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1、請務必閱讀正文之后的重要聲明部分請務必閱讀正文之后的重要聲明部分 Table_Title 評級：買入（評級：買入（首次首次）市場價格：市場價格：297.92 元元/股股 分析師：王芳分析師：王芳 執業證書編號：執業證書編號：S0740521120002 Email： 分析師：楊旭分析師：楊旭 執業證書編號：執業證書編號：S0740521120001 Email： 分析師：游凡分析師：游凡 執業證書編號：執業證書編號：S0740522120002 Email： Table_Profit 基本狀況基本狀況 總股本(百萬股)530 流通股本(百萬股)530 市價(元)297.92 市值(百萬元)15

2、7,985 流通市值(百萬元)157,837 Table_QuotePic 股價與行業股價與行業-市場走勢對比市場走勢對比 相關報告相關報告 Table_Finance1 公司盈利預測及估值公司盈利預測及估值 指標 2021A 2022A 2023E 2024E 2025E 營業收入（百萬元）9,683 14,688 22,080 29,990 39,640 增長率 yoy%60%52%50.3%35.8%32.2%凈利潤（百萬元）1,077 2,353 3,899 5,441 7,171 增長率 yoy%101%118%65.7%39.5%31.8%每股收益（元）2.03 4.44 7.35

3、 10.26 13.52 每股現金流量-1.46 -1.37 13.56 11.93 12.42 凈資產收益率 6%12%16%18%19%P/E 146.6 67.1 40.5 29.0 22.0 P/B 9.3 8.0 6.7 5.5 4.4 備注：每股指標按照最新股本數全面攤薄，股價按 4 月 22 日收盤價進行計算 投資要點投資要點 本土半導體設備龍頭，本土半導體設備龍頭，一季度業績預告亮眼一季度業績預告亮眼。北方華創由七星電子和北方微電子戰略重組而成，逐步成長為以半導體設備為核心，布局真空裝備和精密元器件領域的本土設備廠商龍頭。4 月 12 日，公司發布 2024 年一季度業績預告，

4、公司預計 24Q1 實現營業收入 54.2-62.4 億元，YoY+40.0%-61.2%；歸母凈利潤 10.4-12.0 億元，YoY+75.8%-102.8%；扣非后歸母凈利潤 9.9-11.4 億元，YoY+85.5%-113.6%。業績亮眼主要系公司應用于集成電路領域的刻蝕、薄膜沉積、清洗和爐管等工藝裝備市場份額穩步攀升，且隨著公司營收規模的持續擴大，規模效應逐漸顯現，成本費用率穩定下降，公司盈利能力穩步增強。大陸晶圓廠掀起擴產潮，打開國產設備廣闊空間大陸晶圓廠掀起擴產潮，打開國產設備廣闊空間。2023 年全球半導體設備市場略降，但中國大陸實現逆勢高增達 366 億美元，展望未來，中國

5、大陸有望引領全球半導體設備未來數年的支出，2024-27 年維持在 300 億美元以上的高位，開支規模居全球主要地區首位。本土大型晶圓廠積極擴產，將奠定國產設備訂單增長堅實基礎。北方華創高端北方華創高端 IC 設備持續突破，有望充分受益晶圓廠擴產。設備持續突破，有望充分受益晶圓廠擴產。1）北方華創為國內少有）北方華創為國內少有的平臺型設備公司，產品品類齊全，國產化受益面廣的平臺型設備公司，產品品類齊全，國產化受益面廣。公司在 IC 設備里覆蓋刻蝕、薄膜、熱處理、濕法清洗等多個環節，且在每一環節單項設備上均居國產第一梯隊，公司整體覆蓋設備占整體設備價值量比重有望過半。2）核心產品技術優勢突出）核

6、心產品技術優勢突出。北方華創在 ICP 刻蝕、PVD 等拳頭產品上，其技術優勢穩居國內領先地位。3）高度重視研發，）高度重視研發，高端產品不斷突破高端產品不斷突破。2023-24 年，公司陸續實現外延、去膠、PVD 工藝全覆蓋，在刻蝕領域推出雙大馬士革 CCP 刻蝕機、在 CVD 領域推出多款 ALD 設備，顯現了公司長期高強度研發后的厚積薄發。投資建議投資建議：我們預計 2023-25 年公司實現營業收入 221/300/396 億元，同比增長 50%/36%/32%；實現歸母凈利潤 39/54/72 億元，同比增長 66%/40%/32%；對應 PE 分別為 41/29/22 倍。2024

7、 年可比公司平均 PE 估值為 37 倍，且考慮到公司在半導體設備領域的平臺化優勢，以及大陸晶圓制造升級的確定性，首次覆蓋，結合公司估值情況，給予公司“買入”評級。風險提示風險提示：下游大型晶圓廠擴產不及預期；行業競爭加??；行業規模測算偏差風險；研報使用信息更新不及時。北方華創：本土半導體設備龍頭，北方華創：本土半導體設備龍頭，深度受益國產化深度受益國產化 北方華創（002371.SZ）/電子 證券研究報告/公司深度報告 2024年4月23日 Table_Industry-40%-30%-20%-10%0%10%2023-042023-052023-062023-072023-082023-0

8、92023-102023-112023-122024-012024-022024-03北方華創滬深300 請務必閱讀正文之后的重要聲明部分請務必閱讀正文之后的重要聲明部分 -2-公司公司深度深度報告報告 內容目錄內容目錄 一、本土半導體設備龍頭，產品覆蓋面廣一、本土半導體設備龍頭，產品覆蓋面廣.-3-1、本土半導體設備龍頭，產品矩陣齊全.-3-2、股權結構集中，管理團隊經驗豐富.-4-3、營收持續高增，盈利能力穩步增強.-5-二、大陸晶圓廠掀起擴產潮，北方華創優勢顯著二、大陸晶圓廠掀起擴產潮，北方華創優勢顯著.-7-1、大陸晶圓廠掀起擴產潮.-7-2、北方華創優勢顯著.-8-3、其他泛半導體領

9、域有望較快發展.-10-三、投資建議三、投資建議.-12-四、風險提示四、風險提示.-14-RUlYmUfX8ZqUdUmWhZ8VoMbRdN7NnPoOoMmQiNqQtPjMtRsObRrRvMxNqMrOxNtPoP 請務必閱讀正文之后的重要聲明部分請務必閱讀正文之后的重要聲明部分 -3-公司公司深度深度報告報告 一、一、本土半導體設備龍頭，產品本土半導體設備龍頭，產品覆蓋面覆蓋面廣廣 1、本土半導體設備龍頭本土半導體設備龍頭，產品矩陣齊全，產品矩陣齊全 北方華創北方華創由七星電子和北方微電子戰略重組而成，逐步成長為半導體設由七星電子和北方微電子戰略重組而成，逐步成長為半導體設備龍頭備

10、龍頭。北方華創前身七星電子由北京電控整合原國營 700 廠、706 廠、707 廠、718 廠、797 廠、798 廠的優質資產和業務，以七星集團為主發起人設立，主營半導體裝備及精密電子元器件業務；前身北方微電子成立于 2001 年，由北京電控聯合七星集團、清華大學、北京大學、中科院微電子所和中科院光電技術研究所共同出資設立，主營高端半導體裝備業務。2016 年，七星電子與北方微電子戰略重組，次年更名為“北方華創”，經過長期的發展，逐步成長為本土半導體設備領軍者。圖表圖表1：公司發展歷程：公司發展歷程 來源：公司官網，中泰證券研究所 公司擁有公司擁有半導體設備、真空裝備和精密元器件三半導體設備

11、、真空裝備和精密元器件三大產品系列。大產品系列。1）半導體）半導體工藝裝備領域：工藝裝備領域：主要產品包括刻蝕、薄膜、清洗、熱處理、晶體生長等核心工藝裝備，廣泛應用于邏輯器件、存儲器件、先進封裝、第三代半導體、半導體照明、微機電系統、新型顯示、新能源光伏、襯底材料等工藝制造過程；2）真空及鋰電裝備領域：）真空及鋰電裝備領域：晶體生長設備、真空熱處理設備、氣氛保護熱處理設備、連續式熱處理設備、磁控濺射鍍膜設備、多弧離子鍍膜設備在材料熱處理、真空電子、新能源光伏、半導體材料、磁性材料、新能源汽車等領域取得廣泛應用；3）精密電子元器件領域：）精密電子元器件領域：石英晶體器件、石英微機電傳感器、高精密

12、電阻器、鉭電容器、微波組件、模擬芯片、模塊電源等產品應用于高鐵、智能電網、通信、醫療電子、精密儀器、自動控制等領域。圖表圖表2：公司產品矩陣：公司產品矩陣 產品線產品線 具體產品具體產品 應用應用 半導體工藝裝備 刻蝕、薄膜、清洗、熱處理、晶體生長等核心工藝裝備 邏輯器件、存儲器件、先進封裝、第三代半導體、半導體照明、微機電系統、新型顯示、新能源光伏、襯底材料等工藝制造過程 真空及鋰電裝備 晶體生長設備、真空熱處理設備、氣氛保護熱處理設備、連續式熱處理設備、磁控濺射鍍膜設備、多弧離子鍍膜設備 材料熱處理、真空電子、新能源光伏、半導體材料、磁性材料、新能源汽車等領域 精密電子元器件 石英晶體器件

13、、石英微機電傳感器、高精密電阻器、鉭電容器、微波組件、模擬芯片、模塊電源等產品 高鐵、智能電網、通信、醫療電子、精密儀器、自動控制等領域 來源：公司 2022 年報，中泰證券研究所 請務必閱讀正文之后的重要聲明部分請務必閱讀正文之后的重要聲明部分 -4-公司公司深度深度報告報告 2、股權結構、股權結構集中集中，管理團隊經驗豐富，管理團隊經驗豐富 優質國企，股權結構較為集中優質國企，股權結構較為集中。截至公司 2023 年三季報，公司實控人北京電控通過七星華電持有公司 33.61%股份，并直接持有 9.42%股份，合計 43.03%，大基金一二期持股 6.90%，北京國瑞持股 1.52%，其他持

14、股57.97%。公司通過北方華創微電子、北方華創真空技術和北方華創精密電子分別開展半導體設備、真空設備和電子元器件業務。圖表圖表3：公司股權結構及主要子公司：公司股權結構及主要子公司/參股公司參股公司（截止（截止2023年年9月月30日）日）來源：Wind，公司公告，中泰證券研究所 管理團隊經驗豐富，研發團隊管理團隊經驗豐富，研發團隊實力強勁實力強勁。北方華創高管團隊長期深耕專業領域，擁有豐富的產業經驗。公司積極自主培養本土科研團隊，截至2022 年末，公司研發人員共有 2929 名，占公司員工總數的 29.27%。截至 2023 年上半年，公司累計申請專利 7,200 余件，累計獲得授權專利

15、 4,100 余件；累計主導及參與制定國家標準、行業標準、團體標準共 34 項，其中 19 項已正式發布。圖表圖表4：公司高管介紹：公司高管介紹 姓名 職務 履歷 趙晉榮 董事長、執行委員會主席 曾任北京建中機器廠總工程師、常務副廠長，北京七星華創電子股份有限公司副總經理、總經理，北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司副總經理、總經理?，F任中國電子專用設備工業協會理事長，中國集成電路裝備創新聯盟理事長，中國集成電路產業技術創新聯盟副理事長。陶海虹 執行委員會副主席、總裁 曾任北京建中機器廠真空設備設計所副所長，微電子設備分公司技術副經理，北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司總

16、裁助理、人力資源部部長、人力資源總監、副總經理?，F任北京電子學會副理事長，中關村融信金融信息化產業聯盟副理事長，北京經濟技術開發區科學技術協會副主席。唐飛 執行委員會委員、高級副總裁 曾任北京建中機器廠市場部副部長，北京七星華創電子股份有限公司戰略發展部部長、副總經理、總經理?，F任北京七星華創精密電子科技有限責任公司執行董事、總經理，北京飛行博達微電子技術有限公司執行董事、總經理。顧為群 執行委員會委員、高級副總裁 曾任北京建中機器廠市場部部長，北京七星華創電子股份有限公司工業爐事業部總經理，北京七星華創電子股份有限公司副總經理?，F任中國電子節能協會副理事長，中國上市公司協會新能源與智能汽車委

17、員會委員，北京北方華創真空技術有限公司執行董事、總經理，北京北方華創新能源鋰電裝備技術有限公司執行董 請務必閱讀正文之后的重要聲明部分請務必閱讀正文之后的重要聲明部分 -5-公司公司深度深度報告報告 事，北京北方華創磁電科技有限公司董事長。紀安寬 執行委員會委員、高級副總裁 曾任北京建中機器廠辦公室主任、北京七星華創電子股份有限公司總裁辦公室主任、北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司總裁助理兼公共關系部部長、市場總監、營銷總監兼銷售中心總經理、營銷副總裁?，F任北京北方華創微電子裝備有限公司執行董事、首席運營官、北京電子商會副會長，中國半導體行業協會常務理事，北京電子制造裝備行業協會理

18、事長，北京集成電路學會副會長。李延輝 執行委員會委員、首席財務官 曾任北京七星華創電子股份有限公司財務部部長、財務副總監、財務總監。鄭煒 執行委員會委員、副總裁 曾任北京電子控股有限責任公司戰略發展部副部長，現任北京飛行博達電子有限公司監事。王曉寧 執行委員會委員、副總裁、董事會秘書 曾任北京電子控股有限責任公司投資證券部副總監，北京京東方投資發展有限公司董事?，F任北京北方華創微電子裝備有限公司監事。夏威 執行委員會委員、副總裁 曾任北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司 PVD 事業部副總經理、市場總監?，F任中國半導體行業協會半導體支撐分會副理事長、副秘書長。來源：公司 2022 年

19、報，中泰證券研究所 3、營收、營收持續持續高增，高增，盈利能力穩步增強盈利能力穩步增強 公司營業收入高速增長公司營業收入高速增長。2023 年，公司實現營業收入 220.8 億元，同比增長 50.3%；歸母凈利潤 39.0 億元，同比增長 65.7%；扣非后歸母凈利潤 35.8 億元，同比增長 70.1%。在 23 年行業景氣度下行周期中，公司刻蝕、薄膜沉積、清洗和爐管等數十種核心工藝裝備進一步得到市場認可，工藝覆蓋度及市場占有率顯著增長，實現了逆勢高增長，凸顯公司優秀質地。同時，根據公司 24 年一季度業績預告，公司預計 24Q1 實現營業收入 54.2-62.4 億元，同比增長 40.0%

20、-61.2%；歸母凈利潤 10.4-12.0 億元，同比增長 75.8%-102.8%；扣非后歸母凈利潤 9.9-11.4 億元，同比增長 85.5%-113.6%，繼續實現高增。圖表圖表5：2019-23年年公司營收（單位：億元）公司營收（單位：億元）圖表圖表6：2019-23年年公司歸母凈利（單位：億元）公司歸母凈利（單位：億元）來源：Wind，中泰證券研究所 來源：Wind，中泰證券研究所 盈利能力穩步提升盈利能力穩步提升。23 年前三季度公司實現毛利率 39.83%，同比下降4.15pcts，主要與 23 年景氣度下行有關。2019-23 年前三季度公司實現扣非后歸母凈利率 1.72%

21、/3.25%/8.33%/14.34%/18.10%，根據公司業績預告中值計算，24Q1 扣非后歸母凈利率為 18.27%，同比提升 4.47pcts。公司盈利能力穩步提升，主要系隨著公司營收規模的持續擴大，規模效應逐0%10%20%30%40%50%60%70%05010015020025020192020202120222023營業收入（億元 左軸）YoY（右軸）0%20%40%60%80%100%120%140%05101520253035404520192020202120222023歸母凈利潤（億元 左軸）YoY（右軸）請務必閱讀正文之后的重要聲明部分請務必閱讀正文之后的重要聲明部分

22、 -6-公司公司深度深度報告報告 漸顯現，成本費用率穩定下降。圖表圖表7：2019-24Q1公司利潤率情況公司利潤率情況 圖表圖表8：2019-23年年前三季度前三季度公司期間費用率公司期間費用率 來源：Wind，中泰證券研究所 注：公司當前僅發布 23 年業績快報、24Q1 業績預告，僅有扣非凈利率信息，23Q4 和 24Q1 毛利率尚無公開信息 來源：Wind，中泰證券研究所 從合同負債看，公司成長動能強勁從合同負債看，公司成長動能強勁。公司作為設備公司，其當期訂單預示未來收入規模?？蛻粼谙聠魏?，通常會支付部分金額，形成公司的合同負債（預收賬款）。23Q3，公司在各報告期末的合同負債（預收

23、賬款）為 93.80 億元，同比增長 44.04%，環比增長 9.25%，合同負債和新簽訂單高增，預示著公司充沛的成長動能。圖表圖表9：2020-23Q3年公司年公司合同負債情況合同負債情況 來源：Wind，中泰證券研究所 0%10%20%30%40%50%20192020202120222023Q1-Q320232024Q1E毛利率扣非后歸母凈利率-10%0%10%20%30%40%銷售費用率管理費用率研發費用率財務費用率期間費用率-40%-20%0%20%40%60%80%100%120%140%160%010203040506070809010020Q120Q220Q320Q421Q12

24、1Q221Q321Q422Q122Q222Q322Q423Q123Q223Q3合同負債（億元 左軸）YoY（右軸）QoQ（右軸）請務必閱讀正文之后的重要聲明部分請務必閱讀正文之后的重要聲明部分 -7-公司公司深度深度報告報告 二二、大陸大陸晶圓廠掀起擴產潮，北方華創優勢顯著晶圓廠掀起擴產潮，北方華創優勢顯著 1、大陸晶圓廠掀起擴產潮、大陸晶圓廠掀起擴產潮 2023 年全球半導體設備市場略降，但中國大陸實現逆勢高增年全球半導體設備市場略降，但中國大陸實現逆勢高增達達 366 億美億美元元。據 SEMI，2023 年全球半導體設備市場規模達 1062.5 億美元，yoy-1%，相比于 2022 年

25、的 1076.4 億元略有減少，主要系 2023 年全球半導體行業景氣仍處于低迷狀態、晶圓廠擴產動力不足。然而，在全球需求疲弱的大背景下，中國大陸 2023 年半導體設備市場空間由 2022 年的282.7 億美元大增 29%，至 366.0 億美元，為全球增速最快的地區，其背后主要系大陸晶圓廠看好本土晶圓制造前景、積極擴產，帶動對設備的需求高增。圖表圖表10：大陸大陸2023年半導體設備市場增速全球最快年半導體設備市場增速全球最快（單位：億美元）（單位：億美元）地區地區 2023 2022%（YoY）中國 366.0 282.7 29%韓國 199.4 215.1-7%中國臺灣 196.2

26、268.2-27%北美 120.5 104.8 15%日本 79.3 83.5-5%歐洲 64.6 62.8 3%其他 36.5 59.5-39%總計 1062.5 1076.6-1%來源：SEMI，中泰證券研究所 展望未來，中國大陸有望引領全球半導體設備未來數年的支出展望未來，中國大陸有望引領全球半導體設備未來數年的支出，2024-27年維持在年維持在 300 億美元以上的高位億美元以上的高位。據 SEMIC，2024-27 年，中國大陸每年半導體設備投資規模均有望保持在 300 億美元以上，規模居全球主要地區第一位，仍將繼續引領全球半導體設備支出。而中國臺灣、韓國地區則受益于 HPC 帶動

27、的先進制程擴張，以及存儲市場復蘇，2024 至 2027年有望增加對半導體設備的投資。美國則在“芯片法案”等本土芯片法規扶持下，半導體晶圓制造有望實現較快增長，2024 年半導體設備開支預期在 120 億美元，至 2027 年有望翻倍至 247 億美元。圖表圖表11：大陸未來數年將持續引領全球設備支出大陸未來數年將持續引領全球設備支出（單位：億美元）（單位：億美元）地區地區 2024E 2027E 中國大陸 300+300+中國臺灣 203 280 韓國 195 263 美國 120 247 日本及其他地區/279 來源：SEMI，中泰證券研究所 本土本土大型晶圓廠積極大型晶圓廠積極擴產，奠定

28、國產設備訂單增長堅實基礎擴產，奠定國產設備訂單增長堅實基礎。我們根據公開資料梳理，中芯國際當前重點在建項目主要為上海臨港 12 寸晶圓代工廠、天津西青 12 寸晶圓廠項目，分別規劃投資額在 573、500 億元，合計超千億元；華虹半導體無錫二期項目，規劃投資接近 480 億元，規 請務必閱讀正文之后的重要聲明部分請務必閱讀正文之后的重要聲明部分 -8-公司公司深度深度報告報告 劃產能在 8.3 萬片特色工藝，體量較大；上海華力康橋二期，僅廠房和配套設施建設投資就接近 100 億元，整體擴產規模亦有望較大；2023-24年，存儲大廠長江存儲、武漢新芯、合肥長鑫均有不同規模的融資動作。本土大型邏輯

29、、存儲晶圓廠積極擴產，規模龐大且對國產設備驗證、導入均較為積極，有望在未來數年奠定國產設備廠商訂單增長的堅實基礎。圖表圖表12：大陸大型晶圓廠擴產規劃及相關融資動態大陸大型晶圓廠擴產規劃及相關融資動態 晶圓廠晶圓廠 重要在建項目或融資動態重要在建項目或融資動態 規劃投資（億元）規劃投資（億元）規劃產能（萬規劃產能（萬片片 12 寸寸/月）月）工藝節點工藝節點 中芯國際 臨港 12 英寸晶圓代工廠 573 10 28nm 及以上 天津西青項目 500 10 28-180nm 華虹半導體 無錫二期 480 8.3 特色工藝 上海華力 康橋二期 已知廠房及配套設施建設投資 99 億元/長江存儲 23

30、 年 2 月，注冊資本由約 562.7 億元增至約 1052.7 億元，同時大基金二期增資入股，認繳出資額為 128.87 億元 武漢新芯 24 年 4 月，引入近 30 家新股東，注冊資本從 57.82 億元增至約 84.79 億元 合肥長鑫 24 年 3 月，旗下子公司長鑫科技開展新一輪股權融資，融資規模 108 億元 來源：相關公司公告，上海市建設市場信息服務平臺，集邦存儲市場公眾號，高凈值熱點評論公眾號，CINNO 公眾號，中泰證券研究所 2、北方華創優勢顯著、北方華創優勢顯著 北方華創為國內少有的平臺型設備公司，北方華創為國內少有的平臺型設備公司，覆蓋的覆蓋的 IC 設備占整體設備比

31、設備占整體設備比重有望過半重有望過半。在 IC 設備領域，北方華創產品橫跨硅片生長、薄膜沉積、溝槽蝕刻、工藝處理等多個關鍵環節，其中又數薄膜沉積、溝槽蝕刻工藝價值量占比最大，二者合計占整體IC設備價值量的比重接近40-50%，再加上其他環節的工藝設備，北方華創當前覆蓋的 IC 設備占整體 IC 設備支出的比重有望超過 50%。北方華創在北方華創在 ICP 刻蝕、刻蝕、PVD 等拳頭產品上，其技術優勢穩居國內領先等拳頭產品上，其技術優勢穩居國內領先地位地位。ICP 刻蝕刻蝕：公司是 ICP 刻蝕領域的國產龍頭，至 2022 年末已完成數百道工藝的量產驗證，ICP 刻蝕產品出貨累計超過 2000

32、腔，金屬刻蝕憑借穩定的量產性能成為國內主流客戶優選機臺。PVD：公司先后掌握了濺射源設計技術、等離子產生與控制技術、顆?？刂萍夹g、腔室設計與仿真模擬技術等，為國內少數 PVD 廠商，可支持鋁、銅、氮化鈦等多種金屬硬掩膜的沉積。此外，北方華創在熱處理方面，深耕高壓、高溫、高真空技術，其氧化爐等熱處理設備居國內領先地位。圖表圖表13：北方華創北方華創IC設備產品矩陣圖設備產品矩陣圖 環節環節 IC 設備設備 具體產品系列具體產品系列 硅片生長 長晶爐 AGF（電阻式碳化硅長晶爐）、APS（感應式碳化硅長晶爐）薄膜沉積 物理氣相沉積 eVictorPVD AI（金屬鋁薄膜）、eVictor（8 寸）

33、化學氣相沉積 EPEE i200（等離子體增強）、Esther E320R（8 寸單片減壓硅外延）、Eris E120R（8寸單片減壓硅外延）溝槽蝕刻 刻蝕 NMC 508C/G（多晶硅）、NMC 508M（金屬）、NMC 508RIE（介質）、NMC 508Gt（深槽）、NMC 612C（12 寸硅）、NMC 612D（12 寸硅）、NMC 612M（12 寸氮化鈦）、NMC 612G（12 寸金屬）、PSE V300（深硅）、ACE i300（去膠）請務必閱讀正文之后的重要聲明部分請務必閱讀正文之后的重要聲明部分 -9-公司公司深度深度報告報告 熱處理和清洗等 氧化擴散 Hesper TO

34、230R（12 寸單片減壓濕法氧化）、THEORIS A302（12 寸立式低溫退火）、THEORIS A302C（12 寸立式 PI 固化）、THEORIS HO302D（12 寸立式低壓CVD 高溫氧化硅）、THEORIS PY302U（12 寸立式低壓 CVD 非摻雜多晶硅）、THEORIS SN302D（12 寸立式低壓 CVD 氮化硅）、THEORIS X302H（12 寸立式高溫氧化）、THEORIS X302P（12 寸立式中溫氧化）、TENESIS X308P（12 寸立式大產能中溫氧化）、FLOURIS A201（8 寸立式低溫退火）、FLOURIS X201P（8 寸立式中

35、溫氧化）、FLOURIS X201H（8 寸立式高溫氧化）、Booster SWA（單片退火）濕法 SC3080（12 寸單片）、Pinnacle300（12 寸槽式）、GAMA（6/8 寸全自動槽式）、Bpure（立式/臥式管舟）、Pinnacle200（8 寸槽式）氣體測量控制 QL（氣路系統）、DS300（壓力式質量流量控制器）、CS330（數字式質量流量計）、CS230（數字式質量流量計）來源：公司官網，中泰證券研究所 北方華創高度重視研發，高端領域不斷突破、新產品不斷推出北方華創高度重視研發，高端領域不斷突破、新產品不斷推出：1）保持高強度研發投入，研發）保持高強度研發投入，研發支出

36、占收入比重支出占收入比重維持高位維持高位。2018-22 年，公司研發支出從 8.73 億元增至 35.66 億元，CAGR 高達 42%，主要系：一方面公司營收高增帶動公司有更大的資金投入下一階段研發，另一方面系公司產品矩陣日益豐富、需要更高的投入來維持多品類的研發。研發支出占總收入的比重，2018-22 年均維持在 25%左右的水位，體現了公司對研發的重視。圖表圖表14：2018-22年年公司研發支出合計占營收情況公司研發支出合計占營收情況 來源：wind，中泰證券研究所 2）新產品密集推出，高端領域不斷突破）新產品密集推出，高端領域不斷突破。長期持續高強度研發，帶來2023-24 年公司

37、新產品、新領域的不斷突破。在公司長期深耕的外延、去膠和PVD 工藝領域，公司于 2024 年初均實現了所有工藝的全覆蓋，競爭優勢進一步加強。在刻蝕設備領域，公司于 23 年 7 月發布國內首臺 12 寸晶邊刻蝕機，于 24 年 3 月發布雙大馬士革 CCP 刻蝕機公司將產品領域向 CCP 刻蝕持續拓展；在 CVD 薄膜設備領域，24 年 1 月公司送樣首臺 HDPCVD，意味著絕緣介質填充工藝的突破，24 年 3 月公司發布多款 ALD 設備，在 ALD 領域的產品矩陣大大擴容。公司在新品、高端領域的突破，有利于公司把握下游晶圓廠擴產及工藝升級的趨勢。圖表圖表15：2023-24年北方華創新產

38、品、新工藝不斷突破年北方華創新產品、新工藝不斷突破 8.73 11.37 16.08 28.92 35.66 0%5%10%15%20%25%30%35%051015202530354020182019202020212022研發支出合計（億元 左軸）研發支出總額占營業收入比例(%)請務必閱讀正文之后的重要聲明部分請務必閱讀正文之后的重要聲明部分 -10-公司公司深度深度報告報告 來源：公司官網，中泰證券研究所 3、其他、其他泛半導體領域有望較快發展泛半導體領域有望較快發展 公司整體泛半導體公司整體泛半導體設設備備 2018-22 年營收年營收 CAGR 高達高達 48%。據財報，2018年公

39、司泛半導體設備（電子裝備）收入規模為 25.21 億元，至 2022 年增至 120.84 億元，2018-22 年 CAGR 高達 48%，23H1 公司該項業務收入為 73.49 億元，YoY 達 79%延續高增態勢。圖表圖表16：2018-23H1公司泛半導體設備收入及增速（單位：億元）公司泛半導體設備收入及增速（單位：億元）來源：wind，中泰證券研究所 公司公司有望同時受益于新能源、新材料領域的需求催化有望同時受益于新能源、新材料領域的需求催化。第三代半導體第三代半導體：公司將 IC 設備領域的技術優勢發揮到第三代半導體領域，實現了其中薄膜、刻蝕等工藝環節的良好覆蓋。第三代半導體在如

40、今新能源車向 800V升級的浪潮下，其需求有望爆發，相關設備的需求有望水漲船高。光伏光伏：外延工藝2023實現全覆蓋去膠工藝2023實現全覆蓋PVD工藝2024實現全覆蓋刻蝕新品23年7月首臺國產12寸晶邊刻蝕薄膜新品24年1月12寸HDPCVD首套送樣，絕緣介質填充工藝突破24年3月，發布12寸雙大馬士革CCP24年3月，發布多款ALD202320240%10%20%30%40%50%60%70%80%90%020406080100120140201820192020202120222023H1收入YoY（右）請務必閱讀正文之后的重要聲明部分請務必閱讀正文之后的重要聲明部分 -11-公司公司

41、深度深度報告報告 “雙碳”政策驅動，海內外光儲市場整體保持較高景氣，公司密切跟蹤技術趨勢，匹配市場需求，及時推出符合市場需求的新品，有望受益于新能源浪潮對上游設備需求的拉動。新材料新材料：新型工業化的發展離不開新材料制備、高端材料熱處理工藝的進步，公司將半導體領域對材料處理技術的積累遷移至其他工業領域，有望打開新的市場空間。圖表圖表17：北方華創工藝設備所覆蓋的泛半導體領域一覽北方華創工藝設備所覆蓋的泛半導體領域一覽 相關領域相關領域 核心環節核心環節 是否覆蓋是否覆蓋 IC 刻蝕 薄膜沉積 熱處理 濕法清洗等 光刻 涂膠顯影 離子注入 量/檢測 功率/化合物半導體 長晶 刻蝕 薄膜沉積 熱處

42、理 濕法清洗等 光刻 涂膠顯影 離子注入 量/檢測 先進封裝 刻蝕 薄膜沉積 熱處理 濕法清洗等 電鍍 鍵合 光刻 涂膠顯影 量/檢測 LED 長晶 刻蝕 薄膜沉積 熱處理 濕法清洗等 光刻 涂膠顯影 離子注入 量/檢測 光伏 硅片制備 請務必閱讀正文之后的重要聲明部分請務必閱讀正文之后的重要聲明部分 -12-公司公司深度深度報告報告 擴散 光刻 刻蝕 金屬化 封測 來源：公司官網，中泰證券研究所 三、投資建議三、投資建議 我們預計公司我們預計公司 2023-25 年有望實現營收為年有望實現營收為 221/300/396 億元，億元，YoY 分別分別為為 50%/36%/32%，對應毛利率為，

43、對應毛利率為 42%/43%/43%。分項來看：（1）電子工藝電子工藝裝備裝備業務業務，預計 2023-25 年營收為 193/266/356 億元，YoY分別為 60%/38%/34%，對應毛利率 38%/39%/40%。公司電子工藝裝備業務主要為半導體、真空及鋰電設備。半導體設備方面，隨著公司應用于集成電路領域的刻蝕、薄膜沉積、清洗和爐管等數十種核心工藝裝備市場認可度持續提升，工藝覆蓋度及市場占有率持續增長，公司半導體裝備銷售額有望持續增長，且隨著 24/25 年行業周期回暖，公司毛利率也得以有望提升；真空及鋰電方面，隨著公司在光伏、新能源汽車等領域持續開拓新品類，未來幾年有望實現穩健成長

44、。（2）電子元器件電子元器件業務業務，預計 2023-25 年營收為 27/32/39 億元，YoY 分別為 5%/20%/20%，對應毛利率為 70%/71%/72%。公司在電子元器件業務中主要是石英晶體器件、石英微機電傳感器、高精密電阻器、鉭電容器、微波組件、模擬芯片、模塊電源等產品，23 年業績主要受到行業景氣度影響，后續隨著公司產品品類持續拓展，下游需求回升，有望迎來進一步增長，且毛利率也有望得以提升。圖表圖表18：公司營業收入拆分預測：公司營業收入拆分預測 業務類型業務類型 指標指標 2021 2022 2023E 2024E 2025E 總計 營收（億元）96.83 146.88

45、220.79 299.90 396.40 YoY 60%52%50%36%32%毛利率 39%44%42%43%43%電子工藝裝備 營收（億元）79.48 120.85 192.77 266.47 356.48 YoY 63%52%60%38%34%毛利率 33.00%37.70%38.00%39.00%40.00%電子元器件 營收（億元）17.15 25.74 27.03 32.43 38.92 YoY 47%50%5%20%20%毛利率 68.90%72.53%70.00%71.00%72.00%來源：wind，中泰證券研究所 綜上，我們預計 2023-2025 年公司營業收入分別為 22

46、1/300/396 億元，YoY 分別為 50%/36%/32%，對應毛利率為 42%/43%/43%。歸母凈利潤分別為 39/54/72 億元，同比增長 66%/40%/32%。我們選取同為處于業務爆發期的設備公司芯源微、中微公司、拓荊科技作為公司的可比公司，可計算得可比公司 2023-25 年 PE 分別為 49/37/28 倍，同期公司 PE 為41/29/22 倍，低于可比公司平均水平?？紤]到公司在半導體設備領域的平臺化優勢，以及大陸晶圓制造升級的確定性，結合公司估值情況，給予公司“買入”評級。請務必閱讀正文之后的重要聲明部分請務必閱讀正文之后的重要聲明部分 -13-公司公司深度深度報

47、告報告 圖表圖表19：可比公司估值：可比公司估值表（截至表（截至2024年年4月月22日日）凈利潤凈利潤（億元）（億元）PE 代碼代碼 公司公司 市值市值 2022 2023E 2024E 2025E 2022 2023E 2024E 2025E 688037.SH 芯源微 129.34 2.00 2.51 4.05 5.68 64.62 51.62 31.93 22.76 688012.SH 中微公司 833.94 11.70 17.86 21.17 26.81 71.29 46.70 39.39 31.11 688072.SH 拓荊科技 328.20 3.69 6.65 8.31 11.3

48、9 89.06 49.38 39.48 28.82 行業平均 74.99 49.23 36.93 27.56 002371.SZ 北方華創 1579.85 23.53 38.99 54.41 71.71 67.15 40.52 29.04 22.03 來源：wind，中泰證券研究所，中微公司凈利潤預測來自中泰證券，其余來自 Wind 一致預期。請務必閱讀正文之后的重要聲明部分請務必閱讀正文之后的重要聲明部分 -14-公司公司深度深度報告報告 四、風險提示四、風險提示 下游大型晶圓廠擴產不及預期：下游大型晶圓廠引領設備升級，并且奠定了設備板塊基本的需求規模。若下游大型晶圓廠擴產不及預期，恐影響公

49、司訂單增長預期。行業競爭加?。簢鴥韧厍G科技、中微公司、微導納米、盛美上海等公司亦布局相關產品，對公司形成競爭。行業規模測算偏差風險：報告中的行業規模測算是基于一定的假設條件，存在不及預期風險。研報使用信息更新不及時：研報使用信息為公開信息和調研數據，可能因為信息更新不及時產生一定影響。請務必閱讀正文之后的重要聲明部分請務必閱讀正文之后的重要聲明部分 -15-公司公司深度深度報告報告 來源：中泰證券研究所 請務必閱讀正文之后的重要聲明部分請務必閱讀正文之后的重要聲明部分 -16-公司公司深度深度報告報告 投資評級說明：投資評級說明：評級評級 說明說明 股票評級股票評級 買入 預期未來 612 個

50、月內相對同期基準指數漲幅在 15%以上 增持 預期未來 612 個月內相對同期基準指數漲幅在 5%15%之間 持有 預期未來 612 個月內相對同期基準指數漲幅在-10%+5%之間 減持 預期未來 612 個月內相對同期基準指數跌幅在 10%以上 行業評級行業評級 增持 預期未來 612 個月內對同期基準指數漲幅在 10%以上 中性 預期未來 612 個月內對同期基準指數漲幅在-10%+10%之間 減持 預期未來 612 個月內對同期基準指數跌幅在 10%以上 備注：評級標準為報告發布日后的 612 個月內公司股價（或行業指數）相對同期基準指數的相對市場表現。其中 A 股市場以滬深 300 指

51、數為基準；新三板市場以三板成指（針對協議轉讓標的）或三板做市指數（針對做市轉讓標的）為基準；香港市場以摩根士丹利中國指數為基準，美股市場以標普 500 指數或納斯達克綜合指數為基準（另有說明的除外）。請務必閱讀正文之后的重要聲明部分請務必閱讀正文之后的重要聲明部分 -17-公司公司深度深度報告報告 重要聲明：重要聲明：中泰證券股份有限公司（以下簡稱“本公司”）具有中國證券監督管理委員會許可的證券投資咨詢業務資格。中泰證券股份有限公司（以下簡稱“本公司”）具有中國證券監督管理委員會許可的證券投資咨詢業務資格。本公司不會因接收人收到本報告而視其為客戶。本公司不會因接收人收到本報告而視其為客戶。本報

52、告基于本公司及其研究人員認為可信的公開資料或實地調研資料，反映了作者的研究觀點，力求獨立、客觀和公正，結論不受任何第三方的授意或影響。本公司力求但不保證這些信息的準確性和完整性，且本報告中的資料、意見、預測均反映報告初次公開發布時的判斷，可能會隨時調整。本公司對本報告所含信息可在不發出通知的情形下做出修改，投資者應當自行關注相應的更新或修改。本報告所載的資料、工具、意見、信息及推測只提供給客戶作參考之用，不構成任何投資、法律、會計或稅務的最終操作建議，本公司不就報告中的內容對最終操作建議做出任何擔保。本報告中所指的投資及服務可能不適合個別客戶，不構成客戶私人咨詢建議。市場有風險，投資需謹慎。在任何情況下，本公司不對任何人因使用本報告中的任何內容所引致的任何損失負任何責任。投資者應注意，在法律允許的情況下，本公司及其本公司的關聯機構可能會持有報告中涉及的公司所發行的證券并進行交易，并可能為這些公司正在提供或爭取提供投資銀行、財務顧問和金融產品等各種金融服務。本公司及其本公司的關聯機構或個人可能在本報告公開發布之前已經使用或了解其中的信息。本報告版權歸“中泰證券股份有限公司”所有。事先未經本公司書面授權，任何機構和個人，不得對本報告進行任何形式的翻版、發布、復制、轉載、刊登、篡改，且不得對本報告進行有悖原意的刪節或修改。