半導體設備零部件：小而美子賽道組成數百億美元市場國產化尚有大空間-220819（46頁）.pdf

1、 行業行業報告報告|行業深度研究行業深度研究 請務必閱讀正文之后的信息披露和免責申明 1 半導體半導體 證券證券研究報告研究報告 2022 年年 08 月月 19 日日 投資投資評級評級 行業評級行業評級 強于大市(維持評級)上次評級上次評級 強于大市 作者作者 潘暕潘暕 分析師 SAC 執業證書編號：S1110517070005 資料來源：聚源數據 相關報告相關報告 1 半導體-行業研究周報:海外半導體中報解讀，汽車板塊相關業務高景氣 2022-08-08 2 半導體-行業研究周報:半導體 2Q22基金持倉降至 2Q20 水位，三季度有望迎來傳統旺季 2022-07-31 3 半導體-行業研

2、究周報:把握新能源需求旺盛+新品發布升級迭代兩大主線 2022-07-24 行業走勢圖行業走勢圖 半導體設備零部件：小而美子賽道組成數百億美元市半導體設備零部件：小而美子賽道組成數百億美元市場，國產化尚有大空間場，國產化尚有大空間 1.半導體設備零部件細分種類多，在半導體設備中價值占比高半導體設備零部件細分種類多，在半導體設備中價值占比高 1）從產業鏈上來看，半導體設備零部件處于偏上游的位置。）從產業鏈上來看，半導體設備零部件處于偏上游的位置。按照各類零部件在設備上的不同功能，可其大致分為機械加工件類、物料傳送類、電氣類、真空類、氣液輸送類、光學類、熱管理類等。2）半導體設備零部件是半導體設備

3、廠商最主要的營業成本來源，）半導體設備零部件是半導體設備廠商最主要的營業成本來源，在半導體設備廠商營業成本中占 90%左右，我們測算占半導體設備總價值量 50%左右。2.半導體設備零部件行業中國外廠商占據頭部地位，國產化空間大半導體設備零部件行業中國外廠商占據頭部地位，國產化空間大 1）半導體零部件行業中國外廠商占據頭部位置，國產率整體較低。）半導體零部件行業中國外廠商占據頭部位置，國產率整體較低。根據芯謀研究，目前石英、噴淋頭、邊緣環等零部件國產化率達到 10%以上，射頻發生器、MFC、機械臂等零部件的國產化率在 1%-5%，而閥門、靜電卡盤、測量儀表等零部件的國產化率不足 1%。2）我們預

4、測我們預測半導體設備零部件的全球市場規?？蛇_數百億美元，中國大陸半導體設備零部件的全球市場規?？蛇_數百億美元，中國大陸超百億美元。超百億美元。我們預測中國大陸半導體設備零部件市場 2022 年預期規模為145 億美元，2030 年預期市場規模約為 180 億美元。3.半導體產能向國內轉移，國內廠商“橫向”發展系機遇所在半導體產能向國內轉移，國內廠商“橫向”發展系機遇所在 1）半導體行業高景氣，產能不斷向國內轉移。）半導體行業高景氣，產能不斷向國內轉移。2）復盤海外龍頭公司成長路徑。）復盤海外龍頭公司成長路徑。1）從短期看：在單一賽道夯實產品競爭力，是后續發展的基礎；2）從中期看：橫向拓展產品種

5、類、縱向（部分）開拓下游應用是持續發展的兩條路徑，通過業務版圖擴張，公司業績天花板得以重塑；3）從長期看：“橫+縱”向協同發力是持續成長的源動力。3）橫或縱向拓展業務版圖是國內公司發展的必經之路。）橫或縱向拓展業務版圖是國內公司發展的必經之路。從國內公司現狀來看，國內公司目前大多數仍處于發展的第一階段，業務較為單一且整體體量較小，因此短期內借國產替代的東風提升拳頭產品核心競爭力是第一要務；長期來看，橫/縱（部分）向拓展業務版圖是發展的必經之路。4）橫向拓展以發揮國產商家后發優勢。）橫向拓展以發揮國產商家后發優勢。海外廠商先發優勢明顯，Know how經驗積累十分重要，國內公司很難能夠在后發的情

6、況下做成某一產品的絕對龍頭，同時僅有部分賽道公司可實現由下而上的縱向拓展。我們認為橫向拓展業務品類是國內設備零部件公司發展的必要途徑，充分發揮后發優勢。4.投資建議投資建議 隨著半導體行業不斷向中國大陸轉移，國內半導體設備零部件廠商迎來新隨著半導體行業不斷向中國大陸轉移，國內半導體設備零部件廠商迎來新機遇。我們看好國內廠商在單一賽道夯實產品競爭力后，拓張業務版圖，機遇。我們看好國內廠商在單一賽道夯實產品競爭力后，拓張業務版圖，重塑業績天花板。建議關注：重塑業績天花板。建議關注：（1）正帆科技：）正帆科技：工藝介質系統先行者，裝備+材料+服務打造核心競爭力（2）江豐電子：）江豐電子：靶材國產替代

7、龍頭，持續研發促技術突破（3）北方華創：）北方華創：業績持續高增長，設備品類加速擴張（4）新萊應材：）新萊應材：覆蓋醫藥+泛半導體+食品包裝，三大業務市場前景廣闊（5）華亞智能：）華亞智能：下游訂單高需求，公司收入利潤規模繼續高增長（6）神工股份：）神工股份：輕摻硅片厚積薄發，電極材料國產替代加速（7）英杰電氣：英杰電氣：業績穩定上升，新增訂單全行業增長（8）富創精密：富創精密：擁有多種技術工藝和先進技術，業績呈上漲趨勢 風險風險提示提示：海內外疫情反復風險、研發成果不及預期、下游需求不及預期、客戶認證進度不及預期 -41%-34%-27%-20%-13%-6%1%2021-082021-12

8、2022-04半導體滬深300 行業報告行業報告|行業深度研究行業深度研究 請務必閱讀正文之后的信息披露和免責申明 2 內容目錄內容目錄 1.半導體設備零部件簡介及分類半導體設備零部件簡介及分類.7 1.1.半導體設備的核心部分，下游廠商營業成本的主要來源.7 1.2.細分產品種類眾多，通用型零部件較多.8 1.2.1.機械加工類零部件.8 1.2.2.物料傳送類零部件.9 1.2.3.電氣類零部件.10 1.2.4.真空類零部件.10 1.2.5.氣液輸送類零部件.11 1.2.6.光學類零部件.13 1.2.7.熱管理類零部件.13 2.半導體設備零部件市場規模測算半導體設備零部件市場規模

9、測算.14 2.1.零部件價值在半導體設備總價值中占比近半.14 2.2.市場規模：全球可達數百億美元，中國大陸超百億美元.15 2.3.中國大陸市場：關鍵零部件市場規模超十億美元.15 2.4.專用零部件：光刻機零部件市場規模大.16 2.5.專用零部件：CMP 設備機械加工件基本為專項專用.17 3.半導體設備零部件市場格局半導體設備零部件市場格局.17 3.1.國外廠商穩踞行業頭部，細分品類集中度高.17 3.2.各細分賽道中廠商分布廣，小而美特點突出.18 3.3.國產率目前較低，未來提升空間較大.19 3.4.廠商間有不同產品布局戰略，“縱向”與“橫向”戰略并存.20 4.聚焦海外龍

10、頭聚焦海外龍頭.21 4.1.復盤海外龍頭成長路徑，看國內公司發展機會.21 4.2.VAT：真空閥全球領導者，下游客戶遍及各類高端制造業.22 4.3.超科林：管理層經驗豐富，深耕氣體運輸系統.25 4.4.Ferrotec：以磁流體技術為基石，圍繞半導體拓展業務板塊.26 4.5.MKS：“橫+縱”向協同發展，打造平臺型公司.29 4.6.半導體產能向國內轉移，“橫向”拓展業務品類系機會所在.30 5.投資建議投資建議.31 5.1.正帆科技：工藝介質系統先行者，裝備+材料+服務打造核心競爭力.31 5.2.江豐電子：靶材國產替代龍頭，持續研發促技術突破.33 5.3.北方華創：業績持續高

11、增長，設備品類加速擴張.35 5.4.新萊應材：覆蓋醫藥+泛半導體+食品包裝，三大業務市場前景廣闊.37 5.5.華亞智能：下游訂單高需求，公司收入利潤規模繼續高增長.38 5.6.神工股份：輕摻硅片厚積薄發，電極材料國產替代加速.40 5.7.英杰電氣：業績穩定上升，新增訂單全行業增長.41 5.8.富創精密：擁有多種技術工藝和先進技術，業績呈上漲趨勢.43 6.風險提示風險提示.45 行業報告行業報告|行業深度研究行業深度研究 請務必閱讀正文之后的信息披露和免責申明 3 圖表目錄圖表目錄 圖 1：沉積及刻蝕設備常用零部件.7 圖 2：半導體設備零部件產業鏈與重要產品類別及其相關公司.8 圖

12、 3：石英制半導體設備零部件.9 圖 4：陶瓷制絕緣管.9 圖 5：陶瓷機械手臂.9 圖 6：金屬機械手臂.9 圖 7：壓力傳感器.10 圖 8：射頻電源.10 圖 9：臭氧發生器.10 圖 10：可編程控制器.10 圖 11：真空閥.11 圖 12：真空規.11 圖 13：真空泵.11 圖 14：高真空壓力計.11 圖 15：氣體流量控制器（MFC）.12 圖 16：蒸汽濃度檢測儀.12 圖 17：高真空用電磁閥.12 圖 18：大口徑過濾器.12 圖 19：光刻過程.13 圖 20：光刻機.13 圖 21：熱管理子系統和組件.13 圖 22：熱電組件.14 圖 23：熱電溫度控制器.14

13、圖 24：全球半導體設備市場規模（單位：十億美元）.15 圖 25：全球半導體設備零部件市場規模及預期（單位：億美元）.15 圖 26：中國大陸半導體設備零部件市場規模及預期（單位：億美元）.15 圖 27：2020 年中國晶圓廠采購的 8-12 吋晶圓設備零部件產品結構.16 圖 28：全球光刻機零部件市場規模及預期（單位：億美元）.16 圖 29：全球 CMP 專用零部件市場規模及預期（單位：億美元）.17 圖 30：2021 年全球半導體設備子系統前十大供應商.18 圖 31：2000-2020 年頭部半導體設備子系統供應商市場份額.18 圖 32：Advanced Energy 的射頻

14、發生器產品實現在多個行業“橫向”布局.21 圖 33：四類龍頭公司.22 圖 34：2021 年公司營收結構.22 圖 35：公司真空閥產品目錄.23 圖 36：半導體制造用產品圖（蝴蝶閥、角閥）.23 圖 37：全球真空閥行業市占率排名.23 圖 38：公司 2021 年營收結構按下游應用劃分.24 圖 39：公司閥產品在半導體領域市占率逐年提升.24 行業報告行業報告|行業深度研究行業深度研究 請務必閱讀正文之后的信息披露和免責申明 4 圖 40：2015-2021 公司營收情況（單位：億美元）.24 圖 41：2015-2021 公司凈利潤情況（單位：億美元）.24 圖 42：2015-

15、2021 公司毛/凈利率情況.24 圖 43：2021.07-2022.07 公司股價走勢（單位：瑞士法郎）.24 圖 44：公司歷程.25 圖 45：公司營收結構.25 圖 46：2022Q2 公司下游應用領域及主要客戶.25 圖 47：2012-2021 公司營收情況（單位：億美元）.26 圖 48：2012-2021 公司凈利潤情況（單位：億美元）.26 圖 49：2012-2021 公司毛/凈利率情況.26 圖 50：2021.7-2022.07 超科林股價走勢（單位：美元）.26 圖 51：公司業務布局.27 圖 52：公司 2021 財年營收結構按產品劃分.27 圖 53：公司產品

16、在半導體制造過程中的應用.27 圖 54：公司發展歷史.27 圖 55：2012-2021 年公司營收情況（單位：億美元）.28 圖 56：2012-2021 年公司凈利潤情況（單位：億美元）.28 圖 57：2012-2021 年公司毛/凈利率情況.28 圖 58：2021.07-2022.07Ferrotec 股價走勢（單位：日元）.28 圖 59：公司部分產品圖例.29 圖 60：公司營收結構（單位：億美元）.29 圖 61：2000-2020 公司主要并購事件.29 圖 62：2012-2021 年公司營收情況（單位：億美元）.30 圖 63：2012-2021 年公司凈利潤情況（單位

17、：億美元）.30 圖 64：2012-2021 年公司毛/凈利率情況.30 圖 65：2021.7-2022.07 MKS 股價走勢（單位：美元）.30 圖 66：國內重點半導體設備零部件公司估值信息（Wind 一致預期，截至 2022.8.12）.31 圖 67：正帆科技研發費用及費率（單位：百萬元，%）.31 圖 68：正帆科技營收結構占比.31 圖 69：正帆科技高純氣體供應系統.32 圖 70：模組化氣體供應系統.32 圖 71：2014-2022E 公司營收情況（2022 數據為 wind 一致性預期）.32 圖 72：2014-2021 公司歸母凈利潤情況（億元，%）.32 圖 7

18、3：2014-2021 公司毛/凈利率情況.33 圖 74：2020.08-2022.07 正帆科技股價走勢（單位：元）.33 圖 75：2021 年公司營收結構.33 圖 76：公司研發投入變化情況（單位：萬元）.33 圖 77：公司供應商關聯方占比變化情況.34 圖 78：公司零部件業務營收變化情況.34 圖 79：2014-2022E 公司營收情況（2022 數據為 wind 一致性預期）.34 圖 80：2014-2021 公司歸母凈利潤情況.34 行業報告行業報告|行業深度研究行業深度研究 請務必閱讀正文之后的信息披露和免責申明 5 圖 81：2014-2021 公司毛/凈利率情況.

19、34 圖 82：2020.07-2022.07 江豐電子股價走勢（單位：元）.34 圖 83：公司營收結構（2017-2021）.35 圖 84：公司研發投入變化情況.35 圖 85：北方華創質量流量控制器.35 圖 86：北方華創流量顯示儀.35 圖 87：2014-2022E 公司營收情況（2022 數據為 wind 一致性預期）.36 圖 88：2014-2021 公司歸母凈利潤情況.36 圖 89：2014-2021 公司毛/凈利率情況.36 圖 90：2020.07-2022.07 北方華創股價走勢（單位：元）.36 圖 91：2021 年公司營收結構.37 圖 92：公司發展歷程.

20、37 圖 93：公司半導體營收及占比.37 圖 94：半導體業務客戶.37 圖 95：2012-2022E 公司營收情況（2022 數據為 wind 一致性預期）.38 圖 96：2014-2021 公司歸母凈利潤情況.38 圖 97：2014-2021 公司毛/凈利率情況.38 圖 98：2020.07-2022.07 新萊應材股價走勢（單位：元）.38 圖 99：公司研發投入變化情況.39 圖 100：公司海內外客戶占比（單位：萬元）.39 圖 101：2015-2022E 公司營收情況（2022 數據為 wind 一致性預期）.39 圖 102：2015-2021 公司歸母凈利潤情況.3

21、9 圖 103：2015-2021 公司毛/凈利率情況.39 圖 104：2021.04-2022.07 華亞智能股價走勢（單位：元）.39 圖 105：公司研發投入變化情況.40 圖 106：公司海內外客戶占比（單位：萬元）.40 圖 107：2016-2022E 公司營收情況（2022 數據為 wind 一致性預期）.40 圖 108：2016-2021 公司歸母凈利潤情況.40 圖 109：2016-2021 公司毛/凈利率情況.41 圖 110：2020.07-2022.07 神工股份股價走勢（單位：元）.41 圖 111：公司發展歷程.41 圖 112：2021 年公司營收結構.42

22、 圖 113：半導體等電子材料業務營收及同比增長率.42 圖 114：公司研發投入變化情況.42 圖 115：公司特種電源行業相關客戶.42 圖 116：2015-2022E 公司營收情況（2022 數據為 wind 一致性預期）.42 圖 117：2015-2021 公司歸母凈利潤情況.42 圖 118：2015-2021 公司毛/凈利率情況.43 圖 119：2020.07-2022.07 英杰電氣股價走勢（單位：元）.43 圖 120：公司發展歷程.43 圖 121：2021 年公司營收結構.44 行業報告行業報告|行業深度研究行業深度研究 請務必閱讀正文之后的信息披露和免責申明 6 圖

23、 122：2018-2021 公司營收情況.44 圖 123：2018-2021 公司歸母凈利潤情況.44 圖 124：2018-2021 公司毛/凈利率情況.44 圖 125：公司研發投入變化情況.44 表 1：2021 年半導體設備公司直接材料占比.7 表 2：半導體設備零部件按功能分類.8 表 3：半導體設備零部件按適用性分類.8 表 4：機械加工零部件服務的設備工藝類型及技術難點.9 表 5：電氣類零部件主要服務的設備工藝類型.10 表 6：真空類零部件主要服務的設備工藝類型及技術難點.11 表 7：氣液輸送類零部件主要服務的設備工藝類型.12 表 8：2021 年各樣本公司毛利率及直

24、接材料費用占營業成本比例.14 表 9：主要半導體設備零部件市場規模（單位：億美元）.16 表 10：CMP 設備零部件類別及具體內容.17 表 11：2019-2021 年各零部件在 CMP 設備原材料占比.17 表 12：通用型零部件種類及對應廠商分布.19 表 13：2020 年半導體設備零部件頭部廠商相關營收.19 表 14：常用半導體設備零部件供應商.19 表 15：國內半導體設備零部件自給率.20 表 16：國外代表性廠商的布局及主要財務指標（單位：2021 年年報數據，億美元；市值統計日期：2022 年 8 月 12 日）.20 表 17：大陸代表性廠商的布局及主要財務指標（20

25、21 年年報數據，單位：億元人民幣，市值統計日期：2022 年 8 月 12 日）.21 行業報告行業報告|行業深度研究行業深度研究 請務必閱讀正文之后的信息披露和免責申明 7 1.半導體設備零部件簡介及分類半導體設備零部件簡介及分類 1.1.半導體設備的核心部分，下游廠商營業成本的主要來源半導體設備的核心部分，下游廠商營業成本的主要來源 半導體設備由大量零部件組成，零部件的性能、質量和精度直接決定著設備的可靠性和穩半導體設備由大量零部件組成，零部件的性能、質量和精度直接決定著設備的可靠性和穩定性，因此定性，因此半導體設備零部件半導體設備零部件需要在材料、結構、工藝、品質和精度、可靠性及穩定性

26、等需要在材料、結構、工藝、品質和精度、可靠性及穩定性等性能方面達到半導體設備及技術要求。性能方面達到半導體設備及技術要求。半導體零部件是半導體行業的基石。常見的半導體零部件有密封圈（O-Ring）、傳送模塊（EFEM）、射頻電源（RF Generator）、靜電吸盤（ESC）、硅環等結構件（Si）、真空泵（Pump）、氣體流量計（MFC）、噴淋頭（Shower Head）等。圖圖 1：沉積及刻蝕設備常用零部件沉積及刻蝕設備常用零部件 資料來源：MKS 官網，天風證券研究所 半導體零部件產業通常具有高技術密集、學科交叉融合，半導體零部件產業通常具有高技術密集、學科交叉融合，同時在同時在價值鏈上舉

27、足輕重等特點。價值鏈上舉足輕重等特點。半導體設備零部件是半導體設備廠商最主要的營業成本來源，在半導體設備廠商營業成本中占 90%左右，經我們測算得出其占半導體設備總價值量的 50%左右。半導體設備零部件是半導體產業賴以生存和發展的關鍵支撐，其水平直接決定我國在半導體產業創新方面的基礎能級。表表 1：2021 年年半導體設備公司直接材料占比半導體設備公司直接材料占比 半導體設備公司半導體設備公司 直接材料占比直接材料占比 北方華創 81.45%芯源微 93.48%中微公司 90.43%盛美上海 92.59%拓荊科技 94.48%華海清科 92.87%平均值 90.88%資料來源：各公司公告，天風

28、證券研究所 目前我國半導體零部件產業尚處于起步期，核心零部件仍然依賴進口。目前我國半導體零部件產業尚處于起步期，核心零部件仍然依賴進口。根據芯謀研究，目前石英、噴淋頭、邊緣環等零部件國產化率達到 10%以上，射頻發生器、MFC、機械臂等零部件的國產化率在 1%-5%，而閥門、靜電吸盤、測量儀表等零部件的國產化率不足 1%。我們認為，通用零部件的國產化率低，主要原因在于通用零部件的設計和生產要求高，國內加工商通常難以滿足要求，由于我國半導體設備發展還未成熟，在通用零部件的采購上也較為被動，不敢輕易嘗試國產新品種。行業報告行業報告|行業深度研究行業深度研究 請務必閱讀正文之后的信息披露和免責申明

29、8 1.2.細分產品種類眾多，通用型零部件較多細分產品種類眾多，通用型零部件較多 從產業鏈上來看，半導體設備零部件處于偏上游的位置。從產業鏈上來看，半導體設備零部件處于偏上游的位置。圖圖 2：半導體設備零部件產業鏈與重要產品類別及其相關公司半導體設備零部件產業鏈與重要產品類別及其相關公司 資料來源：中微公司、盛美中國、拓荊科技、華海清科、富創精密招股說明書，天風證券研究所 按照各類零部件在設備上的不同功能，可其大致分為機械加工件類、物料傳送類、電氣類、按照各類零部件在設備上的不同功能，可其大致分為機械加工件類、物料傳送類、電氣類、真空類、氣液輸送類、光學類、熱管理類等。真空類、氣液輸送類、光學

30、類、熱管理類等。表表 2：半導體設備零部件按功能分類半導體設備零部件按功能分類 類別類別 代表零部件代表零部件 機械加工件類 石英制品、陶瓷制品、反應腔體、運輸腔體、殼體外箱、基座、保護罩、拋光盤等 物料傳送類 機械手臂等 電氣類 可編程控制器、I/O 模塊、AC/DC 模塊、射頻器件、傳感器、臭氧發生器、氫氣發生器等 真空類 干泵、分子泵、真空閥、真空節流閥、氣體管路閥等 氣液輸送類 氣柜、流量計、氣體控制模塊、電磁閥、液路閥、過濾器、流量控制器、液路接頭等 光學類 鏡頭、光源等 熱管理類 溫控器、加熱器、加熱帶等 資料來源：中微公司、盛美上海、拓荊科技、華海清科招股說明書，天風證券研究所

31、按照零部件在各類半導體設備中適用性的不同，又可將上述各類零部件分為通用型和專用按照零部件在各類半導體設備中適用性的不同，又可將上述各類零部件分為通用型和專用型兩類。型兩類。專用型零部件一般僅用于一類半導體設備，通用型零部件適用于兩類及以上半導體設備，各類半導體設備中有較多通用性零件。表表 3：半導體設備零部件按適用性分類半導體設備零部件按適用性分類 類別類別 代表零部件代表零部件 專用型 光學類零部件（光刻機）；陰極電泳（薄膜沉積設備）；功能水部件、臭氧發生器、氫氣發生器（清洗設備）；離子源、離子分析器、加速管（離子注入）；托盤軸、主軸、（CMP 設備）；通用型 機械加工類：石英制品、陶瓷制品

32、、反應腔體、運輸腔體、基座等；物料傳送類；電氣類：可編程控制器、I/O 模塊、AC/DC 模塊、射頻器件、傳感器等；真空類；氣液輸送類；熱管理類；資料來源：中微公司、盛美上海、拓荊科技、華海清科招股說明書，分析測試百科網，X 技術，電子發燒友，天風證券研究所 1.2.1.機械加工類零部件機械加工類零部件 行業報告行業報告|行業深度研究行業深度研究 請務必閱讀正文之后的信息披露和免責申明 9 機械加工類零部件主要包括石英制品、陶瓷制品、腔體和拋光類，不同類別的零部件有不機械加工類零部件主要包括石英制品、陶瓷制品、腔體和拋光類，不同類別的零部件有不同的應用與技術難點。同的應用與技術難點。以 ESC

33、 靜電吸盤為例，它在半導體制造中用于固定晶圓，以氧化鋁陶瓷或氮化鋁陶瓷作為主體材料，同時加入其他導電物質使得其總體電阻率滿足功能性要求，對陶瓷材料的導熱性，耐磨性及硬度都有所要求，且陶瓷內部有機加工構造精度要求高，陶瓷層和金屬底座結合要滿足均勻性和高強度的要求。表表 4：機械加工零部件服務的設備工藝類型及技術難點機械加工零部件服務的設備工藝類型及技術難點 種類種類 主要服務的半導體設備類型及工藝主要服務的半導體設備類型及工藝 技術難點技術難點 石英制品 刻蝕、爐管 雜質含量、原材料匹配性、表面顆粒質量、應力質量、加工精度 陶瓷制品 離子注入、刻蝕、PVD、CVD ESC 靜電吸盤 腔體 刻蝕、

34、清洗、PVD、CVD 耐化性、材料特殊 拋光類 CMP 拋光 加工精度、分析檢測、焊接及表面處理 資料來源：中微公司、盛美上海、拓荊科技、華海清科招股說明書，電子工程專輯，天風證券研究所 圖圖 3：石英制半導體設備零部件石英制半導體設備零部件 圖圖 4：陶瓷制絕緣管陶瓷制絕緣管 資料來源：Ferrotec 官網，天風證券研究所 資料來源：Kyocera 官網，天風證券研究所 1.2.2.物料傳送類零部件物料傳送類零部件 物料傳送類零部件包括機械手臂、物料傳送類零部件包括機械手臂、EFEM、軸承、精密軌道、步進馬達等。、軸承、精密軌道、步進馬達等。機械手臂在半導體設備中起到搬運作用，可在集群工具

35、和線性配置的工藝模塊之間安全地同時傳輸單個或多個晶圓。因為晶圓硅晶片極其容易受到其他顆粒的污染，所以一般在真空環境下進行。在此環境下，大部分材料的機械手臂一般難以完成工作，制作機械手臂的材料需要耐高溫、耐磨、并且硬度要求也很高。圖圖 5：陶瓷機械手臂：陶瓷機械手臂 圖圖 6：金屬機械手臂：金屬機械手臂 資料來源：Kyocera 官網，天風證券研究所 資料來源：Brooks Automation 官網，天風證券研究所 行業報告行業報告|行業深度研究行業深度研究 請務必閱讀正文之后的信息披露和免責申明 10 1.2.3.電氣類零部件電氣類零部件 電器類零部件分為可編程控制器、傳感器、發生器、射頻電

36、源以及供電系統等，主要應用電器類零部件分為可編程控制器、傳感器、發生器、射頻電源以及供電系統等，主要應用于刻蝕、清洗、于刻蝕、清洗、CMP 拋光等步驟中。拋光等步驟中。其中，可編程控制器是通過數字式或模擬式的輸入輸出來控制各種類型的機械設備或生產過程；射頻電源是用于射頻電路或射頻設備的電源，要求電源供電平穩，瞬間供電要求較高；傳感器包括壓力傳感器、溫度傳感器等；發生器包括臭氧發生器、CO2 混合發生器、氫氣發生器、兆聲波發生器等。表表 5：電氣類零部件主要服務的設備工藝類型電氣類零部件主要服務的設備工藝類型 種類種類 主要服務的半導體設備類型及工藝主要服務的半導體設備類型及工藝 可編程控制器

37、刻蝕、清洗等 傳感器 刻蝕、清洗、CMP 拋光等 發生器 清洗等 射頻電源 離子注入、PVD、CVD、刻蝕等 供電系統 刻蝕、PVD、CVD、清洗、CMP 拋光等 資料來源：中微公司、盛美上海、拓荊科技、華海清科招股說明書，電子工程專輯，天風證券研究所 圖圖 7：壓力傳感器：壓力傳感器 圖圖 8：射頻電源：射頻電源 資料來源：MKS 官網，天風證券研究所 資料來源：MKS 官網，天風證券研究所 圖圖 9：臭氧發生器：臭氧發生器 圖圖 10：可編程控制器：可編程控制器 資料來源：MKS 官網，天風證券研究所 資料來源：MKS 官網，天風證券研究所 1.2.4.真空類零部件真空類零部件 行業報告行

38、業報告|行業深度研究行業深度研究 請務必閱讀正文之后的信息披露和免責申明 11 真空類零部件包括真空泵、真空閥、真空規、高真空壓力計以及氣體流量計，主要應用于真空類零部件包括真空泵、真空閥、真空規、高真空壓力計以及氣體流量計，主要應用于刻蝕、清洗以及對環境清潔度要求較高的刻蝕、清洗以及對環境清潔度要求較高的 PVD 工藝中。工藝中。真空泵的技術難點在于氣體動力學設計、材料、微米級精密加工、表面處理以及精密裝配等；真空閥的技術難點在于材料等級高、耐磨抗腐蝕等；真空規的技術難點在于測量工藝的要求高及型號多樣；高真空壓力計的難點在于測量超高真空工藝環境壓力以及形制特殊。表表 6：真空類零部件主要服務

39、的設備工藝類型及技術難點真空類零部件主要服務的設備工藝類型及技術難點 種類種類 主要服務的半導體設備類型及工藝主要服務的半導體設備類型及工藝 技術難點技術難點 真空泵 刻蝕、鍍膜、濺射等 氣體動力學設計、材料、微米級精密加工，表面處理、精密裝配 真空閥 刻蝕、薄膜沉積等 材料等級高，耐磨抗腐蝕 真空規 刻蝕、沉積、離子注入等 測量工藝真空、壓力測量的要求高，型號多樣 高真空壓力計 刻蝕、PVD、離子注入等 測量超高真空工藝環境壓力，形制特殊 資料來源：務明系統官網，X 技術，中微公司、拓荊科技招股書，天風證券研究所 圖圖 11：真空閥真空閥 圖圖 12：真空規真空規 資料來源：VAT 官網，天

40、風證券研究所 資料來源：vacuubrand 官網，天風證券研究所 圖圖 13：真空泵：真空泵 圖圖 14：高真空壓力計：高真空壓力計 資料來源：Edwards 官網，天風證券研究所 資料來源：MKS 官網，天風證券研究所 1.2.5.氣液輸送類零部件氣液輸送類零部件 氣液輸送類零部件包括氣柜、氣體流量計、氣體控制模塊、傳輸閥門、電磁閥以及過濾器。氣液輸送類零部件包括氣柜、氣體流量計、氣體控制模塊、傳輸閥門、電磁閥以及過濾器。其中，氣柜用于貯存各種工業氣體，同時也用于平衡氣體需用量的不均勻性，可分為低壓 行業報告行業報告|行業深度研究行業深度研究 請務必閱讀正文之后的信息披露和免責申明 12

41、氣柜和高壓氣柜兩大類，主要用于刻蝕、CMP 工藝中；氣體流量計是對氣體進行流速測量和控制的一種零部件，要求響應速度快、精確度高、穩定性好、耐腐蝕性好、使用壽命長；過濾器由筒體、不銹鋼濾網、排污部分、傳動裝置及電氣控制部分組成，按獲得過濾推動力的方法不同，分為重力過濾器、真空過濾器和加壓過濾器三類。表表 7：氣液輸送類零部件主要服務的設備工藝類型氣液輸送類零部件主要服務的設備工藝類型 種類種類 主要服務的半導體設備類型及工藝主要服務的半導體設備類型及工藝 氣柜 刻蝕、CMP 氣體流量計（MFC）刻蝕、CVD、離子注入、清洗等 氣液控制模塊 刻蝕、薄膜沉積、清洗、CMP 等 傳輸閥門 刻蝕、薄膜沉

42、積、清洗、CMP 等 電磁閥 刻蝕、CMP 等 過濾器 清洗、CMP 等 資料來源：中微公司、盛美上海、拓荊科技、華海清科招股說明書，電子工程專輯，天風證券研究所 圖圖 15：氣體流量控制器（：氣體流量控制器（MFC）圖圖 16：蒸汽濃度檢測儀：蒸汽濃度檢測儀 資料來源：HORIBA 官網，天風證券研究所 資料來源：HORIBA 官網，天風證券研究所 圖圖 17：高真空用電磁閥：高真空用電磁閥 圖圖 18：大口徑過濾器：大口徑過濾器 行業報告行業報告|行業深度研究行業深度研究 請務必閱讀正文之后的信息披露和免責申明 13 資料來源：CKD 官網，天風證券研究所 資料來源：CKD 官網，天風證券

43、研究所 1.2.6.光學類零部件光學類零部件 光學類設備零部件主要用于半導體光刻機。光學類設備零部件主要用于半導體光刻機。一套完整的光刻機包括多個組成系統，主要包括曝光系統、自動對準系統、整機軟件系統等。其中，曝光系統更是包含了照明系統和投影物鏡。在組成光科技的所有核心精密零件中，光學鏡頭、光學光源以及工作臺又可以說是核心中的核心。光刻機的光學光源所包含的光源波長是決定光刻機工業能力的重要部分。光刻機的光學光源所包含的光源波長是決定光刻機工業能力的重要部分。需要特別注意的是，光刻機所需要的光源，必須具備體積小、功率高以及穩定的幾個特點。越來越小、功能更強大、更節能的微芯片是數字化的基礎。為了實

44、現這一點，芯片的結構必須逐漸變得更精細。這只能通過光學系統和光學組件越來越精確，使光的波長越來越短來實現。圖圖 19：光刻過程：光刻過程 圖圖 20：光刻機：光刻機 資料來源：蔡司官網，天風證券研究所 資料來源：上海微電子官網，天風證券研究所 1.2.7.熱管理類零部件熱管理類零部件 熱管理類零部件用于管理與控制半導體設備的溫度，包含熱電組件、熱電溫度控制器等。熱管理類零部件用于管理與控制半導體設備的溫度，包含熱電組件、熱電溫度控制器等。熱電模塊是板狀半導體冷卻裝置，當電流流過兩種不同金屬的結點時會產生熱量，它利用這份熱量來工作。它們結構緊湊、重量很輕，通常用于汽車的溫度控制座椅、冷卻冷卻器、

45、光通信、生物技術、空調以及各種消費電子產品。每個熱電系統都需要一個溫度控制器來進行管理。大多數現有的溫度控制解決方案并不適合控制熱電模塊，這時需要使用專為控制熱電模塊的獨特需求而設計的溫度控制器。圖圖 21：熱管理子系統和組件：熱管理子系統和組件 行業報告行業報告|行業深度研究行業深度研究 請務必閱讀正文之后的信息披露和免責申明 14 資料來源：Ferrotec 官網，天風證券研究所 圖圖 22：熱電組件：熱電組件 圖圖 23：熱電溫度控制器：熱電溫度控制器 資料來源：Ferrotec 官網，天風證券研究所 資料來源：Ferrotec 官網，天風證券研究所 2.半導體設備零部件市場規模測算半導

46、體設備零部件市場規模測算 2.1.零部件價值在半導體設備總價值中占比近半零部件價值在半導體設備總價值中占比近半 2021 年大陸半導體設備廠商北方華創、芯源微、中微公司、盛美上海、拓荊科技、華海清科毛利率均值為 42.02%，國際龍頭應用材料、泛林半導體、東京電子（東京電子為 2021財年）毛利率分別為 47.32%、46.53%、45.50%，綜合以 40%作為半導體設備廠商綜合毛利率；上述幾家大陸半導體設備廠商直接材料費用占營業成本比例均值為 90.88%，以 90%作為半導體設備廠商直接材料占營業成本比例；假設零部件成本在直接材料費用中占比 90%，綜合以上假設可估測半導體設備零部件價值

47、占半導體設備總價值的 48.6%。表表 8：2021 年各樣本公司毛利率及直接材料費用占營業成本比例年各樣本公司毛利率及直接材料費用占營業成本比例 直接材料占比直接材料占比 毛利率毛利率 北方華創 81.45%39.41%芯源微 93.48%38.08%中微公司 90.43%43.36%行業報告行業報告|行業深度研究行業深度研究 請務必閱讀正文之后的信息披露和免責申明 15 盛美上海 92.59%42.53%拓荊科技 94.48%44.01%華海清科 92.87%44.73%平均值 90.88%42.02%資料來源：各公司公告，Wind，天風證券研究所 根據 Semi，2021 年全球半導體設

48、備市場規模為 1030 億美元，2022 年市場規模將達到 1140億美元；根據調研機構預估數據，2030 年半導體設備市場規模將達到 1400 億美元。圖圖 24：全球半導體設備市場規模（單位：十億美元）全球半導體設備市場規模（單位：十億美元）資料來源：Semi，天風證券研究所 2.2.市場規模：全球可達數百億美元，中國大陸超百億美元市場規模：全球可達數百億美元，中國大陸超百億美元 由以上數據可測算出全球半導體設備零部件市場 2022 年預期規模為 554 億美元，2030 年預期規模為 680 億美元。Semi數據顯示，2020年中國大陸半導體設備銷售額為187.2億美元，占全球總銷售額2

49、6.3%，由于各國及地區半導體產業資本支出變動有不確定性，因此以 26.3%作為預測期內中國大陸占全球半導體設備銷售額比例，可以測算出中國大陸半導體設備零部件市場 2022 年預期規模為 145 億美元，2030 年預期市場規模約為 180 億美元。圖圖 25：全球半導體設備零部件市場規模及預期（單位：億美元）全球半導體設備零部件市場規模及預期（單位：億美元）圖圖 26：中國大陸半導體設備零部件市場規模及預期（單位：億美元）中國大陸半導體設備零部件市場規模及預期（單位：億美元）資料來源：Semi，京鼎集團法說會，北方華創、芯源微、中微公司、盛美上海、拓荊科技、華海清科公司公告，天風證券研究所

50、資料來源：Semi，京鼎集團法說會，北方華創、芯源微、中微公司、盛美上海、拓荊科技、華海清科公司公告，天風證券研究所 2.3.中國大陸市場：關鍵零部件市場規模超十億美元中國大陸市場：關鍵零部件市場規模超十億美元 根據芯謀研究，以 2020 年中國晶圓廠商采購的 8-12 吋晶圓設備零部件產品結構為依據，在各類零部件中應用較多的有石英制品（11%）、射頻發生器（10%）、泵（10%）、閥門（9%）、行業報告行業報告|行業深度研究行業深度研究 請務必閱讀正文之后的信息披露和免責申明 16 靜電吸盤（9%）、噴淋頭（8%）等。進一步測算得到中國大陸各細分零部件市場規模以 2022 年為例，前三位的石

51、英制品為 16.03 億美元、射頻發生器和泵均為 14.57 億美元。圖圖 27：2020 年中國晶圓廠采購的年中國晶圓廠采購的 8-12 吋晶圓設備零部件產品結構吋晶圓設備零部件產品結構 資料來源：芯謀研究公眾號，天風證券研究所 表表 9：主要半導體設備零部件市場規模（單位：億美元主要半導體設備零部件市場規模（單位：億美元）2021 2022 2030 石英制品（Quartz）14.48 16.03 19.68 射頻發生器（RF generator）13.17 14.57 17.89 泵（Pump）13.17 14.57 17.89 閥門（Valve）11.85 13.11 16.11 靜電

52、吸盤（Chuck）11.85 13.11 16.11 噴淋頭（Shower head）10.53 11.66 14.32 資料來源：Semi，京鼎集團法說會，芯謀研究公眾號，北方華創、芯源微、中微公司、盛美上海、拓荊科技、華海清科公司公告，天風證券研究所 2.4.專用零部件：光刻機零部件市場規模大專用零部件：光刻機零部件市場規模大 光刻機的價值量在半導體設備中占比大，鏡頭光源等關鍵零部件與其他設備不通用。光刻機的價值量在半導體設備中占比大，鏡頭光源等關鍵零部件與其他設備不通用。假設光刻機銷售額在半導體設備中占 25%，可以得到全球光刻機零部件市場 2022 年預期規模為138.51 億美元，2

53、030 年預期規模約為 170.1 億美元。圖圖 28：全球光刻機零部件市場規模及預期（單位：億美元）全球光刻機零部件市場規模及預期（單位：億美元）資料來源：Semi，京鼎集團法說會，北方華創、芯源微、中微公司、盛美上海、拓荊科技、華海清科公司公告，中商情 行業報告行業報告|行業深度研究行業深度研究 請務必閱讀正文之后的信息披露和免責申明 17 報網，天風證券研究所 2.5.專用零部件：專用零部件：CMP 設備機械加工件基本為專項專用設備機械加工件基本為專項專用 根據華海清科招股說明書，根據華海清科招股說明書，CMP 設備用到的的機械加工件基本為設備用到的的機械加工件基本為 CMP 設備專用設

54、備專用，且機械加工件在其原材料費用中占比最大，2019 和 2020 年占比均超過 40%。表表 10：CMP 設備零部件類別及具體內容設備零部件類別及具體內容 類別類別 具體內容具體內容 機械加工件 基座、托盤軸、主軸、拋光盤、承載盤、保持環、安裝板、焊接件、保護罩 機械標準件 機械手臂、旋轉接頭、模組、傳感器、流量計、導軌、密封件、軸承、螺栓、拋光液供液系統 液路元件 流量控制器、傳感器、液路閥、液路接頭、溫控器、泵 電氣元件 電機、驅動器、電源類、工控機、連接器、線纜、變壓器、繼電器 氣動元件 電氣比例閥、電磁閥、彎頭、氣缸、氣爪、過濾器、墊片 其他 管類、電線、硅片、拋光液、清洗類、工

55、具類、五金類 資料來源：華海清科招股說明書，天風證券研究所 表表 11：2019-2021 年各零部件在年各零部件在 CMP 設備原材料占比設備原材料占比 原材料類別原材料類別 2021 年年 2020 年年 2019 年年 機械加工件 36.45%40.22%41.81%機械標準件 31.23%28.17%29.39%液路元件 13.87%14.24%13.17%電氣元件 11.23%10.56%9.65%氣動元件 4.49%3.44%4.15%其他 2.72%3.36%1.82%合計 100%100.00%100.00%資料來源：華海清科招股說明書，天風證券研究所 根據 Semi，假設 C

56、MP 設備在半導體設備市場規模中占比為 2017 年-2019 年占比的均值3.2%，且 CMP 設備專用零部件占 CMP 設備零部件總價值量的 40%，可以得到全球 CMP 設備專用零部件市場 2022 年預期規模為 7.09 億美元，2030 年預期規模為 8.71 億美元。圖圖 29：全球全球 CMP 專用零部件市場規模及預期（單位：億美元）專用零部件市場規模及預期（單位：億美元）資料來源：SEMI，京鼎集團法說會，北方華創、芯源微、中微公司、盛美上海、拓荊科技、華海清科公司公告，天風證券研究所 3.半導體設備零部件市場格局半導體設備零部件市場格局 3.1.國外廠商穩踞行業頭部，細分品類

57、集中度高國外廠商穩踞行業頭部，細分品類集中度高 根據 VLSI Research，2021 年全球半導體設備子系統前十大供應商分別為 ZEISS、MKS、行業報告行業報告|行業深度研究行業深度研究 請務必閱讀正文之后的信息披露和免責申明 18 Edwards、Horiba、Advanced Energy、VAT、UCT、Ichor Systems、ASML、EBARA。前三名中，蔡司為 ASML 的 EUV 光刻機鏡頭供應商，MKS 為生產射頻組件、閥門組件、測量儀表等產品的半導體設備零部件平臺型企業，Edwards 為泵類供應商。圖圖 30：2021 年全球半導體設備子系統前十大供應商年全球

58、半導體設備子系統前十大供應商 資料來源：Tech Insights，天風證券研究所 頭部半導體設備子系統供應商的市場地位趨于穩固。頭部半導體設備子系統供應商的市場地位趨于穩固。2000-2010 年半導體設備零部件市場CR10 總體呈增長趨勢，2010 年-2020 年總體穩定在 50%左右。圖圖 31：2000-2020 年頭部半導體設備子系統供應商市場份額年頭部半導體設備子系統供應商市場份額 資料來源：電子工程專輯，VLSI Research，天風證券研究所 細分品類的集中度往往較高。細分品類的集中度往往較高。例如在靜電吸盤領域，基本由美國和日本半導體企業主導，市場份額占 95%以上，主要

59、有美國 AMAT（應用材料）、美國 LAM（泛林），以及日本 Shinko（新光電氣）、TOTO、NTK 等。3.2.各細分賽道中廠商分布廣，小而美特點突出各細分賽道中廠商分布廣，小而美特點突出 行業報告行業報告|行業深度研究行業深度研究 請務必閱讀正文之后的信息披露和免責申明 19 通用型零部件種類及對應廠商分布廣，大多營收規模較小。通用型零部件種類及對應廠商分布廣，大多營收規模較小。半導體設備用到多種通用型零部件，如密封圈、機械手、射頻電源、靜電吸盤、硅環等結構件、真空泵、氣體流量計、精密軸承、噴淋頭等主要零部件。半導體零部件市場碎片化特征明顯，單一產品的市場空間很小，同時技術門檻又高，因

60、此少有純粹的半導體零部件公司。各個零部件子行業中一般有兩到多家廠商，大部分頭部廠商的相關營收在 10 億美元以下。表表 12：通用型零部件種類及對應廠商分布通用型零部件種類及對應廠商分布 主要零部件主要零部件 海外供應商海外供應商 石英制品 Ferrotec(6890.T)，Heraeus，Wonik 邊緣環組件 Tokai Carbon(5301.T)噴淋頭 AMSEA，UMS 泵 Pfeiffer Vacuum(PFV.DF)，Ebara(6361.T)，Ulvac(6728.T)，Edwards（被阿特拉斯科普柯收購），Leybold(阿特拉斯科普柯)陶瓷制品 Ferrotec（6890

61、.T），京瓷(6971.T)，Kaydon（被斯凱孚收購)，CoorsTek 射頻發生器 MKS(MKSI.O)，Kyosan(6742.T)，Daihen(6622.T)，Advanced Energy 機械手 Brooks(AZTA.O)，Yaskawa(6506.T)，Kawasaki(7012.T)，JEL(036930.KS)，Rorze(6323.T)流量計 Brooks(AZTA.O)，MKS(MKSI.O)，Horiba(6856.T)真空閥件 VAT(VACN.SIX)，MKS(MKSI.O)測量儀表 MKS(MKSI.O)，Inficon(IFCN.SIX)密封圈 Dupo

62、nt(DD.N)資料來源：各公司官網，芯謀研究公眾號，電子工程專輯，天風證券研究所 表表 13：2020 年半導體設備零部件頭部廠商相關營收年半導體設備零部件頭部廠商相關營收 企業名稱企業名稱 主要產品主要產品 相關營收相關營收（億美元）（億美元）蔡司 ZEISS 光學鏡頭 21.2 MKS 流量計、射頻發生器、真空閥件 14 Edwards 真空泵 13.8 AdvancedEnergy 射頻發生器 6.12 Horiba 流量計 4.94 VAT 真空閥件 4.3 Ichor 模塊化氣體輸送系統等 3.8 UCT（超科林）真空閥件 3.5 EBARA 干式真空泵 3 合計 75-80 資料

63、來源：電子工程專輯，天風證券研究所 3.3.國產率目前較低，未來提升空間較大國產率目前較低，未來提升空間較大 半導體設備零部件國產率整體較低半導體設備零部件國產率整體較低。目前國產率超過 10%的僅有石英制品、噴淋頭、邊緣環組件等幾類，其他零部件國產率均較低，尤其是閥門、測量計、密封圈等幾乎完全依賴進口。據國內主流代工廠數據，目前全年日常運營過程中領用的零部件（括維保更換和失效更換的零部件）達到 2000 種以上，但國產占有率僅為 8%左右，美國和日本占有率分別為 59.7%和 26.7%。表表 14：常用半導體設備零部件供應商常用半導體設備零部件供應商 主要零部件主要零部件 海外供應商海外供

64、應商 大陸供應商大陸供應商 石英制品 Ferrotec(6890.T)，Heraeus，Wonik 菲利華(300395.SZ)、太平洋石英 邊緣環組件 Tokai Carbon(5301.T)神工股份(688233.SH)噴淋頭 AMSEA，UMS，江豐電子(300666.SZ)、靖江先鋒 行業報告行業報告|行業深度研究行業深度研究 請務必閱讀正文之后的信息披露和免責申明 20 泵 Pfeiffer Vacuum(PFV.DF)，Ebara(6361.T)，Ulvac(6728.T)，Edwards（被阿特拉斯科普柯收購），Leybold(阿特拉斯科普柯)中科科儀（IPO 中止）陶瓷制品 F

65、errotec（6890.T）京瓷(6971.T)，Kaydon（被斯凱孚收購)，CoorsTek 蘇州柯瑪(上市輔導)射頻電源 MKS(MKSI.O)，Kyosan(6742.T)，Daihen(6622.T)，Advanced Energy 北廣科技、中科院微電子所 機械手 Brooks(AZTA.O)，Yaskawa(6506.T)，Kawasaki(7012.T)，JEL(036930.KS)，Rorze(6323.T)新松機器人 流量計 Brooks(AZTA.O)，MKS(MKSI.O)，Horiba(6856.T)北方華創(002371.SZ)、萬業企業(600641.SH)真空

66、閥件 VAT(VACN.SIX)，MKS(MKSI.O)晶盛機電(300316.SZ)、新萊應材(300260.SZ)、中科艾爾 測量儀表 MKS(MKSI.O)，Inficon(IFCN.SIX)上海振太 密封圈 Dupont(DD.N)深圳暢揚、沸點密封、蘇州復芯 資料來源：各公司官網，電子工程專輯，天風證券研究所 表表 15：國內半導體設備零部件自給率國內半導體設備零部件自給率 主要零部件主要零部件 自給率自給率 石英制品 10%邊緣環組件 10%噴淋頭 10%泵 5%10%陶瓷制品 5%10%射頻發生器 1%5%機械手 1%5%流量計 1%5%閥門 1%測量儀表 1%密封圈 1%資料來

67、源：芯謀研究公眾號，天風證券研究所 半導體設備零部件國產化率低主要由于以下因素：半導體設備零部件國產化率低主要由于以下因素：1）很多半導體設備零部件是比較復雜的電子和機械產品，開發技術難度較大，精度要求高；2）半導體設備對材料要求高；3）半導體設備零部件市場小、碎片化特征明顯，之前廠商出于盈利性考慮未發展相應業務。大陸半導體設備零部件行業增長因素主要有：大陸半導體設備零部件行業增長因素主要有：1）大陸半導體產業擴產帶動設備需求增長；2）國產半導體設備滲透率提高帶動半導體設備零部件國產化；3）新冠疫情造成部分零部件產能緊張，國外廠商零部件交期延遲，為國產替代帶來契機；4）更多大陸廠商在現有業務基

68、礎上切入半導體設備零部件行業，國產化零部件也將越來越受重視。3.4.廠商間有不同產品布局戰略，“縱向”與“橫向”戰略并存廠商間有不同產品布局戰略，“縱向”與“橫向”戰略并存 半導體設備零部件行業子賽道較多的特點使得相關廠商中存在“縱向”與“橫向”兩類布半導體設備零部件行業子賽道較多的特點使得相關廠商中存在“縱向”與“橫向”兩類布局。局。表表 16：國外代表性廠商的布局及主要財務指標（單位：國外代表性廠商的布局及主要財務指標（單位：2021 年年報數據，年年報數據，億美元億美元；市值統計日期：；市值統計日期：2022 年年 8 月月 12 日日）公司公司 主要相關產品主要相關產品 市值市值 收入

69、收入 毛利率毛利率 凈利潤凈利潤 凈利率凈利率“縱向”布局 VAT(VACN.SIX)真空閥件 85.52 9.88 61.0%2.39 24.1%AdvancedEnergy(AEIS.O)射頻發生器 35.00 14.56 37.2%1.35 9.3%京瓷（6971.T）陶瓷部件 198.87 137.64 27.9%11.11 8.1%行業報告行業報告|行業深度研究行業深度研究 請務必閱讀正文之后的信息披露和免責申明 21 “橫向”布局 MKS(MKSI.O)，射頻發生器、真空閥件、流量計等 64.67 29.50 46.8%5.51 18.7%超科林(UCTT.O)氣體管路、氣柜 14

70、.95 21.02 20.5%1.20 6.0%Ferrotec(6890.T)石英部件、陶瓷部件、真空閥件等 8.39 11.02 36.4%2.20 19.9%資料來源：Capital IQ，Wind，天風證券研究所 表表 17：大陸代表性廠商的布局及主要財務指標（大陸代表性廠商的布局及主要財務指標（2021 年年報數據，年年報數據，單位：億元人民幣，市值統計日期：單位：億元人民幣，市值統計日期：2022 年年 8 月月 12 日）日）公司公司 主要相關產品主要相關產品 市值市值 收入收入 毛利率毛利率 凈利潤凈利潤 凈利率凈利率 菲利華 石英部件 283.62 12.24 50.79%3

71、.76 30.71%新萊應材 真空閥件 175.29 20.54 24.73%1.7 8.28%晶盛機電 真空閥件 884.48 59.61 39.73%17.28 28.99%萬業企業 流量計及控制件 249.35 8.80 56.22%3.77 42.84%江豐電子 噴淋頭 214.88 15.94 25.56%0.99 6.23%富創精密（IPO 申報階段）機械加工件、氣體管路、氣柜-8.43 32.04%1.21 14.40%資料來源：Wind，天風證券研究所“縱向”布局是指廠商通過由現有技術開發或收購等方式，在半導體設備零部件業務之外“縱向”布局是指廠商通過由現有技術開發或收購等方式

72、，在半導體設備零部件業務之外也開展其他領域的業務或由其他業務切入半導體相關業務，成為覆蓋多個行業的平臺型企也開展其他領域的業務或由其他業務切入半導體相關業務，成為覆蓋多個行業的平臺型企業。業。如深耕真空部件的 VAT 集團作為全球半導體設備真空閥件頭部廠商，同時還開展醫藥、光伏、顯示等領域的真空閥件業務?！皺M向”布局是指廠商深耕半導體設備零部件行業，通過研發與收購等方式進入行業內多“橫向”布局是指廠商深耕半導體設備零部件行業，通過研發與收購等方式進入行業內多個子賽道，成為覆蓋行業內多類產品的平臺型企業。個子賽道，成為覆蓋行業內多類產品的平臺型企業。如 MKS 擁有半導體設備真空部件、射頻發生器

73、、流量計等多類產品線，2021 年 MKS 半導體設備零部件收入占公司總營收 62%。圖圖 32：Advanced Energy 的射頻發生器產品實現在多個行業“橫向”布局的射頻發生器產品實現在多個行業“橫向”布局 資料來源：Advanced Energy 官網，天風證券研究所 MKS 等“橫向”平臺型企業，近幾年也通過收購等方式，開拓其他行業內相關業務，形成“橫向”+“縱向”的新發展格局。4.聚焦海外龍頭聚焦海外龍頭 4.1.復盤海外龍頭成長路徑，看國內公司發展機會復盤海外龍頭成長路徑，看國內公司發展機會 通過對龍頭公司的分析研究，我們發現在半導體設備零部件這個細分賽道眾多、且多數呈現出“小

74、而美”特征的大賽道中，以下 4 類公司均有望勝出：行業報告行業報告|行業深度研究行業深度研究 請務必閱讀正文之后的信息披露和免責申明 22 1）專注行業壁壘高、天花板高的單一零部件，打造專精特尖公司）專注行業壁壘高、天花板高的單一零部件，打造專精特尖公司，例如：超科林；2）聚焦半導體設備行業，拓展零部件產品種類的橫向發展公司）聚焦半導體設備行業，拓展零部件產品種類的橫向發展公司，例如：Ferrotec；3）深耕單一“通用型”零部件，但下游應用廣泛的縱向發展公司）深耕單一“通用型”零部件，但下游應用廣泛的縱向發展公司，例如：VAT；4）Know-how 積累豐富，“橫積累豐富，“橫+縱”向發力的

75、全平臺型公司縱”向發力的全平臺型公司，例如：MKS。營收體量：營收體量：MKS（$29.50 億）超科林（$21.02 億）Ferrotec（$11.02 億）VAT（$9.88億）毛利率：毛利率：VAT（61%）MKS（46.8%）Ferrotec（36.4%）超科林（20.5%）圖圖 33：四類龍頭公司：四類龍頭公司 資料來源：公司官網，天風證券研究所 從全球市場來看，上述從全球市場來看，上述 4 類公司代表了半導體設備零部件賽道內優質公司的不同發展階段類公司代表了半導體設備零部件賽道內優質公司的不同發展階段和路徑：和路徑：1）從短期看：在單一賽道夯實產品競爭力，是后續發展的基礎；2）從中

76、期看：橫向拓展產品種類、縱向（部分）開拓下游應用是持續發展的兩條路徑，通過業務版圖擴張，公司業績天花板得以重塑；3）從長期看：“橫+縱”向協同發力是持續成長的源動力。從國內公司現狀來看，國內公司目前大多數仍處于發展的第一階段，業務較為單一且整體從國內公司現狀來看，國內公司目前大多數仍處于發展的第一階段，業務較為單一且整體體量較小，因此短期內借國產替代的東風提升拳頭產品核心競爭力是第一要務；長期來看，體量較小，因此短期內借國產替代的東風提升拳頭產品核心競爭力是第一要務；長期來看，橫橫/縱（部分）向拓展業務版圖是發展的必經之路?？v（部分）向拓展業務版圖是發展的必經之路。4.2.VAT：真空閥全球領

77、導者，下游客戶遍及各類高端制造業：真空閥全球領導者，下游客戶遍及各類高端制造業 瑞士 VAT 是一家面向高端制造的真空閥供應商。公司主要業務板塊包括真空閥產品以及全球服務板塊，其中真空閥產品收入占比超過 80%，為公司主要營收來源。圖圖 34：2021 年公司營收結構年公司營收結構 行業報告行業報告|行業深度研究行業深度研究 請務必閱讀正文之后的信息披露和免責申明 23 資料來源：VAT 官網，天風證券研究所 VAT 真空閥產品種類齊全，真空閥產品種類齊全，2015 年即可提供年即可提供 8000 多個定制產品和多個定制產品和 2500 多個標準產品。多個標準產品。VAT 的真空閥產品被廣泛應

78、用于高科技制造行業，包括：半導體、顯示器、LCD、OLED、太陽能電池、工業和醫療等行業。圖圖 35：公司真空閥產品目錄：公司真空閥產品目錄 圖圖 36：半導體制造用產品圖（蝴蝶閥、角閥）半導體制造用產品圖（蝴蝶閥、角閥）資料來源：公司官網，天風證券研究所 資料來源：公司官網，天風證券研究所 據據 VLSI Research 數據，數據，VAT 市占率常年穩居全球第一，且份額逐年提高市占率常年穩居全球第一，且份額逐年提高，2020 年 VAT 在全球真空閥市場份額已達到 55%，遠超同業其他公司。圖圖 37：全球真空閥行業市占率排名全球真空閥行業市占率排名 行業報告行業報告|行業深度研究行業深

79、度研究 請務必閱讀正文之后的信息披露和免責申明 24 資料來源：公司官網，VLSIresearch，天風證券研究所 半導體行業的周期性與成長性是公司業績變動的主要外部動力半導體行業的周期性與成長性是公司業績變動的主要外部動力，未來的成長性仍主要與半未來的成長性仍主要與半導體應用需求旺盛有關。導體應用需求旺盛有關。公司營業收入按下游應用分：半導體行業收入占比約為 75%；板&太陽能板約 7%；高端工業制造收入占比約 14%。公司閥產品在半導體領域的市占率逐年提升，2021 年在全球市場規模中占比達到 75%。公司行業 know-how 經驗豐富，從設計到大規模量產的效率極高，能夠快速滿足客戶需求

80、。圖圖 38：公司：公司 2021 年營收結構按下游應用劃分年營收結構按下游應用劃分 圖圖 39：公司公司閥閥產品在半導體領域市占率產品在半導體領域市占率逐年提升逐年提升 資料來源：公司官網，天風證券研究所 資料來源：公司官網，天風證券研究所 公司業績穩步增長，行業龍頭地位穩固。公司業績穩步增長，行業龍頭地位穩固。公司 2021 年營收 9.89 億美元，同比增長 30.1%，凈利潤 2.39 億美元，同比增長 64.94%，業績增長速度同半導體產業周期共振，呈現螺旋式上升狀。公司近年毛、凈利率保持穩定，2021 年毛利率 61.0%，凈利率 24.1%，保持行業領先水平。公司 2022 年

81、8 月 12 日總市值 85.52 億美元，行業龍頭地位穩定。圖圖 40：2015-2021 公司營收情況（單位：億美元）公司營收情況（單位：億美元）圖圖 41：2015-2021 公司凈利潤情況（單位：億美元）公司凈利潤情況（單位：億美元）資料來源：Capital IQ，天風證券研究所 資料來源：Capital IQ，天風證券研究所 圖圖 42：2015-2021 公司毛公司毛/凈利率情況凈利率情況 圖圖 43：2021.07-2022.07 公司股價走勢公司股價走勢（單位：（單位：瑞士法郎瑞士法郎）行業報告行業報告|行業深度研究行業深度研究 請務必閱讀正文之后的信息披露和免責申明 25 資

82、料來源：Capital IQ，天風證券研究所 資料來源：Capital IQ，天風證券研究所 4.3.超科林：管理層經驗超科林：管理層經驗豐富，深耕氣體運輸系統豐富，深耕氣體運輸系統 超科林前身系三菱金屬的子公司超科林前身系三菱金屬的子公司，1991 年公司成立將日本開發的超清潔制造技術帶入硅谷。2002 年管理層收購了公司，超科林于美國成立，主要為半導體設備企業提供關鍵氣體和流體輸送子系統、組件和部件以及超高純度清潔和分析服務，產品主要為氣體管路與氣柜，應用于刻蝕、薄膜沉積和離子注入設備等，產品的核心指標為潔凈度和密封性等。公司公司 CEO 系前應用材料公司高管，其他管理層成員具有優秀學歷背

83、景系前應用材料公司高管，其他管理層成員具有優秀學歷背景，團隊兼具充分的研發、管理經驗，在焊接技術方面領先優勢明顯。2001-2010 年垂直整合補強公司氣體運輸系統，自 2011 年開始擴張業務版圖，目前仍處于版圖擴張早期。圖圖 44：公司歷程公司歷程 資料來源：公司官網，天風證券研究所 公司核心技術優勢顯著，掌握優質客戶資源。公司核心技術優勢顯著，掌握優質客戶資源。公司掌握兩項核心技術：1）氣體運輸：高端焊接技術。超科林是超高純度（UHP）軌道焊和手工焊接領域的全球領導者，能力范圍包括小到大直徑 UHP 軌道制造、軌道焊接、手工焊接和精密彎管。通過將機器人焊接與手工工藝相結合，將高純度和軌道

84、焊接的藝術轉變為一門強大的制造科學。2）設備清洗：專注晶圓制造中的最關鍵工藝領域化學分析技術能力。半導體為公司下游核心應用領域。半導體為公司下游核心應用領域。公司 2021 產品銷售收入占比為 85.8%，自 2020 年以來實現高增長。從下游應用領域來看，公司在半導體領域收入占比最高，其中 foundry/logic領域占比 42%，存儲領域占比 36%。公司擁有穩定客戶群，泛林、應用材料為核心下游，合計份額 64%。圖圖 45：公司營收結構公司營收結構 圖圖 46：2022Q2 公司公司下游應用領域及下游應用領域及主要客戶主要客戶 行業報告行業報告|行業深度研究行業深度研究 請務必閱讀正文

85、之后的信息披露和免責申明 26 資料來源：Wind，天風證券研究所 資料來源：公司官網，天風證券研究所 公司營收高速增長，期間費用率表現良好。公司營收高速增長，期間費用率表現良好。公司 2021 年營收 21.02 億美元，同比增長近50.26%，凈利潤 1.20 億美元，同比增長 53.99%。公司近年凈利率高速增長，2021 年來營收高速增長，毛利率為 20.46%。公司 2022 年 8 月 12 日總市值 14.95 億美元，PE（TTM）=12.21，PB=1.70。圖圖 47：2012-2021 公司營收情況（單位：億美元）公司營收情況（單位：億美元）圖圖 48：2012-2021

86、 公司凈利潤情況公司凈利潤情況（單位：億美元）（單位：億美元）資料來源：Wind，天風證券研究所 資料來源：Wind，天風證券研究所 圖圖 49：2012-2021 公司毛公司毛/凈利率情況凈利率情況 圖圖 50：2021.7-2022.07 超科林超科林股價走勢股價走勢（單位（單位：美元）：美元）資料來源：Wind，天風證券研究所 資料來源：Capital IQ，天風證券研究所 4.4.Ferrotec：以磁流體技術為基石，圍繞半導體拓展業務板塊：以磁流體技術為基石，圍繞半導體拓展業務板塊 日本日本 Ferrotec 成立于成立于 1980 年，是國際知名的半導體產品與解決方案供應商。年，是

87、國際知名的半導體產品與解決方案供應商。Ferrotec 以磁性流體技術和磁流體密封技術為基石，通過大量收購、并購補強自身技術，經過 40 余年的發展，公司目前業務可覆蓋公司目前業務可覆蓋三三大板塊：半導體大板塊：半導體與其他設備與其他設備相關、電子器件相關、電子器件 行業報告行業報告|行業深度研究行業深度研究 請務必閱讀正文之后的信息披露和免責申明 27 和其他。和其他。半導體相關產品及服務系公司最核心業務板塊，目前半導體相關產品及服務系公司最核心業務板塊，目前銷售銷售占比超過占比超過 60%。該業務板塊仍可進一步細分為三大子板塊：1）零部件：真空密封件、石英部件、陶瓷部件、CVD-SiC 等

88、，其中石英和陶瓷部件銷售額在半導體業務板塊中占比超過 30%；2）設備：單晶爐、電子束鍍膜裝置、清洗業務，其中清洗業務收入近幾年迅速增長；3）材料：硅片等。電子器件電子器件系公司第二大核心業務，系公司第二大核心業務，目前銷售占比超過目前銷售占比超過 20%，其中溫控模組產品為該板塊的主要收入其中溫控模組產品為該板塊的主要收入來源。來源。圖圖 51：公司業務布局：公司業務布局 圖圖 52：公司公司 2021 財年財年營收結構按產品劃分營收結構按產品劃分 資料來源：公司官網，天風證券研究所 資料來源：公司官網，天風證券研究所 半導體產品種類豐富，半導體產品種類豐富，廣泛應用于前道設備廣泛應用于前道

89、設備。Ferrotec 半導體相關產品及服務業務涉獵廣泛，零部件產品可被廣泛應用于半導體制造過程中的多種前道設備中，例如：石英部件在硅片制造、氧化、刻蝕等設備中均有應用。公司細分賽道產品全球市占率高，始終與客戶保持密切聯系，相對于其他公司來說，Ferrotec 更能夠主動感知客戶的需求。在銷售板塊努力拓展的同時，公司也一直在采取成本管理措施，例如在全球設立制造工廠等。圖圖 53：公司產品在公司產品在半半導體導體制造制造過程中的應用過程中的應用 資料來源：Shared Research，天風證券研究所 公司近年來積極布局中國市場公司近年來積極布局中國市場：1）杭州大和熱磁電子有限公司成立于 19

90、92 年，為半導體設備精密零部件業務主要經營實體，是國際半導體設備企業的直接供應商。陶瓷、石英、硅及碳化硅等非金屬零部件業務規模較大；2）2010-2019 年相繼成立多家中國公司，其中：中欣晶圓成立于 2017 年，位于杭州市錢塘新區大江東產業集聚區，主要從事高品質集成電路用半導體晶圓片的研發與生產制造。中國是全球半導體設備最大的市場，中國是全球半導體設備最大的市場，ferrotec在中國的提早布局和相對獨立運營是其重要的戰略選擇，對后續深耕中國在中國的提早布局和相對獨立運營是其重要的戰略選擇，對后續深耕中國&拓展全球市場拓展全球市場有重大作用。有重大作用。圖圖 54：公司發展歷史公司發展歷

91、史 行業報告行業報告|行業深度研究行業深度研究 請務必閱讀正文之后的信息披露和免責申明 28 資料來源：公司官網，天風證券研究所 公司業績周期性波動，盈利能力逐步提高。公司業績周期性波動，盈利能力逐步提高。公司 2021 年營收 11.02 億美元，同比增長約33.48%，凈利潤 2.20 億美元，同比增長 193.24%。公司近年毛、凈利率逐漸提高，2021 年毛利率 36.4%，凈利率 19.9%，盈利質量逐漸改善。公司 2022 年 8 月 12 日總市值約 8.39億美元。圖圖 55：2012-2021 年公司營收情況（年公司營收情況（單位：單位：億美元）億美元）圖圖 56：2012-

92、2021 年公司凈利潤情況年公司凈利潤情況（單位：億美元）（單位：億美元）資料來源：Wind，Capital IQ，天風證券研究所 資料來源：Wind，Capital IQ，天風證券研究所 圖圖 57：2012-2021 年公司毛年公司毛/凈利率情況凈利率情況 圖圖 58：2021.07-2022.07Ferrotec 股價走勢股價走勢（單位：日元）（單位：日元）行業報告行業報告|行業深度研究行業深度研究 請務必閱讀正文之后的信息披露和免責申明 29 資料來源：Wind，Capital IQ，天風證券研究所 資料來源：Capital IQ，天風證券研究所 4.5.MKS：“橫：“橫+縱”向協同

93、發展，打造平臺型公司縱”向協同發展，打造平臺型公司 MKS 成立于成立于 1961 年，是一家全球領先的儀器、系統和過程控制方案的供應商。年，是一家全球領先的儀器、系統和過程控制方案的供應商。公司產品種類豐富，下游應用廣泛。公司產品起源于壓力測量和控制核心技術，并延伸到材料遞送、氣體成分分析、靜電荷控制、工藝控制、信息管理、電源和反應氣體發生器及真空技術，主要產品包括：氣體反應器/壓力計、射頻/直流電源、真空產品、氣體分析儀器等，廣泛應用于各種半導體生產設備和制造過程中。公司還將技術應用到其他先進制造業中，包括平板顯示器，太陽能電池，LED 的制造；和醫療設備、醫藥制造、能源和環境監測等領域。

94、公司營收結構按部門分為真空與分析、光與運動和設備與公司營收結構按部門分為真空與分析、光與運動和設備與解決方案三部分解決方案三部分，其中：真空與分析部門主要提供壓力和真空控制解決方案，對應上述產品；光與運動部門提供激光器和基于激光器的系統，如：光纖激光器等；設備與解決方案部門主要為 PCB 制造提供基于激光的系統。圖圖 59：公司部分產品圖例：公司部分產品圖例 圖圖 60：公司營收結構（公司營收結構（單位：億美元單位：億美元）資料來源：公司官網，天風證券研究所 資料來源：公司財報，天風證券研究所 MKS 成立至今已有成立至今已有 60 余年的發展歷史，并購是公司發展的核心戰略。余年的發展歷史，并

95、購是公司發展的核心戰略。MKS 發展前期亦經歷過前文介紹的三家公司的成長路徑，即不斷新增零部件相關業務的同時拓寬下游應用；而復盤近 20 年的主要并購事件，可以發現公司的業務版圖已不僅局限于設備零部件領域，如 2016 年開始進軍激光行業，2019 年開展設備及服務業務，公司業績天花板不斷被重塑。圖圖 61：2000-2020 公司主要并購事件公司主要并購事件 行業報告行業報告|行業深度研究行業深度研究 請務必閱讀正文之后的信息披露和免責申明 30 資料來源：公司官網，天風證券研究所 公司業績高速增長，盈利能力不斷提高。公司業績高速增長，盈利能力不斷提高。公司 2021 年營收 29.50 億

96、美元，同比增長 26.6%，凈利潤 5.51 億美元，同比增長 57.5%。近三年毛、凈利率持續升高，2021 年毛利率 46.8%，凈利率 18.7%，處于歷史較高水平。公司 2022 年 8 月 12 日總市值約 64.67 億美元。圖圖 62：2012-2021 年公司營收情況（單位：億美元）年公司營收情況（單位：億美元）圖圖 63：2012-2021 年公司凈利潤情況（單位：億美元）年公司凈利潤情況（單位：億美元）資料來源：Capital IQ，天風證券研究所 資料來源：Capital IQ，天風證券研究所 圖圖 64：2012-2021 年公司毛年公司毛/凈利率情況凈利率情況 圖圖

97、65：2021.7-2022.07 MKS 股價走勢股價走勢（單位：美元）（單位：美元）資料來源：Capital IQ，天風證券研究所 資料來源：Capital IQ，天風證券研究所 4.6.半導體產能向國內轉移，“橫向”拓展業務品類系機會所在半導體產能向國內轉移，“橫向”拓展業務品類系機會所在 半導體行業高景氣，產能不斷向國內轉移。半導體行業高景氣，產能不斷向國內轉移。半導體制造產能向大陸轉移，自給率低，國產替代空間廣闊。海外龍頭主要增長在 2020 年，國內公司自 2021 年來股價高速增長。國產公司現狀：1）國內大部分公司體量較小，目前處于“專攻”單一品類產品的階段；2）僅有極少數企業有

98、橫向拓展不同產品的布局，但是種類數量較美、日龍頭公司有較大差距；行業報告行業報告|行業深度研究行業深度研究 請務必閱讀正文之后的信息披露和免責申明 31 3）縱向業務發展的公司多數系從低端領域拓展至半導體領域，與 VAT 的發展路徑相反；我們認為我們認為橫向拓展以發揮國產商家后發優勢。橫向拓展以發揮國產商家后發優勢。國內廠商發展路徑：1）行業細分賽道眾多，就目前的市場競爭格局看，少有哪一零部件單獨被一家廠商壟斷（光刻機專用除外）；海外廠商的先發優勢明顯，Know how 經驗積累十分重要，并且在客戶驗證階段的周期為 2-3年，造成國內公司很難能夠在后發的情況下做成某一產品的絕對龍頭；2）同時僅

99、有部分賽道公司可實現縱向拓展；3）因此從長期看，我們認為橫向拓展業務品類是國內設備零部件公司發展的必要途徑，在增強自身研發實力的同時可通過收購兼并等方式，充分發揮后發優勢。5.投資建議投資建議 隨著半導體行業不斷向中國大陸轉移，國內半導體設備零部件廠商迎來新機遇。我們看好隨著半導體行業不斷向中國大陸轉移，國內半導體設備零部件廠商迎來新機遇。我們看好國內廠商在單一賽道夯實產品競爭力后，拓張業務版圖，重塑業績天花板。國內廠商在單一賽道夯實產品競爭力后，拓張業務版圖，重塑業績天花板。圖圖 66：國內重點半導體設備零部件公司估值信息（國內重點半導體設備零部件公司估值信息（Wind 一致預期，截至一致預

100、期，截至 2022.8.12）資料來源：各公司官網，各公司公告，Wind，天風證券研究所 5.1.正帆科技：工藝介質系統先行者，裝備正帆科技：工藝介質系統先行者，裝備+材料材料+服務打造核心競爭力服務打造核心競爭力 正帆科技是一家致力于向高科技產業及先進制造業客戶提供關鍵系統、核心材料和專業服正帆科技是一家致力于向高科技產業及先進制造業客戶提供關鍵系統、核心材料和專業服務，實現裝備、材料和服務三位一體的一站式綜合解決方案的高新技術企業。務，實現裝備、材料和服務三位一體的一站式綜合解決方案的高新技術企業。公司的主要業務是為客戶提供核心的工藝流程，設計工藝介質和工藝環境綜合解決方案并且提供快速響應

101、、設備維保和系統運營等服務。公司是國內最早進入電子工藝設備領域的本土廠商，同時也是國內較早開展工藝介質供應系統業務的企業之一。公司深耕自主研發多年，形成六項底層核心技術。公司深耕自主研發多年，形成六項底層核心技術。公司經過長期的研發與投入形成了六大核心技術，分別為介質供應系統微污染控制、流體系統設計與模擬仿真、生命安全保障與工藝監控、高純材料合成與分離提純、材料成分分析與痕量檢測、關鍵工藝材料再生與循環。公司采用綜合立體業務模式，以系統和裝備類固定資產投資（CAPEX）業務為基礎，衍生服務運營類（OPEX）業務。公司不僅在已有的高端制造產業上進行縱向開拓，還逐步向新能源、新材料等其它新興產業拓

102、展。在電子氣體、MRO（維護、維修和運營）、工藝介質物料循環回收等領域均有新的建樹。圖圖 67：正帆科技研發費用及費率正帆科技研發費用及費率（單位：百萬元，（單位：百萬元，%）圖圖 68：正帆科技營收結構正帆科技營收結構占比占比 行業報告行業報告|行業深度研究行業深度研究 請務必閱讀正文之后的信息披露和免責申明 32 資料來源：Wind，天風證券研究所 資料來源：公司公告，天風證券研究所 高壁壘高壁壘 GAS BOX 賽道業務增速亮眼，國產替代催化推動第二增長曲線快速上揚。賽道業務增速亮眼，國產替代催化推動第二增長曲線快速上揚。公司圍繞客戶的需求衍生半導體工藝設備配套供應系統，主要產品為氣柜（

103、GAS BOX），GAS BOX是一種在半導體設備側的模組化氣體供應系統，在為設備制程精密供氣的同時還需要防止毒氣、可燃氣的泄漏，具體包含氣動閥、阻絕閥、逆止閥、流量調節閥、墊片、鍍銀螺帽/螺絲等組件，因其有較高的安全氣密性、耐蝕性、小型化和精密性要求，故具有較高的技術門檻和行業壁壘。公司的 GAS BOX 產品目前已較多運用于光伏行業，并正在進行 IC 行業設備認證，布局子公司鴻舸半導體專注于關鍵模塊業務與配套裝備業務能力提升，有力促進關鍵系統國產化率。圖圖 69：正帆科技高純氣體供應系統正帆科技高純氣體供應系統 圖圖 70：模組化氣體供應系統模組化氣體供應系統 資料來源：正帆科技官網，天風

104、證券研究所 資料來源：Fujikin 官網，天風證券研究所 公司營收快速增長，凈利率公司營收快速增長，凈利率波動中提高波動中提高。受下游太陽能光伏和平板行業發展提速影響，銷售額較上年有很大上升。2021 年，公司營業收入達 18.37 億元，同比增長 65.63%；歸屬于母公司股東的凈利潤 1.68 億元，同比增長 35.53%。2021 年毛利率同比下降將近 1pct，達到 26.17%，凈利率下降約 2pct，達到 9.15%。2014-2021 年間，公司凈利率在波動中提高，由 3.72%增長至 9.15%，累計增長 5.43pct。2021 年研發投入占比 4.26%，同比下降 0.4

105、7pct。公司 2022 年 8 月 12 日總市值約 88.88 億元，PE（TTM）=49.71，PB=4.79，我們預計未來業績增長或將來源于公司服務運營類（OPEX）業務的不斷開拓。圖圖 71：2014-2022E 公司營收情況公司營收情況（2022 數據為數據為 wind 一致性預期一致性預期）圖圖 72：2014-2021 公司歸母凈利潤情況公司歸母凈利潤情況（億元億元，%）39.5945.9952.4978.224.29%3.88%4.73%4.26%0.00%1.00%2.00%3.00%4.00%5.00%0204060801002018201920202021正帆科技研發費

106、用正帆科技研發費率 行業報告行業報告|行業深度研究行業深度研究 請務必閱讀正文之后的信息披露和免責申明 33 資料來源：Wind，天風證券研究所 資料來源：Wind，天風證券研究所 圖圖 73：2014-2021 公司毛公司毛/凈利率情況凈利率情況 圖圖 74：2020.08-2022.07 正帆科技股價走勢（單位：元）正帆科技股價走勢（單位：元）資料來源：Wind，天風證券研究所 資料來源：Wind，天風證券研究所 風險提示：風險提示：海內外疫情反復風險、研發成果不及預期、下游需求不及預期、GASBOX 產品在 IC 行業客戶認證進度不及預期。5.2.江豐電子：靶材國產替代龍頭，持續研發促技

107、術突破江豐電子：靶材國產替代龍頭，持續研發促技術突破 江豐電子江豐電子主營業務為超高純金屬材料的濺射靶材以及半導體產業裝備機臺的關鍵零部件主營業務為超高純金屬材料的濺射靶材以及半導體產業裝備機臺的關鍵零部件的研發、生產和銷售的研發、生產和銷售。公司主要產品包括鋁靶、鈦靶、鉭靶、鎢鈦靶、LCD 用碳纖維支撐等，其中鋁靶、鈦靶、鉭靶產品收入占比近 64%。公司生產半導體產業裝備機臺的關鍵零部件包括金屬、陶瓷、樹脂等多種材料經復雜工藝加工而成的精密零部件，主要用于半導體芯片以及液晶面板生產線的機臺，覆蓋了包括 PVD、CVD、刻蝕、離子注入以及產業機器人等應用領域。圖圖 75：2021 年公司營收結

108、構年公司營收結構 圖圖 76：公司研發投入變化情況（單位：萬元）公司研發投入變化情況（單位：萬元）資料來源：Wind，天風證券研究所 資料來源：Wind，天風證券研究所 行業報告行業報告|行業深度研究行業深度研究 請務必閱讀正文之后的信息披露和免責申明 34 產業鏈持續布局，零部件生產開啟新增長。產業鏈持續布局，零部件生產開啟新增長。公司積極向產業鏈上游發展、布局，隨著募投項目“年產 300 噸電子級超高純鋁生產項目”和“年產 400 噸平板顯示器用鉬濺射靶材坯料產業化項目”的建成，高純鋁、高純鉬等高純金屬材料逐步實現量產，盈利能力有望提升。公司前五大供應商中的關聯商采購金額占比從 2017年

109、的3.9%提升至2021年的12.43%，自給率不斷提升。公司已在公司已在 PVD 及及 CMP 機臺用零部件產業進行戰略布局。機臺用零部件產業進行戰略布局。在集成電路芯片制造過程中，PVD（物理氣相沉積）和 CMP（化學機械平坦化）是其中非常重要的工藝環節，PVD 工藝會用到大量的濺射靶材和消耗性的金屬零部件，CMP 工藝中會用到大量消耗性材料，使用客戶與集成電路靶材客戶具有共通性。公司已引進了掌握相關技術及市場的核心人才，后續將繼續加深相關產業的戰略布局。圖圖 77：公司供應商關聯方占比變化情況公司供應商關聯方占比變化情況 圖圖 78：公司零部件業務營收變化情況公司零部件業務營收變化情況

110、資料來源：Wind，天風證券研究所 資料來源：公司公告，天風證券研究所 公司公司營收持續營收持續增長，增長，研發投入持續加強研發投入持續加強。2021 年隨著經濟復蘇的步伐逐漸加快，行業景氣度及市場需求有所提升。2021 年，公司實現營收 15.94 億元，同比增加 36.64%，歸屬于上市公司股東的凈利潤 1.07 億元，同比下降 27.55%。2021 年毛利率同比下降近 3pct，凈利率下降達 6pct。2021 年研發投入同比增長 33.13%，占營業收入的 6.16%。公司 2022 年 8月 12 日總市值約 214.88 億元，PE（TTM）=175.43，PB=14.41，我們

111、預計未來業績增長或將來源于高純濺射靶材的技術突破。圖圖 79：2014-2022E 公司營收情況公司營收情況（2022 數據為數據為 wind 一致性預期一致性預期）圖圖 80：2014-2021 公司公司歸母歸母凈利潤情況凈利潤情況 資料來源：Wind，天風證券研究所 資料來源：Wind，天風證券研究所 圖圖 81：2014-2021 公司毛公司毛/凈利率情況凈利率情況 圖圖 82：2020.07-2022.07 江豐電子股價走勢江豐電子股價走勢（單位：元）（單位：元）行業報告行業報告|行業深度研究行業深度研究 請務必閱讀正文之后的信息披露和免責申明 35 資料來源：Wind，天風證券研究所

112、 資料來源：Wind，天風證券研究所 風險提示：風險提示：海內外疫情反復風險、PVD 及 CMP 機臺用零部件研發成果不及預期、下游需求不及預期、客戶認證進度不及預期。5.3.北方華創：北方華創：業績持續高增長，設備品類加速擴張業績持續高增長，設備品類加速擴張 北方華創主要北方華創主要業務領域是基礎電子產品的研發、生產及銷售，主要產品為電子工藝裝備和業務領域是基礎電子產品的研發、生產及銷售，主要產品為電子工藝裝備和電子元器件。電子元器件。公司電子工藝裝備主要包括半導體裝備、真空裝備和鋰電裝備，廣泛應用于集成電路、半導體照明、功率器件等領域。電子元器件主要包括電阻、電容、晶體器件、微波組件、模塊

113、電源等，廣泛應用于精密儀器儀表、自動控制等高、精、尖特種行業領域。公司新產品研發及市場開拓持續獲得突破。公司新產品研發及市場開拓持續獲得突破。集成電路先進制程多種產品通過客戶驗證，成熟制程設備工藝覆蓋率快速提升?？涛g機、PVD、立式爐、清洗機等產品在集成電路、先進封裝主流客戶實現規模銷售，新能源光伏、LED、第三代半導體、新型顯示等泛半導體領域，產品競爭力及出貨量增加。圖圖 83：公司營收結構（公司營收結構（2017-2021）圖圖 84：公司研發投入變化情況公司研發投入變化情況 資料來源：Wind，天風證券研究所 資料來源：Wind，天風證券研究所 研制并生產氣體質量流量計，布局半導體關鍵設

114、備零部件。研制并生產氣體質量流量計，布局半導體關鍵設備零部件。質量流量計(MFM)/質量流量控制器(MFC)屬于一種工業自動化儀表，可以應用到對各種氣體（含蒸汽）進行測量或控制，MFM 可以精密測量氣體的質量流量，MFC 除測量外還可以精密控制氣體的質量流量。北方華創研制生產的是量熱式質量流量計，具有不因溫度和壓力的波動而失準、重復性好、自動測量控制、工作壓力范圍寬等特點，可以在真空或高壓氣路中工作。圖圖 85：北方華創北方華創質量質量流量控制器流量控制器 圖圖 86：北方華創流量顯示儀北方華創流量顯示儀 行業報告行業報告|行業深度研究行業深度研究 請務必閱讀正文之后的信息披露和免責申明 36

115、 資料來源：公司官網，天風證券研究所 資料來源：公司官網，天風證券研究所 公司營收凈利均大幅增長，公司營收凈利均大幅增長，或或系市場環境利好所致。系市場環境利好所致。全球半導體產業持續增長，中國大陸首次成為全球最大的半導體設備市場。電子元器件業務受下游目標市場需求增長的影響，市場環境較為有利。2021 年公司實現營業收入 96.83 億元，同比增長 59.90%；歸屬于上市公司股東的凈利潤 10.77 億元，同比增長 100.66%。2021 年毛利率同比增加近 3pct，凈利率提高近 2pct。2021 年期間費用 30.53%，同比增加約 0.3pct；研發投入占比 13.40%，同比增加

116、2.33pct。公司2022年8月12日總市值約1719.70億元，PE（TTM）=142.01，PB=10.02。圖圖 87：2014-2022E 公司營收情況公司營收情況（2022 數據為數據為 wind 一致性預期一致性預期）圖圖 88：2014-2021 公司公司歸母歸母凈利潤情況凈利潤情況 資料來源：Wind，天風證券研究所 資料來源：Wind，天風證券研究所 圖圖 89：2014-2021 公司毛公司毛/凈利率情況凈利率情況 圖圖 90：2020.07-2022.07 北方華創股價走勢北方華創股價走勢（單位：元）（單位：元）行業報告行業報告|行業深度研究行業深度研究 請務必閱讀正文

117、之后的信息披露和免責申明 37 資料來源：Wind，天風證券研究所 資料來源：Wind，天風證券研究所 風險提示：風險提示：海內外疫情反復風險、研發成果不及預期、下游對于 MFC 等零部件需求不及預期、客戶認證進度不及預期。5.4.新萊應材：覆蓋醫藥新萊應材：覆蓋醫藥+泛半導體泛半導體+食品包裝，三大業務市場前景廣闊食品包裝，三大業務市場前景廣闊 新萊應材是國內唯一一家同時覆蓋醫藥、泛半導體與食品新萊應材是國內唯一一家同時覆蓋醫藥、泛半導體與食品安全安全三大領域的公司三大領域的公司，其中食品收入占比超過 50%，泛半導體業務也超過 20%。食品領域，即食食品需求的增加有望拉動食品包裝需求；半導

118、體領域，國內晶圓廠逐漸進入擴產期，有望帶動半導體發展；醫藥領域，新冠帶來的疫苗需求增長繼續。圖圖 91：2021 年公司營收結構年公司營收結構 圖圖 92：公司發展歷程公司發展歷程 資料來源：Wind，天風證券研究所 資料來源：公司官網，天風證券研究所 半導體業務持續發力，優質客戶群體穩固。半導體業務持續發力，優質客戶群體穩固。受益于半導體國產化趨勢，公司半導體板塊業務快速增長，營業收入從 17 年的 2.68 億上漲到 2021 年的 5.32 億，2020 年受疫情影響，有小幅回落趨勢。在半導體領域，公司市場占有率提升，吸引大量優質客戶。公司與全球半導體設備龍頭 AMAT 加大合作，在高端

119、真空閥門等產品領域和國內存儲器芯片設計與制造廠商長江存儲、合肥長鑫進行深入合作，同時與中國最大的半導體設備供應商北方華創在氣體管道及氣體控制元件方面展開國產替代全面合作。圖圖 93：公司半導體營公司半導體營收及占比收及占比 圖圖 94：半導體業務客戶半導體業務客戶 行業報告行業報告|行業深度研究行業深度研究 請務必閱讀正文之后的信息披露和免責申明 38 資料來源：Wind，天風證券研究所 資料來源：公司公告，天風證券研究所 公司業績呈上升趨勢，疫情影響有所消減。公司業績呈上升趨勢，疫情影響有所消減。公司 2021 合計營收 20.54 億元，同比增長約55.28%，歸母凈利潤 1.70 億元，

120、同比增長約 105.66%，業績總體呈上升趨勢，毛利率一直處在平穩的區間（20%-30%），凈利率呈上升趨勢。公司 2022 年 8 月 12 日總市值約 175.29億元，PE（TTM）=80.57，PB=13.38。圖圖 95：2012-2022E 公司營收情況公司營收情況（2022 數據為數據為 wind 一致性預期一致性預期）圖圖 96：2014-2021 公司公司歸母歸母凈利潤情況凈利潤情況 資料來源：Wind，天風證券研究所 資料來源：Wind，天風證券研究所 圖圖 97：2014-2021 公司毛公司毛/凈利率情況凈利率情況 圖圖 98：2020.07-2022.07 新萊應材股

121、價走勢新萊應材股價走勢（單位：元）（單位：元）資料來源：Wind，天風證券研究所 資料來源：Wind，天風證券研究所 風險提示：風險提示：海內外疫情反復風險、研發成果不及預期、下游長江存儲、合肥長鑫等客戶對公司產品需求不及預期、客戶認證進度不及預期。5.5.華亞智能華亞智能：下游訂單高需求，公司收入利潤規模繼續高增長下游訂單高需求，公司收入利潤規模繼續高增長 華亞智能是華東地區的精密鈑金制造商之一，主要涉及軌道交通、半導體設備、精密儀器、華亞智能是華東地區的精密鈑金制造商之一，主要涉及軌道交通、半導體設備、精密儀器、行業報告行業報告|行業深度研究行業深度研究 請務必閱讀正文之后的信息披露和免責

122、申明 39 高端醫療器械、智能電網、新能源等行業的生產制造和組裝。高端醫療器械、智能電網、新能源等行業的生產制造和組裝。公司主營業務為根據訂單需求設計各類精密金屬部件產品，采用精密鈑金、機械加工、精密焊接及表面處理等工藝，為客戶提供定制化的一站式工業級精密金屬的制造服務。公司利用在精密金屬零部件加工領域形成的技術和工藝優勢以及小批量多品種的柔性加工能力，為半導體設備、軌道交通、醫療器械、電力設備及機械設備等高端制造領域供應各類精密零部件，產品已經出口至美國、歐洲、新加坡等地，試制新產品正在向航空工業、智能產業延伸，2017 年公司被美國應用材料(AMAT)公司認證為合格供應商。圖圖 99：公司

123、公司研發投入變化情況研發投入變化情況 圖圖 100：公司海內外客戶占比公司海內外客戶占比（單位：萬元）（單位：萬元）資料來源：Wind，天風證券研究所 資料來源：Wind，天風證券研究所 公司營收公司營收持續持續增長，凈利率大幅提升。增長，凈利率大幅提升。2021 年，公司營業收入達 5.30 億元，同比增長 43.93%；歸屬于母公司股東的凈利潤 1.11 億元，同比增長 54.67%。公司收入和規模和業績的高速增長主要得益于公司優質客戶數量及產品種類的快速提升，尤其是半導體設備領域需求的快速增長。2021 年毛利率同比下降 0.43pct，凈利率大幅提高 1.48pct。2021 年研發投

124、入1673.52 萬元，同比增加 18.28%。公司 2022 年 8 月 12 日總市值約 80.82 億元，PE（TTM）=67.80，PB=9.37，我們預計公司未來業績有望持續受益于下游晶圓廠擴產及零部件國產替代。圖圖 101：2015-2022E 公司營收情況公司營收情況（2022 數據為數據為 wind 一致性預期一致性預期）圖圖 102：2015-2021 公司公司歸母歸母凈利潤情況凈利潤情況 資料來源：Wind，天風證券研究所 資料來源：Wind，天風證券研究所 圖圖 103：2015-2021 公司毛公司毛/凈利率情況凈利率情況 圖圖 104：2021.04-2022.07

125、華亞智能華亞智能股價走勢股價走勢（單位：元）（單位：元）行業報告行業報告|行業深度研究行業深度研究 請務必閱讀正文之后的信息披露和免責申明 40 資料來源：Wind，天風證券研究所 資料來源：Wind，天風證券研究所 風險提示：風險提示：海內外疫情反復風險、研發成果不及預期、下游需求不及預期、試制新產品向航空工業、智能產業延伸進展不及預期。5.6.神工股份：神工股份：輕摻硅片厚積薄發，電極材料國產替代加速輕摻硅片厚積薄發，電極材料國產替代加速 神工股份是國內領先的半導體級單晶硅材料供應商。神工股份是國內領先的半導體級單晶硅材料供應商。公司核心產品為大尺寸高純度半導體級單晶硅材料，目前主要應用于

126、加工制成半導體級單晶硅部件，是晶圓制造刻蝕環節所必需的核心耗材。公司主要業務板塊包括“大直徑單晶硅材料”，“硅零部件”和“半導體大尺寸硅片”，核心產品過去幾年成功打入國際先進半導體材料供應鏈體系，并已逐步替代國外同類產品。公司掌握包含公司掌握包含 8 英寸半導體級硅片在內的晶體生長及硅片表面精密加工等多項核心技術。英寸半導體級硅片在內的晶體生長及硅片表面精密加工等多項核心技術。2020 年，公司 20 英寸以上超大直徑單晶硅產品研發取得技術突破，已成功使用 28 英寸熱場成功拉制直徑達到 550mm（22 英寸）的晶體，內在品質符合下游日本客戶的標準，進一步鞏固了公司在大直徑單晶硅材料領域的技

127、術地位。公司 8 英寸輕摻低缺陷超高阻硅片項目進展順利，產品已進入客戶認證流程。圖圖 105：公司研發投入變化情況公司研發投入變化情況 圖圖 106：公司海內外客戶占比公司海內外客戶占比（單位：萬元）（單位：萬元）資料來源：Wind，天風證券研究所 資料來源：Wind，天風證券研究所 公司營收穩定增長，凈利率大幅提升。公司營收穩定增長，凈利率大幅提升。2021 年，公司營業收入達 4.74 億元，同比增長 146.69%；歸屬于母公司股東的凈利潤 2.18 億元，同比增長 117.84%。2021 年毛利率同比下降約 1pct，凈利率下降約 6pct。2021 年期間費用 13.51%，同比下

128、滑近 3pct，研發投入占比 7.38%，同比下降近 2pct。公司 2022 年 8 月 12 日總市值約 93.58 億元，PE（TTM）=40.88，PB=6.69，我們預計未來業績增長或將來源于公司 8 英寸硅片國產替代的加速。圖圖 107：2016-2022E 公司營收情況公司營收情況（2022 數據為數據為 wind 一致性預期一致性預期）圖圖 108：2016-2021 公司公司歸母歸母凈利潤情況凈利潤情況 行業報告行業報告|行業深度研究行業深度研究 請務必閱讀正文之后的信息披露和免責申明 41 資料來源：Wind，天風證券研究所 資料來源：Wind，天風證券研究所 圖圖 109

129、：2016-2021 公司毛公司毛/凈利率情況凈利率情況 圖圖 110：2020.07-2022.07 神工股份股價走勢神工股份股價走勢（單位：元）（單位：元）資料來源：Wind，天風證券研究所 資料來源：Wind，天風證券研究所 風險提示：風險提示：海內外疫情反復風險、研發成果不及預期、下游需求不及預期、8 英寸輕摻低缺陷超高阻硅片的客戶認證進度不及預期。5.7.英杰電氣：業績穩定英杰電氣：業績穩定上升上升，新增訂單全行業，新增訂單全行業增長增長 英杰電氣是國內綜合性工業電源研發及制造領域具有較強實力和競爭力的企業之一英杰電氣是國內綜合性工業電源研發及制造領域具有較強實力和競爭力的企業之一。

130、主要專注于電力電子技術在工業各領域的應用，主要從事功率控制系統裝置為代表的工業自動化控制產品的研發、生產、銷售，為國內光伏、LED 新光源、核電、玻璃玻纖、冶金、石油化工等多個行業提供優良功率控制和其他自動化控制設備。主要產品有調功器、匹配器、調壓器、測試電源、射頻發生器、可編程直流電源。圖圖 111：公司公司發展歷程發展歷程 資料來源：公司官網，天風證券研究所 公司新增訂單全行業快速增加公司新增訂單全行業快速增加。2021 年公司來自于半導體等電子材料行業的銷售收入 0.71 行業報告行業報告|行業深度研究行業深度研究 請務必閱讀正文之后的信息披露和免責申明 42 億元,占營業收入的比重為

131、10.71%，同比上升 74.66%。2021 年公司新增訂單呈現全行業全面增長的局面，其中以光伏、半導體等電子材料、充電樁行業最為顯著，其中來自于光伏行業的新增訂單為 9.8 億元，同比上升 224.50%，來自于半導體等電子材料行業的新增訂單為 2.08 億元，同比上升 299.96%。來自于充電樁行業的新增訂單為 0.68 億元，同比上升553.45%。圖圖 112：2021 年公司營收結構年公司營收結構 圖圖 113：半導體等電子材料業務營收及同比增長率半導體等電子材料業務營收及同比增長率 資料來源：Wind，天風證券研究所 資料來源：Wind，天風證券研究所 研制并研制并試制試制射頻

132、電源，進一步滿足半導體行業需求。射頻電源，進一步滿足半導體行業需求。目前公司研制的射頻電源已小批量試制，交予客戶測試。該產品可廣泛應用于半導體刻蝕、半導體離子注入、太陽能電池 PECVD、真空鍍膜等行業領域，在半導體、鍍膜等領域替代進口電源。公司大功率可編程直流電源目前完成試制和通過 CE 認證、TUV 認證，已有小批量銷售和試用。圖圖 114：公司研發投入變化情況公司研發投入變化情況 圖圖 115：公司特種電源行業相關客戶公司特種電源行業相關客戶 資料來源：Wind，天風證券研究所 資料來源：公司官網，天風證券研究所 公司營收公司營收和凈利率波動中和凈利率波動中穩定增長。穩定增長。2021年

133、，公司營業收入達6.60億元，同比增長56.87%；歸屬于母公司股東的凈利潤 1.57 億元，同比增長 50.60%。2021 年毛利率同比增加 0.55pct，凈利率下降約 1pct。研發投入達 0.51 億元，同比增加 50.63，占營業總收入 7.78%。公司2022 年 8 月 16 日總市值約 118.10 億元，PE（TTM）=64.53，PB=9.47。圖圖 116：2015-2022E 公司營收情況公司營收情況（2022 數據為數據為 wind 一致性預期一致性預期）圖圖 117：2015-2021 公司公司歸母歸母凈利潤情況凈利潤情況 行業報告行業報告|行業深度研究行業深度研

134、究 請務必閱讀正文之后的信息披露和免責申明 43 資料來源：Wind，天風證券研究所 資料來源：Wind，天風證券研究所 圖圖 118：2015-2021 公司毛公司毛/凈利率情況凈利率情況 圖圖 119：2020.07-2022.07 英杰電氣英杰電氣股價走勢（單位：元）股價走勢（單位：元）資料來源：Wind，天風證券研究所 資料來源：Wind，天風證券研究所 風險提示：風險提示：海內外疫情反復風險、研發成果不及預期、下游需求不及預期、射頻電源在客戶端測試進度不及預期。5.8.富創精密：擁有多種技術工藝和先進技術，業績呈上漲趨勢富創精密：擁有多種技術工藝和先進技術，業績呈上漲趨勢 富創精密是

135、國內半導體設備精密零部件的領軍企業，也是全球為數不多的能夠量產應用于富創精密是國內半導體設備精密零部件的領軍企業，也是全球為數不多的能夠量產應用于7 納米工藝制程半導體設備的精密零部件制造商。納米工藝制程半導體設備的精密零部件制造商。通過多年研發和積累，公司具備了金屬零部件精密制造技術為核心的制造能力和研發及人才儲備。通過自研和承接專項，公司實現了半導體設備部分精密零部件國產化的自主可控，攻克了零部件精密制造的特種工藝，形成了國產半導體設備的保障能力。圖圖 120：公司公司發展歷程發展歷程 行業報告行業報告|行業深度研究行業深度研究 請務必閱讀正文之后的信息披露和免責申明 44 資料來源：公司

136、官網，天風證券研究所 公司具有多種技術工藝和突出的技術水平，是全球行業內少有的多品類產品提供商之一。公司具有多種技術工藝和突出的技術水平，是全球行業內少有的多品類產品提供商之一。公司制造能力強，可實現產品較高的工藝水平；擁有較為齊備的表面處理特種工藝；具備電子束焊接等多種焊接技術，能為客戶提供有效的焊接方案；組裝能力強，客戶覆蓋國內外半導體廠商，產品性能及質量得到客戶認同。公司可提供工藝零部件、結構零部件等多品類產品，相關產品廣泛應用于前道先進制程設備?？蛻粝蚬具M行多品類產品采購，實現一對多產品質量管控，降低采購時間成本和管理成本，同時有利于提升產品效能。公司采用公司采用離散型智能制造模式。

137、離散型智能制造模式。公司開創了集成電路領域智能制造的新模式，不但降低了對人工經驗的依賴，同時實現了柔性化生產與工藝的整合，利用數字化仿真、大數據分析等智能化手段，保證了產品質量的穩定與生產效率的提高。圖圖 121：2021 年公司營收結構年公司營收結構 資料來源：Wind，天風證券研究所 公司業績呈上漲趨勢，營收凈利潤大幅增長。公司業績呈上漲趨勢，營收凈利潤大幅增長。公司 2021 年營收為 8.43 億元，凈利 1.21 億，扣非后凈利為0.75億元，毛利率為32.04%；營收增長率達8.43%，歸母凈利潤增長率達1.26%。2021 年研發投入達 0.74 億元，占營業總收入 8.8%。圖

138、圖 122：2018-2021 公司營收情況公司營收情況 圖圖 123：2018-2021 公司公司歸母歸母凈利潤情況凈利潤情況 資料來源：Wind，天風證券研究所 資料來源：Wind，天風證券研究所 圖圖 124：2018-2021 公司毛公司毛/凈利率情況凈利率情況 圖圖 125：公司研發投入變化情況公司研發投入變化情況 行業報告行業報告|行業深度研究行業深度研究 請務必閱讀正文之后的信息披露和免責申明 45 資料來源：Wind，天風證券研究所 資料來源：Wind，天風證券研究所 風險提示：風險提示：海內外疫情反復風險、研發成果不及預期、下游對于公司工藝零部件、結構零部件等產品的需求不及預

139、期、客戶認證進度不及預期。6.風險提示風險提示 海內外疫情反復風險：海內外疫情反復風險：海內外疫情反復，影響上下游供應鏈，導致行業業績發展不及預期。研發成果不及預期：研發成果不及預期：相關企業研發進度不及預期，使國內企業對海外供應鏈的國產替代進度不及預期。下游需求不及預期：下游需求不及預期：下游晶圓廠或半導體設備廠對半導體設備零部件的需求不及預期?？蛻粽J證進度不及預期：客戶認證進度不及預期：設備零部件種類繁多，目前國外產商占據主要市場份額，國產制造商獲得新客戶認證的難度較高，認證進度可能不及預期。行業報告行業報告|行業深度研究行業深度研究 請務必閱讀正文之后的信息披露和免責申明 46 分析師聲

140、明分析師聲明 本報告署名分析師在此聲明：我們具有中國證券業協會授予的證券投資咨詢執業資格或相當的專業勝任能力，本報告所表述的所有觀點均準確地反映了我們對標的證券和發行人的個人看法。我們所得報酬的任何部分不曾與，不與，也將不會與本報告中的具體投資建議或觀點有直接或間接聯系。一般聲明一般聲明 除非另有規定，本報告中的所有材料版權均屬天風證券股份有限公司（已獲中國證監會許可的證券投資咨詢業務資格）及其附屬機構（以下統稱“天風證券”）。未經天風證券事先書面授權，不得以任何方式修改、發送或者復制本報告及其所包含的材料、內容。所有本報告中使用的商標、服務標識及標記均為天風證券的商標、服務標識及標記。本報告

141、是機密的，僅供我們的客戶使用，天風證券不因收件人收到本報告而視其為天風證券的客戶。本報告中的信息均來源于我們認為可靠的已公開資料，但天風證券對這些信息的準確性及完整性不作任何保證。本報告中的信息、意見等均僅供客戶參考，不構成所述證券買賣的出價或征價邀請或要約。該等信息、意見并未考慮到獲取本報告人員的具體投資目的、財務狀況以及特定需求，在任何時候均不構成對任何人的個人推薦?？蛻魬攲Ρ緢蟾嬷械男畔⒑鸵庖娺M行獨立評估，并應同時考量各自的投資目的、財務狀況和特定需求，必要時就法律、商業、財務、稅收等方面咨詢專家的意見。對依據或者使用本報告所造成的一切后果，天風證券及/或其關聯人員均不承擔任何法律責任

142、。本報告所載的意見、評估及預測僅為本報告出具日的觀點和判斷。該等意見、評估及預測無需通知即可隨時更改。過往的表現亦不應作為日后表現的預示和擔保。在不同時期，天風證券可能會發出與本報告所載意見、評估及預測不一致的研究報告。天風證券的銷售人員、交易人員以及其他專業人士可能會依據不同假設和標準、采用不同的分析方法而口頭或書面發表與本報告意見及建議不一致的市場評論和/或交易觀點。天風證券沒有將此意見及建議向報告所有接收者進行更新的義務。天風證券的資產管理部門、自營部門以及其他投資業務部門可能獨立做出與本報告中的意見或建議不一致的投資決策。特別聲明特別聲明 在法律許可的情況下，天風證券可能會持有本報告中

143、提及公司所發行的證券并進行交易，也可能為這些公司提供或爭取提供投資銀行、財務顧問和金融產品等各種金融服務。因此，投資者應當考慮到天風證券及/或其相關人員可能存在影響本報告觀點客觀性的潛在利益沖突，投資者請勿將本報告視為投資或其他決定的唯一參考依據。投資評級聲明投資評級聲明 類別類別 說明說明 評級評級 體系體系 股票投資評級 自報告日后的 6 個月內，相對同期滬 深 300 指數的漲跌幅 行業投資評級 自報告日后的 6 個月內，相對同期滬 深 300 指數的漲跌幅 買入 預期股價相對收益 20%以上 增持 預期股價相對收益 10%-20%持有 預期股價相對收益-10%-10%賣出 預期股價相對

144、收益-10%以下 強于大市 預期行業指數漲幅 5%以上 中性 預期行業指數漲幅-5%-5%弱于大市 預期行業指數漲幅-5%以下 天風天風證券研究證券研究 北京北京 ?？诤？?上海上海 深圳深圳 北京市西城區佟麟閣路 36 號 郵編：100031 郵箱： 海南省?？谑忻捞m區國興大道 3 號互聯網金融大廈 A 棟 23 層 2301 房 郵編：570102 電話：(0898)-65365390 郵箱： 上海市虹口區北外灘國際 客運中心 6 號樓 4 層 郵編：200086 電話：(8621)-65055515 傳真：(8621)-61069806 郵箱： 深圳市福田區益田路 5033 號 平安金融中心 71 樓 郵編：518000 電話：(86755)-23915663 傳真：(86755)-82571995 郵箱：