《菲利華-公司深度研究報告：產業鏈縱向延伸彰顯實力多方向布局構建盈利護城河-231107（47頁）.pdf》由會員分享，可在線閱讀，更多相關《菲利華-公司深度研究報告：產業鏈縱向延伸彰顯實力多方向布局構建盈利護城河-231107（47頁）.pdf（47頁珍藏版）》請在三個皮匠報告上搜索。

1、 請務必閱讀正文之后的免責條款部分 1/47 公司研究|國防軍工 證券研究報告 菲利華菲利華(300395)公司研究報告公司研究報告 2023 年 11 月 07 日 產業鏈縱向延伸彰顯實力，多方向布局構建產業鏈縱向延伸彰顯實力，多方向布局構建盈利護城河盈利護城河 菲利華菲利華(300395)公司公司深度研究深度研究報告報告 報告要點：報告要點：公司業績保持快速增長勢頭，六年三次股權激勵助力公司穩步前進公司業績保持快速增長勢頭，六年三次股權激勵助力公司穩步前進 2018 年至 2022 年營業收入年均復合增長率 24.22%，歸母凈利潤年均復合增長率 31.95%。2023 年前三季度營收 1

2、4.95 億元，同比+17.32%，歸母凈利潤為 4.10 億元，同比+9.67%。由于 2023 年下游行業需求端持續放量，公司業績在 2022 年高基數基礎上實現穩步增長。2015 至 2021 年公司三次開展股權激勵，充分激發人才積極性和創新活力，推動公司穩步前進。航空航天應用場景明確，高端石英纖維需求旺盛航空航天應用場景明確，高端石英纖維需求旺盛 公司是國內航空航天領域石英玻璃纖維主導供應商，目前公司正加快全產業鏈布局，已經具備高純石英砂提純、立體編織預制件以及復合材料結構件生產能力。隨著“十四五”裝備交付提速，石英玻璃纖維作為航天航空領域的特種功能材料將持續享受行業紅利，從石英纖維材

3、料到預制件、復合材料價值量數倍提升，將打開新的成長空間。半導體行業景氣驅動，公司石英玻璃產品市場擴大半導體行業景氣驅動，公司石英玻璃產品市場擴大 在計算機、通訊、汽車等終端旺盛需求的引領和半導體自主可控政策的支持下，公司半導體用石英玻璃材料及制品業務將維持快速增長趨勢。一方面，公司研發投入逐年增加，是國內首家獲得國際三大半導體設備商及日立高新技術公司認證的石英材料企業，推出了國內首創的 10.5 代 TFT-LCD光掩膜基板。另一方面，公司以上海石創為中心，穩步推進石英玻璃制品加工業務，積極擴產應對需求快速增長，有望成為新業績爆發點。投資建議與盈利預測投資建議與盈利預測 公司在高端石英材料領域

4、技術實力雄厚，掌握氣熔石英、電熔石英、合成石英、石英纖維等全品類石英生產技術，“十四五”期間公司進一步加快全產業布局，研發投入力度加大，產能擴張提速，逐步打通上游高純石英砂和下游石英制品精加工、預制件及復材制造環節，公司業績有望迎來新成長空間。我們預計，公司 20232025 年歸母凈利潤分別是 6.20 億、8.41億和 11.41 億元，當前股價對應 20232025 年 PE 為 32.56 倍、24.03 倍、17.71 倍?？紤]到下游需求旺盛和公司較強的產品壁壘，給予“買入”評級。風險提示風險提示 宏觀經濟波動導致市場需求下降的風險；主要產品價格波動和毛利率下滑的風險；石英玻璃材料及

5、制品認證進度不及預期的風險。Table_Finance 附表：盈利預測附表：盈利預測 財務數據和估值 2021A 2022A 2023E 2024E 2025E 營業收入(百萬元)1223.55 1719.37 2207.83 2903.52 3854.85 收入同比（%）41.68 40.52 28.41 31.51 32.76 歸母凈利潤(百萬元)370.12 488.74 620.43 840.60 1140.81 歸母凈利潤同比(%)55.44 32.05 26.95 35.49 35.71 ROE（%）15.03 16.26 15.96 18.01 20.22 每股收益（元）0.71

6、 0.94 1.19 1.62 2.19 市盈率(P/E)54.58 41.33 32.56 24.03 17.71 資料來源：Wind,國元證券研究所 買入買入|上調上調 當前價：38.86 元 基本數據 52 周最高/最低價（元）：60.55/38.23 A 股流通股（百萬股）：478.19 A 股總股本（百萬股）：519.82 流通市值（百萬元）：18582.38 總市值（百萬元）：20200.32 過去一年股價走勢 資料來源：Wind 相關研究報告 國元證券公司研究-菲利華（300395）：事件點評：高純石英砂項目順利進行，市場需求旺盛帶動產能提升2023.06.06 報告作者 分析師

7、 馬捷 執業證書編號 S0020522080002 電話 021-51097188 郵箱 聯系人 王鵬 電話 021-51097188 郵箱 -36%-24%-12%-1%11%11/72/65/88/711/6菲利華滬深300 請務必閱讀正文之后的免責條款部分 2/47 目 錄 1.高端石英材料企業，下游需求放量迎持續增長.5 1.1 高端石英企業，技術實力雄厚.5 1.2 研發/擴產/激勵多管齊下，助推業績持續增長.7 2.航空航天景氣驅動，高端石英纖維需求旺盛.11 2.1 石英纖維是航空航天領域不可或缺的戰略材料.11 2.2 聚焦“熱防護+透波”應用場景，石英纖維領域地位持續鞏固.1

8、3 2.2.1 熱防護系統是飛行器安全服役的“保護傘”.13 2.2.2 高溫透波材料保障通訊、遙測系統工作.15 2.2.3 航空航天景氣延續，為石英纖維注入發展動力.16 2.3 高性能石英纖維壁壘高，構筑公司技術“護城池”.17 2.3.1 微米級石英纖維經多步高溫熔融拉制而成.17 2.3.2 公司是全球少數具有石英玻璃纖維量產能力的制造商之一.19 2.4 石英纖維全產業鏈布局加快，有望成為新業績爆發點.21 3.半導體長期景氣度確定，產業規模有望進一步擴大.24 3.1 高純石英玻璃是半導體芯片制程關鍵工序的支撐材料.24 3.1.1 氣熔/電熔/合成石英應用于芯片制造多個環節.2

9、4 3.1.2 半導體產業長期向好，石英玻璃行業持續受益.25 3.1.3 高端石英技術先進，半導體原廠認證是準入門檻.26 3.2 氣熔石英玻璃國內獨樹一幟，客戶認證加深行業壁壘.27 3.3 大規格低羥基電熔石英玻璃技術突破，生產規模進一步擴大.30 3.4 高世代顯示面板布局加速，牽引合成石英光掩膜基板產能擴張.31 3.4.1 合成石英廣泛應用于高精度光掩膜基板制造.32 3.4.2 光掩膜制造工序眾多，合成石英玻璃質量對產品影響大.33 3.4.3 公司高世代 TFT-LCD 光掩膜基板技術領先.35 4.石英精加工多點開花，技術研發與產能建設齊頭并進.36 4.1 掩模版行業正逐步

10、打通全國產化產業鏈.36 4.2 半導體行業高端石英制品精加工打開新成長空間.38 4.3 上海石創多地布局，技術與產能齊頭并進.41 5.盈利預測與估值.43 5.1 投資要點.43 5.2 盈利預測與估值.44 6.風險提示.44 CYcVoYcVuY5WlYoZ8OdN6MmOoOmOoNlOrQoPkPpPwObRnMoPNZtRrNwMnQtN 請務必閱讀正文之后的免責條款部分 3/47 圖表目錄 圖 1：公司發展歷程.5 圖 2：公司股權結構及子公司.6 圖 3：公司 2018-2022 營收復合增速為 24.22%.7 圖 4：公司 2018-2022 歸母凈利潤復合增速為 31

11、.95%.7 圖 5：2018-2023H1 公司營收構成（億元）.8 圖 6：2018-2023H1 公司主營業務收入占比（%）.8 圖 7：2018-2023H1 公司毛利構成（億元）.8 圖 8：2018-2023H1 公司主營業務毛利占比（%）.8 圖 9：公司管理費用率逐年下降.8 圖 10：公司研發費用營收占比再創新高.8 圖 11：公司近 5 年銷售毛利率及銷售凈利率.9 圖 12：公司近 5 年分產品毛利率.9 圖 13：公司經營活動現金流波動上升.10 圖 14：近 5 年公司營運能力表現.10 圖 15：公司近 5 年流動資產占比與資產負債率.10 圖 16：公司近 5 年

12、流動比率、速動比率變化情況.10 圖 17：石英玻璃纖維產品工藝流程.12 圖 18：高性能石英玻璃纖維在航空航天中的應用.13 圖 19：公司主要石英玻璃纖維產品包括石英纖維系列、石英纖維編織產品及復合材料.13 圖 20：隔熱瓦（左）和柔性隔熱氈在航空航天應用示意圖.14 圖 21：近年全球航天產業規模不斷擴大.16 圖 22：2021 年全球衛星產業各領域收入（億美元）.16 圖 23：石英纖維的棒拉絲法制備工藝流程.18 圖 24：石英纖維熔制下棒裝置技術專利情況.18 圖 25：石英纖維熔制下棒機構.19 圖 26：專利一種螺旋式石英纖維熔制下棒裝置技術要點.21 圖 27：石英玻璃

13、纖維產業鏈.22 圖 28：半導體產業鏈.25 圖 29：全球半導體市場規模波動增長.25 圖 30：2022 年全球半導體市場份額（億美元）.25 圖 31：中國集成電路產業保持快速、平穩增長態勢.26 圖 32：中國集成電路產品進出口情況.26 圖 33：公司半導體用石英玻璃產品包括氣熔石英、電熔石英、合成石英.27 圖 34：荊州工廠地理位置情況.28 圖 35：潛江工廠地理位置情況.28 圖 36：2019-2022 年石英玻璃材料一產量情況.29 圖 37：2019-2022 年石英玻璃制品一產量情況.29 圖 38：2019-2022 年石英玻璃制品二產量情況.30 圖 39：20

14、21-2022 年新增石英玻璃材料及制品產能.30 請務必閱讀正文之后的免責條款部分 4/47 圖 40：全球 2018-2027 年平板顯示需求預測.32 圖 41：中國 FPD 光掩膜基板需求全球占比逐年增加.32 圖 42：光掩膜基板工作原理.32 圖 43：合成石英光掩膜基板的制造流程.33 圖 44：光掩膜產業鏈.34 圖 45：公司光掩膜基板業務布局與發展脈絡.35 圖 46：掩模版產業鏈國產化進程.37 圖 47：石英玻璃基板化學機械拋光（CMP）的工作原理.38 圖 48：集成電路晶圓制造工藝流程.39 圖 49：常見半導體用石英玻璃制品加工工藝流程.40 表 1：主要子公司

15、2022 年營收及利潤情況.6 表 2：公司在研項目情況.9 表 3：公司近年來股權激勵計劃情況.10 表 4：公司近年募投項目狀況.11 表 5：典型石英玻璃纖維的性能參數.12 表 6：飛行器熱防護系統及典型材料.14 表 7：石英纖維與其它玻璃纖維和有機纖維性能對比.15 表 8：公司石英纖維紗產品類型豐富，可適用于不同應用場景需求.16 表 9：中國近年促進商業航天發展政策.17 表 10：國內外競爭情況及公司優勢.20 表 11：石英礦分布特點和主要國家石英資源情況.22 表 12：高純石英砂行業競爭情況.23 表 13：公司近年預制件和復合材料領域進展情況.23 表 14：不同方法

16、制備石英玻璃的工藝特點和性能.24 表 15：石英玻璃材料國內外競爭情況.26 表 16：不同制備工藝條件下的熔融石英玻璃性能指標.28 表 17：公司近年氣連熔石英研發情況.29 表 18：公司近年電熔石英研發情況.30 表 19：顯示面板尺寸和掩膜玻璃基板尺寸趨勢.31 表 20：不同材質光掩膜玻璃基板的比較.33 表 21：公司近年合成石英研發情況.36 表 22：晶圓制造應用石英玻璃產品的工藝環節.39 表 23：國內石英玻璃制品企業.41 表 24：上海石創主營產品.41 表 25：上海石創 2020 年以來共設立 4 家子公司.43 表 26：公司石英玻璃材料精加工領域重要投資項目

17、.43 請務必閱讀正文之后的免責條款部分 5/47 1.高端石英材料企業高端石英材料企業，下游需求放量迎持續增長下游需求放量迎持續增長 1.1 高端石英企業高端石英企業，技術實力雄厚技術實力雄厚 菲利華是國內航空航天領域石英玻璃纖維主導供應商，同時是國內首家獲得國際三菲利華是國內航空航天領域石英玻璃纖維主導供應商，同時是國內首家獲得國際三大半導體設備商及日立高新技術公司認證的石英材料企業。大半導體設備商及日立高新技術公司認證的石英材料企業。公司主要產品為石英玻璃材料和石英玻璃制品，包括氣熔石英玻璃、電熔石英玻璃、合成石英玻璃與石英玻璃纖維及制品等，下游應用領域為半導體、航空航天、光學、光通訊等

18、。公司前身湖北省沙市石英玻璃總廠成立于 1966 年，1999 年改制為有限責任公司，2006 年整體變更為股份有限公司，2014 年于深交所創業板掛牌上市。2015 年收購上海石創，實現石英玻璃制品深加工產業鏈延伸；2021 年控股中益科技，將公司石英玻璃纖維制品推向精細化紡織領域。公司目前已經擁有石英玻璃纖維材料、石英玻璃纖維立體編織材料、以石英玻璃纖維為基材的復合材料的完整產業鏈。圖圖 1：公司公司發展歷程發展歷程 企業改制為有限責任公司1999通過ISO9001國際質量體系認證2000潛江石英材料工廠建成投產2001湖北省高新技術企業、中國建筑玻璃與工業玻璃協會石英玻璃專業委員會主任單

19、位2002合成石英材料工廠建成投產2004公司整體變更為股份有限公司2006合成石英材料技術和市場取得重大突破2009被評為 創新型企業試點單位 2012公司在深圳證交所創業板上市、被授予 守合同重信用 單位2014全資收購上海石創石英玻璃有限公司2015成立復合材料產品研發中心、控股本顥（上海）國際貿易有限公司2017控股湖北菲利華融鑒科技有限公司2019合肥光微光電科技有限公司開工建設2021 資料來源：公司官網,國元證券研究所 公司控股股東、實際控制人為鄧家貴和吳學民，截止 2023 年三季報，二人合計持公司股份 13.89%。終生名譽董事長鄧家貴自 1967 年起一直在公司及其前身工作

20、，具有 50 多年的行業從業經歷，曾擔任中國建筑玻璃與工業玻璃協會副會長、連續十年擔任石英玻璃專業委員會主任委員。吳學民從 1983 年至今在公司工作 40 載，請務必閱讀正文之后的免責條款部分 6/47 先后出任公司總工程師、總經理、副董事長、董事長等職務?，F任董事長為商春利，于 2023 年 5 月接任，從 1996 年至今在公司及其前身工作，歷任分廠廠長、戰略信息部部長、品質保證部部長、國際業務部經理、總經理助理、總經理、副董事長、董事長。公司目前主要參控子公司有 8 家，重要子公司包括潛江菲利華、上海石創和中益科技，2022 年營收占比分別為 24.97%、16.83%、4.78%，凈

21、利潤占比分別為 9.27%、10.39%、2.35%。潛江菲利華主營產品為高純石英玻璃錠，目前已成為國內最大的氣熔石英材料生產基地，全球最大的光纖配套石英材料生產基地；上海石創主要為半導體、光學、光通訊、光伏、LED 等下游行業客戶提供各種規格的石英玻璃制品精密加工服務；中益科技專注于高強玻璃纖維工業布、芳綸布，碳纖維布、石英纖維布、混編鋼絲布等高性能復合材料的制造。圖圖 2：公司公司股權結構股權結構及子公司及子公司 鄧家貴湖北菲利華石英玻璃股份有限公司湖北嘉殷新材料有限公司武漢菲利華新材料科技有限公司吳學民北京匯寶金源投資管理中心全國社?；鹚牧懔M合廣發基金管理有限公司-社?；鹚亩憬M合

22、全國社?；鹨灰蝗M合基本養老保險基金八零二組合中國農業銀行南方軍工改革靈活配置混合基金中國工商銀行-華夏軍工安全靈活配置混合基金全國社?；鹨涣闫呓M合其他湖北安懿佳科技投資有限公司北京宇甲新材料科技有限公司本顥(上海)國際貿易有限公司上海菲利華石創科技有限公司潛江菲利華石英玻璃材料有限公司中益(泰興)環?？萍加邢薰疚錆h海凌匯智新材料有限公司湖北瑛澤材料科技有限公司湖北石創半導體科技有限公司中志(常熟)環?？萍加邢薰緷瞎馕雽w科技有限公司合肥光微光電科技有限公司上海昭純材料科技有限公司湖北菲利華融鑒科技有限公司7.55%6.34%6.02%4.41%2.81%2.59%2.46%2.0

23、8%1.72%1.61%100%100%100%100%60%60%57.19%49%55%100%100%100%70%100%60%62.41%49.5%資料來源：Wind，國元證券研究所（注：紅色框內為實控人，股權比例截至 2023 年 9 月 30 日）表表 1：主要子公司主要子公司 2022 年營收及利潤情況年營收及利潤情況 公司名稱公司名稱 公司類型公司類型 主要業務主要業務 營業收入（億元）營業收入（億元）營業利潤（億元）營業利潤（億元）凈利潤（億元）凈利潤（億元）上海菲利華石創科技有限公司 子公司 石英玻璃制品加工 4.29 0.52 0.48 潛江菲利華石英玻璃材料有限公司

24、子公司 石英玻璃及制品、氧化鋁制品生產、銷售；進出口業務 2.89 0.62 0.53 中益（泰興）環?？萍加邢薰?子公司 石英纖維材料及制品的生產銷售 0.82 0.11 0.12 資料來源：公司公告，國元證券研究所 氣熔石英玻璃、電熔石英玻璃材料及制品廣泛應用于半導體芯片制程中，是半導體蝕刻、擴散、氧化等工序所需的承載器件與腔體耗材。公司半導體用石英玻璃材料通過了東京電子（TEL）、泛林研發（Lam Research）、應用材料（AMAT）三大國 請務必閱讀正文之后的免責條款部分 7/47 際半導體原廠設備商以及日立高新技術公司的認證。2022 年 Lam Research 認證規格數量

25、較上年增長 28 個，AMAT 認證規格數量較上年增長 19 個；上海石創的石英玻璃器件加工通過國內主流半導體設備廠商認證，其中中微半導體公司的認證規格達 200 款以上，北方華創公司的認證數量已近百款。合成石英玻璃材料用作 TFT-LCD 和 IC 用光掩膜基板材料，半導體高端制程與高端光學領域的透鏡、棱鏡、激光器。公司開發了半導體高端制程和光學用大尺寸合成石英玻璃材料的裝備和技術，推出了國內首創的 10.5 代 TFT-LCD 光掩膜基板、合成石英玻璃光柵反射鏡、大規格高均勻高能激光透鏡用合成石英玻璃材料。石英玻璃纖維和以石英玻璃纖維為基材的復合材料具有優良的耐高溫、耐燒蝕、高透波與電絕緣

26、性能，是廣泛應用于航空航天與海洋裝備領域的功能材料。公司除生產石英玻璃棉、石英玻璃纖維紗、石英玻璃纖維布、石英玻璃纖維套管等石英玻璃纖維材料系列產品外，還具備 2.5D 和 3D 機織、編織、縫合、針刺預制件的生產能力。2022 年新增 3 個高性能復合材料產品項目研發成功，2023 年上半年新增 1 個，通過了相關試驗的考核，得到了用戶的認可。1.2 研發研發/擴產擴產/激勵激勵多管齊下多管齊下，助推業績持續增長，助推業績持續增長 公司業績逐年保持良好增長勢頭，自 2018 年至 2022 年營業收入年均復合增長率24.22%，歸母凈利潤年均復合增長率 31.95%。2022 年，公司總體營

27、收 17.19 億元，同比增長 40.52%，實現歸母凈利潤 4.89 億元，同比增長 32.05%；2023 年前三季度實現營收 14.95 億元，同比增長 17.32%，歸母凈利潤為 4.10 億元，同比增長 9.67%。由于 2023 年下游行業需求端持續放量，公司業績在 2022 年高基數基礎上實現穩步增長。圖圖 3：公司公司 2018-2022 營收復合增速為營收復合增速為 24.22%圖圖 4：公司公司 2018-2022 歸母凈利潤復合增速為歸母凈利潤復合增速為 31.95%資料來源：Wind,國元證券研究所 資料來源：Wind,國元證券研究所 石英玻璃材料目前是公司主要收入來源

28、，其營收由 2018 年的 4.10 億元增至 2022年的 12.18 億元，期間復合增速高達 31.29%，石英玻璃制品營收由 2018 年的 3.00億元增至 2022 年的 4.47 億元，期間復合增速為 10.48%。2023H1 年石英玻璃材料收入占比達到 65.88%，石英玻璃制品收入占比 30.30%。毛利方面，20182023H1石英玻璃材料毛利占比由 66.16%上升至 81.09%，而石英玻璃制品毛利占比由32.93%降至 18.13%，一方面由于石英玻璃制品毛利率較石英玻璃材料偏低，另一方面近五年石英玻璃制品營收增速放緩。0%10%20%30%40%50%0510152

29、02018201920202021202223Q3營業收入（億元）YoY0%10%20%30%40%50%60%0.01.02.03.04.05.06.02018201920202021202223Q3歸母凈利潤（億元）YoY 請務必閱讀正文之后的免責條款部分 8/47 圖圖 5：2018-2023H1 公司營收構成（億元）公司營收構成（億元）圖圖 6：2018-2023H1 公司公司主營業務收入占比（主營業務收入占比（%）資料來源：Wind,國元證券研究所 資料來源：Wind,國元證券研究所 圖圖 7：2018-2023H1 公司毛利構成（億元）公司毛利構成（億元）圖圖 8：2018-202

30、3H1 公司公司主營業務毛利占比（主營業務毛利占比（%）資料來源：Wind,國元證券研究所 資料來源：Wind,國元證券研究所 公司期間費用率總體呈下降趨勢，成本管控能力提升。其中，銷售費用率近三年下降明顯，維持在1.50%以下。管理費用率2018年以來從12.18%持續下降至8.66%，體現了公司較強的費用管控能力。研發投入持續加大，重點包括半導體和光學用高端石英材料、石英纖維新產品以及復合材料結構件等，2022 年研發費用達到 1.55億元，研發費用率達到 9.00%，同比增長 1.24pct，2023 年前三季度研發費用 1.53億元，同比增長 43.82%。財務費用有息資產負債率不高，

31、借款情況較為健康。圖圖 9：公司管理費用率逐年下降公司管理費用率逐年下降 圖圖 10：公司研發費用營收占比再創新高公司研發費用營收占比再創新高 資料來源：Wind,國元證券研究所 資料來源：Wind,國元證券研究所 051015202018201920202021202223H1石英玻璃材料石英玻璃制品其他0%20%40%60%80%100%2018201920202021202223H1石英玻璃材料石英玻璃制品其他02468102018201920202021202223H1石英玻璃材料石英玻璃制品其他0%20%40%60%80%100%2018201920202021202223H1石英玻

32、璃材料石英玻璃制品其他-5%0%5%10%15%2018201920202021202223Q3銷售費用占比財務費用占比研發費用占比管理費用占比0%2%4%6%8%10%12%0.00.51.01.52.02018201920202021202223Q3研發投入（億元）研發占營收比例 請務必閱讀正文之后的免責條款部分 9/47 表表 2：公司：公司在研在研項目情況項目情況 主要研發項目名稱主要研發項目名稱 項目目的項目目的 項目進展項目進展 預計對公司未來發展的影響預計對公司未來發展的影響 氣連熔石英筒制備技術開發 研發氣連熔石英筒的生產工藝及配套裝備，實現氣連熔石英筒材料的穩定量產 小批量試

33、生產 提升公司石英筒生產效率，提高市場競爭力 大規格低羥基電熔石英錠裝備的開發 研制大規格低羥基電熔石英錠的制備裝備，并實現穩定量產。為大規格低羥基電熔石英錠生產提供裝備保障 已完成，正在擴大生產規模 提升公司核心技術與競爭力，為低羥基電熔石英產品材料發展提供技術保障 高端合成石英玻璃的制備技術及裝備研發 研發高性能合成石英玻璃制備技術及核心裝備。為航空航天、微電子半導體等高技術領域生產高性能合成石英玻璃材料 目前已實現應力、條紋 1 類，500mm60mm，均勻性n1.510-6；500mm 口徑內不同等級光學均勻性產品形成了批產 提升公司核心技術與競爭力，縮小與國際標桿企業的技術差距 電熔

34、不透明石英玻璃材料制備技術及裝備研發 研發電熔不透明石英玻璃制備技術及核心裝備。滿足半導體行業對高品質電熔不透明石英玻璃材料需求 已送樣至客戶進行試用評價，具備小規格小批量生產能力 提升公司核心技術與競爭力，開發半導體高端市場 資料來源：公司公告，國元證券研究所 從盈利端來看，公司銷售毛利率保持在 50%左右，凈利率約 30%。其中，石英玻璃材料 2021、2022、2023H1 毛利率分別為 56.31%、59.66%、61.74%，石英玻璃制品 2021、2022、2023H1 毛利率分別為 34.56%、34.03%、29.98%。石英玻璃材料毛利率普遍較石英玻璃制品毛利率高出 20pc

35、t 以上，公司毛利率保持較高水平也主要源于石英玻璃材料。一方面是因為石英纖維（歸屬于石英玻璃材料）為代表的高毛利產品占比增長，另一方面隨著訂單需求放量，公司石英玻璃材料產量提升以及工藝改進，產品生產成本不斷降低。圖圖 11：公司：公司近近 5 年銷售毛利率及銷售凈利率年銷售毛利率及銷售凈利率 圖圖 12：公司：公司近近 5 年分產品毛利率年分產品毛利率 資料來源：Wind,國元證券研究所 資料來源：Wind,國元證券研究所 公司經營活動現金流凈額呈現出波動上升趨勢。公司經營活動現金流凈額呈現出波動上升趨勢。其中 2022 年，經營活動現金流凈額高達 4.07 億元，同比增長 38.53%，主要

36、系公司銷售規模增長，回款增加。營運能力方面，公司應收賬款周轉天數整體呈波動態勢，2023Q3 為 78.5 天；存貨周轉天數逐年增加，2023Q3 為 202.8 天。償債能力方面，公司近五年資產負債率在 20%左右，流動資產占比保持 55%以上；近三年流動比率 3.5 以上，速動比率 2.5 以上。0%10%20%30%40%50%60%2018201920202021202223Q3毛利率凈利率0%10%20%30%40%50%60%70%2018201920202021202223H1石英玻璃材料石英玻璃制品 請務必閱讀正文之后的免責條款部分 10/47 圖圖 13：公司公司經營活動現金

37、流波動上升經營活動現金流波動上升 圖圖 14：近近 5 年公司營運能力表現年公司營運能力表現 資料來源：Wind,國元證券研究所 資料來源：Wind,國元證券研究所 圖圖 15：公司公司近近 5 年流動資產占比與資產負債率年流動資產占比與資產負債率 圖圖 16：公司公司近近 5 年流動比率、速動比率變化情況年流動比率、速動比率變化情況 資料來源：Wind,國元證券研究所 資料來源：Wind,國元證券研究所 公司上市以來共實施三次股權激勵計劃，進一步完善人才激勵機制。公司上市以來共實施三次股權激勵計劃，進一步完善人才激勵機制。2015 年、2017年的股權激勵計劃均已達到解鎖條件，最近的 202

38、1 年股權激勵分 4 個解鎖期，歸屬比例分別為 30%、30%、20%、20%，業績考核目標以 2020 年經審計的營業收入為基數，2021-2024 年收入增長率不低于 23%、53%、89%、134%。股權激勵計劃有望激發人才積極性和創新活力，推動公司向戰略和經營目標穩步前進。截至 2022 年底，股權激勵需攤銷總費用為 21755.12 萬元，其中，首次授予部分和預留部分攤銷費用分別為 16996.81 萬元、4758.31 萬元。2021 年股權激勵攤銷費用為 3898.48 萬元，2022 年攤銷費用為 8646.53 萬元，剩余 9210.11 萬元將在20232025 年攤銷完成

39、。表表 3：公司近年來股權激勵計劃情況公司近年來股權激勵計劃情況 年度年度 解鎖期解鎖期 業績考核目標業績考核目標 份額份額 價格價格 攤銷費用攤銷費用 2021 年股權激勵計劃 分 4 個解鎖期，歸屬比例分別為 30%、30%、20%、20%以 2020 年經審計的營業收入為基數，2021-2024 年收入增長率不低于 23%、53%、89%、134%首次授予 774.40 萬股，預留 75.60 萬股 26.54元/股 21755.12 萬元 2017 年股權激勵計劃 分 3 個解鎖期，歸屬比例分別為 40%、30%、30%以 2016 年經審計的營業收入為基數，2017-2019 年收入

40、增長率不低于 15%、35%、55%首次授予 405 萬股，預留 45 萬股 8.00 元/股 1573.37 萬元 0.002.004.006.008.0010.002018201920202021202223Q3凈利潤經營性現金流期末現金流及等價物余額0501001502002502018201920202021202223Q3應收賬款周轉天數存貨周轉天數0%10%20%30%40%50%60%70%80%2018201920202021202223Q3流動資產占比資產負債率0.01.02.03.04.05.06.07.08.02018201920202021202223Q3流動比率速動比

41、率 請務必閱讀正文之后的免責條款部分 11/47 2015 年股權激勵計劃 分 3 個解鎖期，歸屬比例分別為 40%、30%、30%以 2014 年經審計的營業收入為基數，2015-2017 年收入增長率不低于 15%、35%、55%首次授予 180 萬股，預留 20 萬股 13.63元/股 1153.44萬元 資料來源：公司公告，國元證券研究所 下游行業發展迅速，定增募投助力公司業務擴張。公司在當前主導產品市場穩定的情況下，積極尋求新產品開發和新的市場立足點，優化產品結構，將產品質量做精、產品規模做大。近年來兩次定增，2019 年募投項目已于 2021 年底建設完成，2023年擬募投半導體用

42、石英玻璃材料擴產項目，新增半導體用石英玻璃材料產能 1200噸，達產后預期年收入 2.12 億元，凈利潤 0.44 億元；新材料研發項目提供更先進的研發、中試條件，將為公司產品的生產及研發提供重要支撐，促進企業健康發展。表表 4：公司近年募投項目狀況：公司近年募投項目狀況 年份年份 承諾投資項目承諾投資項目 投資情況投資情況 項目內容項目內容 預期效益預期效益 回收期回收期/建設期建設期 2023 年定增3 億元 半導體用石英玻璃材料擴產項目 總投資 2.31 億元，其中募投 1.99 億元 新增半導體用石英玻璃材料產能 1200 噸 達產后每年收入 2.12 億元，凈利潤 0.44 億元 所

43、得稅后投資回收期為5.81 年，建設期 1.5 年 新材料研發項目 總投資 0.48 億元，其中募投 0.44 億元 研發中心裝修、研發設備購買及配套公共工程 提升公司相關產品的研發能力 建設期 1 年 補充流動資金 總投資 0.57 億元，其中募投 0.57 億元 2019 年定增7 億元 集成電路及光學用高性能石英玻璃項目 總投資 3.03 億元，其中募投 2.84 億元 新增產能合成石英玻璃錠 120 噸，電熔石英玻璃錠 650 噸 達產后每年收入 2.0 億元，凈利潤 0.4 億元 所得稅前項目投資回收期約為 7 年（2021 年底已建設完成）高性能纖維增強復合材料制品生產建設項目 總

44、投資 2.70 億元，其中募投 2.70 億元 新增產能高性能纖維增強復合材料制品36.3 噸 達產后每年收入 2.0 億元，凈利潤 0.5 億元 所得稅前項目投資回收期約為 6 年（2021 年底已建設完成）補充流動資金 總投資 1.60 億元，其中募投 1.47 億元 資料來源：公司公告，國元證券研究所 2.航空航天景氣驅動，高端石英纖維需求旺盛航空航天景氣驅動，高端石英纖維需求旺盛 2.1 石英纖維是航空航天領域不可或缺的戰略材料石英纖維是航空航天領域不可或缺的戰略材料 石英玻璃纖維是二氧化硅含量在石英玻璃纖維是二氧化硅含量在 99.90%以上、絲徑在以上、絲徑在 115m 的特種無機纖

45、維的特種無機纖維。與聚合物纖維相比，石英玻璃纖維具備更高的力學性能和耐熱性能；與碳纖維相比，石英玻璃纖維具有高溫抗氧化和耐燒蝕特性，可長期在 1050有氧環境下使用，瞬間耐高溫達 1700；與陶瓷纖維相比，石英玻璃纖維具備優異的電絕緣特性，較低的介電損耗可實現高效寬頻透波。綜合來看，石英玻璃纖維具有強度高、介電常數和介電損耗小、耐高溫、膨脹系數小、耐腐蝕等一系列特點，其獨一無二的性能使其廣泛應用于航空航天領域，尤其尤其在高溫隔熱、雷達天線罩等方面發揮著在高溫隔熱、雷達天線罩等方面發揮著重要重要作用。作用。請務必閱讀正文之后的免責條款部分 12/47 表表 5：典型石英玻璃纖維的性能參數：典型石

46、英玻璃纖維的性能參數 性能性能 名稱名稱 單位單位 數值數值 物理性能 密度 g/cm3 2.20 泊松系數-0.16 抗拉強度 GPa 1.70 楊氏模量 GPa 78.00 斷裂伸長率-7.70%熱學性能 熱膨脹系數 K-1 0.54x10-6 比熱 J/(KgK)670 20導熱系數 W/(mK)1.40 軟化溫度 1700 最高工作溫度（有氧）1050 電學性能 10GHz 處介電常數-3.74 10GHz 處介電損耗-0.0002 介電強度 kVmm-1 37.00 20電阻率 m 1x1020 1000電阻率 m 1x108 資料來源：石英纖維增強復合材料的隔熱性能研究，公司官網，

47、國元證券研究所 石英玻璃纖維一般是由純天然水晶提煉加工成熔融石英玻璃棒拉制而成，在拉制過程中，加熱的方式有氫氧火焰法和等離子體法，根據用途的不同涂覆相應的浸潤劑。石英玻璃纖維系列產品包括無捻粗紗、有捻紗（單股或合股紗）、纖維棉、短切纖維、纖維布、纖維氈以及纖維預制件和下游石英玻璃纖維增強復合材料等。圖圖 17：石英玻璃纖維產品工藝流程石英玻璃纖維產品工藝流程 石英砂選礦、磨碎及提純熔融加工石英棒熔融石英棒拉制成纖維拉制纖維時，根據不同的用途采用不同浸潤劑，加工成各種產品成型包裝纖維棉纖維氈單股或合股紗纖維布無捻粗紗短切纖維預制件復合材料立體編織 資料來源：石英玻璃纖維的性能和用途，國元證券研究

48、所 請務必閱讀正文之后的免責條款部分 13/47 石英玻璃纖維是航空航天領域不可或缺的戰略材料，具有廣闊的應用空間。石英玻璃纖維是航空航天領域不可或缺的戰略材料，具有廣闊的應用空間。石英纖維可用作高溫耐燒蝕材料的增強體，石英纖維、無捻粗紗及其織物是航天航空結構材料的增強體，用于制造飛行器尾翼和支柱、噴管和排氣管等，還可作為再入式航天器的耐燒蝕材料、推進器的隔熱材料。石英纖維織物作為功能透波材料，同時具有低燒蝕率和優異的抗熱震性，主要用于航天器的電磁窗、天線罩和隱形結構材料。石英纖維棉、低密度石英纖維氈、石英纖維預制件具有優異的抗熱沖擊能力、較低的導熱系數，應用于飛行器的熱防護系統。石英纖維的介

49、電常數和介質損耗較低，尤其是高溫高頻下介電性能優異，以其為增強材料的覆鉑板印制電路基板可用于航空航天及超級計算機等領域。圖圖 18：高性能石英玻璃纖維在航空航天中的應用高性能石英玻璃纖維在航空航天中的應用 資料來源：高性能石英纖維產品，國元證券研究所 公司主營石英纖維材料包括石英纖維紗、石英纖維棉、石英纖維布、短切石英纖維、石英纖維棉氈、石英纖維帶和石英纖維套管等，石英纖維制品包括三維實體、三維殼體、近凈成型體等立體編織預制件以及復合材料艙段、翼舵、口蓋等結構件。圖圖 19：公司主要石英玻璃纖維產品包括石英纖維系列、石英纖維編織產品及復合材料公司主要石英玻璃纖維產品包括石英纖維系列、石英纖維編

50、織產品及復合材料 資料來源：公司官網，國元證券研究所 2.2 聚焦“熱防護聚焦“熱防護+透波”應用場景，石英纖維領域地位持續鞏固透波”應用場景，石英纖維領域地位持續鞏固 2.2.1 熱防護系統是飛行器熱防護系統是飛行器安全服役安全服役的“保護傘”的“保護傘”隨著航天技術的發展，航天飛行器的飛行速度不斷提高，服役環境越來越惡劣，有效的熱防護系統可在飛行器結構面對劇烈的氣動加熱時為其提供足夠的保護，使飛行器免于嚴酷的氣動熱環境的傷害而能保持更長時間的安全飛行?？煽康臒岱雷o系統是高性能飛行器安全飛行的關鍵系統之一，而對其熱防護結構的設計和熱防護材 請務必閱讀正文之后的免責條款部分 14/47 料的選

51、擇是熱防護系統設計研制的關鍵。熱防護技術按照原理主要分為三類：主動式、被動式及半主動式。其中，被動式熱防護和半主動式熱防護主要依靠防熱結構和材料本身將熱量吸收或輻射出去，簡單可靠，目前被廣泛采用。表表 6：飛行器熱防護系統及典型材料：飛行器熱防護系統及典型材料 熱防護系統熱防護系統 典型結構典型結構 主要應用環境主要應用環境 材料構成材料構成 主動式 對流冷卻 高熱流，中、長時 高溫合金、耐火合金、C/C 復合材料、陶瓷基復合材料 膜冷卻 發汗冷卻 被動式 隔熱 中、低熱流，中、長時 石英纖維氈石英纖維氈、剛性陶瓷瓦、納米復合材料 熱沉 中熱流，短時 高溫合金、耐火合金 熱結構 中、低熱流，中

52、、長時 高溫合金、耐火合金、C/C 復合材料、陶瓷基復合材料 半主動式 燒蝕 高熱流，短時；中、低熱流，中、長時 有機硅樹脂、聚酰亞胺、聚芳炔、酚醛樹脂等；玻璃纖維、碳纖維、石英纖維石英纖維、玄武巖纖維 熱管 中、高熱流，中、長時 高溫合金、難熔合金、C/C 材料、陶瓷基復合材料 資料來源：可重復使用熱防護材料應用與研究進展，國元證券研究所 石英玻璃纖維材料主要用于被動式熱防護隔熱結構和半主動式熱防護的燒蝕結構，相比于其他玻璃纖維具有顯著性能優勢，美國航天飛機陶瓷隔熱瓦、柔性隔熱氈均使用了大量石英纖維。其中，剛性陶瓷瓦主要在飛行器迎風面，“哥倫比亞”號表面裝配了兩萬四千余塊剛性陶瓷瓦；柔性隔熱

53、氈是一種棉被式熱防護結構，主要用于承載不大的較低溫區，美國航天飛機在機身背風面大部分面積使用，如上翼、尾翼側面，升降舵輔助翼，剎車裝置等部位。圖圖 20：隔熱瓦：隔熱瓦（左）和（左）和柔性隔熱氈柔性隔熱氈在航空航天在航空航天應用示意圖應用示意圖 資料來源：可重復使用熱防護材料應用與研究進展，空天飛行器用熱防護陶瓷材料，國元證券研究所 請務必閱讀正文之后的免責條款部分 15/47 2.2.2 高溫高溫透波透波材料材料保障保障通訊、遙測系統通訊、遙測系統工作工作 相較于其他耐高溫、抗氧化的纖維材料，石英纖維另一獨特優勢在于較低的介電損相較于其他耐高溫、抗氧化的纖維材料，石英纖維另一獨特優勢在于較低

54、的介電損耗，是航天飛行器透波結構組件的重要材料。耗，是航天飛行器透波結構組件的重要材料。高溫透波材料是在惡劣使用環境條件下保護飛行器的通訊、遙測等系統正常工作的一種多功能電介質材料，廣泛應用于各類航空航天飛行器。高溫透波部件按其結構形式主要分為天線窗和天線罩兩大類，用于保護雷達能夠在高速飛行中正常工作，是發出和接收信號的通道。天線窗和天線罩不僅是無線電雷達系統的重要組成部分，還是飛行器的重要結構部件，要承受飛行器在飛行過程中嚴苛的氣動力和氣動熱。高溫透波材料需要滿足在頻率 0.3GHz300GHz、波長 1nm1000nm 范圍內保證電磁波的通過率大于 70%，以保證飛行器在嚴苛環境下的通訊、

55、遙測、制導等系統的正常工作。通常來講，低介電常數及介電損耗角正切值往往具有較高的透波率。常用的透波纖維材料包括玻璃纖維、石英纖維和有機纖維三大類。其中，石英纖維SiO2純度達到 99.9%以上，介電常數 3.78，介電損耗 0.0002，均優于普通玻璃纖維；有機纖維雖然也具有良好的介電性能，但耐溫性不足。石英纖維憑借其優異的綜合性能廣泛用于航空航天雷達天線罩，可實現高溫低損耗透波。表表 7：石英纖維與其它玻璃纖維：石英纖維與其它玻璃纖維和有機纖維和有機纖維性能性能對比對比 纖維類型纖維類型 密度密度（g/cm3）耐溫性耐溫性（）介電常數介電常數（10GHz）介電損耗介電損耗（10GHz）E 玻

56、璃纖維 2.54 600 6.13 0.0055 S 玻璃纖維 2.49 600 5.21 0.0068 M 玻璃纖維 2.77 600 7.00 0.0039 D 玻璃纖維 2.10 600 4.50 0.0026 高硅氧玻璃纖維 2.30 900 4.00 0.0048 石英纖維石英纖維 2.20 1050 3.78 0.0002 Kevlar 49（有機纖維）1.46 200 2.50 0.0015 Spectra1000（有機纖維）0.90 140 3.00 0.0001 資料來源：飛行器用透波材料及天線罩技術研究進展，國元證券研究所 公司石英紗產品類型豐富，包括公司石英紗產品類型豐富

57、，包括 A 型、型、B 型、型、C 型、型、D 型、無捻紗和縫紉線等，可型、無捻紗和縫紉線等，可適用于不同應用場景需求。適用于不同應用場景需求。石英纖維技術門檻高，公司是國內航空航天領域用石英纖維及制品的主導供應商，研制的石英纖維材料廣泛應用于航空航天大國重器上。經過多年技術研發和下游主機所應用驗證，公司技術水平和產品質量獲得了客戶信賴，石英纖維行業地位持續鞏固。請務必閱讀正文之后的免責條款部分 16/47 表表 8：公司石英纖維紗產品類型豐富，可適用于不同應用場景需求：公司石英纖維紗產品類型豐富，可適用于不同應用場景需求 產品名稱產品名稱 單絲直徑單絲直徑 m 線密度線密度 Tex 捻度捻度

58、 T/m A 型石英纖維紗 7.51.5 13.5800 50130 B 型石英纖維紗 7.51.5 13.5800 50130 C 型石英纖維紗 9.01.5 30800 50/70 D 型石英纖維紗 10.5/13.01.5 72800 50/70 無捻石英纖維紗 7.51.5 302400 10 石英纖維縫紉線 68 51800 150300 資料來源：公司官網，國元證券研究所 2.2.3 航空航天景氣延續，航空航天景氣延續，為為石英石英纖維注入發展動力纖維注入發展動力 受益于航空航天行業整體的快速發展，石英產品將在航空航天領域發揮重要的作用。美國衛星產業協會（SIA）最新報告顯示，20

59、21 年全球航天產業總收入 3860 億美元，同比增長4%，衛星產業的總收入為2790億美元，占全球航天產業收入的 72%，涵蓋衛星服務業、衛星制造業、發射服務業和地面設備制造業四個領域。大航天時代背景下，航天技術及相關產業的發展已成為全球經濟的新型發展動力。圖圖 21：近年全球航天產業規模不斷擴大：近年全球航天產業規模不斷擴大 圖圖 22：2021 年全球衛星產業各領域收入（億美元）年全球衛星產業各領域收入（億美元）資料來源：美國衛星產業協會，衛星產業狀況報告，國元證券研究所 資料來源：美國衛星產業協會，衛星產業狀況報告，國元證券研究所 根據2021 中國的航天白皮書統計，20162021

60、年共完成 207 次發射任務，其中長征系列運載火箭發射共完成 183 次，總發射次數突破 400 次，中國航天進入創新發展“快車道”，空間基礎設施建設穩步推進。未來五年，中國將開啟全面建設航天強國新征程，推動空間科學、空間技術、空間應用的全面發展，提升航天產業規模效益，加快發展航天戰略性新興產業。在國家產業政策的加持下，石英玻璃纖維材料和制品將持續享受行業紅利，在航空航天領域的應用規模將不斷擴大，市場景氣度確定，公司在航空航天領域將迎來更廣闊的發展空間。3,4803,6003,6603,7103,8600%1%1%2%2%3%3%4%4%5%3,2003,3003,4003,5003,6003

61、,7003,8003,90020172018201920202021全球航天產業收入（億美元）YoY1,183137571,420衛星服務業衛星制造業發射服務業地面設備制造業 請務必閱讀正文之后的免責條款部分 17/47 表表 9：中國近年促進商業航天發展政策：中國近年促進商業航天發展政策 年份年份 政策名稱政策名稱 政策內容政策內容 2015 中國制造 2025 加快推進國家民用空間基礎設施建設，發展新型衛星等空間平臺與有效載荷、空天地寬帶互聯網系統，形成長期持續穩定的衛星遙感、通信、導航等空間信息服務能力。2016 2016 中國的航天 合理配置各類資源，鼓勵和引導社會力量有序參與航天發展

62、，科學統籌部署各項航天活動，推動空間科學發展。2016 “十三五”國家戰略性新興產業發展規劃 加快構建以遙感、通信、導航衛星為核心的國家空間基礎設施，加強跨領域資源共享與信息綜合服務能力建設，拓展國際市場。2017 關于推動國防科技工業軍民融合深度發展的意見 面向軍民需求，加快空間基礎設施統籌建設，以遙感衛星為突破口，促進軍民衛星資源和衛星數據共享。2021 中華人民共和國國民經濟和社會發展第十四個五年規劃和 2035 年遠景目標綱要 推動航空航天等產業創新發展，打造全球覆蓋、高效運行的通信、導航、遙感空間基礎設施體系，建設商業航天發射場。2022 2021 中國的航天 優化商業航天在產業鏈中

63、布局，鼓勵引導商業航天企業從事衛星應用和航天技術轉移轉化。資料來源：中國政府網，國元證券研究所 2.3 高高性能性能石英纖維石英纖維壁壘壁壘高高，構筑構筑公司公司技術技術“護城池”“護城池”連續纖維制備方法一般可以分為兩大類，分別是熔融紡絲法和溶液紡絲法。熔融紡絲是直接將復合純度要求的原材料在高溫下熔化，經拉絲成纖的方法；溶液紡絲是先將纖維液相前驅體通過噴吹成纖、靜電紡絲等成纖工藝制備原絲，再通過化學轉化得到相應晶相的纖維，特點是成纖步驟可以不借助高溫。2.3.1 微米級微米級石英纖維石英纖維經多步經多步高溫高溫熔融拉制而成熔融拉制而成 石英纖維與其他纖維不同，一般采用天然石英經高溫熔制拉絲，

64、而碳纖維、氧化鋁纖維、莫來石纖維、陶瓷纖維等可采用溶液紡絲工藝制備。石英玻璃與普通玻璃的物理性能也存在很大差異，如熔化點、粘力、應力等，石英玻璃只能采用先制成石英玻璃棒，再邊下棒、邊熔化、邊抽絲，才能完成拉制玻璃纖維的過程。石英纖維制備工藝流程包括：（1）68mm 石英玻璃棒（粗棒）熔融拉制；（2）23mm石英玻璃棒（細棒）熔融拉制，即電熔二步法精密制棒，其純度、幾何尺寸、透明度、羥基含量等都會對石英纖維的質量產生顯著作用；（3）微米級石英纖維熔融拉制，即精細拉絲，涉及下棒、熔化、抽絲等步驟。電熔精密制棒和拉絲技術難度大，電熔精密制棒和拉絲技術難度大，是高性能石英纖維技術壁壘。是高性能石英纖維

65、技術壁壘。請務必閱讀正文之后的免責條款部分 18/47 圖圖 23：石英纖維的棒拉絲法制備工藝流程：石英纖維的棒拉絲法制備工藝流程 石英砂熔制石英玻璃粗棒（6-8mm）真空脫羥電熔二次制棒石英玻璃細棒（2-3mm）熔融拉絲石英纖維（微米級）資料來源：中國發明專利一種使用石英玻璃粗棒拉制石英玻璃纖維的方法和裝置，國元證券研究所 航空航天用航空航天用石英纖維對纖維直徑均勻性、供貨質量穩定性、批量生產效率提出了嚴石英纖維對纖維直徑均勻性、供貨質量穩定性、批量生產效率提出了嚴格要求，采用何種拉絲裝置和拉絲工藝來保證連續石英纖維均勻、穩定、不斷絲是格要求，采用何種拉絲裝置和拉絲工藝來保證連續石英纖維均勻

66、、穩定、不斷絲是領域內的核心技術壁壘。領域內的核心技術壁壘。其中，石英纖維生產關鍵設備是石英纖維拉絲裝置，且裝置一般自研，包括熔制下棒裝置、導向漏板、熔融器等。圖圖 24：石英纖維熔制下棒裝置技術專利情況石英纖維熔制下棒裝置技術專利情況 資料來源：國家知識產權局，國元證券研究所 菲利華招股說明書披露，其核心發明專利之一是 石英纖維熔制下棒機構（授權號：ZL200510018449.1），2005 年就已經實現技術突破，它由絲桿傳動裝置、棒夾上下運動裝置及熔化器裝置三部分構成，根據需要可在棒夾上裝上 1-30 根石英棒一次抽取 1-30 根石英纖維絲。公司解決了當時石英纖維制備無成套設備、采用半

67、手工半機械方法拉制纖維質量難以保證、速度慢的問題。請務必閱讀正文之后的免責條款部分 19/47 圖圖 25：石英纖維熔制下棒機構石英纖維熔制下棒機構 資料來源：中國發明專利石英纖維熔制下棒機構，國元證券研究所 菲利華招股說明書披露，其核心發明專利之二是一種摻雜石英玻璃纖維的制造方法（2008 年），通過在石英砂中摻入氧化鋁或氧化鎵提高石英玻璃纖維耐溫性，然后將摻雜均勻的石英砂加熱至 1800-2200，然后開始拉制石英玻璃棒，石英玻璃棒的直徑控制在 1.5-3.5mm，最后熔融拉絲。2021 年，菲利華新申請發明專利 一種使用石英玻璃粗棒拉制石英玻璃纖維的方法和裝置。傳統石英玻璃纖維的制造方式

68、主要是通過一級拉絲方法進行制造，在拉絲過程中需要頻繁的更換石英玻璃棒材，生產效率較低。新專利以兩級熔融方式進行拉絲作業，集 2-3mm 精密制棒、拉絲作業于一體，有效提高生產效率。2.3.2 公司是公司是全球少數具有石英玻璃纖維量產能力的制造商之一全球少數具有石英玻璃纖維量產能力的制造商之一 國外具備批量生產能力的企業主要包括美國 JPS 復合材料（JPS Composite Material）、英國先進無紡布制造商（Technical Fibre Products，TFP）、法國圣戈班石英材料（Saint-Gobain Quartz）、日本 Asahi Fiber Glass（AFG）、俄羅

69、斯 NPO Stekloplastic 等公司，菲利華是全球少數具有石英玻璃纖維量產能力的制造商之一，是國內航空航天領域石英玻璃纖維主導供應商。國內其他公司如河南神玖天航新材料股份有限公司僅生產部分石英玻璃纖維材料及制品，在產品類別、總體規模等方面與菲利華相比存在一定差距。隨著我國航空航天的高速發展以及打破國外高端石英纖維產品壟斷的需求，菲利華在航空航天用石英纖維領域地位不斷鞏固。請務必閱讀正文之后的免責條款部分 20/47 表表 10：國內：國內外外競爭情況及公司優勢競爭情況及公司優勢 公司公司名稱名稱 主營纖維產品主營纖維產品 備注備注 美國 JPS 復合材料（JPS Composite

70、Material）石英纖維（Astroquartz）、玻璃纖維、芳綸纖維、超高分子量聚乙烯織物和特種織物 第一家將高純石英纖維織物應用于航空航天的公司，全球石英纖維織物領導者。Astroquartz系列織物開發于 1964 年，最早用于 NASA 雙子座和阿波羅計劃。英國先進纖維制品（Technical Fibre Products，TFP）OPTIVEIL系列和 OPTIMAT系列無紡布，纖維類型包括玻璃纖維、碳纖維、芳綸纖維等 擁有航空航天無紡布材料供應 30 多年經驗，產品獲得獲得 AS9100 航空航天質量和 ISO9001 質量管理體系標準認證。法國圣戈班石英材料（Saint-Gob

71、ain Quartz）Quartzel系列熔融石英纖維，包括石英纖維紗、短切石英纖維、石英纖維棉、石英纖維氈 石英制造歷史悠久，可追溯至 1922 年，與洛馬公司合作開發了 2m 纖維棉并應用于美國航天飛機項目，目前在法國和美國肯塔基州有兩家工廠。日本 Asahi Fiber Glass（AFG）玻璃纖維棉、玻璃纖維氈、玻璃纖維無捻粗紗、長玻璃纖維，主要用于阻燃材料 成立于 1956 年，是日本第一家玻璃纖維專業制造商，主營建材相關業務。俄羅斯 NPO Stekloplastic 石英纖維紗、石英纖維棉、石英纖維布 俄羅斯特種玻璃纖維材料和復合材料制造商和供應商，成立于 1946 年，是俄羅斯

72、玻璃纖維材料及其復合材料領域最大的研究和生產中心。菲利華 石英纖維紗、石英纖維棉、石英纖維布、石英纖維氈、石英預制件、石英纖維增強復合材料 全球少數具有石英玻璃纖維量產能力的制造商之一，國內航空航天領域石英玻璃纖維主導供應商。河南神玖天航新材料股份有限公司 石英纖維紗、石英纖維棉、石英纖維布 預計 2023 年上半年投產 300 噸石英纖維項目 宜興新立織造有限公司 石英纖維布、石英混編織物 不生產紗線原材料 南京玻璃纖維研究設計院有限公司 石英纖維布、石英三維織物、石英中空織物 不生產紗線原材料 資料來源：公司公告，公司官網，國元證券研究所 河南神玖于 2015 年成立，是菲利華有力競爭者。

73、公開專利信息顯示，2018 年河南神玖申請發明專利一種螺旋式石英纖維熔制下棒裝置，包括機架、導向結構、旋轉機構和驅動機構，可確保石英棒下行的均勻性、穩定性與連續性，裝置結構簡單、使用方便、性能穩定，顯著提高了產品質量。請務必閱讀正文之后的免責條款部分 21/47 圖圖 26：專利一種螺旋式石英纖維熔制下棒裝置技術要點專利一種螺旋式石英纖維熔制下棒裝置技術要點 資料來源：中國發明專利一種螺旋式石英纖維熔制下棒裝置，國元證券研究所 菲利華石英纖維核心技術在于拉絲裝置研制和拉絲工藝，保證客戶所要求的直徑均菲利華石英纖維核心技術在于拉絲裝置研制和拉絲工藝，保證客戶所要求的直徑均勻、質量穩定、斷絲少等嚴

74、格標準。勻、質量穩定、斷絲少等嚴格標準。此外，后續競爭者河南神玖進入行業時進行了大量纖維拉絲技術布局，包括拉絲裝置設計和拉絲方法，并對成絲質量進行控制。因此，拉絲技術或是石英纖維穩定生產的關鍵。國內部分高校、科研院所或企業可能具備生產高性能石英纖維的技術水平，但無法提高生產效率進行大批量生產，且難以保證直徑均勻、尤其是小直徑纖維的質量穩定性。2.4 石英纖維全產業鏈布局加快，有望成為新業績爆發點石英纖維全產業鏈布局加快，有望成為新業績爆發點 公司主營產品為石英玻璃纖維材料及制品，處于產業鏈中上游，上游原材料為石英砂，下游產品包括石英纖維預制件和復合材料。公司正加快全產業鏈布局，目前已經具備高純

75、石英砂提純、立體編織預制件以及復合材料結構件生產能力。從石英纖維材料到預制件、復合材料價值量數倍提升，有從石英纖維材料到預制件、復合材料價值量數倍提升，有望成為新業績爆發點。望成為新業績爆發點。石英礦方面，石英礦方面，主要有天然水晶、花崗巖、脈石英、石英砂巖、石英巖、粉石英和天然石英砂等七種類型，經過精選和提純加工成石英砂，能夠加工成高純石英砂的原料為天然水晶、花崗巖、脈石英。全球高純石英礦床主要分布于美國、挪威、印度、巴西、澳大利亞、俄羅斯、加拿大、毛里塔尼亞等國家。根據國家自然資源部統計，我國玻璃用脈石英資源儲量為 4751.35 萬噸（截至 2022年底），主要分布于江西、甘肅、新疆、安

76、徽、黑龍江、河南、內蒙古、四川、湖北 請務必閱讀正文之后的免責條款部分 22/47 等地。但其中能夠提純高純石英高端產品的比例極低，我國脈石英礦品位較高的代表性礦床有湖北省蘄春縣靈虬山脈石英礦（SiO2含量為 99.35%），江蘇省東?？h水晶礦區石英脈（SiO2含量為 99.19%），安徽旌德縣版書鄉龍川脈石英礦（SiO2含量為 99.01%），經過多年的開發利用，這些地區資源也基本開采殆盡。圖圖 27：石英玻璃纖維產業鏈石英玻璃纖維產業鏈 石英砂石英股份美國尤尼明石英纖維材料（纖維紗、纖維棉、短切石英纖維）菲利華河南神玖石英纖維制品（纖維布、纖維氈）宜興新立南玻院石英纖維預制件江蘇天鳥宜興華

77、恒石英纖維增強復合材料菲利華航天材料配套所武漢鑫友泰菲利華南玻院菲利華菲利華航空材料配套所 資料來源：公司官網，國元證券研究所（注：紅色字體為公司拓展布局業務）表表 11：石英礦分布石英礦分布特點和主要特點和主要國家國家石英資源情況石英資源情況 石英礦石英礦分布特點分布特點 國家國家 石英資源情況石英資源情況 世界范圍內儲量豐富，但礦體規模大、流體雜質少、品質穩定的礦石資源稀缺 巴西 礦石類型主要為天然水晶，石英礦儲量全球第一 美國 礦石類型主要為花崗巖石英，分布在北卡羅來納州斯普魯斯番地區，品質好 加拿大 礦石類型主要為脈石英，主要分布在魁北克省東南部約翰比茲灣(Johan Beetz Ba

78、y)的海岸帶 挪威 礦石類型主要為脈石英 印度 礦石類型主要為脈石英 俄羅斯 礦石類型主要為脈石英 中國 以石英巖和石英砂巖為主，脈石英主要分布于江西、甘肅、新疆、安徽等地 資料來源：全球高純石英資源現狀、生產、消費及貿易格局，高純石英砂制備技術研究現狀，國元證券研究所 高純石英砂方面，高純石英砂方面，主要由天然石英礦物經過一系列物理的和化學的提純技術生產出具有某種粒度規格的高純非金屬礦物原料，國際公認的高純石英砂是以美國尤尼明公司 IOTA-CG 為標準，十二種元素雜質（Al,K,Na,Li,Ca,Mg,Fe,Mn,Cu,Cr,Ni,B）的含量小于 20ppm，其中堿金屬（K,Na,Li）小

79、于 1ppm。從天然巖石礦物提取高純石英砂原料是目前世界上生產高純石英砂的最先進技術，對礦石的品質要求高，提純技術復雜，目前全球只有美國尤尼明、挪威 TQC、石英股份、菲利華等極少數公司具備規?；慨a高純石英砂的能力。美國尤尼明擁有的白崗巖礦石，礦體規模大、流體雜質少，品質穩定，加之其領先的高純砂提純技術，在全球高純石英砂市場占據壟斷地位。國內石英股份于 2009 年底實現高純石英砂的產業化，2010 年大規模向下游企業銷售。公司加快上游石英砂原材料產能擴張，2022 年 2 月，菲利華融鑒科技進行增資擴 請務必閱讀正文之后的免責條款部分 23/47 股，用于投資新建“年產 20000 噸超高

80、純石英砂項目”，擴大高純石英砂生產規模。項目位于湖北省潛江市江漢鹽化工業園，投資總額為 3 億元，一期工程建設進展順利，截至 2023 半年報項目進度 95%。高純石英砂產能擴張一方面可以提升公司供應鏈的保障力度，降低生產成本，此外，富余產能可滿足市場對高純石英砂的需求，為公司業績帶來新的增長點。表表 12：高純高純石英石英砂砂行業行業競爭情況競爭情況 行業特點行業特點 公司名稱公司名稱 地區地區/公司介紹公司介紹 高純石英砂技術壁壘高，對礦石原料和提純工藝有較高要求 美國尤尼明 高純石英砂龍頭，采用美國斯普魯斯番地區的白崗巖石英礦，長期壟斷全球市場，行業認可度高 挪威 TQC 在美國斯普魯斯

81、番地區和挪威西部兩地進行生產，在挪威的產量已達每年 30000 噸以上 石英股份 2009 年底實現高純石英砂的產業化，2010 年大規模向下游企業銷售，公司正加快建設 60000 噸/年的高純石英砂項目 菲利華 2022 年新建“年產 20000 噸超高純石英砂項目”，截至 2023 半年報項目進度 95%資料來源：石英股份可轉債募集說明書，菲利華 2022 年報，國元證券研究所 預制件方面，公司密切校企合作，開展裝備研發，具備了制造 2.5D 和 3D 機織、編織、縫合、針刺預制件的生產能力，針刺產品具備了批量供貨能力。石英纖維材料生產通過裝備自動化提升，提高了生產效率，滿足了市場需求，新

82、型耐高溫石英纖維已形成銷售。公司利用自產的石英玻璃纖維材料及制品進行預制件立體編織，價公司利用自產的石英玻璃纖維材料及制品進行預制件立體編織，價格優勢明顯，此外公司研制生產相關資質齊全，前期已經積累了大量客戶資源并保格優勢明顯，此外公司研制生產相關資質齊全，前期已經積累了大量客戶資源并保持了良好的口碑，預制件業務的拓展或將打開成長新空間。持了良好的口碑，預制件業務的拓展或將打開成長新空間。復合材料方面，公司先后開展了先進結構功能一體化防隔熱復合材料、高絕緣石英纖維復合材料的研發并取得成功。2019 年募投 2.7 億元用于高性能纖維增強復合材料制品生產建設項目，新增高性能纖維增強復合材料制品產

83、能 36.3 噸，并于 2021年底建設完成。截至截至 2023H1，共，共 9 個高性能復合材料產品項目研發成功，各項指個高性能復合材料產品項目研發成功，各項指標均滿足要求，通過了相關試驗的考核，標均滿足要求，通過了相關試驗的考核，另有多個高性能復合材料項目在研發過程之中，在技術的先進程度、應用的廣泛程度上均有較大突破。表表 13：公司近年預制件和復合材料領域進展情況：公司近年預制件和復合材料領域進展情況 年份年份 預制件和復合材料領域進展情況預制件和復合材料領域進展情況 2018 具備制造 2.5D 和 3D 機織、編織、縫合、針刺預制件的生產能力；開展先進結構功能一體化防隔熱復合材料和高

84、絕緣石英纖維復合材料的研發，實現樣品研發收入 610 余萬元。2019 密切校企合作，開展裝備研發，針刺產品具備批量供貨能力，新型耐高溫石英纖維形成銷售；2 個型號的石英纖維復合材料產品完成研發，通過了相關試驗的考核并取得成功，另有多個型號研發中，在技術的先進程度、應用的廣泛程度上均有較大突破，取得研發收入 3812 萬元。2020 1 個型號石英纖維復材產品完成研發；建成熱力聯合實驗室；復合材料車間完成基礎工程建設，設備安裝調試工作全面展開。2021 2 個型號的復合材料產品研發成功，并通過相關試驗考核。2022 3 個高性能復合材料產品項目研發成功，另有 5 個高性能復合材料項目在研發過程

85、之中。資料來源：公司公告，國元證券研究所 請務必閱讀正文之后的免責條款部分 24/47 3.半導體長期景氣度確定，產業規模有望進一步擴大半導體長期景氣度確定，產業規模有望進一步擴大 3.1 高純石英玻璃是半導體芯片制程關鍵工序的支撐材料高純石英玻璃是半導體芯片制程關鍵工序的支撐材料 石英玻璃具有很高的變形溫度和軟化溫度、從紫外線到紅外線極寬的光譜透過率等綜合優點，是半導體行業不可或缺的材料，根據原料不同可以分為天然石英玻璃和合成石英玻璃。天然石英玻璃采用天然結晶石英經高溫熔化制成，包括電熔石英玻璃和氣熔石英玻璃，是半導體蝕刻、擴散、氧化等工序所需的承載器件與腔體耗材。合成石英玻璃則采用SiCl

86、4、有機硅等含硅化合物為原料通過化學氣相沉積法（CVD）制備，CVD 法的原理是將含硅化合物在載料氣體的帶動下送入氫氧焰噴燈，在高溫作用下發生化學反應生成 SiO2顆粒，隨后直接沉積在旋轉的底座上形成石英玻璃坨，經過冷卻最終得到合成石英玻璃錠，主要應用于 TFT-LCD 和 IC 用光掩膜基板以及半導體高端制程中石英玻璃材料配套領域和高端光學領域的透鏡、棱鏡、激光器。表表 14：不同方法制備石英玻璃的工藝特點和性能：不同方法制備石英玻璃的工藝特點和性能 石英玻璃石英玻璃 主要原材料主要原材料 熱源熱源 特點特點 應用應用 電熔石英玻璃 天然石英粉料 電能 羥基含量低、耐高溫性能強，但金屬雜質含

87、量相對較高 擴散爐、CVD 爐等高溫元件材料 氣熔石英玻璃 天然石英粉料 氫氧焰 雜質含量少，但羥基含量偏高，耐溫性較低 芯片低溫制造工序如清洗、刻蝕等 合成石英玻璃 SiCl4 氫氧焰 純度極高，光學性能好，但羥基含量高 光掩膜基板 資料來源：高純石英玻璃制備過程的研究和工藝優化，公司官網，國元證券研究所 3.1.1 氣熔氣熔/電熔電熔/合成合成石英石英應用于芯片制造應用于芯片制造多個環節多個環節 半導體產業鏈整體可分為上游半導體支撐產業、中游芯片制造產業、下游半導體應用產業，石英玻璃材料作為重要耗材應用于芯片制造多個環節，包括單晶硅片生產和晶圓制造前道工序。氣熔石英玻璃氣熔石英玻璃由于使用

88、氫氧焰燒制，雜質含量低，但羥基含量偏高，高溫下羥基的存在會使熔融石英耐溫性降低，因此主要用于半導體制程的清洗、刻蝕、研磨等低溫工序，產品包括石英玻璃花籃、石英玻璃清洗槽、石英環、石英支架等。電熔石英玻璃電熔石英玻璃羥基含量低、耐高溫性能強，主要用于半導體制程的晶圓熱氧化、離子注入、擴散、沉積等高溫工序，產品包括石英擴散管、石英舟、多晶硅還原爐罩、單晶硅外延鐘罩等。合成石英玻璃合成石英玻璃純度極高，具有優良的光學性能，可以根據規格大小制成不同大小的平板，經金屬涂敷、腐蝕刻錄后制成光掩膜基板，光掩膜上承載有完整的集成電路設計圖形，通過光刻工藝可將集成電路設計圖形轉移到晶圓上。請務必閱讀正文之后的免

89、責條款部分 25/47 圖圖 28：半導體產業鏈半導體產業鏈 芯片產品芯片封測芯片制造芯片設計IP核EDA制造設備制造材料晶圓、光掩膜、光刻膠、濺射靶材、化學試劑、各種氣體、光刻輔助試劑、CMP拋光液單晶爐、氧化爐、薄膜沉積設備、光刻機、刻蝕機、離子注入機、CMP設備、清洗設備、量測設備框架、包封樹脂、有機基板、鍵合金屬線、陶瓷封裝體、芯片粘接材料貼片機、檢測設備、引線鍵合設備、測試機、分選機封測設備封測材料集成電路分立器件傳感器光電子器件存儲器、邏輯芯片、微處理器、模擬芯片IGBT、MOSFET、二極管、晶閘管MEMS、圖像傳感器移動通信、計算機、汽車電子、消費電子、工業電子光通信芯片、光探

90、測器上游支撐中游制造下游需求 資料來源：SEMI，SIA，國內半導體產業的發展研究，國元證券研究所 3.1.2 半導體半導體產業產業長期長期向好，向好，石英石英玻璃行業玻璃行業持續受益持續受益 近年來，隨著半導體市場需求規模擴大，與半導體工業密切相關的石英玻璃行業也得到快速發展。在市場需求拉動和半導體自主可控國產化國家政策的支持下，半導體用石英玻璃材料及制品的產銷維持快速增長趨勢。根據 WSTS 統計，2021 年全球半導體銷售收入 5559 億美元，同比增長 26.2%，2022 年全球半導體銷售收入達到 5740 億美元，同比增長 3.3%，2018 年以來復合增長率 5.2%。分區域來看

91、，中國是最大的半導體市場，2022年的銷售額總額為1805億美元，占全球市場的31.4%。圖圖 29：全球半導體市場規模波動增長：全球半導體市場規模波動增長 圖圖 30：2022 年全球半導體市場份額（億美元）年全球半導體市場份額（億美元）資料來源：世界半導體貿易統計組織（WSTS），國元證券研究所 資料來源：世界半導體貿易統計組織（WSTS），國元證券研究所-15%-10%-5%0%5%10%15%20%25%30%01,0002,0003,0004,0005,0006,0007,00020182019202020212022全球半導體市場規模（億美元）YoY1,805 1,505 1,41

92、1 538 482 中國亞太其他美國歐洲日本 請務必閱讀正文之后的免責條款部分 26/47 按產品來劃分，半導體產品可分為集成電路、分立器件、光電器件和傳感器，其中按產品來劃分，半導體產品可分為集成電路、分立器件、光電器件和傳感器，其中集成電路占集成電路占 80%以上的份額，是絕大多數電子設備的核心組成部分，下游應用最以上的份額，是絕大多數電子設備的核心組成部分，下游應用最為廣泛。為廣泛。中國半導體行業協會數據顯示，2021 年中國集成電路產業銷售額首次突破萬億元，達 10458.3 億元，同比增長 18.2%，繼續保持快速、平穩增長態勢。中國集成電路產品進出口都保持較高增速，根據海關統計，2

93、022 年中國進口集成電路進口金額4155.8 億美元，2018-2022 年復合增長 7.4%；出口金額 1539.2 億美元，2018-2022年復合增長 16.1%。在國產化政策的驅動下，國內集成電路市場空間有望進一步打開。圖圖 31：中國集成電路產業保持快速、平穩增長態勢：中國集成電路產業保持快速、平穩增長態勢 圖圖 32：中國集成電路產品進出口情況：中國集成電路產品進出口情況 資料來源：中國半導體行業協會，國元證券研究所 資料來源：海關總署，國元證券研究所 3.1.3 高端石英高端石英技術技術先進先進，半導體原廠認證是準入門檻半導體原廠認證是準入門檻 石英玻璃材料行業內優勢企業與劣勢

94、企業的差距主要體現在工藝、裝備水平、產品石英玻璃材料行業內優勢企業與劣勢企業的差距主要體現在工藝、裝備水平、產品性能、技術研發水平、是否通過半導體材料認證等方面。性能、技術研發水平、是否通過半導體材料認證等方面。國際先進廠商，工藝流程更先進、裝備機械化和自動化水平較高，擁有高等級潔凈廠房，產品的一致性、可靠性水平有良好保障，其產品應用于半導體等行業的高端領域，產品附加值高。國外龍頭企業如美國邁圖、德國賀利氏、德國昆希、日本東曹等在工藝技術水平、高端產品開發、生產規?；约爱a銷定價能力方面具有優勢，在各自細分領域的市場占有率較高。表表 15：石英玻璃材料國內外競爭情況：石英玻璃材料國內外競爭情況

95、 公司公司 主營石英玻璃產品主營石英玻璃產品 產品優勢產品優勢 美國邁圖（Momentive）石英棒、石英管、石英錠，產品主要占據半導體和光纖市場 高純石英和陶瓷產品的全球領導者，大量產品規格獲得原始設備制造商（OEM）認證，低羥基石英材料在高溫下保持優異性能。德國賀利氏（Heraeus）石英錠、石英棒、石英管、石英塊、石英預制棒、不透明石英 產品門類齊全，掌握氣熔石英玻璃（TSC）、電熔石英玻璃（HSQ）以及合成石英玻璃（Neonyx）生產工藝，廣泛用于光學、半導體、工業照明領域。日本東曹（Tosoh）熔融石英錠、石英棒、石英管、石英玻璃棉、不透明熔融石英玻璃以及石英玻璃加工 東曹石英集團是

96、日本最早成立的石英玻璃制造企業，具備氣熔石英玻璃（N 級、NP 級）、電熔石英玻璃（HR 級、HRP 級）、合成石英玻璃（ES 級、ED 級）生產能力，不透明 OP 系列石英玻璃具有獨特優勢。0%5%10%15%20%25%30%02,0004,0006,0008,00010,00012,00020172018201920202021中國集成電路銷售額（億元）YoY01,0002,0003,0004,0005,00020182019202020212022進口額（億美元）出口額（億美元）請務必閱讀正文之后的免責條款部分 27/47 德國昆希（Qsil）透明石英玻璃、不透明石英玻璃、摻雜石英玻璃

97、、特種玻璃以及石英玻璃加工 德國昆希集團是耐火材料、高溫高純高科技材料全球領導者，具有 60多年研發和生產經驗，Ilmasil石英玻璃獨具特色，采用等離子熔煉工藝制造。石英股份 高純石英砂、石英棒、中高端石英管、石英錠、石英坩堝等 成功研發高純石英砂提純技術，是國內最早規?；a高純石英砂的企業。資料來源：公司官網，國元證券研究所 國內石英玻璃企業近年來發展迅速，石英股份是國內最早規?；a高純石英砂的企業，其半導體石英產品通過TEL和Lam Research認證，AMAT認證正在進行中。凱德石英主營產品為石英玻璃制品，長期服務于北方華創、華微電子等客戶，其 12英寸核心零部件石英晶舟通過中芯

98、國際認證。菲利華經過四十多年的發展，現已成為國內具有影響力和規模優勢的石英玻璃材料及制品制造商，公司石英玻璃產品包括天然石英錠（氣熔和電熔）、天然石英筒/管、天然石英棒、電熔石英玻璃、合成石英玻璃、不透明石英材料等。公司公司是國內少數是國內少數幾家同時具備氣熔石英、電熔石英、合成石英研發與制造能力的企業，在石英玻璃幾家同時具備氣熔石英、電熔石英、合成石英研發與制造能力的企業，在石英玻璃材料制造技術及生產規模上處于國內領先地位。材料制造技術及生產規模上處于國內領先地位。公司半導體用氣熔石英玻璃材料通過了日本東京電子株式會社（TEL）、泛林研發（Lam Research）、應用材料公司（AMAT）

99、三大國際半導體原廠設備商以及日立高新技術公司的認證。2022 年 Lam Research 認證規格數量較上年增長 28 個，AMAT 認證規格數量較上年增長 19 個；上海石創的石英玻璃器件加工通過國內主流半導體設備廠商認證，其中中微半導體公司的認證規格達 200 款以上，北方華創公司的認證數量已近百款。圖圖 33：公司半導體用石英玻璃產品包括氣熔石英、電熔石英、合成石英公司半導體用石英玻璃產品包括氣熔石英、電熔石英、合成石英 資料來源：公司官網，國元證券研究所 3.2 氣熔石英玻璃國內獨樹一幟，客戶認證加深行業壁壘氣熔石英玻璃國內獨樹一幟，客戶認證加深行業壁壘 氣熔石英玻璃是利用氫氧焰將天

100、然石英熔化，然后在石英玻璃靶面上逐漸堆積而成?，F在常用氣熔法制備石英砣，再將石英砣進行冷或熱加工制成需要的石英玻璃制品。氣熔法技術中的氫氧焰燃燒器多由石英玻璃管制成，有單組和多組之分，其結構的合理性直接關系到生產效率和產品品質。該工藝設備簡單，綜合能耗低，制備的熔融石英玻璃氣泡少。但是采用氫氧焰制備時，氫氣分子或者是氫氣與氧氣燃燒時生成的水會分別與二氧化硅反應生成羥基，導致產品中羥基含量偏高。氣熔石英玻璃中的羥基在較高的溫度下才開始減少，因此需在高溫真空的條件下脫羥。另外，石英玻璃的脫羥效果會受原料純度和制備工藝影響。請務必閱讀正文之后的免責條款部分 28/47 表表 16：不同制備工藝條件下

101、的熔融石英玻璃性能指標不同制備工藝條件下的熔融石英玻璃性能指標 工藝工藝 電熔法電熔法 氣氣熔熔法法 金屬雜質含量/10-6 20 20 羥基含量/10-6 10 200 尺寸/mm 2000 1000 光譜透過波段/m 0.44 0.42 資料來源：熔融石英玻璃制備工藝研究進展，國元證券研究所 氣熔石英玻璃主要以氫氣為燃料，氫氣廣泛使用于氣煉制錠和石英熱加工工藝中。全球領先的石英公司如日本 Tosoh、日本 Shinetsu、德國 Heraeus 等在生產布局上均采用自建或靠近化工廠的模式以獲得長期穩定的氫氣資源。公司及潛江菲利華的氫氣供應均完全依靠于臨近化工廠（沙隆達、江漢鹽化總廠）的管道

102、供給，氫氣為這些化工廠生產的副產品?，F已鋪設了專用管道，通過與其簽署長期使用協議利用其生產的氫氣等副產品，建立起穩定長效、價格適宜的能源氣體及合成石英原料優勢，符合國家可持續發展戰略和循環經濟的發展方向。圖圖 34：荊州工廠地理位置情況：荊州工廠地理位置情況 圖圖 35：潛江工廠地理位置情況：潛江工廠地理位置情況 資料來源：公司招股說明書，百度地圖，國元證券研究所 資料來源：公司招股說明書，百度地圖，國元證券研究所 生產成本方面，生產成本方面，作為石英玻璃材料及制品行業的上游行業，高純石英砂、石墨制品的價格直接影響到行業的整體成本。上游產業的生產要素價格明顯上漲會導致石英玻璃材料及制品生產企業

103、面臨著一定的成本壓力，但從長遠來看，石英玻璃材料及制品行業發展穩健，原材料價格的變化對本行業不會產生重大不利影響。技術研發方面，技術研發方面，公司早在 2007 年就申請了氣煉連續熔制透明石英玻璃錠的熔制設備及熔制工藝發明專利，改變傳統的間歇式生產工藝為連續熔制生產，提高了石英原料的利用率及石英錠的生長速率，大幅度降低生產成本。采用該方法生產的石英玻璃錠具有外觀均勻、內在質量好、氣泡少的特點。2014 年公司完成連熔連拉技術與裝備定型并進行中試驗證，2015 年半導體用石英錠材料的成套裝備與技術研發成功并進行小批量試產，2016 年半導體用石英錠材料進入批量復產階段。2021 年氣連熔石英筒制

104、備技術具備穩定量產能力，2022 年實現小批量試生產。請務必閱讀正文之后的免責條款部分 29/47 表表 17：公司近年氣連熔石英研發情況：公司近年氣連熔石英研發情況 研發項目研發項目 項目目標項目目標 年度年度 進展情況進展情況 連熔連拉技術與裝備定型 完成熔爐結構的定型工作，穩定生產工藝技術 2014 已完成裝置和熔爐結構定型工作，進行中試驗證 2015 半導體用石英錠材料的成套裝備與技術研發成功，進行小批量試產 2016 半導體用石英錠材料進行批量復產階段 氣連熔石英筒制備技術開發 縮短工藝流程，降低成本 2021 穩定量產 2022 小批量試生產 資料來源：公司公告，國元證券研究所 客

105、戶認證方面，公司在半導體石英玻璃材料配套領域占據優勢地位?？蛻粽J證方面，公司在半導體石英玻璃材料配套領域占據優勢地位。石英玻璃材料是半導體設備制造和半導體生產過程中不可缺少的重要材料之一，其質量、加工精度直接影響半導體產品生產的成品率，國際半導體設備制造商普遍通過對石英玻璃材料供應商實施嚴格的資質認證的方式加強供應商管理，一般只有通過其認證的石英玻璃材料企業才能進入半導體生產的供應鏈。公司生產的 FLH321 天然石英錠材于 2011 年上半年獲得東京電子（TEL）的認證，是當時國內首家獲得國際主要半導體設備制造商認證的石英玻璃材料企業。2017年公司通過美國應用材料公司（AMAT）及泛林研發

106、（Lam Research）的認證的石英材料規格達 20 種，FLH321 和 FLH321L 牌號產已進入國際半導體產業鏈。2019年，公司半導體石英材料首次被日立高新技術公司批準使用在半導體領域。截至 2022 年底，公司的半導體用氣熔石英玻璃材料市場銷售規模不斷擴大，市場占有率持續提升，公司除獲得日本東京電子株式會社 TEL 認證外，Lam Research認證規格已達 100 余種，AMAT 認證規格也有 60 余種。圖圖 36：2019-2022 年石英玻璃材料一產量情況年石英玻璃材料一產量情況 圖圖 37：2019-2022 年石英玻璃制品年石英玻璃制品一一產量情況產量情況 資料來

107、源：公司公告，國元證券研究所 資料來源：公司公告，國元證券研究所 產能產量方面，產能產量方面，公司 2014 年之前按行業細分口徑披露，公司已具備 340 噸光通訊用和 530 噸半導體用石英玻璃材料及制品的產能。2019 年公司按照產品類別口徑披露產量情況，石英玻璃材料一產量從 784 噸增至 2022 年的 2752 噸，期間復合增長率 51.99%；石英玻璃制品一產量從 514 噸增至 2022 年的 794 噸，期間復合增長率 15.59%；石英玻璃制品二產量從 63 萬件增至 2022 年的 105 萬件，期間復合增長率 18.71%。2021 年新增石英玻璃制品三，為公司 2021

108、 年 6 月新收購中益784 1,269 2,192 2,752 0%10%20%30%40%50%60%70%80%05001,0001,5002,0002,5003,0002019202020212022石英玻璃材料一產量（噸）石英玻璃材料一增長率514 434 505 794-20%-10%0%10%20%30%40%50%60%70%01002003004005006007008009002019202020212022石英玻璃制品一產量（噸）石英玻璃制品一增長率 請務必閱讀正文之后的免責條款部分 30/47 科技產品，2021 半年產量為 414 萬米，2022 年全年產量 1131

109、 萬米。2022 年新增石英玻璃材料二原為自產自用，2022 年實現對外銷售，產量為 676 噸。圖圖 38：2019-2022 年石英玻璃制品二產量情況年石英玻璃制品二產量情況 圖圖 39：2021-2022 年新增石英玻璃年新增石英玻璃材料及制品材料及制品產能產能 資料來源：公司公告，國元證券研究所 資料來源：公司公告，國元證券研究所 3.3 大規格低羥基電熔石英玻璃技術突破，生產規模進一步擴大大規格低羥基電熔石英玻璃技術突破，生產規模進一步擴大 電熔石英是通過電加熱將坩堝內的粉末狀石英原料進行熔化，隨后經過快速冷卻的電熔石英是通過電加熱將坩堝內的粉末狀石英原料進行熔化，隨后經過快速冷卻的

110、玻璃化過程形成石英玻璃，主要有電阻、電弧和中頻感應等加熱方式。玻璃化過程形成石英玻璃，主要有電阻、電弧和中頻感應等加熱方式。在熔化過程中石英晶體的結構歷經從-石英到石英，再到-方石英的轉變，直至加熱到約1723時開始形成石英熔體。石英粉料的熔化過程通常在高度真空環境中進行，以去除該過程中釋放產生的氣體和降低石英玻璃中的氣泡含量。電熔法制備工藝包括真空常壓工藝、真空加壓工藝、真空加壓再熔拉管工藝和連熔電熔法制備工藝包括真空常壓工藝、真空加壓工藝、真空加壓再熔拉管工藝和連熔爐工藝。爐工藝。其中，真空加壓再熔拉管工藝是將已熔煉的石英玻璃砣進行二次加熱后，再加工成各種石英玻璃棒、石英玻璃管或石英玻璃板

111、等制品。連熔爐工藝是將熔融態石英玻璃液通過機械設備直接拉石英玻璃制品，自動化程度高，適合大規模生產。這兩種工藝極大地提高了前兩種傳統熔融石英玻璃生產工藝的生產效率和產品質量。表表 18：公司近年電熔石英研發情況：公司近年電熔石英研發情況 研發項目研發項目 進展情況進展情況 大規格低羥基電熔石英錠裝備的開發 2016 年，研發出小規格半導體材料用電熔產品。2017 年，研發出大規格半導體材料用電熔產品。2018 年，試制出大規格低羥基電熔產品，優化工藝以解決產品氣泡問題。2019 年，大規格石英錠熔制工藝技術取得突破，完成新熔制裝備安裝與調試。2020 年，大規格石英錠研發成功，產品達到半導體客

112、戶使用要求。2021 年，完成大規格低羥基電熔石英錠裝備的開發，并實現穩定量產。2022 年，擴大生產規模。不透明電熔石英玻璃材料制備技術及裝備研發 2021 年，實現小規格樣品研制，性能指標達到設計水平。2022 年，已送樣至客戶進行試用評價，具備小規格小批量生產能力。資料來源：公司公告，國元證券研究所 熔融石英玻璃中的羥基既是雜質缺陷也是結構缺陷，不僅降低石英玻璃的化學穩定性，而且影響紅外光譜透過性，也會改變熔融石英玻璃的熔制性能，因此，脫羥工脫羥工藝的水平決定了熔融石英玻璃的品質。藝的水平決定了熔融石英玻璃的品質。采用電熔法制備的熔融石英玻璃中，羥基主63 62 67 105-10%0%

113、10%20%30%40%50%60%0204060801001202019202020212022石英玻璃制品二產量（萬件）石英玻璃制品二增長率414 1,131 676 02004006008001,0001,20020212022石英玻璃制品三（萬米）石英玻璃材料二（噸）請務必閱讀正文之后的免責條款部分 31/47 要來源于高純石英砂原料中的流體包裹體，該材料中的羥基量少且處于亞穩態，加熱較容易去除。公司從 2016 年開始持續投入半導體用低羥基電熔石英產品研發，2017 年研發出大規格半導體材料用電熔產品，2019 年大規格石英錠熔制工藝技術取得突破，2020年研發成功大規格石英錠達到半

114、導體客戶使用要求，2022 年進一步擴大了生產規模。目前公司擁有 2 套電熔石英生產設備，具備 650 噸產能。2023 年上半年募投 2 億元建設半導體用石英玻璃材料擴產項目，建設期 1.5 年，將新增 4 套電熔石英生產設備，實現產能 1200 噸，達產后預計年收入 2.12 億元，凈利潤 0.44 億元。3.4 高世代顯示面板布局加速，牽引合成石英光掩膜基板產能擴張高世代顯示面板布局加速，牽引合成石英光掩膜基板產能擴張 在平板顯示領域，顯示面板平均尺寸大約按照每年增加 1 英寸的速度平穩增長。顯示面板世代線代數是按照生產顯示屏使用的基板尺寸來界定的，基板尺寸越大，其世代線越高，而越高的世

115、代線經切割后所能產生的屏幕尺寸就越大。粗略區分，G1-G4 代線主要針對筆記本電腦，G4-G5 代主要針對電腦顯示屏幕，G6 代線以上的生產線主要為電視屏幕所用。而隨著基板的大型化，為了提高生產效率需要更大而隨著基板的大型化，為了提高生產效率需要更大的曝光面積，光掩膜玻璃基板的尺寸也隨之增加。的曝光面積，光掩膜玻璃基板的尺寸也隨之增加。表表 19：顯示面板尺寸和掩膜玻璃基板尺寸趨勢：顯示面板尺寸和掩膜玻璃基板尺寸趨勢 年度年度 顯示面板世代顯示面板世代 顯示面板玻璃尺寸顯示面板玻璃尺寸/mm 光掩膜光掩膜玻璃基板尺寸玻璃基板尺寸/mm 1988 G1（300350）（300400）330450

116、 1993 G2（360465）（410520）330450 1995 G3（550650）（550520）390610 2000 G4（680880）（730920）500750，520800 2002 G5（10001200）（11501300）520800，800920 2003 G6（15001800）（15001850）800920，8501200 2005 G7（18702200）（19502250）8501200 2006 G8（21602460）（22902620）12201400，8501400 2009 G10 28803130 16201780 2018 G10.5G11

117、 29403370 16201780 資料來源：我國光掩模玻璃基板的發展現狀及趨勢，國元證券研究所 平板顯示行業長期發展呈現像素高精度化、尺寸大型化、競爭白熱化、轉移加速化、產品定制化等特點，下游對光掩膜板性能和產能需求持續提高。根據 Omdia 預測，2025 年全球平板顯示需求將超過 300 百萬平方米，未來隨著相關產業進一步向國內轉移，中國大陸平板顯示行業光掩膜基板的需求將持續上升，預計到 2025 年全球占比將達到 58%。請務必閱讀正文之后的免責條款部分 32/47 圖圖 40：全球：全球 2018-2027 年平板顯示需求預測年平板顯示需求預測 圖圖 41：中國：中國 FPD 光掩

118、膜基板需求全球占比逐年增加光掩膜基板需求全球占比逐年增加 資料來源：Omdia，國元證券研究所 資料來源：Omdia，國元證券研究所 3.4.1 合成石英合成石英廣泛應用于廣泛應用于高精度光掩膜基板制造高精度光掩膜基板制造 光掩膜是平板顯示技術的重要組成部分，其制作材料包含光掩膜基板、鍍鉻膜層、光刻膠、光學膜等。其中，光掩膜基板又稱光掩模板、掩膜版、光掩膜、光刻掩膜版、光罩等，通過在薄膜、塑料或玻璃基體材料上制作各種功能圖形并精確定位，以便用于光致抗蝕劑涂層選擇性曝光，是微電子制造中光刻工藝所使用的圖形母版。光掩膜基板用于下游電子元器件制造業批量生產，是下游行業生產流程銜接的關鍵部分，是下游產

119、品精度和質量的決定因素之一。圖圖 42：光掩膜基板工作原理光掩膜基板工作原理 資料來源：勻膠鉻版在光掩膜企業的庫存管理研究，國元證券研究所 根據材質光掩膜玻璃基板可以分為合成石英、硼硅玻璃和蘇打玻璃（鈉鈣玻璃），合成石英光掩膜基板具有高化學穩定性、高硬度、低熱膨脹系數、高透光率（尤其是紫外線段）的特點，相比蘇打玻璃具有更高的硬度和更長的使用壽命，適用于高精度光掩膜基板的制造。因此，合成石英玻璃在光掩膜基板的材料選擇中更具備優勢，且市場需求逐年遞增，廣泛應用于 IC、FPD 和大型高精密光學器件。2212322462652752842983073233320%1%2%3%4%5%6%7%8%9%

120、0501001502002503003502018 2019 2020 2021 2022 2023 2024 2025 2026 2027全球平板顯示需求（百萬平方米）YoY0%20%40%60%80%100%2016201720182019202020212022202320242025中國大陸韓國中國臺灣日本其他 請務必閱讀正文之后的免責條款部分 33/47 表表 20：不同材質光掩膜玻璃基板的比較：不同材質光掩膜玻璃基板的比較 種類種類 優點優點 缺點缺點 主要用途主要用途 合成石英 高化學穩定性、高硬度、低熱膨脹系數、高透光率（尤其是紫外線段）價格較高 常用在 IC、LSI、大型 F

121、PD、大型高精密光學器件的光掩模版基材 硼硅玻璃 熱膨脹系數接近硅 短波長光透過率低 常用在 LSI 用 Copy mask 基材 蘇打玻璃 價格便宜 熱膨脹系數高、短波長光透過率低 常用在 STN-LCD、TN-LCD、FED、EL 行業專用光掩膜基材 資料來源：我國光掩模玻璃基板的發展現狀及趨勢，國元證券研究所 合成石英光掩膜基板的制造是以 SiCl4為原料，在氫氧焰中高溫水解或氧化生成SiO2微粒，沉積熔化形成透明的高純石英錠，按所需規格將石英錠切割成相應尺寸的石英塊，通過熱加工方式形成石英板，經過一系列的冷加工如切割、開方、倒角、磨拋等工藝的石英板最終形成光掩膜基板。圖圖 43：合成石

122、英光掩膜基板的制造流程合成石英光掩膜基板的制造流程 資料來源：光掩膜石英玻璃基板的制造工藝概述，國元證券研究所 3.4.2 光掩膜光掩膜制造工序制造工序眾多，眾多，合成石英合成石英玻璃質量玻璃質量對產品對產品影響大影響大 光掩膜光掩膜產業鏈包括上游的玻璃基板生產、產業鏈包括上游的玻璃基板生產、中游中游光掩膜制造、下游半導體光掩膜制造、下游半導體/平板顯示應平板顯示應用。用。按照生產流程，整個供應鏈上有如下生產企業：玻璃基板生產商精加工（拋光）廠商鍍鉻、涂膠生產商光掩膜生產商。石英玻璃基板石英玻璃基板方面，方面，隨著掩膜版行業下游客戶對其最終產品的品質要求不斷提高，促使掩膜版企業不斷追求產品品質

123、上的突破，光掩膜基板的質量對掩膜版產品最終品質具有重大影響。公司是行業內石英玻璃基板生產商，在基板原材料方面成本優勢顯著，是國內少數幾家從事合成石英玻璃研發與制造的企業，在大規格合成石英玻璃材料制造技術及生產規模上處于國內領先地位，公司的高端光學合成石英玻璃已在國家重點項目中使用。光掩膜基板精加工光掩膜基板精加工是對玻璃基板生產商提供的玻璃基板進行研磨、拋光，以保證尺寸、表面平度和表面缺陷符合現有產品要求，公司正積極布局進行產業鏈延伸。請務必閱讀正文之后的免責條款部分 34/47 圖圖 44：光掩膜產業鏈光掩膜產業鏈 鍍鉻涂膠光刻顯影蝕刻缺陷修補測量檢查清洗脫膜合成石英錠切割熱加工成型冷加工精

124、加工（研磨拋光）貼膜半導體公司（臺積電、格羅方德、中芯國際、華虹集團等）平板顯示公司（京東方、華星光電、維信諾等）光掩膜基板光掩膜制造光掩膜下游 資料來源：光掩膜石英玻璃基板的制造工藝概述，清溢光電招股說明書，公司公告，國元證券研究所 鍍鉻和涂膠鍍鉻和涂膠主要以石英玻璃或蘇打玻璃為襯底，在其表面鍍一層金屬鉻，再旋涂一層光刻膠，使其成為一種感光材料。作為光掩膜基板的后續加工環節，專業集中度高，主要被韓國、日本企業壟斷。由于光刻膠的性能隨放置時間增長而不斷衰退，導致涂膠后的光掩膜基板有效放置時間很短，國外大型光掩膜企業基本都有自己的涂膠線，通過采購鍍鉻基板進行庫存管理，自行按生產計劃安排涂膠。國內

125、路維光電于2018年自主開發了大尺寸掩膜版涂膠技術，打破了國外技術壟斷，可應用于 G11 及以下平板顯示掩膜版和半導體掩膜版。清溢光電合肥工廠于 2021年導入掩膜基板涂膠產線，并在 2022 年實現掩膜基板自主涂膠量產，此外開展了鍍鉻技術布局，進一步將產業鏈向上游延伸。光掩膜制造光掩膜制造工序包括光刻、顯影、蝕刻、脫模、清洗、測量檢查、缺陷修補、貼膜等，核心技術為圖形設計處理、光刻工序工藝、顯影蝕刻工序工藝、測量和修補技術，光刻機為關鍵設備。國內路維光電于 2019 年成功建設 G11 高世代掩膜版產線并實現投產，成為國內首家、世界第四家掌握 G11 掩膜版生產制造技術的企業，研發的高世代高

126、精度半色調掩膜版（HTM）打破國外技術壟斷，實現全世代產品的量產，半導體掩膜版實現180nm 及以上制程節點量產，取得了 150nm 節點半導體掩膜版制造核心技術。清溢光電實現 8.6 代高精度 TFT 用掩膜版和 6 代中高精度 AMOLED/LTPS 用掩膜版的量產，半導體掩膜版實現 250nm 工藝節點的 6 英寸和 8 英寸的量產，完成了180nm 半導體掩膜版的客戶測試認證，正在開展 130nm-65nm 半導體芯片用掩膜版的工藝研發和 28nm 半導體芯片所需的掩膜版工藝開發規劃。請務必閱讀正文之后的免責條款部分 35/47 3.4.3 公司高世代公司高世代 TFT-LCD 光掩膜

127、基板光掩膜基板技術領先技術領先 公司在光掩膜基板領域積極布局，持續研發筑牢高技術護城池。公司2017年研發生產出G8代光掩膜基板，2020年推出國內首創的8.5代TFT-LCD光掩膜基板及合成石英光柵反射鏡、大規格高均勻高能激光透鏡用合成石英玻璃材料。2022 年，公司開發了半導體高端制程和光學用大尺寸合成石英玻璃材料的裝備和技術，推出了國內首創的 10.5 代 TFT-LCD 光掩膜基板、合成石英玻璃光柵反射鏡、大規格高均勻高能激光透鏡用合成石英玻璃材料。圖圖 45：公司光掩膜基板業務布局與發展脈絡：公司光掩膜基板業務布局與發展脈絡 推出了國內首創的10.5代TFT-LCD光掩膜基板，具備從

128、G4.5代到G10.5代全規格生產能力大規模集成電路用光掩膜基板材料產業化項目（700萬，政府補助）合肥光微光電TFT-LCD及半導體用光掩膜版精密加工項目建成投產2022合肥光微光電科技有限公司主體廠房建設完成2021設立合肥光微光電科技有限公司，從事光掩膜基板精加工業務推出國內首創的8.5代TFT-LCD光掩膜基板及合成石英光柵反射鏡、大規格高均勻高能激光透鏡用合成石英玻璃材料2020承擔國家重點專項任務，滿足國家高端光學元件和高能紅外激光半導體行業對高性能合成石英材料需求具備生產半導體和光學用大尺寸合成石英玻璃材料的能力，是國內唯一一家可以生產大規格光掩膜基板的企業2018高端光學合成石

129、英材料在多個國家重點研究項目中使用研發生產出G8代光掩膜基板，打破了長期以來國外壟斷2017完成大規格合成石英材料研發項目，為大規格光掩膜基板提供合格的原料，并進行批量生產具備生產G8代大尺寸、高精度TFT-LCD光掩膜基板技術能力，達到國際先進水平，國內領先2015 資料來源：公司公告，國元證券研究所 請務必閱讀正文之后的免責條款部分 36/47 此外，在光掩膜基板精加工方面，子公司上海石創于 2020 年設立合肥光微光電科技有限公司，進行 TFT-LCD 及 IC 用光掩膜基板精加工，填補光掩膜基板精加工領域的國內空白，已于 2022 年底建成投產。技術研發方面技術研發方面，2014 年上

130、市至今持續投入 4 項研發項目，包括高均勻性合成石英玻璃材料研制，大規格合成石英材料研發，石英粉、石英玻璃基礎研究及產業化關鍵制備技術，高端合成石英玻璃的研發。2017 年，公司成功開發出八甲基環四硅氧烷多燈 CVD 法高效沉積合成石英玻璃完整技術裝備和工藝，研制出尺寸達1000*550mm SiO2疏松體坯體，合成的石英錠羥基和金屬雜質含量均1ppm；2022 年，實現應力、條紋 1 類，500mm60mm，均勻性n1.510-6以及500mm 口徑內不同等級光學均勻性產品形成批產。表表 21：公司近年合成石英研發情況：公司近年合成石英研發情況 研發項目研發項目 項目目標項目目標 年度年度

131、進展情況進展情況 高均勻性合成石英玻璃材料研制 研制高效氫氧燃燒器、熔爐系統、精密供料裝置、成套生產技術 2014 完成工藝試驗，產品小樣達到設計指標 大規格合成石英材料研發 為大規格光掩膜基板提供合格原料 2015 完成設備定型，工藝定型，并批量進行生產 石英粉、石英玻璃基礎研究及產業化關鍵制備技術 填補國內高性能合成石英玻璃規?；a技術的空白 2016 完成技術方案原理性試驗，設備基本滿足項目前期工藝試驗需要。2017 開發出八甲基環四硅氧烷多燈 CVD 法高效沉積合成石英玻璃完整技術裝備和工藝，研制出尺寸達1000*550mm SiO2 疏松體坯體，合成的石英錠羥基和金屬雜質含量均1p

132、pm 2019 疏松體脫羥及玻璃化試熔制樣品氣泡密度大幅度降低，小尺寸產品已用于紅外光學產品 2020 建成高純石英砂生產示范線一條，研制出合成無羥基石英玻璃樣品 高端合成石英玻璃的研發 填補國內高性能合成石英玻璃規?；a技術的空白 2018 實現應力、條紋 1 類，150mm60mm，均勻性n2.110-6；200mm60mm，均勻性n3.110-6 2019 實現應力、條紋 1 類，200mm60mm，均勻性n2.010-6；大規格產品 460mm460mm52mm，均勻性n4.010-6 2020 實現應力、條紋 1 類，30060mm，均勻性n1.510-6；大規格產品 460mm4

133、60mm52mm，均勻性n3.010-6 2021 實現應力、條紋 1 類，500mm60mm，均勻性n210-6 2022 實現應力、條紋 1 類，500mm60mm，均勻性n1.510-6；500mm 口徑內不同等級光學均勻性產品形成批產 資料來源：公司公告，國元證券研究所 4.石英精加工多點開花，技術研發與產能建設齊頭并進石英精加工多點開花，技術研發與產能建設齊頭并進 4.1 掩模版行業正逐步打通全國產化產業鏈掩模版行業正逐步打通全國產化產業鏈 公司在石英玻璃材料精加工領域重點布局光掩膜基板和半導體石英器件。公司在石英玻璃材料精加工領域重點布局光掩膜基板和半導體石英器件。掩模版上游原材料

134、為光掩膜基板，包括合成石英錠制備、切割、熱加工成型、冷加工等工序，中游環節包括基板精加工、鍍鉻、涂膠等，下游掩模版制造市場集中度 請務必閱讀正文之后的免責條款部分 37/47 較高，主要有日本的 SK 電子（SKE）、豪雅（HOYA）、大日本印刷（DNP）、凸版印刷（Toppan），韓國的 LG-IT，美國的福尼克斯（Photronics），中國臺灣的臺灣光罩，中國大陸的清溢光電和路維光電等。為降低原材料采購成本和控制終端產品質量，國際領先的掩膜版企業陸續向上游原材料行業延伸，掩膜版龍頭企業 HOYA 已經具備了研磨、拋光、鍍鉻、涂膠等掩膜版基板全產業鏈的生產能力。圖圖 46：掩模版產業鏈國產

135、化進程掩模版產業鏈國產化進程 合合成成石石英英錠錠切切割割熱熱加加工工成成型型冷冷加加工工研研磨磨拋拋光光鍍鍍鉻鉻貼貼膜膜檢檢查查修修補補脫脫膜膜清清洗洗蝕蝕刻刻顯顯影影光光刻刻涂涂膠膠菲利華已實現國產化菲利華已實現國產化日韓企業壟斷日韓企業壟斷，菲利華布局攻克菲利華布局攻克國內掩模版龍頭企業清溢光電和路維光電均已實現國產化國內掩模版龍頭企業清溢光電和路維光電均已實現國產化日韓企業壟斷日韓企業壟斷，清溢光電布局攻克清溢光電布局攻克 資料來源：路維光電、清溢光電招股說明書，光掩膜石英玻璃基板的制造工藝概述，國元證券研究所 光掩膜基板精加工涉及的工藝有精密磨拋和清洗，其中其中要求最高、難度最大的是

136、精要求最高、難度最大的是精密磨拋，具有一定技術壁壘，決定了加工后的產品表面質量和型面精度。密磨拋，具有一定技術壁壘，決定了加工后的產品表面質量和型面精度。精密磨拋主要分為研磨和拋光，兩者的工作原理相似，都是使用磨粒對材料進行磨除。其中研磨的磨粒粒徑更大，主要是為了去除加工余量，并對工件表面進行修整，研磨效率影響著拋光的表面質量和時間，研磨效果直接關系著石英玻璃基板的表面平整度和粗糙度。拋光的目的是提高石英片的表面質量，如粗糙度、平整度等，同時去除研磨過程中產生的表面殘余應力，拋光的質量直接決定著石英玻璃基板的加工精度和表面質量，是精加工工藝中最關鍵的一步。目前，石英玻璃基板的拋光工藝主要采用化

137、學機械拋光（CMP）的方法，即采用化學和機械結合的方式，使石英玻璃基板在游離磨粒、研磨盤作用下獲得較高的表面質量。請務必閱讀正文之后的免責條款部分 38/47 圖圖 47：石英玻璃基板化學機械拋光（：石英玻璃基板化學機械拋光（CMP）的工作原理）的工作原理 資料來源：光掩膜石英玻璃基板的制造工藝概述，國元證券研究所 菲利華菲利華公司公司已實現基板原材料國產化，已實現基板原材料國產化，并并延伸至精加工領域延伸至精加工領域。子公司上海石創于2020 年設立合肥光微光電科技有限公司，進行 TFT-LCD 及 IC 用光掩膜基板精加工，填補光掩膜基板精加工領域的國內空白。2023 年 8 月，濟南光微

138、擬投資 4 億元建設“高端電子專用材料精密加工項目”，建成投產后預計可實現銷售收入約 4億元，年凈利潤約 1 億元。項目充分利用公司在石英玻璃材料的原材料優勢以及上海石創在石英玻璃深加工方面的技術優勢，提高公司在高端電子領域精密加工能力，擴大有效產能，將進一步鞏固公司的行業地位及競爭優勢。4.2 半導體行業高端石英制品精加工半導體行業高端石英制品精加工打開新成長空間打開新成長空間 石英玻璃制品是下游企業的重要生產耗材，包括光源行業、光伏行業、半導體行業等，當前石英玻璃制品最大量級的下游應用在半導體領域。對于中低端半導體用石英玻璃制品，下游半導體廠商往往傾向于和成立時間較久、在行業內口碑較好的石

139、英玻璃制品企業合作，資質認證是關鍵，高端石英玻璃制品（如 8 英寸及 12 英寸晶圓的對應的高純石英玻璃制品）則大部分被國外企業或外資企業壟斷。隨著半導體芯片向大尺寸發展，配套的石英制品的尺寸也越來越大，氧化及擴散用的石英大管也由 200mm 直徑發展到 300mm、450mm，制程越小對高端合成石英的需求越大，未來高端石英玻璃制品市場空間巨大。石英玻璃制品在半導體領域的應用主要是集成電路晶圓代工環節，石英玻璃制品種類豐富，其應用幾乎貫穿半導石英玻璃制品種類豐富，其應用幾乎貫穿半導體晶圓制造的整個過程。體晶圓制造的整個過程。請務必閱讀正文之后的免責條款部分 39/47 圖圖 48：集成電路晶圓

140、制造工藝流程集成電路晶圓制造工藝流程 電路設計多晶硅原料單晶生長光掩膜設計切片和拋光晶圓清洗氧化/沉積/外延生長/金屬化涂膠曝光顯影刻蝕光學檢測離子注入熱退火/擴散CMP光學檢測電學檢測封裝&測試光掩膜生產光掩膜檢測單晶硅制造單晶硅制造光掩膜制造光掩膜制造晶圓制造晶圓制造 資料來源：Handbook of Semiconductor Manufacturing Technology，國元證券研究所 晶圓制造工藝按照工作環境溫度分為高溫工藝和低溫工藝兩大類，高溫工藝包括擴晶圓制造工藝按照工作環境溫度分為高溫工藝和低溫工藝兩大類，高溫工藝包括擴散、氧化等，低溫工藝包括刻蝕、封裝、光刻、清洗等。散、

141、氧化等，低溫工藝包括刻蝕、封裝、光刻、清洗等。高溫工藝中，石英制品需要在千度以上連續工作數個小時，所以需要石英制品耐高溫，同時熱穩定性好，不易變形；石英制品主要成分是二氧化硅，由于羥基改變了二氧化硅的鍵合結構，降低了材料的熱穩定性，造成石英制品的耐溫性能大幅降低，所以高溫工藝用石英制品需經過脫羥處理。低溫工藝的工作溫度相對較低，對石英制品不存在耐高溫要求，對石英材料的羥基含量無要求。低溫工藝中，石英制品的性能要求主要是耐腐蝕、透光性好、雜質含量低。在半導體用石英制品種類中，石英擴散管是最重要、用量最大的石英玻璃制品，其純度、抗高溫的變形性、幾何尺寸都會直接影響下游用戶產品的質量、成本和生產效率

142、。此外，石英舟和石英支架是擴散、氧化、化學氣相沉積、退火處理等工序中不可缺少的石英玻璃承載器具，對純度、耐溫性能、尺寸精度要求都很高。表表 22：晶圓制造應用石英玻璃產品的工藝環節：晶圓制造應用石英玻璃產品的工藝環節 工藝環節工藝環節 工藝介紹工藝介紹 應用石英玻璃產品應用石英玻璃產品 晶圓清洗 對晶圓表面進行清洗，以去除晶圓表面的雜質顆粒和殘留物。石英玻璃花籃、石英清洗槽 氧化/擴散 在清洗過的晶圓片表面生長或沉積一層氧化材料。氧化的目的是在晶圓片上形成一層二氧化氮。石英管、石英舟、石英法蘭、石英支架 薄膜沉積 將薄膜沉積到晶圓片上，沉積電介質或金屬層，按照沉積方式的不同可以劃分為物理和化學

143、沉積兩種主要方式。石英管、石英舟、石英法蘭 光刻 涂膠、曝光、顯影是光刻工藝的主要步驟。在第一步，晶圓片被涂上一層光敏聚合物薄石英光掩膜基板 請務必閱讀正文之后的免責條款部分 40/47 膜，稱為光刻膠。當集成電路圖形通過光掩模版傳輸時，在晶圓表面產生精確的圖形。曝光工具，稱為步進器，利用紫外線投射到晶圓片，從而將圖案轉移到晶圓片上。暴露的晶圓片通過從晶圓上移除光刻膠來顯影?？涛g 從晶圓片表面去除指定部分的材料，分為濕法刻蝕和干法刻蝕。濕法刻蝕使用化學液體（通常有硫酸、鹽酸、氫氟酸等），干法刻蝕使用等離子體。石英刻蝕盤、石英鐘罩、石英環 離子注入 將硼、磷和氟等作為雜質源以離子形式經過加速獲得

144、足夠能量后到達晶圓指定深度，從而達到精準控制電學性能的功能。石英擴散管、石英舟 資料來源：集成電路制造中生產周期的優化研究，國元證券研究所 技術壁壘方面，技術壁壘方面，石英玻璃制品因其直接與硅片接觸，且在半導體氧化、擴散過程中會遇到很多腐蝕氣體，其質量要求通常較高，產品參數主要體現在雜質含量、尺寸精度、應力、外觀等維度。其中，雜質含量主要受到石英原材料及加工過程是否產生二次污染影響，尺寸精度、應力、外觀則主要受工藝的影響。對于大部分石英玻璃制品，焊接技術是決定加工精度的關鍵因素，尺寸越大焊接的難度越高，焊接是產品制作過程中的收尾工序和關鍵工序。圖圖 49：常見半導體用石英玻璃制品加工工藝流程：

145、常見半導體用石英玻璃制品加工工藝流程 領料磨削成型清洗檢驗焊接終檢拋光退火清洗包裝入庫領料清洗車床成型切磨焊接包裝入庫拋光退火檢驗終檢石英舟類產品工藝流程石英舟類產品工藝流程石英管道類產品工藝流程石英管道類產品工藝流程 資料來源：凱德石英招股說明書，國元證券研究所 行業競爭方面，行業競爭方面，全球高端石英制品市場由美國應用材料、德國賀利氏等海外龍頭企業掌握，國內石英制品產線集中在 6 英寸及以下和 8 英寸，正逐步向高端領域邁進。根據中國電子材料行業協會石英分會 2020 年發布的石英制品行業發展報告，國內具有一定規模，從事石英制品加工企業超 50 家，屬于公眾公司或上市公司子公司的企業有 4

146、 家，主要為菲利華石創、東科石英、凱德石英、強華股份（已摘牌）。凱德石英于 2022 年 3 月在北交所上市，主要產品包括石英儀器、石英管道、石英 請務必閱讀正文之后的免責條款部分 41/47 舟等石英制品，在半導體集成電路芯片用石英玻璃制品領域，可為 8、12 英寸芯片生產線加工配套石英玻璃制品。表表 23：國內石英玻璃制品企業：國內石英玻璃制品企業 公司名稱公司名稱 注冊資本注冊資本 主營業務主營業務 所屬區域所屬區域 凱德石英 6000 萬 主要產品包括石英儀器、石英管道、石英舟等石英制品，在半導體集成電路芯片用石英玻璃制品領域，公司可為 8、12 英寸芯片生產線加工配套石英玻璃制品 北

147、京市 東科石英 4002 萬 公司是石英產品設計、研發及專業制造的高新技術企業，產品包括石英制品、半導體材料、電子元器件、硅材料、光導纖維用波導級石英管、壓電石英等 浙江省 強華股份 2700 萬 主要產品有超大直徑石英玻璃擴散管、石英舟、石英承載器（舟架、舟車）等石英制品 上海市 連云港福東石英 5541 萬 主營業務為生產、加工照明器材、石英玻璃制品等 江蘇省 蘇州富同石英 1000 萬 公司主營舟架、石英棒、板舟、石英管、球磨、雙層加熱石英管、鐘罩、石英儀器、球碗、不透明石英等產品專業生產加工 江蘇省 資料來源：Wind，公司官網，國元證券研究所 4.3 上海石創多地布局，技術與產能齊頭

148、并進上海石創多地布局，技術與產能齊頭并進 公司于 2015 年全資收購上海石創（現控股 57.19%），邁出向產業鏈下游整合、提升產品附加值的第一步。上海石創主要為半導體、光學、光通訊、光伏、LED 等多個下游行業客戶，提供各種規格的石英玻璃制品精密加工服務。2020 年 12 月，公司對上海石創進行增資，新增注冊資本 1042.7 萬元。上海石創逐漸成為全球半導體和光學領域極具競爭優勢的石英材料供應商，光學石英材料性能在全球范圍內有較高知名度，成為石英器件加工領域原產設備商指定主流供應商，主營產品包括半導體刻蝕系列、精密光學系列、LED 系列、光纖光通訊系列、光伏系列、鍍膜系列。表表 24：

149、上海石創主營產品：上海石創主營產品 產品系列產品系列 石英玻璃制品石英玻璃制品 半導體刻蝕系列 遮壁環 石英鐘罩 絕緣環 晶圓承載環 精密光學系列 石英視窗 石英拋光片 石英基板 石英視窗 請務必閱讀正文之后的免責條款部分 42/47 LED 系列 石英支架石英法蘭 石英異形支架異形環 石英絕緣件異形環 PSS 十九孔盤 光纖光通訊系列 石英吊掛棒 石英吊桿手柄 爐芯管 光伏系列 石英舟 石英擴散管 石英瓶體腔室 石英載具 鍍膜系列 石英顆粒 石英硅環 石英硅環 離子源石英杯 資料來源：公司官網，國元證券研究所 上海石創現有上海石創現有 4 家子公司、家子公司、1 家分公司家分公司，并在潛江設

150、立生產基地。并在潛江設立生產基地。2020 年 8 月，上海石創設立全資子公司合肥光微光電科技有限公司，從事光掩膜基板精加工業務，為 TFT-LCD 和 IC 用光掩膜版的國產化提供支撐。2021 年 10 月，與天津必利優科技發展有限公司共同注冊設立上海昭純材料科技有限公司，上海石創持股比例為 55%。2022 年 1 月，在荊州設立全資子公司湖北石創半導體科技有限公司（潛江設分公司），從事石英玻璃制品、光學玻璃制品的加工與銷售，并于當年實現半導體用高純石英制品加工項目建成投產。2023 年 3 月，設立全資子公司濟南光微半導體科技有限公司。按照區域來看，按照區域來看，上海石創在上海、合肥、

151、荊州、潛江、濟南五地布局，充分發揮各地的資源、人才、成本以及全產業鏈客戶集群優勢，助力公司石英玻璃材料精加工業務快速增長。目前上海本部以光通訊、光伏以及半導體石英器件代工為主，未來合肥作為精密光學玻璃、光掩膜基板精加工中心，荊州作為半導體器件加工中心，是公司戰略發展方向。請務必閱讀正文之后的免責條款部分 43/47 表表 25：上海石創：上海石創 2020 年以來共設立年以來共設立 4 家子公司家子公司 上海石創子公司上海石創子公司 成立時間成立時間 地址地址 主要業務主要業務 合肥光微光電科技有限公司 2020 年 合肥 光電子器件、半導體技術領域內的技術開發、技術轉讓、技術咨詢、技術服務；

152、石英玻璃制品、光學玻璃制品的加工與銷售等 上海昭純材料科技有限公司 2021 年 上海 技術服務、技術開發、技術咨詢、技術交流、技術轉讓、技術推廣；新材料技術推廣服務等 湖北石創半導體科技有限公司 2022 年 荊州、潛江 電子專用材料研發和制造；特種陶瓷制品制造；半導體器件專用設備制造等 濟南光微半導體科技有限公司 2023 年 濟南 電子專用材料研發、制造和銷售；光電子器件、電子元器件、技術玻璃制品、玻璃纖維及制品制造和零售；新材料技術研發等 資料來源：公司公告，國元證券研究所 表表 26：公司石英玻璃材料精加工領域重要投資項目：公司石英玻璃材料精加工領域重要投資項目 項目名稱項目名稱 投

153、資金額投資金額 項目目標項目目標 進展情況進展情況 半導體用高純石英制品加工項目（荊州）2.5 億元 提高公司在半導體石英器件加工制造領域的生產能力，項目建成投產后預計年產值達到 2.6 億元 2022 年初，通過增資擴股的方式引入戰略投資者，募集資金 2.5 億元。2022 年底，湖北石創半導體用高純石英制品加工項目建成投產。預計 2023 年實現一半產能，2024 年滿產。TFT-LCD 及半導體用光掩膜版精密加工項目（合肥）3.0 億元 結合合肥在 TFT-LCD 領域的客戶集聚優勢，填補光掩膜版精加工領域國內空白，項目建成投產后預計年產值達到 3 億元 2020 年項目啟動，2021

154、年完成主體廠房建設，2022 年底建成投產。預計 2023 年實現一半產能，2024 年滿產。資料來源：公司公告，國元證券研究所 客戶認證方面，2019 年上海石創半導體器件加工通過了中微公司認證，精密光學加工取得實質性進展，完成試樣工作，開始逐步進入小批量生產工作。2020 年，持續拓展半導體器件和精密光學玻璃加工業務，上半年公司的精密光學玻璃加工獲得批量訂單。截至 2022 年底，上海石創的石英玻璃器件加工通過中微半導體設備（上海）股份有限公司的認證規格達 200 款以上，通過北方華創科技集團股份有限公司的認證數量已近百款。5.盈利預測與估值盈利預測與估值 5.1 投資要點投資要點（1）公

155、司業績保持快速增長勢頭，六年三次股權激勵助力公司穩步前進。）公司業績保持快速增長勢頭，六年三次股權激勵助力公司穩步前進。自 2018至 2022 年，公司歸母凈利潤年均復合增長率 31.95%，核心產品整體毛利率保持穩定。2015 至 2021 年，公司三次開展股權激勵，對員工激勵到位，充分激發人才積極性和創新活力，推動公司向戰略和經營目標穩步前進。（2）航空航天應用場景明確，高端石英纖維需求旺盛。）航空航天應用場景明確，高端石英纖維需求旺盛。公司是國內航空航天領域 請務必閱讀正文之后的免責條款部分 44/47 石英玻璃纖維主導供應商，目前公司正加快全產業鏈布局，已經具備高純石英砂提純、立體編

156、織預制件以及復合材料結構件生產能力。隨著“十四五”裝備交付提速，石英玻璃纖維作為航天航空領域的特種功能材料將持續享受行業紅利，從石英纖維材料到預制件、復合材料價值量數倍提升，有望成為新業績爆發點。（3）半導體行業景氣驅動，公司石英玻璃產品市場擴大。）半導體行業景氣驅動，公司石英玻璃產品市場擴大。在計算機、通訊、汽車等終端旺盛需求的引領和半導體自主可控政策的支持下，公司半導體用石英玻璃材料及制品業務將維持快速增長趨勢。一方面，公司研發投入逐年增加，是國內首家獲得國際三大半導體設備商及日立高新技術公司認證的石英材料企業，推出了國內首創的 10.5 代 TFT-LCD 光掩膜基板。另一方面，公司以上

157、海石創為中心，穩步推進石英玻璃制品加工業務，積極擴產應對需求快速增長，有望成為新業績爆發點。5.2 盈利預測與估值盈利預測與估值 公司在高端石英材料領域技術實力雄厚，掌握氣熔石英、電熔石英、合成石英、石英纖維等全品類石英生產技術，產品廣泛應用于半導體、光學、航空航天等高景氣領域?！笆奈濉逼陂g公司進一步加快全產業布局，研發投入力度加大，產能擴張提速，逐步打通上游高純石英砂和下游石英制品精加工、石英纖維預制件及復材制造環節，公司業績有望迎來新的成長空間。我們預計，公司 20232025 年歸母凈利潤分別是 6.20 億、8.41 億和 11.41 億元，當前股價對應 20232025 年 PE

158、為 32.56倍、24.03 倍、17.71 倍。我們考慮到下游需求旺盛和公司較強的產品壁壘，給予“買入”評級。附表：盈利預測附表：盈利預測 財務數據和估值財務數據和估值 2021A 2022A 2023E 2024E 2025E 營業收入(百萬元)1223.55 1719.37 2207.83 2903.52 3854.85 收入同比(%)41.68 40.52 28.41 31.51 32.76 歸母凈利潤(百萬元)370.12 488.74 620.43 840.60 1140.81 歸母凈利潤同比(%)55.44 32.05 26.95 35.49 35.71 ROE(%)15.03

159、16.26 15.96 18.01 20.22 每股收益(元)0.71 0.94 1.19 1.62 2.19 市盈率(P/E)54.58 41.33 32.56 24.03 17.71 資料來源：Wind，國元證券研究所 6.風險提示風險提示 宏觀經濟波動導致市場需求下降的風險。宏觀經濟波動導致市場需求下降的風險。公司產品廣泛用于半導體、航空航天、光學、光通訊等多個領域，若未來全球宏觀經濟波動，導致上述領域的產業周期性波動，會影響市場對公司產品的需求，進而對公司今后的經營業績產生影響，公司存在營業收入及盈利能力波動甚至下滑的風險。主要產品價格波動和毛利率下滑的風險。主要產品價格波動和毛利率下

160、滑的風險。未來如果石英玻璃材料行業的競爭激烈程度提高，下游行業加強其對石英玻璃材料采購成本的控制，或公司原材料及動力能源采購價格上漲，存在公司綜合毛利率下滑的風險。石英玻璃材料及制品認證進度不及預期石英玻璃材料及制品認證進度不及預期的風險。的風險。半導體用石英玻璃進入門檻通常較 請務必閱讀正文之后的免責條款部分 45/47 高，下游半導體客戶的認證是進入主流供應體系的重要前置條件，在半導體領域應用的石英玻璃材料及制品通常需要通過原始設備廠商或晶圓制造廠商的直接認證。如果未來公司電熔石英玻璃材料和石英精加工產品認證進度不及預期，會直接影響新客戶開發，進而對公司的營業收入產生影響。請務必閱讀正文之

161、后的免責條款部分 46/47 財務預測表財務預測表 資產負債表資產負債表 單位:百萬元 利潤表利潤表 單位:百萬元 會計年度會計年度 2021A 2022A 2023E 2024E 2025E 會計年度會計年度 2021A 2022A 2023E 2024E 2025E 流動資產流動資產 1871.66 2381.97 3272.85 4207.63 5497.46 營業收入營業收入 1223.55 1719.37 2207.83 2903.52 3854.85 現金 678.84 824.41 1304.88 1758.85 2375.45 營業成本 602.08 838.76 1067.9

162、4 1399.75 1837.56 應收賬款 231.95 335.05 448.08 574.97 767.65 營業稅金及附加 8.59 16.88 19.82 25.94 35.06 其他應收款 5.91 1.86 5.04 6.70 8.07 營業費用 14.68 17.89 26.49 31.94 40.48 預付賬款 39.47 64.25 77.87 103.78 135.49 管理費用 112.79 157.98 194.29 246.80 327.66 存貨 323.80 463.97 585.31 769.54 1009.20 研發費用 94.89 154.71 209.7

163、4 261.32 327.66 其他流動資產 591.69 692.44 851.66 993.78 1201.59 財務費用-8.04-24.38-13.52-17.98-23.70 非流動資產非流動資產 1380.83 1942.18 2225.59 2295.70 2340.28 資產減值損失-2.26-6.27-3.00-3.27-3.48 長期投資 7.13 6.52 6.72 6.66 6.68 公允價值變動收益 0.94 0.47 0.63 0.58 0.59 固定資產 970.48 1343.08 1552.48 1651.79 1687.31 投資凈收益 13.05 7.94

164、 2.20 5.92 5.02 無形資產 96.55 151.35 196.79 243.68 290.08 營業利潤營業利潤 425.18 568.23 732.66 979.20 1333.72 其他非流動資產 306.66 441.23 469.59 393.58 356.21 營業外收入 0.91 2.47 1.68 1.81 1.88 資產總計資產總計 3252.49 4324.15 5498.44 6503.33 7837.74 營業外支出 3.29 4.68 4.61 4.41 4.52 流動負債流動負債 492.40 650.15 764.84 942.39 1172.86 利

165、潤總額利潤總額 422.80 566.01 729.72 976.60 1331.07 短期借款 0.00 3.00 2.00 2.33 2.22 所得稅 47.00 53.24 72.80 95.58 131.11 應付賬款 203.44 310.75 384.06 508.45 665.27 凈利潤凈利潤 375.79 512.77 656.92 881.02 1199.96 其他流動負債 288.96 336.39 378.78 431.60 505.36 少數股東損益 5.67 24.03 36.49 40.42 59.15 非流動負債非流動負債 100.38 195.82 338.7

166、7 343.94 415.99 歸屬母公司凈利潤歸屬母公司凈利潤 370.12 488.74 620.43 840.60 1140.81 長期借款 0.00 32.97 103.00 160.68 222.47 EBITDA 500.71 656.76 861.22 1130.34 1500.08 其他非流動負債 100.38 162.84 235.77 183.26 193.52 EPS（元）1.10 0.96 1.20 1.62 2.19 負債合計負債合計 592.78 845.96 1103.61 1286.32 1588.85 少數股東權益 196.80 471.82 508.31 5

167、48.73 607.88 主要財務比率主要財務比率 股本 337.95 506.92 516.01 519.82 519.82 會計年度會計年度 2021A 2022A 2023E 2024E 2025E 資本公積 888.35 851.83 1198.77 1261.06 1261.06 成長能力成長能力 留存收益 1236.61 1647.62 2171.74 2887.39 3860.13 營業收入(%)41.68 40.52 28.41 31.51 32.76 歸屬母公司股東權益 2462.90 3006.37 3886.52 4668.28 5641.01 營業利潤(%)52.54

168、33.64 28.94 33.65 36.20 負債和股東權益負債和股東權益 3252.49 4324.15 5498.44 6503.33 7837.74 歸屬母公司凈利潤(%)55.44 32.05 26.95 35.49 35.71 獲利能力獲利能力 現金流量表現金流量表 單位:百萬元 毛利率(%)50.79 51.22 51.63 51.79 52.33 會計年度會計年度 2021A 2022A 2023E 2024E 2025E 凈利率(%)30.25 28.43 28.10 28.95 29.59 經營活動現金流經營活動現金流 294.11 407.44 642.97 651.06

169、 933.70 ROE(%)15.03 16.26 15.96 18.01 20.22 凈利潤 375.79 512.77 656.92 881.02 1199.96 ROIC(%)23.05 19.89 21.62 25.60 30.51 折舊攤銷 83.57 112.92 142.09 169.11 190.07 償債能力償債能力 財務費用-8.04-24.38-13.52-17.98-23.70 資產負債率(%)18.23 19.56 20.07 19.78 20.27 投資損失-13.05-7.94-2.20-5.92-5.02 凈負債比率(%)0.30 4.69 9.79 12.93

170、 14.35 營運資金變動-169.37-218.32-237.68-334.79-453.33 流動比率 3.80 3.66 4.28 4.46 4.69 其他經營現金流 25.20 32.39 97.36-40.39 25.71 速動比率 3.14 2.94 3.50 3.64 3.81 投資活動現金流投資活動現金流 -145.15-485.90-499.43-216.01-233.82 營運能力營運能力 資本支出 318.82 572.68 379.59 186.19 183.99 總資產周轉率 0.42 0.45 0.45 0.48 0.54 長期投資-178.71-85.95 0.2

171、0-0.07 0.02 應收賬款周轉率 5.13 5.73 5.32 5.36 5.42 其他投資現金流-5.04 0.83-119.64-29.89-49.80 應付賬款周轉率 3.38 3.26 3.07 3.14 3.13 籌資活動現金流籌資活動現金流 103.51 255.79 336.94 18.92-83.28 每股指標（元）每股指標（元）短期借款 0.00 3.00-1.00 0.33-0.11 每股收益(最新攤薄)0.71 0.94 1.19 1.62 2.19 長期借款 0.00 32.97 70.03 57.68 61.79 每股經營現金流(最新攤薄)0.57 0.78 1

172、.24 1.25 1.80 普通股增加 0.00 168.97 9.09 3.81 0.00 每股凈資產(最新攤薄)4.74 5.78 7.48 8.98 10.85 資本公積增加 63.71-36.52 346.94 62.29 0.00 估值比率估值比率 其他籌資現金流 39.80 87.36-88.12-105.20-144.97 P/E 54.58 41.33 32.56 24.03 17.71 現金凈增加額現金凈增加額 251.41 183.97 480.48 453.97 616.59 P/B 8.20 6.72 5.20 4.33 3.58 EV/EBITDA 38.86 29.63 22.59 17.21 12.97