全球離子注入設備海外主導。全球離子注入設備主要以 AMAT、Axcelis、Nissin 及 SEN等國外廠商為主導，2024 年 AMAT 占據全球 62.65%的銷量市場份額，主要產品包括大部分市場所需的離子注入機：大束流離子注入機、中束流離子注入機、超高劑量的離子注入機；Axcelis 主要產品為高能離子注入機；日本 Nissin 主要生產中束流離子注入機。國內離子注入機市場也基本被 AMAT、Axcelis、Nissin 壟斷。海關統計數據在線查詢平臺公布的數據顯示，2024 年 13 類主要半導體設備中，離子注入機進口金額增長最快，同比增長 35.9％，其中進口額前兩名為美國和日本。