【研報】半導體行業電子氣體深度報告：半導體材料·電子氣體投資寶典-20200324[59頁].pdf

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1、 1/59 請務必閱讀正文之后的免責條款部分 專 題 半導體行業半導體行業 報告日期：2020 年 3 月 24 日 半導體材料電子半導體材料電子氣體氣體投資寶典投資寶典 電子氣體深度報告 行 業 公 司 研 究 半 導 體 行 業 ：孫芳芳 執業證書編號： S1230517100001 ：021-80106039 ： 行業行業評級評級 半導體 看好 Table_relateTable_relate 相關報告相關報告 1半導體設備/材料迎來國產代替窗口 期2020.03.12 2 【浙商電子行業點評】GaN（氮化鎵） 市場的爆發前夜2020.02.16 3 智能醫療： 疫情過后的物聯網新機會

2、2020.02.05 4半導體行業處于上升軌道，各環節國 產替代有序進行2018.02.06 5 一 周 行 業 要 聞 及 觀 點 傳 遞 8.21-8.272017.08.28 報告撰寫人： 孫芳芳 數據支持人： 蔣鵬、胡碩秋 報告導讀報告導讀 疫情放大供需矛盾+晶圓廠密集投產=電子特氣國產代替速度超預期。 投資要點投資要點 疫情是催化劑，放大電子特氣供需矛盾疫情是催化劑，放大電子特氣供需矛盾 1、 國內供給端減少：國內供給端減少：疫情導致國外電子特氣制造、物流、運輸等等環節受限。 造成電子氣體在供給端減少。 2、 國內需求端復蘇：國內需求端復蘇：國內疫情控制效果明顯，各個晶圓廠已經進入全

3、面復工 復產期，需求端全面復蘇。 3、 供需矛盾被放大：供需矛盾被放大：疫情是催化劑，放大國內電子特氣供需矛盾。國內需求 增加，國外供給減少，電子特氣迎來代替窗口期. 新工廠是新工廠是機會，電子特氣迎來代替窗口機會，電子特氣迎來代替窗口 1、 新建晶圓廠投產：新建晶圓廠投產：2020 年2022 年是中國大陸晶圓廠投產高峰期，以長江 存儲，長鑫存儲等新星晶圓廠和以中芯國際，華虹為代表的老牌晶圓廠正 處于產能擴張期，未來 3 年將迎來密集投產。 2、 特氣代替窗口期：特氣代替窗口期：根據電子特氣的特性來推斷，新建晶圓廠將是電子特氣 國產代替的主要發展企業。國內新建晶圓廠的密集投產為電子特氣打開了

4、 最佳代替窗口。 部分完成代替，將迎來三百億市場空間部分完成代替，將迎來三百億市場空間 1、 部分產品完成代替：部分產品完成代替： 國內少數電子氣體已經完成突破， 業績爆發即將到來。 國內電子特氣代替主要有四種方式。第一，產能優勢來降低成本進入國際 主流晶圓廠。第二，通過收購國際知名公司直接打入核心供應鏈。第三， 通過特定氣體進入核心供應商。第四，業務擴展進入供應商名單。 2、 三三百億空間已百億空間已到來到來：根據國內晶圓廠的建設速度和規劃，預計 2022 年國 內電子氣體市場是 2019 年的兩倍，電子氣體市場迎來高速發展期。根據 2019 年的 20 億美元的市場空間，預計 2022 年

5、，中國大陸電子氣體市場空 間將會接近 300 億元大關。 關注電子氣體標的關注電子氣體標的 部分實現國產替代代表廠商有華特氣體（ASML 供應商） ，雅克科技（科美特） 、昊華 科技（黎明院、光明院） 、南大光電（飛源氣體） ；以空分氣體或者大化工進入半導體領 域，代表企業有巨化股份（中巨芯） 、三孚股份、金宏氣體、凱美特氣、和遠氣體等。 風險提示：風險提示：1）客戶進展較慢；）客戶進展較慢；2）價格下降；）價格下降；3）景氣度下行）景氣度下行 行業催化劑：行業催化劑： 1）晶圓廠建設超預期；）晶圓廠建設超預期；2）國產替代率超預期）國產替代率超預期 證 券 研 究 報 告 table 半導體

6、行業專題半導體行業專題 2/59 請務必閱讀正文之后的免責條款部分 正文目錄正文目錄 1. 電子氣體是半導體制造的電子氣體是半導體制造的“血液血液” . 7 1.1. 集成電路是電子氣體主要應用領域 . 7 1.2. 電子氣體是電子制造的“血液” . 9 1.2.1. 刻蝕電子氣體 . 11 1.2.2. 化學沉積氣體 . 12 1.2.3. 離子注入氣體 . 12 1.2.4. 外延沉積氣體 . 13 1.2.5. 光刻鐳射氣體 . 13 1.2.6. 惰性保護氣體 . 14 2. 半導體材料市場空間廣泛半導體材料市場空間廣泛 . 15 2.1. 中國半導體材料市場穩步增長 . 15 2.2

7、. 電子氣體是半導體制造材料的第二大耗材 . 16 2.3. 政策引導，半導體材料將重點發展 . 17 2.4. 中國電子氣體市場空間巨大 . 18 2.4.1. 中國大陸晶圓廠產能持續擴張 . 18 2.4.2. 產能擴張推動氣體市場規模增長 . 20 3. 電子氣體制備壁壘高電子氣體制備壁壘高 . 21 3.1. 技術壁壘 . 21 3.1.1. 氣體純度壁壘 . 21 3.1.2. 氣體精度壁壘 . 22 3.2. 黏性壁壘 . 22 3.3. 資質壁壘 . 22 4. 電子氣體國產替代勢在必行電子氣體國產替代勢在必行 . 23 4.1. 國內企業奮起直追 . 23 4.2. 歐美企業寡

8、頭壟斷 . 24 4.2.1. 美國空氣化工產品 . 24 4.2.2. 林德集團 . 26 4.2.3. 法國液空集團 . 27 4.3. 日本電子特氣. 28 4.3.1. 昭和電工 . 28 4.3.2. 太陽日酸 . 30 4.3.3. 關東電化工 . 32 4.3.4. 艾迪科 . 33 mNtMrRmQsPpRsQnMpQzQpM7NaO7NtRoOsQrRkPnNnOeRoMnQaQnNzRMYnRrRuOpOsR table 半導體行業專題半導體行業專題 3/59 請務必閱讀正文之后的免責條款部分 4.4. 中國電子特氣公司 . 35 4.4.1. 中航重工（718 所） .

9、37 4.4.2. 昊華科技 . 37 4.4.3. 華特氣體 . 40 4.4.4. 雅克科技 . 44 4.4.5. 南大光電 . 47 4.4.6. 金宏氣體 . 49 4.4.7. 巨化股份 . 52 4.4.8. 凱美特氣 . 53 4.4.9. 三孚股份 . 54 4.4.10. 和遠氣體 . 56 A 股相關電子氣體上市公司股相關電子氣體上市公司 . 58 圖表目錄圖表目錄 圖 1：2018 年中國特種氣體下游細分領域占比 . 8 圖 2：2017 年中國高純電子氣體下游細分領域占比 . 8 圖 3：特種氣體分類 . 8 圖 4：各種電子氣體在半導體制造種的作用 . 11 圖 5

10、：刻蝕氣體的在刻蝕中的作用 . 11 圖 6：化學沉積氣體的反應過程。 . 12 圖 7：離子注入氣體的反應過程。 . 12 圖 8：外延氣體的反應過程。 . 13 圖 9：光刻氣體反應過程 . 14 圖 10：氮氣作為清洗氣體和保護氣體 . 14 圖 11：全球半導體材料銷售額及增速（單位：十億美元） . 15 圖 12：各個國家和地區歷年半導體材料銷售額（單位：十億美元） . 15 圖 13：2018 年各個國家和地區的銷售占比 . 15 圖 14：半導體材料銷售額和中國大陸占比(單位:十億美元) . 15 圖 15：2018 年半導體材料消耗占比 . 16 圖 16：2018 年半導體制

11、造和封裝材料占比 . 16 圖 17：2018 年全球半導體前道各材料市場比重 . 16 圖 18：全球半導體前道材料市場預測 . 16 圖 19：20102024 年全球晶圓廠產能增加量（單位：百萬片/年，等效 8 寸晶圓） . 18 圖 20：2010-2020 中國半導體晶圓廠投資額（單位：億美元） . 18 圖 21：國家大基金一期投資比例 . 18 圖 22：集成電路用電子特體市場規模 . 20 圖 23：中國電子氣體市場規模和增速 . 20 table 半導體行業專題半導體行業專題 4/59 請務必閱讀正文之后的免責條款部分 圖 34：氣體合成流程 . 21 圖 25：氣體混配流程 . 21 圖 26：中國大陸電子氣體市場占比 . 23 圖 27：公司營收持續增長 . 25 圖 28：公司凈利潤情況 . 25 圖 29：法國液空集團銷售毛利率及凈利率情況 . 26 圖 30：公司營收持續增長 . 27 圖 31：公司凈利潤情況 . 27 圖 32：法國液空集團銷售毛利率及凈利率情況 . 28 圖 33：公司營收持續增長 . 29 圖 34：公司凈利潤情況 . 29 圖 35：昭和電工銷售毛利率及凈利率情況 .