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1、國海證券研究所請務必閱讀正文后免責條款部分2023 年年 12 月月 24 日日行業研究行業研究評級：推薦評級：推薦(首次覆蓋首次覆蓋)研究所：證券分析師：姚健S證券分析師：杜先康STable_Title半導體零部件國產化加速半導體零部件國產化加速，關注細分賽道領跑者關注細分賽道領跑者半導體半導體設備行業動態研究設備行業動態研究最近一年走勢行業相對表現2023/12/22表現1M3M12M專用設備-3.3%-2.1%1.5%滬深 300-5.8%-10.7%-13.0%投資要點投資要點:半導體行業逐步回暖，中國大陸設備需求旺盛。半導體行業逐步回暖，中國大陸設備需求旺盛。根據 IDC 預測，20

2、24E 半導體市場規模由 6259 億美元上調至 6328 億美元，同比增長 20.2%，全球半導體市場正在逐步回暖，2024 年起有望加速恢復增長。根據 SEAJ 數據，2023Q3 中國大陸半導體設備銷售額同比增長 42.2%，隨著中國大陸成熟制程持續建設，半導體設備市場有望長期穩健增長。零部件國產替代空間廣闊，關注細分賽道領跑者。零部件國產替代空間廣闊，關注細分賽道領跑者。半導體零部件市場規模約為設備市場規模的 50%-55%，我們測算，2022 年中國大陸半導體設備零部件市場規模約為 1061 億元。半導體零部件種類繁多，行業碎片化特征顯著，目前國產化率普遍較低，晶圓擴產疊加設備國產化

3、加速，半導體零部件國產替代空間廣闊。正帆科技正帆科技：Gasbox 是半導體干法設備中極為重要的通用子系統，我們測算，2022 年中國大陸 Gasbox 市場規模超過 50 億元。2022 年公司布局 Gasbox 業務，2023 年產品已經全面穩產，目前已向北方華創、拓荊科技、中微公司、晶盛機電等國內頭部半導體設備商，以及邁為股份等光伏電池片設備商批量供貨，有望優先受益于Gasbox 國產替代加速。漢鐘精機漢鐘精機：干式真空泵可用于單晶拉晶、Load-lock、刻蝕、CVD、ALD、封裝、測試等清潔或嚴苛制程，我們測算，目前中國大陸半導體真空泵存量替換市場規模超過 18 億元，未來五年中國大

4、陸僅 12英寸擴產貢獻真空泵增量市場規模為 127 億元、年均約 25 億元。目前公司真空泵在清潔、中度嚴苛、嚴苛制程均有應用，公司與國內部分機臺商、晶圓廠已有合作，目前有一定的小批量出貨。隨著臺中廠三期及上海廠三期產能建設順利完成，真空泵成長空間有望進一步打開。英杰電氣英杰電氣：射頻電源可用于刻蝕、薄膜沉積和離子注入等半導體設備，我們測算，2022 年中國大陸半導體射頻電源市場規模約為 44億元。2023 年 10 月起，公司射頻電源訂單呈現批量上升狀態，目前已超 9000 萬元。公司和中微公司已經合作多年，同時和業內其他知名企業也有合作，隨著產品驗證及客戶拓展持續加速，半導體電證券研究報告

5、請務必閱讀正文后免責條款部分2源業務有望步入快速成長期。美?？萍济腊？萍迹簼崈羰沂前雽w制造業的重要環節，直接決定產品良率，先進制程持續發展將對潔凈度提出更高要求。風機過濾單元業務，公司產品性能領先、客戶基礎牢固，目前在國內半導體潔凈室領域市占率約 30%、位居行業第一，受益高管全球化背景、制造基地海內外協同布局，2020-2022 年海外收入 CAGR 接近 50%。過濾器業務，具備收入穩定、高毛利率雙重優勢，國內方面，公司通過持續降本、節能改造等方式增加客戶黏性，進而提升耗材復購率；海外方面，受益產品性價比、售后服務質量等優勢，海外客戶認證持續加速，耗材業務有望開啟廣闊增長空間。投資建議投

6、資建議 半導體設備零部件國產替代空間廣闊，細分賽道領先企業有望優先受益，重點關注正帆科技（gasbox）、漢鐘精機（真空泵）、英杰電氣（射頻電源）、美?？萍迹崈粞b備及耗材）等，首次覆蓋，給予“推薦”評級。風險提示風險提示 半導體市場需求恢復不及預期；半導體行業資本開支不及預期；半導體設備及零部件國產化不及預期；國外對華半導體設備限制力度變化風險；關注標的產品研發及客戶驗證進度不及預期；重點關注公司業績不達預期風險。uZkYaXqUnYoXbWsUvXkX7NbP9PmOoOmOnOjMqRpNeRnPmRaQrQpPuOmQqNuOpNwP證券研究報告請務必閱讀正文后免責條款部分3重點關注公

7、司及盈利預測重點關注公司及盈利預測重點公司重點公司股票股票2023/12/22EPSPE投資投資代碼代碼名稱名稱股價股價20222023E2024E20222023E2024E評級評級688596.SH 正帆科技38.770.951.442.0341.0227.0119.12未評級002158.SZ漢鐘精機21.931.211.551.8918.2014.1511.63未評級300820.SZ英杰電氣52.942.362.142.8922.4424.7018.32未評級688376.SH 美?？萍?6.910.921.321.8440.3127.9620.06買入資料來源：Wind 資訊，國海

8、證券研究所未評級公司盈利預測取自 wind 一致預期證券研究報告請務必閱讀正文后免責條款部分4內容目錄內容目錄1、半導體行業逐步回暖，中國大陸設備需求旺盛.62、零部件國產替代空間廣闊，關注細分賽道領跑者.72.1、正帆科技：Gasbox.82.2、漢鐘精機：真空泵.102.3、英杰電氣：射頻電源.122.4、美?？萍迹簼崈粞b備及耗材.133、風險提示.16證券研究報告請務必閱讀正文后免責條款部分5圖表目錄圖表目錄圖 1：全球半導體月度銷售額.6圖 2：半導體行業資本開支增速與市場規模增速.6圖 3：全球半導體行業資本開支（十億美元）.6圖 4：全球半導體設備銷售額.7圖 5：中國大陸半導體設

9、備銷售額.7圖 6：2020 年中國晶圓廠設備采購額(億美元).7圖 7：2023E 中國晶圓廠設備采購額(億美元).7圖 8：薄膜沉積設備部件系統.8圖 9：Gasbox 產品.9圖 10：中微公司直接材料成本結構（2018 年）.9圖 11：拓荊科技直接材料成本結構（2020 年）.9圖 12：正帆科技業務結構.10圖 13：漢鐘精機半導體真空泵.11圖 14：漢鐘精機業務結構.12圖 15：英杰電氣業務結構.13圖 16：IC 制造工藝與潔凈室.14圖 17：2015-2024E 中國潔凈室凈化設備市場規模.14圖 18：2014-2025E 中國空氣過濾器市場規模.14圖 19：201

10、9 年中國潔凈室工程行業下游需求占比.15圖 20：美?？萍贾饕a品.15證券研究報告請務必閱讀正文后免責條款部分61、半導體行業逐步回暖，中國大陸設備需求旺盛半導體行業逐步回暖，中國大陸設備需求旺盛半導體市場正逐步回暖半導體市場正逐步回暖，2024 年行業資本開支有望上行年行業資本開支有望上行。根據 SIA 數據，2023年 10 月全球半導體行業銷售額為 466 億美元，同比下降 0.68%，連續 6 個月實現同比降幅收窄，連續 8 個月環比實現環比增長。根據 IDC 預測，2023 年全球半導體預計市場規模由 5188 億美元上調至 5265 億美元，2024E 市場規模由6259 億美

11、元上調至 6328 億美元，同比增長 20.2%，全球半導體市場正在逐步回暖，2024 年起有望加速恢復增長。歷史數據表明，半導體行業資本開支增速與半導體市場規模增速顯著正相關。根據 IC Insight 數據，2023 年全球半導體行業資本開支預計為 1560 億美元，同比下降 14%，我們預計，隨著半導體行業需求回暖，2024 年全球半導體行業資本開支有望步入上行周期。圖圖 1：全球半導體月度銷售額全球半導體月度銷售額圖圖 2：半導體行業資本開支增速與市場規模增速半導體行業資本開支增速與市場規模增速資料來源：美國半導體行業協會，國海證券研究所資料來源：IC Insight圖圖 3：全球半導

12、體行業資本開支（十億美元）全球半導體行業資本開支（十億美元）資料來源：IC Insight，IDC，國海證券研究所注：德州儀器、其他企業為 IC Insight 預測數據證券研究報告請務必閱讀正文后免責條款部分7成熟制程持續建設，中國大陸半導體設備需求旺盛。成熟制程持續建設，中國大陸半導體設備需求旺盛。根據 Gartner 數據，IC 制造中的設備投資額約占資本支出的 70%-80%。根據 SEAJ 數據，2023Q1-Q3全球半導體設備銷售額為782.1億美元，同比下降2.1%，2023Q3同比下降11%；2023Q1-Q3 中國大陸半導體設備銷售額為 244.7 億美元，同比增長 11.7

13、%，2023Q3 同比增長 42.2%。先進制程設備進口受限背景下，中國大陸加強成熟制程產能投資，以中芯國際為例，中芯國際三季報將 2023 全年資本開支上調至 75億美元左右，同比增長約18%。2022年中國大陸12英寸晶圓產能全球占比22%，2026 年預計增至 25%，行業需求回暖疊加產能建設加速，中國大陸半導體設備市場長期有望穩健增長。圖圖 4：全球半導體設備銷售額全球半導體設備銷售額圖圖 5：中國大陸半導體設備銷售額中國大陸半導體設備銷售額資料來源：wind，國海證券研究所資料來源：wind，國海證券研究所2、零部件國產替代空間廣闊，關注細分賽道領跑者零部件國產替代空間廣闊，關注細分

14、賽道領跑者半導體設備國產替代空間廣闊。半導體設備國產替代空間廣闊。以晶圓制造設備為例，根據芯謀研究公眾號，2023 年中國晶圓廠設備采購總額將達 299 億美元，美國、日本、荷蘭、中國設備商對應市場份額分別為 43%、21%、19%和 11%，相比 2020 年，本土設備商的銷售額增長約 233%，市占率增長約 4pct，然而國際巨頭依舊主導中國設備市場，半導體設備國產替代空間廣闊。圖圖 6：2020 年中國晶圓廠設備采購額年中國晶圓廠設備采購額(億美元億美元)圖圖 7：2023E 中國晶圓廠設備采購額中國晶圓廠設備采購額(億美元億美元)資料來源：芯謀研究公眾號，國海證券研究所資料來源：芯謀研

15、究公眾號，國海證券研究所證券研究報告請務必閱讀正文后免責條款部分82022 年中國大陸半導體設備零部件市場規模約為中國大陸半導體設備零部件市場規模約為 1061 億元。億元。根據富創精密招股說明書，半導體設備成本結構中通常 90%以上為原材料（即各類零部件），考慮國際半導體設備公司毛利率通常在 40%-45%左右，全部零部件市場規模約為半導體設備市場規模的 50%-55%，根據 SEAJ 數據，2022 年中國大陸半導體設備銷售額為 282.7 億美元，我們測算，同年中國大陸半導體設備零部件市場規模約為 1061 億元（美元兌換人民幣匯率按 7.15）。半導體零部件種類繁多，目前業內多數企業僅

16、專注于特定生產工藝或特定零部件產品，行業碎片化特征顯著。國際半導體設備巨頭對零部件企業實行體系化認證管理，全部認證過程通常持續2-3 年，供應鏈粘性較強。目前半導體零部件國產化率普遍較低，以晶圓制造設備為例，2020 年中國大陸晶圓廠商采購的 8-12 寸晶圓設備零部件主要包括石英、射頻電源、真空泵、閥門、吸盤、反應腔噴淋頭、邊緣環等零部件，采購金額占比分別為 11%、10%、10%、9%、9%、8%、6%，僅石英成品、反應腔噴淋頭、邊緣環等少數幾類零部件國產化率超過 10%。中國大陸晶圓廠持續擴產疊加半導體設備國產化加速，半導體零部件國產化率有望持續提升。重點關注正帆科技重點關注正帆科技（G

17、asbox）、漢鐘精機漢鐘精機（真空泵真空泵）、英杰電氣英杰電氣（射頻電源射頻電源）、美?？萍济腊？萍迹崈魸崈粞b備及耗材），首次覆蓋，給予裝備及耗材），首次覆蓋，給予“推薦推薦”評級。評級。圖圖 8：薄膜沉積設備部件系統薄膜沉積設備部件系統資料來源：MKS Instruments Handbook 2nd Edition，MKS 官網2.1、正帆科技：正帆科技：Gasbox半導體干法設備關鍵子系統半導體干法設備關鍵子系統，Gasbox 行業壁壘較高行業壁壘較高。半導體工藝設備內部的氣路系統主要由 Gasbox、氣路和閥門構成，其中 Gasbox 是半導體干法設備中極為重要的通用子系統，主要功

18、能是將各路工藝氣體集成在一個空間環境內，并按工藝需求對不同氣體進行轉換、分配和混合，對個別關鍵工藝氣體進行精確的流量控制，根據工藝步驟的設定實現對工藝氣體開關控制燈功能，主要組件包括手動/氣動截止閥、逆止閥、質量流量控制器、壓力調節控制器、高精密過濾器、證券研究報告請務必閱讀正文后免責條款部分9墊片、鍍銀螺帽/螺絲等，具有極高的安全氣密性、耐蝕性、小型化和控制精度要求，技術門檻及行業壁壘較高。圖圖 9：Gasbox 產品產品資料來源：正帆科技公司公告2022 年中國大陸年中國大陸 Gasbox 市場規模超過市場規模超過 50 億元億元，國產化率不足國產化率不足 10%。根據富創精密招股書，氣體

19、輸送系統/模組主要用于刻蝕設備、薄膜沉積設備和離子注入設備?？涛g設備方面，根據中微公司招股說明書，2018 年直接材料成本占比約 95%，其中氣體輸送系統占當期原材料采購金額約 17.4%，即氣體輸送系統在設備成本中約占 16.5%，假設刻蝕設備毛利率為 45%，則氣體輸送系統價值量約占刻蝕設備價值量的 9.1%。薄膜沉積設備方面，根據拓荊科技招股說明書，2020 年直接材料成本占比約 90%，其中氣體輸送系統占當期原材料采購金額約7.5%，即氣體輸送系統在設備成本中約占 6.8%，假設薄膜沉積設備毛利率為45%，則氣體輸送系統價值量約占薄膜沉積設備價值量的 3.7%。2022 年中國大陸 2

20、82.7 億美元，刻蝕設備、薄膜沉積設備大約各占 20%，我們測算，2022 年中國大陸 Gasbox 市場規模超過 50 億元（美元兌換人民幣匯率按 7.15）。目前Gasbox 國產化率不足 10%，超科林、富士金等國外供應商在國內市場占據主導地位，中國大陸基本只有正帆科技（子公司鴻舸半導體）和富創精密具備供應能力。圖圖 10：中微公司直接材料成本結構（中微公司直接材料成本結構（2018 年）年）圖圖 11：拓荊科技直接材料成本結構（拓荊科技直接材料成本結構（2020 年）年）資料來源：中微公司招股說明書，國海證券研究所資料來源：拓荊科技招股說明書，國海證券研究所證券研究報告請務必閱讀正文

21、后免責條款部分10正帆科技是國內領先的工藝介質系統供應商，面向泛半導體、生物醫藥等高科正帆科技是國內領先的工藝介質系統供應商，面向泛半導體、生物醫藥等高科技產業提供關鍵系統、核心材料和專業服務。技產業提供關鍵系統、核心材料和專業服務。（1）高純介質供應系統高純介質供應系統：是公司傳統主業，東橫化學、帆宣科技、法液空等海外供應商在 IC、顯示等領域仍占據主要份額，據正帆科技 2023 中報，高純介質供應系統目前國產化率約 30%，正帆科技和至純科技是本土主流供應商，受益半導體、光伏等行業擴產需求及 CAPEX 國產替代加速，高純介質供應系統業績有望持續穩健增長。（2）Gasbox：2022 年公

22、司投資設立鴻舸半導體（目前持股 60%）布局 Gasbox業務，根據公司 2023 年 9 月 30 日投資者交流紀要，2023 年 Gasbox 產品已經全面穩產，全年收入和新簽合同增速預計均會超過公司業績平均增速，目前已向北方華創、拓荊科技、中微公司、晶盛機電等國內頭部半導體設備商，以及邁為股份等光伏電池片設備商批量供貨，有望優先受益于 Gasbox 國產替代加速。（3）氣體業務氣體業務：是公司拓展 OPEX 業務的支柱戰略，也是公司近年主要的產品開發和投資方向，主要圍繞電子特氣、工業氣和先進材料三個方向，銅陵電子特氣項目、濰坊大宗氣項目以及合肥高純氫氣項目將于 2023H2 逐步投產，此

23、外，銅陵電子材料生產基地即將投產的先進材料主要是前驅體（半導體薄膜沉積/外延/刻蝕等工藝所需關鍵材料），公司將覆蓋 20 余種前驅體，涉及硅基、金屬基、High-K 和 Low-K 四大品類，目前正在客戶導入階段，預計 2024 年逐步量產，根據 QYResearch，2022 年國內前驅體市場規模約為 62 億元（美元兌換人民幣匯率按 7.15），國產化率不足 5%，隨著公司產能建設順利推進，隨著公司產能建設及客戶拓展持續推進，氣體業務有望成為新的增長點。圖圖 12：正帆科技業務結構正帆科技業務結構資料來源：正帆科技公司公告，wind，國海證券研究所2.2、漢鐘精機：真空泵漢鐘精機：真空泵證

24、券研究報告請務必閱讀正文后免責條款部分11干式真空泵是半導體設備中的關鍵零部件干式真空泵是半導體設備中的關鍵零部件，可用于單晶拉晶、Load-lock、刻蝕、CVD、ALD、封裝、測試等清潔或嚴苛制程，半導體應用將對干式真空泵的耐腐蝕性、抽速、能耗、可靠性、穩定性、一致性等指標提出嚴格要求。Edwards、Ebara、Kashiyama 等國外企業占據半導體真空泵約 90%市場份額，漢鐘精機、中科儀是本土主流供應商。（1）存量替換存量替換：根據半導體產業縱橫公眾號（2023 年 11 月 26 日），目前中國大陸 12 英寸晶圓產能約 113.9 萬片/月（含在建 15 座），8 英寸晶圓產能

25、約104.1 萬片/月（含在建 8 座）、折合 12 英寸產能約 46.3 萬片/月，根據中科儀招股說明書，對于 12 英寸晶圓產線，每 3.5 萬片/月產能需要約 2000 臺真空泵，假設存量真空泵每年更換 20%，按均價 10 萬元/臺，我們測算，目前中國大陸我們測算，目前中國大陸半導體真空泵存量替換市場規模超過半導體真空泵存量替換市場規模超過 18 億元。億元。（2）增量采購增量采購：根據全球半導體觀察公眾號（2023 年 11 月 11 日），未來五年中國大陸將新增 24 座 12 英寸晶圓廠，規劃產能 222.3 萬片/月，我們測算，我們測算，未來五年中國大陸僅未來五年中國大陸僅 1

26、2 英寸擴產貢獻真空泵增量市場規模為英寸擴產貢獻真空泵增量市場規模為 127 億元億元、年均年均約約25 億元。億元。圖圖 13：漢鐘精機半導體真空泵漢鐘精機半導體真空泵資料來源：漢鐘精機公司公告，國海證券研究所公司是國內螺桿式制冷壓縮機領跑者，目前主營業務分為壓縮機（組）和真空公司是國內螺桿式制冷壓縮機領跑者，目前主營業務分為壓縮機（組）和真空泵兩大板塊，其中壓縮機（組）又分為制冷和空壓兩大產品。泵兩大板塊，其中壓縮機（組）又分為制冷和空壓兩大產品。（1）制冷產品制冷產品：主要包括商用中央空調用壓縮機、冷凍冷藏壓縮機、熱泵壓縮機，其中，中央空調部分占比最高，市場相對平穩；冷凍冷藏部分受益于冷

27、鏈及預制菜等行業發展，成長相對較快；熱泵部分煤改電市場空間大，替代空間廣闊。（2）空壓產品空壓產品：主要用于工程機械等氣源動力行業，業務發展與制造業景氣度息息相關，在傳統有油空壓機市場外，公司開始著重發力渦旋、螺桿、離心式無油空壓機等高端應用市場，無油壓縮機產品附加值更高，是公司空壓產品的重要發展方向。（3）真空泵產品真空泵產品：目前主要用于光伏和半導體行業，光伏領域，公司真空泵主要用于拉晶和電池片環節，拉晶環節占比較多，目前已和國內光伏頭部企業及重要設備商（隆基綠能、通威股份、中環股份、晶盛機電、捷佳偉創等）建立長期證券研究報告請務必閱讀正文后免責條款部分12合作關系，公司 2020H2 開

28、始批量進入電池片環節，目前市占率相對較低，產品主要用于 PERC，TOPCon 真空泵的出貨量有所增加，HJT 真空泵目前處于客戶測試階段。半導體領域，目前公司半導體真空泵在清潔、中度嚴苛、嚴苛制程都有推廣使用，目前多用于相對潔凈制程，公司與國內部分機臺商、晶圓廠已有合作，目前有一定的小批量出貨。隨著臺中廠三期及上海廠三期產能建設順利完成，真空泵成長空間有望進一步打開。圖圖 14：漢鐘精機業務結構漢鐘精機業務結構資料來源：漢鐘精機公司公告，wind，國海證券研究所2.3、英杰電氣：射頻電源英杰電氣：射頻電源2022 年中國大陸半導體射頻電源市場規模約為年中國大陸半導體射頻電源市場規模約為 44

29、 億元。億元。半導體射頻電源是可以產生固定頻率的正弦波、具有一定頻率的高頻電源，主要由射頻信號源、射頻功率放大器和阻抗匹配器組成，作為等離子體配套電源，射頻電源廣泛應用于半導體刻蝕、薄膜沉積和離子注入等設備。根據芯謀研究，2020 年中國大陸晶圓廠商采購的設備零部件中，射頻電源約占 10%，對于刻蝕設備和薄膜沉積設備，假設毛利率均為 45%，射頻電源約占設備價值量 5.5%。根據前文，2022 年中國大陸 282.7 億美元，刻蝕設備、薄膜沉積設備大約各占 20%，我們測算，僅考慮刻蝕設備、薄膜沉積設備，2022 年中國大陸半導體射頻電源市場規模為 44億元（美元兌換人民幣匯率按 7.15）。

30、根據 QYResearch 公眾號（2023 年 8 月23 日），全球半導體射頻電源核心供應商包括 MKS Instruments、AdvancedEnergy、DAIHEN Corporation、XP power（Comdel）和 Trumpf，CR3 約為45%，國內供應商主要包括英杰電氣、恒運昌、北方華創（旗下北廣科技）等，國產化率低，高端產品尚未國產化。證券研究報告請務必閱讀正文后免責條款部分13圖圖 15：英杰電氣業務結構英杰電氣業務結構資料來源：英杰電氣公司公告，wind，國海證券研究所英杰電氣是國內工業電源領先供應商，目前主要產品包括以功率控制電源、特英杰電氣是國內工業電源領

31、先供應商，目前主要產品包括以功率控制電源、特種電源為代表的工業電源，以及新能源充電樁種電源為代表的工業電源，以及新能源充電樁/站。站。（1）光伏光伏：據公司 2022 年報，公司在光伏行業的市占率常年保持 70%以上，主要分為單晶（硅片）、多晶（硅料）和電池片三塊業務，根據公司 2023 年 12月 7 日投資者調研紀要，目前公司單晶訂單同比增長 20%多，單晶訂單同比下降 20%多，電池片是 2023 年新增業務、最近兩個月也有上量趨勢，光伏訂單同比去年基本持平。電池片領域，公司目前主要供應濺射電源，目前處于國產替代初期，公司在 TOPCon 和 HJT 兩種技術路線上均有產品進行測試，未來

32、成長空間廣闊。（2）半導體半導體：根據公司 2023 年 12 月 7 日投資者交流紀要，2023 年 10 月起，射頻電源訂單呈現批量上升狀態，目前射頻電源總訂單已超 9000 萬元，其中大部分是半導體設備端的射頻電源。公司和中微公司已經合作多年，同時和業內其他知名企業也有合作，隨著產品驗證及客戶拓展持續加速，公司半導體電源業務有望步入快速成長期。（3）充電樁充電樁：全資子公司四川蔚宇開發的交流充電樁是國內首臺通過美國 UL認證的交流充電樁產品，直流樁 UL 認證及 CE 認證正在進行，公司積極擴充充電樁產能，同時開拓儲能業務，充電業務有望快速發展。2.4、美?？萍迹簼崈粞b備及耗材美?？萍迹?/p>

33、潔凈裝備及耗材潔凈室是半導體制造業的重要環節，直接決定產品良率。潔凈室是半導體制造業的重要環節，直接決定產品良率。潔凈室主要用于去除空氣中的顆粒物和化學物質，IC 產業鏈的主要環節基本都需要在潔凈室中完成，且對潔凈度的要求較高。通常半導體潔凈室所管控的污染物直徑相當于半線寬，即 5nm 制程要求管控 2.5nm 污染物，因此先進制程持續發展將對潔凈度提出更高要求。證券研究報告請務必閱讀正文后免責條款部分14圖圖 16：IC 制造工藝與潔凈室制造工藝與潔凈室資料來源：美?？萍颊泄烧f明書2019 年國內潔凈室設備年國內潔凈室設備/空氣過濾器市場規模已超空氣過濾器市場規模已超 900 億元億元/已達

34、已達 95 億元億元。受益國內半導體、液晶面板、生物醫藥、食品加工等行業的潔凈廠房建設，據沙利文的數據顯示，2019 年國內潔凈室設備市場規模已超 900 億元，預計 2024 年將超 1400 億元。據中研網數據，2019 年國內空氣過濾器市場規模已達 95 億元，預計 2025 年將達 150 億元。圖圖 17：2015-2024E 中國潔凈室凈化設備市場規模中國潔凈室凈化設備市場規模圖圖 18：2014-2025E 中國空氣過濾器市場規模中國空氣過濾器市場規模資料來源：美?？萍颊泄烧f明書，Frost&Sullivian，國海證券研究所資料來源：美?？萍颊泄烧f明書，中研網，國海證券研究所證

35、券研究報告請務必閱讀正文后免責條款部分15圖圖 19：2019 年中國潔凈室工程行業下游需求占比年中國潔凈室工程行業下游需求占比資料來源：圣暉集成招股說明書，智研咨詢，國海證券研究所美?？萍忌罡麧崈羰翌I域二十多年美?？萍忌罡麧崈羰翌I域二十多年，現已成為半導體潔凈裝備現已成為半導體潔凈裝備（風機過濾單元風機過濾單元）和耗材（過濾器）的國產化龍頭，客戶覆蓋國內外半導體龍頭企業。和耗材（過濾器）的國產化龍頭，客戶覆蓋國內外半導體龍頭企業。（1）風機過濾單元風機過濾單元：公司產品性能領先，客戶基礎牢固，目前在國內半導體潔凈室領域市占率約 30%、位居行業第一，受益高管全球化背景、制造基地海內外協同布局

36、，2020-2022 年海外收入 CAGR 接近 50%。同時橫向拓展新能源、生物醫藥等領域，有望充分受益下游多類市場需求釋放。（2）過濾器過濾器：過濾器毛利率較高，行業需求年度波動較小。國內方面，公司通過持續降本、節能改造等方式增加客戶黏性，進而提升耗材復購率。海外方面，受益產品性價比、售后服務質量等優勢，公司海外客戶認證持續加速，耗材業務有望開啟廣闊增長空間。圖圖 20：美?？萍贾饕a品美?？萍贾饕a品資料來源：美?？萍颊泄烧f明書，國海證券研究所證券研究報告請務必閱讀正文后免責條款部分163、風險提示風險提示1）半導體市場需求恢復不及預期；2）半導體行業資本開支不及預期；3）半導體設備及零

37、部件國產化不及預期；4）國外對華半導體設備限制力度變化風險；5）關注標的產品研發及客戶驗證進度不及預期；6）重點關注公司業績不達預期風險。國海證券股份有限公司國海證券研究所請務必閱讀正文后免責條款部分【機械小組介紹】【機械小組介紹】姚健，復旦大學財務學碩士，7 年證券從業經驗，現任國海證券機械研究團隊首席分析師，主要覆蓋鋰電設備、光伏設備、激光、檢測檢驗、工業機器人、自動化、工程機械等若干領域，專注成長股挖掘。杜先康，中國人民大學金融碩士，現任國海證券機械分析師，主要覆蓋光伏設備、半導體設備等領域。李亦桐，美國賓夕法尼亞大學碩士，哈爾濱工業大學學士，現任國海證券機械分析師，主要覆蓋通用自動化、

38、刀具、工控等領域?！痉治鰩煶兄Z】【分析師承諾】姚健,杜先康,本報告中的分析師均具有中國證券業協會授予的證券投資咨詢執業資格并注冊為證券分析師，以勤勉的職業態度，獨立，客觀的出具本報告。本報告清晰準確的反映了分析師本人的研究觀點。分析師本人不曾因，不因，也將不會因本報告中的具體推薦意見或觀點而直接或間接收取到任何形式的補償?！緡ＷC券投資評級標準】【國海證券投資評級標準】行業投資評級推薦：行業基本面向好，行業指數領先滬深 300 指數；中性：行業基本面穩定，行業指數跟隨滬深 300 指數；回避：行業基本面向淡，行業指數落后滬深 300 指數。股票投資評級買入：相對滬深 300 指數漲幅 20%以

39、上；增持：相對滬深 300 指數漲幅介于 10%20%之間；中性：相對滬深 300 指數漲幅介于-10%10%之間；賣出：相對滬深 300 指數跌幅 10%以上?！久庳熉暶鳌俊久庳熉暶鳌勘緢蟾娴娘L險等級定級為 R3，僅供符合國海證券股份有限公司（簡稱“本公司”）投資者適當性管理要求的客戶（簡稱“客戶”）使用。本公司不會因接收人收到本報告而視其為客戶?？蛻艏?或投資者應當認識到有關本報告的短信提示、電話推薦等只是研究觀點的簡要溝通，需以本公司的完整報告為準，本公司接受客戶的后續問詢。本公司具有中國證監會許可的證券投資咨詢業務資格。本報告中的信息均來源于公開資料及合法獲得的相關內部外部報告資料，本

40、公司對這些信息的準確性及完整性不作任何保證，不保證其中的信息已做最新變更，也不保證相關的建議不會發生任何變更。本報告所載的資料、意見及推測僅反映本公司于發布本報告當日的判斷，本報告所指的證券或投資標的的價格、價值及投資收入可能會波動。在不同時期，本公司可發出與本報告所載資料、意見及推測不一致的報告。報告中的內容和意見僅供參考，在任何情況下，本報告中所表達的意見并不構成對所述證券買賣的出價和征價。本公司及其本公司員工對使用本報告及其內容所引發的任何直接或間接損失概不負責。本公司或關聯機構可能會持有報告中所提到的公司所發行的證券頭寸并進行交易，還可能為這些公司提供或爭取提供投資銀行、財務顧問或者金

41、融產品等服務。本公司在知曉范圍內依法合規地履行披露義務?！撅L險提示】【風險提示】市場有風險，投資需謹慎。投資者不應將本報告視為作出投資決策的唯一參考因素，亦不應認為本報告可以取代國海證券股份有限公司國海證券研究所請務必閱讀正文后免責條款部分自己的判斷。在決定投資前，如有需要，投資者務必向本公司或其他專業人士咨詢并謹慎決策。在任何情況下，本報告中的信息或所表述的意見均不構成對任何人的投資建議。投資者務必注意，其據此做出的任何投資決策與本公司、本公司員工或者關聯機構無關。若本公司以外的其他機構（以下簡稱“該機構”）發送本報告，則由該機構獨自為此發送行為負責。通過此途徑獲得本報告的投資者應自行聯系該機構以要求獲悉更詳細信息。本報告不構成本公司向該機構之客戶提供的投資建議。任何形式的分享證券投資收益或者分擔證券投資損失的書面或口頭承諾均為無效。本公司、本公司員工或者關聯機構亦不為該機構之客戶因使用本報告或報告所載內容引起的任何損失承擔任何責任?！距嵵芈暶鳌俊距嵵芈暶鳌勘緢蟾姘鏅鄽w國海證券所有。未經本公司的明確書面特別授權或協議約定，除法律規定的情況外，任何人不得對本報告的任何內容進行發布、復制、編輯、改編、轉載、播放、展示或以其他任何方式非法使用本報告的部分或者全部內容，否則均構成對本公司版權的侵害，本公司有權依法追究其法律責任。