持續研發投入轉化為可持續領先優勢。ASML 持續加大研發力度，2023 年ASML 研發費用 39.8 億歐元，研發費用率 14.4%，顯著高于尼康的 10.7%、佳能的 7.9%。持續研發投入體現為高端光刻機領域的壟斷，目前 EUV 光刻機僅 ASML 具備生產能力，次高端的浸入式 ArFi 光刻機、干式 ArF 光刻機尼康具備少量出貨能力，而佳能專注于中低端的 KrF 和 I-line，不涉及 EUV和 ArF 等尖端產品。