堅持創新驅動，鞏固半導體核心裝備競爭優勢。公司始終堅持以客戶需求為導向，在保持已有技術優勢的同時，持續加強技術創新，研發投入處于國內同行業領先水平，鞏固了公司在半導體基礎產品領域的競爭優勢。2023 年全年北方華創集團研發投入 44.10 億元，研發投入強度達到 19.97%。截至 2023 年末，公司累計申請專利 7,900 余件，累計獲得授權專 4,700 余件，專利數量穩居國內集成電路裝備企業首位。目前，公司擁有國家級企業技術中心 1 個，北京市級企業技術中心、工程中心 4個，先后獲得國家科學技術進步獎 1次及北京市科學技術進步獎 12次。