按作用機理分各類刻蝕特征 根據作用機理,干法刻蝕主要分為等離子刻蝕,離子濺射刻蝕,反應離子刻蝕三種,運用在不同的工藝步驟中;根據被刻蝕的材料類型,干法刻蝕則可分為金屬刻蝕、介質刻蝕與硅刻蝕。其中,介質刻蝕和硅刻蝕市場規??傉急瘸?90%,均廣泛應用于邏輯、存儲器等芯片制造中。 行業數據 下載Excel 下載圖片 原圖定位