全球主要電子束檢測設備供應商(億美元) 業CR5超過84%,主要包括KLA、應用材料、日立等,其中柯磊半導體市占率高達55.8%。電子束檢測設備方面,根據應用材料統計,2021年應用材料、日立、阿斯麥、KLA等企業市占率分別為50%、28%、15%、6%。 其它 下載Excel 下載圖片 原圖定位