富創精密-平臺化半導體設備零部件龍頭引領國產替代-221024（31頁）.pdf

1、證券研究報告公司深度研究半導體 東吳證券研究所東吳證券研究所 1/31 請務必閱讀正文之后的免責聲明部分請務必閱讀正文之后的免責聲明部分 富創精密（688409）平臺化平臺化半導體設備零部件龍頭，半導體設備零部件龍頭，引領國產替引領國產替代代 2022 年年 10 月月 24 日日 證券分析師證券分析師 周爾雙周爾雙 執業證書：S0600515110002 021-60199784 證券分析師證券分析師 黃瑞連黃瑞連 執業證書：S0600520080001 證券分析師證券分析師 羅悅羅悅 執業證書：S0600522090004 股價走勢股價走勢 市場數據市場數據 收盤價(元)140.75 一年

2、最低/最高價 99.00/147.88 市凈率(倍)19.16 流通 A 股市值(百萬元)6,265.53 總市值(百萬元)29,424.26 基礎數據基礎數據 每股凈資產(元,LF)7.35 資產負債率(%,LF)60.04 總股本(百萬股)209.05 流通 A 股(百萬股)44.52 相關研究相關研究 增持（首次）Table_EPS 盈利預測與估值盈利預測與估值 2021A 2022E 2023E 2024E 營業總收入（百萬元）843 1,584 2,409 3,419 同比 75%88%52%42%歸屬母公司凈利潤（百萬元）126 227 345 512 同比 35%79%52%48

3、%每股收益-最新股本攤?。ㄔ?股）0.61 1.08 1.65 2.45 P/E（現價&最新股本攤?。?32.62 129.78 85.26 57.45 Table_Tag#產能擴張#進口替代 Table_Summary 投資要點投資要點 稀缺的平臺化稀缺的平臺化半導體半導體設備設備零部件龍頭，零部件龍頭，引領國產替代引領國產替代 富創精密是國內規模最大、產品種類最全的半導體設備零部件供應商，引領零部件環節國產替代。公司主要產品為工藝零部件、結構零部件、模組及氣體管理四大類，下游客戶為海內外頭部半導體設備廠，高端產品已應用于 7nm 及以上制程的前道設備。2022 上半年公司收入、歸母凈利潤分

4、別為 6.0 億元（同比+73%）、1.0 億元（同比+130%），2018-2021 年復合增速分別為 55%、164%，2022 年上半年公司銷售毛利率 34%（同比+4pct）、銷售凈利率 16%（同比+4pct）。受益國產替代國內客戶拓展提速，內銷占比從 2019 年 15%提升至 2021 年 39%。半導體設備零部件為“卡脖子”環節，雙重國產替代前景可觀半導體設備零部件為“卡脖子”環節，雙重國產替代前景可觀 零部件位于半導體產業鏈上游“卡脖子”環節，直接決定下游半導體設備及晶圓制造，我國零部件國產化進程整體滯后于設備，核心零部件國產化率不足 10%，以進口日本、美國及歐洲地區為主，

5、國產替代空間廣闊。富創精密作為國內品類最全的半導體設備零部件龍頭，已有產品市場占半導體設備價值量達 22%，2021 年全球市場規模約 200 億美金，同期份額不足1%。若公司遠期市場份額提升至 5%，收入天花板可達百億元以上，成長空間廣闊。深度深度受益受益半導體設備及零部件國產化半導體設備及零部件國產化，產能釋放產能釋放迎黃金發展期迎黃金發展期 公司前瞻性進行產能布局，已有沈陽工廠2021年分產品產能利用率為90%（工藝及結構零部件）、63%（氣體管路），仍處于產能爬坡期。未來，公司擬建成沈陽、南通、北京三大生產基地，有望在兩年內投產，合計規劃產值有望翻兩番。此外，公司期間費用率隨規模擴張逐

6、年降低，且相對可比公司仍有較大下降潛力。展望未來，公司有望深度半導體設備及零部件國產化浪潮，隨著產能及規模效應釋放，有望迎黃金發展期。盈利預測與投資評級：盈利預測與投資評級：我們預計公司 2022-2024 年歸母凈利潤分別為2.3/3.5/5.1 億元，同比增長 79%/52%/48%，當前市值對應 PE 為 130/85/57倍。公司為國內半導體設備零部件龍頭深度半導體設備及零部件國產化浪潮，隨產能釋放迎來黃金發展期，首次覆蓋給予“增持”評級。風險提示：風險提示：半導體設備行業周期波動、國際貿易摩擦風險、市場競爭加劇 -24%-18%-12%-6%0%6%12%18%24%30%2022/

7、10/102022/10/132022/10/162022/10/19富創精密滬深300 請務必閱讀正文之后的免責聲明部分請務必閱讀正文之后的免責聲明部分 東吳證券研究所東吳證券研究所 公司深度研究 2/31 內容目錄內容目錄 1.稀缺的平臺化半導體零部件龍頭，乘國產替代東風成長提速稀缺的平臺化半導體零部件龍頭，乘國產替代東風成長提速.5 1.1.半導體設備零部件龍頭，平臺化稀缺標的.5 1.2.獲海內外大客戶背書，內資客戶拓展進程加速.8 1.3.擴產規劃清晰，乘國產替代東風成長提速.11 2.半導體設備零部件為半導體設備零部件為“卡脖子卡脖子”環節，雙重國產替代前景可觀環節，雙重國產替代前

8、景可觀.14 2.1.晶圓廠資本開支處于高水平，產業鏈有望長期維持較高景氣.14 2.2.千億級半導體設備零部件市場，成長空間足夠高.18 2.3.美日歐基本壟斷零部件市場，國產替代前景廣闊.21 3.深度受益半導體設備及零部件國產化，產能釋放迎黃金深度受益半導體設備及零部件國產化，產能釋放迎黃金發展期發展期.25 4.盈利預測與投資評級盈利預測與投資評級.27 5.風險提示風險提示.29 EZiXlVkUNAnXkZuZhUjZcZaQ8Q7NpNqQpNpNjMrQnNeRnPmRbRnNzQxNsRqRMYsOsQ 請務必閱讀正文之后的免責聲明部分請務必閱讀正文之后的免責聲明部分 東吳證

9、券研究所東吳證券研究所 公司深度研究 3/31 圖表目錄圖表目錄 圖 1：富創精密發展歷程.5 圖 2：公司產品種類多，廣泛應用于各核心環節半導體設備.6 圖 3：公司四大類產品示意圖.6 圖 4：圍繞精密制造、表面處理和焊接三大核心技術，品類持續擴張.7 圖 5：富創精密研發費用快速提升.8 圖 6：2021 年富創精密研發費用率 8.8%，高于可比公司.8 圖 7：富創精密股權結構圖（截至 2022 年 9 月 27 日）.8 圖 8：產品獲大客戶背書，產品線及客戶持續拓展.9 圖 9：客戶資源優質，涵蓋國內外知名半導體設備企業（截至 2022 年 9 月）.9 圖 10：公司前五大客戶收

10、入占比超 80%，客戶 A 銷售收入占比逐年降低.10 圖 11：2021 年公司客戶 A 直接收入占比 56%，同比下降 10pct.10 圖 12：2021 年公司國內營收 3.3 億元，收入占比 39%，同比+17pct.10 圖 13：北方華創為公司第一大國內客戶，2021 年收入占比 19%，同比+8pct.10 圖 14：受益規模效應，2021 年公司內銷毛利率 26%，同比+7pct.11 圖 15：公司模組產品內銷毛利率高于外銷毛利率.11 圖 16：2022 上半年公司實現營業總收入 6 億元，同比提升 73%.11 圖 17：2022 上半年公司實現歸母凈利潤 1.0 億元

11、，同比+130%.11 圖 18：2022 上半年公司銷售毛利率/銷售凈利率為 34%/16%，同比+4/+4pct.12 圖 19：規模效應下，2018-2021 年公司期間費用率由 30%降至 20%.12 圖 20：2018-2021 年公司分產品毛利率.12 圖 21：結構零部件占比由 2018 年 55%降至 2021 年 42%，產品結構優化升級.12 圖 22：公司擴產規劃清晰，計劃建成沈陽、南通和北京三大基地.13 圖 23：2022 年 7 月全球半導體銷售額同比+7%.14 圖 24：2022 年 7 月中國大陸半導體銷售額占比為 32.86%.14 圖 25：2022Q2

12、 臺積電資本性支出同比+23%.15 圖 26：2022Q1 中芯國際資本性支出同比+63%.15 圖 27：2022Q1 全球半導體設備銷售額同比+5%.15 圖 28：2022Q1 中國大陸半導體設備銷售額同比+27%.15 圖 29：2021 年底中國大陸晶圓產能全球占比僅 16%.16 圖 30：2021 年中國大陸半導體銷售額全球占比為 35%.16 圖 31：2022 年中國大陸 12 寸晶圓廠擴產空間較大.16 圖 32：2022-2026 年中國大陸將再新增 25 座晶圓廠.16 圖 33：2022 年 1-9 月份 5 家晶圓廠完成招標設備國產化率為 38%.17 圖 34：

13、北方華創 2018-2021 年營收/歸母凈利潤 CAGR 分別為 43%/66%.17 圖 35：中微公司 2018-2021 年營收/歸母凈利潤 CAGR 分別為 24%/123%.17 圖 36：拓荊科技 2018-2021 年營收 CAGR 為 120%.18 圖 37：華海清科 2018-2021 年營收 CAGR 為 182%.18 圖 38：半導體設備零部件是整個芯片制造和電子信息產業的支撐.18 圖 39：中微公司成本結構中，原材料采購占 95%，原材料基本為零部件.19 圖 40：中微公司采購零部件采購中，機械類、氣體及真空系統占 40%、17%.19 圖 41：海內外半導體

14、設備零部件主要供應商.23 圖 42：公司在手訂單強勢增長.25 請務必閱讀正文之后的免責聲明部分請務必閱讀正文之后的免責聲明部分 東吳證券研究所東吳證券研究所 公司深度研究 4/31 圖 43：截至 2022 上半年末，公司存貨、合同負債均大幅提升.25 圖 44：公司規劃建成沈陽、南通、北京三大基地，合計規劃產值有望翻兩番（單位：億元）.26 圖 45：2019-2024E 富創精密業務拆分表（單位：百萬元）.28 表 1：公司期間費用率持續降低，且相對可比公司仍有較大降本空間.13 表 2：半導體設備零部件種類及主要零部件.19 表 3：公司產品廣泛應用于核心半導體設備，約占下游設備市場

15、規模 22%（統計口徑為 2020年）.20 表 4：2020 年公司主要產品市占率均不足 1%，成長空間廣闊.20 表 5：2021-2030E 公司半導體板塊遠期測算（單位：億元人民幣）.21 表 6：半導體設備零部件國產化率較低，進口替代空間廣闊（統計口徑為 2021 年）.22 表 7：公司產品技術水平在全球具備競爭力.24 表 8：IPO 募資 16 億元，10 億元投向集成電路設備零部件生產基地.26 表 9：可比公司估值表（2022/10/23）.29 請務必閱讀正文之后的免責聲明部分請務必閱讀正文之后的免責聲明部分 東吳證券研究所東吳證券研究所 公司深度研究 5/31 1.稀缺

16、的平臺化半導體零部件龍頭，乘國產替代東風成長提速稀缺的平臺化半導體零部件龍頭，乘國產替代東風成長提速 1.1.半導體設備零部件半導體設備零部件龍頭龍頭，平臺化平臺化稀缺標的稀缺標的 國內國內半導體設備零部件半導體設備零部件龍頭龍頭，引領國產替代引領國產替代。沈陽富創成立于 2008 年，專注于半導體設備零部件領域，高端產品已可應用于客戶 7cm-14nm 及以上制程的前道設備中。2021 年公司年均交付首件種類超 3000 種，累計交付產品種類超 10000 件，穩居國內半導體設備零部件行業第一梯隊，引領零部件環節國產替代。圖圖1：富創精密發展歷程富創精密發展歷程 數據來源：富創精密招股說明書

17、，東吳證券研究所整理 半導體設備零部件行業品類最全標的之一半導體設備零部件行業品類最全標的之一，平臺化稀缺標的，平臺化稀缺標的。半導體設備零部件種類繁多，具有小批量、多品種、高定制化等特點。以阿斯麥（ASML）為例，其最先進的 EUV 光刻機包含十多萬個零件，來自全球 5000 余家供應商。行業內絕大部分公司僅專注于某一細分領域，能夠研發出多品類并且實現量產的廠商極少。公司為行業內產品品類最全標的之一，應用覆蓋絕大部分設備，具體分為四大板塊：1）工藝零部件）工藝零部件：晶圓制造關鍵零部件，包括腔體、內襯、勻氣盤等，應用于刻蝕、離子注入、薄膜沉積、化學拋光等設備。2）結構零部件）結構零部件：不直

18、接參與晶圓反應，技術要求略低于工藝零部件，包括基板、冷卻板、底座等，應用于光刻、刻蝕、薄膜沉積等設備。3）模組產品）模組產品：將工藝零部件、結構零部件、氣體管路及外購的零部件進行裝配而形成的組件類產品，包括腔體模組、氣柜模組等，應用于刻蝕、離子注入、薄膜沉積等設備。請務必閱讀正文之后的免責聲明部分請務必閱讀正文之后的免責聲明部分 東吳證券研究所東吳證券研究所 公司深度研究 6/31 4）氣體管路）氣體管路：主要用于半導體設備中的特殊氣體傳送，直接關系到半導體氣體傳輸環節的安全性與潔凈度，主要應用于刻蝕、薄膜沉積、離子注入等設備。圖圖2：公司公司產品種類多，廣泛應用于各核心環節產品種類多，廣泛應

19、用于各核心環節半導體設備半導體設備 數據來源：富創精密招股說明書，東吳證券研究所整理 圖圖3：公司四大類產品示意圖公司四大類產品示意圖 數據來源：富創精密招股說明書，東吳證券研究所 請務必閱讀正文之后的免責聲明部分請務必閱讀正文之后的免責聲明部分 東吳證券研究所東吳證券研究所 公司深度研究 7/31 圍繞精密制造、焊接、表面處理三大核心技術，圍繞精密制造、焊接、表面處理三大核心技術，品類持續擴張品類持續擴張。半導體設備精密零部件具備高精密、高潔凈、高耐腐蝕、高耐擊穿電壓的性能，要求零部件廠具備高水平的精密機械制造、表面處理特種工藝和焊接等生產工藝。由于技術門檻高，零部件廠往往僅具備一或兩道核心

20、工藝，需多家協同才能為設備廠提供成品零件。富創精密是全球少有的、同時具備精密機械制造、表面處理特種工藝、焊接三大核心技術的零部件廠。制造工藝的完備性有利于公司持續拓品，截至 2022 年 9 月，公司三大核心技術共申請了 123 項專利。圖圖4：圍繞精密制造、表面處理和焊接三大核心技術，圍繞精密制造、表面處理和焊接三大核心技術，品類持續擴張品類持續擴張 數據來源：富創精密招股說明書，東吳證券研究所整理 研發研發費用率費用率領先于可比公司，強競爭力有望持續領先于可比公司，強競爭力有望持續。隨工藝積累和技術成熟，公司研發投入逐年提升，為后續發展做工藝和產品儲備。2022 上半年公司計提研發費用 0

21、.5 億元，同比增長 72%。與同行相比，2019-2021 年公司研發費用率持續領先競爭對手京鼎精密和超科林，2021 年公司研發費用率 8.8%，分別領先京鼎精密、超科林 5pct、8pct。強研發投入為公司后續增長提供充足動力。請務必閱讀正文之后的免責聲明部分請務必閱讀正文之后的免責聲明部分 東吳證券研究所東吳證券研究所 公司深度研究 8/31 圖圖5：富創精密研發富創精密研發費用費用快速提升快速提升 圖圖6：2021 年年富創精密研發費用率富創精密研發費用率 8.8%，高于可比公司高于可比公司 數據來源：Wind，東吳證券研究所 數據來源：Wind，東吳證券研究所 股權結構股權結構較較

22、為為集中集中，核心團隊多核心團隊多具備具備 10 年年以上以上行業經歷行業經歷。鄭廣文為公司實際控制人，截至 2022 年 9 月 27 日合計控股 34.03%，同時擔任公司董事長和總經理。公司管理層及技術團隊優秀，大多具備 10 年以上半導體行業經歷，截至 2021 年 12 月 31 日，公司共有研發人員 225 名，占公司全部員工比例為 21%。圖圖7：富創精密股權結構圖富創精密股權結構圖（截至（截至 2022 年年 9 月月 27 日）日）數據來源：富創精密招股說明書，東吳證券研究所整理 1.2.獲海內外大客戶背書獲海內外大客戶背書，內資內資客戶拓展客戶拓展進程進程加速加速 廣獲海內

23、外大客戶背書廣獲海內外大客戶背書，產品線及客戶產品線及客戶持續拓展持續拓展。2011 年至今，公司陸續取得各項特種工藝認證，產品從結構零部件壁壘較高的工藝零部件、模組產品及氣體管路延伸。此外，公司廣獲海內外大客戶背書，2011 年即成為客戶 A 的合格供應商，并在 2016 年成為戰略供應商，截至 2022 年 9 月累計通過客戶 A 共 39 項特種工藝認證。截至 2022年 9 月，公司已成為國內外 15 個知名半導體設備和零部件企業的合格供應商，廣獲海內外大客戶背書，新客戶仍有望持續拓展。28%101%72%0%20%40%60%80%100%120%00.10.20.30.40.50.

24、60.70.82019202020212022H1富創精密研發費用（億元）yoy4.18%3.18%3.57%1.37%1.06%1.17%11.37%7.67%8.80%0%2%4%6%8%10%12%201920202021京鼎精密超科林富創精密 請務必閱讀正文之后的免責聲明部分請務必閱讀正文之后的免責聲明部分 東吳證券研究所東吳證券研究所 公司深度研究 9/31 圖圖8：產品獲大客戶背書產品獲大客戶背書，產品線及客戶持續拓展產品線及客戶持續拓展 數據來源：富創精密招股說明書，東吳證券研究所整理 圖圖9：客戶資源優質，涵蓋客戶資源優質，涵蓋國內外知名半導體設備國內外知名半導體設備企業（企業

25、（截至截至 2022 年年 9 月月）數據來源：富創精密招股說明書，東吳證券研究所整理 請務必閱讀正文之后的免責聲明部分請務必閱讀正文之后的免責聲明部分 東吳證券研究所東吳證券研究所 公司深度研究 10/31 2021 年年前五大前五大客戶客戶收入達收入達 86%，單一單一客戶依賴度降低客戶依賴度降低。2019-2021 年公司前五大客戶收入占比平均為 87%，前五大客戶中，帆宣科技、TOCALO 的最終客戶均為客戶 A，故公司對于客戶 A 整體依賴程度較高。2019-2021 年公司最終銷往客戶 A 的銷售收入占當期營業收入比例分別為 75.2%、74.5%和 58.3%，由于公司其余客戶增

26、量較大，公司對客戶 A 的依賴性有所下降。圖圖10：公司前五大客戶收入占比超公司前五大客戶收入占比超 80%，客戶，客戶 A 銷售銷售收入占比逐年降低收入占比逐年降低 圖圖11：2021 年公司客戶年公司客戶 A 直接收入占比直接收入占比 56%，同比下，同比下降降 10pct 數據來源：富創精密招股說明書，東吳證券研究所 數據來源：富創精密招股說明書，東吳證券研究所 國產替代趨勢下，國產替代趨勢下，國內客戶拓展加速國內客戶拓展加速。隨著國內半導體設備廠商崛起，近三年公司內銷營收規模成倍提升，2021 年內銷收入達 3.3 億元，同比+209%；內銷占比從 2019 年15%提升至 2021

27、年 39%，帶動公司業績上行。北方華創為公司國內第一大客戶，2021年營收占比 19%，同比+8pct。盈利能力方面，公司內銷產品附加值不斷提升，2021 年公司內銷毛利率 26%，同比+7pct。分產品來看，2021 年公司模組產品內銷毛利率高出外銷毛利率 16pct，主要系公司參與國內客戶模組產品設計過程，產品附加值較高。圖圖12：2021 年公司國內營收年公司國內營收 3.3 億元，收入占比億元，收入占比 39%，同比同比+17pct 圖圖13：北方華創為公司第一大國內客戶，北方華創為公司第一大國內客戶，2021 年收入占比年收入占比19%，同，同比比+8pct 數據來源：Wind，東吳

28、證券研究所 數據來源：Wind，東吳證券研究所 50%55%60%65%70%75%80%85%90%201920202021前五大客戶收入占比客戶A最終收入占比（直接+間接）客戶A,56%北方華創,19%華海清科,5%客戶C,3%拓荊科技,2%其他,14%0%50%100%150%200%250%05000100001500020000250003000035000201920202021國內營業收入（萬元）yoy0%5%10%15%20%25%30%35%40%45%201920202021北方華創拓荊科技內銷占比 請務必閱讀正文之后的免責聲明部分請務必閱讀正文之后的免責聲明部分 東吳證券

29、研究所東吳證券研究所 公司深度研究 11/31 圖圖14：受益規模效應，受益規模效應，2021 年公司內銷毛利率年公司內銷毛利率 26%，同，同比比+7pct 圖圖15：公司模組產品內銷毛利率高于外銷毛利率公司模組產品內銷毛利率高于外銷毛利率 數據來源：Wind，東吳證券研究所 數據來源：Wind，東吳證券研究所 1.3.擴產擴產規劃清晰規劃清晰，乘國產替代東風乘國產替代東風成長提速成長提速 公司成長性優異，業績呈現加速趨勢。公司成長性優異，業績呈現加速趨勢。2022 上半年收入、歸母凈利潤分別為上半年收入、歸母凈利潤分別為 6.0 億億元（同比元（同比+73%）、）、1.0 億元（同比億元（

30、同比+130%），），2018-2021 年復合增速分別為年復合增速分別為 55%、164%。受益于下游行業增長及公司客戶拓展，收入規模高速擴張。規模效應驅動下，利潤增速領先營收。2022 年上半年公司銷售毛利率 34%（同比+4pct）、銷售凈利率 16%（同比+4pct）。圖圖16：2022 上半上半年公司年公司實現營業總收入實現營業總收入 6 億元，同比億元，同比提升提升 73%圖圖17：2022 上半上半年公司年公司實現實現歸母凈利潤歸母凈利潤 1.0 億元，同比億元，同比+130%數據來源：Wind，東吳證券研究所 數據來源：Wind，東吳證券研究所 -20%-10%0%10%20%

31、30%40%201920202021外銷內銷主營業務毛利率-7%22%34%9%13%18%-10%-5%0%5%10%15%20%25%30%35%40%201920202021模組產品毛利率模組產品內銷毛利率模組產品外銷毛利率13%90%75%73%0%20%40%60%80%100%012345678920182019202020212022H1營業總收入(億元）YOY-586%380%35%130%-800%-600%-400%-200%0%200%400%600%-0.6-0.4-0.200.20.40.60.811.21.420182019202020212022H1歸母凈利潤（億

32、元）YOY 請務必閱讀正文之后的免責聲明部分請務必閱讀正文之后的免責聲明部分 東吳證券研究所東吳證券研究所 公司深度研究 12/31 圖圖18：2022 上半年公司銷售毛利率上半年公司銷售毛利率/銷售銷售凈利率為凈利率為34%/16%，同比，同比+4/+4pct 圖圖19：規模效應下，規模效應下，2018-2021 年公司期間費用率由年公司期間費用率由30%降至降至 20%數據來源：Wind，東吳證券研究所 數據來源：Wind，東吳證券研究所 從從產品結構產品結構看看，公司公司模組模組及及氣體氣體管路管路呈上升趨勢。呈上升趨勢。從公司產品結構看，2021 年公司結構零部件/工藝零部件/模組產品

33、/氣體管路產品收入占比分別為 42%/21%/19%/16%，2018-2021 年產品收入復合增速分別為 42%/36%/90%/564%。整體來看，公司新開拓品類模組產品、氣體管路放量較快，且附加值及標準化程度較高，易批量化生產，未來有望成長為公司主要板塊。圖圖20：2018-2021 年公司分產品毛利率年公司分產品毛利率 圖圖21：結構零部件占比由結構零部件占比由 2018 年年 55%降至降至 2021 年年42%，產品結構優化升級，產品結構優化升級 數據來源：Wind，東吳證券研究所 數據來源：Wind，東吳證券研究所 我們認為隨著公司我們認為隨著公司產能產能爬坡爬坡，未來業績未來業

34、績高高成長成長確定性確定性較較強強。公司擴產規劃清晰，計劃建成沈陽、南通、北京三大生產基地，沈陽生產基地基本滿產，南通生產基地（IPO項目）預計 2025 年滿產，北京生產基地預計 2027 年滿產，建成后產能有望翻兩倍。-20%-10%0%10%20%30%40%20182019202020212022H1銷售毛利率銷售凈利率期間費用率0%2%4%6%8%10%12%14%16%2018201920202021銷售費用率管理費用率研發費用率財務費用率-505101520253035402018201920202021（%）結構零部件工藝零部件模組產品氣體管路55%47%41%42%32%26

35、%24%21%0%10%20%30%40%50%60%70%80%90%100%2018201920202021其他產品氣體管路模組產品工藝零部件結構零部件 請務必閱讀正文之后的免責聲明部分請務必閱讀正文之后的免責聲明部分 東吳證券研究所東吳證券研究所 公司深度研究 13/31 圖圖22：公司擴產規劃清晰，計劃建成沈陽、南通和北京三大基地公司擴產規劃清晰，計劃建成沈陽、南通和北京三大基地 數據來源：富創精密招股說明書，東吳證券研究所整理 公司期間費用率逐年降低，隨規模擴張公司期間費用率逐年降低，隨規模擴張有望持續下降有望持續下降。2019-2021 年公司期間費用率由 34.05%大幅下降至

36、19.62%，三年費用率下降 14.4pct，其中管理、銷售、研發費用率分別下降 6.9pct、3.5pct、2.6pct，原因是公司收入規?？焖偬嵘?，費用增長幅度遠低于收入增長幅度，呈現出明顯的規模效應。2021 年富創精密期間費用率 19.62%，高于海外可比公司京鼎精密 10.4pct、超科林 6.8pct，隨規模擴張費用率仍有較大下降空間。表表1：公司期間費用率公司期間費用率持續降低持續降低，且且相對可比公司仍有較大相對可比公司仍有較大降本空間降本空間 可比公司可比公司 2019 2020 2021 銷售費用率 京鼎精密 3.61%2.89%2.87%超科林 2.10%1.79%2.2

37、9%平均值平均值 2.85%2.34%2.58%富創精密富創精密 5.34%2.54%1.85%管理費用率 京鼎精密 3.17%3.13%2.57%超科林 12.18%9.33%8.17%平均值平均值 7.68%6.23%5.37%富創精密富創精密 14.61%7.30%7.72%請務必閱讀正文之后的免責聲明部分請務必閱讀正文之后的免責聲明部分 東吳證券研究所東吳證券研究所 公司深度研究 14/31 研發費用率 京鼎精密 4.18%3.18%3.59%超科林 1.37%1.06%1.17%平均值平均值 2.78%2.12%2.37%富創精密富創精密 11.37%7.67%8.80%財務費用率

38、京鼎精密 0.54%0.24%0.21%超科林 2.40%1.21%1.15%平均值平均值 1.47%0.73%0.68%富創精密富創精密 2.72%2.37%1.25%期間費用率期間費用率 京鼎精密 11.50%9.44%9.24%超科林 18.05%13.39%12.78%平均值平均值 14.78%11.42%11.00%富創精密富創精密 34.05%19.89%19.62%數據來源：Wind，東吳證券研究所 2.半導體設備零部件為“卡脖子”環節，雙重國產替代前景可觀半導體設備零部件為“卡脖子”環節，雙重國產替代前景可觀 2.1.晶圓廠資本開支處于高水平，產業鏈有望長期維持較高景氣晶圓廠資

39、本開支處于高水平，產業鏈有望長期維持較高景氣 受益新能源汽車、受益新能源汽車、HPC、IoT 等行業需求旺盛，全球半導體行業需求仍處于快速增等行業需求旺盛，全球半導體行業需求仍處于快速增長階段。長階段。1）全球范圍內來看：2022 年 1-7 月全球半導體銷售額累計為 3531 億美元，同比+19%；2022 年 7 月半導體銷售額為 409 億美元，同比+7%，持續穩定增長，景氣度依舊較高。2）對于本土市場：2022 年 1-7 月半導體銷售額累計為 1160 億美元，同比+12%，其中 1-7 月分別同比+24%、+22%、+17%、+13%、+8%、+3%和-2%，增速逐月下滑，我們判斷

40、主要系疫情導致消費電子市場需求持續疲軟所致。圖圖23：2022 年年 7 月全球半導體銷售額同比月全球半導體銷售額同比+7%圖圖24：2022 年年 7 月中國大陸半導體銷售額占比為月中國大陸半導體銷售額占比為 32.86%數據來源：SIA，東吳證券研究所（單位：十億美元）數據來源：SIA，東吳證券研究所 半導體行業需求景氣度較高，晶圓產能吃緊的背景下，下游資本開支仍處于高位。半導體行業需求景氣度較高，晶圓產能吃緊的背景下，下游資本開支仍處于高位。0102030405060亞太/其他地區中國大陸日本歐洲美洲0%10%20%30%40%50%60%70%80%90%100%亞太/其他地區中國大陸

41、日本歐洲美洲 請務必閱讀正文之后的免責聲明部分請務必閱讀正文之后的免責聲明部分 東吳證券研究所東吳證券研究所 公司深度研究 15/31 具體來看：1）臺積電：）臺積電：2022Q2 資本性支出達到 73.4 億美元，同比+23%；2022 年全年資本開支預計為 400-440 億美元，同比+33%-+46%；2）中芯國際：）中芯國際：2022Q1 資本性支出達到 8.69 億美元，同比+63%。圖圖25：2022Q2 臺積電資本性支出同比臺積電資本性支出同比+23%圖圖26：2022Q1 中芯國際資本性支出同比中芯國際資本性支出同比+63%數據來源：臺積電公告，東吳證券研究所 數據來源：中芯國

42、際公告，東吳證券研究所 下游半導體企業持續性高資本開支拉動設備需求，未來半導體產業鏈維持較高景氣下游半導體企業持續性高資本開支拉動設備需求，未來半導體產業鏈維持較高景氣度。度。從行業增速來看，2021 年全球&中國大陸半導體設備銷售額分別為 1026 和 296億美元，2012-2021 年 CAGR 分別為 12%和 32%；2022Q1 中國大陸半導體設備銷售額達到 75.7 億美元，同比+27%，延續高速增長，明顯高于全球增速 5%；從全球占比來看，2012年中國大陸半導體設備銷售額全球占比僅為7%，2022Q1年快速上升至30.6%。2021年全球半導體設備銷售額達歷史最高點，中國大陸

43、半導體產業重心趨勢愈發凸顯。年全球半導體設備銷售額達歷史最高點，中國大陸半導體產業重心趨勢愈發凸顯。圖圖27：2022Q1 全球半導體設備銷售額同比全球半導體設備銷售額同比+5%圖圖28：2022Q1 中國大陸半導體設備銷售額同比中國大陸半導體設備銷售額同比+27%數據來源：SEMI，東吳證券研究所 數據來源：SEMI，東吳證券研究所 全球半導體產業已處于第三輪轉移周期，全球半導體產業已處于第三輪轉移周期，中國大陸中國大陸正承接中國臺灣、韓國成正承接中國臺灣、韓國成為全球為全球-100%-50%0%50%100%150%200%0102030405060708090100資本性支出（億美元）同

44、比-200%0%200%400%600%800%1000%1200%0510152025資本性支出（億美元）同比-20%-10%0%10%20%30%40%50%020040060080010001200全球半導體設備銷售額（億美元）yoy0%10%20%30%40%50%60%70%050100150200250300350中國大陸半導體設備銷售額（億美元）yoy 請務必閱讀正文之后的免責聲明部分請務必閱讀正文之后的免責聲明部分 東吳證券研究所東吳證券研究所 公司深度研究 16/31 晶圓新增產能中心晶圓新增產能中心。據 SEMI 數據，2021-2022 年全球新增晶圓廠 29 座中，中國

45、大陸新增 8 座，占比達到 27.59%。然而，中國大陸市場晶圓產能缺口依舊較大，2021 年底晶圓全球產能占比僅為 16%，遠低于半導體銷售額全球占比（2021 年約 35%）。在政策扶持&IC 設計加速崛起驅動下，晶圓產能東移將是全球半導體產業長期發展趨勢。圖圖29：2021 年底中國大陸晶圓產能全球占比僅年底中國大陸晶圓產能全球占比僅 16%圖圖30：2021 年中國大陸半導體銷售額全球占比為年中國大陸半導體銷售額全球占比為 35%數據來源：Knometa Research，東吳證券研究所 數據來源：SIA，東吳證券研究所 具體來看，根據集微咨詢統計，2022 年初中國大陸共有 23 座

46、 12 英寸晶圓廠投入生產，總計月產能約為 104.2 萬片，與總規劃月產能 156.5 萬片相比，產能裝載率僅達到66.58%，仍有較大擴產空間。同時，集微咨詢同時，集微咨詢預計中國大陸未來預計中國大陸未來 5 年（年（2022 年年-2026 年）年）還將新增還將新增 25 座座 12 英寸晶圓廠，總規劃月產能將超過英寸晶圓廠，總規劃月產能將超過 160 萬片。萬片。圖圖31：2022 年中國大陸年中國大陸 12 寸晶圓廠擴產空間較大寸晶圓廠擴產空間較大 圖圖32：2022-2026 年中國大陸將再新增年中國大陸將再新增 25 座晶圓廠座晶圓廠 數據來源：集微咨詢，東吳證券研究所 數據來源

47、：集微咨詢，東吳證券研究所（單位：座）半導體設備國產化率持續提升半導體設備國產化率持續提升，2022 年年 1-9 月份月份 5 家晶圓廠合計完成國產設備招家晶圓廠合計完成國產設備招標標 275 臺，國產化臺，國產化率約率約 38%。其中 3-9 月份分別合計完成國產設備招標 36、66、52、45、22、28 和 17 臺，國產化率分別為 21%、37%、49%、66%、38%、64%和 45%。細分設備來看，涂膠顯影設備、刻蝕設備、CMP 設備、爐管設備、去膠機、剝離設備、刷片機國產化率較高，1-9 月份合計國產化率分別為 38%、55%、43%、31%、55%、60%和 50%。韓國23

48、%中國臺灣21%中國大陸中國大陸16%日本15%美洲11%歐洲5%其他地區9%美洲21%歐洲9%日本8%中國大陸中國大陸35%亞太及其他地區27%87.7104.246.852.30204060801001201401601802021年初2022年初產能提升空間（萬片）12英寸月產能（萬片）202329343943365545010203040506020212022E2023E2024E2025E2026E當年新增投產數量原12英寸廠投產數量 請務必閱讀正文之后的免責聲明部分請務必閱讀正文之后的免責聲明部分 東吳證券研究所東吳證券研究所 公司深度研究 17/31 圖圖33：2022 年年

49、1-9 月份月份 5 家晶圓廠完成招標設備國產化率為家晶圓廠完成招標設備國產化率為 38%數據來源：中國國際招標網，東吳證券研究所 注 1：公開信息匯總更新不及時可能存在誤差；單位：臺 注 2：我們將二手、翻新&外貿業務廠商的中標結果也記入“國產設備”，故理論上本文的國產化率統計值偏高 國產替代浪潮下，龍頭國產替代浪潮下，龍頭設備商業績持續創新高設備商業績持續創新高，帶動零部件需求提升，帶動零部件需求提升。北方華創2018-2021 年營業收入及歸母凈利潤年復合增速分別為 43%、66%，業績高速增長。中微公司、拓荊科技及華海清科 2020-2021 年整體業績表現優異，成長提速，2022 上

50、半年營收增速分別為 47%、365%、144%，在全球半導體設備供應鏈短缺和國產替代進程加速的背景下，國內半導體設備廠商快速成長性，帶動零部件需求持續高漲。圖圖34：北方華創北方華創 2018-2021 年營收年營收/歸母凈利潤歸母凈利潤 CAGR 分分別為別為 43%/66%圖圖35：中微公司中微公司 2018-2021 年營收年營收/歸母凈利潤歸母凈利潤 CAGR分別為分別為 24%/123%數據來源：Wind，東吳證券研究所 數據來源：Wind，東吳證券研究所 0%20%40%60%80%100%120%140%160%0204060801001202018201920202021202

51、2H1營收（億元）歸母凈利（億元）0%50%100%150%200%250%0510152025303520182019202020212022H1營收（億元）歸母凈利（億元）營收yoy歸母凈利yoy 請務必閱讀正文之后的免責聲明部分請務必閱讀正文之后的免責聲明部分 東吳證券研究所東吳證券研究所 公司深度研究 18/31 圖圖36：拓荊科技拓荊科技 2018-2021 年營收年營收 CAGR 為為 120%圖圖37：華海清科華海清科 2018-2021 年營收年營收 CAGR 為為 182%數據來源：Wind，東吳證券研究所 數據來源：Wind，東吳證券研究所 2.2.千億級半導體設備零部件市

52、場，成長空間足夠高千億級半導體設備零部件市場，成長空間足夠高 零部件零部件為半導體為半導體產業鏈上游產業鏈上游“卡脖子”“卡脖子”環節環節，決定決定了了半導體半導體設備的可靠性和穩定性。設備的可靠性和穩定性。半導體設備零部件對精密性、潔凈度、耐腐蝕和耐擊穿電壓等特性要求極高，生產涉及精密機械制造、工程材料、表面處理特種工藝等多種工藝和多門學科，技術門檻極高?？梢哉f零部件的性能決定設備的性能，設備升級依賴于零部件技術突破，零部件是半導體產業鏈“卡脖子”環節。圖圖38：半導體設備零部件是整個芯片制造和電子信息產業的支撐半導體設備零部件是整個芯片制造和電子信息產業的支撐 數據來源：富創精密招股說明書

53、，東吳證券研究所整理 半導體設備零部件全球市場超半導體設備零部件全球市場超 500 億美金億美金，富創精密覆蓋產品（富創精密覆蓋產品（機械類、機械類、氣體氣體輸送輸送系統類系統類）價值量高價值量高。半導體設備零部件可大致分為機械類、電氣類、機電一體、氣體輸送系統、真空系統及啟動系統等 8 類，合計約占半導體設備價值量的 50%，其中機械類、氣體輸送系統類占較高，約占零部件總量 40%、17%。根據 SEMI、IC Insights 數據，-1500%-1000%-500%0%500%1000%-2-1012345678920182019202020212022H1營收（億元）歸母凈利（億元）營

54、收yoy歸母凈利yoy-400%-300%-200%-100%0%100%200%300%400%500%600%-4-2024681020182019202020212022H1營收（億元）歸母凈利（億元）營收yoy歸母凈利yoy 請務必閱讀正文之后的免責聲明部分請務必閱讀正文之后的免責聲明部分 東吳證券研究所東吳證券研究所 公司深度研究 19/31 2022 年全球半導體設備市場規模預計約 1036 億美金，對應全球半導體設備零部件市場規模為 518 億美元。圖圖39：中微公司中微公司成本結構中，原材料成本結構中，原材料采購采購占占 95%，原，原材料基本為零部件材料基本為零部件 圖圖40

55、：中微公司中微公司采購采購零部件零部件采購中，機械類、氣體及真空采購中，機械類、氣體及真空系統占系統占 40%、17%數據來源：中微公司招股說明書，東吳證券研究所 數據來源：中微公司招股說明書，東吳證券研究所 表表2：半導體設備零部件種類半導體設備零部件種類及主要零部件及主要零部件 原材料類別原材料類別 主要零部件主要零部件 機械類機械類 反應腔體、運輸腔體、設備支撐架、鈑金外殼、碳化硅淋浴頭上電極、陶瓷鍍膜上電極、靜電吸盤下電極、石墨托盤、殼體外箱等 電器類電器類 可編程控制器、I/O 模塊、AC 模塊、DC 模塊、工業電腦、可編程控制電源、加熱器、配電柜，線束等 機電一體類機電一體類 機械

56、手、陶瓷轉輪、消防報警滅火裝置、溫控測量系統、進出口風閥等 氣體輸送系統類氣體輸送系統類 氣柜、焊接件等 真空系統類真空系統類 干泵、分子泵、真空閥、傳輸閥門等 傳感器類傳感器類 光電傳感器、壓力傳感器、溫度傳感器等 儀器儀表類儀器儀表類 氣體流量計、壓力控制器等 氣動系統類氣動系統類 電磁閥、接頭等 數據來源：中微公司招股說明書，東吳證券研究所 公司產品廣泛應用于核心半導體設備，公司產品廣泛應用于核心半導體設備，2020 年年約約占下游設備市場規模占下游設備市場規模 22%。根據公司公告，2020 年公司四大類半導體零部件（工藝零部件、結構零部件、氣體管路和模組）覆蓋薄膜沉積、刻蝕、光刻等核

57、心環節設備，約占半導體設備價值量 22.4%。2020年公司全球市場規模達 160 億美元，四類產品市占率均不足 1%，市場空間廣闊。直接材料直接材料,94.98%直接人工,1.62%制造費用,3.40%機械類40%氣體輸送系統類17%電器類16%機電一體類10%真空系統類9%氣動系統類3%儀器儀表類3%其他3%請務必閱讀正文之后的免責聲明部分請務必閱讀正文之后的免責聲明部分 東吳證券研究所東吳證券研究所 公司深度研究 20/31 表表3：公公司產品司產品廣泛廣泛應用于核心半導體設備，應用于核心半導體設備，約約占下游設備市場規模占下游設備市場規模 22%（統計口徑為（統計口徑為 2020 年）

58、年）設備名稱設備名稱 全球市場規模全球市場規模 （億美元）（億美元）工藝和結構零工藝和結構零部件占比部件占比 模組產品模組產品占比占比 氣柜和氣體氣柜和氣體管路占比管路占比 公司主要產品全公司主要產品全球市場規模球市場規模 （億美元）（億美元）薄膜沉積設備 172 14.0%11.5%9.0%59 刻蝕設備 137 19.5%8.0%12.5%55 光刻設備 134 7.5%-10 清洗設備 35 12.0%-4 涂膠顯影設備 24 12.0%17.5%-7 化學機械拋光設備 16 19.5%12.5%-5 熱處理設備 15 17.5%11.5%12.5%6 離子注入設備 14 12.0%5.

59、0%2.0%3 去膠設備 5 17.5%11.5%12.5%2 其他設備 160 5.0%-8 合計合計 712 11.8%5.6%5.0%160（22%）數據來源：富創精密招股說明書，東吳證券研究所 表表4：2020 年年公司主要產品市占率公司主要產品市占率均均不足不足 1%，成長，成長空間空間廣闊廣闊 項目項目 2020 年全球市場規模年全球市場規模（億美元）（億美元）2021 年主營年主營業務業務收入收入 （億元）（億元）全球市占率全球市占率 工藝零部件和結構零部件 84 5.3 0.9%模組產品 40 1.4 0.5%氣柜及氣體管路 35 1.6 0.6%合計合計 160 8.3 0.

60、8%數據來源：富創精密招股說明書，東吳證券研究所 我們測算我們測算2021年年公司公司四類產品合計四類產品合計市場規模市場規模約約200億億美元，美元，公司收入公司收入份額不足份額不足1%，成長空間成長空間廣闊。廣闊。按工藝零部件、結構零部件、氣體管路和模組占半導體設備價值量 22%計算，根據 SEMI、IC Insights 對全球半導體設備市場規模數據，可測算得 2021 年公司下游市場規模 212 億美元，2021 年公司營業收入 8 億元人民幣，份額不足 1%?？紤]半導體設備零部件市場以 8%復合增速增長，公司遠期市場份額提升至 5%，有望成長至百億元人民幣以上體量。請務必閱讀正文之后

61、的免責聲明部分請務必閱讀正文之后的免責聲明部分 東吳證券研究所東吳證券研究所 公司深度研究 21/31 表表5：2021-2030E 公司半導體板塊遠期測算公司半導體板塊遠期測算（單位：億元人民幣）（單位：億元人民幣）2019 2020 2021 2022E 2023E 2024E 2025E 2030E 半導半導體設體設備零備零部件部件行業行業 全球半導體設備銷售額全球半導體設備銷售額 3884 4627 6672 7410 7632 7861 8097 13337 YOY/CAGR（2021-2030E）-7%19%44%11%3%3%3%8%其中：中國大陸 874 1217 1925 2

62、223 2480 2751 2834 4668 占全球比例 23%26%29%30%33%35%35%35%YOY/CAGR 39%58%15%12%11%3%10%半導體零部件占設備價值量比重 50%50%50%50%50%50%50%50%半導體零部件市場規模半導體零部件市場規模 1942 2314 3336 3705 3816 3931 4049 6669 YOY/CAGR（2021-2030E）19%44%11%3%3%3%8%其中：中國大陸 437 609 963 1112 1240 1376 1417 2334 占全球比例 39%58%15%12%11%3%10%富創富創 精密精密

63、 工藝零部件+結構零部件占半導體設備價值量 12%12%12%12%12%12%12%12%工藝零部件+結構零部件市場規模 466 555 801 889 916 943 972 1600 模組產品占半導體設備價值量 6%6%6%6%6%6%6%6%模組產品市場規模 233 278 400 445 458 472 486 800 氣柜和氣體管路產品占半導體設備價值量 5%5%5%5%5%5%5%5%氣柜和氣體管路產品市場規模 194 231 334 371 382 393 405 667 公司產品占半導體設備價值量比公司產品占半導體設備價值量比例例 22%22%22%22%22%22%22%2

64、2%公司全球市場公司全球市場 893 1064 1535 1704 1755 1808 1862 3068 -按地區：國內 205 277 445 511 579 633 652 1074 -按地區：海外 688 788 1090 1193 1176 1175 1211 1994 公司營業收入公司營業收入 3 5 8 16 24 34 48 153 YOY/CAGR（2021-2030E）90%75%88%52%42%40%38%公司份額公司份額 0.3%0.5%0.5%0.9%1.4%1.9%2.6%5.0%數據來源：SEMI，ICInsight，Wind，東吳證券研究所測算 注：使用 20

65、22 年 10 月 22 日匯率，1 美元=7.24 元人民幣 2.3.美日歐美日歐基本基本壟斷壟斷零部件零部件市場市場，國產替代，國產替代前景廣闊前景廣闊 美日歐美日歐壟斷壟斷全球全球半導體設備零部件半導體設備零部件份額份額 98%，國內僅少量環節有所突破國內僅少量環節有所突破。根據我們的產業鏈調研，從全球半導體設備零部件份額來看，2021 年美國占 44%，日本占 33%，歐洲占 21%，基本壟斷全球市場。國內部分廠商依托精密機加工、表面處理能力長期積 請務必閱讀正文之后的免責聲明部分請務必閱讀正文之后的免責聲明部分 東吳證券研究所東吳證券研究所 公司深度研究 22/31 累，在機械類、氣

66、體及真空系統等領域實現一定國產化，但整體國產化率僅為 10%-20%，高制程設備產品技術仍有待突破。此外，機電一體類、電器類、儀器儀表類及光學類零部件國產化率低于 10%。表表6：半導體設備半導體設備零部件國產化率零部件國產化率較低較低，進口替代空間廣闊，進口替代空間廣闊（統計口徑為（統計口徑為 2021 年）年）零部件種類零部件種類 設備零部件設備零部件 海外廠商海外廠商 國內廠商國內廠商 國產化率國產化率 技術突破難度技術突破難度 機械類 鈑金件/華亞智能 15%左右左右 應用最廣，市場份額最大的零部件類別，主要產品技術已實現突破和國產替代，應用于高制程設高制程設備的產品技術仍有待突破備的

67、產品技術仍有待突破 金屬件/富創精密、靖江先鋒、托倫斯 腔體/富創精密、新萊應材、江豐電子 噴淋頭 Ferrotec、Heraeus 臺灣新鶴、靖江先鋒、江豐電子 靜電吸盤 Shinko、TOTO 華卓精科 密封圈 Duponi 芯密科技 氣體/液體/真空系統 管路 Kuze 萬業企業、新萊應材 10%左右左右 品類多，部分產品已實現技術突破，但產品穩定性和一致性與國產品穩定性和一致性與國外有差距，技術難度適中外有差距，技術難度適中 泵 Edwards、Ebara 新萊應材 閥 VAT、MKS、Fujikin、Kuze 新萊應材 氣體輸送系統 UCT、Ichor 萬業企業、富創精密 機電一體類

68、 溫控裝置/京儀自動化 低于低于 10%品類多，部分產品已實現技術突破，但產品穩定性和一致性與國產品穩定性和一致性與國外有差距，技術難度適中外有差距，技術難度適中 腔體模組/富創精密 機械手 Erooks Automation、Yaskawa 新松機器人、京儀自動化 EFEM Erooks Automation、Yaskawa 新松機器人、京儀自動化 雙工臺 ASML 華卓精科 電氣類 可編程電源/英杰電氣 低于低于 5%設備中作為控制工藝制程的核心部件，技術突破難度較高技術突破難度較高 射頻電源 Advanced Energy、MKS 北方華創、英杰電氣 儀器儀表類 MFC MKS、Hori

69、ba 北方華創、萬業企業 低于低于 5%對測量的精準度要求極高，技術技術突破難度較高突破難度較高 光學類 光源、物鏡系統等 Cymer、Zeiss、ASML 北京國望光學科技、長春國科精密光學技術 低于低于 5%對光學性能要求極高，鑒于光刻設備國際市場高度壟斷，高端產品一家獨大，國內光刻設備尚在發展，相應配套光學零部件國產化率低，技術突破難度較高技術突破難度較高 數據來源：富創精密招股說明書，Wind，東吳證券研究所整理 請務必閱讀正文之后的免責聲明部分請務必閱讀正文之后的免責聲明部分 東吳證券研究所東吳證券研究所 公司深度研究 23/31 行業行業競爭格局優異，進口替代空間廣闊。競爭格局優異

70、，進口替代空間廣闊。半導體設備零部件技術、客戶壁壘較高，國內僅少數供應商突破，由于國產化率整體較低，目前仍以進口替代為主，國內供應商之間不存在直接客戶及產品競爭。海外半導體設備零部件廠商體量整體較大，包括跨行業的派克漢尼汾、世偉洛克（未上市）等，以及專注于半導體領域的超科林、富士金（未上市）等。此外，半導體設備零部件利潤率整體較高，瑞典 VAT 專注于泛半導體設備零部件領域，2021 年毛利率達到 60%，凈利率達到 24%。圖圖41：海內外半導體設備零部件主要供應商海內外半導體設備零部件主要供應商 數據來源：Wind，各公司官網，東吳證券研究所整理 公司公司產品產品覆蓋面廣、技術領先覆蓋面廣

71、、技術領先，引領國產替代引領國產替代。從產品參數上看，富創精密技術水平已與海外同類龍頭平齊，具備全球競爭力。從產品布局上看，公司產品覆蓋核心半導體設備，平臺化優勢。作為國產廠商性價比優勢明顯，國產替代空間廣闊。請務必閱讀正文之后的免責聲明部分請務必閱讀正文之后的免責聲明部分 東吳證券研究所東吳證券研究所 公司深度研究 24/31 表表7：公司產品技術水平在全球具備競爭公司產品技術水平在全球具備競爭力力 工藝零部件工藝零部件 指標指標 與主流指標與主流指標對比對比 公司標準公司標準 通過主流客戶指通過主流客戶指標認證標認證國內國內企業企業 過渡腔 潔凈度 優于 在百級潔凈室進行高潔凈度化學清洗、

72、包裝，產品可達到紫外線檢測下表面無可視熒光粒子 富創精密 傳輸腔 耐腐蝕性 一致 產品可實現酸性鹽霧環境中幾十天膜層不發生腐蝕 富創精密、京鼎精密 密封性 優于 氦測漏率極低 真空度 優于 可達極低的 torr 真空指標 反應腔 耐腐蝕性 優于 陽極膜層在鹽酸中浸泡數小時不產生任何氣泡 富創精密、京鼎精密 耐擊穿電壓 優于 每 0.001 英寸膜厚的耐擊穿電壓達到較高水平 微孔加工 優于 加工最小孔徑為 0.3 毫米，孔口無毛刺，微孔孔徑尺寸公差可控制在 幾微米內 結構零部件結構零部件 指標指標 與主流指標與主流指標對比對比 公司標準公司標準 通過主流客戶指通過主流客戶指標認證標認證國內國內企

73、業企業 托盤軸 平面度 優于 形位公差精度小于幾十微米 富創精密、靖江先鋒、托倫斯 平行度 優于 形位公差精度小于幾十微米 尺寸公差精度 一致 尺寸公差精度小于幾十微米 定子冷卻套 尺寸公差精度 優于 尺寸公差精度小于幾十微米 富創精密、靖江先鋒、托倫斯 冷卻板 平整度 優于 尺寸公差精度小于幾十微米 富創精密 潔凈度 優于 NaCl 當量達到較低水平 耐電壓型 優于 可承受一定數值的壓力值 密封性 優于 在一定壓力下進行氣體密封性測試，保證一定時間內無泄漏 流量計底座 表面粗糙度 一致 超高光潔度斜孔加工，確保表面粗糙度小于 Ra 零點幾微米 富創精密 耐腐蝕性 優于 鉻鐵比和氧化鉻氧化鐵比

74、高于一定比例 密封性 優于 密封面表面粗糙度小于 Ra 零點零幾微米，硬度大于一定維氏硬度 模組產品模組產品 指標指標 與主流指標與主流指標對比對比 公司標準公司標準 通過主流客戶指通過主流客戶指標認證標認證國內國內企業企業 離子注入機/傳輸腔/過渡腔/閥體模組 密封性 優于 氦測漏率達到極低水平 富創精密、京鼎精密 氣柜模組 精準控制 優于 氣體流量精度可控制在滿量程的 幾%以下 富創精密 密封性 一致 氦測漏率達到極低水平 潔凈度 一致 大于零點幾微米的顆粒數量每立方英尺小于幾個，高端制程產品無顆粒 氣體管路氣體管路 指標指標 與主流指標與主流指標相比相比 公司標準公司標準 通過主流客戶指

75、通過主流客戶指標認證標認證國內國內企業企業 氣體管路 潔凈度 優于 大于零點幾微米的顆粒數量每立方英尺小于幾個，高端制程產品無顆粒，氣體管路相對氣柜模組潔凈度要求更高 富創精密 密封性 優于 氦測漏率達到極低水平 耐腐蝕性 一致 臨界點蝕溫度高于某一溫度值 數據來源：富創精密招股說明書，東吳證券研究所整理 請務必閱讀正文之后的免責聲明部分請務必閱讀正文之后的免責聲明部分 東吳證券研究所東吳證券研究所 公司深度研究 25/31 3.深度深度受益受益半導體設備及零部件國產化，產能釋放迎黃金發展期半導體設備及零部件國產化，產能釋放迎黃金發展期 受益全球半導體設備零部件供不應求，國產替代加速，公司在手

76、受益全球半導體設備零部件供不應求，國產替代加速，公司在手訂單飽滿訂單飽滿。據公司招股書，截至 2022 年 1 月 31 日，公司在手訂單同比增長 155%。2022 年前三季度收入9.8-10.3 億元，同比增長 71%-80%，歸母凈利潤 16.3-17.5 億元，同比增長 98-113%。截至 2022 上半年末，公司存貨、合同負債分別為 4.0/0.3 億元，同比增長 109%/6988%。海外半導體設備零部件市場供給短缺，國內市場國產替代加速背景下，公司在手訂單有望持續保持較高增速。圖圖42：公司在手訂單公司在手訂單強勢增長強勢增長 數據來源：富創精密招股說明書，東吳證券研究所 圖圖

77、43：截至截至 2022 上半年末，上半年末，公司存貨、合同負債公司存貨、合同負債均均大幅提升大幅提升 數據來源：Wind，東吳證券研究所 深度受益半導體設備及零部件國產化，產能釋放迎黃金發展期深度受益半導體設備及零部件國產化，產能釋放迎黃金發展期。公司擬投資 16 億元進行半導體設備零部件擴產，計劃建成沈陽、南通、北京三大生產基地。2021 年已有，沈陽工廠工藝及結構零部件產能利用率為 90%、氣體管路為 63%，仍處于產能爬坡期。35%36%90%109%0%20%40%60%80%100%120%0501001502002503003504004502018201920202021202

78、2H1存貨（百萬元）合同負債（百萬元）存貨YOY 請務必閱讀正文之后的免責聲明部分請務必閱讀正文之后的免責聲明部分 東吳證券研究所東吳證券研究所 公司深度研究 26/31 未來，公司擬建成沈陽、南通、北京三大生產基地，有望在兩年內投產，合計規劃產值有望翻兩番。此外，公司期間費用率隨規模擴張逐年降低，且相對可比公司仍有較大下降潛力，隨著產能及規模效應釋放，有望迎黃金發展期。表表8：IPO 募資募資 16 億元，億元，10 億元投向集成電路設備零部件生產基地億元投向集成電路設備零部件生產基地 項目項目 總投資額（億元）總投資額（億元）擬投入募集資金（億元）擬投入募集資金（億元）集成電路裝備零部件

79、全工藝智能制造生產基地 10 10 補充流動資金 6 6 合計合計 16 16 數據來源：富創精密招股說明書，東吳證券研究所 圖圖44：公司公司規劃規劃建成建成沈陽、南通、北京沈陽、南通、北京三大基地三大基地，合計規劃產值合計規劃產值有望翻兩番有望翻兩番（單位：億元）（單位：億元）數據來源：富創精密招股說明書，東吳證券研究所 沈陽基地,20北京基地,20工藝零部件,2.8結構零部件（含鈑金）,7.2模組產品,8.4氣體管路,1.6南通基地,20 請務必閱讀正文之后的免責聲明部分請務必閱讀正文之后的免責聲明部分 東吳證券研究所東吳證券研究所 公司深度研究 27/31 4.盈利預測與投資評級盈利預

80、測與投資評級 核心假設與盈利預測：核心假設與盈利預測：1）工藝零部件：）工藝零部件：工藝零部件直接接觸晶圓或參與晶圓反應，工藝制程復雜、技術要求高、客戶驗證周期長，客戶選擇或替代供應商更為謹慎。公司的工藝零部件產品應用于刻蝕、薄膜沉積設備，并與半導體設備龍頭建立長期穩定的合作關系，板塊收入隨行業景氣度向上、募投項目擴產持續提升。我們預計 2022-2024 年公司工藝零部件營收分別為 2.5/3.6/5.1 億元，同比提升 40%/45%/40%。毛利率方面，隨內銷占比提升、規模效應釋放，我們預計毛利率穩定于 35%。2）結構零部件：）結構零部件：結構零部件可應用于半導體設備、面板及光伏等泛半

81、導體設備等泛半導體領域，工藝制程相對簡單，毛利率低于其他產品；預計板塊收入隨產能釋放持續提升，且考慮到公司重心向高壁壘、高毛利產品傾斜，增速慢于其他板塊。我們預計2022-2024 年公司結構零部件營收分別為 4.2/5.1/6.1 億元，同比增速穩定于 20%；毛利率隨內銷占比提升+規模效應釋放，穩定于 35%。3）模組產品：）模組產品：模組產品是公司近年推出的新品，主要應用于半導體設備。隨著公司對半導體設備的理解加深、工藝集成能力提升，板塊收入、業務占比提升。我們預計 2022-2024 年公司模組產品營收分別為 4.8/8.2/12.3 億元，同比提升 200%/70%/50%；毛利率隨

82、工藝成熟，穩定于 25%。4）氣體管路：）氣體管路：氣體管路為公司 2018 年推出新品，主要應用于刻蝕、薄膜沉積、離子注入設備等。2019-2021 年氣體管路產能利用率分別為 5%、23%、63%，還有較大提升空間。隨氣體管路產品制造工藝成熟、通過核心客戶認證、產能持續釋放，板塊規模將持續擴張。我們預計 2022-2024 年公司氣體管路營收分別為 4.1/7.0/10.5 億元，同比提升 200%/70%/50%。毛利率隨規模效應釋放呈提升趨勢，分別為 37%/40%/40%。請務必閱讀正文之后的免責聲明部分請務必閱讀正文之后的免責聲明部分 東吳證券研究所東吳證券研究所 公司深度研究 2

83、8/31 圖圖45：2019-2024E 富創精密業務拆分表（單位：百萬元）富創精密業務拆分表（單位：百萬元）收入收入(百萬元百萬元)2019A 2020A 2021A 2022E 2023E 2024E 工藝零部件工藝零部件 67 117 178 250 362 507 yoy 76%53%40%45%40%毛利率 22.8%36.0%34.0%35%35%35%收入占比 26%24%21%16%15%15%結構零部件結構零部件 118 197 352 422 507 608 yoy 66%79%20%20%20%毛利率 18.2%35.4%32.4%35%35%35%收入占比 47%41%

84、42%27%21%18%模組產品模組產品 59 100 161 484 822 1233 yoy 71%61%200%70%50%毛利率 6.2%14.2%22.2%25%25%25%收入占比 23%21%19%31%34%36%氣體管路氣體管路 6 59 138 414 703 1054 yoy 956%134%200%70%50%毛利率-0.3%35.0%33.9%37%40%40%收入占比 2%12%16%26%29%31%其他業務其他業務 4 8 14 14 15 16 yoy 100%66%5%5%5%毛利率 79.6%65.7%95.5%80%80%80%收入占比 1.6%1.7%

85、1.6%0.9%0.6%0.5%營業總收入營業總收入 253.4 481.2 843.1 1584 2409 3419 yoyyoy 90%75%88%52%42%歸母凈利潤歸母凈利潤-33.34 93.5 126.49 227 345 512 yoyyoy -380%35%79%52%48%綜合毛利率綜合毛利率 17.2%31.6%32.0%32.9%33.3%33.1%數據來源：Wind，東吳證券研究所預測 綜合以上分析，我們預計公司 2022-2024 年收入分別為 15.8/24.1/34.2 億元，同比增長 88%/52%/42%；歸母凈利潤分別為2.3/3.5/5.1億元，同比增長

86、79%/52%/48%，當前市值對應 PE 為 130/85/57 倍?？杀裙具x取國內已布局半導體設備零部件、工藝相對領先的廠商萬業企業、神工股份、江豐電子、正帆科技、華亞智能和新萊應材。與可比公司相比，考慮到富創精密產品和工藝布局最為全面，為稀缺的平臺化半導體設備零部件龍頭，半導體設備及零部件雙重國產替代趨勢下最為受益，上市產能規劃路線清晰，中長期業績成長確定性強，首次覆蓋給予“增持”評級。請務必閱讀正文之后的免責聲明部分請務必閱讀正文之后的免責聲明部分 東吳證券研究所東吳證券研究所 公司深度研究 29/31 表表9：可比公司估值表（可比公司估值表（2022/10/23）2022/10/2

87、3 收盤價收盤價（元）（元）市值市值（億元）（億元）歸母歸母凈利潤（億元凈利潤（億元)PE 2021-2024 歸母凈歸母凈利潤利潤 CAGR 代碼代碼 公司公司 2021 2022E 2023E 2024E 2021 2022E 2023E 2024E 600641.SH 萬業企業 18.83 180.4 3.77 4.79 6.01 7.13 48 38 30 25 24%688233.SH 神工股份 44.53 71.2 2.18 2.68 3.56 4.50 33 27 20 16 27%300666.SZ 江豐電子 87.50 224.0 1.07 2.80 3.91 5.15 21

88、0 80 57 43 69%688596.SH 正帆科技 40.38 104.1 1.68 2.21 4.00 5.73 62 40 26 19 50%003043.SZ 華亞智能 77.36 61.9 1.11 1.78 2.71 3.92 56 37 25 17 52%300260.SZ 新萊應材 104.59 237.0 1.70 3.49 5.31 7.25 140 67 47 35 62%平均平均 48 34 26 688409.SH 富創精密富創精密 140.75 294.2 1.26 2.27 3.45 5.12 130 85 57 59%數據來源：Wind，東吳證券研究所（萬業

89、企業、神工股份、江豐電子為 Wind 一致預測，其余公司為東吳預測）5.風險提示風險提示 半導體設備行業周期波動。半導體設備行業周期波動。受下游需求與產品產能錯配影響，半導體設備行業呈現一定的周期性。行業周期波動直接影響上游零部件需求，若設備商的采購量下降，公司的業績將承壓。國際貿易摩擦風險。國際貿易摩擦風險。公司產品主要銷往美國、新加坡、臺灣地區、日本等地，海外銷售收入占比超 60%，若未來中美貿易摩擦加劇，美國政府可能繼續加征關稅、設置貿易限制條件等其他壁壘，將降低公司產品銷量，不利于公司正常經營。市場競爭加劇風險。市場競爭加劇風險。公司所處的半導體零部件行業具有資本及技術密集型特點，市場

90、仍由美國及日本等發達地區主導，若公司技術儲備和資金實力無法跟上競爭對手發展速度，公司將面臨市場競爭力下滑，業績承壓的風險。稅收優惠及財政補助政策變動風險。稅收優惠及財政補助政策變動風險。公司獲高新技術企業認定，享稅收優惠政策，2020 及 2021 年公司稅收優惠占公司利潤總額比重分別為 16%、14%，若公司未來不能繼續獲得高新技術企業認定，稅收優惠政策變動將對公司盈利能力產生不利影響。請務必閱讀正文之后的免責聲明部分請務必閱讀正文之后的免責聲明部分 東吳證券研究所東吳證券研究所 公司深度研究 30/31 富創精密富創精密 三大財務預測表三大財務預測表 Table_Finance 資產負債表

91、（百萬元）資產負債表（百萬元）2021A 2022E 2023E 2024E 利潤表（百萬元）利潤表（百萬元）2021A 2022E 2023E 2024E 流動資產流動資產 996 3,914 3,831 4,106 營業總收入營業總收入 843 1,584 2,409 3,419 貨幣資金及交易性金融資產 347 2,827 2,318 1,945 營業成本(含金融類)573 1,063 1,606 2,286 經營性應收款項 361 452 779 969 稅金及附加 4 7 11 15 存貨 256 571 678 1,100 銷售費用 16 32 48 68 合同資產 0 0 0 0

92、 管理費用 65 127 193 239 其他流動資產 33 64 56 92 研發費用 74 143 217 291 非流動資產非流動資產 1,490 2,319 3,023 3,624 財務費用 11 16 24 34 長期股權投資 3 3 3 3 加:其他收益 56 63 67 68 固定資產及使用權資產 786 1,348 1,937 2,521 投資凈收益-4 0 0 0 在建工程 332 533 613 595 公允價值變動 0 0 0 0 無形資產 136 201 237 272 減值損失-17 0 0 0 商譽 0 0 0 0 資產處置收益 0 0 0 0 長期待攤費用 0 0

93、 0 0 營業利潤營業利潤 136 260 378 554 其他非流動資產 233 233 233 233 營業外凈收支 0 0 0 0 資產總計資產總計 2,487 6,232 6,855 7,730 利潤總額利潤總額 136 260 378 554 流動負債流動負債 637 824 1,097 1,456 減:所得稅 14 31 29 37 短期借款及一年內到期的非流動負債 179 179 179 179 凈利潤凈利潤 121 229 349 517 經營性應付款項 375 510 738 1,038 減:少數股東損益-5 2 3 5 合同負債 19 43 64 91 歸屬母公司凈利潤歸屬

94、母公司凈利潤 126 227 345 512 其他流動負債 64 91 116 147 非流動負債 755 755 755 755 每股收益-最新股本攤薄(元)0.61 1.08 1.65 2.45 長期借款 355 355 355 355 應付債券 0 0 0 0 EBIT 150 276 402 588 租賃負債 9 9 9 9 EBITDA 232 427 648 887 其他非流動負債 391 391 391 391 負債合計負債合計 1,393 1,579 1,853 2,211 毛利率(%)32.04 32.87 33.33 33.14 歸屬母公司股東權益 1,048 4,605

95、4,950 5,462 歸母凈利率(%)15.00 14.32 14.32 14.98 少數股東權益 46 48 52 57 所有者權益合計所有者權益合計 1,094 4,653 5,002 5,519 收入增長率(%)75.21 87.84 52.13 41.90 負債和股東權益負債和股東權益 2,487 6,232 6,855 7,730 歸母凈利潤增長率(%)35.28 79.25 52.22 48.39 現金流量表（百萬元）現金流量表（百萬元）2021A 2022E 2023E 2024E 重要財務與估值指標重要財務與估值指標 2021A 2022E 2023E 2024E 經營活動現

96、金流 157 162 472 560 每股凈資產(元)6.68 22.03 23.68 26.13 投資活動現金流-627-980-950-900 最新發行在外股份（百萬股）209 209 209 209 籌資活動現金流 471 3,363-32-32 ROIC(%)10.03 7.11 6.90 9.46 現金凈增加額 1 2,545-510-372 ROE-攤薄(%)12.07 4.92 6.97 9.38 折舊和攤銷 82 151 246 299 資產負債率(%)56.00 25.34 27.03 28.60 資本開支-627-980-950-900 P/E（現價&最新股本攤?。?32.

97、62 129.78 85.26 57.45 營運資本變動-69-250-154-288 P/B（現價）21.06 6.39 5.94 5.39 數據來源:Wind,東吳證券研究所，全文如無特殊注明，相關數據的貨幣單位均為人民幣，預測均為東吳證券研究所預測。免責及評級說明部分 免責聲明免責聲明 東吳證券股份有限公司經中國證券監督管理委員會批準，已具備證券投資咨詢業務資格。本研究報告僅供東吳證券股份有限公司（以下簡稱“本公司”）的客戶使用。本公司不會因接收人收到本報告而視其為客戶。在任何情況下，本報告中的信息或所表述的意見并不構成對任何人的投資建議，本公司不對任何人因使用本報告中的內容所導致的損失

98、負任何責任。在法律許可的情況下，東吳證券及其所屬關聯機構可能會持有報告中提到的公司所發行的證券并進行交易，還可能為這些公司提供投資銀行服務或其他服務。市場有風險，投資需謹慎。本報告是基于本公司分析師認為可靠且已公開的信息，本公司力求但不保證這些信息的準確性和完整性，也不保證文中觀點或陳述不會發生任何變更，在不同時期，本公司可發出與本報告所載資料、意見及推測不一致的報告。本報告的版權歸本公司所有，未經書面許可，任何機構和個人不得以任何形式翻版、復制和發布。如引用、刊發、轉載，需征得東吳證券研究所同意，并注明出處為東吳證券研究所，且不得對本報告進行有悖原意的引用、刪節和修改。東吳證券投資評級標準：

99、公司投資評級：買入：預期未來 6 個月個股漲跌幅相對大盤在 15%以上；增持：預期未來 6 個月個股漲跌幅相對大盤介于 5%與 15%之間；中性：預期未來 6 個月個股漲跌幅相對大盤介于-5%與 5%之間；減持：預期未來 6 個月個股漲跌幅相對大盤介于-15%與-5%之間；賣出：預期未來 6 個月個股漲跌幅相對大盤在-15%以下。行業投資評級：增持：預期未來 6 個月內，行業指數相對強于大盤 5%以上；中性：預期未來 6 個月內，行業指數相對大盤-5%與 5%；減持：預期未來 6 個月內，行業指數相對弱于大盤 5%以上。東吳證券研究所 蘇州工業園區星陽街 5 號 郵政編碼：215021 傳真：（0512）62938527 公司網址：http:/