2022年半導體零部件市場國產化空間及海外龍頭公司研究報告（62頁）.pdf

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1、2022 年深度行業分析研究報告 目錄 1 種類繁雜，半導體零部件成國產化新戰場.3 1.1 半導體設備是高集成的復雜系統.3 1.2 設備零部件百億美元市場空間.10 1.3 國產化突破的五重難點.11 2 全球市場：分散和壟斷并存.16 2.1 細分市場高度分散，美日廠商主導.16 2.2 核心零部件壟斷程度高.17 3 海外龍頭觀察：細分領域領先者各有所長.24 3.1 MKS：電氣系統平臺型公司.24 3.2 UCT：氣液系統模組龍頭.25 3.3 Edwards：真空和尾氣處理龍頭供應商.27 3.4 Advanced Energy：專注電源領域.28 4 百舸爭流，國產替代初具雛形

2、.31 4.1 供不應求，國產替代空間大.31 4.2 本土廠商嶄露頭角，細分賽道實現突破.32 插圖目錄.63 表格目錄.64 插圖目錄 圖 1：半導體設備產業鏈上下游.3 圖 2：典型等離子體設備結構.3 圖 3：光刻機核心系統示意圖.5 圖 4：Cymer 的 ArF-i 光源.5 圖 5：ASML AT 1100 ArF 光刻機的光學透鏡系統.5 圖 6：光刻機雙工件臺.6 圖 7：典型干法刻蝕設備結構.6 圖 8：晶圓傳輸系統（EFEM 和 VTM）.7 圖 9：EFEM 結構.7 圖 10：傳輸腔.7 圖 11：典型 PECVD 工藝模塊.8 圖 12：臥式爐結構.8 圖 13：設

3、備公司原材料采購額結構.10 圖 14：半導體設備全球市場規模.11 圖 15：陽極氧化膜生長過程圖示.13 圖 16：電解拋光原理圖.13 圖 17：2020 年中國晶圓廠商采購 8-12 寸晶圓設備零部件產品結構.16 圖 18：機械手的部分應用.18 圖 19：全球半導體機械手市場銷售額及增長率（百萬美元）.18 圖 20：2020 年半導體機械手龍頭企業地域分布.19 圖 21：干式真空泵在半導體行業中的應用.19 圖 22：全球半導體真空泵市場規模情況（億元）.20 圖 23：靜電吸盤結構圖.21 圖 24：靜電吸盤示意圖.21 圖 25：中國市場靜電吸盤收入（百萬元）.22 圖 2

4、6：射頻電源原理框圖.22 圖 27：射頻電源應用場景.23 圖 28：MKS 產品類型.24 圖 29：MKS 并購事件.25 圖 30：2012-2021 營收和利潤（億元）.25 圖 31：2012-2021 利潤率情況.25 圖 32：UCT 制造和服務基地全球布局.26 圖 33：UCT 發展歷程.26 圖 34：2015-2021 營收和利潤（億元）.27 圖 35：2015-2021 利潤率情況.27 圖 36：2022Q2 收入占比（按部門分）.27 圖 37：2022Q2 收入占比（按客戶分）.27 圖 38：Edwards 全線產品.28 圖 39：Edwards 發展歷程

5、.28 圖 40：AE 產品在半導體設備的應用.29 圖 41：AE 發展歷程.29 圖 42：2015-2021 營收和利潤（億元）.30 圖 43：2015-2021 利潤率情況.30 圖 44：CVD 腔體結構示意圖.35 圖 45：江豐電子營收利潤情況（億元）.36 圖 46：江豐電子零部件業務營收情況（億元）.36 圖 47：江豐電子分產品收入結構（億元）.36 圖 48：江豐電子分產品毛利率情況.36 圖 49：新萊應材子公司及主要產品圖示.38 圖 50：新萊應材營收利潤情況（億元）.38 圖 51：新萊應材分行業收入結構（億元）.38 圖 52：新萊應材泛半導體業務營收和毛利率

6、（億元）.39 圖 53：華亞智能參與的供應鏈圖示.41 圖 54：華亞智能營收利潤情況（億元）.41 圖 55：華亞智能分產品收入結構（億元）.41 圖 56：華亞智能與同業公司半導體零部件業務毛利率情況.42 圖 57：Compart 的能力與服務金字塔.45 圖 58：Compart 公司低端組件（LLA）圖示.45 圖 59：Compart 公司半導體零配件圖示.45 圖 60：浙江鐠芯營收利潤情況（億元）.46 圖 61：英杰電氣營收利潤情況（億元）.47 圖 62：英杰電氣分行業收入結構（億元）.47 圖 63：英杰電氣半導體等電子材料業務營收情況（億元）.48 圖 64：富創精密

7、部分產品應用例示（以刻蝕設備為例）.49 圖 65：富創精密產品已進入多家龍頭廠商供應鏈.49 圖 66：富創精密營收及利潤（億元）.50 圖 67：富創精密各市場區域營收情況（億元）.50 圖 68：富創精密分產品營收情況（億元）.50 圖 69：富創精密分產品毛利率情況.50 圖 70：氣體供應系統圖示.52 圖 71：Gas Box 圖示.52 圖 72：正帆科技營收利潤情況（億元）.53 圖 73：正帆科技營收結構（億元）.53 圖 74：正帆科技利潤率.53 圖 75：漢鐘精機營收利潤情況（億元）.54 圖 76：漢鐘精機真空產品收入結構（億元）.54 圖 77：漢鐘精機真空產品營收

8、（億元）及毛利率.55 圖 78：神工股份硅電極零部件產品圖示.56 圖 79：神工股份營收利潤情況（億元）.57 圖 80：神工股份分產品收入結構（億元）.57 圖 81：神工股份硅零部件業務營收情況（百萬元）.57 圖 82：華卓精科設備部件產品圖示.58 圖 83：華卓精科營收利潤情況（百萬元）.59 圖 84：華卓精科分產品收入結構（百萬元）.59 表格目錄 重點公司盈利預測、估值與評級.1 表 1：按功能性劃分的半導體零部件種類.4 表 2：不同零部件對應的設備種類和在其中的成本占比.9 表 3：國內半導體設備廠商營業成本中材料支出及占比情況.11 表 4：主要工藝零部件的工藝指標.

9、12 表 5：部分表面處理特種工藝.13 表 6：國產射頻電源產品和進口產品的部分性能對比.14 表 7：零部件種類及技術難點.14 表 8：全球前十大半導體零部件廠商.17 表 9：真空泵不同廠商對比.20 表 10：不同類型吸盤對比.21 表 11：射頻電源不同公司產品對比.23 表 12：各類零部件國產化率情況.31 表 13：8-12 寸晶圓設備主要零部件國產化情況（2021Q1）.31 表 14：國內主要零部件供應商情況.32 表 15：半導體零部件行業重點關注個股.34 表 16：江豐電子盈利預測與財務指標.37 表 17：新萊應材分業務收入預測（百萬元）.40 表 18：新萊應材

10、盈利預測與財務指標.40 表 19：華亞智能分業務收入預測（百萬元）.43 表 20：華亞智能盈利預測與財務指標.44 表 21：萬業企業盈利預測與財務指標.46 表 22：英杰電氣射頻電源產品介紹.47 表 23：富創精密產品應用最高制程水平達 7nm 的情況.51 表 24：漢鐘精機半導體真空泵產品情況.54 表 25：華卓精科設備部件產品情況.58 表 26：華卓精科核心管理團隊具有清華背景.59 表 27：新萊應材財務報表數據預測匯總.61 表 28：華亞智能財務報表數據預測匯總.62 3XUX3W2V0WtRmO9P9R8OnPqQmOsQlOnNzQfQpOnQ6MoOxOMYqM

11、nRxNmPrM 1 種類繁雜，半導體零部件成國產化新戰場 1.1 半導體設備是高集成的復雜系統 半導體設備結構復雜，體積龐大，集成度高，由種類繁多的零部件組成。而伴隨半導體制造工藝的發展，對半導體設備提出了越來越苛刻的規格要求。半導體零部件因此在材料、結構、工藝、品質、精度、可靠性、穩定性等各方面面臨更高的標準，有別于傳統機械組件。圖1：半導體設備產業鏈上下游 資料來源：富創精密招股說明書，民生證券研究院 以等離子體設備為例，圍繞反應腔周圍，分布著負責氣體調配和供應的 Gas Box 和 MFC 模塊，負責制造等離子體的射頻電源模塊，負責制造反應腔真空環境的真空模塊（包含多種泵、閥等），以及

12、多種監測壓力、真空度等反應條件的儀器儀表等，共同構建了高集成度的晶圓制造設備。圖2：典型等離子體設備結構 資料來源：MKS，民生證券研究院 半導體零部件的種類劃分有多種標準，若按照結構組成，可大致分為：機械類、電氣類、機電一體類、氣/液/真空系統類、儀器儀表類、光學類等；若按設備腔體內部流程和所實現的功能來區分，零部件可分為電源和射頻控制類、氣體輸送類、真空控制類、溫度控制類、傳送裝置類等；按照半導體零部件材料體系來分又可以分為金屬件、石英件、硅/碳化硅件、陶瓷件、石墨件、塑料件等；按半導體零部件服務對象來分，又可以分為精密機加件和通用外購件。值得注意的是這兩種類別亦代表了兩種零部件生產模式，

13、精密機加件通常由各個半導體設備公司的工程師自行設計，然后委外加工，如工藝腔室、傳輸腔室等，相對容易；而通用外購件則是一些經過長時間驗證，得到眾多設備廠和制造廠廣泛認可的通用零部件，更加具有標準化，會被不同的設備公司使用，也會被作為產線上的備件耗材來使用，例如硅結構件、0 型密封圈(ORing)、閥門、規(Gauge)、泵、氣體噴淋頭(shower head)等，由于這類部件具備較強的通用性和一致性，并且需要得到設備、制造產線上的認證，因此壁壘相對較高。表1：按功能性劃分的半導體零部件種類 類別 主要零部件類型 電源和射頻控制類 射頻發生器和匹配器、直流交流電源，等 氣體輸送類 流量控制器、氣動

14、部件、氣體過濾器，等 真空控制類 干泵冷泵分子泵等各種真空泵、控制閥鐘擺閥等各類閥件、壓力計以及 ORing 密封圈，等 真空控制類 加熱盤靜電吸盤、熱交換器及升降組件 傳送裝置類 機械手臂、EFEM、軸承、精密軌道、步進馬達等 資料來源：朱晶.半導體零部件產業現狀及對我國發展的建議J.中國集成電路，民生證券研究院 而不同的設備類型其所實現的功能不同，核心零部件的種類也有差異，以下我們將對不同設備的核心組件和其成本占比進行討論。1.1.1 光刻設備 光刻機作為一種光學設備，其主要構成包括光學相關模塊和運動相關模塊，該兩部分亦在光刻機 BOM 成本中占據較大比重，包括和光學相關的光源系統、透鏡系

15、統、浸沒系統等，以及和精密運動相關的晶圓工作臺、晶圓傳輸系統、圓模板工作臺、掩膜版傳輸系統，以及維持內部工作環境的環境電氣支持系統等。作為價值量最高的晶圓制造設備，光刻機零部件具有全球供應鏈特征。圖3：光刻機核心系統示意圖 資料來源：ASML，民生證券研究院 光學部分的核心部件為光源和透鏡系統。光刻機所采用的光源主要為波長248nm 的 KrF 光源、波長 193nm 的 ArF（干式/浸沒式）光源和波長 13.5nm 的EUV 光源，業內主要供應商為美國 Cymer，并由光刻機巨頭 ASML 于 2012 年以25 億美元收購。透鏡系統則是光源之外的另一重要環節，主要用于 DUV 的光學系統

16、中，在 EUV 時代將由一系列高精度的反射鏡系統取代，光刻機透鏡組的業內主要供應商為德國光學儀器龍頭蔡司。圖4：Cymer 的 ArF-i 光源 圖5：ASML AT 1100 ArF 光刻機的光學透鏡系統 資料來源：Cymer，民生證券研究院 資料來源：ASML，民生證券研究院 精密的運動系統亦為光刻機核心組件。當圖案在晶圓上光刻成像時，需要將掩模版沿著一個狹窄的光縫平滑移動，每次只曝光圖案的一小部分；同時，晶圓向相反的方向平穩移動，以捕捉整個圖案，二者的運動必須完全同步，因此運動控制的精度至關重要。而在晶圓平臺，由 ASML 主導了雙工件臺的設計，及同時移動兩個晶圓平臺，當一個晶圓平臺在給

17、晶圓進行曝光時，另一個平臺可對下一片晶圓進行量測校正，其速度和精度直接決定了光刻機的生產效率和良率。當前業內三大光刻機龍頭廠商 ASML、Nikon、Canon 的工件臺系統均由其 自主設計，通過自產/代工形式自主供應而不對外銷售。國內廠商華卓精科在此領域亦投入了較大研發，進行了產品驗證工作。圖6：光刻機雙工件臺 資料來源：華卓精科招股書，民生證券研究院 1.1.2 干法設備 等離子體設備包括 PECVD、干法刻蝕、干法去膠等，在晶圓制造前道環節占據主導地位和主要價值量。據 Gartner 數據，2021 年全球半導體設備市場，等離子體薄膜設備和干法刻蝕/去膠設備合計占設備市場總規模的 31%

18、，等離子體設備共有的等離子源、真空系統、氣體系統、反應腔模組等組件因此有廣泛應用，以下我們將分類討論。圖7：典型干法刻蝕設備結構 資料來源：Lam，民生證券研究院 晶圓傳輸結構包括前端的EFEM和后段的TM。設備前端的傳送模塊（EFEM，Equipment Front End Module），主要功能為將晶圓搬運至設備的 TM 腔，以及將完成加工的晶圓從 TM 腔搬出，其核心部件為一個大氣機械手（ATM robot，因其工作環境遠離反應腔，為大氣環境），業內主要供應商為日本 RORZE、美國Brooks 和國內的沈陽新松。不僅是等離子體薄膜/刻蝕設備，大多數單片加工的設備均有這一模塊，如光刻機

19、、單片清洗機、涂膠顯影機、CMP 等。圖8：晶圓傳輸系統（EFEM 和 VTM）圖9：EFEM 結構 資料來源：2019 Annual Reliability and Maintainability Symposium，民生證券研究院 資料來源：RORZE，民生證券研究院 而設備后段的傳輸平腔（TM，transfer module），其作用是連接 EFEM 和反應腔（PM），并承擔晶圓傳輸的作用。在等離子體薄膜/刻蝕設備中，傳輸腔一般為真空環境（VTM，vaccum transfer module）。傳輸腔的主要組成包括腔體、中央的真空機械手、傳輸腔與反應腔連接處的門閥，以及各種真空密封件。圖

20、10：傳輸腔 資料來源：Cymechs，民生證券研究院 包含反應腔在內的工藝模塊（PM，process module）則有著更為復雜的結構和功能。等離子體薄膜/刻蝕設備的工藝模塊包括產生射頻電壓的射頻發生器、外部供氣模塊（Gas box、Gasline、MFC 等）、創造真空環境的泵、閥、密封件、真空儀表等，以及反應腔。而反應腔內部又有承載晶圓的靜電卡盤（E-chuck）、電極、氣體噴淋頭等零部件。圖11：典型 PECVD 工藝模塊 資料來源：AZO Materials，民生證券研究院 1.1.3 熱處理設備 熱處理設備，主要包括各類立式爐、臥式爐，主要用于氧化、退火等工藝，亦在晶圓制造過程中

21、有廣泛使用。爐管設備的主要零部件包括石英管、氣體供應模塊、溫控模塊，以及各類泵、閥、密封件等。圖12：臥式爐結構 資料來源：MKS，民生證券研究院 1.1.4 各類零部件價值量占比 經過上述討論，不難看出機械類和電氣類零部件為大多數半導體設備的主要組成部分，并廣泛應用于各種設備類型。氣/液/真空系統則依照設備的功能性不同而搭載。儀器儀表類亦有較強的通用性，但在設備 BOM 成本中占比相對低。而光學類零部件較為特殊，僅在光刻和量測類設備種有使用，但在這兩類特定設備種有較高的價值量占比。表2：不同零部件對應的設備種類和在其中的成本占比 分類 占設備成本的比例 零部件具體類別 技術要求 所應用的主要

22、設備 在設備中發揮 的主要作用 機械類 20%-40%金屬工藝件：反應腔、傳輸腔、過渡腔、內襯、勻氣盤等金屬結構件：托盤、冷卻板、底座、鑄鋼平臺等非金屬機械件：石英、陶瓷件、硅部件、靜電卡盤、橡膠密封件等 滿足加工精度、耐腐蝕性、密封性、潔凈度、真空度等指標 所有設備 設備中起到構建整體框架、基礎結構、晶圓反應環境和實現零部件特殊功能的作用，保證反應良率，延長設備使用壽命 電氣類 10%-20%射頻電源、射頻匹配器、遠程等離子源、供電系統、工控電腦等 滿足輸出功率的穩定性、電壓質量、波形質量、頻率質量等指標 所有設備 在設備中起到控制電力、信號、工藝反應制程的作用 機電一體類 10%-25%E

23、FEM、機械手、加熱帶、腔體模組、閥體模組、雙工機臺、浸液系統、溫控系統等 滿足真空度、潔凈度、放氣率、SEMI 定制標準等指標，同時保證多次使用后的一致性和穩定性，不同具體產品要求差別較大 所有設備 其中雙工機臺和浸液系統僅用于光刻設備 在設備中起到實現晶圓裝載、傳輸、運動控制、溫度控制的作用，部分產品包含機械類產品 氣體/液體/真空系統類 10%-30%氣體輸送系統類：氣柜、氣體管路、管路焊接件等 滿足真空度、耐腐蝕性、潔凈度、SEMI 定制標準等指標 薄膜沉積設備、刻蝕設備和離子注入設備等干法設備 在設備中起到傳輸和控制特種氣體、液體和保持真空的作用 真空系統類：干泵、分子泵、真空閥門等

24、 滿足抽氣后的真空指標、可靠性、穩定性、一致性等指標 薄膜沉積設備、刻蝕設備和離子注入設備等干法設備 氣動液壓系統類：閥門、接頭、過濾器、液體管路等 滿足真空度、表面粗糙度、潔凈度、使用壽命、耐液體腐蝕等指標 化學機械拋光設備、清洗設備等濕法設備 儀器儀表類 1%-3%氣體流量計、真空壓力計等 滿足量程時間、流量測量精度、溫度測量精度、壓力測量精度、溫度影響小等指標 所有設備 在設備中起到控制和監控流量、壓力、真空度、溫度等數值的作用 光學類 55%光學元件、光柵、激光源、物鏡等 滿足制造精度、分辨率、曝光能力、光學誤差小等指標 光刻設備、量測設備等 在光學設備中起到控制和 傳輸光源的作用 其

25、他 3%-5%定制裝置、耗材等 滿足相應設備要求的定制化指標 所有設備 實現設備運行的作用 資料來源：富創精密招股書，民生證券研究院 通過比較國內三家代表性設備供應商，我們發現等干法設備（如拓荊科技的PECVD、屹唐股份的干法去膠和干法刻蝕設備）往往電氣類和機電一體類零部件占比更高，二者的招股書最新報告期內電氣類+機電一體類零部件占比分別達到39%和 43%；而濕法設備（如華海清科的主業 CMP 設備）等沒有真空反應腔，沒有氣體反應的設備，往往 BOM 成本中機械零部件的占比往往較高，華海清科2021 年采購額中，機械零部件占比達 67%。圖13：設備公司原材料采購額結構 資料來源：華海清科招

26、股說明書，拓荊科技招股說明書，屹唐股份招股說明書，民生證券研究院整理 1.2 設備零部件百億美元市場空間 作為半導體設備的主要成本構成，半導體設備零部件亦有百億美元級別的市場空間。近年來，全球半導體設備市場規模逐步擴張。據 WSTS 統計，2010 年到 2020年，全球半導體產品市場規模從 2,983 億美元迅速提升至 4,404 億美元，預計到2030 年，全球半導體市場規模有望達到萬億美元。半導體設備的市場景氣度與半導體市場規模高度相關。根據 SEMI 統計，全球半導體設備銷售規模從 2010 年395 億美元增長到 2021 年的 1026 億美元，其中中國大陸市場 296 億美元。S

27、EMI預計到 2022 年將進一步增長 15%至 1,175 億美元。31%36%14%11%4%3%華海清科2021機械標準件機械加工件液路元件電氣元件氣動元件其他28%27%12%8%7%5%12%拓荊科技2021Q1-Q3機械類電氣類機電一體類氣體輸送系統類真空系統類儀器儀表類其他39%23%20%8%3%6%屹唐股份2021H1機械類機電一體類電氣類氣體輸送系統類真空系統類其他 圖14：半導體設備全球市場規模 資料來源：SEMI，民生證券研究院 設備市場的快速增長帶動設備零部件需求。據我們統計，國內半導體設備上市公司年度營業成本中，材料采購成本占比約在 85-95%，而毛利率約在 38

28、-45%左右（即成本率 55-62%），可推算材料采購成本約為公司當年營收的 50%左右。據此我們推算，2021 年全球半導體設備市場 1025 億美元對應 500 億美元左右的零部件采購額，中國大陸市場 296 億美元設備市場對應零部件市場約 150億美元。表3：國內半導體設備廠商營業成本中材料支出及占比情況 2021 年材料成本（億元）占營業成本比重 毛利率 北方華創 50.49 86.07%39%中微公司 12.81 88.38%43%盛美上海 8.41 92.59%43%華海清科 4.13 92.87%45%芯源微 4.76 93.48%38%長川科技 6.43 88.26%52%中科

29、飛測 1.54 84.04%49%資料來源：各公司年報及招股說明書，民生證券研究院 1.3 國產化突破的五重難點 半導體設備零部件的種類繁多，其中機械類屬于應用最廣的品類，我國在其主要產品技術方面已實現突破和國產替代。其他種類的產品也在不斷實現技術突破，但產品穩定性與一致性仍與國際先進水平存在差距，并且在高端先進制程應用中的國產化率更低、突破難度更高，國產化進程仍面臨諸多難點。-20%0%20%40%60%0200400600800100012001400全球設備市場規模（億美元）YOY （1）對原料的性能要求高 我國機械加工產業成熟，但材料產業基礎較為薄弱，具體指標尚待精進。如精密陶瓷件對原

30、料關鍵指標的要求較高，需要高純度、高精密度、非常均勻且穩定的組織結構，國內材料廠尚處于研發環節。（2）后工序處理難度大 公司半導體設備精密零部件產品具備高精密、高潔凈、高耐腐蝕、耐擊穿電壓等性能，因此在加工件中，形狀加工僅是基礎，僅滿足形狀精度要求，后端的表面處理與清洗工藝中有更多的技術積累。例如對于反應腔而言，需要同時具備耐腐蝕、耐擊穿、高潔凈度，并能實現高密封性和高真空度。表4：主要工藝零部件的工藝指標 主要產品 指標 工藝標準（富創精密制定）過渡腔 耐腐蝕性 產品可實現酸性鹽霧環境中幾十天膜層不發生腐蝕 密封性 氦測漏率（即標準大氣壓下，每秒鐘側漏氦氣量）達到極低水平 潔凈度 在百級潔凈

31、室進行高潔凈度化學清洗、包裝，產品可達到紫外線檢測下表面無可視熒光粒子 傳輸腔 耐腐蝕性 同過渡腔 密封性 同過渡腔 潔凈度 同過渡腔 真空度 可達極低的 torr 數值（真空狀態下，氣體稀薄程度通常用氣體的壓力值來表示，壓力值越小則表示氣體越稀薄，真空度越高，torr 為氣體壓強單位）反應腔 耐腐蝕性 陽極膜層在鹽酸中浸泡數小時不產生任何氣泡 密封性 同過渡腔 潔凈度 同過渡腔 真空度 同傳輸腔 耐擊穿電壓 每 0.001 英寸膜厚的耐擊穿電壓達到較高水平 內襯 耐腐蝕性 陽極膜層在鹽酸中浸泡數小時不產生任何氣泡 致密性 孔隙率（多孔物體的孔隙體積和總體積之比）達到較低水平 潔凈度 LPC

32、液態粒子檢測（在標準體積的溶液里檢測出的大于 0.2 微米的粒子數量需要低于一定數量）和 ICP 金屬元素檢測（每平方厘米允許含有的不同金屬原子需要低于一定數量）耐擊穿電壓 每 0.001 英寸膜厚的耐擊穿電壓需達到較高水平，該指標內襯低于反應腔 勻氣盤 潔凈度 LPC 液態粒子檢測（在標準體積的溶液里檢測出的大于 0.2 微米的粒子數量需要低于一定數量）和 ICP 金屬元素檢測（每平方厘米允許含有的不同金屬原子需要低于一定數量）微孔加工 加工最小孔徑為 0.3 毫米，孔口無毛刺，微孔孔徑尺寸公差可控制在幾微米內，孔徑一致性標準差值可控制在幾微米內 資料來源：富創精密招股說明書，民生證券研究院

33、 而要實現這樣嚴苛的性能指標，表面處理技術至關重要。以干法制程和濕法制程為例，濕制程通常處于強酸、強堿環境中，往往需要對零部件表面進行陽極氧化和化學鍍膜。而干法制程通常處于腐蝕性氣氛和高溫環境，對表面處理要求更高，常用的是電解拋光和等離子噴涂工藝，以提升零部件表面的耐腐蝕性。表5：部分表面處理特種工藝 分類 表面處理 代表工藝 簡介 作用 濕式制程 清洗 化學清洗 利用化學方法及化學藥劑去除零部件表面對晶圓加工有害的有機及無機污染物，如油脂、硅、銅、鐵等 滿足高潔凈度標準，防止晶片反應過程中受到污染 氧化 陽極氧化 鋁及其合金在硫酸電解液的工藝條件下，在外加電流的作用下，在鋁制品(陽極)上形成

34、一層氧化膜的過程 硬質陽極膜層為陶瓷膜層，不導電，增強其耐腐蝕及耐擊穿電壓性能 鍍層 化學鍍鎳 通過電解或化學方法在金屬或某些非金屬上鍍上一層鎳的工藝方法 提高表面硬度、耐腐蝕耐磨，還可滿足焊接、防擴散性、電、磁性能等 干式制程 拋光 電解拋光 針對金屬原材料工件的表面光亮處理，以被拋工件為陽極，不溶性金屬為陰極，兩極同時浸入到電解槽中，通以直流電而產生有選擇性的陽極溶解 在實現工件表面逐漸整平的過程，可以提升表面光亮度和耐腐蝕性 噴涂 等離子噴涂 由直流電驅動的等離子電弧作為熱源，將陶瓷、合金等加熱到熔融或半熔融狀態，并以高速噴向經過預處理的工件表面而形成附著牢固的表面層的方法 噴涂膜層具有

35、耐磨、耐蝕、耐高溫氧化等性能。目前已經成熟應用的膜層為氧化釔膜層 噴砂 噴砂 利用高速砂流的沖擊作用清理和粗化金屬表面的過程 使工件的表面獲得一定的清潔度和粗糙度，提高抗疲勞性，增加和涂層之間的附著力，延長涂膜耐久性 資料來源：富創精密招股說明書，民生證券研究院 圖15：陽極氧化膜生長過程圖示 圖16：電解拋光原理圖 資料來源：鋁陽極氧化膜及生長機理的研究進展，民生證券研究院 資料來源：SLM 成形復雜構件表面電解拋光工藝研究，民生證券研究院 （3）復雜電氣類產品的開發研制難度高 半導體設備是復雜的機電一體化系統，其中涉及到大量的電氣組件使用，相較金屬加工件，電氣類組件的結構更復雜，國內相關廠

36、商仍處于起步階段。例如泵產品，雖然沈陽科儀已成為國內晶圓線干泵的主要供應商之一，但半導體級的高真空度冷凝泵（cryopump）和渦輪泵（turbopump）國產化率仍舊較 低。又如射頻電源（RF generator）這類控制工藝制程的核心模塊，直接關系到反應腔內等離子體的濃度與均勻度，對其輸出功率的穩定性、電壓質量、頻率質量等指標要求極高。國內產品與 AE、MKS 等國際先進產品尚有差距，少量應用于國內半導體設備廠商。表6：國產射頻電源產品和進口產品的部分性能對比 國產 MKS 射頻電源 效率 75%85%頻率穩定精度 0.005%0.005%諧波-45dBc-30dBc 調諧范圍 5%10%

37、資料來源：各公司官網，民生證券研究院（4）認證體系復雜，周期長 半導體設備行業內有較為嚴格的認證體系和供應商資質認證體系，若要進入國內外設備廠商的供應鏈，需要經過長期且嚴苛的客戶認證，獲得認證后也要持續進行不定期的資質復審，才能與下游客戶建立長期穩定的合作關系。（5）市場碎片化 例如 Gauge、MFC、O-ring 等零部件，不僅對精度和材料的要求高，而且半導體級產品的市場規模很小，各品類下的廠商體量都較小。通常用于食品、醫藥等領域的產品不滿足半導體級規格，半導體級產品存在較多技術壁壘、軟實力要求高，有許多 Know-How。表7：零部件種類及技術難點 種類 技術難點 硅碳化硅件 原物料，加

38、工工藝和精度均存在難點 石英件 純度，加工精度存在難點；雜質含量、原材料匹配性、表面顆粒質量、應力質量、加工精度都是關鍵因素 陶瓷件 難點在 ESC 靜電吸盤 真空件-真空泵：氣體動力學設計、材料、微米級精密加工，表面處理、精密裝配。-真空規：測量工藝真空、壓力測量的要求高，型號多樣。-高真空壓力計：測量超高真空工藝環境壓力，形制特殊。-氣體流量計(MFC)：要求響應速度快，精確度高，穩定性好，耐腐蝕性好，使用壽命長。-真空閥件：材料等級高,耐磨抗腐蝕,不能有 particle。密封件 材料特殊：需要做成分分析及各種摻雜；耐化性：需要應對各種腐蝕性氣體及化學品，臭氧等離子體等，耐高溫，機械摩擦

39、等；形狀特殊：模具加工難度較大 金屬件 難點集中在加工精度，分析檢測、焊接及表面處理 過濾件 難點在制作耐腐蝕，高溫件的原始輔料 石墨件 石墨基材：參考標準為石墨等級 機械精加工；表面鍍膜微處理純化 關鍵工藝參數：表面最大顆粒度 運動部件-Robot 類：難點在通訊-馬達類：品質風險 電控部件 RF 電源、電路板、電磁閥、控制器，種類多、產品雜，涉及功能各不相同；如正向研發需要結合使用功能 塑料件 缺少圖紙、缺少精度數據、表面處理缺乏經驗；多為非標準件，結構復雜 資料來源：朱晶.半導體零部件產業現狀及對我國發展的建議J.中國集成電路，民生證券研究院 2 全球市場：分散和壟斷并存 2.1 細分市

40、場高度分散，美日廠商主導 盡管前文中，我們將半導體設備的種類大致的分為機械類、電氣類、機電一體類等大類，但由于半導體設備精密度高、結構復雜，需要的零部件種類及數量極其龐大，在每一個大類中也有較多的細分品類，市場高度碎片化。據芯謀研究數據，2020 年中國晶圓廠商采購的 8-12 寸晶圓設備零部件產品結構占比較大的分別為石英件、射頻發生器、泵、閥門、吸盤、反應腔噴淋頭等，分別占比 11%、10%、10%、9%、9%、8%。圖17：2020 年中國晶圓廠商采購 8-12 寸晶圓設備零部件產品結構 資料來源：芯謀研究，民生證券研究院 由于細分品類的高度碎片化，并且不同零部件之間存在著一定的差異性和技

41、術壁壘，因此半導體零部件市場并未出現一個壟斷型的大型供應商，各賽道的龍頭供應商大多是專長于單一或少數品類。例如 ZEISS 專長光學部件，Edwards、日本荏原的真空泵，AE 布局射頻發生器，VAT 的閥門零部件等。主要龍頭廠商收入體量大多在幾億美元到十幾億美元的體量，相較數百億美元的總市場規模，各自在總體市場中份額都不高。據 VLSI Research 數據，近 10 年里，半導體零部件市場前十大供應商的市場份額總和穩定在 50%左右。從地域分布上看，除了光刻機零部件市場以 ASML 和其全球供應鏈供應商組成以外，其他通用型零部件市場主要由美國、日本供應商主導。國內暫無規模相當的零部件廠商

42、出現。11%10%10%9%9%8%6%3%2%2%1%29%石英射頻發生器泵閥門吸盤反應腔噴淋頭邊緣環儀表氣體流量計陶瓷件O型密封圈其他 表8：全球前十大半導體零部件廠商 企業名稱 所在國家 主要產品 半導體/泛半導體零部件收入規模(億美元)蔡司 ZEISS 德國 光學鏡頭 21.2 MKS 儀器 美國 MFC、射頻電源、真空產品 14 Edwards 英國 真空泵 13.8 Advanced Energy 美國 射頻電源 6.12 Horiba 日本 MFC 4.94 VAT 瑞士 真空閥件 4.3 Ichor 美國 模塊化氣體輸送系統以及其他組件 3.8 Ultra CleanTech

43、美國 真空閥件 3.5 ASML 荷蘭 光學部件及光刻機組件服務 3 EBARA 荏原 日本 干式真空泵 3 合計 75-80 資料來源：朱晶.半導體零部件產業現狀及對我國發展的建議J.中國集成電路，民生證券研究院（收入為 2020 年數據）2.2 核心零部件壟斷程度高 盡管半導體零部件行業整體 CR10 在 50%左右，但在單一細分品類集中度往往高達 80-90%，呈現出行業整體碎片化+局部高壟斷的格局。2.2.1 機械手 機械手即工業機器人，通常指應用在工業生產過程中，模仿人類手臂設計具有串聯多關節結構的機器人。機械手能模仿人手臂的某些動作功能，按固定程序抓取、搬運物件或操作工具的自動操作

44、裝置。半導體機械手主要適應于集成電路、芯片制造等半導體前段工序，用來搬送晶圓。機械手是 EFEM（設備前端模塊）和 TM（真空傳輸）的核心組件，用于在拋光、刻蝕、擴散、沉積、裝配、包裝和測試等的半導體加工步驟中，對半導體晶片進行傳輸與定位。圖18：機械手的部分應用 資料來源：新松機器人官網，民生證券研究院 按工作環境的不同，硅片搬運機器人可以分為真空機器人和大氣機器人。真空機器人大多用在集束型設備中，在真空度為 10-5pa 環境下通過軌跡規劃完成對硅片的傳輸和定位。大氣機器人常用在潔凈大氣環境中，目前應用最為廣泛，占有接近 60%的市場份額。全球半導體機械手市場銷售額穩步增長，規模逐步擴大。

45、2021 年市場銷售額為 836.4 百萬美元，QYresearch 預計 2027 年市場銷售額將高達 1347.6 百萬美元，年復合增長率為 8.3%。圖19：全球半導體機械手市場銷售額及增長率（百萬美元）資料來源：QYresearch 整理，民生證券研究院 生產層面看，全球半導體機械手市場主要由美國和日本廠商主導。日本是最大的半導體機械手生產地區，占有大約60%的市場份額，美國占有20%的市場份額。0%5%10%15%20%25%02004006008001000120014001600全球半導體機械手市場銷售額（百萬美元）增長率 中國占有市場份額不大，目前本土企業由新松機器人主導。全球

46、第一梯隊廠商主要有 3 家，分別是 Brooks Automation、RORZE Corporation 和 DAIHEN Corporation，共占有大約 55%的市場份額。第二梯隊廠商主要是幾家日本廠商 Hirata Corporation、Yaskawa、JEL Corporation、Nidec 和 Robostar，2020 年占有大約 27%的市場份額。圖20：2020 年半導體機械手龍頭企業地域分布 資料來源：QYResearch 整理，民生證券研究院 2.2.2 真空泵 真空泵是用來產生、改善和維持真空環境的裝置，是真空系統的核心。半導體制造中，尤其是核心的干法工藝，廣泛涉

47、及到真空反應環境，而真空系統直接關系到芯片的性能和良率。圖21：干式真空泵在半導體行業中的應用 資料來源：漢鐘精機年報，民生證券研究院 60%20%6%14%日本美國韓國其他 半導體真空泵的需求不斷增長，真空設備市場持續擴張。根據 Edwards，一個月產 4 萬片的晶圓廠，大約需要上千臺真空泵及尾氣處理系統，和 500 臺渦輪分子泵。據華經產業研究院預測，2022 年全球半導體用干式真空泵市場將達 196.4億元，同比增長 9.3%。圖22：全球半導體真空泵市場規模情況（億元）資料來源：華經產業研究院，民生證券研究院 從競爭格局上看，全球真空泵市場較為集中，主要由 Atlas、Pfeiffe

48、r、Ebara等少數幾家公司占據。Atlas 近年來不斷擴張，收購了 Quincy、Edwards、Leybold等公司，成為全球真空領域龍頭，2021 年真空業務營業收入為 196 億元（含非半導體真空泵）。Pfeiffer 產品除真空泵外，還包括測量與分析設備、安裝工具等，半導體及新興技術領域營收為 27.52 億元。表9：真空泵不同廠商對比 設備廠商 公司簡介 主要產品 2021 年營收（單位：億元）Atlas Copco 公司成立于 1873 年，公司的四大業務領域分別為壓縮機技術、真空技術、工業技術、動力技術，并著力于全面開拓售后服務市場。Atlas2010 年收購 Quincy 進

49、入工業真空泵領域，于 2014 年收購 Edwards，2016 年收購Leybold 和 CSK，目前是全球真空領域龍頭 工業壓縮機，氣體和過程壓縮機，工業干泵、無油干泵、回旋式活塞真空泵、機械真空助力器、渦輪分子泵等 196（真空業務）Pfeiffer 公司成立于 1890 年，1951 年開發用于核工業真空泵，2010 年并購阿爾卡特真空部門，2019 年在中國建廠。公司產品主要用于半導體、工業等領域 支撐泵、渦輪泵、測量與分析設備、安裝工具、真空系統、真空單元等 27.52（半導體及新興技術業務）Ebara 公司從事以泵等旋轉機械為中心的開發活動，成立于1912 年。公司經營三個部分：

50、流體機械和系統，環境工程和精密機械 干式真空泵，化學機械拋光(CMP)系統，電鍍系統和氣體減排系統 Kashiyama 公司成立于 1951 年，主要有兩塊業務：1）為半導體真空設備；2）滑雪設備設備和管理咨詢。公司生產的真空設備已被廣泛應用于包括半導體制造業和液晶顯示制造業的高科技領域中 干式真空泵、液環真空泵、海水泵、制雪系統、滑雪場設施等 資料來源：華經產業研究院，民生證券研究院 020406080100120140160201720182019202020212022E設備市場維修市場 2.2.3 靜電吸盤 靜電吸盤是一種適用于真空環境或等離子體環境的超潔凈晶圓片承載體，它利用靜電吸附

51、原理將晶圓片加以固定并進行控溫。靜電吸盤廣泛應用于 PVD、PECVD、刻蝕、離子注入等高端半導體制造設備。靜電吸盤的基本原理是異種電荷之間相互吸引，即晶圓片與電極之間通過不同種電荷之間的庫侖力相互吸引，使晶圓片穩定在電極上。因此靜電吸盤的主要結構包括陶瓷外殼、電極、用于控制溫度的氣體通道等。圖23：靜電吸盤結構圖 圖24：靜電吸盤示意圖 資料來源：Shinko，民生證券研究院 資料來源：electrogrip，民生證券研究院 靜電吸盤產生的吸附作用源自在整個吸附面上均勻產生的電流的力量，因此不會對工件施加物理壓力。而機械吸盤通過機械固定工件，可能導致工件破損、彎曲；真空吸盤通過真空泵創造真空

52、狀態來固定工件，容易在工件上留下吸附壓痕，在如今的半導體制造工藝中已經基本由靜電吸盤取代。表10：不同類型吸盤對比 類型 靜電吸盤 機械吸盤 真空吸盤 特點 通過導熱性好地氣體背吹來控制硅片溫度 具有機械運動部件，顆粒污染度較高 不能用于低壓環境 吸附力更均勻，硅片更加平坦，可有效抑制形變 對硅片表面可能造成損傷 無法對硅片溫度進行有效控制 原理復雜，成本較高 硅片表面有效面積損失 資料來源：王興闊.基于 IC 裝備中的靜電卡盤靜電力仿真及實驗研究.中國地質大學(北京)，民生證券研究所 全球靜電吸盤市場具有高度壟斷性，由日本和美國企業主導，包括美國企業Applied Materials、LAM

53、 等設備原廠的自主生產，以及日本企業 Shinko、TOTO、NTK 等第三方供應商，市場集中度較高。中國主要廠商包括廣東海拓創新和北京華卓精科公司。2021 年，中國靜電吸盤市場規模達到 21.12 億元，Global Info Research 預計 2028 年將達到 34.81 億元，2022-2028 年復合增長率為 7.29%。圖25：中國市場靜電吸盤收入（百萬元）資料來源：Global Info Research 整理，民生證券研究院 2.2.4 射頻電源 電源按輸出類型可分為直流電源和交流電源。前者可分為線性穩壓電源和開關型穩壓電源。后者可分為低頻交流電源和高頻交流電源。射頻電

54、源屬于高頻交流電源，工作頻率在 300KHz-300GHz 之間，由放大器、直流電源、檢測器和控制器四大模塊構成。圖26：射頻電源原理框圖 資料來源：射頻電源放大器研究，民生證券研究院 射頻（RF Radio Frequency）是一種高頻交流變化電磁波的簡稱。在電子學理論中，電流流過導體，導體周圍會形成磁場，而交變電流通過導體會形成電磁場，稱為電磁波。在電磁波頻率高于 100KHz 時，電磁波可以在空氣中傳播，并經大-10%0%10%20%05001000150020002500300035004000中國市場靜電吸盤收入增長率 氣層外緣的電離層反射，形成遠距離傳輸能力，這種具有遠距離傳輸能

55、力的高頻電磁波被稱為射頻。射頻電源是等離子體發生器的配套電源，主要用于在低壓或常壓氣氛中產生等離子體，在集成電路制造工藝中被廣泛應用于射頻濺射、PECVD、等離子體刻蝕及其他工藝領域。圖27：射頻電源應用場景 資料來源：各公司招股說明書，民生證券研究院 全球射頻電源市場格局集中度高，呈現寡頭競爭的發展趨勢，兩大供應商 MKS Instrument 和 Advanced Energy 均來自美國。如前文所述，射頻電源占零部件市場總體的 10%左右，即對應 2021 年約 50 億美元的全球市場。而 AE 在 2021年實現半導體業務收入 7 億美元，MKS 實現半導體業務收入 18 億美元（不全

56、為射頻電源），占據較高市場份額。表11：射頻電源不同公司產品對比 部分產品型號 頻率 動態功率范圍 特點 模型 MKS Instrument ELITE-750FA-01 13.56MHz 1-750 瓦 高速閉環控制、E 級射頻卡座和開關調制器，可提供卓越的輸出性能 KEINOS 1.985MHz 5、11 和13KW 動態頻率調諧減少等離子體穩定時間 用于過程可重復性的脈沖能量控制 Advanced Energy ALTA 13.56MHz 1.5-6kW 增強的等離子體穩定性和工藝可重復性 精確的射頻控制 對等離子變化的快速響應 APEX 13.56MHz 1.5-10kW 輕松整合流程

57、工具，提高靈活性 穩定等離子操作 提高產量，實現快速電弧管理 Cesar 2、4、13.56、27.12和 40.68MHz 0.3-5kW 增加工藝運行時間 可定制 資料來源：MKSI 和 AEIS 公司官網，民生證券研究院 3 海外龍頭觀察：細分領域領先者各有所長 如前所述，半導體零部件市場具有高度碎片化的特征，因此全球市場并未出現像設備領域的 AMAT 一樣的壟斷型巨頭。龍頭公司均是在自身所處賽道深耕，擴大產品線。而觀察海外龍頭的發展路徑，我們發現他們大多是通過持續的投資并購來擴充自身業務版圖。我們認為，未來設備零部件行業會持續走向整合和集中，對于如此碎片化的市場，只有具備足夠的規模，才

58、能發揮技術復用優勢、產生規模效應，滿足下游設備市場高速發展的需求。3.1 MKS：電氣系統平臺型公司 MKS Instruments Inc 是一家儀器、系統、子系統和過程控制解決方案的全球供應商，為測量、控制、電源、監控和分析生產過程中的參數提供工具，子系統和過程控制解決方案。公司產品包括質量流量控制器和儀表、電容壓力機、真空計和閥門、氣體分析儀、射頻電源等，深耕半導體和先進制造業市場，2020 年半導體市場收入占總收入的 60%，先進制造業占比 40%。MKS 公司在多個產品市場占據領先地位，尤其是干法設備種較為核心的射頻電源和 MFC 氣體流量計都是公司的優勢品類。圖28：MKS 產品類

59、型 資料來源：公司官網，民生證券研究院 MKS 公司業務版圖來自持續的并購。公司 2013 年收購 Alter，擴充電源版圖，引入微波電源；2014 年收購 Granvile-Phillips，完善真空測量產品及控制儀器；2016 年收購 Nowport，發展微電子、生命和健康科學以及工業制造市場；2019年收購 ESI；2021 年收購 Photon Control，不斷擴展公司業務。圖29：MKS 并購事件 資料來源：公司官網，民生證券研究院 伴隨下游行業的高速發展，公司營收體量不斷壯大，亦維持了較高的利潤率水平。公司 2015 年營收為 52.83 億元，2021 年營收為 188.06

60、 億元，復合增長率為 23.57%，近年毛利率穩定在 45%附近，凈利率在 2021 年達到 19%。圖30：2012-2021 營收和利潤（億元）圖31：2012-2021 利潤率情況 資料來源：Wind，民生證券研究院 資料來源：Wind，民生證券研究院 3.2 UCT：氣液系統模組龍頭 UCT（Ultra Clean Holdings Inc.）是在半導體領域提供關鍵子系統和超高純度零件的開發商和供應商，制造和服務基地分布全球。公司產品包括精密機器人解決方案、氣體輸送系統、各種工業和自動化生產設備產品，以及包括晶圓清洗模塊、化學品輸送模塊、頂板組件等的子系統。公司提供的零部件包括超潔凈閥

61、門、高純度連接器，氣動執行器等。04080120160200營業收入毛利潤凈利潤0%10%20%30%40%50%毛利率凈利率 圖32：UCT 制造和服務基地全球布局 資料來源：公司官網，民生證券研究院 公司 1991 年作為三菱金屬的子公司成立，2004 年上市，2006 年開啟垂直整合計劃，圍繞半導體核心業務并購數家公司，完善在半導體領域的產品矩陣，不斷擴充業務產品。圖33：UCT 發展歷程 資料來源：公司官網，民生證券研究院 伴隨組織規模擴大，UCT 營收高速增長。從 2015 年 30.36 億元增長至 2021年的 133.99 元，復合增長率為 28.07%。2021 年公司毛利率

62、達 20.46%，凈利率達到 6.01%。圖34：2015-2021 營收和利潤（億元）圖35：2015-2021 利潤率情況 資料來源：Wind，民生證券研究院 資料來源：Wind，民生證券研究院 從下游結構上看，UCT 收入主要來自 Foundry&logic 廠商，2022Q2 該領域收入占比 42%，其次是記憶芯片領域占比 36%。公司客戶集中度較高，客戶關系穩定。前兩大客戶提供約 64%的營業收入，其中 Lam 占比 41%，應用材料占比 23%。圖36：2022Q2 收入占比（按部門分）圖37：2022Q2 收入占比（按客戶分）資料來源：公司官網，民生證券研究院 資料來源：公司官網

63、，民生證券研究院 3.3 Edwards：真空和尾氣處理龍頭供應商 Edwards 是真空和尾氣處理解決方案制造及供應廠商的佼佼者。公司服務于半導體、平板顯示、可再生及存儲能源、科學研究、LED、制藥和冶金等先進行業。公司產品種類實現從油泵到干泵、從小抽速到大抽速各個品類的大面積覆蓋。-200204060801001201402015 2016 2017 2018 2019 2020 2021營業收入毛利潤凈利潤-10%0%10%20%30%2015 2016 2017 2018 2019 2020 2021毛利率凈利率42%36%13%9%Foundry&LogicWFEMemory WFE

64、ServiceNon-semi41%23%15%13%9%LamAppliedOther OEMServiceNon-semi 圖38：Edwards 全線產品 資料來源：公司微信公眾號，民生證券研究院 Edwards 于 1919 年成立，至今已有 102 年的歷史。1937 年，公司研發出Speedivac 真空泵，隨后公司不斷研發生產產品，1975 年公司產品供應超過 75個國家。1992 年公司進軍尾氣處理市場，2014 年公司被 Atlas Copco 并購，進一步發展真空業務。圖39：Edwards 發展歷程 資料來源：公司官網，民生證券研究院 3.4 Advanced Energ

65、y：專注電源領域 Advanced Energy 致力于為客戶完善電力的使用、輸送和管理方式，為關鍵工藝設計和制造精密電源轉換、測量和控制解決方案。公司產品主要包括直流電源、直流脈沖電源、低頻和中頻電源以及射頻電源，產品應用領域廣泛，覆蓋半導體、工業、制造、電信、醫療等行業。公司作為連續 30 年的直流電源和射頻電源工藝的領導者，為半導體制造工藝提供電力傳輸和控制解決方案以及溫度測量技術，專注于沉積、刻蝕、熱退火和檢測等關鍵環節，幫助半導體廠商通過精確的功率傳輸、頻率調諧和多級脈沖來實現先進等離子體控制。圖40：AE 產品在半導體設備的應用 資料來源：公司官網，民生證券研究院 1981 年公司

66、成立，提供先進的電力和控制技術。公司于 1995 年上市，不斷收購其他企業，完善電力電源產品。公司橫向布局多個領域，成為各行業的通用電力控制和運輸管家。圖41：AE 發展歷程 資料來源：公司官網，民生證券研究院 公司收入體量亦隨著業務擴張而持續擴大。公司 2015 年營收為 26.94 億元，2021 年增至 92.83 億元，復合增長率為 22.9%，2021 年公司毛利率為 36.56%，凈利率 9.26%。圖42：2015-2021 營收和利潤（億元）圖43：2015-2021 利潤率情況 資料來源：Wind，民生證券研究院 資料來源：Wind，民生證券研究院 -200204060801

67、002015 2016 2017 2018 2019 2020 2021營業收入毛利潤凈利潤-60%-40%-20%0%20%40%60%2015 2016 2017 2018 2019 2020 2021毛利率凈利率 4 百舸爭流，國產替代初具雛形 4.1 供不應求，國產替代空間大 與半導體設備零部件的市場規模相較，我國國產化供給量與市場需求高度不匹配。半導體設備零部件的國產化率整體較低，部分產品已實現技術突破，但多數產品的穩定性和一致性仍與國外存在差距，具有一定的突破難度，應用于高制程設備的產品技術突破難度則更高。除機械類零部件之外，較復雜的高端產品亟待開展國產化進程。表12：各類零部件國

68、產化率情況 分類 占半導體設備市場比例 整體國產化率 高端產品國產化率 國際主要企業 國內主要企業 金屬機械類 12%相對較高 較低 金屬：京鼎精密、Ferrortec 非金屬：Ferrotec、Hana、臺灣新鶴、美國杜邦 金屬：富創精密、靖江先鋒、托倫斯、江豐電子、華亞智能 非金屬：菲利華(石英零部件)、神工股份(硅部件)電氣類 6%低 尚未國產化 Advanced Energy、MKS 英杰電氣、北方華創(旗下的北廣科技)機電一體類 8%中等 尚未國產化 京鼎精密、Brooks Automation、Rorze、ASML(自產雙工機臺和浸液系統)富創精密、新松機器人(機械手)、上海廣川（

69、機械手）、京儀自動化(溫控系統)、華卓精科(雙工機臺)氣體/液體/真空系統類 9%中等 尚未國產化 超科林、Edwards、Ebara、MKS 富創精密、Compart(萬業參股)、新萊應材、沈陽科儀、中科儀 儀器儀表類 1%低 尚未國產化 MKS、Horiba 北方華創(旗下的七星流量計)、萬業企業(收購的 Compart System)光學類 8%較低 尚未國產化 Zeiss、Cymer、ASML 北京國望光學科技有限公司、長春國科精密光學技術有限公司 資料來源：富創精密招股說明書，芯謀研究，民生證券研究院 與國外龍頭零部件企業相較，國內廠商起步較晚，產品覆蓋程度與國產化率偏低。在上述晶圓

70、廠采購的主要零部件中，石英件、反應腔噴淋頭、邊緣環等部件達到 10%以上的國產化率，其余國產化率均較低。而閥門、儀表、O 型密封圈、靜電卡盤等產品幾乎完全依靠進口，尚未實現國產化，國產替代空間可觀。表13：8-12 寸晶圓設備主要零部件國產化情況（2021Q1）主要零部件 國內主要供應商 國產化率 石英件（Quartz）菲利華、太平洋石英 10%反應腔噴淋頭（Edge ring）靖江先鋒、江豐電子 10%邊緣環（Shower head）神工股份、珍寶 10%泵（Pump）沈陽科儀、北京京儀 5%10%陶瓷件（Ceramic）蘇州柯瑪 5%10%射頻發生器（RF generator）英杰電氣、北

71、廣科技、中科院微電子 1%5%質量流量控制器（MFC）北方華創（七星華創）1%5%機械手（Robot）新松機器人 1%5%閥門（Valve）新萊應材 1%儀表（Gauge）無 1%O 型密封圈（O-ring）無 1%資料來源：芯謀研究，民生證券研究院 4.2 本土廠商嶄露頭角，細分賽道實現突破 我國主要從事半導體設備精密零部件研制的企業不斷增多，也有多家上市公司布局零部件行業。得益于國家政策重點鼓勵并多方支持國內集成電路及其專用設備產業的經營發展，我國主營或涉及零部件業務的廠商獲得了良好的發展環境，零部件國產化進程正在加快。當前行業整體還處在早期快速成長階段，存在不少的發展機會，也將面臨技術迭

72、代和市場洗牌的挑戰。關于各相關標的的具體業務進展我們將在后文中詳細討論。表14：國內主要零部件供應商情況 廠商名稱 主要產品 類別 核心客戶 2021 年主營收入（億元）YoY 毛利率 北方華創 電阻、電容、晶體器件、模塊電源等精密電子元器件 機電一體類 中芯國際、長江存儲、隆基股份等 設備 71.2 億元、電子元器件17.15 億元 71%39%晶盛機電 半導體閥門、管件、磁流體、精密零部件 機械類 中微公司 59.61 56%40%新松機器人 真空機械手 機電一體類 未披露 32.98(半導體零部件1.64 億元)24%8%漢鐘精機 真空泵 氣體/液體/真空系統類 隆基股份、晶盛機電、中環

73、等 29.81(真空產品 10.43億元)31%35%新萊應材 真空室、泵、閥、法蘭、管道和管件等 氣體/液體/真空系統類 AMAT、LAM、北方華創、中微半導體 20.54（半導體零部件5.32 億元）55%25%江豐電子 PVD 機臺用壓環、準直儀；CVD、刻蝕機臺用面板、氣體噴淋頭等；CMP 機臺用金剛石研磨片、保持環等 機械類 臺積電、聯華電子、格羅方德、中芯國際等 15.94(零部件業務1.84 億元)37%26%富創精密 工藝和結構零部件、模組產品、氣體管路 機械類 AMAT、東京電子、北方華創、中微公司、屹唐股份、拓荊科技、華海清科、芯源微等 8.43 75%31%英杰電氣 設備

74、用功率控制器、射頻電源等，配套 MOCVD、藍寶石爐、碳化硅設備等 電氣類 中微公司、晶盛機電 6.60(半導體業務0.71 億元)57%42%華業智能 鈑金件 機械類 超科林、ICHOR、捷普等 5.30 44%39%神工股份 上下電極、硅材料 機械類 中微公司、北方華創；獲數家國內 8 英寸、12 英寸集成電路制造廠商的評估機會 4.74(硅零部件 0.06億元)147%64%中科儀 真空泵 氣體/液體/真空系統類 長江存儲、中芯國際、北方華創、晶盛機電、上海華力、隆基股份、上海積塔、拓荊科技 4.48 5%22%凱德石英 石英件 機械類 北方華創、華微電子等 1.66 1%45%華卓精科

75、 精密運動系統、靜電卡盤和隔振器等超精密測控設備部件 機電一體類 上海微電子、上海集成、中科飛測、北方華創等 1.52(2020 年)26%45%上海廣川 潔凈室機械手 機電一體類 未披露-Compart(萬業參股)氣體輸送零部件、BTP 組件、密封件、氣棒總成、氣體流量控制器、焊接件 氣體/液體/真空系統類 UCT、ICHOR 等-靖江先鋒 金屬零部件加工、表面處理 機械類 北方華創、中微公司、中芯國際、華虹宏力-上海果納 機械手 機電一體類 近 30 家主流設備企業和近 20 家晶圓制造廠-北京中科科儀 真空泵、真空規計等真空系統配件 氣體/液體/真空系統類 未披露-兆恒眾力 腔體零部件

76、機械類 盛美、芯源微-銳潔機器人 小尺寸晶圓自動裝卸載系統、日本 JEL 潔凈機械手臂代理生產 機電一體類 華海清科-資料來源：各公司官網、公司公告，Wind，民生證券研究院 5 投資建議 5.1 行業投資建議 半導體設備行業近年迎來快速增長，而上游零部件環節的自主可控需求日益強烈。伴隨一批優秀國產供應商涌現：如江豐電子（金屬加工件）、新萊應材（真空與氣體管閥零部件）、華亞智能（精密結構件）、萬業企業（參股氣體零部件龍頭Compart）、英杰電氣（射頻電源）、富創精密（金屬加工件和氣體模組）、正帆科技（廠務設備和Gas Box）、漢鐘精機（真空泵）、神工股份（硅部件）、華卓精科（精密測控系統）

77、等。我們看好國內半導體零部件行業受益下游需求的持續增長和國產化加速。建議關注：江豐電子、新萊應材、華亞智能、萬業企業等優質標的。表15：半導體零部件行業重點關注個股 證券代碼 證券簡稱 股價（元）EPS PE 評級 2021A 2022E 2023E 2021A 2022E 2023E 300666.SZ 江豐電子 105.00 0.45 1.31 1.81 232 80 58 推薦 300260.SZ 新萊應材 95.00 0.75 1.53 2.20 129 63 44 推薦 003043.SZ 華亞智能 87.28 1.39 2.17 3.25 62 40 27 推薦 600641.SH

78、 萬業企業 24.78 0.39 0.55 0.69 63 45 36 推薦 資料來源：Wind,民生證券研究院預測；（注：股價為 2022 年 9 月 13 日收盤價）5.2 重點公司 5.2.1 江豐電子：靶材龍頭進軍零部件，拓展第二成長曲線 江豐電子的主要產品為超高純金屬材料的濺射靶材以及半導體產業裝備機臺的關鍵零部件。江豐半導體精密零部件的種類繁多，包括金屬、陶瓷、樹脂等精密零部件，產品已廣泛用于 PVD、CVD、刻蝕機等半導體設備。產品根據客戶可以分為兩大類：一類應用于設備廠商，包括工藝零部件和腔體等；另一類是應用于晶圓廠的關鍵工藝零部件。公司的零部件業務發展歷程亦是基于 PVD濺射

79、靶材主業所積累的客戶資源和技術經驗，從 PVD 設備零件出發，拓展了用于 PVD、CVD、CMP、單晶爐、清洗機等多種設備的零部件產品。從零部件類型上，主要分為兩種，一類是金屬結構件，包括腔體等，一類是附加值更高的功能性零部件，包括氣體噴淋頭等。公司在兩類產品上均進行了較大力度的投入和擴產。圖44：CVD 腔體結構示意圖 資料來源：Oxford Instruments 官網，民生證券研究院 得益于靶材主業和零部件新業務的強勢表現，江豐近年收入規模維持穩健增長態勢。2017-2021年營業收入由5.50億元增至15.94億元，年均復合增速30%，其中，半導體零部件增勢更為亮眼。2021 年江豐電

80、子零部件銷售額 1.84 億元，同比增長 239.96%，2022H1 則達到 1.77 億元，同比增長 149.58%。公司在寧波余姚、上海奉賢、沈陽沈北三地建成零部件生產基地，并與國內半導體設備龍頭北方華創、拓荊科技、芯源微、上海盛美、上海微電子、屹唐科技等多家廠商形成戰略合作，積極開發并加速放量各種半導體精密零部件產品。圖45：江豐電子營收利潤情況（億元）圖46：江豐電子零部件業務營收情況（億元）資料來源：Wind，民生證券研究院 資料來源：江豐電子公司公告，民生證券研究院 圖47：江豐電子分產品收入結構（億元）圖48：江豐電子分產品毛利率情況 資料來源：江豐電子公司公告，Wind，民生

81、證券研究院 資料來源：江豐電子公司公告，Wind，民生證券研究院 借助主業積累的豐富經驗與技術儲備，江豐電子不斷完善半導體設備精密零部件的橫向布局。在靶材主業的長期積累中，江豐電子擁有超高純金屬提純技術、超高純金屬靶材組織織構控制技術、靶材異種金屬大尺寸焊接技術和金屬靶材精密加工技術，是公司拓展設備零部件業務的技術基礎。江豐電子亦有望基于其金屬材料特性和加工處理等領域的技術經驗和客戶優勢，繼續拓展反應腔體等金屬件、陶瓷件及石英件產品，長期增長空間可觀。投資建議：我們預計公司 2022-2024 年將實現營收 23.84/33.41/45.42 億元，歸母凈利潤 2.96/4.07/5.84 億

82、元，對應現價 2022-2024 年 PE 為 84/61/42 倍，我們看好公司靶材和半導體業務的成長性，維持“推薦”評級。風險提示：上游原料價格波動；全球半導體行業周期性波動；行業競爭加劇 0246810121416182017201820192020202122H1營業收入毛利潤歸母凈利0%20%40%00.511.5220202021收入毛利率0246810121420172018201920202021鉭靶鋁靶鈦靶零部件0%20%40%60%20172018201920202021鉭靶鋁靶鈦靶零部件 表16：江豐電子盈利預測與財務指標 項目/年度 2021A 2022E 2023E

83、2024E 營業收入（百萬元）1,594 2,384 3,341 4,542 增長率（%）36.6 49.6 40.1 35.9 歸屬母公司股東凈利潤（百萬元）107 296 407 584 增長率（%）-27.5 177.9 37.2 43.7 每股收益（元）0.45 1.26 1.72 2.48 PE（現價）232 84 61 42 PB 17.0 12.9 10.6 8.5 資料來源：Wind，民生證券研究院預測；（注：股價為 2022 年 9 月 13 日收盤價）5.2.2 新萊應材：真空與氣體管閥零部件領軍者 新萊應材主營業務之一為高純及超高純應用材料的研制與銷售，主要用于半導體、食

84、品安全和生物醫藥領域。公司半導體零部件產品涵蓋真空閥門、管道管件、反應腔體、氣體鋼瓶等多個品類，可以滿足半導體設備中潔凈氣體、特殊氣體和計量精度等特殊工藝以及真空度和潔凈度的要求。圖49：新萊應材子公司及主要產品圖示 資料來源：新萊應材公司官網，民生證券研究院 作為世界領先的潔凈設備及材料供應商，公司泛半導體業務規?？焖僭鲩L。2022 年 H1，公司泛半導體業務實現收入 3.17 億元，同比增長 62.26%，毛利率達 35.27%，同比提升 1.78 pct。公司泛半導體領域產品覆蓋半導體設備的真空系統和氣體管路系統，國際頂尖客戶的認可及與國內知名設備企業的合作使公司迅速擴大銷售規模。圖50

85、：新萊應材營收利潤情況（億元）圖51：新萊應材分行業收入結構（億元）資料來源：Wind，民生證券研究院 資料來源：Wind，民生證券研究院 05101520252017201820192020202122H1營業收入歸母凈利05101520252017201820192020202122H1泛半導體食品安全生物醫藥 圖52：新萊應材泛半導體業務營收和毛利率（億元）資料來源：Wind，民生證券研究院 公司的半導體零部件產品擁有廣泛的國際認證，已通過 AMAT、Lam 等全球一流半導體設備客戶認證并成為其一級供應商，順利實現對北方華創、中微公司、中芯國際、長江存儲、無錫海力士的批量供貨。在真空管配

86、件與 UHP 超高純等級氣體管道系統擁有完整系列對標國際品牌，并在高端真空閥門、氣體管道及氣體控制元件等產品方面，與 AMAT、北方華創等國內外龍頭半導體制造設備企業達成合作。分業務收入預測：包材業務主要為食品包裝材料，為新萊子公司山東碧海的主要業務，下游以乳制品、飲料等為主，國內市場需求穩定。公司 2018 年收購山東碧海以來，業務整合順利，2021 年包材業務收入增長可觀。我們預計 2022-2024 年包材業務收入分別實現 25/24/20%的穩健增長。毛利率方面，2021 年上游原材料大幅漲價，導致包材業務毛利率下滑，我們預計 2023 年上游價格壓力逐步緩解，2022-2024年毛利

87、率分別為 17/18/19%。潔凈應用材料主要應用于生物醫藥方向，2021 年疫情期間，醫藥市場需求有較大增長，我們預計 2022-2024 年潔凈應用材料收入實現 23/20/20%的穩健增長。毛利率方面，2022 年 H1 該業務毛利率大幅提升，達到 38.8%，主要原因系下游市場供不應求，我們預計伴隨市場供需關系逐步緩和，該業務在 2022-2024年毛利率分別為 36/36/35%。高純及超高純應用材料主要應用于泛半導體領域，為公司重點發力方向，尤其是應用于半導體設備的管、閥等零部件增長迅速，我預計 2022-2024 年實現收入65/50/35%增長，毛利率則保持穩健提升，2022-

88、2024 年分別為 36/37/37%。食品設備為公司特色業務，為客戶提供包材+設備的一體化服務，基數較低，增長迅速，我們預計食品設備業務收入端在 2022-2024 年實現 45/35/30%的較26%28%30%32%34%36%01234562017201820192020202122H1收入毛利率 高增速，毛利率維持 23%的穩定水平。表17：新萊應材分業務收入預測（百萬元）2020 2021 2022E 2023E 2024E 合計 營收 1323.06 2054.42 2791.86 3679.28 4635.02 YOY-5%55%36%32%26%毛利率 27%25%28%29

89、%30%毛利 353.31 507.98 785.28 1069.96 1380.03 包材 營收 578.94 816.49 1020.61 1265.56 1518.67 YOY-2%41%25%24%20%毛利率 25%17%17%18%19%毛利 142.77 141.17 173.50 227.80 288.55 潔凈應用材料 營收 388.46 591.77 727.88 873.45 1048.14 YOY 52%23%20%20%毛利率 25%27%36%36%35%毛利 95.17 162.09 262.04 310.08 366.85 高純及超高純應用材料 營收 291.1

90、3 532.19 878.11 1317.17 1778.18 YOY 0%83%65%50%35%毛利率 31%33%36%37%37%毛利 91.41 178.12 311.73 480.77 657.93 食品設備 營收 64.53 113.97 165.26 223.10 290.03 YOY 77%45%35%30%毛利率 37%23%23%23%23%毛利 23.95 26.60 38.01 51.31 66.71 資料來源：Wind，民生證券研究院預測 投資建議：我們預計公司 2022-2024 年將實現營收 27.92/36.79/46.35 億元，歸母凈利潤 3.47/4.9

91、9/6.70 億元，對應現價 2022-2024 年 PE 為 63/44/33 倍，我們看好公司在氣體零部件領域的領先地位，首次覆蓋，給予“推薦”評級。風險提示：擴產不及預期；上游原料價格波動；客戶拓展不及預期 表18：新萊應材盈利預測與財務指標 項目/年度 2021A 2022E 2023E 2024E 營業收入（百萬元）2,054 2,792 3,679 4,635 增長率（%）55.3 35.9 31.8 26.0 歸屬母公司股東凈利潤（百萬元）170 347 499 670 增長率（%）105.7 104.5 43.8 34.2 每股收益（元）0.75 1.53 2.20 2.96

92、PE（現價）129 63 44 33 PB 17.3 13.8 10.6 8.1 資料來源：Wind，民生證券研究院預測；（注：股價為 2022 年 9 月 13 日收盤價）5.2.3 華亞智能：專注精密金屬結構件 華亞智能專注于向國內外領先的高端設備制造商提供“小批量、多品種、工藝復雜、精密度高”的定制化精密金屬結構件產品。其精密金屬結構件產品廣泛應用于半導體設備、新能源及電力設備、醫療器械和通用設備領域，深耕全球精密金屬結構制造市場。在半導體設備領域，華亞智能的直接客戶為超科林、ICHOR、捷普等設備部件制造商，并進入了 AMAT、Lam、中微半導體等國內外半導體制造設備龍頭的供應鏈體系。

93、公司的精密金屬結構件首先提供給部件廠商制造設備關鍵子系統和模組，最終被應用于：晶圓刻蝕設備、PECVD、氣體輸送設備、氣相沉積設備、晶圓檢測設備等。圖53：華亞智能參與的供應鏈圖示 資料來源：華亞智能招股說明書，公司官網，民生證券研究院 得益于半導體業務的強勢表現，公司近年收入穩健增長，22H1 公司實現營收2.88 億元，同比增長 23.77%，實現歸母凈利潤 0.74 億元，同比增長 55.58%。產品結構上，半導體設備零部件為第一大業務，新能源及電力設備零部件為第二大業務，其余分別為通用設備零部件、軌交零部件、醫療器械部件。圖54：華亞智能營收利潤情況（億元）圖55：華亞智能分產品收入結

94、構（億元）資料來源：Wind，民生證券研究院 資料來源：Wind，民生證券研究院 01234562017201820192020202122H1營業收入歸母凈利012345620172018201920202021半導體設備新能源及電力設備通用設備軌道交通醫療器械精密金屬結構件半導體設備維修 值得注意的是，華亞智能半導體設備領域的產品毛利率維持在 55%以上，顯著高于其他同業公司，主要得益于公司小批量提供定制化程度高、技術工藝先進的產品，且已形成核心優勢，客戶主要來自海外龍頭模組廠，定制化產品的毛利率普遍高于批量化產品。圖56：華亞智能與同業公司半導體零部件業務毛利率情況 資料來源：Wind，

95、民生證券研究院 技術壁壘方面，華亞智能的精密焊接及表面特殊噴涂的能力在業內享有較高聲譽，表面處理能力出色。公司焊接工藝得到歐盟、美國等的資質認證評定，還具有通過 AMAT 認證的 Everslik 有機溶劑漆噴漆技術（國內首家、國際 4 家之一）、靜電粉末噴涂技術。焊接工藝、噴漆技術資格不僅領跑國內供應商，也具有強勁的國際競爭力。華亞智能一直將半導體設備領域結構件業務作為核心發展業務，并已經成為公司銷售收入和利潤增長的主要來源，且生產的精密金屬結構件已應用于國內外知名半導體設備制造商的主導產品中，是國內為數不多的相關高端精密金屬制造商之一。公司未來將繼續加大對半導體設備領域結構件產品研發、生產

96、投入資源，積極開發國內半導體設備領域的新客戶，實現從半導體設備結構件制造商向半導體設備綜合配套制造服務商的轉型。分業務收入預測：華亞智能在 2021 年 IPO 上市之后進行了主營業務分類的調整，將主營業務由按下游市場分類的半導體/新能源/軌道交通/醫療/通用設備調整為按業務類型分類，分為精密金屬結構件和半導體設備維修兩類。精密金屬結構件業務方面，公司的馬來西亞子公司、IPO募投項目有望在2023年貢獻較大的產能增量，我們預計該業務收入在2022-2024年分別實現33/50/50%增長，毛利率則有望受益于半導體零部件占比提升而穩步提升，我們預計該業務2022-2024 年毛利率分別為 39/

97、40/41%。0%20%40%60%80%20172018201920202021華亞智能富創精密新萊應材華卓精科 半導體設備維修業務方面，該業務為配套服務類業務，基數較低，并有望伴隨半導體設備零部件業務增長而持續高增，我們預計該業務收入在 2022-2024 年分別實現 50/50/50%的穩定增速，毛利率在 2022-2024 年維持在 45/45/45%。表19：華亞智能分業務收入預測（百萬元）2020 2021 2022E 2023E 2024E 合計 營收 368.33 530.12 705.49 1057.13 1584.59 YOY 19%44%33%50%50%毛利率 40%3

98、9%39%40%41%毛利 146.79 208.96 275.41 423.25 642.41 精密金屬結構件 營收 521.03 692.97 1039.45 1559.18 YOY 33%50%50%毛利率 39%39%40%41%毛利 205.29 270.26 415.78 631.47 半導體設備維修 營收 6.87 10.31 15.46 23.19 YOY 50%50%50%毛利率 46%45%45%45%毛利 3.17 4.64 6.96 10.43 半導體設備 營收 178.99 YOY 68%毛利率 57%毛利 101.13 新能源及電力設備 營收 94.68 YOY 1

99、%毛利率 22%毛利 20.46 通用設備 營收 41.69 YOY-3%毛利率 30%毛利 12.67 軌道交通 營收 25.58 YOY-32%毛利率 22%毛利 5.58 醫療器械 營收 26.21 YOY-6%毛利率 25%毛利 6.53 其他業務 營收 1.18 2.22 2.22 2.22 2.22 YOY 0%88%0%0%0%毛利率 36%23%30%30%30%毛利 0.42 0.51 0.51 0.51 0.51 資料來源：Wind，民生證券研究院 投資建議：我們預計公司 2022-2024 年將實現營收 7.05/10.57/15.85 億元，歸 母凈利潤 1.74/2.

100、60/3.96 億元，對應現價 2022-2024 年 PE 為 40/27/18 倍，我們看好公司在結構件領域的持續領先地位，首次覆蓋，給予“推薦”評級。風險提示：擴產不及預期；市場競爭加??；國內客戶導入不及預期 表20：華亞智能盈利預測與財務指標 項目/年度 2021A 2022E 2023E 2024E 營業收入（百萬元）530 705 1,057 1,585 增長率（%）43.9 33.1 49.8 49.9 歸屬母公司股東凈利潤（百萬元）111 174 260 396 增長率（%）54.7 56.5 49.7 52.1 每股收益（元）1.39 2.17 3.25 4.95 PE（現價

101、）63 40 27 18 PB 8.1 6.9 5.6 4.4 資料來源：Wind，民生證券研究院預測；（注：股價為 2022 年 9 月 13 日收盤價）5.2.4 Compart（萬業企業參股）：氣體輸送系統精密零部件龍頭供應商 Compart Systems Pte.Ltd 是全球領先的半導體氣體輸送系統領域精密零組件及流量控制解決方案供應商，具有服務于全球頂尖半導體設備公司的成熟經驗。2020 年 12 月，萬業企業領頭境內外投資人，以浙江鐠芯和鐠芯控股為持股主體收購 Compart 的 100%股權，并成為其第一大股東。收購完成后 Compart轉變為中資控股企業，快速導入國內半導體

102、設備廠商的供應鏈，填補了國內相關供應鏈的空白領域。Compart 的產品布局豐富、技術實力強大，是全球極少數可完成流量控制領域零組件精密加工全環節的公司之一。公司主要產品包括氣體輸送零部件、組件、密封件、質量流量控制器（MFC）等，是高端 MFC 組件的領先者，并且能完成半導體設備流量控制領域的研發設計、流量控制、二次流程、裝配測試等全環節。同時，公司掌握 TriClean、Ultra-Seal、iBlock 等多項核心技術，使用其獨家煉鋼技術 TriClean，可使制成品的耐腐蝕性能較普通高純不銹鋼提升 2.5-11 倍，保障了零件生產的優質原料自給供應。圖57：Compart 的能力與服務

103、金字塔 資料來源：Compart Systems 官網，民生證券研究院 圖58：Compart 公司低端組件（LLA）圖示 圖59：Compart 公司半導體零配件圖示 資料來源：Compart Systems 官網，民生證券研究院 資料來源：Compart Systems 官網，民生證券研究院 借助全球經營經驗，未來有望加速導入國內客戶供應鏈。2021 年浙江鐠芯（萬業企業子公司，Compart 的控股母公司）營業收入 9.20 億元，凈利潤 1.01 億元.。借半導體設備高度景氣之勢，2021 年 6 月浙江鐠芯與海寧簽約啟動 Compart 制造中心項目，總投資約 30 億元，建設制造基

104、地和研發中心，投產后每年可實現營收約 15 億元。項目落成后將加速推進半導體核心零部件的國產化進程。圖60：浙江鐠芯營收利潤情況（億元）資料來源：Wind，民生證券研究院 在 Compart 導入國內供應鏈前，其相關的流量控制賽道國產化率幾乎為零。Compart 具有全球先進的獨特密封件制造工藝和技術，穩定向多家國際半導體設備龍頭廠商供應零組件，其成熟經驗有助于提升氣體輸送系統及高精度流量控制等領域核心組件與部件的國產化率，助力國內設備廠商相關領域的國產替代。投資建議：我們預計萬業企業 2022-2024 年將實現營收 14.73/19.00/23.15 億元，歸母凈利潤 5.31/6.65/

105、7.83 億元，對應現價 2022-2024 年 PS 為 16/12/10倍，PE 為 45/36/30 倍，我們看好公司平臺化發展和各業務成長性，維持“推薦”評級。風險提示：產品驗證不及預期；行業競爭加??；擴產進度不及預期 表21：萬業企業盈利預測與財務指標 項目/年度 2021A 2022E 2023E 2024E 營業收入（百萬元）880 1,473 1,900 2,315 增長率（%）-5.5 67.4 28.9 21.9 歸屬母公司股東凈利潤（百萬元）377 531 665 783 增長率（%）19.4 41.0 25.2 17.9 每股收益（元）0.39 0.55 0.69 0.

106、82 PE（現價）63 45 36 30 PS 27 16 12 10 資料來源：Wind，民生證券研究院預測；（注：股價為 2022 年 9 月 13 日收盤價）-11357920202021營收凈利潤 5.2.5 英杰電氣：射頻電源國內龍頭 英杰電氣是國內綜合性工業電源研制領域內有較強競爭力的企業，從事以功率控制電源、特種電源為代表的工業電源設備的研發、生產與銷售，產品可應用于新能源領域、半導體等電子材料領域等。英杰電氣的半導體行業產品主要用于材料生產設備的電源控制。在半導體材料領域，公司產品主要應用于上游材料行業，如半導體用單晶硅、碳化硅晶體、LED外延片等的生產設備。產品具體包括射頻電

107、源、直流模塊電源、微波開關電源、感應電源等高精度、高性能、高穩定度的電源設備，以及諧波調理、功率控制器、匹配器等裝載了高智能控制模塊的設備。公司不斷加大技術研發與資源投入，研制高端射頻電源以替代進口電源設備，目前已小批量試制并交客戶測試。表22：英杰電氣射頻電源產品介紹 RHH 系列射頻電源 RLS 系列射頻電源 圖示 簡介 依靠成熟的射頻發生技術為基礎，為客戶提供更大功率、精度更高、響應快速的射頻電源。具有相位可設、脈沖可控、數字調諧等功能。采用目前穩定可靠的功率放大器和公司最核心的直流控制系統，具有非常穩定的性能、可靠性高。適用工藝 PECVD、等離子體刻蝕、等離子體清洗、射頻離子源、等離

108、子體擴散、等離子體聚合濺射、反應濺射等。輸出頻率 13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz 2MHz、13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz 輸出功率 1.55kW 0.55kW 脈沖頻率 100100kHz 0.110kHz 占空比 595%1090%資料來源：英杰電氣公司官網，民生證券研究院 圖61：英杰電氣營收利潤情況（億元）圖62：英杰電氣分行業收入結構（億元）資料來源：Wind，民生證券研究院 資料來源：Wind，民生證券研究院 012345672017201820192020202122H1營業收入歸母凈利0123456720172018201920202

109、02122H1光伏半導體等電子材料科研院所冶金玻纖及其他 得益于在下游光伏、半導體等行業的收入增長，22H1 公司實現營收 4.52 億元，同比增長 67.87%，實現歸母凈利潤 1.22 億元，同比增長 68.18%。22H1 公司半導體等電子材料業務增長迅猛，新增訂單 1.73 億元，同比上升 86.21%，實現收入 0.58 億元，同比增長 187.05%，毛利率為 53.15%，達到歷史新高。圖63：英杰電氣半導體等電子材料業務營收情況（億元）資料來源：Wind，民生證券研究院 40%45%50%55%0.00.51.01.52.02017201820192020202122H1收入毛

110、利率 5.2.6 富創精密：覆蓋四大品類，導入先進制程 富創精密是國內半導體設備精密零部件的領軍企業，主要業務為金屬材料零部件精密制造，主要產品覆蓋工藝零部件、結構零部件、模組產品和氣體管路四大類，應用于半導體設備領域，覆蓋集成電路制造中刻蝕、薄膜沉積、光刻及涂膠顯影、化學機械拋光、離子注入等核心環節設備。圖64：富創精密部分產品應用例示（以刻蝕設備為例）資料來源：富創精密招股說明書，民生證券研究院 富創精密掌握了可滿足嚴苛標準的精密機械制造、表面處理特種工藝、焊接、組裝、檢測等多種制造工藝，產品的高精密、高潔凈、高耐腐蝕等性能均達到甚至優于主流國際客戶標準。當前，公司已進入多家全球半導體設備

111、龍頭廠商供應鏈體系，并且是 AMAT 的全球戰略供應商。同時，基于半導體設備國產化趨勢，公司積極開拓境內市場，產品已進入主流國產半導體設備廠商，保障了我國半導體產業供應鏈安全。圖65：富創精密產品已進入多家龍頭廠商供應鏈 資料來源：富創精密招股說明書，民生證券研究院 公司的工藝技術、行業口碑、產品質量和交付能力不斷得到境內外客戶認可，業績快速增長。2019-2021 年，公司營業收入分別為 2.53 億元、4.81 億元和8.43 億元，近三年復合增長率為 82.43%。盈利能力方面，2021 年公司毛利率/凈利率分別達到 32.04%/14.40%。收入結構按市場區域來看，主營業務收入主要來

112、源于大陸以外地區，但內銷占比逐年提升。產品主要銷往國際半導體設備廠商在北美和亞洲的組裝工廠，而隨著國內半導體設備廠商崛起，2019-2021 年公司大陸地區銷售收入占比由 15.34%提升至 39.32%。圖66：富創精密營收及利潤（億元）圖67：富創精密各市場區域營收情況（億元）資料來源：富創精密招股說明書，民生證券研究院 資料來源：富創精密招股說明書，民生證券研究院 分產品營收結構方面，公司工藝技術和產品結構日趨完善，尤其是多種模組和氣體管路產品通過 AMAT、北方華創等核心客戶認證后批量供貨，該兩類產品合計主營業務收入占比從 2019 年的 25.81%提升至 2021 年的 36.06

113、%。圖68：富創精密分產品營收情況（億元）圖69：富創精密分產品毛利率情況 資料來源：富創精密招股說明書，民生證券研究院 資料來源：富創精密招股說明書，民生證券研究院 在主要產品毛利率方面，2019 年公司擴產完成后產能利用率大幅提升，主要產品毛利率在 2020 年提升顯著。而模組產品毛利率較低，是因為其屬于高度定制化產品，需外購標準件結合自產零部件組裝，而外購成本占比較高。此外，氣體管-10123456789201920202021營收毛利歸母凈利0246810201920202021大陸地區北美亞洲歐洲其他地區0123456789201920202021工藝零部件結構零部件模組產品氣體管路

114、-5%0%5%10%15%20%25%30%35%40%201920202021工藝零部件結構零部件模組產品氣體管路 路產品在 2019 年屬于前期小批量驗證階段，毛利率不具參考性。富創精密部分腔體、內襯、勻氣盤等高端產品已應用于客戶 7nm 制程的前道設備中，是全球為數不多的能夠量產應用于 7nm 工藝制程半導體設備的精密零部件制造商，已成為多家國內外半導體設備龍頭廠商的合格供應商。公司表示未來將持續擴大 7nm 工藝制程設備精密零部件的品類，并加快研制以應用于 5nm 及更先進工藝制程。表23：富創精密產品應用最高制程水平達 7nm 的情況 工藝流程 相關前道設備 對應富創精密主要產品 代

115、表性境外客戶 代表性境內客戶 高溫擴散 立式擴散爐 工藝零部件(腔體)、結構零部件(基板等多種產品)AMAT 北方華創 刻蝕 硅刻蝕設備、介質刻蝕設備、金屬刻蝕設備 工藝零部件(腔體、內襯、勻氣盤)、結構零部件(流量計底座、鉸鏈底座、蓋板、基座等產品)、模組產品(腔體摸組、刻蝕閥體模組和氣柜模組)、氣體管路 AMAT、HITACHI High-Tech 北方華創、中微公司 薄膜沉積 PVD、CVD、ALD 設備 工藝零部件(腔體、勻氣盤)、結構零部件(流量計底座、鉸鏈底座、支架等多種產品)、模組產品(腔體模組、氣柜模組)、氣體管路 AMAT、ASMI 北方華創、拓荊科技 資料來源：富創精密招股

116、說明書，民生證券研究院 5.2.7 正帆科技：工藝介質供應領域先行者 正帆科技向泛半導體、光纖制造、生物醫藥等高科技產業客戶提供關鍵系統、核心材料及專業服務。公司主要業務涉及氣體化學品供應系統、高純特種氣體和潔凈廠房配套系統，主要產品有電子工藝設備、生物制藥設備、電子氣體和 MRO（快速響應、設備維保和系統運營）服務。深耕于半導體行業及工藝介質供應系統業務 20 余年，正帆自主研發生產相關半導體設備及其配件，在高純氣體供應系統、自動化控制真空裝置、工藝設備等領域都有先進工藝技術與成熟制造經驗，在刻蝕、離子注入、薄膜沉積、黃光工藝等關鍵制程都能提供相應的設計制造解決方案。當前正帆半導體設備配套業

117、務從廠務端延伸到設備端，為泛半導體行業客戶提供工藝設備或子系統Gas Box的委托加工(OEM)或委托設計加工(ODM)服務。Gas Box 是一種在半導體工藝設備側的模組化氣體供應系統，也是核心零部件之一。Gas Box 產品涉及工藝設備內部功能模塊的客戶機密，定制化高、純度精度高、工藝難度高，是導入難度極高的零部件?；诙嗄甑母排c積極展開研發合作，公司可以在純度、工藝、安全控制上滿足多項定制化要求，再加以配置超高純管路設計方案、材料部件、測試標準與客戶需要的其他系統，能保證特種氣體的密閉式安全儲存以及不間斷輸送，并且滿足不同行業和設備對氣體輸送的要求。圖70：氣體供應系統圖示 圖71：G

118、as Box 圖示 資料來源：正帆科技招股說明書，民生證券研究院 資料來源：正帆科技官網，民生證券研究院 正帆還提供潔凈室配套系統的設計與施工服務，但為業務規模逐漸縮小。半導體行業中，對生產環境的溫度、濕度、潔凈度等指標要求嚴苛，需在潔凈室內進行生產加工。公司可提供潔凈室內部裝修及生產過程相關的空氣系統、真空系統等，但由于潔凈室配套系統業務毛利偏低，公司已逐步將業務重心聚焦于工藝介質供應系統以及高純特種氣體的研發和生產中。22H1 公司實現營收 9.43 億元，同比增長 19.70%。從收入結構上看，泛半導 體業務占比較高，2021 年泛半導體業務營收 14.33 億元，收入占比 78%。利潤

119、端，公司 2019 年來毛利率穩定在 26%附近，凈利率在 22H1 略有下滑，主要因為公司股權激勵計劃產生較高的股份支付費用。圖72：正帆科技營收利潤情況（億元）圖73：正帆科技營收結構（億元）資料來源：Wind，民生證券研究院 資料來源：Wind，民生證券研究院 圖74：正帆科技利潤率 資料來源：Wind，民生證券研究院 正帆科技始終堅持自主研發，專注于為下游客戶提供關鍵材料的全流程綜合解決方案。作為國內最早進入電子工藝設備領域的本土廠商，正帆參與編寫了 7 項國家標準和行業標準，主導了國內老牌集成電路廠商工藝介質輸送系統的建設工作，如上海新進、華潤半導體、和艦科技等。目前公司電子工藝設備

120、業務也已導入中芯國際、長江存儲、長鑫存儲等領先客戶群體。在電子工藝設備業務中，公司掌握了關鍵高端制造設備部件的研發能力。根據不同行業、客戶的工藝需求，可定制化研發出具有復雜理化特性工藝介質的供應系統，并不斷提升產品對介質純度、溫度、壓力、流量等參數的控制能力及安全防護能力。目前，公司在扎實的研發基礎之上，已具備較為全面的設計開發能力，能夠應對客戶對系統功能提出的個性化需求。未來，正帆將集中投入研發進行技術攻堅，以滿足下游先進高端制造業的前瞻性需求。024681012141618202017201820192020202122H1營業收入歸母凈利0246810121416182017201820

121、1920202021泛半導體醫藥制造光纖通信其他0%5%10%15%20%25%30%20192020202122H1毛利率凈利率 5.2.8 漢鐘精機：深耕先進工藝真空泵產品 漢鐘精機是國內流體機電產業的領軍企業，主要產品或服務為 R 系列制冷壓縮機、A 系列空氣壓縮機組和機體、L 系列冷凍冷藏壓縮機組及 P 系列真空產品等。目前漢鐘精機運用在各半導體工藝中的產品有三個系列：PMF 系列、iPM 系列和 iPH 系列產品。表24：漢鐘精機半導體真空泵產品情況 產品名稱 特點 作用 圖示 PMF 半導體干凈系列 較低的電能消耗；節能模式的應用降低整體功耗；體積小，重量輕 適用于 Load Lo

122、ck、TR、Metrology 等干凈制程 IPM 半導體中度嚴苛系列 綠色制造、全新系列干式真空泵；體積小、耗功低、大幅度降低成本 適用于一般嚴苛工藝腔，如 PVD、Ashing、ETCH等工藝 IPH 半導體中度嚴苛系列 抗沾黏、腐蝕、熱氮氣系統、殼體溫度控制；優越的轉子排氣路徑和轉子型線設計；加熱系統避免制程物沉積 適用于嚴苛工藝腔，如CVD、ALD 等工藝 資料來源：漢鐘精機公司官網，民生證券研究院 近年來漢鐘精機業務發展良好，收入利潤都有健康穩定的增長。2021 年實現營業收入 29.81 億元，同比增長 31.20%，歸母凈利 4.88 億元，同比增長 33.80%。2022 年上

123、半年營收 13.69 億元，歸母凈利 2.46 億元，整體維持穩健增速。公司的真空產品業績亮眼，營收持續高增，毛利率穩中有升。2021 年真空產品獲營收 10.43 億元，同比增長 59.71%，占總營收 34.98%；毛利率為 43.14%。圖75：漢鐘精機營收利潤情況（億元）圖76：漢鐘精機真空產品收入結構（億元）資料來源：Wind，民生證券研究院 資料來源：Wind，民生證券研究院 051015202530352017201820192020202122H1營業收入歸母凈利051015202530352017201820192020202122H1真空產品壓縮機零件及維修鑄件產品制冷產品

124、空氣產品 圖77：漢鐘精機真空產品營收（億元）及毛利率 資料來源：Wind，民生證券研究院 漢鐘的半導體領域產品為能滿足半導體最先進工藝的全系列中真空干式真空泵產品，并擁有 SEMI 安全基準驗證證書，目前為隆基股份、晶盛機電、中環股份等知名廠商供應真空泵。公司亦持續擴大產能釋放、加強技術及產品研發、優化售后維修體系，多方位完善真空產品業務。漢鐘臺灣臺中廠三期 2022 年一季度開始逐步投入使用，上海廠三期預計 2023 年一季度開始逐步投入使用，為公司進一步擴大產能提供保障。公司還持續開發羅茨泵、旋片泵、微油螺桿泵等并改善產品性能，完善真空泵業務的分級維修體系，進一步覆蓋市場，拓展公司產品在

125、半導體產業的發展。0%20%40%60%02468101220172018201920202021收入毛利率 5.2.9 神工股份：硅零部件國產化的強力支撐 作為半導體硅材料領域的領先者，專注于集成電路刻蝕用單晶硅材料，神工股份 2020 年從既有領域向下游硅零部件產品拓展，由全資子公司福建精工半導體進行生產，并取得初步成功，實現了硅材料的自產自用。當前，公司在半導體硅零部件板塊的設計產能居全國領先地位，具備“從晶體生長到硅電極成品”的完整制造能力，兼具制造技術優勢和成本優勢。神工股份有三類主要產品：大直徑硅材料、硅零部件、半導體大尺寸硅片。公司傳統產品大直徑硅材料，經過切片、磨片、腐蝕、打微

126、孔、形狀加工、拋光、清洗等一系列精密加工后，最終成為刻蝕機腔體中的硅上電極，或與晶圓直接接觸的硅片托環等硅零部件。當前，硅零部件產品應用的國內客戶可分為兩類：一類是配套等離子刻蝕機設備制造廠商，公司在與中微公司和北方華創進行開發合作，以研制出適配于不同機型的多種硅零部件產品；另一類是終端集成電路制造廠，公司產品可覆蓋其絕大多數硅零部件規格，并已獲得國內多家 12 英寸集成電路制造廠的送樣評估機會，取得了小批量訂單。圖78：神工股份硅電極零部件產品圖示 資料來源：精工半導體官網，民生證券研究院 得益于硅材料業務的高速增長，公司 2021 年總營收實現大幅增長達到 4.74億元，同比增長 146.

127、69%；歸母凈利 2.18 億元，同比增長 117.84%。而在設備硅零部件業務方面，公司產品逐步通過客戶認證，穩步地提高了產能規模，批量訂單數量持續增長。2021 年神工硅零部件業務營收達 574.52 萬元，較 2020 年同比增長超過 7 倍，毛利率達到 19.44%。圖79：神工股份營收利潤情況（億元）圖80：神工股份分產品收入結構（億元）資料來源：Wind，民生證券研究院 資料來源：Wind，民生證券研究院 圖81：神工股份硅零部件業務營收情況（百萬元）資料來源：Wind，民生證券研究院 硅零部件是刻蝕工藝的核心耗材，原料大直徑硅屬于脆硬材料，加工難度極高。經過長期的研發與技術積累，

128、神工掌握了硅材料的加工技術。在硅零部件領域，公司開發的“單晶硅及多晶硅材料細微深孔加工技術”經過科技成果評價，達到國際先進水平；核心技術“硅電極微深孔內壁拋光技術”和“脆性材料非標螺紋加工技術”已應用于批量生產中。公司研發團隊還開展了 22 英寸以上半導體硅零部件所需多晶質材料的工藝攻關，將持續推進相關項目。0123452017201820192020202122H1營業收入歸母凈利0123452017201820192020202115-16寸硅產品15寸以下16寸以上其他業務硅零部件0%5%10%15%20%25%012345620202021收入毛利率 5.2.10 華卓精科：超精密測控

129、領域的國產化突破 華卓精科以超精密測控技術為基礎，研發、生產超精密測控設備部件、超精密測控設備整機并提供相關技術開發服務。公司的超精密測控設備部件產品包括精密運動系統、靜電卡盤和隔振器等。作為國內首家可自主研發并實現商業化生產的納米精度運動與測控系統供應商，華卓精科在中高端精密運動系統市場取得了一定市場份額，并在靜電卡盤領域打破了國外廠商長期壟斷的局面。圖82：華卓精科設備部件產品圖示 資料來源：華卓精科官網，民生證券研究院 表25：華卓精科設備部件產品情況 產品 產品類型 產品功能 半導體領域應用 華卓精科產品優勢 代表客戶 精密運動系統 定制化 承載被加工或被測量零部件實現精密運動或定位

130、應用于半導體晶圓AOI 檢測、半導體晶圓隱切等 量產覆蓋低、中、高端的定制化系統，領先國產廠商，打破高端領域國外廠商的壟斷 中科飛測、京東方 納米精度運動及測控系統 定制化 承載晶圓按照指定的運動軌跡做高速超精密運動并完成一系列曝光所需動作，包括上下片、對準、晶圓面型測量和曝光等 芯片制造 IC 前道核心裝備的核心部件之一 采用了目前最先進的磁懸浮平面電機驅動導向一體化結構 上海微電子 靜電卡盤 定制化 適用于真空環境下的超潔凈晶圓片吸附裝置，利用靜電吸附原理進行超薄晶圓片的平整均勻夾持 PVD 設備、刻蝕機、離子注入機等高端裝備的核心部件 開發出 12 吋 PVD 氮化鋁靜電卡盤，一定程度破

131、除國外廠商的長期壟斷局面 華創微電子、魯汶儀器 隔振器 標準化 連接設備和安裝基座的彈性和阻尼元件(主動/被動)，用以減少和消除設備與安裝基座的振動相互傳遞 應用于對隔振要求非常高的儀器設備 公司自主研發的被動型隔振產品具有結構緊湊、起始隔振頻率低和振動衰減率高等特點 蘇州伊歐陸、上海納騰 資料來源：華卓精科招股說明書，民生證券研究院 承接清華原發技術積累，堅持核心技術研發及產品自主研制。華卓精科與清華大學共有 162 項專利技術，并協議確認了獨占實施權，秉持“產學研用”，推進了高?？萍汲晒D化。此外，華卓精科核心管理團隊具有清華背景，實際控制人朱煜參股國內 CMP 龍頭廠商華海清科。表26：

132、華卓精科核心管理團隊具有清華背景 公司職務 清華大學背景 朱煜 實際控制人、董事、核心技術人員、首席科學家 清華大學博士后、長聘教授、博士生導師 吳勇 董事長 清華大學工商管理 MBA 碩士 成榮 董事 清華大學精密儀器系博士后、機械系助理研究員 張鳴 董事、核心技術人員、技術顧問 清華大學機械工程博士、博士后、副研究員 楊開明 董事、技術顧問 清華大學機械工程博士、精密儀器系博士后、副研究員 資料來源：華卓精科招股說明書，民生證券研究院 隨著國內半導體產業的蓬勃發展，華卓精科營收穩定上升。2017-2020 年公司營收從 0.54 億元增至 1.52 億元，毛利由 0.34 億元增至 0.6

133、9 億元。主要的超精密測控裝備部件客戶業務有所增長，從而使得采購量增加、公司業績持續增長。2018-2020 年公司超精密測控裝備部件營業收入分別為 0.80 億元、0.85 億元和1.18 億元，占當期主營收入分別為 93.48%、69.96%和 77.56%。圖83：華卓精科營收利潤情況（百萬元）圖84：華卓精科分產品收入結構（百萬元）資料來源：Wind，民生證券研究院 資料來源：Wind，民生證券研究院 0501001502002017201820192020營業收入毛利潤歸母凈利0204060801001201401602017201820192020超精密測控裝備部件超精密測控裝備整機光刻機雙工作臺