富創精密-深度報告：國內半導體設備零部件龍頭穿越周期快速成長-221009（25頁）.pdf

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1、證券研究報告|深度報告|半導體 http:/ 1/25 請務必閱讀正文之后的免責條款部分 富創精密(688409)報告日期：2022 年 10 月 09 日 國內半導體設備零部件龍頭穿越周期快速成長國內半導體設備零部件龍頭穿越周期快速成長 富創精密富創精密深度報告深度報告 投資要點投資要點 公司專注于半導體精密設備零部件生產，是國內少有通過海外一流設備廠商技公司專注于半導體精密設備零部件生產，是國內少有通過海外一流設備廠商技術認證的公司之一，客戶涵蓋應用材料、東京電子、北方華創、拓荊科技等國術認證的公司之一，客戶涵蓋應用材料、東京電子、北方華創、拓荊科技等國內外一流廠商。在行業需求持續景氣及零

2、部件國產化驅動下，公司產能逐步釋內外一流廠商。在行業需求持續景氣及零部件國產化驅動下，公司產能逐步釋放，規模效應凸顯，公司業績有望穿越周期持續成長。放，規模效應凸顯，公司業績有望穿越周期持續成長。國內半導體設備零部件龍頭企業，業績持續高速增長。國內半導體設備零部件龍頭企業，業績持續高速增長。公司是國內半導體設備零部件龍頭企業，也是國內少有的純半導體設備零部件廠商，主營產品為工藝零部件、結構零部件、模組產品和氣體管路，對應 2022 年全球市場規模預測有望突破 250 億美元。受益于下游晶圓廠商擴產及國產替代浪潮興起，2021 年公司營收 8.43 億元，yoy+75.21%，歸母凈利潤 750

3、0 萬元，yoy+136.78%。公司目前處于持續放量的快速發展期，主要產品工藝和結構零部件產能利用率保持 90%的高水平狀態，后續隨著公司產能釋放和募投基地投產，營收和利潤有望持續快速提升。市場空間逾市場空間逾 600 億美元，海外企業占據先發優勢，國內企業成長空間廣闊。億美元，海外企業占據先發優勢，國內企業成長空間廣闊。半導體設備零部件占半導體設備成本超 50%，品類繁多，不同廠商覆蓋方向差異較大，根據我們測算，2022年半導體設備零部件市場空間將突破 600億美元，同比增速近 7%。晶圓廠商擴產驅動半導體設備市場擴容，從而帶動上游半導體零部件需求，行業景氣度向好。半導體精密零部件業內多數

4、企業僅專注于少量工藝，因此全球競爭格局相對分散。根據芯謀數據，2020 年全球精密零部件廠商主要來自美、日、歐三國，合計占據約 98%的市場份額，五大半導體零部件廠商分別為京瓷、Edwards、UCT、MKS、Ichor，合計收入超過80億美元，國內廠商在高端半導體設備零部件市場與海外企業差距明顯，僅富創精密、新萊應材、萬業企業（肯發）等少數廠商進入海外主流設備廠商供應鏈，市占率提升空間廣闊。隨著晶圓先進制程滲透率提高，對設備零部件的精密度、潔凈度、耐腐蝕性也提出了更高的要求，國產零部件廠商有望優享國內晶圓廠逆周期投資+設備國產化+零部件國產化的紅利穿越周期快速成長！產品產品+客戶客戶+研發研

5、發+擴產齊頭并進，打造世界一流半導體設備零部件供應商。擴產齊頭并進，打造世界一流半導體設備零部件供應商。公司具備可滿足嚴苛標準的精密機械制造、表面處理特種工藝、焊接、組裝、檢測等多種制造工藝，工藝完備性在全球行業內少有。目前可量產的產品超千種，為全球少有的多品類產品提供商之一，部分產品已應用于 7nm制程半導體設備。公司產品品質優秀，應用材料是公司的第一大客戶，營收占比超 50%，其余海外客戶包括東京電子、日立、VAT 等國際主流設備廠商，此外，公司近年持續發力國內市場，營收比重不斷提升，北方華創、拓荊科技、中微公司等國內主流設備廠商均為公司重要客戶。公司注重自主研發和創新，先后承擔“IC 設

6、備關鍵零部件集成制造技術與加工平臺”和“基于焊接和表面涂覆技術的大型鋁件制造技術開發”兩項“國家科技重大專項（02專項）”項目，2021年研發費用率 8.8%，顯著高于同行業海內外可比公司。當前行業景氣度持續旺盛，公司產品供不應求，產能聚焦高附加值產品訂單，隨著南通、北京、沈陽三大生產基地產能逐漸釋放，規模效應凸顯，公司業績成長性/確定性兼備。盈利預測與估值盈利預測與估值 公司作為國內半導體設備零部件龍頭廠商，面對下游晶圓廠大幅擴產及零部件國產化推進，頭部效益明顯，預計公司未來三年營收為 14.82/21.93/32.27 億元，同比增長 75.77%/48.01%/47.12%；實現歸母凈利

7、潤 2.43/3.67/5.42 億元，同比增長91.94%/50.97%/47.90%，公司發行價對應 2022-2024 年 PE 分別為 60/40/27 倍。風險提示風險提示 下游擴產需求不及預期；技術進步不及預期；大客戶依賴風險；毛利率波動風險；規模增長帶來的管理風險。投資評級投資評級:買入買入(首次首次)分析師：蔣高振分析師：蔣高振 執業證書號：S1230520050002 研究助理：厲秋迪研究助理：厲秋迪 基本數據基本數據 收盤價￥0.0 總市值(百萬元)0 總股本(百萬股)209.05 股票走勢圖股票走勢圖 相關報告相關報告 富創精密(688409)深度報告 http:/ 2/

8、25 請務必閱讀正文之后的免責條款部分 財務摘要財務摘要 Table_Forcast(百萬元)2021A 2022E 2023E 2024E 主營收入 843.13 1482.00 2193.49 3227.11 (+/-)(%)75.21%75.77%48.01%47.12%歸母凈利潤 126.49 242.79 366.53 542.12 (+/-)(%)9.10%91.94%50.97%47.90%每股收益(元)0.81 1.16 1.75 2.59 P/E 0.00 0.00 0.00 0.00 資料來源：wind，浙商證券研究所 VYhV8ZmUxUbWqXpUaQbPaQoMpPo

9、MmOfQqRoOiNqRpPaQnMnNMYoOuNvPnOxP富創精密(688409)深度報告 http:/ 3/25 請務必閱讀正文之后的免責條款部分 正文目錄正文目錄 1 富創精密：國內半導體設備零部件龍頭企業富創精密：國內半導體設備零部件龍頭企業.6 1.1 深耕十余載，打造世界一流半導體設備零部件供應商.6 1.2 公司經營持續向好，成長性與確定性兼備.8 2 半導體設備零部件：市場空間廣闊，國內企業半導體設備零部件：市場空間廣闊，國內企業 01 快速成長快速成長.9 2.1 設備零部件是半導體行業基礎，品類繁多/技術壁壘較高.9 2.2 零部件是半導體設備成本主要構成，全球市場有

10、望突破 600 億美元.11 2.3 全球半導體設備零部件企業格局相對分散，主要集中于美日歐.14 2.4 零部件短缺+供應鏈自主可控驅動，設備零部件迎來投資黃金期.14 3 產品產品+客戶客戶+研發研發+擴產多管齊下，打開成長天花板擴產多管齊下，打開成長天花板.16 3.1 產品種類豐富，覆蓋零部件/模組，質量標準領跑國內市場.16 3.2 進入海外頭部半導體設備廠商供應鏈，積極拓展國內客戶.18 3.3 重視自主研發創新，承接國家重大 02 專項課題.19 3.4 募投項目將大幅提升產能，搭建全工藝智能制造新基地.21 4 盈利預測與估值盈利預測與估值.22 4.1 盈利預測.22 4.2

11、 估值.23 4.3 投資意見.23 5 風險提示風險提示.23 富創精密(688409)深度報告 http:/ 4/25 請務必閱讀正文之后的免責條款部分 圖表目錄圖表目錄 圖 1：公司歷史沿革.6 圖 2：公司股權結構圖.7 圖 3：公司營收增長迅速，CAGR 55.34%.8 圖 4：公司 2019-2021 年利潤情況.8 圖 5：公司主營業務毛利率水平高于國際可比公司.8 圖 6：期間費用率呈現明顯下降趨勢.8 圖 7：報告期公司存貨情況（百萬元）.9 圖 8：預收賬款/合同負債快速增長.9 圖 9：半導體設備及半導體設備精密零部件行業的產業鏈情況（灰色為公司覆蓋業務）.9 圖 10

12、：先進制程約占 1/4 代工市場份額.10 圖 11：標準化、柔性化成為未來發展趨勢.10 圖 12：全球半導體設備市場銷售額及增速.11 圖 13：2021 年半導體設備市場按地區分市場份額.11 圖 14：半導體零部件市場規模（億美元）.12 圖 15：國內半導體設備公司銷售毛利率情況（%）.12 圖 16：國內廠商直接材料成本占總營業成本的比重.12 圖 17：2020 年國內 8-12 英寸晶圓設備零部件采購情況.13 圖 18：精密零部件國產化率較低，國產替代空間廣闊（2020）.13 圖 19：全球主要半導體零部件企業情況.14 圖 20：主要半導體零部件企業地區分布（按收入計，2

13、020）.14 圖 21：半導體交期仍在高位.15 圖 22：中芯紹興 2021 年設備招標國產化率達 45%.15 圖 23：新能源市場景氣度高漲.15 圖 24：全球晶圓市值 2022年或將創新高.15 圖 25：公司部分產品示例（以刻蝕設備為例）.16 圖 26：公司部分工藝零部件產品可用于 7nm 制程半導體設備.17 圖 27：公司通過產品認證情況.17 圖 28：分產品營收情況（百萬元）.17 圖 29：分產品毛利率情況.17 圖 30：公司客戶為國內外主流半導體設備廠商，進入全球半導體設備龍頭供應鏈.18 圖 31：公司客戶集中度較高，前五大客戶營收占比超 85%.18 圖 32

14、：公司海外業務收入占比逐年下降.18 圖 33：富創精密在可比公司中研發投入占營收比較高.20 圖 34：公司研發人員數量連續兩年保持 40%以上增長.20 圖 35：南通富創擴產后將顯著提高公司產能.21 圖 36：公司主營業務產銷率約 90%（2021）.21 表 1：公司主要產品分類及介紹.6 表 2：不同零部件品類在設備成本/半導體設備市場中的份額.9 表 3：半導體設備精密零部件技術分類及核心技術介紹.11 表 4：公司主要產品 2022年全球市場規模預測（億美元）.12 表 5：不同品類設備零部件國產化率情況.13 富創精密(688409)深度報告 http:/ 5/25 請務必閱

15、讀正文之后的免責條款部分 表 6：全球主要半導體零部件企業情況.14 表 7：公司產品整體達到或由于國內同比公司，部分產品可優于國際先進水平.17 表 8：公司不同類別產品應用的核心技術情況.19 表 9：公司核心團隊實力雄厚，研發、生產、管理經驗豐富.20 表 10：公司承擔多項重大科研項目.21 表 11：公司 IPO 募投項目表.21 表 12：盈利預測（單位：百萬元）.22 表 13：可比公司估值對比（截至 2022-09-30，富創精密為發行總市值）.23 表附錄：三大報表預測值.24 富創精密(688409)深度報告 http:/ 6/25 請務必閱讀正文之后的免責條款部分 1 富

16、創精密：國內半導體設備零部件富創精密：國內半導體設備零部件龍頭龍頭企業企業 1.1 深耕深耕十余載，十余載，打造世界一流半導體設備零部件供應商打造世界一流半導體設備零部件供應商 專注專注半導體設備精密零部件十四載，半導體設備精密零部件十四載，產品通過國際頂級設備廠商驗證。產品通過國際頂級設備廠商驗證。2008 年，由沈陽先進、遼寧科發和 Fortrend 共同出資設立沈陽富創精密設備股份有限公司，主營業務面向半導體零部件市場，2011/2013 年公司先后打開國際/國內市場，開始為國際/國內半導體設備龍頭客戶提供產品和服務。2014年，公司承擔 02專項“基于焊接和表面涂覆技術的大型鋁件制造技

17、術開發”項目，并于 2020年驗收。2016年，公司產品品類進一步拓寬，開始為國際半導體閥門領域領軍企業提供產品及服務。歷經 14 年的發展，公司累計通過全球半導體設備龍頭公司 39 項大類特種工藝認證，在其半導體設備精密零部件供應商中位居前列。圖1：公司歷史沿革 資料來源：招股說明書，浙商證券研究所 主要產品涵蓋工藝零部件主要產品涵蓋工藝零部件/結構零部件結構零部件/模組產品模組產品/氣體管路，細分品類持續拓寬。氣體管路，細分品類持續拓寬。經過多年研發實踐，公司在精密機械制造、表面處理特種工藝、焊接、組裝等關鍵制造工藝上能力領先，產品覆蓋工藝零部件、結構零部件、模組產品、氣體管路四大類。公司

18、產品的高精密、高潔凈、高耐腐蝕、耐擊穿電壓等性能達到主流國際客戶標準，已打入全球半導體設備龍頭主流公司供應鏈體系。同時，公司具備多品種、小批量、定制化制造能力，并可實現在嚴苛的半導體級別質量體系下的高生產效率。表1：公司主要產品分類及介紹 代表性代表性 產品產品 主要應用主要應用 設備設備 產品主要作用產品主要作用 技術要點技術要點 工藝工藝 零部件零部件 過渡腔 刻蝕設備 薄膜沉積設備 晶圓從外部環境進入 真空環境設備入口 高精密多工位復雜型面制造技術 不同的表面處理特種工藝 傳輸腔 刻蝕設備 薄膜沉積設備 晶圓在過渡腔和反應腔之間 進行轉移的中間平臺 高精密多工位復雜型面制造技術 不同的表

19、面處理特種工藝 反應腔 刻蝕設備 薄膜沉積設備 晶圓加工和生產的工作空間 高潔凈度精密清洗技術 耐腐蝕陽極氧化技術 內襯 刻蝕設備 薄膜沉積設備 反應腔體內核心零件，通過 高致密涂層保護反應腔體表面 高潔凈度精密清洗技術 陽極氧化工藝 氧化釔涂層制造技術 焊接技術 勻氣盤 刻蝕設備 薄膜沉積設備 特種工藝氣體通過勻氣盤上的 小孔后均勻沉積在晶圓表面，高精密微孔制造技術 高潔凈度精密清洗技術 富創精密(688409)深度報告 http:/ 7/25 請務必閱讀正文之后的免責條款部分 保證晶圓表面膜層的均勻性和一致性 結構結構 零部件零部件 托盤軸 CMP 設備 支撐 CMP 設備的拋光平臺 專用

20、工裝裝夾 高精度設備 特殊刀具加工技術 鑄鋼平臺 CMP 設備 鑄鋼平臺是機械拋光設備的 安裝平臺，長寬通常 1 米以上 高精密多工位復雜型面制造技術 不銹鋼超高光潔度制造技術 流量計底座 刻蝕設備 薄膜沉積設備 流量計底座是承載測定特種 工藝氣體傳輸流量的底盤裝置 精密加工技術 不銹鋼超高光潔度制造技術 高潔凈度精密清洗技術 定子冷卻套 CMP 設備 定子冷卻套是 CMP 設備的內部冷卻裝置，用于密封內部冷卻液體 高精密多工位復雜型面制造技術 冷卻板 顯示面板薄膜 沉積設備 涂膠顯影設備 冷卻板是制造顯示面板的薄膜沉積設備的內部冷卻裝置，產品多為 2 米尺寸的鋁合金薄板，用于冷卻反應腔體上蓋

21、 自制特殊工裝治具 模組模組 產品產品 離子注入機模組 離子注入設備 離子注入機模組承載離子 注入技術 密封組裝 電氣組裝 運動部件組裝 傳輸腔模組 刻蝕設備 薄膜沉積設備 同傳輸腔 模擬實際使用場景 過渡腔模組 刻蝕設備 薄膜沉積設備 同過渡腔 模擬實際使用場景 刻蝕閥體模組 刻蝕設備 控制反應腔壓力平衡的裝置，閥體與反應腔體相連，通過閥門的開關來調整反應腔體的壓力 高精密多工位復雜型面制造技術 陽極氧化技術及清洗技術 氣柜模組 刻蝕設備 薄膜沉積設備 離子注入設備 氣柜模組是特種工藝氣體輸送控制裝置，按需求傳輸、分配和混合不同特殊工藝氣體 不銹鋼超高光潔度制造技術 高潔凈度精密清洗技術 氣

22、體氣體 管路管路 氣體管路 刻蝕設備 薄膜沉積設備 離子注入設備 連接氣源到反應腔的傳輸管道 超潔凈管路焊接技術及清洗技術 專屬生產設備及自制工裝 資料來源：招股說明書，浙商證券研究所 沈陽先進沈陽先進持有持有 22.55%股份系公司股份系公司第一大股東第一大股東，鄭廣文為公司實控人，鄭廣文為公司實控人。截至招股說明書簽署日，沈陽先進、寧波祥浦、上海國投是富創精密前三大股東，合計持股 62.33%，其中沈陽先進持股 22.55%，為公司第一大股東，其他股東持股比例相對分散；實際控制人為鄭廣文，直接或間接持有 34.03%的股份。富創精密共有沈陽融創、北京富創、南通富創、富創研究院、沈陽強航 5

23、 家境內控股子公司，美國富創、日本富創 2 家境外全資子公司和上海廣川、芯鏈融創 2 家境內參股公司。圖2：公司股權結構圖 資料來源：招股說明書，浙商證券研究所 富創精密(688409)深度報告 http:/ 8/25 請務必閱讀正文之后的免責條款部分 1.2 公司經營持續向好，公司經營持續向好，成長性與確定性兼備成長性與確定性兼備 2021 年營收大幅增長至年營收大幅增長至 8.43 億元，億元，yoy+75.21%，盈利能力，盈利能力持續向好。持續向好。2018-2021年行業景氣度回升及半導體設備國產化趨勢驅動公司業績大幅提升，公司營收從 2.25 億迅速增長至 8.43 億元，CAGR

24、 55.32%。盈利能力方面，由于 2018/2019 年行業景氣度羸弱且公司產能規模較小扣非歸母凈利潤為負數，后續隨著行業景氣度攀升及公司產能利用率提升，規模效應初步顯現，公司盈利轉虧為盈，2021 年扣非歸母凈利潤突破 7000 萬元，yoy+136.78%。公司作為掌握多項核心技術的半導體設備零部件龍頭，在國產替代邏輯下，國內業務有望進一步提升。圖3：公司營收增長迅速，CAGR 55.34%圖4：公司 2019-2021 年利潤情況 資料來源：Wind，浙商證券研究所 資料來源：Wind，浙商證券研究所 毛利率水平高于行業成熟可比公司，期間費用率穩步下降毛利率水平高于行業成熟可比公司，期

25、間費用率穩步下降。2019-2021 年，隨著行業景氣度回升帶動產能利用率提高，公司整體毛利率從 17.18%增至 32.04%，主營業務毛利率顯著高于可比公司京鼎精密和超科林的平均毛利率（21.64%），且近兩年保持相對穩定。期間費用率穩步下降，主要源于半導體行業回暖對公司營業收入快速增長的帶動作用，規模效應逐步體現。但由于公司規模較小，毛利率波動略大于可比公司。圖5：公司主營業務毛利率水平高于國際可比公司 圖6：期間費用率呈現明顯下降趨勢 資料來源：Wind，浙商證券研究所 資料來源：Wind，浙商證券研究所 公司在手訂單充沛，存貨持續攀升，預收賬款公司在手訂單充沛，存貨持續攀升，預收賬款

26、/合同負債快速增長。合同負債快速增長。公司經營情況持續向好，下游客戶需求旺盛，不斷消化備貨和合理排產，存貨周轉率逐年提升。2021 年底公司存貨賬面余額 2.79億元，yoy+81.06%，在產品及半成品/發出商品占存貨的比例均有所上升，庫存商品占比下降較多。2019-2021 年，預收賬款/合同負債快速增長，2021 年合同負債達 0.19 億元，同比快速增長，同時在手訂單充沛，公司快速成長能見度高。0%10%20%30%40%50%60%70%80%90%100%01002003004005006007008009002018201920202021營收（百萬元）營收同比-100-5005

27、01001502018201920202021歸母凈利潤(百萬元）扣非歸母凈利潤（百萬元）0%5%10%15%20%25%30%35%201920202021富創精密京鼎精密超科林-20-15-10-505101520253035201920202021整體毛利率（%）銷售凈利率（%）銷售費用率(%)管理費用率(%)財務費用率(%)富創精密(688409)深度報告 http:/ 9/25 請務必閱讀正文之后的免責條款部分 圖7：報告期公司存貨情況（百萬元）圖8：預收賬款/合同負債快速增長 資料來源：Wind，浙商證券研究所 資料來源：Wind，浙商證券研究所 2 半導體設備零部件：半導體設備零

28、部件：市場空間廣闊，國內企業市場空間廣闊，國內企業 01 快速成長快速成長 2.1 設備設備零部件零部件是是半導體半導體行業基礎行業基礎，品類繁多品類繁多/技術壁壘較高技術壁壘較高 半導體設備精密零部件行業是半導體設備行業的支撐。半導體設備精密零部件行業是半導體設備行業的支撐。半導體設備擁有多個核心子系統，如光刻、刻蝕、薄膜沉積設備等，每個子系統都需多種零部件支撐。半導體精密零部件屬于半導體設備制造中難度較大、技術含量較高的環節，連接上游原材料和重要制造，是國內半導體產業“卡脖子”的環節之一，支撐著半導體設備行業及整個集成電路產業。圖9：半導體設備及半導體設備精密零部件行業的產業鏈情況（灰色為

29、公司覆蓋業務）資料來源：招股說明書，浙商證券研究所 半導體設備成本構成中精密零部件價值占比較高，細分品類繁多。半導體設備成本構成中精密零部件價值占比較高，細分品類繁多。半導體設備廠商多為輕資產模式運營，其絕大部分關鍵核心技術需要物化在精密零部件上，或以精密零部件作為載體來實現。根據廠商公開披露信息，設備成本構成中一般 90%以上為原材料（即不同類型的精密零部件產品），對精密零部件的精密度、潔凈度、耐腐蝕性能、耐擊穿電壓性能等具有超高要求。表2：不同零部件品類在設備成本/半導體設備市場中的份額 機械類 電氣類 機電 一體化 氣體/液體/真空系統類 儀器 儀表類 光學類 其他 占設備成本比例 20

30、-40%10-20%10-25%10-30%1-3%55%3-5%占半導體設備 市場比例 12%6%8%9%1%8%-資料來源：芯謀研究，招股說明書，浙商證券研究所 0%50%100%150%200%250%300%050100150200250300201920202021原材料周轉材料委托加工物資在產品及半成品庫存商品發出商品存貨周轉率87.0 6.5 1,903.1 02004006008001,0001,2001,4001,6001,8002,000201920202021合同負債+預收款項（萬元）富創精密(688409)深度報告 http:/ 10/25 請務必閱讀正文之后的免責條款

31、部分 先進制程推動精密零部件工藝技術要求提升。先進制程推動精密零部件工藝技術要求提升。半導體設備廠商出于降低成本和提升效率的目的，對標準化、模塊化、流程化會提出更高要求，同時簡化零部件供應鏈，能提供多種工藝、多品類產品的制造商會更有競爭力。隨著晶圓制造向 7nm 及更先進的制程工藝發展，半導體設備的工藝規格、零部件的制造精密度、潔凈度要求將越來越高，對相應工藝技術要求也將隨之提升，半導體設備精密零部件制造商的生產會更趨智能化、柔性化，不斷提高生產效率，降低對人工經驗的依賴。圖10：先進制程約占 1/4 代工市場份額 圖11：標準化、柔性化成為未來發展趨勢 資料來源：Trendforce，浙商證

32、券研究所 資料來源：南通富創官網，浙商證券研究所 零部件新技術又進一步推動先進制程半導體設備的工程化和量產化零部件新技術又進一步推動先進制程半導體設備的工程化和量產化。半導體設備的升級迭代依賴于精密零部件的技術突破，新工藝與新技術致力于滿足產品在精密度、潔凈度、耐腐蝕性、耐擊穿電壓等方面的更高要求，并實現較高的生產效率，主要包括精密機械制造技術/表面處理特種工藝技術/焊接技術。精密機械制造技術精密機械制造技術：圍繞精準的加工工藝路線和程序的開發、材料科學和材料力學與零件結構和加工參數的匹配、制造方式與產業模式的匹配，通過精準把控機械制造精度和加工材料，來高質量輸出高精密產品。表面處理特種工藝技

33、術表面處理特種工藝技術：分為干式制程和濕式制程，前者包括拋光、噴砂及噴涂等；后者包括化學清洗、陽極氧化、化學鍍鎳以及電解拋光等。焊接技術焊接技術：不僅用于在結構上滿足零部件的不同尺寸及密封性能，還需要從焊接工藝、焊接參數、焊接材料、焊接環境等方面實現精密零部件焊接區域零氣孔、零裂紋、零瑕疵，保證產品性能及使用壽命。0%10%20%30%40%50%60%70%80%90%100%20212022E2023E2024E成熟制程先進制程富創精密(688409)深度報告 http:/ 11/25 請務必閱讀正文之后的免責條款部分 表3：半導體設備精密零部件技術分類及核心技術介紹 技術分類技術分類 核

34、心技術核心技術 主要應用產品主要應用產品 精密機械制造精密機械制造技術技術 高精密多工位復雜型面制造技術 工藝零部件中的過渡腔、傳輸腔、反腔等，應用于刻蝕設備、薄膜沉積設備等 高精密微孔制造技術 工藝零部件中的過渡腔、傳輸腔、反應腔等，應用于刻蝕設備、薄膜沉積設備等 不銹鋼超高光潔度制造技術 工藝氣體傳送與流量控制產品 表面處理特種表面處理特種工藝技術工藝技術 耐腐蝕陽極氧化技術 工藝零部件中的反應腔、內襯等，應用于刻蝕設備、薄膜沉積設備等 高潔凈度精密清洗技術 工藝零部件中的內襯、傳輸腔、勻氣盤，應用于刻蝕設備、薄膜沉積設備等 高性能化學鍍鎳技術 工藝零部件中的傳輸腔等，應用于刻蝕設備、薄膜

35、沉積設備等 等離子噴涂氧化釔涂層技術 工藝零部件中的內襯等，主要應用于刻蝕設備 焊接技術焊接技術 電子束焊接技術 勻氣盤、冷卻板、氣體管路等半導體設備精密零部件 激光焊接技術 腔體襯套、激光焊接冷卻板等半導體設備精密零部件 超潔凈管路焊接技術 半導體設備氣體管路精密零部件 資料來源：招股說明書，浙商證券研究所 2.2 零部件零部件是半導體設備成本主要構成是半導體設備成本主要構成，全球市場，全球市場有望突破有望突破 600億美億美元元 晶圓廠擴產訂單驅動半導體設備景氣度高企，晶圓廠擴產訂單驅動半導體設備景氣度高企，2021 年半導體年半導體設備市場規模超千億美元。設備市場規模超千億美元。新能源汽

36、車、數據中心等半導體下游需求催生晶圓廠擴產意愿，從而驅動上游半導體設備及零部件廠商產能利用率提高。SEMI 數據顯示，2021 年全球半導體設備市場達 1026 億美元，yoy+44.10%，預計 2022 年整體市場規模將達到 1157 億美元。2021 年中國大陸是全球最大的半導體市場，設備銷售額高達 296.2 億美元，市場占比達 28.86%。圖12：全球半導體設備市場銷售額及增速 圖13：2021 年半導體設備市場按地區分市場份額 資料來源：SEMI，浙商證券研究所 資料來源：SEMI，浙商證券研究所 半導體零部件市場規模將超半導體零部件市場規模將超 600 億美元，占半導體設備成本

37、超億美元，占半導體設備成本超 50%。根據 wind數據的國內外半導體設備廠商公開披露信息，頭部半導體設備公司毛利率在 40%-45%之間，則成本占銷售收入為 55%-60%，主流公司成本構成中物料（即不同類型的精密零部件產品）成本一般占總成本的 90%，因此物料成本約占銷售收入的 50%-55%。根據 SEMI 數據并采用中間值 52.5%進行測算，2022 年預計半導體設備市場 1157 億美元，可得出半導體設備零部件市場規模將超過 600 億美元，增長空間巨大。-30%-20%-10%0%10%20%30%40%50%02004006008001,0001,2001,400全球半導體設備

38、銷售額（億美元）同比增速28.86%24.34%24.30%7.60%7.41%3.17%4.33%中國大陸韓國中國臺灣日本北美歐洲其他富創精密(688409)深度報告 http:/ 12/25 請務必閱讀正文之后的免責條款部分 圖14：半導體零部件市場規模（億美元）資料來源：SEMI，浙商證券研究所 圖15：國內半導體設備公司銷售毛利率情況（%）圖16：國內廠商直接材料成本占總營業成本的比重 資料來源：Wind，浙商證券研究所 資料來源：各公司公告，浙商證券研究所 注：拓荊科技 2021 年數據為 1-9 月數據 保守估計保守估計富創精密富創精密涉及的半導體設備精密零部件市場涉及的半導體設備

39、精密零部件市場 2022 年規模有望突破年規模有望突破 250 億美億美元，元，超過全球半導體設備市場規模的超過全球半導體設備市場規模的 20%。根據公司招股書所披露的相關信息及 SEMI 數據進行測算，公司四類主營產品在薄膜沉積設備、刻蝕設備市場中價值達到 34%/40%，2022年半導體設備全球市場規模有望超過 1150億美元，公司主要產品品類在全球半導體設備市場中價值提升，整體有望突破 250 億美元，約占全球半導體設備市場規模的 22%。表4：公司主要產品 2022 年全球市場規模預測（億美元）設備名稱設備名稱 2022 全球市場全球市場規模預測規模預測 工藝和結構零部工藝和結構零部件

40、占比件占比 模組產品模組產品占比占比 氣柜和氣體管氣柜和氣體管路占比路占比 主要產品全球市主要產品全球市場規模場規模 薄膜沉積設備 280 14.0%11.5%9.0%96 刻蝕設備 223 19.5%8.0%12.5%89 光刻設備 218 7.5%不適用 不適用 16 清洗設備 57 12.0%不適用 不適用 7 涂膠顯影設備 39 12.0%17.5%不適用 12 化學機械拋光設備 26 19.5%12.5%不適用 8 熱處理設備 24 17.5%11.5%12.5%10 離子注入設備 23 12.0%5.0%2.0%4 去膠設備 8 17.5%11.5%12.5%3 其他前道設備、測試

41、設備和封裝設備等 260 5.0%不適用 不適用 13 合計合計 1157 11.8%5.6%5.0%259 資料來源：招股說明書，浙商證券研究所-30%-20%-10%0%10%20%30%40%50%60%01002003004005006007002010201120122013201420152016201720182019202020212022E半導體零部件市場規模測算同比增速010203040502018201920202021北方華創盛美上海拓荊科技中微公司60%65%70%75%80%85%90%95%100%2018201920202021北方華創盛美上海拓荊科技中微公司富

42、創精密(688409)深度報告 http:/ 13/25 請務必閱讀正文之后的免責條款部分 當前精密零部件國產化率較低，存在較大國產替代空間。當前精密零部件國產化率較低，存在較大國產替代空間。芯謀研究數據顯示，2020 年中國大陸 8-12 寸晶圓產線前道設備零部件采購金額超 10 億美元，其中本土廠商采購金額約為 4.3億美元，其中石英、射頻發生器和泵三類的采購占比超 10%。當前我國半導體設備核心零部件自給率仍然較低，僅石英、邊緣環和反應腔噴頭國內自給率高于 10%，整體自給率仍低于半導體設備、材料，替代空間更具彈性。隨著國產設備市場規模的快速成長，驅動半導體零部件需求快速放量，半導體零部

43、件景氣度快速提升。圖17：2020 年國內 8-12 英寸晶圓設備零部件采購情況 圖18：精密零部件國產化率較低，國產替代空間廣闊（2020）資料來源：芯謀研究，浙商證券研究所 資料來源：芯謀研究，浙商證券研究所 機械類零部件市場占比最高，富創精密多賽道產品進入國際供應鏈，整體國產化率仍機械類零部件市場占比最高，富創精密多賽道產品進入國際供應鏈，整體國產化率仍然較低。然較低。目前各細分品類精密零部件市場國內廠商均有涉足，但細分市場的國產化率差距較大，機械類/機電一體類零部件市場在國內已出現能夠進入國際半導體設備廠商的供應商，整體國產化率相對較高，而電氣類/光學類零部件市場尚未有國內企業進入國際

44、半導體設備廠商行列，國產化率低。全品類精密零部件均呈現功能復雜的高端產品尚未國產化或水平較低的現象，國內廠商在核心模塊仍有較大前進空間。表5：不同品類設備零部件國產化率情況 分類分類 占半導體設備占半導體設備市場的比例市場的比例 國際主要企業國際主要企業 國內主要企業國內主要企業 國產化率國產化率 機械類 12%金屬類：京鼎精密 Ferrortec 富創精密、靖江先鋒 托倫斯、江豐電子 富創精密等進入國際供應鏈；國產化率較高 非金屬類：Ferrortec、Hana、新鶴、杜邦 菲利華 神工股份 電氣類 6%Advanced Energy、MKS 英杰電氣 北方華創 少量應用于國內光伏、LED等

45、設備 國產化率低 機電一體類 8%京鼎精密、Brooks Automation、Rorze、ASML 富創精密、華卓精科、新松機器人、京儀自動化 富創精密等進入國際廠商供應鏈；國產化率不高 氣體/液體/真空系統類 9%超科林、Edwards、Ebara、MKS 富創精密、萬業企業（Compart）、新萊應材、沈陽科儀、北京中科儀 少數企業通過自研/收購進入國際廠商供應鏈；國產化率中等 儀器儀表類 1%MKS、Horiba 北方華創、萬業企業 通過收購進入國際供應鏈，自研產品少量用于國內設備廠商；國產化率低 光學類 8%Zeiss、Cymer、ASML 北京國望光學科技有限公司 長春國科精密光學

46、技術有限公司 未進入國際供應鏈廠商 國產化率較低 資料來源：芯謀研究，招股說明書，浙商證券研究所 11%10%10%9%9%8%6%3%2%2%1%29%石英射頻發生器泵閥門吸盤反應腔噴淋頭邊緣環量器MFC富創精密(688409)深度報告 http:/ 14/25 請務必閱讀正文之后的免責條款部分 2.3 全球全球半導體設備半導體設備零部件零部件企業企業格局相對分散，格局相對分散，主要集中于主要集中于美日歐美日歐 全球視角：全球視角：市場主要以歐美日為主，市場主要以歐美日為主，京瓷、京瓷、Edwards、UCT、MKS、Ichor 處于頭部處于頭部領先地位。領先地位。半導體設備本身結構復雜，對

47、加工精度、一致性、穩定性要求較高，導致精密零部件制造工序繁瑣，技術難度大，行業內多數企業只關注于個別生產工藝，或專注于特定精密零部件產品，全球范圍內市場格局相對分散。目前來看精密零部件廠商主要來自美、日、歐三國，三者合計占據約 98%的市場份額。2020 年前五大半導體零部件廠商分別為京瓷、Edwards、UCT、MKS、Ichor，合計收入超過 80 億美元。國內廠商多集中于中低端產品制造，對于高端精密半導體零部件市場鮮有涉足，僅富創精密、新萊應材、萬業企業（肯發）等少數國內廠商進入國際主流廠商供應鏈。圖19：全球主要半導體零部件企業情況 圖20：主要半導體零部件企業地區分布（按收入計，20

48、20）資料來源：各公司公告，浙商證券研究所 資料來源：各公司公告，浙商證券研究所 表6：全球主要半導體零部件企業情況 公司名稱公司名稱 產品情況產品情況 客戶情況客戶情況 全球占有率全球占有率 Ferrotec 石英、陶瓷、硅、碳化硅等非金屬精密零部件、結構零部件為主，也涉及金屬精密零部件、模組等產品業務 國際及國內半導體設備企業 約 2%京鼎精密 工藝零部件、結構零部件、模組等產品 核心為國際半導體設備廠商，2021 年中國大陸營收占比 3.82%，當年甲公司營收占比超過 80%約 3%超科林 氣體和液體傳輸等模組產品為主，也涉及金屬精密零部件業務 核心為國際半導體設備廠商，2021 年中國

49、大陸營收占比為 4.75%，當年Lam Research 和客戶 A 合計營收超過60%超過 10%富創精密 工藝零部件、結構零部件、模組產品和氣體管路，零部件以鋁合金金屬材料為主 國際及國內半導體設備企業。2021 年客戶 A 直接營收占比超過 50%，北方華創等國內廠商營收占比不斷提升 不到 1%靖江先鋒 工藝零部件、結構零部件為主 國內半導體設備廠商 低于富創精密 托倫斯 工藝零部件、結構零部件，擅長不銹鋼材料產品 國內半導體設備廠商 低于富創精密 資料來源：招股說明書，浙商證券研究所 2.4 零部件短缺零部件短缺+供應鏈自主可控供應鏈自主可控驅動驅動，設備零部件迎來投資黃金期設備零部件

50、迎來投資黃金期 上游上游部分部分精密零部件缺貨精密零部件缺貨嚴重，嚴重，半導體設備交期拉長。半導體設備交期拉長。Susquehanna Financial Group 數據顯示，7 月份全球芯片交貨時間平均為 26.9 周，繼續保持高位，2022 年以來行業整體交美國日本歐洲新加坡韓國富創精密(688409)深度報告 http:/ 15/25 請務必閱讀正文之后的免責條款部分 貨期在 25 周以上，晶圓廠擴產進程受到半導體設備交期遞延、建廠工程延宕等因素影響而進一步推遲了 2-9 個月不等。供應鏈安全需要推動半導體設備及零部件國產化進程。供應鏈安全需要推動半導體設備及零部件國產化進程。當下國際

51、形勢日趨復雜，各國產業布局競爭日漸激烈，產業本土化、多中心化和區域化發展趨勢明顯，供應鏈安全的需求有望推動精密零部件國產廠商進口替代進程提速。2022 年 3 月，集成電路大基金（二期）首次投向半導體零部件領域，增資萬業企業關聯方浙江鐠芯，開始布局半導體零部件。圖21：半導體交期仍在高位 圖22：中芯紹興 2021 年設備招標國產化率達 45%資料來源：Susquehanna Financial Group，浙商證券研究所 資料來源：采招網，浙商證券研究所 設備及零部件雙重國產化需求打開市場增長空間，預計未來設備及零部件雙重國產化需求打開市場增長空間，預計未來 3 年行業可保持兩位數增年行業可

52、保持兩位數增長速度。長速度。國內半導體零部件景氣度顯著高于海外，一方面來自于下游需求持續拓展，如新能源汽車、消費電子等需求旺盛，另一方面來自于國際關系不穩定性，中國大陸晶圓廠會持續擴產。當前半導體零部件整體的國產化率僅為個位數，國產供應遠小于需求，部分高端零部件全部依賴進口，有較強且持續的增長動力。圖23：新能源市場景氣度高漲 圖24：全球晶圓市值 2022 年或將創新高 資料來源：新能源汽車藍皮書：中國新能源汽車產業發展報告（2022），浙商證券研究所 資料來源：IC insights，浙商證券研究所 國內視角：外資控股國內視角：外資控股廠商廠商為主，為主，國產化率較低，國產化率較低，富創精

53、密、靖江先鋒、托倫斯領跑內富創精密、靖江先鋒、托倫斯領跑內資企業。資企業。目前國內規模較大的半導體設備精密零部件廠商主要為臺灣地區的京鼎精密和日本 Ferrotec 等外資企業的境內子公司，內資企業中，富創精密能夠直接為國際半導體設備廠商制造量產產品，研發實力和技術實力通過國際主流廠商認證，靖江先鋒、托倫斯則主要以向國內半導體設備廠商供貨為主。國內半導體零部件廠商積極展開市場布局，江豐電子、新萊應材、神工股份、萬業企業、華亞智能、光力科技等發展迅速。0102030405060國產設備進口設備0%2%4%6%8%10%12%14%16%050100150200250300350400201620

54、172018201920202021國內新能源汽車銷量（萬輛）國內新能源汽車市場滲透率-5%0%5%10%15%20%25%30%0204060801001201402016201720182019202020212022E全球晶圓市值（純代工+IDM）同比富創精密(688409)深度報告 http:/ 16/25 請務必閱讀正文之后的免責條款部分 3 產品產品+客戶客戶+研發研發+擴產多管齊下，打開成長天花板擴產多管齊下，打開成長天花板 3.1 產品種類豐富，覆蓋零部件產品種類豐富，覆蓋零部件/模組，質量標準領跑模組，質量標準領跑國內市場國內市場 國內半導體設備精密零部件的領軍企業，量產種類

55、超千種。國內半導體設備精密零部件的領軍企業，量產種類超千種。公司以鋁合金零部件精密制造技術為核心，掌握可滿足嚴苛標準的精密機械制造、表面處理特種工藝、焊接、組裝、檢測等多種制造工藝，應用領域涵蓋半導體、泛半導體等領域，是國內半導體零部件龍頭產商。目前可量產的產品超過千種，可應用于多個前道半導體設備品類，同時公司具備百級和千級潔凈間和半導體級別的潔凈檢測能力，精密零部件產品的高精密、高潔凈、超強耐腐蝕能力、耐擊穿電壓性能優異，部分產品已應用于 7nm 制程半導體設備。圖25：公司部分產品示例（以刻蝕設備為例）資料來源：招股說明書，浙商證券研究所 公司產品主要分為工藝零部件、結構零部件、氣體管路和

56、模組產品四大類，公司產品主要分為工藝零部件、結構零部件、氣體管路和模組產品四大類，不同產品的工作環境和性能要求有所不同，當前部分產品技術水平達到或超過國際一流廠商標準：工藝零部件：工藝零部件：需經過高精密機械制造和復雜的表面處理特種工藝過程，具備高精密、高潔凈、超強耐腐蝕能力、耐擊穿電壓等特點，主要應用于刻蝕設備、薄膜沉積設備，少量用于離子注入設備和高溫擴散設備等。結構零部件：結構零部件：在半導體設備中起連接、支掉和冷卻等作用，應用于半導體設備、面板及光伏等泛半導體設備和其他領域中，對平面度和平行度有較高的要求，部分結構零部件同樣需要具備高潔凈、強耐腐蝕能力和耐擊穿電壓等性能。氣體管路：氣體管

57、路：為滿足客戶嚴苛的標準，公司需要在潔凈間環境內，利用超潔凈管路焊接技術及清洗技術并結合專屬生產設備及自制工裝來保證氣體管路無漏點且管路內焊縫無氧化和缺陷，以保證氣體在傳輸過程中的潔凈度且不發生泄漏。模組產品：模組產品：工藝零部件、結構零部件等自制零部件與外購的電子標準件和機械標準件等經過組裝、測試等環節，可以制成具有特定功能的模組產品。富創精密(688409)深度報告 http:/ 17/25 請務必閱讀正文之后的免責條款部分 圖26：公司部分工藝零部件產品可用于 7nm制程半導體設備 圖27：公司通過產品認證情況 資料來源：招股說明書，浙商證券研究所 資料來源：公司官網，浙商證券研究所 表

58、7：公司產品整體達到或由于國內同比公司，部分產品可優于國際先進水平 產品產品 技術要求技術要求 與主流半導體設備客戶指標對比與主流半導體設備客戶指標對比 其他主要供應商其他主要供應商 工藝零部件工藝零部件 最高 均達到或優于主流 國際客戶標準 通過主流國際客戶認證 的除發行人外尚無內資企業 結構零部件結構零部件 低于工藝零部件 部分達到或優于主流 國內客戶標準 氣體管路氣體管路 工藝制程相對標準化 同樣具備較高技術要求 均達到或優于主流 國際客戶標準 模組產品模組產品 不僅需滿足自制零部件的技術要求，還需滿足組裝后產品定制化要求 主要產品均達到或優于 主流國際客戶標準 資料來源：招股說明書，浙

59、商證券研究所 工藝工藝零部件零部件和結構零部件和結構零部件是公司毛利的主要來源是公司毛利的主要來源，模組和氣體管路產品，模組和氣體管路產品貢獻不斷提升貢獻不斷提升。報告期內，公司營收大幅增長，工藝零部件和結構零部件營收貢獻超 60%，隨著公司工藝技術和產品結構日趨完善，模組和氣體管路產品通過核心客戶認證后開始放量供貨，合計營收占比從 2019 年的 25.81%提升至 2021 年的 36.06%，收入逐年增長。毛利率方面，除模組產品外購原材料占比相對較多拉低產品毛利外，其他三類產品毛利穩定在 20%-30%。圖28：分產品營收情況（百萬元）圖29：分產品毛利率情況 資料來源：招股說明書，浙商

60、證券研究所 資料來源：招股說明書，浙商證券研究所 02004006008001000201920202021工藝零部件結構零部件模組產品氣體管路-10%-5%0%5%10%15%20%25%30%35%40%201920202021工藝零部件結構零部件模組產品氣體管路整體毛利率富創精密(688409)深度報告 http:/ 18/25 請務必閱讀正文之后的免責條款部分 3.2 進入海外頭部半導體設備廠商供應鏈，積極拓展國內客戶進入海外頭部半導體設備廠商供應鏈，積極拓展國內客戶 通過應用材料、東京電子、通過應用材料、東京電子、VAT 認證，部分產品質量優于主流國際客戶標準。認證，部分產品質量優于

61、主流國際客戶標準。通過多年研發，公司現已通過業界最權威的半導體零部件供應商美國應用材料公司 AMAT SSQA 審核、日本東京電子 TEL 質量體系審核，閥門制造商全球排名第一的 VAT 公司審核，累計通過美國應材表面特殊制程認證 68 項，位居亞洲第一，成為國內唯一一家被世界排名前兩位的裝備廠商美國應用材料與日本東京電子認證的戰略供應商。行業特殊性決定公司擁有較高客戶粘性，產品質量認證拓寬國內外市場。行業特殊性決定公司擁有較高客戶粘性，產品質量認證拓寬國內外市場。由于半導體設備廠商對所選用的精密零部件要求極為苛刻，一旦確定合作關系往往長期深度綁定，不會頻繁更換，因此客戶粘性較強；此外，一旦通

62、過全球主流設備廠家認證，行業內其他廠家會相繼跟進，帶來更多潛在訂單。公司累計通過全球半導體設備龍頭公司的 39 項大類特種工藝認證，在全球半導體設備龍頭公司的半導體設備精密零部件供應商中位居前列。圖30：公司客戶為國內外主流半導體設備廠商，進入全球半導體設備龍頭供應鏈 資料來源：招股說明書，浙商證券研究所 客戶集中度較高，客戶集中度較高，正積極拓展國內半導體零部件市場正積極拓展國內半導體零部件市場。2021 年公司前五大客戶分別為應用材料、北方華創、華海清科、客戶 C 和拓荊科技，報告期內，公司前五大客戶收入占比為 87.35%/87.25%/86.23%，客戶集中度較高，其中某全球半導體設備

63、空龍頭公司一家營收占比便超過 50%。從地區上看，公司海外業務收入占比逐漸下降，2021 年中國大陸地區營收 3.26 億元，占比升至 38.68%，公司技術優勢有助于在國內半導體設備市場逐步拓展，中國大陸板塊業務有望進一步拓展。圖31：公司客戶集中度較高，前五大客戶營收占比超 85%圖32：公司海外業務收入占比逐年下降 資料來源：招股說明書，浙商證券研究所 資料來源：Wind，浙商證券研究所 87.35%87.25%86.23%80%81%82%83%84%85%86%87%88%89%90%201920202021前五大客戶占比0%20%40%60%80%100%2018201920202

64、021中國大陸中國大陸以外富創精密(688409)深度報告 http:/ 19/25 請務必閱讀正文之后的免責條款部分 3.3 重視自主研發創新，承接國家重大重視自主研發創新，承接國家重大 02 專項課題專項課題 掌握掌握 147 項專利技術，項專利技術，具備多種類制造工藝，具備多種類制造工藝，工藝完備性業內少有工藝完備性業內少有。截至招股說明書簽署日，公司及子公司共擁有境內外專利 147 項，公司具備精密機械制造、表面處理特種工藝、焊接、組裝以及檢測在內的多種生產工藝和產能，工藝完備性全球行業內少有，且相應工藝已獲得國際龍頭半導體設備廠商認證。公司制造工藝的完備性不僅能為客戶節省中間成本，還

65、能更好把控產品潔凈度和參數的一致性，保證產品質量 表8：公司不同類別產品應用的核心技術情況 產品分類產品分類 主要產品主要產品 精密機械制造技術精密機械制造技術 表面處理特種工藝表面處理特種工藝技術技術 焊接技術焊接技術 高精密多工位高精密多工位復雜型面復雜型面 制造技術制造技術 高精密高精密 微孔制造微孔制造技術技術 不銹鋼不銹鋼 超高光潔度超高光潔度制造技術制造技術 耐腐蝕耐腐蝕 陽極氧化陽極氧化技術技術 高潔凈高潔凈 度精密清度精密清洗技術洗技術 高性能高性能 化學鍍鐐化學鍍鐐技術技術 等離子等離子 噴涂氧化紀噴涂氧化紀涂層技術涂層技術 電子束電子束焊接焊接 技術技術 激光激光焊接焊接技

66、術技術 超潔凈超潔凈 管路焊接管路焊接技術技術 工藝零部件 過渡腔 傳輸腔 反應腔 內襯 勻氣盤 結構零部件 托盤軸 鑄鋼平臺 流量計底座 定子冷卻套 冷卻板 模組產品 離子注入機模組 傳輸腔模組 過渡腔模組 閥體模組 氣柜模組 氣體管路 氣體管路 資料來源：招股說明書，浙商證券研究所 核心技術團隊專業功底深厚，管理團隊和核心技術人員穩定。核心技術團隊專業功底深厚，管理團隊和核心技術人員穩定。公司現任董事倪世文先生擁有 23 年半導體設備精密零部件制造開發及生產管理經驗，是公司技術、產品研發的掌舵人。核心技術團隊成員包括倪世文、宋巖松、李吉亮、褚依輝、張少杰、安朋娜、李生智七人，技術背景深厚，

67、均帶領團隊研發攻克各領域，為公司的涉及、工藝、加工技術的不斷改進優化做出了不可替代的貢獻。富創精密(688409)深度報告 http:/ 20/25 請務必閱讀正文之后的免責條款部分 表9：公司核心團隊實力雄厚，研發、生產、管理經驗豐富 姓名姓名 職務職務 既往既往履歷履歷 相關貢獻相關貢獻/成就成就 倪世文 董事 副總經理 畢業于湖南省瀏陽高級技工學校鉗工專業。曾任昆山茂琦精密模具有限公司生產副總經理、任富創有限副總經理 負責產品研發以及生產制造，并主導引進柔性生產線制造模式，實現半導體設備精密零部件生產的智能制造模式；成功開發半導體核心精密零部件內側加工和勻氣盤加工技術；在大型腔體加工領域

68、，作為主要負責人成功完成了大型傳輸平臺的開發。宋巖松 副總經理 清華大學電氣工程專業碩士。曾任特變電工沈陽變壓器集團有限公司專家、副總工程師 主要負責公司的知識庫管理和工藝智能化設計工作；與西門子共同開發智能工藝設計系統，實現了機械制造工藝設計智能化；主持自主開發三坐標檢測程序的智能設計，表面處理工藝智能設計，焊接編程及工藝智能化設計等工業軟件的自主研發。李吉亮 高級技術專家（精密機械制造方向）畢業于遼寧工業大學機械制造與數控專業。曾任富士邁半導體精密工業（上海）有限公司制造工程師 先后研發出復合曲面連體腔加工技術、鋁合金勻氣盤微孔高精加工技術、不銹鋼超高孔壁粗糙度加工技術、密封面免拋光成型加

69、工技術；設計并建立了臥加非回轉中心任意角度加工的坐標系。褚依輝 技術專家（精密機械制造方向）北京航空航天大學工業工程碩士。曾任沈陽黎明航空發動機集團有限責任公司工裝工程師 帶領團隊通過對發那科、西門子等數控機床、編制工藝規程系統運用；掌握復雜零部件的加工方案、特殊及批產零件的工裝設計、以及編制數控的加工程序。將先進的零點定位系統引進公司，并對柔性線的設備夾具進行構建。張少杰 技術專家（表面處理方向）畢業于哈爾濱工業大學化學工程與工藝（電化學）專業 在涂鍍純鋁特種涂層技術、物理氣相沉積制備薄膜技術、等離子噴涂制備復合陶瓷涂層技術等三方面開展研發和攻關；帶領團隊完成大客戶 20 多項表面處理特種工

70、藝認證；主導公司表面處理生產線的規劃及建設，并負責了千余項首件研制。安朋娜 技術專家（表面處理方向）哈爾濱工業大學化學工程與技術碩士 負責特種涂覆后的鋁合金陽極氧化、鋁合金化學清洗、鋁合金鏡面拋光等工藝開發；帶領表面處理工程師團隊建立了關于陽極氧化、化學鍍鎳、噴涂等關鍵制程的 Know-How 數據庫，形成公司對于表面處理特種工藝制程的標準。李生智 技術專家（焊接方向）畢業于沈陽大學材料成型及控制工程（焊接）專業，國際焊接工程師。曾任沈陽遠大機電裝備有限公司焊接工程師 負責公司的焊接工藝開發及焊接零部件結構設計工作，涉及開發電子束焊接、激光焊接、真空釬焊及超潔凈氣體管路焊接等多種焊接工藝技術。

71、資料來源：招股說明書，浙商證券研究所 研發費用率顯著高于可比公司，研發人員數量逐年增加研發費用率顯著高于可比公司，研發人員數量逐年增加。隨著工藝積累和技術成熟，公司研發從承接國家“重大02專項”課題為主已過渡到工藝開發自研項目為主。隨著業績提升公司大幅增加研發投入，2021年達 8.8%，顯著高于國內外可比公司，研發人員數量從 82增至 225，占公司員工總數比例也從 15.89%增長至 20.68%，公司的研發技術團隊結構合理，專業知識儲備深厚，持續工藝進步和產品創新保障了公司產品的市場競爭力。圖33：富創精密在可比公司中研發投入占營收比較高 圖34：公司研發人員數量連續兩年保持 40%以上

72、增長 資料來源：各公司公告，浙商證券研究所 資料來源：招股說明書，浙商證券研究所 承擔“重大承擔“重大 02 專項專項”，研發實力行業領先。，研發實力行業領先。公司核心研發團隊先后承擔“IC 設備關鍵零部件集成制造技術與加工平臺”和“基于焊接和表面涂覆技術的大型鋁件制造技術開發”兩項“國家科技重大專項（02 專項）”項目，均順利通過驗收。通過持續研發投入，以及針0%2%4%6%8%10%12%201920202021富創精密京鼎精密超科林江豐電子華亞智能0%20%40%60%80%100%050100150200250201920202021研發人員（人）同比富創精密(688409)深度報告

73、http:/ 21/25 請務必閱讀正文之后的免責條款部分 對 22 納米以下大型鋁合金零部件超強耐腐蝕、特種焊接等技術的產業化應用，公司具備了一套完整的復合焊接工藝，掌握了特種涂層噴涂工藝等表面處理特種工藝核心技術。表10：公司承擔多項重大科研項目 序號 項目類別 項目名稱 項目周期 成果簡介 1 國家科技 02 重大專項 IC設備關鍵零部件集成制造技術與加工平臺 2011 年 1 月-2015 年 12 月 申請國內專利 27 項，其中發明專利 15項，并發表論文 5 篇 2 國家科技 02 重大專項 基于焊接和表面涂覆技術的大型鋁件制造技術開發 2014 年 1 月-2020 年 6 月

74、 申請專利 83 項，其中國內發明專利 58項，國際發明專利 11 項，形成企業自身Know-How 的專有技術 11 項，形成企業技術標準 14 項 3 國家智能制造新模式應用項目 集成電路裝備零部件柔性數字化車間建設多品種、小批量智能制造新模式應用 2016 年 7 月-2019 年 6 月 申請專利 10 項，登記 4 項軟件著作權，形成 3 項企業技術規范 資料來源：招股說明書，浙商證券研究所 3.4 募投項目將大幅提升產能，搭建全工藝智能制造新基地募投項目將大幅提升產能，搭建全工藝智能制造新基地 募集募集 10 億元資金用于全工藝智能制造生產基地建設。億元資金用于全工藝智能制造生產基

75、地建設。公司預計通過科創板上市募集資金約 10 億元用于南通富創精密機械制造、焊接、表面處理特種工藝以及精密零部件、氣體管路和模組產品生產線建設，搭建智能信息化管理平臺。項目建成后公司將進一步提升零部件配套和供應能力，從而滿足日益擴大的半導體設備精密零部件配套需求。表11：公司 IPO募投項目表 項目名稱項目名稱 投資總額投資總額（萬元）（萬元）利用募集資金利用募集資金 投資額（萬元）投資額（萬元）項目備案項目備案 集成電路裝備零部件全工藝智能制造生產基地 100,000 100,000 已在江蘇省南通市高新技術產業開發區管理委員會完成項目備案 補充流動資金 60,000 60,000 不適用

76、 合計合計 160,000 160,000 資料來源：招股說明書，浙商證券研究所 南通基地南通基地預計將新增集成電路裝備零部件年產能預計將新增集成電路裝備零部件年產能 933200 件，將有效緩解現有產能供應件，將有效緩解現有產能供應緊張緊張問題問題。公司環評報告顯示，募集項目建成后將大量擴充年產集成電路裝備零部件933200 件，包含含機加工（腔體類零件 8000 件/年、平板類零件 5000 件/年、內襯類零件8000 件/年、OLED 零件 200 件/年、其他零件 40 萬件/年）、管路焊接（超潔凈管路件 20 萬件/年、氣柜 4000 件/年）、組裝（組裝模組件 4000 件/年）、

77、鈑金加工（骨架類零件 4000 件/年、板材類零件 30 萬件/年）。圖35：南通富創擴產后將顯著提高公司產能 圖36：公司主營業務產銷率約 90%（2021）資料來源：公司公告，浙商證券研究所 資料來源：招股說明書，浙商證券研究所 7793020406080100沈陽富創（2021）南通富創（2025E）產能（萬件/年）60%70%80%90%100%110%120%201920202021工藝零部件結構零部件模組產品氣體管路富創精密(688409)深度報告 http:/ 22/25 請務必閱讀正文之后的免責條款部分 4 盈利預測與估值盈利預測與估值 4.1 盈利預測盈利預測 主營業務收入假

78、設：主營業務收入假設：工藝零部件工藝零部件：2021 年工藝零部件出貨量 1.74 萬件，平均單價 1.03 萬元，其中大型腔體單價約 20萬元，機械手部件單價約 1000元。下游國內晶圓廠商逆周期擴產疊加設備零部件國產化進程推進勢頭迅猛，假設上游零部件需求量在未來 2-3年內顯著提升，龍頭廠商頭部效益明顯，受益于下游需求旺盛，我們假設工藝零部件 2022-2024 年銷量分別為2.52/3.40/4.42萬件，受益于產品結構優化推動單價提升，假設 2022-2024年平均單價分別為1.18/1.24/1.30 萬元/件，則 2022-2024 年公司工藝零部件業務收入為 2.97/4.22/

79、5.75 億元。結構零部件結構零部件：2021 年結構零部件出貨量 46.67 萬件，平均單價為 754.49 元。假設下游晶圓廠擴產及零部件國產化進程持續加大對上游零部件的需求，受益于下游需求旺盛，我們假設結構零部件2022-2024 年銷量為 67.7/88.0/114.3萬件，考慮到結構件產品結構變化不大，假設 2022-2024 年平均單價保持 867.66 元/件，則 2022-2024 年公司結構零部件業務收入為 5.87/7.63/9.92 億元。模組產品模組產品：2021 年模組產品出貨量 0.55 萬件，平均單價為 2.91 萬元?？紤]到公司模組產品規模較小，市占率較低，且市

80、場需求快速提升，假設模組產品設計及組裝技術不斷提升客戶認可度，訂單量持續快速增長，我們預計 2022-2024 年公司模組產品銷量為0.97/1.55/2.36 萬件，受益于產品結構優化推動單價穩步提升，假設 2022-2024 年單價為3.49/3.67/3.85 萬元/件，則 2022-2024 年公司模組產品業務收入為 3.39/5.69/9.08 億元。氣體管路：氣體管路：2021 年氣體管路出貨量 10.23 萬件，平均單價為 1347.30 元。公司氣體管路產品在報告期內通過應用材料、北方華創等核心客戶認證，考慮到公司氣體管路產品規模較小，市占率較低，且市場需求快速提升，假設氣體管

81、路產品訂單量持續快速增長，產品結構優化推動單價穩步提升，我們預計 2022-2024 年公司氣體管路銷量為 15.7/25.8/42.6 萬件，單價為 1549/1627/1708 元，則 2022-2024 年公司氣體管路業務收入為 2.42/4.20/7.28 億元。表12：盈利預測（單位：百萬元）年份年份 2021A 2022E 2023E 2024E 工藝零部件工藝零部件 收入 178.34 297.38 421.54 575.40 YoY 52.52%66.75%41.75%36.50%結構零部件結構零部件 收入 352.08 587.08 763.21 992.17 YoY 78.

82、88%66.75%30.00%30.00%模組產品模組產品 收入 161.24 338.60 568.85 907.88 YoY 60.66%110.00%68.00%59.60%氣體管路氣體管路 收入 137.84 242.57 420.26 728.10 YoY 134.02%75.98%73.25%73.25%其他業務其他業務 收入 13.64 16.37 19.64 23.57 富創精密(688409)深度報告 http:/ 23/25 請務必閱讀正文之后的免責條款部分 YoY 66.34%20.00%20.00%20.00%合計合計 收入 843.14 1,482.01 2,193.

83、49 3,227.12 YoY 75.21%75.77%48.01%47.12%資料來源：wind，浙商證券研究所 4.2 估值估值 預計公司未來三年營收為14.82/21.93/32.27億元，同比增長75.77%/48.01%/47.12%；實現歸母凈利潤2.43/3.67/5.42億元，同比增長91.94%/50.97%/47.90%，公司發行價對應2022-2024 年 PE 分別為 60/40/27 倍。4.3 投資意見投資意見 預計公司未來三年營收為14.82/21.93/32.27億元，同比增長75.77%/48.01%/47.12%；實現歸母凈利潤 2.43/3.67/5.42

84、 億元，同比增長 91.94%/50.97%/47.90%。參考可比公司，公司發行價對應的 PE處于行業中游水平，考慮到公司在半導體設備精密零部件的龍頭地位以及成長性，公司發展值得期待，首次覆蓋，給予公司“買入”評級。5 風險提示風險提示 1）下游擴產需求不及預期：）下游擴產需求不及預期：下游晶圓廠商擴產數量及節奏不及預期，導致設備廠商對零部件的采購訂單減少，行業景氣度下滑。2）技術進步不及預期：技術進步不及預期：若公司產品研發不能及時滿足客戶工藝制程演進，不能緊跟客戶產品的更新迭代，公司的行業地位和未來經營業績將受到不利影響。3）大客戶依賴度大客戶依賴度風險：風險：報告期內第一大客戶在公司總

85、營收中占比為 69.01%、66.23%和 55.97%，經營業績與大客戶采購需求密切相關。若其需求變化或尋找替代供應商，或中美貿易摩擦升級，將對公司生產經營產生不利影響。4）毛利率波動風險：）毛利率波動風險：公司產品毛利率受半導體行業技術迭代、行業景氣度、產能預投節奏、地緣政治和原材料價格波動等多種因素影響，有可能對公司經營造成不利影響。5）規模增長帶來的管理風險：）規模增長帶來的管理風險：公司生產經營規模持續增長、組織架構日益龐大，管理、技術和生產人員數量持續增加，如公司管理能力不能及時匹配公司經營規模增長，將影響公司的生產經營和長遠發展。表13：可比公司估值對比（截至 2022-09-3

86、0，富創精密為發行總市值）簡稱簡稱 總市值總市值(億元億元)歸母凈利潤（億元）歸母凈利潤（億元）PE 2022E 2023E 2024E 2022E 2023E 2024E 江豐電子 236 2.76 3.89 5.11 85.35 60.67 46.16 新萊應材 223 3.47 5.00 6.69 64.35 44.59 33.33 華亞智能 58 1.70 2.59 3.69 34.19 22.45 15.75 富創精密 146 2.43 3.67 5.42 60.08 39.78 26.94 平均平均 60.99 41.87 30.55 資料來源：WIND，浙商證券研究所 富創精密(

87、688409)深度報告 http:/ 24/25 請務必閱讀正文之后的免責條款部分 Table_ThreeForcast 表附錄：三大報表預測值表附錄：三大報表預測值 資產負債表 利潤表 (百萬元)2021 2022E 2023E 2024E (百萬元)2021 2022E 2023E 2024E 流動資產流動資產 996.48 1357.09 1863.85 2601.77 營業收入營業收入 843.13 1482.00 2193.49 3227.11 現金 346.63 331.18 338.91 335.04 營業成本 573.01 1003.50 1468.49 2120.41 交易性

88、金融資產 0.00 0.00 0.00 0.00 營業稅金及附加 4.38 7.84 12.06 17.19 應收賬項 345.10 516.34 802.58 1221.05 營業費用 15.64 25.19 28.52 41.95 其它應收款 6.91 28.28 37.87 47.92 管理費用 65.09 103.74 131.61 193.63 預付賬款 12.66 18.66 29.88 41.29 研發費用 74.20 111.15 157.93 232.35 存貨 255.66 444.30 635.39 934.12 財務費用 10.52 48.32 82.27 95.44

89、其他 29.51 18.33 19.22 22.36 資產減值損失 16.93 (35.88)(26.32)0.00 非流動資產非流動資產 1490.10 2248.54 2888.66 3201.69 公允價值變動損益 0.00 5.20 5.20 5.20 金額資產類 0.00 0.00 0.00 0.00 投資凈收益(3.63)(3.63)(3.63)(3.63)長期投資 2.63 7.33 5.41 5.13 其他經營收益 56.20 53.02 69.99 79.99 固定資產 767.34 1142.23 1648.82 1964.99 營業利潤營業利潤 135.94 272.72

90、 410.49 607.69 無形資產 135.86 172.95 211.35 253.95 營業外收支(0.40)(0.40)(0.40)(0.40)在建工程 332.43 745.94 796.75 757.40 利潤總額利潤總額 135.54 272.32 410.08 607.29 其他 251.83 180.07 226.32 220.22 所得稅 14.09 29.53 43.55 65.17 資產總計資產總計 2486.59 3605.63 4752.51 5803.46 凈利潤凈利潤 121.45 242.79 366.53 542.12 流動負債流動負債 637.27 13

91、95.16 1917.96 2196.91 少數股東損益(5.04)0.00 0.00 0.00 短期借款 175.94 882.79 1106.27 963.29 歸屬母公司凈利潤歸屬母公司凈利潤 126.49 242.79 366.53 542.12 應付款項 374.67 431.47 708.94 1107.27 EBITDA 237.59 385.08 586.71 829.40 預收賬款 0.00 1.70 0.84 1.64 EPS（最新攤?。?.81 1.16 1.75 2.59 其他 86.65 79.21 101.91 124.71 非流動負債非流動負債 755.26 82

92、1.36 1078.90 1308.79 主要財務比率 長期借款 355.06 532.59 768.88 975.79 2021 2022E 2023E 2024E 其他 400.20 288.77 310.02 333.00 成長能力成長能力 負債合計負債合計 1392.53 2216.52 2996.87 3505.70 營業收入 75.21%75.77%48.01%47.12%少數股東權益 45.96 45.96 45.96 45.96 營業利潤 3.97%100.62%50.51%48.04%歸屬母公司股東權益 1048.10 1343.15 1709.69 2251.81 歸屬母公

93、司凈利潤 9.10%91.94%50.97%47.90%負債和股東權益負債和股東權益 2486.59 3605.63 4752.51 5803.46 獲利能力獲利能力 毛利率 32.04%32.29%33.05%34.29%現金流量表 凈利率 14.40%16.38%16.71%16.80%(百萬元)2021 2022E 2023E 2024E ROE 12.58%19.56%23.31%26.75%經營活動現金流經營活動現金流 157.34 (5.60)333.40 481.68 ROIC 8.79%10.10%12.05%14.76%凈利潤 121.45 242.79 366.53 542

94、.12 償債能力償債能力 折舊攤銷 79.81 69.54 101.10 132.58 資產負債率 56.00%61.47%63.06%60.41%財務費用 10.52 48.32 82.27 95.44 凈負債比率 38.38%64.24%62.71%55.47%投資損失 3.63 3.63 3.63 3.63 流動比率 1.56 0.97 0.97 1.18 營運資金變動 176.92 (202.38)51.17 0.92 速動比率 1.16 0.65 0.64 0.76 其它(234.98)(167.50)(271.31)(293.01)營運能力營運能力 投資活動現金流投資活動現金流(6

95、26.52)(903.36)(698.60)(455.34)總資產周轉率 0.43 0.49 0.52 0.61 資本支出(573.15)(850.00)(650.00)(400.00)應收賬款周轉率 3.61 3.70 3.74 3.52 長期投資 3.63 (4.70)1.92 0.28 應付賬款周轉率 4.27 4.18 4.33 4.06 其他(57.00)(48.66)(50.53)(55.63)每股指標每股指標(元元)籌資活動現金流籌資活動現金流 470.52 893.50 372.93 (30.20)每股收益 0.81 1.16 1.75 2.59 短期借款 110.11 706

96、.85 223.48 (142.99)每股經營現金 0.75 -0.03 1.59 2.30 長期借款 295.06 177.53 236.29 206.91 每股凈資產 6.68 6.43 8.18 10.77 其他 65.35 9.12 (86.84)(94.13)估值比率估值比率 現金凈增加額現金凈增加額 1.34 (15.45)7.73 (3.86)P/E 0.00 0.00 0.00 0.00 P/B 0.00 0.00 0.00 0.00 EV/EBITDA 1.10 3.00 2.73 2.02 資料來源：浙商證券研究所 富創精密(688409)深度報告 http:/ 25/25

97、 請務必閱讀正文之后的免責條款部分 股票投資評級說明股票投資評級說明 以報告日后的 6 個月內，證券相對于滬深 300 指數的漲跌幅為標準，定義如下：1.買 入：相對于滬深 300 指數表現20以上；2.增 持：相對于滬深 300 指數表現1020；3.中 性：相對于滬深 300 指數表現1010之間波動；4.減 持：相對于滬深 300 指數表現10以下。行業的投資評級：行業的投資評級：以報告日后的 6 個月內，行業指數相對于滬深 300 指數的漲跌幅為標準，定義如下：1.看 好：行業指數相對于滬深 300 指數表現10%以上；2.中 性：行業指數相對于滬深 300 指數表現10%10%以上；

98、3.看 淡：行業指數相對于滬深 300 指數表現10%以下。我們在此提醒您，不同證券研究機構采用不同的評級術語及評級標準。我們采用的是相對評級體系，表示投資的相對比重。建議：投資者買入或者賣出證券的決定取決于個人的實際情況，比如當前的持倉結構以及其他需要考慮的因素。投資者不應僅僅依靠投資評級來推斷結論。法律聲明及風險提示法律聲明及風險提示 本報告由浙商證券股份有限公司（已具備中國證監會批復的證券投資咨詢業務資格，經營許可證編號為：Z39833000）制作。本報告中的信息均來源于我們認為可靠的已公開資料，但浙商證券股份有限公司及其關聯機構（以下統稱“本公司”）對這些信息的真實性、準確性及完整性不

99、作任何保證，也不保證所包含的信息和建議不發生任何變更。本公司沒有將變更的信息和建議向報告所有接收者進行更新的義務。本報告僅供本公司的客戶作參考之用。本公司不會因接收人收到本報告而視其為本公司的當然客戶。本報告僅反映報告作者的出具日的觀點和判斷，在任何情況下，本報告中的信息或所表述的意見均不構成對任何人的投資建議，投資者應當對本報告中的信息和意見進行獨立評估，并應同時考量各自的投資目的、財務狀況和特定需求。對依據或者使用本報告所造成的一切后果，本公司及/或其關聯人員均不承擔任何法律責任。本公司的交易人員以及其他專業人士可能會依據不同假設和標準、采用不同的分析方法而口頭或書面發表與本報告意見及建議

100、不一致的市場評論和/或交易觀點。本公司沒有將此意見及建議向報告所有接收者進行更新的義務。本公司的資產管理公司、自營部門以及其他投資業務部門可能獨立做出與本報告中的意見或建議不一致的投資決策。本報告版權均歸本公司所有，未經本公司事先書面授權，任何機構或個人不得以任何形式復制、發布、傳播本報告的全部或部分內容。經授權刊載、轉發本報告或者摘要的，應當注明本報告發布人和發布日期，并提示使用本報告的風險。未經授權或未按要求刊載、轉發本報告的，應當承擔相應的法律責任。本公司將保留向其追究法律責任的權利。浙商證券研究所浙商證券研究所 上?？偛康刂罚簵罡吣下?729 號陸家嘴世紀金融廣場 1 號樓 25 層 北京地址：北京市東城區朝陽門北大街 8 號富華大廈 E 座 4 層 深圳地址：廣東省深圳市福田區廣電金融中心 33 層 上?？偛苦]政編碼：200127 上?？偛侩娫挘?8621)80108518 上?？偛總髡妫?8621)80106010 浙商證券研究所：https:/