ASML 在高端光刻機市場占據主導地位。根據 ASML2024 年財報數據，各類光刻機收入占比中，EUV 機型貢獻了 39.39%，ArFi 機型占比 45.76%。由于 EUV 和 ArFi 作為高端設備，單價較高，成為 ASML 主要的收入增長來源。從光刻機種類來看，ASML 是全球唯一的 EUV 光刻機供應商，具有絕對的壟斷優勢，2024 年首次交付新設備 EXE（ High NA EUV）2 臺，引領光刻機走向新時代。從產品單價來看，EXE 產品 ASP 為 2.33 億歐元，NXE 為 1.87 億歐元，Arfi 產品 ASP 為 0.75 億歐元。