濕法設備業務估值：由于公司的濕法設備進入 2020 年剛開始貢獻營收和利潤，尚未成為規模效應，我們擬采用 P/S 對這塊業務進行估值。我們選擇在A 股上市的半導體設備公司中微公司，北方華創，芯源微，長川科技與華峰測控作為可比公司，參考 wind 一致預期的 2020 年和 2021 年收入，這些上市公司的 P/S 呈現明顯的差異性，在主板上市的公司如北方華創和長川科技的估值在 9~11x 市銷率（P/S），而在科創板上市的中微公司、芯源微和華峰測控的估值則處于 32~37x P/S，兩個板塊的估值差異高達 2 倍。由于至純科技在主板上市，因此我們選擇主板上市的北方華創和長川科技的平均 P/S 估值作為參考，給予至純科技濕法裝備業務 2021 年營收 8 倍的 PS估值，因此這塊業務估值將達到 31 億元。