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1、2023 年深度行業分析研究報告 一、行業概況.1 二、性能優勢.4 三、國內市場現狀.5 四、降本增效.8 五、市場破局.10 六、產業鏈及重點企業梳理.15 七、發展趨勢.22 目錄目錄 1/25 行業研究報告 慧博智能投研 PERC 電池最高量產效率已突破24%,持續逼近效率極限 24.5%,行業降本增效驅動下,第三代電池片技術正快速發展,滲透率有望快速提升。其中 HJT 電池具有產品轉換效率高、無光衰、溫度系數低、弱光響應高等優點,且由于是雙面對稱加低溫工藝,易于薄片化降本,受到業內關注。目前HJT 設備投資較大,但工序較少、未來降本空間大,后續通過降本增效有望迎來快速發展。2022
2、年國內新增建設和規劃中的 HJT 異質結電池產能達到 114.2GW,在 HJT 經濟性持續改善下,規劃產能有望加速落地,后續 HJT 出貨量有望快速增長。2023 年國內 HJT 電池出貨有望達到 15GW,同比增長 275%。PERC 電池最高量產效率已突破24%,持續逼近效率極限 24.5%,行業降本增效驅動下,第三代電池片技術正快速發展,滲透率有望快速提升。其中 HJT 電池具有產品轉換效率高、無光衰、溫度系數低、弱光響應高等優點,且由于是雙面對稱加低溫工藝,易于薄片化降本,受到業內關注。目前HJT 設備投資較大,但工序較少、未來降本空間大,后續通過降本增效有望迎來快速發展。2022
3、年國內新增建設和規劃中的 HJT 異質結電池產能達到 114.2GW,在 HJT 經濟性持續改善下,規劃產能有望加速落地,后續 HJT 出貨量有望快速增長。2023 年國內 HJT 電池出貨有望達到 15GW,同比增長 275%。一、行業概況一、行業概況 1、電池片處于技術變革期,第三代技術百家爭鳴、電池片處于技術變革期,第三代技術百家爭鳴PERC 電池接近效率極限,第三代電池處于快速發展期電池接近效率極限,第三代電池處于快速發展期。隨著光伏電池片持續提效,PERC 電池最高量產效率已突破 24%,持續逼近效率極限 24.5%,行業降本增效驅動下,第三代電池片技術正快速發展。第三代電池技術主要
4、包含 TOPCon、HJT 和 xBC,其中 TOPCon 和 HJT 具有更高的雙面率,主要應用于地面電站項目,xBC 由于具備更好的外觀通常應用于分布式項目。導讀導讀 2/25 TOPCon 與與 PERC 設備兼容性較好,短期發展迅速設備兼容性較好,短期發展迅速。與 PERC 電池相比,TOPCon 電池通過增加一層超薄隧穿氧化層,將金屬電極與硅金屬隔離,利用量子隧穿效應實現電流傳輸。TOPCon 相比 PERC 主要增加了隧穿氧化層的制備,工藝兼容性較好,在晶科能源晶科能源大力發展帶動下,TOPCon 短期發展迅速。HJT 優勢明顯,降本空間較大,后續有望快速發展優勢明顯,降本空間較大
5、,后續有望快速發展。HJT 具有產品轉換效率高、無光衰、溫度系數低、弱光響應高等優點,且由于是雙面對稱加低溫工藝,易于薄片化降本。HJT 設備投資較大,但工序較少,未來降本空間大,后續通過降本增效有望迎來快速發展。SUdUgYhUkWdWDWfWjW9PdN6MmOrRnPmPkPrRrOeRpPzQ7NnPpMwMoPmPwMqMpQ 3/25 2、HJT 電池電池又稱為異質結又稱為異質結太陽太陽電池,電池,為對稱雙面結構,形成為對稱雙面結構,形成 P-N 結結 HJT 電池全稱為晶體硅異質結太陽電池,由晶硅材料和非晶材料形成,在晶體硅上形成非晶體薄膜,并通過特殊的技術讓 P 型和 N 型半
6、導體構成一種特殊的 PN 結,本身屬于 N 型電池的一種。HIT(Heterojunction with Intrinsic Thinfilm)電池最早由日本三洋公司于 1990 年成功開發,因 HIT 已被三洋注冊為商標,因此又被稱為 HJT、HDT、或 SHJ。HJT 也即本征薄膜異質結,結構為對稱雙面電池,中間是 N 型晶體硅,在正面依次沉積本征非晶硅薄膜與 P 型非晶硅薄膜,形成 P-N 結。同時,在硅片的背面依次沉積本征非晶硅薄膜和 N 型非晶硅薄膜,形成背表面場。而電池的兩側沉積透明導電薄膜(TCO)來進行導電,解決非晶硅導電性較差的問題。最后應用絲網印刷技術形成雙面電級。之所以
7、HJT 能夠實現高轉化效率是由于其技術很好地解決了常規電池摻雜層和襯底接觸區域的高度載流子復合損失問題。其技術核心是在 PN 結之間插入了本征非晶硅層作為緩沖層,而本征非晶硅層對晶體硅表面有優秀的鈍化作用,可以大幅避免載流子的復合,實現較高的少子壽命和開路電壓。3、工藝流程:生產步驟大大減少,具有量產優勢工藝流程:生產步驟大大減少,具有量產優勢 HJT 電池的工藝環節僅 4 步,相比 PERC 電池通常的 910 步,HJT 的生產步驟大大減少,具有量產優勢。從設備的角度看,各環節均處于國產設備逐漸導入的過程中。制絨清洗制絨清洗:采用與 PERC 相似的濕法化學清洗設備,但要求更高的刻蝕損傷層
8、厚度以及在低溫環境下處理;PECVD(非晶硅薄膜沉積)(非晶硅薄膜沉積):該步驟取代了傳統 PERC 工藝中的擴散工藝,是構造異質結結構的關鍵,難度、壁壘最高,價值占到全部設備的 50%,為異質結設備的核心;TCO(透明導電薄膜)設備(透明導電薄膜)設備-PVD/RPD:技術壁壘低于 PECVD,主要包括 RPD 和 PVD 兩種的技術路徑設備,目前主流技術路線是用 PVD 方式制備前后表面的 TCO 膜;絲網印刷機絲網印刷機:在硅片的兩面制造精細的電路,將電極金屬化,包括絲網印刷(包括絲網印刷機,燒結爐,分選機)和電鍍銅電極兩種技術路線,目前以絲網印刷為主流,國內廠商捷佳偉創捷佳偉創、邁為邁
9、為、鈞石鈞石和理想理想已具備整線化能力。4/25 二、性能優勢二、性能優勢 1、HJT 鈍化機制優異,理論電池效率高鈍化機制優異,理論電池效率高 HJT 太陽電池是一種利用晶體硅基板和非晶硅薄膜制成的混合型太陽電池,其理論極限效率較高太陽電池是一種利用晶體硅基板和非晶硅薄膜制成的混合型太陽電池,其理論極限效率較高。據ISFH 和隆基測算數據,PERC、TOPCon 與 HJT 電池的理論極限轉換效率分別為 24.5%、28.7%和28.5%。HJT 在極限效率方面大幅領先 PERC,略落后于雙面 TOPCon。但 TOPCon 電池實現雙面多晶硅鈍化的難度較大,尚未有廠商克服這道技術難關,而目
10、前生產的背表面單面鈍化的 TOPCon 電池極限效率僅有 27.1%,低于 HJT。2、除效率高外,除效率高外,HJT 還具備良率高、雙面率高、溫度系數低等多重優勢還具備良率高、雙面率高、溫度系數低等多重優勢 相較 PERC 和 TOPCon,HJT 電池具備七大明顯的優勢,使其有望率先從現有的電池片技術中脫穎而出,成為未來市場的主流。生產工藝流程短生產工藝流程短更高良率和更低人工、運維成本更高良率和更低人工、運維成本:HJT 的核心工藝流程僅有 4 步,即清洗制絨、非晶硅薄膜沉積、TCO 膜沉積、金屬電極化,相較 PERC 和 TOPCon 電池大幅簡化。較短的工藝流程有助于提升生產良品率,
11、同時可降低人工、運維等成本。5/25 采用低溫工藝采用低溫工藝更小熱損傷更小熱損傷:HJT 全程在 200以下的環境中制成,對比之下 PERC 擴磷環節溫度需高于 850,TOPCon 擴硼環節溫度則在 1100以上。低溫工藝有助于減少硅片制備過程中的熱損傷并節約燃料。雙面率高雙面率高更高發電量更高發電量:HJT 電池為雙面對稱結構,電池雙面率最高可達 90%;而 PERC 和 TOPCon在制備過程中均需要對硅片進行背面拋光,雙面率最高僅可達到 75%和 85%。更高的雙面率可以提升HJT 背面發電量。溫度系數低溫度系數低更高發電量更高發電量:HJT 的溫度系數為-0.24/,比 PERC(
12、-0.35/)和(TOPCon-0.30/)更低,因此,HJT 在高溫環境下的能耗損失更少,發電量更高。衰減率低衰減率低更高發電量更高發電量:HJT 的首次衰減為 1%、線性衰減為 0.25%,低于 PERC 和 TOPCon,這主要是由于 HJT 無 PID 和 LID 效應,在 25 年的長生命周期內,HJT 發電更高。更適合鈣鈦礦疊層更適合鈣鈦礦疊層提效潛力更大提效潛力更大:HJT 電池主要吸收紅外光,而鈣鈦礦電池對短波到可見光波長的光波利用率較高,兩者疊層完成了吸收光譜的“兼收并蓄”,能夠打開理論轉換效率的天花板。更易實現薄片化更易實現薄片化降本空間更大降本空間更大:HJT 的雙面對稱
13、結構,降低了硅片的機械應力,提高了制備過程的整片率;低溫工藝亦減少了硅片受熱發生翹曲的可能,更有利于薄片化的進行。三、國內市場現狀三、國內市場現狀 1、多家新進入者近期宣布擴產項目,多借助地方政府支持確保項目落地多家新進入者近期宣布擴產項目,多借助地方政府支持確保項目落地 近期多家近期多家 HJT 新進入者發布擴產規劃,合計約新進入者發布擴產規劃,合計約 24GW 電池項目、電池項目、15GW 組件項目組件項目。奧維通信奧維通信 2023年 1 月 2 日公告稱擬與淮南市田家庵區人民政府、上海熵熠合作投資建設 5GW 異質結電池及組件項目,總投資 45 億元,項目規劃 3 年內分三期建設,第一
14、年 1GW、第二年 2GW、第三年 2GW。三五互聯三五互聯2022 年 12 月 25 日公告擬與眉山市丹棱縣人民政府簽署項目投資協議,建設 5GW 異質結電池 5G 智慧工廠項目,總投資 25 億元,5GW 生產線預計將于 2024 年 12 月前全部建成并正式投產。海源復材海源復材 6/25 2022 年 12 月 22 日公告擬與滁州市全椒縣人民政府合作 15GWN 型光伏電池及 3GW 組件項目,其中5GWHJT 電池及 3GW 組件,投資 35.5 億元。乾景乾景園林園林 2022 年 11 月 9 日公告控股股東變更為國晟能源,增資 4.7 億元用于 1GW 異質結電池和 2GW
15、 異質結組件項目。正業科技正業科技 2022 年 10 月 23 日公告與景德鎮高新技術產業開發區管理委員會簽署項目投資合同,建設年產 5GW 光伏組件及 8GW 異質結光伏電池片項目,總投資 50 億元,分三期投資建設。項目投資所需資金較多,新進入者多尋求地方政府支持以確保項目落地性項目投資所需資金較多,新進入者多尋求地方政府支持以確保項目落地性。從新進入者的財務狀況來看,截至 2022Q3 末各新進入者的平均資產負債率約為 47%,貨幣資金+交易性金融資產平均約為 1 億元,而 HJT 擴產項目所需投資額較高,新進入者單獨進行擴產投資金額較大,故多尋求與地方政府合作,可在基礎設施、廠房租金
16、、稅收優惠等方面提供支持,以確保項目順利推進。2、HJT 設備降本進行中,核心零部件國產化加速助力縮短回本周期設備降本進行中,核心零部件國產化加速助力縮短回本周期 核心零部件國產化加速,利好核心零部件國產化加速,利好 HJT 設備降本設備降本。HJT 設備的核心零部件包括泵、閥、腔體、電源、流量控制器等,目前設備價值量單 GW 約 4 億元,后續隨著零部件國產化替代、國產零部件擴產加速的規模效應顯現,HJT 設備的單 GW 投資額有望降低至 3-3.5 億元。7/25 電池片廠商回本周期縮短,預計當 2024 年設備回本期為 2 年時,傳統電池大廠轉型 HJT 技術意向強烈,行業迎來爆發。當單
17、 GW 設備投資額 3 億元、電池片單 W 利潤為 0.14 元時,電池廠回本期約為 2 年,預計 2024 年設備單 GW 投資額有望降低至約 3 億元,則此時回本期約為 2 年,傳統廠商布局、HJT 行業迎來爆發。3、N 型電池迉來規?;慨a,多家企業引領型電池迉來規?;慨a,多家企業引領 HJT 量產落地量產落地 新技術電池規?;瘮U產加速值得重視,新技術電池規?;瘮U產加速值得重視,22 年以來新技術電池大規模擴產拉開帷幕年以來新技術電池大規模擴產拉開帷幕。HJT 電池效率和成本進步較好,迎來規?;瘮U產,安徽華晟安徽華晟、金剛玻璃金剛玻璃、隆基綠能隆基綠能、東方日升東方日升、愛康科技愛康科
18、技等均新宣布擴產規劃,安徽華晟、華潤電力華潤電力、愛康科技等亦積極推動前期 HJT 擴產規劃落地。安徽華晟安徽華晟:華晟二期(2GW 異質結項目)于 2022 年 4 月底完成首批 210 電池片出片,至 6 月底完成所有 2GW 設備的調試與投產。首批電池片已實現電池最高轉換效率 24.68%,組件功率達 700W+。2022 年 5 月華晟宣布在安徽宣城建設 4.8GW 雙面微晶異質結智能工廠項目,5 月底已正式開工,預計2023 年 Q1-Q3 分兩期完成設備搬入和調試生產。2022 年 5 月公司與大理州政府、華能瀾滄江水電股份有限公司簽署合作協議,擬建設 5GW 高效異質結光伏電池和
19、組件項目。金剛玻璃金剛玻璃:1.2GW 大尺寸半片超高效異質結太陽能電池及組件項目已于 2022 年 3 月全線貫通,5 月實現首次出貨,電池片平均轉換效率達 24.95%,組件功率 700W+;2022 年 6 月公司宣布在甘肅酒泉建設 4.8GW 高效異質結電池片及組件項目,預計建設周期 18 個月。隆基綠能隆基綠能:第三方環評機構網站顯示,隆基綠能擬建設中央研究院一期中試項目,規模 1.2GW,從主要建設內容概要判斷,該項目或為 HJT 項目。愛康科技愛康科技:2022 年 1 月,愛康科技 8GW 異質結電池及其配套項目落戶瑞安。項目分兩期建設,分別建設 4GW 光伏電池及 4GW 高
20、效光伏組件產能;2022 年 5 月,愛康科技 6GW 異質結電池項目正式開工。2022 年 7 月,公司發布公告,與邁為股份邁為股份簽署設備采購合同,湖州愛康光電以自有資金向邁為股份購買兩條太陽能 210 半片異質結電池整線設備,每條生產線的產能均超過 600MW。8/25 東方日升東方日升:2022 年 1 月,公司公布定增預案,擬募集資金建設 5GWN 型超低碳高效異質結電池片與10GW 高效太陽能組件項目,項目建設周期為 12 個月。公司同時披露15GWN 型超低碳高效異質結電池片與 15GW 高效太陽能組件項目可行性研究報告。4 月,項目已通過環評。四、降四、降本增效本增效 1、“三
21、減一增三減一增”+提效為提效為 HJT 主要降本增效方式主要降本增效方式 HJT 降本增效方式主要包含降本增效方式主要包含“三減一增三減一增”+提效提效。HJT 降本增效方式主要包括減少銀漿消耗量、減少主柵線銀耗、減少硅料用量、增加光吸收量以及提升電池片效率。其中減少銀漿消耗和減少主柵線銀耗主要是降低金屬化成本,減少硅料用量主要為減少硅成本,增加光吸收量為減少光學損失,提效可攤薄各環節通量成本。9/25 2、硅成本為硅成本為 HJT 成本第一大項,可通過薄片化成本第一大項,可通過薄片化+吸雜降本增效吸雜降本增效 硅成本為硅成本為 HJT 電池成本第一大項電池成本第一大項。截至 2022 年末,
22、HJT 電池成本中硅片成本約 0.62 元/W,占比71%,為成本第一大項。降低硅成本或通過提效攤薄電池每瓦硅成本為 HJT 降本增效重要路徑。HJT電池硅環節主要可通過硅片薄片化降本以及增加吸雜工藝降低硅成本和提升轉換效率電池硅環節主要可通過硅片薄片化降本以及增加吸雜工藝降低硅成本和提升轉換效率。3、吸雜可提升硅片品質,同時實現降本提效吸雜可提升硅片品質,同時實現降本提效 吸雜工藝可提升硅片品質,可采用低質量硅片制備吸雜工藝可提升硅片品質,可采用低質量硅片制備 HJT 電池電池。吸雜技術是減少硅片加工和工藝過程污染、改善硅片的性能的一種非常有效的方法。其工藝為:采用管式擴 P 或者鏈式涂覆
23、P 源方式,使硅片表面具有一層 P 源,隨后對硅片進行高溫處理,處理溫度在 700-800,通過高溫擴散后,在硅片表面形成一層 PSG 和 P 重摻雜層,這層摻雜層對硅片中金屬雜質的溶解度遠遠高于其他區域,在高溫和雜質濃度梯度影響下,硅片體內的金屬雜質向表面擴散。最后通過后續的清洗工序,把表面這層雜質去掉從而達到提升硅片品質的目的。吸雜可降低硅料采購成本吸雜可降低硅料采購成本。HJT 與 PERC 電池差異主要包含硅成本與非硅成本差異,其中硅片成本差異主要由于其襯底為 N 型,一方面 N 型硅片制造過程需要更高純度硅料,其單公斤價格相比 P 型硅料更高,另一方面 N 型硅片在切片環節的 B 級
24、片因市場容量小而銷售價格打折較多。10/25 N-P 硅片價差約硅片價差約 6%,通過吸雜可降低硅料成本,通過吸雜可降低硅料成本。以 TCL 中環中環 150mN 型及 P 型硅片為例,2022 年下半年 N 型硅片售價相比 P 型硅片售價高約 6%。通過引入吸雜環節,可降低 HJT 電池對于硅片需求,即可以采購普通硅料,消除硅料環節引起的 N-P 價差,N 型硅料相比普通硅料價格高約 7 元/kg。吸雜可提升吸雜可提升 HJT 電池效率電池效率。吸雜工藝為利用雜質向具有晶格的不完整性的區域聚集的特性引入缺陷形成雜質富集區域,然后將這一層雜質富集的損傷區域去掉,就可達到去除硅片中部分雜質的目的
25、,減少硅片中少數載流子復合中心,提高電池的開路電壓,從而提高 HJT 電池光電轉換效率。通過引入吸雜工藝可提升 HJT 電池效率 0.15%以上。五五、市場破局市場破局 1、短期:、短期:雙面微晶雙面微晶+0BB(1)雙面微晶帶來電池效率絕對值約雙面微晶帶來電池效率絕對值約 1%的提升,設備已開始調試的提升,設備已開始調試 雙面微晶可帶來約雙面微晶可帶來約 1%的電池效率絕對值提升,主要難點在于增加氫稀釋率的電池效率絕對值提升,主要難點在于增加氫稀釋率。HJT 非晶產線升級到微晶產線需要在射頻系統、溫度系統、工藝配方等方面進行改進,目前微晶 N 層工藝已經成熟,金剛光伏2022 年 5 月已量
26、產,N 面微晶電池平均效率較非晶已提升 0.4%-0.5%,組件功率已提升 15-25W(針對M6-72 片雙玻版型),效率標準偏差約 0.1%,微晶 P 層預計 23 年導入量產,效率有望突破 25.5%。制備微晶硅技術的難點在于增加氫稀釋率,解決辦法包括提高功率,提高頻率,增加設備。目前單面微晶的 HJT 電池量產平均效率約 25%,金剛光伏酒泉 4.8GW 雙面微晶設備已進入調試階段。11/25 (2)0BB 對于對于 HJT 可同時帶來降本可同時帶來降本+提效,東方日升提效,東方日升 0BB 專利布局較多專利布局較多 0BB 可同時完成提效降本,專利方面東方日升布局較多可同時完成提效降
27、本,專利方面東方日升布局較多:0BB 只網印細柵,利用內嵌銅線的聚合物薄膜代替主柵,并優化了細柵的寬度和間距,減少了電池遮光面積和電阻損失,帶來電池效率的提升和漿料耗量的節省。0BB 專利方面,國內東方日升東方日升申請了較多與無主柵太陽能電池串連接方法、組件制備方法相關的專利。TOPCon 也可以應用 0BB,但由于 HJT 電池的漿料耗量更多,且 HJT 可以使用銀包銅,整體來看 0BB給 HJT 帶來的成本節約更多。2022 年 HJT 純銀低溫銀漿耗量約 23mg/W,TOPCon 電池約 14mg/W,加之 HJT 可使用銀包銅漿料,HJT 應用 0BB 后相比 TOPCon 預計可節
28、省更多漿料用量。(3)50%銀含量的銀包銅漿料已經出貨,激光轉印可進一步降低漿料耗量銀含量的銀包銅漿料已經出貨,激光轉印可進一步降低漿料耗量 銀包銅銀包銅:銀包銅技術通過化學鍍的方式,在超細銅粉表面形成不同厚度的銀鍍層,調節漿料的銀、銅比例提高抗氧化能力,來實現低價金屬代替高價金屬的降本目標。目前,蘇州晶銀蘇州晶銀已經出貨 50%銀含量的漿料產品應用于背面細柵,整體可靠性還需驗證;12/25 激光轉印激光轉?。杭す廪D印技術是通過在柔性透光材料的凹槽上填充漿料,再用激光高速圖形化掃描,將漿料從柔性透光材料上轉移至硅片表面形成柵線。由于采用非接觸印刷模式,激光轉印可降低隱裂、碎片、污染、劃傷等風險
29、,適用于薄片化、柔性異質結電池。同時,相比傳統絲網印刷,激光轉印技術可大幅降低 HJT 柵線線寬,實現銀漿消耗量減少,帝爾激光帝爾激光轉印設備在 HJT 上可節約 30%-40%漿料并帶來電池效率 0.3%以上的提升。2、中期:銅電鍍中期:銅電鍍+無銦化無銦化(1)銅電鍍:銅電鍍:1)銅電鍍銅電鍍對于對于HJT的主要意義在于提效,遠期量產成本預計與銀包銅相當的主要意義在于提效,遠期量產成本預計與銀包銅相當 銅電鍍的基本原理:銅電鍍是一種非接觸式的電極金屬化技術,在基本金屬表面通過電解方法沉積金屬銅制作銅柵線,用于收集光伏效應產生的載流子。銅電鍍對于銅電鍍對于 HJT 的意義:提效的意義:提效降
30、本降本。銅電鍍效率更高銅電鍍效率更高:銅柵線相比銀柵線形貌更好,體電阻率更低,導電性更強,同時,銅柵線與 TCO 薄膜之間附著更為緊密,接觸電阻相比低溫銀漿更小,綜合來看可提高電池轉換效率;銅電鍍金屬化成本可與銀包銅相當銅電鍍金屬化成本可與銀包銅相當:預計遠期銀包銅+0BB 的金屬化成本可降至0.06 元/W,銅電鍍成熟后預計量產成本也約 0.06 元/W,但銅電鍍可提效 0.2%-0.3%,銀包銅可能會降效。2)銅電鍍圖形化環節技術路線多樣,目前尚未統一銅電鍍圖形化環節技術路線多樣,目前尚未統一 異質結電池銅電鍍的第一步可分為有種子層和無種子層,由于無種子層難度較大,目前以有種子層為主異質結
31、電池銅電鍍的第一步可分為有種子層和無種子層,由于無種子層難度較大,目前以有種子層為主。異質結電池銅電鍍圖形化環節可供選擇的技術路線有三大類,目前尚未統一異質結電池銅電鍍圖形化環節可供選擇的技術路線有三大類,目前尚未統一:第一大類是光刻,根據是否有掩膜又分為兩種,一是需要使用掩膜的光刻,包括投影式光刻、接近/接觸式光刻,二是無需使用掩膜的光刻,直寫光刻根據輻射源的不同大致可進一步分為光學直寫光刻和帶電粒子直寫光刻,其中芯碁微裝可提供直寫光刻 LDI 設備;第二大類是噴墨打??;第三大類是激光開槽,該方式一般用于 IBC電池的背面柵線制備。13/25 3)銅電鍍:激光直寫銅電鍍:激光直寫vs投影式光
32、刻投影式光刻 激光直寫光刻可用于滿足低端 IC 制造需求,相比激光直寫光刻,帶電粒子直寫光刻精度更高,但產能效率低,設備昂貴,對使用環境要求較高,該項技術目前主要應用在高端 IC 掩膜版制版領域,應用領域較為狹窄;掩膜光刻可用于滿足中高端 IC 制造需求。14/25 4)銅電鍍:金屬化設備名義產能已達到量產要求,設備、工藝、材料、環保等方面尚待成熟銅電鍍:金屬化設備名義產能已達到量產要求,設備、工藝、材料、環保等方面尚待成熟 金屬化:金屬化:目前產業主要在開發的是水平電鍍、目前產業主要在開發的是水平電鍍、VCP 電鍍和電鍍和 VDI 電鍍電鍍。東威科技東威科技第三代垂直連續電鍍設備產能 800
33、0 片/小時,可達量產要求;1GW 電鍍設備需 2-3 臺,一臺設備對應價值量在 1500-2000 萬元,1GW 電鍍設備價值量約 5000 萬左右;若驗證順利有望于 23 年底前導入量產;羅博特科羅博特科目前一套單軌產線的銅電鍍設備對應的標準配置是 600MW,單軌 700-800MW 的設備也可進行定制化開發,在 2 月底或 3 月初將進入第二階段驗證,與自動化設備進行全面對接,收集整線跑通數據結果。量產難點:量產難點:設備端設備端:如何控制低成本情況下實現穩定的大產能是關鍵;工藝端工藝端:銅柵線相比銀柵線更容易出現脫柵,銅柵線是實心的,且柵線寬度更細,細柵線與 TCO 的接觸面積更??;
34、銅柵線的氧化問題:銅柵線在制作過程中會在兩個環節可能被氧化,一是用磁控濺射做完的種子層需要進入顯影液中時;二是電池片生產完成沒有短時間內完成封裝時,防止銅氧化的解決辦法是鍍錫,錫的厚度約為 1 微米;材材料端料端:圖形化環節中可以匹配光伏需求的低成本油墨開發較難;環保端環保端:銅電鍍由于濕法工藝較多,會產生較多含銅的工業廢水。(2)無銦化無銦化 TCO膜層各項要求較高,可通過復合膜層等方式實現降本膜層各項要求較高,可通過復合膜層等方式實現降本 HJT 電池中的 TCO 膜層需同時滿足多項要求圖:銅電鍍的圖形化工藝路線選擇多樣,未來有望通過設備改進或復合膜層的設計來降低靶材成本。HJT 電池中的
35、 TCO 膜層需同時滿足透明性好、電導率高、與其接觸的硅薄膜的功函數相匹配、靶材料成本要足夠低、鍍成的薄膜較為穩定等要求。功函數匹配方面,由于 HJT 在 HJT 電池中 TCO 膜層與 N 型或 P 型非晶硅膜層接觸,屬于半導體與半導體接觸,TCO 膜與金屬電極接觸,屬于半導體和金屬接觸;這兩種界面之間,當材料間功函數不匹配時會產生大的接觸電阻。目前 HJT 電池中較高的靶材成本主要由稀有元素銦構成,2023 年 2 月 23 日銦價為 230 美元/公斤,未來可能通過復合膜層等方式來減少銦的用量。15/25 3、遠期:鈣鈦礦疊層遠期:鈣鈦礦疊層 異質結與鈣鈦礦具有良好的疊層電池匹配度,國內
36、企業已開始陸續布局異質結與鈣鈦礦具有良好的疊層電池匹配度,國內企業已開始陸續布局 鈣鈦礦太陽電池和傳統晶硅太陽電池疊加形成的疊層太陽電池,寬帶隙鈣鈦礦材料吸收短/中波段入射光,窄帶系單晶硅材料吸收中/長波段入射光,可最大限度利用太陽光。HJT/鈣鈦礦疊層電池可實現更高的光電轉換效率鈣鈦礦疊層電池可實現更高的光電轉換效率:在轉化效率貢獻上,異質結可以貢獻 25%-26%的轉化效率,而鈣鈦礦疊層則是增加其 3%-5%增量效益。已有中試線已有中試線:華晟新能華晟新能源源(完成實現鈣鈦礦-HJT 疊層電池 M6 大面積疊層均勻制備,目標 2025 年實現G12 異質結鈣鈦礦晶硅疊層電池效率 30%,G
37、12-132 組件功率 840W+)、牛津光伏牛津光伏(金風科技入股,已有鈣鈦礦疊層電池產線);中試線規劃建設中中試線規劃建設中:寶馨科技寶馨科技(布局 2GW 異質結電池項目,與張春福、朱衛東教授團隊建立 HJT-鈣鈦礦疊層電池合作關系,2024 年啟動 100MW 鈣鈦礦疊層線的建設,實驗室效率大于 32%,加速老化等效外推達到 25 年;2026 年鈣鈦礦/異質結疊層 GW 級產線升級,實現量產 210 半片鈣鈦礦/異質結疊層電池,電池效率在基底異質結的基礎上提升率大于 15%,首年衰減不超過 3%,以后每年衰減不超過0.5%);已有實驗線已有實驗線:晶科能源晶科能源(實驗室中研發,To
38、pcon/鈣鈦礦疊層太陽能電池效率達 27.6%)、通威股份通威股份(鈣鈦礦實驗室已經建立完成,首塊鈣鈦礦電池原定 2022 年內下線)。六、產業鏈六、產業鏈及及重點重點企業企業梳理梳理 1、產業鏈概況、產業鏈概況 HJT 電池行業上游原材料包括硅、銀漿、靶材等;中游主要為電池片的生產制造,主要流程包括清洗制絨、正反面沉積非晶硅薄膜、正反面沉積 TCO 薄膜、絲網印刷、低溫固化等;下游通過光伏組件,應用于光伏發電站及其他光伏產品。16/25 我國 HJT 電池產業鏈上游原材料供應商主要有隆基股份隆基股份、晶科能源晶科能源、晶澳太陽能晶澳太陽能等;中游電池片制造企業包括隆基股份隆基股份、晶科能源
39、晶科能源、晶澳太陽能晶澳太陽能等,設備供應商主要有邁為股份邁為股份、鈞石能源鈞石能源;下游光伏組件及發電產品包括通威股份通威股份、晶科科技晶科科技等。其中,實施一體化戰略的企業有隆基股份隆基股份、天合光能天合光能、晶科能晶科能源源、晶澳科技晶澳科技、阿斯特阿斯特等。2、市場格局、市場格局 HJT 電池因其具有工藝流程簡單、光電轉換效率高、降本增效途徑較為明確、溫度系數優異等特征而備受市場關注,部分企業已經開始進行 HJT 電池產線建設。從已有及規劃 HJT 電池產能角度來看東方日東方日升升在 HJT 光伏電池領域產能布局較大,據東方日升披露,其認為 HJT 光伏電池將成為未來發展的主要趨勢,是
40、未來 10 年電池片環節的平臺型技術,未來的新型技術可以在現有 HJT 產線上通過增加設備以提升電池的轉換效率,東方日升堅定看到 HJT 光伏電池未來的發展,故其規劃產能皆將以 HJT 技術為主;潤陽股份潤陽股份、金剛光伏金剛光伏與寶馨科技寶馨科技的產能規劃處于中游水平,其中,金剛光伏與寶馨科技為跨界企業,潤陽股份在光伏電池領域已經有較久的經驗,愛康科技愛康科技、隆基綠能隆基綠能與通威股份通威股份的 HJT 產能規劃較小。值得注意的是,通威股份通威股份與隆基綠能隆基綠能是光伏電池片領域乃至光伏產業鏈中的頭部企業,其皆對于 HJT電池保有較高關注且有試驗線,如隆基綠能在 2022 年 11 月以
41、 HJT 技術刷新硅光伏電池的轉換效率技術,通威股份在合肥等地皆有布局 HJT 光伏電池試驗線,但是頭部企業尚未規劃較高產能,主要原因系其原有 PERC 產能較大,且當前 HJT 從電池生產到組件封裝各環節技術皆有待驗證,HJT 產線當下投資成本尚且較高等。愛康科技愛康科技、金剛光伏金剛光伏、東方日升東方日升等企業以及如華新能源華新能源等新晉企業希望借傳統光伏巨頭尚未全面布局時,搶先占領 HJT 電池市場,形成先發優勢,從而在電池片制造環節進行彎道超車。從營業收入來看,隆基綠能與通威股份在整體處于較大優勢,其皆為光伏產業鏈頭部企業,未來有望憑借其資金優勢、市場地位在 HJT 技術成熟后進行產能
42、布局,從研發投入角度來看,隆基綠能與通威股份亦保持著較為明顯的領先地位。3、重點重點企業企業 17/25 (1)東方日升:)東方日升:業績扭虧為盈,業績扭虧為盈,HJT、儲能兩翼齊飛、儲能兩翼齊飛 組件盈利顯著改善,儲能收入大幅增長組件盈利顯著改善,儲能收入大幅增長。組件組件:2022 年太陽能組件業務實現營業收入 234.4 億元,同比增長 93.2%。組件銷量 13.5GW,同比增長 66.3%,其中海外銷量 8.1GW。組件銷售均價 1.74 元/W,毛利率 4.8%,同比增長 3.1pp;單位毛利 0.08 元/W,同比大幅提升近 0.06 元/W。硅料硅料:多晶硅業務實現營業收入 1
43、9.1 億元,同比增長 183.8%;銷量 8836 噸,同比增長 91.7%;毛利率約 63.0%。儲能儲能:儲能系統、燈具及輔助光伏產品業務實現營業收入 14.5 億元,同比大幅增長 256.7%;毛利率 20.6%,同比提升 4.6pp。凈利潤方面,光伏制造板塊實現凈利潤 9.5 億元,光伏電站板塊實現凈利潤 1.3 億元,其他業務及分部間抵消合計-1.2 億元。電池新技術進展順利,完善產能一體化布局電池新技術進展順利,完善產能一體化布局。截至 2022 年底,公司已形成 15GW 電池、25GW 組件產能。浙江寧海 5GWHJT 電池片與 10GW 組件項目、江蘇金壇 4GWHJT 電
44、池片和 6GW 組件項目和安徽滁州 10GWTOPCon 電池項目正在有序推進中。公司已掌握轉換效率高達 25.5%的高效 HJT 技術,目標降低銀耗量到 10mg/W 以下有效降低制備成本。公司向產業鏈上游延伸的工業硅項目一期已開工,并擬投資源網荷儲一體化項目(包括風電電站 705MW、光伏電站 300MW、儲能系統 275MW/1100MWh)及 10GW 拉晶項目,完善一體化布局,有利于持續提升盈利能力。儲能在手訂單充足,出貨有望超預期儲能在手訂單充足,出貨有望超預期。根據公告,公司儲能業務已簽訂單約 1GWh,意向在談訂單約3GWh。高工產業研究院(GGII)數據顯示,2023 年 Q
45、1 公開的儲能中標項目達 46 個,總容量達8.5GWh,已超過去年上半年總量(約 7GWh)??紤]到今年國內儲能項目招標需求旺盛,碳酸鋰價格下降儲能經濟性顯著提升,公司在手訂單充足,部分項目受益電芯降價盈利能力提升。全年儲能出貨、盈利有望超預期。(2)邁為股份:邁為股份:HJT 設備領先企業,持續推動行業進步設備領先企業,持續推動行業進步 邁為股份成立于 2010 年,是一家集機械設計、電氣研制、軟件算法開發、精密制造裝備于一體的高端智能裝備制造商。公司憑借多年來優異的自主研發能力、產品質量與售后服務體系,打破了外國廠商在光伏絲網印刷設備領域的壟斷,成為全球光伏絲網印刷設備的龍頭企業,實現了
46、光伏絲網印刷制造設備領域的國產化替代。邁為股份的主要業務為面向太陽能光伏、顯示、半導體三大行業,研發、制造、銷售智能化高端裝備,主要產品包括全自動太陽能電池絲網印刷生產線、異質結高效電池制造整體解決方案、OLED 柔性屏激光切割設備、Mini/Micro LED 晶圓設備、半導體晶圓封裝設備等。18/25 公司收入和凈利潤穩中有升,凈利率和毛利率持續回升公司收入和凈利潤穩中有升,凈利率和毛利率持續回升。公司實現 2022 年收入 41.48 億元,同比增長34.01%,2023Q1 季度實現收入 11.57 億元,同比增長 38.64%,收入增速逐漸穩定,呈上升趨勢,歸母凈利潤增速有所減緩。公
47、司 2022 年毛利率為 38.31%,凈利率為 20.78%,2023Q1 毛利率為 34.03%,凈利率為 19.10%,自 2019 年起毛利率與凈利率持續回升,盈利能力較強。根據 4 月 25 日投資者調研記錄,公司在 110m 硅片、雙面微晶、0BB、銀包銅、銅電鍍、異質結/鈣鈦礦疊層等關鍵技術均有涉及,將在異質結鈣鈦礦疊層電池技術上布局研發;根據公司 5 月 26 日發布的公眾號,邁為自主研制的雙面微晶異質結高效電池制造整體解決方案,是異質結電池整線裝備國產化持續創新、成功升級的第三代產品,應用了 PECVD 雙面微晶工藝,已于 2022 年 12 月開始交付客戶,經過高效有序的安
48、裝與調試,雙面微晶技術的顯著提效優勢已在多家客戶的量產線、試量產線上得到驗證。2023 年,邁為已累計取得華晟 14 條整線訂單。19/25 (3)捷佳偉創:多路線布局,捷佳偉創:多路線布局,HJT 設備獲頭部客戶訂單設備獲頭部客戶訂單 捷佳偉創成立于 2007 年,是國內領先的從事晶體硅太陽能電池設備研發、生產和銷售的國家高新技術企業。公司憑借自身的技術研發實力在太陽能電池設備生產領域行業地位突出。公司的主要業務為晶體硅太陽能電池設備研發、生產和銷售,主要產品包括 PECVD 及擴散爐等半導體摻雜沉積工藝光伏設備、清洗、刻蝕、制絨等濕法工藝光伏設備以及自動化(配套)設備、全自動絲網印刷設備等
49、晶體硅太陽能電池和鈣鈦礦/晶硅-鈣鈦礦疊層電池生產工藝流程中的主要及配套設備的研發、制造和銷售。公司收入和凈利潤穩中有升公司收入和凈利潤穩中有升。公司 2022 年實現收入 60.05 億元,同比增長 18.98%,2023Q1 季度實現收入 19.31 億元,同比增長 41.73%,收入增速有一定恢復,歸母凈利潤增速呈現波動下降的趨勢。公司2022 年毛利率為 25.44%,凈利率為 17.44%,相較于 2019 年均出現下滑,2023Q1 季度毛利率為22.78%,凈利率為 17.40%,毛利率呈現一定波動,凈利率維持較高水平。20/25 根據公司 5 月 3 日發布的公眾號,捷佳偉創近
50、期中標全球頭部光伏企業量產型 HJT 整線訂單,采用最新板式 PECVD 雙面微晶工藝,同時中標境內外多家新能源頭部企業 HJT 領域制絨/板式 PECVD/Cat-CVD/PAR/PVD/印刷等十余項單機設備及重復訂單。公司 HJT 電池全路線全工藝裝備在技術和工藝上持續獲得突破。(4)羅博特科:開創電鍍羅博特科:開創電鍍 VDI 技術,光伏半導體多點開花技術,光伏半導體多點開花 羅博特科成立于 2011 年,是一家研制高端自動化裝備和基于工業互聯網技術的智能制造執行系統軟件的高新技術企業。公司擁有完整的研發、設計、裝配、測試、銷售和服務體系,為光伏、電子及半導體等領域提供柔性、智能、高效的
51、高端自動化裝備及 R2Fab 系統軟件,目前公司產品主要應用于光伏電池領域。公司主要業務包括工業自動化設備及執行系統和高效電池解決方案,其中工業自動化設備包括智能自動化設備、智能裝配、測試設備及系統。根據公司的整體發展戰略,公司已逐步切入光伏電池工藝設備業務領域。公司收入和凈利潤呈現恢復趨勢公司收入和凈利潤呈現恢復趨勢。公司 2022 年實現收入 9.03 億元,同比減少 16.83%,2023Q1 季度實現收入 2.59 億元,同比增長 30.51%,主要原因是 2022 年上半年,公司在采購、制造、運輸、安裝等環節均受到不同程度的負面影響,下半年開始形勢有所好轉,收入增速自 2021 年起
52、有一定恢復,利潤實現扭虧轉盈。公司 2022 毛凈利率為 22.17%,凈利率為 2.88%,2023Q1 季度毛利率為 20.24%,凈利率為 1.54%,相較于 2020 年均有較大幅度恢復。21/25 根據公司 5 月 29 日發布的公眾號,羅博特科已逐步切入光伏電池工藝設備業務領域。前端布局了濕法工藝設備,后端布局了光伏銅電鍍設備,具備制絨、清洗、堿拋及銅電鍍工藝設備等系列產品,獨創的銅柵線異質結電池 VDI/HDI 電鍍技術方案,具有產能大、占地小、柔性強、功耗低和易維護等優勢,首臺 VDI 電鍍設備已于 2 月 28 日交付國電投,將進行第二階段的驗證,力爭三季度成功建成行業內首條
53、大產能銅柵線異質結電池生產線。(5)蘇大維格:光刻技術翹楚,掩蘇大維格:光刻技術翹楚,掩膜、光刻圖形化同步開發中膜、光刻圖形化同步開發中 蘇大維格成立于 2001 年,公司是國內領先的微納結構產品制造和技術服務商,通過自主研發微納光學關鍵制造設備光刻機,建立了微納光學研發與生產制造的基礎技術平臺體系,為客戶提供不同用途微納光學產品的設計、開發與制造服務。公司深耕高端微納光學材料及反光材料制品多年,已發展形成了公共安全和新型印材、消費電子新材料、反光材料、高端智能裝備四大事業群,并憑借強大的技術研發實力,在納米波導光場鏡片(AR/AR-HUD)、裸眼 3D 顯示、無掩膜光刻等領域持續研發,進行技
54、術與專利布局,不斷開發新產品,拓展新領域,致力于將公司打造成具備持續創新能力,行業影響力大,產品豐富,服務優質的微納結構產品領先企業。公司收入保持穩定,凈利潤恢復中公司收入保持穩定,凈利潤恢復中。公司 2022 年實現收入 17.16 億元,同比減少 1.21%,2023Q1 季度實現收入 3.93 億元,同比減少 1.05%,收入基本維持穩定,有一定下降,凈利潤 2021 年大幅下降,主要系因子公司華日升業績未達預期計提長期資產減值損失所致,2023Q1 扭虧為盈。公司 2022 年毛利率為 15.33%,凈利率為-16.26%,2023Q1 季度毛利率為 18.35%,凈利率為 0.25%
55、,相較于 2021 年開始逐漸恢復,但仍低于 2020 年水平。公司 5 月 12 日在互動平臺表示,公司自行開發的光伏銅電鍍曝光設備采用了掩模投影曝光的方式,有利于協助下游廠商的降本增效。目前,公司正在積極與光伏廠商進行深度對接和測試,在曝光均勻度、槽型形貌、分辨率等方面均有較好的效果。(6)高測股份高測股份:持續推進金剛線細線化及切片薄片化,有望持續受益:持續推進金剛線細線化及切片薄片化,有望持續受益 高測股份持續推進金剛線細線化及切片薄片化高測股份持續推進金剛線細線化及切片薄片化。高測股份是國內領先的高硬脆材料切割設備和切割耗材供應商,同時布局了金剛線和硅片及切割加工業務,2022 年上
56、半年金剛線和硅片及切割加工業務收入 22/25 分別為 3.26、3.11 億元,收入占比分別為 24%、23%。公司持續推進金剛線細線化及切片薄片化,目前公司已經實現線徑 40m、38m 及 36m 線型金剛線批量銷售,并與東方日升簽訂戰略合作框架協議,每年銷售或加工不低于 10GW 體量的 100m 厚度及更薄厚度的 N 型硅片。隨著硅片薄片化持續推進,公司金剛線業務和硅片及切割加工有望持續受益。七、發展趨勢七、發展趨勢 1、降本增效路線明晰,降本增效路線明晰,HJT 實現大規模量產指日可待實現大規模量產指日可待 雖然 HJT 在轉換效率優于其他 N 型光伏電池,但是由于 HJT 在結構上
57、與當前流行的 TOPCon 電池大不相同,制約其發展的條件也很明顯。一個是設備成本高,TOPCon 生產線單 GW 價格 2 個億,HJT 價格4-5 個億,二是材料成本高,銀耗遠高于 PERC 和 TOPCon。所以對于 HJT 而言,降本是大規模量產化的必備條件。HJT 成本構成主要是硅片和非硅兩部分,其中硅片成本占比 50%,銀漿占比 25%,靶材 6%左右。降本也主要是從這兩方面下手。硅片降本舉措包括薄片化大尺寸化、微晶化,非硅降本舉措包括采用 MBB多主柵、激光轉印技術、低溫銀漿國產化。由此可見,目前我國 HJT 降本增效路線較為明確。多路徑降本下,預計 23 年 HJT 組件端成本
58、有望打平 PERC,HJT 實現大規模量產指日可待。2、企業加速布局企業加速布局 HJT 電池,產能或將持續擴張電池,產能或將持續擴張 隨著 HJT 經濟性逐步凸顯,國內廠商如愛康科技、華晟新能源、金剛玻璃等已緊鑼密鼓地開啟了 HJT生產布局之路。23/25 在眾多企業加速布局下,2022 年底,我國 HJT 電池投產產能合計為 10.8GW,其中安徽華晟產能最大,為 2.7GW,其次為金剛玻璃的 1.2GW,愛康科技的 2GW 與明陽智能的 1GW。2023、2024 年 HJT 新增規劃投產分別為 61.8GW,45.2GW。若按照規劃全部達產后,2023 年 HJT 產能將達到 68.7
59、GW,2024 年 HJT 產能將達到 113.9GW,產能持續擴張。24/25 3、HJT 擴產有望釋放,設備彈性空間凸顯擴產有望釋放,設備彈性空間凸顯 HJT 電池相較于 PERC 而言具有顛覆性,其生產設備與現有的 PERC 產線設備并不兼容,需要全部新建產線,由此將帶來大量的新增設備需求。HJT 核心制造工序主要為清洗制絨、非晶硅薄膜沉積、TCO膜沉積和電極金屬化 4 道工序。相對于 PERC 和 TOPCon 電池而言,HJT 電池片的生產步驟明顯簡化,較少的工藝步驟在一定程度上降低了工藝控制的復雜程度,有助于降低電池不良比率以及人工和維護成本,但 HJT 電池對每個環節的制造技術要求更高。設備價值量來看,在 HJT 電池產線設備投資額中,作為核心關鍵設備的非晶硅薄膜沉積設備投資占比約 50%-60%,其次為 TCO 膜沉積設備,價值量占比約 20%,清洗制絨設備價值量小于 10%,絲網印刷設備價值量占比約為 10%左右。HJT 國產設備技術不斷完善,市占率顯著提升。目前各個環節均有國產廠商參與,邁為股份邁為股份、捷佳偉創捷佳偉創等廠商具備 HJT 設備整線供給能力。HJT 設備投資約 4.0-4.5 億元/GW,較 PERC 有數倍提升,HJT設備需求彈性凸顯,捷佳偉創等設備制造商將充分受益。25/25