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1、半導體材料系列（二）掩膜版：光刻藍本，國產蓄力行業深度報告 請通過合法途徑獲取本公司研究報告，如經由未經許可的渠道獲得研究報告，請慎重使用并注意閱讀研究報告尾頁的聲明內容。行業報告 有色金屬與新材料 2023年 8月 18日 強于大市強于大市（維持）（維持）行情走勢圖行情走勢圖 相關研究報告相關研究報告 化工新材料系列(一)電子特氣:半導體新周期將至，國產替代如火如荼2023.5.23(半導體材料系列一)證券分析師證券分析師 陳驍陳驍 投資咨詢資格編號 S1060516070001 研究研究助理助理 陳瀟榕陳瀟榕 一般證券業務資格編號 S1060122080021 馬書蕾馬書蕾 一般證券業務資

2、格編號 S1060122070024 M 平安觀點：基本介紹基本介紹：掩膜版是光刻過程中的核心耗材。掩膜版是光刻過程中的核心耗材。掩膜版是微電子制造過程中的圖形轉移工具或母版，通常由基板和遮光膜組成，其中最重要的原材料是掩膜基板，占直接材料的比重超過 90%。掩膜版主要用于平板顯示、半導體等下游領域，當前仍由海外頭部掩膜版廠商占據主要市場。半導體掩膜版：半導體掩膜版：國產化進程有望加速推進國產化進程有望加速推進，需求空間進一步打開，需求空間進一步打開。海外廠商仍占據三方掩膜版主要市場份額，且大多具備先進制程量產能力，國內企業有較大發展空間。美國出口限制下，半導體掩膜版國產化進程有望加速推進。全

3、球晶圓產能正逐步向我國轉移趨勢明顯，SEMI 預計中國大陸 2022年-2026年還將新增 25座 12英寸晶圓廠，有望進一步打開掩膜版需求空間。短期來看，2023 年下半年半導體需求有望加速修復、庫存逐步去化，2024 年行業有望迎來供需結構改善的拐點，掩膜版受益于下游景氣提振，需求空間有望進一步打開。平板顯示掩膜版：平板顯示掩膜版：技術迭代方向明確，面板復蘇提振需求技術迭代方向明確，面板復蘇提振需求。近年來大尺寸的電視面板產品加速進入市場，2023 年 5 月液晶面板出貨尺寸加權平均達到了 50.2 英寸，面板尺寸的增大帶動其上游材料掩膜版朝著大尺寸化的方向發展。同時新的顯示技術要求掩膜版

4、朝著更高精度方向發展，高分辨率面板需求提高掩膜版精度要求，未來顯示屏的顯示精度或將從 450PPI 逐步提高到 650PPI 以上。同時，23Q2 面板廠產能利用率已有明顯上調趨勢，受益于 LCD 電視、手提電腦等下游訂單向好，全球顯示面板廠家的總產能利用率從 2023 年第一季度的 66%回升至第二季度的 74%。顯示面板或將迎來較大改善，新一輪上行周期或將開啟。投資建議：投資建議：國內掩膜版發展當前整體仍處于起步階段，半導體先進制程掩膜版等高端產品成熟或仍需時間。但長期來看，受下游半導體產能向國內轉移帶動及海外部分產品出口限制，成熟制程產品的國產替代進程有望逐步加速。平板顯示掩膜版的生產技

5、術相對成熟，隨著 2023 年二季度面板景氣度顯著提升，掩膜版需求或將加速回暖，產品結構完善且率先實現放量的企業有望充分受益。建議關注路維光電、清溢光電。風險提示：風險提示：1）終端需求不及預期。若平板顯示及半導體領域景氣度出現大幅下滑，則對掩膜版需求或造成一定程度拖累。2）國產替代進程不及預期。國內掩膜版廠商若出現研發進程緩慢，產品認證過程緩慢等問題，則可能導致國產替代進度不及預期。3）國內新產能落地進度不及預期。當前國內掩膜版廠商仍處在產能擴建時期，若新增產能釋放進度緩慢，則國內企業或面臨業績不及預期的風險。-30%-25%-20%-15%-10%-5%0%5%10%2022/32022/

6、82023/12023/6有色金屬滬深300證券研究報告請通過合法途徑獲取本公司研究報告，如經由未經許可的渠道獲得研究報告，請慎重使用并注意閱讀研究報告尾頁的聲明內容。有色金屬與新材料行業深度報告 2/23 正文目錄正文目錄 一、掩膜版：光刻過程的核心耗材一、掩膜版：光刻過程的核心耗材.5 1.1 掩膜版基本介紹：微電子制造過程中的圖形轉移母版.5 1.2 掩膜版結構：掩膜基板+遮光膜.6 1.3 光刻技術是掩膜版制造的重要環節.7 二、半導體掩膜版：海外三方廠商集中，國產替代進行時二、半導體掩膜版：海外三方廠商集中，國產替代進行時.9 2.1 半導體重要耗材，海外廠商占據主要市場份額.9 2

7、.2 成熟制程產品為主，抗周期特性顯現.11 2.3 海外三方廠商：頭部企業起步較早，先進制程方向明確.13 2.4 半導體產能轉移，行業拐點將至，國內掩膜需求有望迎來增長.15 三、平板顯示：技術迭代方向明確，面板復蘇提振需求三、平板顯示：技術迭代方向明確，面板復蘇提振需求.17 3.1 平板顯示掩膜版頭部集中.17 3.2 大尺寸和高精度是平板顯示掩膜版主要發展方向.18 3.3 面板景氣度加速復蘇，掩膜版需求有望提振.19 四、投資四、投資建議建議.20 4.1 路維光電.20 4.2 清溢光電.21 五、風險提示五、風險提示.22 4XnUsYhVgVfWmOmOsRbRbP8OtRq

8、QsQnOiNrRyQlOtRmN6MqRnNxNrMqRxNtPrM 請通過合法途徑獲取本公司研究報告，如經由未經許可的渠道獲得研究報告，請慎重使用并注意閱讀研究報告尾頁的聲明內容。有色金屬與新材料行業深度報告 3/23 圖表圖表目錄目錄 圖表 1 掩膜版工作原理.5 圖表 2 半導體掩膜版曝光示意圖.5 圖表 3 平板顯示掩膜版曝光示意圖.5 圖表 4 掩膜版產品圖示及特點.6 圖表 5 掩膜版分類.6 圖表 6 掩膜版成本構成.7 圖表 7 掩膜版加工工藝流程.8 圖表 8 掩膜版加工中的技術難點.8 圖表 9 全球半導體材料市場規模.9 圖表 10 中國大陸半導體材料市場規模.9 圖表

9、 11 半導體材料市場占比.10 圖表 12 掩膜版下游需求結構.10 圖表 13 全球半導體掩膜版廠商市場格局.10 圖表 14 全球獨立第三方半導體掩膜版廠商市場格局.10 圖表 15 全球半導體掩膜版市場規模.11 圖表 16 2022 年全球半導體掩膜版出貨結構.11 圖表 17 全球主要第三方半導體掩膜版廠商技術節點情況（截止 2022 年底）.11 圖表 18 半導體及平板顯示掩膜版關鍵參數.12 圖表 19 路維光電半導體掩膜版毛利率較高.12 圖表 20 中國臺灣光罩掩膜版產品結構及毛利率情況.12 圖表 21 各公司半導體掩膜版毛利率.12 圖表 22 Photronics

10、半導體掩膜版銷售增速.13 圖表 23 中國臺灣光罩半導體掩膜版銷售增速.13 圖表 24 EUV 掩膜版橫截面.13 圖表 25 Photronics 營收情況.14 圖表 26 2022 年 Photronics 營收占比.14 圖表 27 Toppan 公司掩膜版工廠布局.14 圖表 28 Toppan 營收情況.14 圖表 29 DNP 公司營收情況（單位：百萬日元）.15 圖表 30 黑崎工廠外觀.15 圖表 31 我國 IC 自給率逐年提升.15 圖表 32 2015-2026E 全球 12 寸晶圓產能分布.15 圖表 33 全球半導體行業銷售額變動周期.16 請通過合法途徑獲取本

11、公司研究報告，如經由未經許可的渠道獲得研究報告，請慎重使用并注意閱讀研究報告尾頁的聲明內容。有色金屬與新材料行業深度報告 4/23 圖表 34 全球半導體行業資本開支波動周期.16 圖表 35 全球芯片晶圓產能變動（200mm 等量）.16 圖表 36 中國臺灣光罩半導體掩膜版關鍵制程節點生產情況.17 圖表 37 全球平板顯示需求規模.17 圖表 38 平板顯示行業掩膜版需求結構.18 圖表 39 2020 年全球平板顯示掩膜版市占率.18 圖表 40 液晶電視面板出貨加權平均尺寸（英寸）.18 圖表 41 65 寸及 75 寸面板切割效率示意圖.18 圖表 42 平板顯示掩膜版精度發展趨勢

12、.18 圖表 43 全球顯示面板廠家總產能利用率.19 圖表 44 全球液晶面板月度出貨量 23 年 Q2 開始上行.19 圖表 45 中國顯示技術及市場份額按年分應用變化.20 圖表 46 全球顯示面板產能逐年向我國轉移趨勢.20 圖表 47 路維光電營業收入.20 圖表 48 路維光電歸母凈利潤持續增長.20 圖表 49 路維光電銷售毛利率近年來逐步提升.21 圖表 50 路維光電營收結構持續改善.21 圖表 51 清溢光電營業收入.21 圖表 52 清溢光電歸母凈利潤持續增長.21 圖表 53 清溢光電銷售毛利率.22 圖表 54 清溢光電營收結構持續改善.22 請通過合法途徑獲取本公司

13、研究報告，如經由未經許可的渠道獲得研究報告，請慎重使用并注意閱讀研究報告尾頁的聲明內容。有色金屬與新材料行業深度報告 5/23 一、一、掩膜版：光刻過程的核心耗材掩膜版：光刻過程的核心耗材 1.1 掩膜版掩膜版基本介紹基本介紹：微電子制造過程中的圖形轉移母版微電子制造過程中的圖形轉移母版 掩膜版（Photomask）又稱光罩、光掩膜、光刻掩膜版等，是微電子制造過程中的圖形轉移工具或母版，是圖形設計和工藝技術等知識產權信息的載體。在光刻過程中，掩膜版是設計圖形的載體。通過光刻，將掩膜版上的設計圖形轉移到光刻膠上，再經過刻蝕，將圖形刻到襯底上，從而實現圖形到硅片的轉移，功能類似于傳統照相機的“底片

14、”。圖表圖表1 掩膜版工作原理掩膜版工作原理 資料來源：清溢光電招股說明書，平安證券研究所 以薄膜晶體管液晶顯示器（TFT-LCD）制造為例，利用掩膜版的曝光掩蔽作用，將設計好的薄膜晶體管（TFT）陣列和彩色濾光片圖形按照薄膜晶體管的膜層結構順序，依次曝光轉移至玻璃基板，最終形成多個膜層所疊加的顯示器件；以晶圓制造為例，其制造過程需要經過多次曝光工藝，利用掩膜版的曝光掩蔽作用，在半導體晶圓表面形成柵極、源漏極、摻雜窗口、電極接觸孔等。相比較而言，半導體掩膜版在最小線寬、CD 精度、位置精度等重要參數方面，均顯著高于平板顯示、PCB 等領域掩膜版產品。掩膜版是光刻過程中的重要部件，其性能的好壞對

15、光刻有著重要影響。根據基板材質的不同，掩膜版主要可分為石英掩膜版、蘇打掩膜版和其他（包含凸版、菲林等）。圖表圖表2 半導體半導體掩膜版曝光示意圖掩膜版曝光示意圖 圖表圖表3 平板顯示平板顯示掩膜版曝光示意圖掩膜版曝光示意圖 資料來源：路維光電招股說明書，平安證券研究所 資料來源：路維光電招股說明書，平安證券研究所 請通過合法途徑獲取本公司研究報告，如經由未經許可的渠道獲得研究報告，請慎重使用并注意閱讀研究報告尾頁的聲明內容。有色金屬與新材料行業深度報告 6/23 圖表圖表4 掩膜版產品圖示掩膜版產品圖示及特點及特點 產品產品 圖示圖示 特點特點 石英掩膜版石英掩膜版 石英掩膜版使用石英玻璃作為

16、基板材料，光學透過率高，熱膨脹率低，相比蘇打玻璃更為平整和耐磨，使用壽命長，主要用于高精度掩膜版 蘇打掩膜版蘇打掩膜版 蘇打掩膜版使用蘇打玻璃作為基板材料，光學透過率較高，熱膨脹率相對高于石英玻璃，平整度和耐磨性相對弱于石英玻璃，主要用于中低精度掩膜版 凸版凸版 凸版使用不飽和聚丁二烯樹脂作為基板材料，主要用于液晶顯示器（LCD）制造過程中定向材料移印 菲林菲林 菲林使用 PET 作為基板材料，主要應用于電路板掩膜 資料來源：清溢光電招股說明書，平安證券研究所 1.2 掩膜版掩膜版結構結構：掩膜基板掩膜基板+遮光膜遮光膜 掩膜版通常由基板和遮光膜組成，其中最重要的原材料是掩膜基板?；逡r底在透

17、光性及穩定性等方面性能要求較高，須做到表面平整，無夾砂、氣泡等微小缺陷。由于石英玻璃的化學性能穩定、光學透過率高、熱膨脹系數低，近年來已成為制備掩膜版的主流原材料，被廣泛應用于超大規模集成電路掩膜版制作。目前，石英掩膜版和蘇打掩膜版是最常見的兩種主流產品，均屬于玻璃基板。遮光膜分為硬質遮光膜和乳膠遮光膜，其中乳膠遮光膜主要用于 PCB、觸控等場景；硬質遮光膜材料主要包括鉻、硅、硅化鉬、氧化鐵等，在各類硬質遮光膜中，由于鉻材料機械強度高、可形成細微圖形，因此鉻膜成為硬質遮光膜的主流。掩膜版成本構成以直接材料和制造費用為主，分別占比 67%和 29%。其中直接材料主要包括掩膜版基板、遮光膜及其他輔

18、助材料等，掩膜版基板占直接材料的比重超過 90%。圖表圖表5 掩膜版掩膜版分類分類 分類方法分類方法 名稱名稱 材料材料 優點優點 缺點缺點 主要用途主要用途 基板 樹脂基板 樹脂 質量輕，易大型化 易變形 PWB 用掩膜版 玻璃基板 石英玻璃 化學性能穩定，熱膨脹系數小 價格高 LSI用光掩膜，FPD 用大型掩膜版 硼硅玻璃 熱膨脹系數接近硅 短波長投射率低 LSI用 Copy Mask 請通過合法途徑獲取本公司研究報告，如經由未經許可的渠道獲得研究報告，請慎重使用并注意閱讀研究報告尾頁的聲明內容。有色金屬與新材料行業深度報告 7/23 蘇打玻璃 價格便宜 熱膨脹系數大，短波長投射率低 低端

19、光掩膜 遮光膜 乳膠遮光膜 乳膠 價格便宜，圖形形成簡單 機械強度弱 PWB 用掩膜版 硬質遮光膜 鉻 單層 機械強度高，可形成微細圖形 表里面反射率高 投影曝光機用掩膜版 2 層 里面反射率高 LSI、FPD 用掩膜版 3 層 膜形成工藝復雜 光刻機用掩膜版 氧化鐵 See Through（手動對位易操作）微加工性能不如鉻 低端硬質掩膜版 硅 硅化鉬 Half Tone 特性優異 耐化學品性能差 LSI用 Half Tone Mask 資料來源：光掩膜技術基礎，平安證券研究所，注：PWB（Printed Wire Board），即印刷線路板；LSI（Large-scale lntegrate

20、d Circuit），即大規模集成電路；FPD（Flat Panel Display）即平板顯示器 圖表圖表6 掩膜版掩膜版成本構成成本構成 資料來源：清溢光電招股說明書，平安證券研究所 1.3 光刻技術是掩膜版制造的重要環節光刻技術是掩膜版制造的重要環節 掩膜版制造工藝復雜，加工工藝流程主要包括 CAM 圖檔處理、光阻涂布、激光光刻、顯影、蝕刻、脫膜、清洗、宏觀檢查、自動光學檢查、精度測量、缺陷處理、貼光學膜等環節，其中光刻技術是掩膜版制造的重要環節。光刻需要先對掩膜基板涂膠（通常是正性光刻膠），后通過光刻機對表面進行曝光，通常以 130nm 為分界，130nm 以上的光刻設備采用激光直寫設

21、備，但隨著掩膜版的線寬線距越來越小，曝光過程中就會出現嚴重的衍射現象，導致曝光圖形邊緣分辨率較低，圖形失真，因此 130nm 及以下通常需采用電子束光刻完成。請通過合法途徑獲取本公司研究報告，如經由未經許可的渠道獲得研究報告，請慎重使用并注意閱讀研究報告尾頁的聲明內容。有色金屬與新材料行業深度報告 8/23 圖表圖表7 掩膜版加工工藝流程掩膜版加工工藝流程 資料來源：路維光電招股說明書，平安證券研究所 關鍵參數量測及檢測環節對掩膜版的質量及良率至關重要，其中需對掩膜版關鍵尺寸（CD，Critical Dimension）、套刻精度（Overlay）等關鍵參數進行測量，同時需使用自動光學檢測設備

22、（AOI，Automatic Optical Inspection）檢測掩膜版制造過程產生的缺陷，如產品表面缺陷（Defect）、線條斷線（Open）、線條短接（Short）、白凸（Intrusion）、圖形缺失等以及通過激光等對掩膜版生產過程中的缺陷及微粒進行修復。圖表圖表8 掩膜版加工掩膜版加工中的技術難點中的技術難點 所屬環節所屬環節 技術難點技術難點 具體內容具體內容 光刻環節光刻環節 光刻制程管控 光刻環節對環境要求極其苛刻，曝光過程中，諸如溫度變化、濕度變化、氣流擾動、微振動等制程因素均將引起曝光圖形位置漂移，嚴重影響位置精度和套刻精度。對于極其精密的光刻設備來說，由制程參數波動引

23、起的誤差因素就成為限制其精度的一大障礙。位置精度控制 半導體在制造環節中，需要的掩膜版層數較多，對位置精度的一致性要求較高，掩膜版之間如果無法實現位置套準，則會對晶圓制造的精度產生重要影響。請通過合法途徑獲取本公司研究報告，如經由未經許可的渠道獲得研究報告，請慎重使用并注意閱讀研究報告尾頁的聲明內容。有色金屬與新材料行業深度報告 9/23 曝光控制 在對掩膜版進行曝光時，需要使用能量控制器精準控制曝光能量，曝光不足或者過量都會嚴重影響成像質量，另外，光源的輸出功率、聚焦深度、曝光時間、束斑形狀等參數都會影響產品的精度。工藝匹配 在集成電路工藝生產線上，往往存在多臺不同型號的光刻設備，不同光刻機

24、工藝參數不同，同一掩膜版需要分別在不同型號光刻機上進行光刻，存在較高的工藝匹配難度。顯影刻蝕控制 顯影與刻蝕中，蝕刻速率、刻蝕選擇比、均勻性等參數控制至關重要，均會對掩膜版的精度水平產生重要影響；溫度、液流擾動、AMC 控制等制程參數控制都會影響產品的缺陷及精度。檢測環節檢測環節 關鍵參數 掩膜版生產后，必須對關鍵參數進行精準測量，驗證實際制作精度與設計精度的一致性，對掩膜版參數測量精準度的要求較高。缺陷修補及異物去除 掩膜版上的缺陷對下游芯片成品的性能與良率影響巨大，因此對修補或清除如微粒（Particle）、瑕疵（Defect)）等微小缺陷的能力提出較高要求。資料來源：龍圖光罩招股說明書，

25、平安證券研究所 二、二、半導體掩膜版半導體掩膜版：海外三方海外三方廠商廠商集中，國產替代進行時集中，國產替代進行時 2.1 半導體半導體重重要要耗材，耗材，海外海外廠商廠商占據主要市場份額占據主要市場份額 全球半導體材料市場規模近年來穩步增長，受需求提升疊加晶圓產能轉移帶動，我國半導體材料市場規模加速提升：從 2019 年的 87 億美元增長至 2021 年的 119 億美元，年復合增長率為 16.95%，增速遠超海外市場。從細分領域看，半導體掩膜版占比約 12%，與電子特氣占比相當。圖表圖表9 全球半導體材料市場規模全球半導體材料市場規模 圖表圖表10 中國大陸半導體材料市場規模中國大陸半導

26、體材料市場規模 資料來源：Semi，平安證券研究所 資料來源：Semi，平安證券研究所 4695295215556436980100200300400500600700800201720182019202020212022E億美元全球半導體材料市場規模76858798119139163020406080100120140160180201720182019202020212022E 2023E億美元中國大陸半導體材料市場規模 請通過合法途徑獲取本公司研究報告，如經由未經許可的渠道獲得研究報告，請慎重使用并注意閱讀研究報告尾頁的聲明內容。有色金屬與新材料行業深度報告 10/23 圖表圖表11 半

27、導體材料市場占比半導體材料市場占比 圖表圖表12 掩膜版下游需求結構掩膜版下游需求結構 資料來源：Semi，平安證券研究所 資料來源：Semi，平安證券研究所 根據與下游晶圓廠商是否形成配套，當前半導體掩膜版生產商主要分為晶圓廠自建晶圓廠自建（In-house）及獨立第三方獨立第三方兩大類。具體來看，28nm 及以下先進制程由于制造工藝復雜以及工藝機密等問題，晶圓廠所需掩膜版主要依賴內部工廠生產，如英特爾、三星、臺積電、中芯國際等公司；對于成熟制程而言，出于降本考慮，在滿足技術要求下，晶圓廠更傾向于向獨立第三方采購。海外掩膜版生產商起步較早，技術積累相對深厚，當前仍占據全球三方掩膜版主要市場份

28、額。三家龍頭企業日本 Toppan、美國 Photronics、以及日本DNP 占全球市場份額比重合計超過80%。國內掩膜版廠商整體處于加速追趕階段，當前主要包括中芯國際光罩廠、華潤迪思微（原華潤掩膜，華潤微電子子公司）、中微掩膜、龍圖光罩、清溢光電、路維光電、中國臺灣光罩等。其中，中芯國際光罩廠及華潤迪思微均為晶圓廠配套工廠，華潤迪思微部分掩膜版對外銷售。圖表圖表13 全球半導體全球半導體掩膜版掩膜版廠商市場格局廠商市場格局 圖表圖表14 全球獨立第三方半導體全球獨立第三方半導體掩膜版掩膜版廠商市場格局廠商市場格局 資料來源：Semi，平安證券研究所 資料來源：Semi，平安證券研究所 全球

29、范圍來看，半導體掩膜版市場規模近年來穩步增長，2021年達49.9億美元，2023年預計可增長至53.9億美元，2020-2023 年 CAGR 近 7%。分制程來看，2022 年130nm 以上成熟制程占據主要市場份額，出貨量占比約 54%，28-90nm占比約 33%，22nm 以下先進制程出貨量占比僅 13%。硅片,35%掩模版,12%光刻膠,6%配套試劑,8%濕化學品,7%電子特氣,13%CMP耗材,6%其他,11%濺射靶材,2%半導體掩模版,60%平板顯示掩模版,28%其他,12%晶圓廠/IDM廠,65%Toppan,11%Photronics,10%DNP,8%中國臺灣光罩,2%H

30、OYA,2%其他,2%Toppan,31%Photronics,29%DNP,23%中國臺灣光罩,6%HOYA,6%其他,6%請通過合法途徑獲取本公司研究報告，如經由未經許可的渠道獲得研究報告，請慎重使用并注意閱讀研究報告尾頁的聲明內容。有色金屬與新材料行業深度報告 11/23 圖表圖表15 全球半導體全球半導體掩膜版掩膜版市場規模市場規模 圖表圖表16 2022 年全球半導體年全球半導體掩膜版掩膜版出貨結構出貨結構 資料來源：中國臺灣光罩，平安證券研究所；注：2022-2023為預測值 資料來源：中國臺灣光罩，平安證券研究所 2.2 成熟制程產品為主，成熟制程產品為主，抗周期特性抗周期特性顯

31、現顯現 當前來看，半導體三方掩膜版廠商產能主要集中在成熟制程領域，海外頭部掩膜版廠商大多已具備 EUV 掩膜版量產能力，其中 Photronics 及 DNP技術節點已達 5nm，Toppan半導體掩膜版技術節點達14nm，中國臺灣光罩主要產能集中于65nm以上制程，預計 2023 年 Q4實現 40nm制程量產，2025 年實現 28nm量產。國內掩膜版企業相對而且仍有較大發展空間，當前基本均處于350-130nm制程范圍內，其中龍圖光罩2022年掩膜版工藝節點提升至130nm，路維光電已實現250nm半導體掩膜版量產，并掌握了 180/150nm節點的核心制造技術。圖表圖表17 全球主要第

32、三方半導體全球主要第三方半導體掩膜版掩膜版廠商技術節點情況（截止廠商技術節點情況（截止 2022年底）年底）資料來源：各公司公告，平安證券研究所 注：各公司右側虛線為其可量產半導體掩膜版產品對應的最高技術節點 半導體半導體掩膜版掩膜版毛利率整體高于平板顯示。毛利率整體高于平板顯示。在掩膜版精度方面，通常用 CD 精度來衡量掩膜版圖形特征尺寸與設計值的偏差，表征掩膜版圖形特征尺寸均勻性。相對于平板顯示、PCB 等領域掩膜版產品而言，半導體掩膜版在最小線寬、CD 精度、位置精度等重要參數方面，均有顯著提升，因此通常定價水平更高，同時在半導體器件領域，下游客戶對生產模具的價格敏感性更低，因此半導體掩

33、膜版毛利率水平一般更高。440449945236538501,0002,0003,0004,0005,0006,000202020212022E2023E百萬美元全球半導體掩模版市場規模全球半導體掩模版市場規模=130nm,54%請通過合法途徑獲取本公司研究報告，如經由未經許可的渠道獲得研究報告，請慎重使用并注意閱讀研究報告尾頁的聲明內容。有色金屬與新材料行業深度報告 12/23 圖表圖表18 半導體及平板顯示半導體及平板顯示掩膜版掩膜版關鍵參數關鍵參數 圖表圖表19 路維光電路維光電半導體掩膜版毛利率較高半導體掩膜版毛利率較高 關鍵參數 關鍵參數說明 半導體掩膜版 平板顯示掩膜版 掩膜版最小

34、線寬 掩膜版線寬越小，對應下游產品線寬越小 0.5m 1.2m CD精度 數值越小精度越高 0.02m 0.10m CD 精度均值偏差 數值小精度穩定性高 0.02m 0.12m 位置精度 數值越小，掩膜版實際圖形位置坐標與設計值的偏差越小，精度越高 0.02m 0.28m 資料來源：中國臺灣光罩，平安證券研究所 資料來源：路維光電，平安證券研究所 高階高階制程半導體制程半導體掩膜版掩膜版毛利率毛利率顯著提升顯著提升。隨著工藝技術創新步伐加快，芯片加速邁向先進制程，半導體掩膜版制程同步提升，毛利率加速改善。以中國臺灣光罩為例，2019 年半導體掩膜版低于 130nm 制程的產品銷售占比僅 6%

35、，2021 年已提升至 32%，對應整體毛利率由 2019 年的 30.9%大幅提升至 2021 年的47.6%。此外，路維光電及龍圖光罩等境內三方掩膜版廠商近年來也受益于制程節點的逐步突破及產品良率的改善，市場地位及定價能力有所提升，毛利率總體穩中有升，路維光電半導體掩膜版毛利率由 2019 年的 36%提升至 2021 年的 51.3%，龍圖光罩由 2020 年的 54.4%提升至 2022 年的57.7%。圖表圖表20 中國中國臺灣光罩臺灣光罩掩膜版掩膜版產品結構及毛利率情況產品結構及毛利率情況 圖表圖表21 各公司半導體各公司半導體掩膜版掩膜版毛利率毛利率 資料來源：中國臺灣光罩，平安

36、證券研究所 資料來源：各公司公告，平安證券研究所 半導體半導體掩膜版掩膜版具有一定抗周期特性具有一定抗周期特性。從半導體掩膜版龍頭廠 photronics 及中國臺灣光罩銷售表現來看，與下游半導體銷售相比，在半導體景氣下行周期內，掩膜版的營收增速下滑幅度相對較小，體現出一定的抗周期性；同時 photronics 掩膜版業務在部分周期內表現出一定的領先性，較下游半導體銷售率先達到景氣拐點。原因在于當半導體行業處于下行周期，晶圓制造廠商的產能利用率下降，為了提升產能利用率，晶圓制造廠傾向于向中小芯片設計公司提供代工服務，因此半導體產品類型得以增加，掩膜版需求量提升；另外，當下游需求低迷時，芯片設計

37、公司或有意愿通過開發新產品打開市場，也會帶來對掩膜版的增量需求。11.64%14.68%17.78%35.97%48.13%51.27%0%10%20%30%40%50%60%201920202021平板顯示掩膜版半導體掩膜版0%5%10%15%20%25%30%35%40%45%50%201920202021=180nm =65nm 40nm 28nm 資料來源：中國臺灣光罩，平安證券研究所 注：深色代表處于量產階段；淺色代表處于研發認證階段 三、三、平板顯示平板顯示：技術迭代技術迭代方向明確，方向明確，面板面板復蘇提振復蘇提振需求需求 3.1 平板顯示掩膜版頭部集中平板顯示掩膜版頭部集中

38、平板顯示行業長期發展呈現像素高精度化、尺寸大型化、競爭白熱化、轉移加速化、產品定制化等特點。受益于電視平均尺寸增加，大屏手機、車載顯示和公共顯示等需求的拉動，根據 Omdia 預測，2025 年全球平板顯示需求超過 300 百萬平方米。平板顯示掩膜版仍以國內市場為主，2022 年國內需求占比超50%；隨著面板需求穩步增長，國內市場份額將持續提升，預計 2026 年將達到 57%左右。平板顯示掩膜版廠商市場結構仍較為集中：2020 年，海外主要頭部企業 Photronics、SKE、HOYA以及LG等市場占比合計近80%。此外，清溢光電及路維光電是國內主要的平板顯示掩膜版廠商，合計占比約10%。

39、圖表圖表37 全球平板顯示需求全球平板顯示需求規模規模 資料來源：Omdia，平安證券研究所 2322462652752842983073233320%1%2%3%4%5%6%7%8%9%05010015020025030035020192020202120222023E2024E2025E2026E2027E百萬平方米需求規模同比增速 請通過合法途徑獲取本公司研究報告，如經由未經許可的渠道獲得研究報告，請慎重使用并注意閱讀研究報告尾頁的聲明內容。有色金屬與新材料行業深度報告 18/23 圖表圖表38 平板顯示行業掩膜版需求平板顯示行業掩膜版需求結構結構 圖表圖表39 2020 年全球平板顯示

40、掩膜版市占率年全球平板顯示掩膜版市占率 資料來源：Omdia，平安證券研究所 資料來源：IC Insights，SIA，平安證券研究所 3.2 大尺寸和高精度是平板大尺寸和高精度是平板顯示掩膜版主要發展方向顯示掩膜版主要發展方向 近年來，大尺寸的電視面板產品加速進入市場，以 8.5 代線生產的 55 英寸和 85 英寸面板和 10.5 代線生產的 65 英寸和 75英寸面板為代表，大尺寸電視面板的需求自 2022 年第四季度開始出現大幅反彈，2023 年之后仍呈持續上升趨勢。2022年8 月，液晶電視顯示面板出貨的加權平均尺寸為46.8 英寸，2022 年 12 月平均尺寸上漲至 49 英寸，

41、2023 年 3 月為49.5英寸，并于 2023 年 5 月首次突破 50 英寸，達到了 50.2 英寸。面板代數越高，面板的玻璃基板尺寸越大，利用率和效益就越高，8.5 代線可以采用 66 寸+32 寸電視套切，以實現更高的切割效率；10.5 代線切割 65 寸、75 寸電視都可以達到 90%以上的切割效率。面板尺寸的增大帶動其上游材料掩膜版朝著大尺寸化的方向發展，也會帶動大尺寸掩膜版的需求增長。圖表圖表40 液晶電視面板出貨加權平均尺寸（英寸）液晶電視面板出貨加權平均尺寸（英寸）圖表圖表41 65 寸及寸及 75 寸面板切割效率示意圖寸面板切割效率示意圖 資料來源：IC Insights

42、，SIA，平安證券研究所 資料來源：IC Insights，SIA，平安證券研究所 隨著平板顯示技術的更新迭代，新的顯示技術要求掩膜版朝著更高精度方向發展，如應用于 Micro-LED（微型發光二極管）、LTPO（低溫多晶氧化物）、QD-OLED（量子點面板）等行業的掩膜版制造技術。高分辨率面板需求提高掩膜版精度要求，根據 IHS 預測，未來顯示屏的顯示精度將從 450PPI（Pixel Per Inch，每英寸像素）逐步提高到 650PPI以上，對平板顯示掩膜版的半導體層、光刻分辨率、最小過孔、CD 均勻性、套合精度、缺陷大小、潔凈度均提出了更高的技術要求。圖表圖表42 平板顯示掩膜版精度發

43、展趨勢平板顯示掩膜版精度發展趨勢 Specification 2013 2014 2015 2016 2017 2018 2019 2020 2021 2022 Panel resolution(ppi)450 ppi 450-650 ppi 650-850 ppi 850 ppi 51%51%51%55%56%58%57%0%10%20%30%40%50%60%70%80%90%100%2020202120222023E 2024E 2025E 2026E中國臺灣韓國日本中國Photronics,22%SKE,19%HOYA,19%LG-IT,19%DNP,6%清溢光電,6%三星,5%路維光

44、電,5%請通過合法途徑獲取本公司研究報告，如經由未經許可的渠道獲得研究報告，請慎重使用并注意閱讀研究報告尾頁的聲明內容。有色金屬與新材料行業深度報告 19/23 Semiconductor LTPS/Oxide LTPS LTPS/LTPO LTPS/LTPO Exposure resolution(L/S)2.0um 1.5um 1.0-1.2um 1.0um Minimum via 2.5um 2.0um 1.5-1.7um 1.4um CD uniformity 0.2um 0.15um 0.12um 0.1um Overlay 0.65-0.5um 0.5-0.3um 0.3-0.28

45、um 0.25um Status MP MP In development TBD?資料來源：Omdia，平安證券研究所 3.3 面板景氣度加速復蘇面板景氣度加速復蘇，掩膜版需求有望提振，掩膜版需求有望提振 全球顯示面板行業在經歷了 2022 年全球經濟疲軟、疫情沖擊、供應過剩等因素影響價格全面下行后，23Q2 相關產品價格和面板廠產能利用率已有明顯上調趨勢，2023 下半年顯示面板市場基本面或將迎來較大改善，新一輪上行周期將開啟。根據 Omdia 最新研究表示，受益于 LCD 電視、手提電腦、顯示器面板和智能手機 LCD 面板訂單向好，全球顯示面板廠家的總產能利用率從 2023 年第一季度的

46、 66%回升至第二季度的 74%。出貨量方面也有同步改善。圖表圖表43 全球顯示面板廠家總產能利用率全球顯示面板廠家總產能利用率 圖表圖表44 全球液晶面板月度出貨量全球液晶面板月度出貨量 23 年年 Q2 開始開始上行上行 資料來源：IC Insights，SIA，平安證券研究所 資料來源：IC Insights，SIA，平安證券研究所 國內市場顯示出更為強勁的增長韌勁。國內市場顯示出更為強勁的增長韌勁。根據 CODA，2022 年國內顯示行業產值近 5000 億元，在全球市場的占比超過38%，投資結構方面也有了明顯改善，投資方向從 LCD 向更高技術含量的高性能 OLED、Micro LE

47、D 及部分上游材料轉移，未來國內面板市場將向更高附加值的產品逐步迭代，同時在全球的占比也將進一步提高。全球顯示面板產能有較為明顯的向我國轉移的趨勢。全球顯示面板產能有較為明顯的向我國轉移的趨勢。近年來國內面板企業快速增加第六代柔性 OLED 產線，我國 OLED市場份額快速提升，根據 DSCC 數據，2023 年國內企業在全球柔性 OLED 產能中的占比有望超過 50%；在中國面板廠商占據主導地位的液晶顯示器（LCD）產能中，預計到 2027 年中國企業份額將提高至 70%以上；顯示面板總產能中（包括OLED 和 LCD），2023 年中國面板企業占據 60%左右的市場份額，預計從 2024

48、年起將保持在 70%左右。85%85%83%83%78%70%65%61%58%61%68%66%58%69%70%74%73%75%40%45%50%55%60%65%70%75%80%85%90%22-0122-0222-0322-0422-0522-0622-0722-0822-0922-1022-1122-1223-0123-02E23-03E23-04E23-05E23-06E產能利用率-50%-40%-30%-20%-10%0%10%20%30%40%50%02000400060008000100001200014000160001800018-0518-0919-0119-051

49、9-0920-0120-0520-0921-0121-0521-0922-0122-0522-0923-01全球液晶面板出貨量(左軸,千片)YOY(右軸)請通過合法途徑獲取本公司研究報告，如經由未經許可的渠道獲得研究報告，請慎重使用并注意閱讀研究報告尾頁的聲明內容。有色金屬與新材料行業深度報告 20/23 圖表圖表45 中國顯示技術及市場份額按年分應用變化中國顯示技術及市場份額按年分應用變化 圖表圖表46 全球顯示面板產能逐年向我國轉移趨勢全球顯示面板產能逐年向我國轉移趨勢 資料來源：DSCC，平安證券研究所 資料來源：DSCC，平安證券研究所 四、四、投資建議投資建議 國內掩膜版發展當前整體

50、仍處于起步階段，半導體先進制程掩膜版等高端產品成熟或仍需時間。但長期來看，受下游半導體產能向國內轉移帶動及海外部分產品出口限制，國內掩膜版市場空間已打開，隨著技術突破及配套材料國產化逐步推進，成熟制程產品的國產替代進程有望逐步加速。平板顯示掩膜版的國內產業鏈配套相對完善，生產技術相對成熟，隨著 2023年二季度面板景氣度顯著提升，作為上游耗材，掩膜版需求或將加速回暖，產品結構完善且實現率先放量的企業有望充分受益。建議關注路維光電、清溢光電。4.1 路維光電路維光電 公司成立于 1997 年，成立至今致力于掩膜版研發、生產與銷售，產品主要用于平板顯示、半導體、觸控和電路板等行業。公司立足于平板顯

51、示掩膜版和半導體掩膜版兩大核心產品線，經過多年技術累積和創新，當前在顯示面板產品領域已具有G2.5-G11 全世代掩膜版生產能力，可以配套平板顯示廠商所有世代產線。半導體產品領域，公司實現了 180nm 及以上制程節點半導體掩膜版量產，并取得了 150nm 制程節點半導體掩膜版制造關鍵核心技術，同時積極開展 130nm 及以下制程節點掩膜版產品的工藝技術開發，可以滿足國內先進半導體封裝和半導體器件等應用需求。隨著終端應用空間打開，公司工藝技術水平提升，產品結構持續優化，近年來營收規模實現持續增長。2022 年公司營收達6.4 億元，同比增長 29.7%。歸母凈利潤 1.2 億，同比增長 129

52、%。公司銷售毛利率近年來逐步提升，2023 年一季度毛利率達 32.95%。圖表圖表47 路維光電營業收入路維光電營業收入 圖表圖表48 路維光電歸母凈利潤持續增長路維光電歸母凈利潤持續增長 資料來源：路維光電，平安證券研究所 資料來源：路維光電，平安證券研究所 34%40%46%51%55%56%0%20%40%60%80%100%2017年2018年2019年2020年2021年2022年日本韓國中國臺灣中國大陸640.01-20%0%20%40%60%80%100%01002003004005006007002014 2015 2016 2017 2018 2019 2020 2021

53、2022營業收入（百萬元）同比增速（右軸）119.78-300%-200%-100%0%100%200%300%400%500%600%(20)0204060801001201402014 2015 2016 2017 2018 2019 2020 2021 2022歸母凈利潤（百萬元）同比增速（右軸）請通過合法途徑獲取本公司研究報告，如經由未經許可的渠道獲得研究報告，請慎重使用并注意閱讀研究報告尾頁的聲明內容。有色金屬與新材料行業深度報告 21/23 圖表圖表49 路維光電路維光電銷售毛利率銷售毛利率近年來近年來逐步提升逐步提升 圖表圖表50 路維路維光電營收結構持續改善光電營收結構持續改善

54、 資料來源：路維光電，平安證券研究所 資料來源：路維光電，平安證券研究所 4.2 清溢光電清溢光電 公司產品主要應用于平板顯示、半導體芯片、觸控、電路板等行業，既可以提供傳統的 TFT LCD 用掩膜版，也可以提供 LTPSLCD、AMOLED、Mini-LED 等平板顯示用中高端掩膜版，尺寸上實現全世代覆蓋，與京東方、華星光電、天馬、信利等知名面板企業均建立了長期穩定的供應關系；半導體掩膜版領域，公司與中芯寧波、長電科技、通富微電、晶方科技、華天科技等國內諸多主流廠商開展緊密合作。通過自主研發，公司已儲備 150nm 制程節點半導體掩膜版制造技術，可以覆蓋第三代半導體相關產品。2022 年，

55、公司營收 7.62 億元，同比增長 40.12%；歸母凈利潤 0.99 億元，同比增長 122.4%。結構上來看，平板顯示掩膜版仍為公司主要掩膜產品方向，2022 年營收占比超 76%。圖表圖表51 清溢光電營業收入清溢光電營業收入 圖表圖表52 清溢光電歸母凈利潤持續增長清溢光電歸母凈利潤持續增長 資料來源：清溢光電，平安證券研究所 資料來源：清溢光電，平安證券研究所 21.42%23.15%26.26%32.88%32.95%0%5%10%15%20%25%30%35%20192020202120222023 Q1銷售毛利率(%)銷售毛利率(%)11,932.1627,615.8535,5

56、28.765,228.288,662.719,624.9505,00010,00015,00020,00025,00030,00035,00040,00045,00050,000201920202021萬元半導體掩膜版平板顯示掩膜版762.15-10.0%0.0%10.0%20.0%30.0%40.0%50.0%01002003004005006007008009002014 2015 2016 2017 2018 2019 2020 2021 2022營業收入（百萬元）同比增速（右軸）99.03-60%-40%-20%0%20%40%60%80%100%120%140%02040608010

57、01202014 2015 2016 2017 2018 2019 2020 2021 2022歸屬于母公司所有者的凈利潤（百萬元）同比增速（右軸）請通過合法途徑獲取本公司研究報告，如經由未經許可的渠道獲得研究報告，請慎重使用并注意閱讀研究報告尾頁的聲明內容。有色金屬與新材料行業深度報告 22/23 圖表圖表53 清溢光電清溢光電銷售毛利率銷售毛利率 圖表圖表54 清溢光電清溢光電營收結構持續改善營收結構持續改善 資料來源：清溢光電，平安證券研究所 資料來源：清溢光電，平安證券研究所 五、五、風險提示風險提示 1、終端需求不及預期。若平板顯示及半導體領域景氣度出現大幅下滑，則對掩膜版需求或造成

58、一定程度拖累。2、國產替代進程不及預期。國內掩膜版廠商若出現研發進程緩慢，產品認證過程緩慢等問題，則可能導致國產替代進度不及預期。3、國內新產能落地進度不及預期。當前國內掩膜版廠商仍處在產能擴建時期，若新增產能釋放進度緩慢，則國內企業或面臨業績不及預期的風險。32.8%37.6%33.5%31.1%33.6%30.6%25.0%23.6%0.000.050.100.150.200.250.300.350.40201320152017201920212023 Q1銷售毛利率(%)銷售毛利率(%)37,098.1533,916.2010,227.0058,255.478,796.436,309.1

59、78,796.4310,227.00010,00020,00030,00040,00050,00060,00070,00080,0002019202020212022萬元半導體掩膜版平板顯示掩膜版 平安證券研究所投資評級：平安證券研究所投資評級：股票投資評級:強烈推薦（預計 6 個月內，股價表現強于市場表現 20%以上）推 薦（預計 6 個月內，股價表現強于市場表現 10%至 20%之間）中 性（預計 6 個月內，股價表現相對市場表現在10%之間）回 避（預計 6 個月內，股價表現弱于市場表現 10%以上）行業投資評級:強于大市（預計 6 個月內，行業指數表現強于市場表現 5%以上）中 性（預

60、計 6 個月內，行業指數表現相對市場表現在5%之間）弱于大市（預計 6 個月內，行業指數表現弱于市場表現 5%以上）公司聲明及風險提示：負責撰寫此報告的分析師（一人或多人）就本研究報告確認：本人具有中國證券業協會授予的證券投資咨詢執業資格。平安證券股份有限公司具備證券投資咨詢業務資格。本公司研究報告是針對與公司簽署服務協議的簽約客戶的專屬研究產品，為該類客戶進行投資決策時提供輔助和參考，雙方對權利與義務均有嚴格約定。本公司研究報告僅提供給上述特定客戶，并不面向公眾發布。未經書面授權刊載或者轉發的，本公司將采取維權措施追究其侵權責任。證券市場是一個風險無時不在的市場。您在進行證券交易時存在贏利的

61、可能，也存在虧損的風險。請您務必對此有清醒的認識，認真考慮是否進行證券交易。市場有風險，投資需謹慎。免責條款：此報告旨為發給平安證券股份有限公司（以下簡稱“平安證券”）的特定客戶及其他專業人士。未經平安證券事先書面明文批準，不得更改或以任何方式傳送、復印或派發此報告的材料、內容及其復印本予任何其他人。此報告所載資料的來源及觀點的出處皆被平安證券認為可靠，但平安證券不能擔保其準確性或完整性，報告中的信息或所表達觀點不構成所述證券買賣的出價或詢價，報告內容僅供參考。平安證券不對因使用此報告的材料而引致的損失而負上任何責任，除非法律法規有明確規定?？蛻舨⒉荒軆H依靠此報告而取代行使獨立判斷。平安證券可

62、發出其它與本報告所載資料不一致及有不同結論的報告。本報告及該等報告反映編寫分析員的不同設想、見解及分析方法。報告所載資料、意見及推測僅反映分析員于發出此報告日期當日的判斷，可隨時更改。此報告所指的證券價格、價值及收入可跌可升。為免生疑問，此報告所載觀點并不代表平安證券的立場。平安證券在法律許可的情況下可能參與此報告所提及的發行商的投資銀行業務或投資其發行的證券。平安證券股份有限公司 2023 版權所有。保留一切權利。平安證券研究所 電話：4008866338 深圳深圳 上海上海 北京北京 深圳市福田區福田街道益田路 5023號平安金融中心 B 座 25 層 上海市陸家嘴環路 1333 號平安金融大廈 26 樓 北京市豐臺區金澤西路 4 號院 1 號樓麗澤平安金融中心 B 座 25 層