ASML在高端光刻機市場占據主導地位。根據 ASML 2024年財報數據，各類光刻機收入占比中，EUV機型貢獻了 39.39%，ArFi機型占比 45.76%。由于 EUV和 ArFi作為高端設備，單價較高，成為 ASML主要的收入增長來源。從光刻機種類來看，ASML是全球唯一的 EUV光刻機供應商，具有絕對的壟斷優勢，2024年首次交付新設備 EXE（ High NA EUV）2臺，引領光刻機走向新時代。從產品單價來看，EXE產品 ASP 為 2.33億歐元，NXE為 1.87億歐元，Arfi產品 ASP為 0.75億歐元。