離子注入機市場分類份額 離子注入是摻雜工藝的主要手段（另一種方法是熱擴散）。按照離子能力高低可分為低能、中能、高能和兆伏離子注入機，按照束流大小可分為小、中、大束流離子注入機。實際應用中超過 60%為低能大束流離子注入機，其余為中束流和高能離子注入機。 行業數據 下載Excel 下載圖片 原圖定位
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