斷增加研發投入不斷增加，研發費用率研發費用率位于行業前列位于行業前列。2021 年公司福建凱美特、岳陽電子氣體子公司歸集研發費用，且公司進一步增加研發投入，研發費用 0.43 億元，研發費用率達6.4%，截至 2021 年 12 月 31 日，公司共有員工 705 人，其中研發技術人員 160 人，占比 22.7%。與行業內代表公司相比，公司研發費用率處行業

32、先列。 051020172018201920202021液體二氧化碳氫氣液化氣燃料氣加工費戊烷氧、氮氣氬氣干冰氪氣氙氣氖氣混合氣甲烷其他業務0%10%20%30%40%50%60%70%80%20172018201920202021液體二氧化碳氫氣0%10%20%30%40%50%60%20172018201920202021凱美特氣金宏氣體華特氣體和遠氣體0%2%4%6%8%10%12%14%16%18%20%20172018201920202021凱美特氣金宏氣體華特氣體和遠氣體 2022 年 04 月 20 日 P.9 請仔細閱讀本報告末頁聲明請仔細閱讀本報告末頁聲明 圖表 13：公司研

33、發支出情況（億元） 圖表 14：公司研發費用率位于行業前列 資料來源：Wind，國盛證券研究所 資料來源：Wind，國盛證券研究所 1.3 定增擴產完善產品布局，股權激勵彰顯信心定增擴產完善產品布局，股權激勵彰顯信心 公司擬通過定增募集 10 億元，結合自籌資金共 12.7 億余元投資于宜章凱美特特種氣體項目及福建凱美特 30 萬噸/年高潔凈食品、電子級過氧化氫項目，其中宜章特氣項目擬投資 7.5 億余元，福建高潔凈過氧化氫項目擬投資 5.2 億余元。 宜章電子特氣項目：宜章電子特氣項目：在岳陽電子特氣項目基礎上，生產電子級氯化氫、電子級溴化氫、電子級碘化氫、氟基混配氣、五氟化銻、電子級三氟化

34、氯、電子級碳酰氟、電子級乙炔、氘氣等產品，進一步完善公司電子特氣產品布局，形成行業內具有較大影響力的專業電子特氣和混配氣體研發及生產加工基地。 福建高潔凈過氧化氫項目福建高潔凈過氧化氫項目：1）產品方案包括電子級、食品級、工業級稀品和工業級濃品雙氧水四類。2）項目利用福建聯合石油化工有限公司 IGCC 裝置產生的氫氣作為原料氣，依托福建園區現有的工程及配套設施，可提升公司內部的能源資源利用效率。3）公司借鑒電子特氣項目中對半導體行業的理解，確保電子級雙氧水高端產品的制造及市場開拓在嚴苛的前端純化、后段包裝、產品驗證、運輸控制等關鍵環節百之分百達到半導體行業水準，且可根據市場供需情況相應調整各產

35、品的實際產量，具有較強的靈活性，有利于提高企業的市場占有率。 圖表 15：公司定增募投項目情況（萬元） 項目名稱項目名稱 投資總額投資總額 擬投入募集資金金額擬投入募集資金金額 稅后內部收益率稅后內部收益率 稅后投資回收期稅后投資回收期 宜章凱美特特種氣體項目 75,185.23 57,000 27.85% 6.84 年 （含建設期 3 年） 福建凱美特過氧化氫項目 52,144.49 43,000 12.86% 8.26 年 （含建設期 3 年） 合計 127,329.72 100,000 資料來源：公司公告，國盛證券研究所 股權激勵考核目標彰顯公司信心。股權激勵考核目標彰顯公司信心。 公司

36、擬向高級管理人員、 中層管理人員、 核心技術 （業務） 人員等激勵對象授予不超過 1900.0 萬股限制性股票， 占激勵計劃簽署時公司總股本的 3.05%，其中首次授予 1670.0 萬股，占激勵計劃草案公告時公司總股本的 2.68%；預留 230.0 萬股，占激勵計劃草案公告時公司總股本的 0.37%，預留部分占本次授予權益總額的 12.11%。按照此次股權激勵草案公告公告前一交易日的收盤價預測算，此次0.21 0.24 0.30 0.33 0.43 5.0%4.7%5.9%6.3%6.4%0%1%2%3%4%5%6%7%0.00.10.20.30.40.520172018201920202

37、021研發費用研發費用率0%1%2%3%4%5%6%7%20172018201920202021凱美特氣金宏氣體華特氣體和遠氣體 2022 年 04 月 20 日 P.10 請仔細閱讀本報告末頁聲明請仔細閱讀本報告末頁聲明 股權激勵成本為約 1.42 億元 此次股權激勵預案中設置了 2022-2024 年業績考核目標， 三年凈利潤分別不低于 1.8 億、2.5 億、3.5 億元，在 2021 年公司 1.38 億元基礎上，年復合增長率達到 36.4%，我們預計未來除了傳統業務保持穩定增長外，逐漸放量的電子特氣產品也將為公司貢獻利潤增量。 圖表 16：公司 2022 年限制性股票激勵計劃情況（萬

38、股） 姓名姓名/職務職務 人數人數 獲授限制性股票數量獲授限制性股票數量 占本計劃擬授予限制性占本計劃擬授予限制性股票總量的比例股票總量的比例 占公司股本總額的比占公司股本總額的比例例 張偉/總經理 1 50 2.63% 0.08% 徐衛忠/董事、財務總監 1 40 2.11% 0.06% 王虹/董事會秘書 1 30 1.58% 0.05% 中層管理人員 66 910 47.89% 1.46% 核心技術（業務）人員 123 481 25.32% 0.77% 董事會認為需要激勵的其他人員 28 159 8.37% 0.25% 預留部分 - 230 12.11% 0.37% 合計 220 1,90

39、0.00 100.00% 3.05% 資料來源：公司公告，國盛證券研究所 圖表 17：2022 年限制性股票激勵成本攤銷情況（萬元） 首次授予限制性股票成本首次授予限制性股票成本 2022 年年 2023 年年 2024 年年 2025 年年 2026 年年 14,228.40 2,489.97 4,979.94 3,912.81 2,134.26 711.42 資料來源：公司公告，國盛證券研究所 二、二、電子特氣，需求空間大，拉開進口替代序幕電子特氣，需求空間大，拉開進口替代序幕 2.1 電子特氣是電子特氣是半導體行業的基礎原材料半導體行業的基礎原材料 電子特氣是超大規模集成電路、平面顯示器

40、、化合物半導體器件等電子工業生產中不可或缺的基礎原材料，廣泛應用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴散等工藝。按下游應用區分，集成電路制造用電子特氣占總體市場的 42%，排名第一，顯示面板、太陽能、LED 分別占 37%、13%、8%，隨著半導體行業的快速發展，電子氣體的品種、數量不斷增加，刻蝕及化學沉積等下游領域對電子特氣的質量和純度的要求也在不斷提高。根據前瞻產業研究院預測， 2024年我國電子特種氣體市場規模將達到230億元， 2020-2024年復合增速將達 7.3%。 2022 年 04 月 20 日 P.11 請仔細閱讀本報告末頁聲明請仔細閱讀本報告末頁聲明 圖表 18：高純電子特氣市

41、場格局（按應用） 資料來源：前瞻產業研究院，國盛證券研究所 按照純度不同，氣體分為普通氣體、純氣體、高純氣體和超純氣體四種。與傳統工業氣體相比，用于各種電子生產工藝的氣體，尤其是與硅片直接接觸的氣體，由于具有高純度和高危險性的特點，通常統稱為高純特種氣體或高純電子級氣體。由于在化學氣相沉積、刻蝕、離子注入、外延等前段制造工藝中，氣體中的有害雜質濃度對芯片的成品率有著直接影響， 目前， 大部分的高純特種氣體純度應達到 99.99% （4N） 以上 （常用 “xN”表示純度， x 是大于 1 的正整數， N 是英文單詞 Nine 的首字母， 例如，“5N” 表示 99.999%，“4N5”表示 9

42、9.995%） 。 圖表 19：氣體按純度分類 氣體級別氣體級別 氣體純度氣體純度 雜質含量（雜質含量（V/V） 應用領域應用領域 普通氣體 99.9%（3N） 100010-6 普通器件 純氣體 99.99%（4N） 10010-6 晶體管和晶閘管等 高純氣體 99.999%（5N） 1010-6 大規模集成電路和特殊器件等 超純氣體 99.9999%（6N） 110-6 超大規模集成電路 特大規模集成電路 99.99999%（7N） 0.110-6 99.999999%（8N） 0.0110-6 99.9999999%（9N） 0.00110-6 資料來源：金宏氣體招股說明書，國盛證券研究

43、所 電子特氣按照用途可分為蝕刻及清洗氣體、成膜氣體、摻雜氣體三大類。在半導體集成電路中，電子氣體主要應用于蝕刻、摻雜、CVD、清洗等。在晶圓制程中部分工藝涉及氣體刻蝕工藝的應用，主要涉及 CF4、NF3、HBr 等；摻雜工藝即將雜質摻入特定的半導體區域中以改變半導體的電學性質，需要用到三階氣體 B2H6、BF3以及五階氣體 PH3 、AsH3等；在硅片表面通過化學氣相沉積成膜（CVD）工藝中，主要涉及 SiH4、SiCl4、WF6等。 2022 年 04 月 20 日 P.12 請仔細閱讀本報告末頁聲明請仔細閱讀本報告末頁聲明 圖表 20：電子特氣按用途分類 資料來源：國內特種氣體研究現狀和未

44、來市場應用前景分析，國盛證券研究所 圖表 21：電子特氣在晶圓制造中的應用 資料來源：巨化集團有限公司，國盛證券研究所 化學氣相沉積（化學氣相沉積（CVD）是通過使氣體或蒸汽在晶圓表面產生化學反應，形成固態薄膜的沉積方法。不同沉積薄膜會用到不同的氣體，沉積多晶硅薄膜，通常需要用硅烷；金屬有機物化學氣象淀積（MOCVD）技術制備氮化鎵（制備氮化鎵（GaN）過程中的表面鈍化過程要求所）過程中的表面鈍化過程要求所使用的氨必需超純超凈，純度水平要達到使用的氨必需超純超凈，純度水平要達到 7N（99.99999%） 。） ?；瘜W氣相沉積中需要用到的特種氣體種類也非常多 刻蝕刻蝕是采用化學和物理方法，有選

45、擇地從硅片表面去除不需要的材料的過程，目的是在涂膠的硅片上正確地復制掩膜圖形?？涛g技術主要分為干法刻蝕和濕發刻蝕，其中干法刻蝕主要利用氣體與等離子體進行刻蝕。四氟化碳是目前電子工業中用量最大的等離子刻蝕氣體。 2022 年 04 月 20 日 P.13 請仔細閱讀本報告末頁聲明請仔細閱讀本報告末頁聲明 圖表 22：MOCVD 制備氮化鎵器件的流程 圖表 23：四氟化碳用于等離子刻蝕氣體 資料來源：氮化鎵科技匯，國盛證券研究所 資料來源：應用物理 ，國盛證券研究所 摻雜：摻雜：雜質摻雜主要用于改變半導體的特性，將某些雜質摻入半導體材料內，可以使材料具有所需要的導電類型和一定的電阻率，以制造電阻、

46、PN 結、埋層等，擴散和離子注入是半導體摻雜的兩種主要方式。雜質擴散是在石英高溫爐管中放入半導體硅晶片并通入含有所需摻雜劑的氣體混合物，常用的摻雜氣體包括 BCl3、BBr3、PCl3、PBr3、AsCl3。離子注入是將含有雜質的化合物分子（如 BCl3,BF3）電離為雜質離子后，聚集成束并用強電場加速， 使其成為高能離子束， 直接轟擊半導體材料， 從而形成集成電路的 PN 結。在半導體應用中，比較普遍使用的是氣體離子源，將含有注入物質的氣體送入系統，如BF3， BCl3,PH3， AsH3等。 此外， 為了消除輻射損傷， 恢復晶體的電性能， 在退火過程中，還需要用惰性氣體進行保護，如氬。 外

47、延晶體生長外延晶體生長：外延是在單晶上生長一層同質或異質的薄膜層，與單晶生長相比，外延生長溫度低，常用的外延技術包括化學氣相沉積（CVD）和分子束外延（MBE） ，CVD 包括常壓（APCVD）和低壓（LPCVD） ，而金屬有機物氣相沉積（MOCVD）是以熱分解反應為基礎的氣相外延法，廣泛應用于生長 III-V 族和 II-VI 族化合物異質外延上。公司目前生產的硅烷是硅的氣相外延過程中主要會用到的氣體之一。 2022 年 04 月 20 日 P.14 請仔細閱讀本報告末頁聲明請仔細閱讀本報告末頁聲明 圖表 24：摻雜的擴散和離子注入兩種工藝 圖表 25：硅的氣相外延過程會用到硅烷 資料來源：

48、半導體的型型摻雜，國盛證券研究所 資料來源：SSDM 國際會議論文，國盛證券研究所 2.2 市場需求空間大，拉開進口替代序幕市場需求空間大，拉開進口替代序幕 據據 SEMI， 全球半導體材料市場 （包括晶圓制造材料和封裝材料） 規模， 全球半導體材料市場 （包括晶圓制造材料和封裝材料） 規模 2021 年達年達 642.8億美元， 同比增長億美元， 同比增長 15.9%。 其中， 晶圓制造材料市場規模為 404 億， 同比增長 15.5%，憑借先進的晶圓代工及封裝技術，中國臺灣地區連續十二年居于全球半導體材料最大消費地，在全球半導體材料市場規模整體增長的情況下，中國大陸的規模排名第二且增速達到

49、 21.9%，為前六大半導體材料消費地區增速第一，體現了全球半導體材料市場向中國大陸轉移的趨勢。 圖表 26：全球半導體材料市場規模 資料來源：SEMI，國盛證券研究所 晶圓制造材料包括硅片、電子特氣、光掩模、濕法化學品和光刻膠等材料，根據銳觀咨詢，2018 年電子特氣在全球半導體材料成本中占比約 13%，為第二大成本來源。根據根據Techcet，預計，預計 2022 年全球電子氣體市場規模有望達到年全球電子氣體市場規模有望達到 70 億美金，其中特氣約億美金，其中特氣約 5001002003004005006007002000200220042006200820102012201420162

50、0182020全球半導體市場規模（億美元） 2022 年 04 月 20 日 P.15 請仔細閱讀本報告末頁聲明請仔細閱讀本報告末頁聲明 億美金，億美金，電子電子大宗氣體大宗氣體 20 億美金。億美金。 圖表 27：2018 年全球晶圓制造材料成本構成 資料來源：銳觀咨詢，國盛證券研究所 圖表 28：全球電子特氣市場規模（億美金） 圖表 29：全球電子氣體市場規模及預測（百萬美元） 資料來源：SEMI，國盛證券研究所 資料來源：Techcet，國盛證券研究所 海外龍頭在海外龍頭在大陸大陸占八成以上份額，國產替代空間巨大。占八成以上份額，國產替代空間巨大。根據 SEMI 及前瞻產業研究院，201