華卓精科：北京華卓精科科技股份有限公司科創板首次公開發行股票招股說明書（上會稿）.pdf

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1、 wuy 才才 北京華卓精科科技股份有限公司北京華卓精科科技股份有限公司（Beijing U-PRECISION TECH CO.,LTD.）（北京市北京經濟技術開發區經海四路（北京市北京經濟技術開發區經海四路 156 號院號院 10 號樓號樓 4 層）層）首次公開發行股票并在科創板上市首次公開發行股票并在科創板上市 招股說明書招股說明書（上會上會稿）稿）保薦機構（主承銷商）保薦機構（主承銷商）北京市西城區金融大街 5 號（新盛大廈）12、15 層 聯席主承銷商聯席主承銷商 北京市朝陽區建國門外大街 1 號國貿大廈 2 座 27 層及 28 層 本次股票發行后擬在科創板市場上市，該市場具有較高

2、的投資風險?？苿摪骞揪哂醒邪l投入大、經營風險高、業績不穩定、退市風險大等特點，投資者面臨較大的市場風險。投資者應充分了解科創板市場的投資風險及本公司所披露的風險因素，審慎作出投資決定。本公司的發行尚需經上海證券交易所和中國證監會履行相應程序，本招股說明書不具有據以發行股票的法律效力，僅供預先披露之用。投資者應當以正式公告的招股說明書作為投資決定的依據。北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-1 聲明及承諾聲明及承諾 中國證監會、交易所對本次發行所作的任何決定或意見，均不表明其對注冊申請文件及所披露信息的真實性、準確性、完整性作出保證，也不表明其對發行人的盈利能力、投資價值或

3、者對投資者的收益做出實質性判斷或保證。任何與之相反的聲明均屬虛假不實陳述。根據證券法的規定，股票依法發行后，發行人經營與收益的變化，由發行人自行負責；投資者自主判斷發行人的投資價值，自主作出投資決策，自行承擔股票依法發行后因發行人經營與收益變化或者股票價格變動引致的投資風險。發行人及全體董事、監事、高級管理人員承諾招股說明書及其他信息披露資料不存在虛假記載、誤導性陳述或重大遺漏，并對其真實性、準確性、完整性承擔個別和連帶的法律責任。發行人控股股東、實際控制人承諾本招股說明書不存在虛假記載、誤導性陳述或重大遺漏，并對其真實性、準確性、完整性承擔個別和連帶的法律責任。公司負責人和主管會計工作的負責

4、人、會計機構負責人保證招股說明書中財務會計資料真實、完整。發行人及全體董事、監事、高級管理人員、發行人的控股股東、實際控制人以及保薦人、承銷的證券公司承諾因發行人招股說明書及其他信息披露資料有虛假記載、誤導性陳述或者重大遺漏，致使投資者在證券發行和交易中遭受損失的，將依法賠償投資者損失。保薦人及證券服務機構承諾因其為發行人本次公開發行制作、出具的文件有虛假記載、誤導性陳述或者重大遺漏，給投資者造成損失的，將依法賠償投資者損失。北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-2 發行概況發行概況 發行股票類型發行股票類型 人民幣普通股（A 股）發行股數發行股數 本次公開發行股票的數量為

5、 8,000 萬股，且發行數量占公司發行后總股本的比例不低于 25%，最終以中國證監會同意注冊的數量為準。本次發行全部為公開發行新股，發行人原股東在本次發行中不公開發售股份。每股面值每股面值 人民幣 1.00 元 每股發行價格每股發行價格 人民幣【】元 預計發行日期預計發行日期【】年【】月【】日 擬上市證券交易所和板塊擬上市證券交易所和板塊 上海證券交易所科創板 發行后總股本發行后總股本 32,000 萬股 保薦人（主承銷商）保薦人（主承銷商）東興證券股份有限公司 聯席主承銷商聯席主承銷商 中國國際金融股份有限公司 招股說明書簽署日期招股說明書簽署日期【】年【】月【】日 北京華卓精科科技股份有

6、限公司 招股說明書（上會稿）1-1-3 重大事項提示重大事項提示 公司特別提請投資者注意，在做出投資決策之前，務必認真閱讀本招股說明書正文內容，并特別關注以下事項。一、需要特別關注的風險因素一、需要特別關注的風險因素 本公司提醒投資者認真閱讀本招股說明書的第四節 風險因素部分，并特別注意下列事項：（一一）公司銷售收入規模較小、銷售結構尚未穩定引起持續穩定經營和未來公司銷售收入規模較小、銷售結構尚未穩定引起持續穩定經營和未來發展不確定性的風險乃至未來經營業績大幅下滑的風險發展不確定性的風險乃至未來經營業績大幅下滑的風險 報告期內，公司的晶圓級鍵合設備、激光退火設備和光刻機雙工件臺處于產品商業化初

7、期，客戶相對較少，尚未形成規?；a品銷售，導致公司整體銷售規模較小，銷售結構尚未穩定，存在較大的變動。報告期各期，公司銷售收入分別為 8,570.92 萬元、12,096.58 萬元和 15,234.06 萬元，其中如晶圓級鍵合設備及技術開發報告期各期收入分別為 200.00 萬元、2,561.95 萬元和 1,458.94 萬元，激光退火設備報告期各期收入分別為0.00萬元、1,017.70萬元和1,637.17萬元，光刻機雙工件臺模塊及技術開發報告期各期收入 795.00 萬元、0.00 萬元和1,737.74 萬元。公司部分產品報告期內的銷售收入尚未穩定，存在較大波動，從而引起公司的銷售

8、結構在報告期各期發生一定的變動。如果公司未來超精密測控裝備整機及光刻機雙工件臺等產品不能形成規?；N售或部分產品開發不及預期，可能會導致公司的主要產品銷售收入呈現不同程度下降，從而引起公司產品銷售結構繼續發生變動，并對公司持續穩定經營、未來整體銷售規模、經營業績、未來發展造成不利影響，乃至引起公司總體經營業績大幅下滑。如果公司未來不能形成具有較強競爭力的核心產品、業務布局和商業模式，公司存在未來經營業績及收入下滑的風險，亦會存在難以持續經營和未來發展前景較大不確定性的風險。（二二）公司光刻機雙工件臺產品客戶單一且對單一客戶存在依賴，商業化前）公司光刻機雙工件臺產品客戶單一且對單一客戶存在依賴，

9、商業化前景不明朗及部分產品商業化不及預期的風險景不明朗及部分產品商業化不及預期的風險 報告期內報告期內，公司光刻機雙工件臺產品公司光刻機雙工件臺產品客戶單一。光刻機雙工件臺模塊及技術開發客戶僅有上海微電子，且目前國內客戶僅有上海微電子有該類產品采購需求，北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-4 公司光刻機雙工件臺模塊及技術開發銷售對其具有依賴性，2018 年、2020 年實現收入 795.00 萬元、1,737.74 萬元。全球光刻機市場主要由境外廠商主導，中國光刻機市場仍處于起步階段。光全球光刻機市場主要由境外廠商主導，中國光刻機市場仍處于起步階段。光刻機工件臺是光刻機的

10、核心子系統之一，國際主要光刻機整機生產廠商為刻機工件臺是光刻機的核心子系統之一，國際主要光刻機整機生產廠商為 ASMLASML、尼康、佳能，尼康、佳能，前述三家廠商合計市場份額超過前述三家廠商合計市場份額超過 90%90%。尼康和佳能都是自主研發生。尼康和佳能都是自主研發生產工件臺，產工件臺，ASMLASML 的高端的高端工件臺也是自主研發生產，公司向這三家銷售光刻機雙工件臺也是自主研發生產，公司向這三家銷售光刻機雙工件臺的機會較小。上海微電子在光刻設備領域代表國內最先進的技術，是國內工件臺的機會較小。上海微電子在光刻設備領域代表國內最先進的技術，是國內領先的半導體設備廠商。上海微電子作為公司

11、目前光刻機雙工件臺產品的唯一客領先的半導體設備廠商。上海微電子作為公司目前光刻機雙工件臺產品的唯一客戶，公司在雙工件臺業務上對其存在依賴。戶，公司在雙工件臺業務上對其存在依賴。影響光刻機雙工件臺商業化的主要因素包括公司產品開影響光刻機雙工件臺商業化的主要因素包括公司產品開發進度、光刻機整機發進度、光刻機整機及系統部件的技術發展、半導體設備的國產化率等。由于光刻機雙工件臺技術開及系統部件的技術發展、半導體設備的國產化率等。由于光刻機雙工件臺技術開發難度大、周期長并且涉及多個交叉領域，公司前期產品開發進度相對較緩；光發難度大、周期長并且涉及多個交叉領域，公司前期產品開發進度相對較緩；光刻機雙工件臺

12、的產業化程度依賴國內刻機雙工件臺的產業化程度依賴國內 ICIC 前道光刻機整機的產業化進程，而后者前道光刻機整機的產業化進程，而后者還受到諸如光源、投影物鏡等其他整機部件以及整機集成技術發展的制約；在國還受到諸如光源、投影物鏡等其他整機部件以及整機集成技術發展的制約；在國內晶圓廠擴產、中美貿易摩擦的背景下，國家高度重視和大力支持半導體設備國內晶圓廠擴產、中美貿易摩擦的背景下，國家高度重視和大力支持半導體設備國產化，但國產光刻機需要經歷客戶驗證、產能爬坡等階段，規?；纳虡I應用尚產化，但國產光刻機需要經歷客戶驗證、產能爬坡等階段，規?；纳虡I應用尚需時日。需時日。目前，公司研發、生產的光刻機雙工

13、件臺下游客戶僅有上海微電子，導致目前，公司研發、生產的光刻機雙工件臺下游客戶僅有上海微電子，導致公公司光刻機雙工件臺產品最終實現商業化應用受限于上海微電子光刻機整機集成司光刻機雙工件臺產品最終實現商業化應用受限于上海微電子光刻機整機集成進度及上海微電子對外銷售情況，即受限于上海微電子光刻機所獲商業訂單及生進度及上海微電子對外銷售情況，即受限于上海微電子光刻機所獲商業訂單及生產排期的影響。一定程度上，公司光刻機雙工件臺產品商業化前景取決于上海微產排期的影響。一定程度上，公司光刻機雙工件臺產品商業化前景取決于上海微電子光刻機整機銷售情況。電子光刻機整機銷售情況。若發行人光刻機雙工件臺產品開發進度緩

14、慢，光刻機其他整機部件以及整機若發行人光刻機雙工件臺產品開發進度緩慢，光刻機其他整機部件以及整機集成技術發展滯緩，半導體設備國產化未達預期，將對發行人光刻機雙工件臺商集成技術發展滯緩，半導體設備國產化未達預期，將對發行人光刻機雙工件臺商業化帶來不利影響，光刻機雙工件臺商業化前景尚不明朗。業化帶來不利影響，光刻機雙工件臺商業化前景尚不明朗。此外此外，報告期內，晶圓級鍵合設備及技術開發實現收入的客戶為上海集成、先方半導體、東途自動化，報告期各期實現收入分別為 200.00 萬元、2,561.95萬元和 1,458.94 萬元；報告期內，激光退火設備實現收入的客戶為燕東微電子、泰科天潤，2019 年

15、及 2020 年實現收入 1,017.70 萬元、1,637.17 萬元。若公司上述產品因技術或客戶需求等原因導致產業化不及預期，則可能對公司未來的經北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-5 營業績造成不利影響。同時，公司業務拓展及收入增長受到行業政策、國際政治經濟環境、國內宏觀經濟形勢、公司的市場開拓、市場競爭、新產品推出節奏、新產品比較優勢、在手訂單執行情況等多種因素的影響。因此，如果上述因素發生不利變動，將對公司業務拓展、收入增長和公司持續經營和未來發展前景帶來不利影響。（三三）公司在技術水平、產業化程度等方面與國際領先企業仍存在差距公司在技術水平、產業化程度等方面與

16、國際領先企業仍存在差距 國際領先的半導體設備廠商進入市場多年，擁有充足的資本支持，通過客戶工藝互動和市場積累，在技術和產品研發方面擁有先發優勢，公司部分產品技術水平還落后于國際領先企業。具體而言，公司的晶圓級鍵合設備產品落后競爭對手；激光退火設備在部分指標上仍處于劣勢；精密運動系統在產品線的豐富度方面落后于國際龍頭企業；靜電卡盤在產品線構成、應用制程和應用領域等方面仍有待加強。截至本招股說明書簽署日，公司截至本招股說明書簽署日，公司DWSDWS系列光刻機系列光刻機雙工件臺累計發貨雙工件臺累計發貨4 4臺，目臺，目前仍處于與上海微電子光刻機整機集成、測試階段，尚未通過上海微電子最終驗前仍處于與上

17、海微電子光刻機整機集成、測試階段，尚未通過上海微電子最終驗收。收。目前市場上主流應用的光刻機按光源類型可分為五類：目前市場上主流應用的光刻機按光源類型可分為五類：I I-lineline光刻機、光刻機、KrFKrF光刻機、光刻機、ArFArF光刻機、光刻機、ArFiArFi光刻機（即光刻機（即ArFArF浸沒式光刻機）、浸沒式光刻機）、EUVEUV光刻機，其作為光刻機，其作為關鍵關鍵層主力機型的最小制程工藝節點分別為層主力機型的最小制程工藝節點分別為250nm250nm、90nm90nm、65nm65nm、7nm7nm、3nm3nm。前。前述光刻機中與述光刻機中與工件臺相關的有兩個分系統：工件

18、臺分系統、位移測量反饋分系統。工件臺相關的有兩個分系統：工件臺分系統、位移測量反饋分系統。公司公司DWSDWS系列采用磁懸浮平面電機雙工系列采用磁懸浮平面電機雙工件臺架構，其對應的位移測量反饋分件臺架構，其對應的位移測量反饋分系統采用激光干涉位移測量，主要適用于干式步進掃描式投影光刻機（系統采用激光干涉位移測量，主要適用于干式步進掃描式投影光刻機（I I-lineline、KrFKrF、ArFArF干式光刻機），可用于干式光刻機），可用于65nm65nm及以上工藝節點及以上工藝節點ICIC前道光刻機。適用于前道光刻機。適用于ArFiArFi光刻機的光刻機的DWSiDWSi系列尚在研發中。系列尚

19、在研發中。ASMLASML的的光刻機光刻機包括包括TWINSCAN XTTWINSCAN XT、TWINSCAN NXTTWINSCAN NXT、TWINSCAN NTWINSCAN NXEXE三個系列產三個系列產品，其中品，其中XTXT系列系列光刻機的光刻機的第一代雙工件臺，采用直線電機加氣浮導軌的雙工件第一代雙工件臺，采用直線電機加氣浮導軌的雙工件臺架構，對應的位移測量反饋分系統采用激光干涉位移測量，可應用于前道干式臺架構，對應的位移測量反饋分系統采用激光干涉位移測量，可應用于前道干式/浸沒式光刻機（浸沒式光刻機（i i-lineline、KrFKrF、ArFArF、ArFiArFi）；）

20、；NXTNXT系列系列光刻機光刻機則主要使用第二則主要使用第二代雙工件臺，采用磁懸浮平面電機雙工件臺架構，其對應的位移測量反饋分系統代雙工件臺，采用磁懸浮平面電機雙工件臺架構，其對應的位移測量反饋分系統采用平面光柵位移測量，應用于前道干式采用平面光柵位移測量，應用于前道干式/浸沒式光刻機（浸沒式光刻機（ArFArF、ArFiArFi）；）；NXENXE系系北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-6 列列光刻機光刻機采用改進后的第二代雙工件臺（真空兼容），并重新采用激光干涉位移采用改進后的第二代雙工件臺（真空兼容），并重新采用激光干涉位移測量，主要應用于前道極紫外（測量，主要應

21、用于前道極紫外（EUVEUV）光刻機。）光刻機。公司公司DWSDWS系列產品和研發中的系列產品和研發中的DWSiDWSi在雙工件臺架構上跨過了在雙工件臺架構上跨過了ASMLASML的的XTXT產品產品使用的技術，與使用的技術，與NXTNXT產品雙工產品雙工件臺架構相同，均為磁懸浮平面電機雙工件臺，其件臺架構相同，均為磁懸浮平面電機雙工件臺，其與與NXENXE中中雙工件臺的區別主要體現在真空兼容性方面?？傮w而言，公司雙工件臺的區別主要體現在真空兼容性方面?？傮w而言，公司DWSDWS系列系列光刻機雙工件臺產品與國際領先公司最新推出的干式深紫外（光刻機雙工件臺產品與國際領先公司最新推出的干式深紫外（

22、DUVDUV）光刻機工件）光刻機工件臺使用相同的雙工件臺架構，但性能尚落后于競爭對手；應用于浸沒式光刻機的臺使用相同的雙工件臺架構，但性能尚落后于競爭對手；應用于浸沒式光刻機的DWSiDWSi系列產品仍處于研發中；在極紫外（系列產品仍處于研發中；在極紫外（EUVEUV）光刻機工件臺方面，公司尚未推）光刻機工件臺方面，公司尚未推出產品?？傮w上，現階段公司出產品?？傮w上，現階段公司DWSDWS雙工雙工件臺產品在光刻機整機應用上與國際領先件臺產品在光刻機整機應用上與國際領先產品產品存在代際差異。存在代際差異。根據北京半導體協會統計，根據北京半導體協會統計，20202020 年全球年全球 ICIC 前

23、道光刻機銷售數量為前道光刻機銷售數量為 413413 臺，臺，其中其中 I I-lineline 光刻機、光刻機、KrFKrF 光刻機、光刻機、ArFArF 光刻機、光刻機、ArFiArFi 光刻機、光刻機、EUVEUV 光刻機銷售光刻機銷售數量分別為數量分別為 127127 臺、臺、143143 臺、臺、3333 臺、臺、7979 臺和臺和 3131 臺，臺，I I-lineline 光刻機、光刻機、KrFKrF 光刻機、光刻機、ArFArF 光刻機合計銷量占光刻機合計銷量占 20202020 年度全球年度全球 ICIC 前道光刻機銷量的前道光刻機銷量的 73.37%73.37%，因此前道，

24、因此前道光刻機市場以銷售量來說仍以光刻機市場以銷售量來說仍以 I I-lineline 光刻機、光刻機、KrFKrF 光刻機、光刻機、ArFArF 光刻機為主，光刻機為主，干式光刻機雙工件臺具有干式光刻機雙工件臺具有較大較大的市場空間。但是公司已發出的的市場空間。但是公司已發出的 D DWSWS 光刻機雙工光刻機雙工件臺產品部分技術指標落后件臺產品部分技術指標落后于競爭對手，與最先進于競爭對手，與最先進 EUVEUV 光刻機所使用的工件臺光刻機所使用的工件臺性能相比，仍然有較大的差距。隨著性能相比，仍然有較大的差距。隨著 ICIC 制程不斷向前推進，制程不斷向前推進，ICIC 元件將更加復雜，

25、元件將更加復雜，平均所需的曝光層數不斷增多，高端光刻機如平均所需的曝光層數不斷增多，高端光刻機如 ArFiArFi 光刻機、光刻機、EUVEUV 光刻機市場占光刻機市場占有率將逐步提升，逐步降低干式光刻機配置比例。受此影響，干式光刻機市場份有率將逐步提升，逐步降低干式光刻機配置比例。受此影響，干式光刻機市場份額會相應縮小，對公司未來干式光刻機雙工件臺銷售可能造成不利影響。額會相應縮小，對公司未來干式光刻機雙工件臺銷售可能造成不利影響。公司目前積極研發超精密測控領域的半導體設備及部件，但除精密運動系統、靜電卡盤和隔振器外，包括晶圓級鍵合設備、激光退火設備等在內的產品仍處于小批量定制生產階段，尚未

26、實現規?；慨a，光刻機雙工件臺產品光刻機雙工件臺產品尚未尚未通過通過下游客戶的驗收下游客戶的驗收。公司在技術指標、產品線構成、產品迭代情況、應用領域、產業化程度、銷售規模等方面與國際領先企業仍存在一定差距。若公司無法彌補與國際龍頭企業之間的技術差距，或無法實現產品的規?；慨a，將對公司業務拓展、收入增長和持續經營帶來不利影響。北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-7（四四）共同擁有專利及獨占實施許可專利重大變化的經營風險共同擁有專利及獨占實施許可專利重大變化的經營風險 截至 2021 年 6 月 30 日，發行人與清華大學共同所有 162 項專利技術以及1 項獨占實施許可專

27、利。對于共同擁有的 162 項專利，發行人與清華大學通過協議約定了發行人具有該部分專利技術的獨占實施權，清華大學具有收益分配的權利。在協議正常履行的情況下，發行人與清華大學共同所有的專利技術由發行人獨占實施；若發行人與清華大學的協議由于不可抗力或其他因素如清華大學違反協議約定，導致協議無效、終止或者清華大學停止授權或授權第三方使用該部分專利技術等引起不利于發行人的變化，則可能導致該等共有專利權屬及經授權使用獨占實施許可專利事項產生糾紛，則發行人的獨占實施可能會因前述情況受到一定的影響，則可能對發行人的生產經營活動造成不利影響。截至 2021 年 6 月 30 日，公司與清華大學因合作研發項目但

28、未明確約定收益共享方式的共同申請專利中，已授權專利 9 項、在審專利 9 項。目前公司正在與清華大學參照歷史轉讓方式進行協商；公司現有 15 項（其中 3 項與公司主營業務無關）和在審的 4 項專利權人屬于公司但專利發明人涉及公司聘請的清華大學兼職人員，清華大學可能對相關專利主張權利，公司為避免相關專利權利受到影響，正在與清華大學協商相關專利的解決方案；同時，根據清華大學關于知識產權的相關規定，學校師生從事學校分配的任務所申請的專利屬于職務發明，應將清華大學列為專利申請人。清華大學可能據此主張公司聘請的清華大學兼職人員所參與申請的專利與發行人共有，未來如若公司聘請的清華大學兼職人員繼續參與公司

29、新增專利申請，需要與清華大學共享相關專利權益，則會對公司獨享相關專利的權益造成不利影響，進而可能對公司未來生產經營造成不利影響。（五五）政府補助政策變動的風險政府補助政策變動的風險 為鼓勵集成電路行業的發展，我國中央財政給予大力支持。報告期內，公司收到的政府補助分別為 13,931.25 萬元、32,136.67 萬元和 26,651.20 萬元。如果未來公司無法繼續享受上述政府補助，將影響公司的技術研發投入，影響公司維持技術先進性，進而可能影響公司的經營活動，對公司未來經營業績造成一定不利影響。（六六）關鍵技術人員流失以及核心技術泄密風險關鍵技術人員流失以及核心技術泄密風險 作為技術密集型企

30、業，核心技術對公司的發展起著舉足輕重的作用。公司長北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-8 期致力于集成電路制造裝備及其核心部件、精密和超精密運動系統的研發、生產。關鍵核心技術人員對公司的研發創新、技術突破起著至關重要的作用。隨著半導體設備行業對專業技術人才的爭奪日趨激烈，如果公司未來無法有效保留關鍵技術人員和研發團隊，或無法進一步吸引優秀人才，都可能導致公司面臨頂尖技術人才不足，進而導致公司在技術突破和產品穩定性以及創新性方面落后于競爭對手的風險。隨著市場的變化，存在因核心技術人員流失或工作失誤，導致核心技術泄露的風險，若同行業競爭企業獲悉公司核心技術，將對公司的生產經營

31、和發展產生不利影響。同時，截至本招股說明書簽署日，公司部分清華大學的兼職人員擔任公司的同時，截至本招股說明書簽署日，公司部分清華大學的兼職人員擔任公司的首席科學家、核心技術人員、技術顧問或從事技術支持相關工作，相關情況如下：首席科學家、核心技術人員、技術顧問或從事技術支持相關工作，相關情況如下：姓名姓名 在清華大學任職情況在清華大學任職情況 在在公司公司處兼職情況處兼職情況 朱煜朱煜 長聘教授、博士生導師長聘教授、博士生導師 董事、首席科學家、核心技術人員董事、首席科學家、核心技術人員 張鳴張鳴 副研究員副研究員 董事、核心技術人員、技術顧問董事、核心技術人員、技術顧問 楊開明楊開明 副研究員

32、副研究員 董事、技術顧問董事、技術顧問 王磊杰王磊杰 助理研究員助理研究員 顧問顧問 朱煜、張鳴、楊開明、王磊杰已取得清華大學兼職批復，作為兼職人員在發朱煜、張鳴、楊開明、王磊杰已取得清華大學兼職批復，作為兼職人員在發行人處工作。鑒于上述人員尚未完全從清華大學離職且兼職批復到期后仍需清華行人處工作。鑒于上述人員尚未完全從清華大學離職且兼職批復到期后仍需清華大學審批，盡管朱煜、張鳴、楊開明、王磊杰已出具相關承諾，承諾大學審批，盡管朱煜、張鳴、楊開明、王磊杰已出具相關承諾，承諾如果如果發行人發行人順利上市，在本次兼職期限屆滿前，將根據發行人的實際需要，向清華大學辦理順利上市，在本次兼職期限屆滿前，

33、將根據發行人的實際需要，向清華大學辦理兼職批復，繼續在發行人處從事兼職工作，如未能重新取得清華大學同意兼職的兼職批復，繼續在發行人處從事兼職工作，如未能重新取得清華大學同意兼職的批復，則將從清華大學辦理離職手續并全職在發行人處工作，但仍存在相關人員批復，則將從清華大學辦理離職手續并全職在發行人處工作，但仍存在相關人員不履行承諾或履行承諾后因個人原因從發行人處流失的風險，則可能對發行人造不履行承諾或履行承諾后因個人原因從發行人處流失的風險，則可能對發行人造成一定不利風險。成一定不利風險。（七七）季節性經營業績波動的風險）季節性經營業績波動的風險 公司主要產品包括精密運動系統、光刻機雙工件臺模塊、

34、靜電卡盤和隔振器等超精密測控設備部件及晶圓級鍵合設備、激光退火設備等超精密測控設備整機，以及上述部分主要產品的技術開發服務。一般情況下，在每年的上半年由客戶向公司下訂單，公司于下半年特別是第四季度向客戶交付相關的技術成果或產品。報告期內，公司主營業務收入按季度劃分的具體情況如下：報告期內，公司主營業務收入按季度劃分的具體情況如下：北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-9 單位：萬元單位：萬元 季度季度 20202020 年度年度 20192019 年度年度 20182018 年度年度 金額金額 占比占比 金額金額 占比占比 金額金額 占比占比 一季度一季度 1,010.65

35、1,010.65 6.64%6.64%762.06 762.06 6.30%6.30%341.14341.14 3.98%3.98%二季度二季度 2,456.452,456.45 16.15%16.15%2,571.03 2,571.03 21.25%21.25%1,959.131,959.13 22.86%22.86%三季度三季度 3,010.653,010.65 19.79%19.79%2,874.58 2,874.58 23.76%23.76%1,183.081,183.08 13.80%13.80%四季度四季度 8,734.088,734.08 57.42%57.42%5,888.65

36、 5,888.65 48.68%48.68%5,087.575,087.57 59.36%59.36%主營業務收入主營業務收入 15,211.8315,211.83 100.00%100.00%12,096.32 12,096.32 100.00%100.00%8,570.928,570.92 100.00%100.00%由上由上表表所示，所示，公司每年上半年形成的收入相對較低，而下半年形成的收入相對較大，特別是第四季度的收入一般而言占全年的收入比重是四個季度中最高的。公司每年在各個季度之間會存在經營業績的不均衡分布，投資者不能以單個季度或半年的經營業績簡單推測全年的業績水平，同時，若公司下半

37、年或第四季度經營情況不及預期，則會對公司全年經營業績造成一定不利影響。（八八）國際宏觀環境惡化風險）國際宏觀環境惡化風險 隨著我國崛起，我國經濟在國際經濟中起到的作用越來越大，國際競爭激烈，各種不穩定因素頻現，國際貿易摩擦也頻現，部分國家通過貿易保護的手段試圖制約我國相關產業的發展。由于中美貿易摩擦存在不確定性，若美國出臺相關貿易限制性政策使得公司用于生產經營的原材料無法從美國采購，在短時間內公司調整供應鏈可能導致部分產品無法及時交付并且無法確認收入。若國際宏觀環境惡化，國外供應商無法及時供貨，導致公司無法從境外購買相關原材料，將對公司研發及正常生產經營產生不利影響。二二、本次發行相關主體作出

38、的重要承諾、本次發行相關主體作出的重要承諾 本公司提示投資者認真閱讀本次發行相關主體作出的重要承諾以及未能履行承諾的約束措施，具體承諾事項請參見本招股說明書第十節 投資者保護之五、重要承諾、未能履行承諾的約束措施以及已觸發履行條件的承諾事項的履行情況。三三、本次發行上市后的股利分配政策、本次發行上市后的股利分配政策 詳見本招股說明書之第十節 投資者保護之二、股利分配政策。北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-10 四四、滾存利潤分配方案、滾存利潤分配方案 詳見本招股說明書之第十節 投資者保護之三、本次發行完成前滾存利潤的分配安排和已履行的決策程序。五五、財務報告審計截止日后

39、、財務報告審計截止日后主要主要財務信息及財務信息及經營狀況經營狀況（一）財務報告審計基準日后主要財務信息（一）財務報告審計基準日后主要財務信息 1 1、審閱情況、審閱情況 公司財務報告審計截止日為公司財務報告審計截止日為 20202020 年年 1212 月月 3131 日。大華會計師審閱了公司財日。大華會計師審閱了公司財務報表，包括務報表，包括 2022021 1 年年 3 3 月月 3131 日的合并資產負債表，日的合并資產負債表，2022021 1 年年 1 1 月月至至 3 3 月的合并月的合并利潤表、合并現金流量表、合并股權權益變動表以及相關財務報表附注，出具了利潤表、合并現金流量表

40、、合并股權權益變動表以及相關財務報表附注，出具了“大華核字“大華核字2021008746 2021008746 號”審閱報告，并發表了如下意見：“根據我們的號”審閱報告，并發表了如下意見：“根據我們的審閱，我們沒有注意到任何事項使我們相信財務報表沒有按照企業會計準則的規審閱，我們沒有注意到任何事項使我們相信財務報表沒有按照企業會計準則的規定編制，未能在所有重大方面公允反映華卓精科的財務狀況、經營成果和現金流定編制，未能在所有重大方面公允反映華卓精科的財務狀況、經營成果和現金流量?！绷??！? 2、財務報告審計截止日后主要財務信息、財務報告審計截止日后主要財務信息 （1 1）合并資）合并資產負債表

41、主要數據產負債表主要數據 截至截至20212021年年3 3月末，公司資產總額為月末，公司資產總額為117,472.92117,472.92萬元，較上年末萬元，較上年末減少減少6.53%6.53%，主要系主要系公司貨幣資金歸還短期借款以及貨幣資金購入公司貨幣資金歸還短期借款以及貨幣資金購入原材料原材料并投入并投入 0 02 2 專項研發專項研發所致。所致。截至截至20212021年年3 3月末，公司負債總額為月末，公司負債總額為81,407.1281,407.12萬元，較上年末萬元，較上年末減少減少8.47%8.47%，主要系公司主要系公司與政府補助資金相關的與政府補助資金相關的 0 02 2

42、 專項專項研發投入研發投入抵抵減遞延收益，以及歸還短減遞延收益，以及歸還短期借款所致。期借款所致。截至截至 20202020 年年 3 3 月末，公司所有者權益金額為月末，公司所有者權益金額為 36,065.8036,065.80 萬元，較上年末萬元，較上年末減減少少 1.83%1.83%，系公司，系公司 2 2021021 年年 1 1-3 3 月月經營虧損所致經營虧損所致。（2 2）合并利潤表主要數據）合并利潤表主要數據 公司公司20212021年年1 1-3 3月營業收入為月營業收入為1,501.701,501.70萬元，較萬元，較20192019年年1 1-3 3月月增長增長48.59

43、%48.59%，主要系公司精密運動系統銷量增加主要系公司精密運動系統銷量增加銷售收入增加。銷售收入增加。公司公司 20212021 年年 1 1-3 3 月凈利潤為月凈利潤為-707.20707.20 萬元，較萬元，較 20192019 年年 1 1-3 3 月月減少減少 452.28452.28萬元萬元，主要系公司，主要系公司 20212021 年年 1 1-3 3 月月公司公司隨著公司銀行貸款余額增加，利息費用增隨著公司銀行貸款余額增加，利息費用增加，以及隨著研發投入增加，研發費用增加所致。加，以及隨著研發投入增加，研發費用增加所致。北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1

44、-11（3 3）合并現金流量表主要數據）合并現金流量表主要數據 公司公司20212021年年1 1-3 3月月經營活動產生的現金流量凈額為經營活動產生的現金流量凈額為-9,635.399,635.39萬元，較萬元，較20202020年年 1 1-3 3 月月減少減少 4,688.884,688.88 萬元萬元，主要系隨著公司研發，主要系隨著公司研發投入的增加，公司支付的投入的增加，公司支付的其其他他與經營活動相關的現金流增加。與經營活動相關的現金流增加。公司公司20212021年年1 1-3 3月月投資活動產生的現金流量凈額為投資活動產生的現金流量凈額為-1,073.341,073.34萬元，

45、較萬元，較20202020年年 1 1-3 3 月增加月增加 2,927.862,927.86 萬元，萬元，主要系公司在建工程投入主要系公司在建工程投入減少減少，支付工程款項，支付工程款項減減少所致少所致。公司公司20212021年年1 1-3 3月月籌資活動產生的現金流量凈額為籌資活動產生的現金流量凈額為-2,434.452,434.45萬元，較萬元，較20202020年年 1 1-3 3 月減少月減少 8,950.968,950.96 萬元，萬元，主要系公司主要系公司歸還歸還銀行借款所致。銀行借款所致。（4 4）非經常性損益表主要數據）非經常性損益表主要數據 公司公司20212021年年1

46、 1-3 3月月歸屬于母公司所有者的非經常性損益合計為歸屬于母公司所有者的非經常性損益合計為67.3967.39萬元，萬元，較較 20202020 年年 1 1-3 3 月增加月增加 110.46%110.46%。（二）財務報告審計基準日后主要經營狀況（二）財務報告審計基準日后主要經營狀況 財務報告審計截止日至本招股說明書簽署日，公司經營狀況正常，主要原材料采購情況、主要產品銷售情況、主要客戶及供應商的構成情況、稅收政策以及其他可能影響投資者判斷的重大事項方面未發生重大不利變化。（三）公司（三）公司 20212021 年年 1 1-6 6 月業績預計月業績預計 公司預計公司預計 2021202

47、1 年年 1 1-6 6 月營業收入約為月營業收入約為 5 55 50000 萬元至萬元至 6 65 50000 萬元，萬元，與與 2 2020020 年年1 1-6 6與同比與同比上升上升5858.6363%-8787.47%47%；預計預計20212021年年1 1-6 6月凈利潤為月凈利潤為-1 17 70000萬元至萬元至-1 14 40000萬元，萬元，2 2020020 年年 1 1-6 6 月月同期凈虧損同期凈虧損 25.2925.29 萬元；預計萬元；預計 20212021 年年 1 1-6 6 月扣除非經常月扣除非經常性損益后歸屬于母公司股東的凈利潤為性損益后歸屬于母公司股東

48、的凈利潤為-1 19 90000 萬元至萬元至-1 16 60000 萬元，萬元，2 2020020 年年 1 1-6 6 月月扣除非經常性損益后歸屬于母公司股東的凈虧損扣除非經常性損益后歸屬于母公司股東的凈虧損 181.79181.79 萬元。公司萬元。公司 20212021 年年 1 1-6 6 月營業收入同比增長顯著，主要系下游客戶需求穩健增長所致。公司月營業收入同比增長顯著，主要系下游客戶需求穩健增長所致。公司 20212021 年年 1 1-6 6 月月凈利潤虧損金額較凈利潤虧損金額較 2 2020020 年年 1 1-6 6 月有所增加，主要系公司研發投入金額增加，月有所增加，主要

49、系公司研發投入金額增加，導致研發費用大幅增加。導致研發費用大幅增加。前述前述 20212021 年年 1 1-6 6 月業績情況系公司初步預計數據，不構成公司的盈利預測月業績情況系公司初步預計數據，不構成公司的盈利預測或業績承諾?；驑I績承諾。北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-12 目錄目錄 聲明及承諾聲明及承諾.1 發行概況發行概況.2 重大事項提示重大事項提示.3 一、需要特別關注的風險因素.3 二、本次發行相關主體作出的重要承諾.9 三、本次發行上市后的股利分配政策.9 四、滾存利潤分配方案.10 五、財務報告審計截止日后主要財務信息及經營狀況.10 目錄目錄.12

50、 第一節第一節 釋義釋義.16 一、一般名詞釋義.16 二、專業名詞釋義.21 第二節第二節 概覽概覽.25 一、發行人及本次發行的中介機構基本情況.25 二、本次發行概況.25 三、發行人主要財務數據和財務指標.27 四、發行人主營業務情況.27 五、發行人技術先進性、研發技術產業化情況以及未來發展戰略.29 六、發行人選擇的具體上市標準.32 七、發行人公司治理特殊安排等重要事項.33 八、募集資金主要用途.33 第三節第三節 本次發行概況本次發行概況.35 一、本次發行的基本情況.35 二、本次發行的有關機構.36 三、發行人與本次發行有關的中介機構的關系.38 四、本次發行的重要日期.

51、38 第四節第四節 風險因素風險因素.39 一、技術風險.39 二、經營風險.43 北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-13 三、財務風險.49 四、知識產權爭議風險.50 五、內控風險.50 六、發行失敗風險.51 七、其他風險.51 第五節第五節 發行人基本情況發行人基本情況.53 一、發行人基本情況.53 二、發行人的設立及報告期內股本和股東變化情況.53 三、發行人在其他證券市場的掛牌情況.63 四、發行人報告期內的重大資產重組情況.63 五、發行人股權結構圖.64 六、發行人組織結構.65 七、發行人控股子公司、參股公司情況.71 八、發行人實際控制人及主要股東

52、的基本情況.75 九、發行人股本情況.86 十、發行人董事、監事、高級管理人員及核心技術人員.91 十一、發行人工會持股、職工持股會持股、信托持股、委托持股或股東數量超過二百人的情況.110 十二、發行人員工及其社會保障情況.112 第六節第六節 業務與技術業務與技術.117 一、發行人主營業務基本情況.117 二、發行人所處行業的基本情況.136 三、發行人的銷售情況和主要客戶.180 四、發行人的采購情況和主要供應商.189 五、發行人主要固定資產及無形資產.195 六、發行人的技術及研發情況.202 七、發行人境外經營情況.216 第七節第七節 公司治理與獨立性公司治理與獨立性.217

53、一、股東大會、董事會、監事會、獨立董事、董事會秘書制度及董事會專門委員會的建立健全及運行情況.217 二、發行人特別表決權股份情況.219 三、發行人協議控制架構情況.219 北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-14 四、發行人管理層對內部控制的自我評價及注冊會計師的鑒證意見.220 五、發行人報告期內違法違規情況.220 六、發行人報告期內資金占用和對外擔保的情況.221 七、獨立持續經營情況.221 八、同業競爭.223 九、關聯方及關聯關系.228 十、關聯交易.235 第八節第八節 財務會計信息與管理層分析財務會計信息與管理層分析.244 一、未來影響公司盈利和財

54、務狀況的主要因素.244 二、公司報告期內財務報表.245 三、重要會計政策和會計估計.255 四、非經常性損益情況.267 五、主要稅項及稅收優惠政策.269 六、主要財務指標.271 七、經營成果分析.272 八、資產質量分析.309 九、償債能力、流動性與持續經營能力分析.328 十、發行人報告期內的重大資本性支出情況.340 十一、資產負債表日后事項、或有事項、其他重要事項以及重大擔保、訴訟等事項.341 十二、財務報告審計截止日后主要財務信息及經營狀況.342 第九節第九節 募集資金運用與未來發展規劃募集資金運用與未來發展規劃.346 一、募集資金運用概況.346 二、募集資金投資項

55、目具體情況.348 三、未來發展與規劃.360 第十節第十節 投資者保護投資者保護.365 一、投資者關系主要安排.365 二、股利分配政策.365 三、本次發行完成前滾存利潤的分配安排和已履行的決策程序.370 四、股東投票機制的建立情況.370 五、重要承諾、未能履行承諾的約束措施以及已觸發履行條件的承諾事項的履行情況.371 北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-15 第十一節第十一節 其他重要事項其他重要事項.405 一、重大合同.405 二、對外擔保情況.414 三、重大訴訟、仲裁事項.414 第十二節第十二節 聲明聲明.417 一、發行人全體董事、監事、高級管理

56、人員聲明.417 二、控股股東、實際控制人聲明.418 三、保薦機構（主承銷商）聲明.419 四、聯席主承銷商聲明.422 五、發行人律師聲明.423 六、審計機構聲明.424 七、資產評估機構聲明.425 八、驗資機構聲明.426 九、驗資復核機構聲明.432 第十三節第十三節 附件附件.433 一、招股說明書附件.433 二、查閱時間和查閱地點.433 北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-16 第一節第一節 釋義釋義 本招股說明書中，除非另有所指，下列詞語具有如下含義：一、一般名詞釋義一、一般名詞釋義 公司、發行人、股份公司、華卓精科 指 北京華卓精科科技股份有限公司

57、 華卓有限 指 北京華卓精科科技有限公司，系股份公司的前身 華卓運動 指 華卓精科（北京）精密運動系統科技有限公司 杭州天睿 指 杭州天睿精密科技有限公司 HZ Precision 指 HZ Precision,Inc 上海甫睿 指 上海甫睿精密設備有限公司 三維半導體 指 湖北三維半導體集成制造創新中心有限責任公司 芯鏈融創 指 芯鏈融創集成電路產業發展（北京)有限公司 華海清科 指 華海清科股份有限公司，原名為天津華海清科機電科技有限公司 康茂怡然 指 北京市康茂怡然科技發展有限公司 水木啟程 指 北京水木啟程創業投資中心（有限合伙）水木長風 指 北京水木長風股權投資中心（有限合伙）海淀園

58、創業服務中心 指 中關村科技園區海淀園創業服務中心 新冶精特 指 北京鋼研新冶精特科技有限公司 華卓精密 指 北京華卓精密科技有限公司 艾西精創 指 北京艾西精創科技有限公司 艾西博銳 指 天津艾西博銳科技發展合伙企業（有限合伙）艾西科技 指 天津艾西科技發展合伙企業（有限合伙）信匯科技 指 北京信匯科技有限公司 水木愿景 指 南寧水木愿景創業投資中心（有限合伙）艾西眾創 指 北京艾西眾創科技發展中心（有限合伙）渾璞集成電路 指 宿遷渾璞集成電路產業基金投資中心（有限合伙）渾璞集成二期 指 宿遷渾璞集成電路產業基金二期投資中心（有限合伙）中金公司、聯席主承銷商 指 中國國際金融股份有限公司 大

59、華大陸 指 大華大陸投資有限公司 武漢至華 指 武漢至華投資有限公司 渾璞璞玉六號 指 宿遷渾璞璞玉六號投資中心（有限合伙）中小企業發展基金 指 中小企業發展基金（深圳有限合伙）北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-17 匯天澤 指 匯天澤投資有限公司 紅星美凱龍 指 紅星美凱龍控股集團有限公司 天津清研 指 天津清研華陽投資管理有限公司 廈門博孚利 指 廈門博孚利資產管理有限公司 渾璞投資 指 霍爾果斯渾璞股權投資管理有限公司 廈門盈科德匯 指 廈門盈科德匯新能源科技有限公司 深圳招遠 指 深圳市招遠秋實投資合伙企業（有限合伙）招商投資 指 招商證券投資有限公司 上海半導

60、體基金 指 上海半導體裝備材料產業投資基金合伙企業（有限合伙）浙江祥馳 指 浙江大家祥馳資產管理有限公司 北京文華 指 北京文華創新股權投資合伙企業（有限合伙）中麗基金 指 中麗（天津）產城融合發展基金合伙企業（有限合伙）水木創信 指 北京水木創信投資管理中心（普通合伙）水木華研 指 北京水木華研投資管理有限公司 水木國鼎 指 北京水木國鼎投資管理有限公司 水木揚帆 指 北京水木揚帆創業投資中心（有限合伙）水木國信 指 共青城水木國信創業投資管理中心（有限合伙）水木嘉元 指 共青城水木嘉元創業投資中心（有限合伙）水木遠航 指 共青城水木遠航創業投資中心（有限合伙）長光華大 指 長光華大基因測序

61、設備（長春）有限公司（更名后：長春長光華大制造測序設備有限公司）中發展公司 指 中關村發展集團股份有限公司 中科飛測 指 深圳中科飛測科技有限公司 中山新諾 指 中山新諾科技股份有限公司 重慶萬國 指 重慶萬國半導體科技有限公司 士蘭微 指 杭州士蘭微電子股份有限公司 華力微電子 指 上海華力微電子有限公司 華虹宏力 指 上海華虹宏力半導體制造有限公司 上海集成 指 上海集成電路研發中心有限公司 魯汶儀器 指 江蘇魯汶儀器有限公司 上海微電子 指 上海微電子裝備（集團）股份有限公司 浙江啟爾 指 浙江啟爾機電技術有限公司 中微公司 指 中微半導體設備（上海）有限公司 燕東微電子 指 北京燕東微

62、電子科技有限公司 北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-18 芯恩集成 指 芯恩（青島）集成電路有限公司 泰科天潤 指 瀏陽泰科天潤半導體技術有限公司 寧波比亞迪 指 寧波比亞迪半導體有限公司 思沃激光 指 廣東思沃激光科技有限公司 江蘇影速 指 江蘇影速集成電路裝備股份有限公司 先方半導體 指 上海先方半導體有限公司 新昇半導體 指 上海新昇半導體科技有限公司 北方華創、七星華創 指 北方華創科技集團股份有限公司，原名為北京七星華創電子股份有限公司 華創微電子 指 北京北方華創微電子裝備有限公司，為北方華創科技集團股份有限公司全資子公司 啟迪控股 指 啟迪控股股份有限公司

63、 啟迪創業 指 北京啟迪創業孵化器有限公司 華清物業 指 北京華清物業管理有限責任公司 中科儀 指 中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司 長川科技 指 杭州長川科技股份有限公司 長江存儲 指 長江存儲科技有限責任公司 武漢新芯 指 武漢新芯集成電路制造有限公司 中芯國際 指 中芯國際集成電路制造有限公司 德淮半導體 指 德淮半導體有限公司 伊歐陸 指 蘇州伊歐陸系統集成有限公司 莫洛奇 指 莫洛奇（蘇州）科技制造有限責任公司 廣東海信 指 廣東海信寬帶科技有限公司 獵奇智能 指 蘇州獵奇智能設備有限公司 可瑞昶 指 可瑞昶科技（蘇州）有限公司 翟柯萊姆達 指 翟柯萊姆達計量設備（上海）有限公司

64、東途自動化 指 杭州東途自動化技術有限公司 住友重工 指 住友重機械工業株式會社（Sumitomo Heavy Industries,Ltd.）東京電子 指 東京電子有限公司（Tokyo Electron,Ltd.）應用材料、AMAT 指 美國應用材料公司（Applied Materials）Aerotech 指 Aerotech,Inc.ASML 指 Advanced Semiconductor Material Lithography，位于荷蘭的全球領先的光刻機生廠商 EV Group 指 EV Group,Inc.Newport 指 Newport Corporation PI 指 Ph

65、ysikInstrumente GmbH&Co.KG 北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-19 Ultratech 指 Ultra Technology Science,Inc.Veeco 指 Veeco Instruments,Inc.泛林集團、LAM 指 Lam Research Corporation 新光電氣、SHINKO 指 SHINKO ELECTRIC CO.,LTD.TOTO 指 TOTO 株式會社 02 專項 指 極大規模集成電路制造技術及成套工藝項目，因次序排在國家重大專項所列 16 個重大專項第二位，在行業內被稱為02 專項 973 計劃 指 國家重

66、點基礎研究發展計劃，旨在解決國家戰略需求中的重大科學問題，以及對人類認識世界將會起到重要作用的科學前沿問題 863 計劃 指 國家高技術研究發展計劃，是一項以我國政府為主導，以一些有限的領域為研究目標的一個基礎研究的國家性高科技發展計劃 EI 指 The Engineering Index，簡稱 EI，即工程索引，由美國工程師學會聯合會于 1884 年創辦，是世界著名的三大科技文獻檢索系統之一 NFSC 指 National Natural Science Foundation of China，簡稱 NFSC，即中華人民共和國國家自然科學基金委員會，是管理國家自然科學基金的國務院直屬事業單位

67、 SCI 指 Science Citation Index，簡稱 SCI，即科學引文索引，由美國科學信息研究所 1961 年創辦出版的引文數據庫，是世界著名的三大科技文獻檢索系統之一 SEMI 指 Semiconductor Equipment and Materials International，簡稱SEMI，國際半導體設備與材料產業協會 WSTS 指 World Semiconductor Trade Statistics，簡稱 WSTS，世界半導體貿易統計組織 公司法 指 現行有效的中華人民共和國公司法 證券法 指 現行有效的中華人民共和國證券法 公司章程 指 發行人現行有效的北京華卓

68、精科科技股份有限公司章程 公司章程（草案）指 發行人完成本次發行后適用的 北京華卓精科科技股份有限公司章程 發起人協議 指 北京華卓精科科技有限公司整體變更設立股份有限公司的發起人協議書 本次發行 指 北京華卓精科科技有限公司本次向社會公眾公開發行的面值為 1元的 8,000 萬股人民幣普通股（A 股）的行為 中國證監會、證監會 指 中國證券監督管理委員會 上交所 指 上海證券交易所 全國股轉系統、新三板 指 全國中小企業股份轉讓系統 全國股轉公司 指 全國中小企業股份轉讓系統有限責任公司 海淀區工商局 指 北京市工商行政管理局海淀分局 北京經開區工商局 指 北京市工商行政管理局經濟技術開發區

69、分局 東興證券、保薦機構、主承銷商 指 東興證券股份有限公司 北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-20 邦盛律師、發行人律師 指 北京市邦盛律師事務所 大華會計師、審計機構、會計師 指 大華會計師事務所（特殊普通合伙）中喜會計師 指 中喜會計師事務所（特殊普通合伙）中興財光華 指 中興財光華會計師事務所（特殊普通合伙）中和誼資產評估 指 北京中和誼資產評估有限公司 報告期、最近三年、報告期各期 指 2018 年、2019 年及 2020 年 最近三年 指 2018 年、2019 年及 2020 年 審計報告 指 大華會計師出具的大華審字【2021】001498 號審計報告

70、 元、萬元 指 人民幣元、人民幣萬元 北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-21 二、專業名詞釋義二、專業名詞釋義 DWS 指 英文全稱 Dual wafer stage，是公司針對國產 IC 前道光刻機需求推出的雙工件臺系列之一，主要適用于干式步進式掃描光刻機 DWSi 指 英文全稱 Dual wafer stage immersion，是公司針對國產 IC 前道光刻機需求推出的雙工件臺系列之一，主要適用于浸沒式光刻機，目前正在研發中目前正在研發中 半導體 指 常溫下導電性能介于導體與絕緣體之間的材料 魯棒性 指 魯棒是 Robust 的音譯，代表健壯、強壯、堅定、粗野。

71、魯棒性是指系統的健壯性，是指控制系統在一定（結構、大?。┑膮禂z動下，維持其它某些性能的特性。根據對性能的不同定義，可分為穩定魯棒性和性能魯棒性 光柵 指 由大量等寬等間距的平行狹縫構成的光學器件，一般常用的光柵是在玻璃片上刻出大量平行刻痕制成，刻痕為不透光部分，兩刻痕之間的光滑部分可以透光，相當于一個狹縫。光柵可分為投射光柵、反射光柵和衍射光柵 光柵尺 指 也稱光柵尺位移傳感器，是利用光柵的光學原理工作的測量反饋裝置。光柵尺經常應用于數控機床的閉環伺服系統中，可用作直線位移或者角位移的檢測 晶體振蕩器 指 從一塊石英晶體上按一定方位角切下薄片，簡稱為晶片；石英晶體諧振器，簡稱石英晶體或晶體、

72、晶振；在封裝內部添加 IC 組成振蕩電路的晶體元件稱為晶體振蕩器 晶體諧振器 指 用石英材料做成的石英晶體諧振器，俗稱晶體、晶振，起到產生頻率的作用，具有穩定、抗干擾性能良好的特點，廣泛應用于各種電子產品中 阻尼 指 是指任何振動系統在振動中，由于外界作用或系統本身固有的原因引起的振動幅度逐漸下降的特性，以及此一特性的量化表征 干涉 指 是兩列或兩列以上的波在空間中重疊時發生疊加從而形成新的波形的現象 光干涉 指 因兩束光波相遇而引起光的強度重新分布的現象 晶圓、Wafer 指 集成電路制作所用的硅晶片，生產集成電路所用的載體，可加工制作成各種電路元件結構，由于其形狀為圓形，故稱為晶圓 套刻精

73、度（誤差）指 晶圓制造過程中需要進行多重曝光，各層掩膜曝光圖形的對準標記必須完全重合。實際生產中，由于各種系統誤差和偶然誤差的存在，各層曝光圖形的對準標記的位置會發生偏離，即套刻誤差；而各層曝光圖形的對準標記的重合精度即為套刻精度 鍵合 指 鍵合是一種將兩片表面清潔、原子級平整的同質或異質半導體材料經表面清洗和活化處理，在一定條件下直接結合，通過范德華力、分子力甚至原子力使晶片鍵合成為一體的技術 退火 指 半導體制造工藝，即在離子注入后將半導體材料緩慢加熱到一定溫度，保持足夠的時間，然后以適宜速度冷卻，目的是恢復晶體的結構及消除缺陷 IC 前道光刻機、前道光刻機 指 光刻機又稱掩模對準曝光機、

74、曝光系統、光刻系統等，是將掩模版上的圖形轉移光刻膠上的設備。半導體前道工序指晶圓制造工序，前道光刻機為應用于芯片制造的光刻機 后道光刻機 指 半導體后道工序指封裝工序，后道光刻機為應用于芯片封裝的光刻機 電子伏特 指 英文全稱 Electron Volt，符號為 eV，是能量的單位，代表一個電子（所帶電量為-1.610-19C）經過 1 伏特的電位差加速后所獲得北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-22 的動能 寬禁帶半導體材料 指 寬禁帶半導體材料是指禁帶寬度在 2.3 電子伏特及以上的半導體材料，典型的材料包括碳化硅、氮化鎵、金剛石等 產率 指 單位時間內完成特定工作的

75、數量 宏動臺、粗動模塊 指 光刻機雙工件臺的部件之一，實現高速大行程運動 微動臺、微動模塊 指 光刻機雙工件臺的部件之一，疊放于宏動臺之上，負責小范圍內超精密運動 封測 指 封裝、測試的簡稱；封裝指為芯片安裝外殼，起到安放、固定、密封、保護芯片和增強電熱性能的作用；測試指檢測封裝后的芯片是否可正常運作 集成電路、芯片、IC 指 Integrated Circuit，簡稱 IC，將大量元器件集成于一個單晶片上所制成的電子器件，俗稱芯片 晶圓制造廠 指 在集成電路領域中指專門負責生產、制造芯片的廠家 靜電卡盤 指 靜電卡盤是一種利用靜電吸附原理夾持固定被吸附物的夾具，適用于真空及等離子體環境，主要

76、作用是吸附硅片、玻璃或其他掩模類物品并使吸附物保持較好的平坦度，可以抑制吸附物在工藝中的變形，還能夠調節吸附物的溫度，在半導體、平板顯示、光學等領域中有著廣泛應用 刻蝕、ETCH 指 用化學或物理方法有選擇地在硅片表面去除不需要的材料的過程，是與光刻相聯系的圖形化處理的一種主要工藝，是半導體制造工藝的關鍵步驟 光罩、Mask 指 又稱掩膜版，即根據芯片設計公司提供的集成電路版圖生產制作的模具，用于晶圓生產。一套光罩根據芯片的復雜程度通常有幾層到幾十層不等 金屬柵極、HKMG 指 High-K Metal Gate，簡稱 HKMG，為 45nm 以下制程的必備技術。HKMG 制造的晶體管結構和原

77、來的平面晶體管相同，只是以High-K 絕緣層代替傳統的 SiO2 氧化層，并以金屬材料柵極代替原來的硅材料柵極，其優勢是可以提高晶體管的開關速度，并減小柵極的漏電流 源漏、S/D 指 結型場效應晶體管的三個引腳一般是呈柵極、漏極、源極排列，柵極為 Gate，簡稱 G；源極為 Source，簡稱 S；漏極為 Drain，簡稱 D 阻尼元件，阻尼器 指 以提供運動的阻力、耗減運動能量的裝置 3C 指 計算機（Computer）、通信（Communication）和消費類電子產品（Consumer Electronics）三者結合，亦稱信息家電 3D NAND 指 3D NAND 閃存是一種新興的

78、閃存類型，通過把內存顆粒堆疊在一起來解決 2D 或者平面 NAND 閃存帶來的限制 ADAS 指 高級駕駛輔助系統，利用安裝在車上的各式各樣傳感器，在汽車行駛過程中隨時來感應周圍的環境，收集數據，進行靜態、動態物體的辨識、偵測與追蹤，并結合導航儀地圖數據，進行系統的運算與分析，從而預先讓駕駛者察覺到可能發生的危險，有效增加汽車駕駛的舒適性和安全性 AOI 指 是基于光學原理來對生產中遇到的常見缺陷進行檢測的設備 AR 指 增強現實技術，是一種實時地計算攝影機影像的位置及角度并加上相應圖像、視頻、3D 模型的技術 ArF 指 光刻機使用的一種光源，波長為 193nm 北京華卓精科科技股份有限公司

79、 招股說明書（上會稿）1-1-23 ArFi 指 ArF immersion，即 193nm 浸沒式光刻 CIS 指 CMOS Image Sensor，簡稱 CIS，即 CMOS 圖像傳感器 CMOS 指 Complementary Metal Oxide Semiconductor，簡稱 CMOS，即互補金屬氧化物半導體 CAE 指 CAE(Computer Aided Engineering)指工程設計中的計算機輔助工程，指用計算機輔助求解分析復雜工程和產品的結構力學性能，以及優化結構性能等，把工程（生產）的各個環節有機地組織起來 CVD、化學氣相積沉 指 Chemical Vapor

80、Deposition，簡稱 CVD，即化學氣相沉積，指化學氣體或蒸汽在基質表面反應合成涂層或納米材料的方法，是半導體工業中應用最為廣泛的用來沉積多種材料的技術，包括大范圍的絕緣材料、大多數金屬材料和金屬合金材料 DRAM 指 Dynamic Random Access Memory，簡稱 DRAM，即動態隨機存取存儲器，最為常見的系統內存。DRAM 只能將數據保持很短的時間 EFEM 指 半導體設備前端模塊（晶圓傳輸機械手），主要實現半導體生產線上不同的工藝加工模塊之間進行高效的傳輸和定位 EUV 指 Extreme Ultraviolet Lithography，簡稱 EUV，常稱作 EUV

81、 光刻，即極紫外光刻，以波長為 10-14nm 的極紫外光作為光源的光刻技術 IDM 指 Integrated Device Manufacturing，簡稱 IDM，是集成電路行業中，垂直整合制造的模式，包含了芯片設計、晶圓制造、封測等全部芯片制造環節 IGBT 指 Insulated Gate Bipolar Transistor，簡稱 IGBT，指絕緣柵雙極型晶體管，是復合全控型電壓驅動式功率半導體器件 I-line 指 光刻機使用的一種光源，波長為 365nm KrF 指 光刻機使用的一種光源，波長為 248nm LCD 指 Liquid Crystal Display，簡稱 LCD，

82、即液晶顯示器 LDD 指 Lightly Doped Drain，通常稱為 LDD 結構或輕摻雜漏結構，指在溝道中靠近漏極的附近設置一個低摻雜的漏區，使該低摻雜的漏區也承受部分電壓，這種結構可防止熱電子退化效應 LED 指 Light Emitting Diode，簡稱 LED，即發光二極管 LIGO 指 Laser Interferometer Gravitational Wave Observatory，簡稱LIGO，即激光干涉引力波天文臺，是借助于激光干涉儀來聆聽來自宇宙深處引力波的大型研究儀器。2018 年 12 月 3 日，Advanced LIGO 發現迄今最大黑洞合并事件，距地球

83、 90 億光年 MEMS 指 Micro-Electro-Mechanical System，簡稱 MEMS，即微機電系統，也稱微電子機械系統、微系統、微機械等，是在微電子技術（半導體制造技術）基礎上發展起來的，融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件 MOSFET 指 一種可以廣泛使用在模擬電路與數字電路的場效晶體管（field-effect transistor）。MOSFET 依照其通道（工作載流子）的極性不同，可分為N 型與P 型的兩種類型，通常又稱為NMOSFET 與 PMOSFET PCB 指 印制電路板，是電子元器件電氣連

84、接的載體 北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-24 PVD、物理氣相積沉 指 Physical Vapor Deposition，簡稱 PVD，即物理氣相沉積，是指在真空條件下，用物理的方法使材料沉積在被鍍工件上的薄膜制備技術 SiC 指 碳化硅，又名金剛砂，是用石英砂、石油焦（或煤焦）、木屑（生產綠色碳化硅時需要加食鹽）等原料通過電阻爐高溫冶煉而成，具有優良的導熱性能，是一種半導體，高溫時能抗氧化 Silicide 指 硅化物，某些金屬（如鋰、鈣、鎂、鐵、鉻等）和某些非金屬（如硼等）與硅形成的二元化合物，金屬硅化物以其優異的高溫抗氧化性和導電、傳熱性獲得廣泛的應用 SM

85、D 指 Surface Mounted Devices，即表面貼裝器件，是 SMT（Surface Mount Technology）元器件中的一種 SoC 指 System-on-a-chip，指在單個芯片上集成一個完整的系統 Super Junction 指 超結器件 VR 指 虛擬現實技術，是一種可以創建和體驗虛擬世界的計算機仿真系統 Wafer ID 指 晶圓條形碼 WPH 指 wafer per hour，每小時出片數量 本招股說明書中若出現總數與各分項數值之和尾數不符的情況，除特別說明，均為四舍五入原因造成。北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-25 第二節第二

86、節 概覽概覽 本概覽僅對招股說明書全文做扼要提示。投資者作出投資決策前，應認真閱讀招股說明書全文。一、發行人及本次發行的中介機構基本情況一、發行人及本次發行的中介機構基本情況（一）發行人基本情況（一）發行人基本情況 發行人名稱 北京華卓精科科技股份有限公司 有限公司成立日期 2012 年 5 月 9 日 注冊資本 24,000.00 萬元 法定代表人 孫國華 注冊地址 北京市北京經濟技術開發區經海四路 156 號院 10號樓 4 層 主要生產經營地址 北京市北京經濟技術開發區科創十街 19 號院 控股股東 朱煜 實際控制人 朱煜 行業分類 C35 專用設備制造業 在其他交易場所掛牌或上市的情況

87、 2015 年 12 月 11 日，公司在股轉系統掛牌，證券簡稱華卓精科，證券代碼834733；2019 年 2 月 13 日，公司終止在股轉系統掛牌（二）本次發行的有關中介機構（二）本次發行的有關中介機構 保薦人 東興證券股份有限公司 主承銷商 東興證券股份有限公司 發行人律師 北京市邦盛律師事務所 聯席主承銷商 中國國際金融股份有限公司 審計機構 大華會計師事務所（特殊普通合伙）評估機構 北京中和誼資產評估有限公司 二、本次發行概況二、本次發行概況（一）本次發行的基本情況（一）本次發行的基本情況 股票種類 人民幣普通股（A 股）每股面值 1.00 元 發行股數 8,000 萬股 占發行后總

88、股本比例 不低于 25%其中：發行新股數量 8,000 萬股 占發行后總股本比例 不低于 25%股東公開發售股份數量 無 占發行后總股本比例 無 發行后總股本 32,000 萬股 每股發行價格【】元 發行市盈率【】倍（每股收益按照【】年經審計的扣除非經常性損益前后孰低的歸屬于母公司股東的凈利潤除以本次發行后總股本計算）發行前每股凈資產【】元（按【】年發行前每股收益【】元（按【】年經北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-26【】月【】日經審計的歸屬于母公司股東的凈資產除以本次發行前總股本計算）審計扣除非經常性損益前后孰低的歸屬于母公司所有者的凈利潤除以發行前總股本計算）發行后

89、每股凈資產【】元（按【】年【】月【】日經審計的歸屬于母公司股東的凈資產加上本次募集資金凈額之和除以本次發行后總股本計算）發行后每股收益【】元（按【】年經審計扣除非經常性損益前后孰低的歸屬于母公司所有者的凈利潤除以發行后總股本計算）發行市凈率【】倍（按本次每股發行價格除以發行后每股凈資產計算）發行方式 本次發行將采取網下向詢價對象申購配售和網上向社會公眾投資者定價發行相結合的發行方式，或證券監管部門認可的其他發行方式（包括但不限于向戰略投資者、保薦機構依法設立的相關子公司、公司高級管理人員與核心員工設立的專項資產管理計劃等法律法規允許的投資者配售股票）發行對象 符合資格的詢價對象和在上海證券交易

90、所開立 A 股股票賬戶的科創板合格投資者（國家法律、法規和規范性文件禁止的投資者除外）或中國證監會等證券監管部門認可的其他投資者 承銷方式 余額包銷 擬公開發售股份股東名稱 發行費用的分攤原則 募集資金總額【】萬元 募集資金凈額【】萬元 募集資金投資項目 半導體裝備關鍵零部件研發制造項目 超精密測控產品長三角創新與研發中心 集成電路裝備與零部件產品創新項目 光刻機超精密位移測量及平面光柵測量技術研發項目 發行費用概算 共計【】萬元（二）本次發行上市的重要日期（二）本次發行上市的重要日期 刊登發行公告日期【】年【】月【】日 開始詢價推介日期【】年【】月【】日 刊登定價公告日期【】年【】月【】日

91、申購日期【】年【】月【】日 繳款日期【】年【】月【】日 股票上市日期【】年【】月【】日 北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-27 三、發行人主要財務數據和財務指標三、發行人主要財務數據和財務指標 根據大華會計師出具的大華審字【2021】001498 號審計報告，公司報告期的合并財務報表主要財務數據及財務指標如下：項目項目 2020-12-31/2020 年度年度 2019-12-31/2019 年度年度 2018-12-31/2018 年度年度 資產總額（萬元）125,682.11 87,372.95 42,969.16 歸屬于母公司所有者權益（萬元）36,739.57

92、35,418.83 20,549.77 資產負債率（合并）70.77%59.46%52.18%資產負債率（母公司）69.86%59.14%49.03%營業收入（萬元）15,234.06 12,096.58 8,570.92 凈利潤（萬元）1,242.83 2,087.24 1,512.36 歸屬于母公司所有者的凈利潤（萬元）1,242.83 2,087.24 1,512.36 扣除非經常性損益后歸屬于母公司所有者的凈利潤（萬元）923.41 1,493.24 1,505.28 基本每股收益（元）0.05 0.09 0.07 稀釋每股收益（元）0.05 0.09 0.07 加權平均凈資產收益率

93、3.45%6.70%11.76%經營活動產生的現金流量凈額（萬元）1,286.49 15,064.36 6,875.89 現金分紅（萬元）-研發投入占營業收入的比例 14.03%14.40%16.04%四、發行人主營業務情況四、發行人主營業務情況（一）主營業務及產品（一）主營業務及產品 公司以超精密測控技術為基礎，研究、開發以及生產超精密測控設備部件、超精密測控設備整機并提供相關技術開發服務，其中超精密測控設備部件產品包括精密運動系統、光刻機雙工件臺模塊、靜電卡盤和隔振器等，整機產品包括晶圓級鍵合設備、激光退火設備等。應用領域覆蓋集成電路制造、超精密制造、光學、醫療、3C 制造等行業。公司主要

94、產品包括精密運動系統、光刻機雙工件臺模塊、靜電卡盤和隔振器等超精密測控設備部件以及晶圓級鍵合設備、激光退火設備等超精密測控設備整機，以及上述部分主要產品的技術開發服務。公司已經形成了多層次、多方位的產品結構體系，其中高端產品包括晶圓級鍵合設備、激光退火設備、光刻機雙工件臺模塊等集成電路生產設備領域的前沿北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-28 高端設備/部件，中高端產品包括中高端精密運動系統、靜電卡盤、隔振器等。報告期各期內，公司主營業務收入構成情況如下：單位：萬元 項目項目 產品類別產品類別 2020 年度年度 2019 年度年度 2018 年度年度 金額金額 占比占比

95、 金額金額 占比占比 金額金額 占比占比 超精密測控裝備部件超精密測控裝備部件 11,798.42 77.56%8,463.08 69.96%8,011.74 93.48%其中：精密運動系統及技術開發 產品銷售 9,655.11 63.47%7,952.50 65.74%5,574.75 65.04%技術開發-45.28 0.37%951.51 11.10%光刻機雙工件臺模塊及技術開發 技術開發 1,737.74 11.42%-795.00 9.28%靜電卡盤及技術開發 產品銷售 122.35 0.80%166.07 1.37%568.67 6.63%技術開發 99.06 0.65%155.0

96、0 1.28%-隔振器 產品銷售 184.17 1.21%144.23 1.19%121.81 1.42%超精密測控裝備整機超精密測控裝備整機 3,096.11 20.35%3,579.65 29.59%200.00 2.33%其中：晶圓級鍵合設備及技術開發 產品銷售 1,364.60 8.97%1,061.95 8.78%-0.00%技術開發 94.34 0.62%1,500.00 12.40%200.00 2.33%激光退火設備 產品銷售 1,637.17 10.76%1,017.70 8.41%-其他其他 加工檢測維修服務及其他 317.30 2.09%53.60 0.44%359.18

97、 4.19%合計合計 15,211.83 100.00%12,096.32 100.00%8,570.92 100.00%（二）主要經營模式（二）主要經營模式 公司通過向下游集成電路制造、超精密制造、光學、醫療、3C 制造等行業內公司銷售超精密測控裝備整機及部件，并根據客戶在精密度等方面的具體需求提供相應的技術開發服務實現收入和利潤。對于精密運動系統、晶圓級鍵合設備、激光退火設備、光刻機雙工件臺模塊、靜電卡盤等定制化產品，公司根據客戶定制化需求，進行研發、生產和交付；在定制化產品中，包含硬件和軟件兩個部分。對于各類超精密測控裝備而言，最關鍵的是軟件部分，發行人自主研發的超精密測控算法，能夠滿足

98、各種客戶的多層次的需求。因此，在定制化產品領域，發行人更多的是交付基于客戶具體精密測控需求的算法軟件，具體表現為大量的技術開發服務。對于隔振器等標準化產品，公司根據客戶訂單需求和庫存情況進行生產，并批量供貨。同時，公司實時跟進技術發展前沿和市場需求，組織研發人員對項目中將采用的關鍵技術提前學習和研究并開發新產品，通過技術預研及早發現并解北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-29 決開發過程中將會遇到的技術障礙。為保證公司產品的性能和質量，公司制定了嚴格的采購控制程序和審核制度。（三）競爭地位（三）競爭地位 1、精密運動系統。公司憑借在光刻機雙工件臺領域積累的豐富經驗和成熟技

99、術，成功研發并量產了覆蓋低、中、高端的定制化精密運動系統，滿足各種應用場景的需求，在國產廠商中處于領先地位。與境外廠商相比，公司提供從設計、生產到售后服務的全流程本地化服務，可快速、高效地響應客戶需求。2、晶圓級鍵合設備?；谧杂械某軝C電系統設計技術、超精密控制技術、超精密光學測量技術等技術，結合業內公開的堆疊工藝技術，對標 EV Group設備的關鍵性能參數，開展混合鍵合技術與晶圓級鍵合設備的研發。目前，公司已與上海集成形成了良好的合作關系。與境外廠商相比，公司并立足于國內市場，在設備交期、技術服務、響應速度等方面擁有本土企業優勢，率先實現混合工藝晶圓級鍵合設備的國產化。3、激光退火設備

100、。公司的功率激光退火產品采取差異化的技術路線，聚焦深度、高效激活的工藝需求，提出多波長、多光束疊加退火的核心技術，在主退火光束的基礎上疊加輔助預熱的光束，并憑借公司在超精密測控方面的技術優勢實現了光束和溫度場的靈活可控。目前，公司聚焦于 40-14nm 的 IC 前道激光退火設備的研發，推動了我國高端 IC 前道激光退火設備領域的發展。4、光刻機雙工件臺模塊。公司為國內首家可自主研發并實現商業化生產的光刻機雙工件臺供應商。作為上海微電子光刻機雙工件臺的供應商，公司與上海微電子長期保持良好的合作關系，共同進行 IC 前道光刻機核心技術的研發和 IC前道光刻機產品的生產，為國產光刻機崛起奠定了基礎

101、，占據了中國商用光刻機雙工件臺的主要市場份額。5、靜電卡盤。公司開發出 12 吋 PVD 氮化鋁靜電卡盤，在一定程度上破除了國外廠商在該產品領域內的長期壟斷局面。五、發行人技術先進性、研發技術產業化情況以及未來發展戰略五、發行人技術先進性、研發技術產業化情況以及未來發展戰略（一）發行人技術先進性（一）發行人技術先進性 公司主營業務為以超精密測控技術為基礎，研究、開發以及生產超精密測控設備部件、超精密測控設備整機并提供相關技術開發服務。截至 2021 年 6 月 30北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-30 日，通過單獨申請、受讓以及共同申請的方式，公司擁有 198 項專利

102、，其中發明專利 148 項、實用新型 43 項、外觀設計 2 項、美國專利 5 項。公司的關鍵技術主要情況如下：1、精密運動系統技術。公司的精密運動系統產品采用定制化技術路線，全方位滿足客戶需求，從細分領域切入逐步實現全應用領域的覆蓋。公司產品的定位精度可達 60nm，最大速度可達 2,000mm/s。目前，公司已具備精密運動系統批量生產與制造能力，產品已進入了中科飛測、中山新諾、長光華大等各個領域龍頭企業的供應鏈，同時為中科大、南京大學、暨南大學等多所高校和科研機構提供產品和技術服務。2、晶圓級鍵合設備技術。公司的晶圓級鍵合設備采用了面對面對準的方式，擴大了適用晶圓的種類；通過采用精密控制技

103、術和圖形分析算法，使晶圓的對準精度達到 150nm，滿足晶圓級混合鍵合、低溫鍵合等工藝需求。公司就晶圓級鍵合設備已與上海集成完成交付。3、激光退火設備技術。公司的激光退火設備采取差異化的技術路線，聚焦深度、高效激活的工藝需求，提出多波長、多光束疊加退火的核心技術，實現了光束和溫度場的靈活可控；此外，公司產品具備多種工藝參數調節功能，可作為工業級產品直接用于生產制造，滿足多種工藝和各類材料的退火要求。公司已實現了首臺激光退火設備的生產并完成了向燕東微電子交付，通過了用戶驗收。公司的 IC 前道激光退火設備處于研發階段，主要用于 40nm 以下的先進制程晶圓制造。4、光刻機雙工件臺技術。公司的光刻

104、機雙工件臺采用了目前最先進的磁懸浮平面電機雙工件臺方案，通過大推力磁懸浮平面電機驅動高速超精密六自由度承片臺，每個承片臺采用 9 軸超精密雙頻激光干涉測量，在自主開發的先進算法控制下實現納米級分辨率及相應套刻精度指標。5、靜電卡盤技術。公司自主研發的靜電卡盤產品嚴格按照半導體行業相關標準設計和加工，在產品結構設計、尺寸形位精度及使用可靠性等方面都具有技術優勢。前期所開發的 12 吋 PVD 氮化鋁靜電卡盤，在一定程度上破除了國外廠商在該產品領域內的長期壟斷局面。北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-31（二）發行人研發技術產業化情況（二）發行人研發技術產業化情況 經過持續不

105、斷的研發投入和產品演進，公司逐漸形成了以光刻機雙工件臺的超精密機電系統設計技術、超精密位移測量技術及超精密控制技術為基礎，衍生出多項超精密測控裝備部件及整機產品相關的核心技術。1、在精密運動系統技術方面，公司已具備精密運動系統批量生產與制造能力，產品已進入了中科飛測、中山新諾、長光華大等各個領域龍頭企業的供應鏈，同時為中科大、南京大學、暨南大學等多所高校和科研機構提供產品和技術服務。2、在晶圓級鍵合設備技術方面，公司就晶圓級鍵合設備已與上海集成完成交付。3、在激光退火設備技術方面，公司已實現了首臺激光退火設備的生產并完成了向燕東微電子交付，通過了用戶驗收。公司的 IC 前道激光退火設備處于研發

106、階段，主要用于 40nm 以下的先進制程晶圓制造。4、在光刻機雙工件臺技術方面，公司 DWS 系列光刻機雙工件臺可實現優于 4.5nm 的運動平均偏差，已于 2020 年 4 月和 2021 年 1 月、4 月、6 6 月月分別向上海微電子發貨 1 臺 DWS 雙工件臺，累計發貨 4 4 臺 DWS 雙工件臺；公司的DWSi 系列光刻機雙工件臺運動平均偏差優于 2.5nm，可應用于 ArFi 光刻機，目前正在研發中。5、在靜電卡盤技術方面，公司前期所開發的 12 吋 PVD 氮化鋁靜電卡盤已實現量產，并向華創微電子等公司供貨。（三）發行人未來發展戰略（三）發行人未來發展戰略 公司堅持創新驅動、

107、技術引領的經營理念，秉承至精至卓、至善至誠的核心價值觀，憑借多年持之以恒的深耕細作，掌握了多項超精密測控設備及關鍵零部件制造領域的核心技術，并不斷深化產品的研發與應用。公司將積極響應 國家集成電路產業發展推進綱要的戰略部署，依托多年積累的技術資源，在國家產業扶持的有利條件下緊抓行業發展機遇，力爭在未來十年內成為集研發、生產及服務于一體的專業化超精密測控裝備及其核心部件供應商。未來，公司將持續進行研發投入，不斷突破核心技術并持續推出新產品，進一步提升自主研發及創新能力，在市場持續的競爭環境中確立優勢地位；同時，根據下游客戶的需求不斷優化產品性能，并進一步對現有產品和技術進行改造升北京華卓精科科技

108、股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-32 級，持續擴大產能并提升產品質量，為客戶提供可靠、高性能的產品；公司還將加強對重點區域的市場覆蓋，并逐步向泛半導體領域拓展，提升公司在行業中的市場占有率；最后，公司將進一步完善人力資源政策，有針對性的引進高端技術人才，為公司的持續發展提供有力的人才保障。六、發行人選擇的具體上市標準六、發行人選擇的具體上市標準（一）發行人科創板上市標準適用情況（一）發行人科創板上市標準適用情況 根據上海證券交易所科創板股票發行上市審核規則第二十二條的規定，發行人申請股票首次發行上市的，應當符合上海證券交易所科創板股票上市規則規定的上市條件。發行人對照上述規則，選擇的

109、具體上市標準為：預計市值不低于人民幣10億元，最近一年凈利潤為正且營業收入不低于人民幣1億元。（二）發行人符合科創板行業領域及相關指標要求（二）發行人符合科創板行業領域及相關指標要求 發行人符合科創板首次公開發行股票注冊管理辦法（試行）、科創屬性評價指引（試行）、上海證券交易所科創板股票發行上市審核規則、上海證券交易所科創板企業發行上市申報及推薦暫行規定 等有關規定對行業領域及對科創屬性相關指標的要求，主要包括：1、發行人所屬行業符合科創板定位 公司所屬行業領域 新一代信息技術 公司主營業務為以超精密測控技術為基礎，研究、開發以及生產超精密測控設備部件、超精密測控設備整機并提供相關技術開發服務

110、。根據中國證監會發布的 上市公司行業分類指引（2012 年修訂）規定，公司所處行業屬于C35 專用設備制造業。根據國民經濟行業分類（GB/T4754-2017），公 司 所 處 行 業 屬 于C3562 半導體器件專用設備制造（指生產集成電路、二極管（含發光二極管）、三極管、太陽能電池片的設備的制造）。根據國家發展改革委、科學技術部、工業和信息化部、商務部、知識產權局聯合研究審議的當前優先發展的高技術產業化重點領域指南（2011 年度），公司所處行業為電子專用設備、儀器和工模具。根據國家統計局發布的戰略性新興產業分類（2018），公司所處行業為新一代信息技術產業之電子核心產業之新型電子元器件及

111、設備制造。高端裝備 新材料 新能源 節能環保 生物醫藥 符合科創板定位的其他領域 2、發行人符合科創屬性相關指標要求 公司符合上海證券交易所科創板企業發行上市申報及推薦暫行規定常規北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-33 指標的要求 科創屬性評價標準一科創屬性評價標準一 是否符合是否符合 指標情況指標情況 最近三年累計研發投入占最近三年累計營業收入比例5%，或最近三年累計研發投入金額6000 萬元 是 否 2018 年至 2020 年度，公司最近三年累計研發投入占最近三年累計營業收入比例為14.63%，超過5%。研發人員占當年員工總數的比例不低于 10%是 否 截至報告期

112、末，公司最近一年末研發人員人數占當年 末 員 工 總 數 比 例 為33.08%形成主營業務收入的發明專利（含國防專利）5 項 是 否 截至 2021 年 6 月 30 日，公司擁有發明專利共計148 項、美國專利 5 項，形成主營業務收入的發明專利遠超過 5 項。最近三年營業收入復合增長率20%，或最近一年營業收入金額3 億 是 否 2018 年至 2020 年度，公司營業收入復合增長率為33.32%，大于 20%。七、發行人公司治理特殊安排等重要事項七、發行人公司治理特殊安排等重要事項 截至本招股說明書簽署日，本次發行不涉及發行人公司治理的特殊安排。八、募集資金主要用途八、募集資金主要用途

113、 經公司 2019 年 10 月 16 日召開的第二屆董事會第十七次會議及 2019 年 10月 31 日召開的 2019 年第九次臨時股東大會審議，公司首次公開發行 3,200.00萬股人民幣普通股（A 股）。為更好實施本次公開發行股票，公司根據有關法律、法規、規范性文件的規定，并結合自身實際情況，對募集資金投資項目進行了變更。經公司 2020 年 11 月 15 日召開的第二屆董事會第二十六次會議及 2020 年11月30日召開的2020年第四次臨時股東大會審議，公司首次公開發行8,000.00萬股人民幣普通股（A 股），首次公開發行股票所募集的資金扣除發行費用后，將投資于以下項目：序號序

114、號 項目名稱項目名稱 投資總額（萬元）投資總額（萬元）使用募集資金投使用募集資金投入金額（萬元）入金額（萬元）1 半導體裝備關鍵零部件研發制造項目 49,000 36,500 2 超精密測控產品長三角創新與研發中心 30,000 14,000 3 集成電路裝備與零部件產品創新項目 15,000 15,000 北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-34 序號序號 項目名稱項目名稱 投資總額（萬元）投資總額（萬元）使用募集資金投使用募集資金投入金額（萬元）入金額（萬元）4 光刻機超精密位移測量及平面光柵測量技術研發項目 8,000 8,000 合計合計 102,000 73,5

115、00 如本次公開發行實際募集資金（扣除發行費用后）大于上述投資項目的資金需求，超過部分將根據中國證監會及上海證券交易所的有關規定使用。如本次公開發行實際募集資金（扣除發行費用后）不能滿足上述項目資金需求，不足部分由公司自籌資金補足。本次募集資金到位前，如公司根據實際情況使用自籌資金對上述投資項目進行前期投入，則待募集資金到位后以募集資金置換已投入的自籌資金。關于募集資金項目的具體情況請見本招股說明書第九節 募集資金運用與未來發展規劃之二、募集資金投資項目具體情況。北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-35 第三節第三節 本次發行概況本次發行概況 一、本次發行的基本情況一、本

116、次發行的基本情況 股票種類 人民幣普通股（A股）每股面值 人民幣1.00元 發行股數 本次公開發行股票的數量為8,000萬股，且發行數量占公司發行后總股本的比例不低于25%，最終以中國證監會同意注冊的數量為準。本次發行全部為公開發行新股，發行人原股東在本次發行中不公開發售股份。每股發行價格【】元 發行人高管、員工擬參與戰略配售情況（如有）發行人高級管理人員、核心員工擬參與本次發行的戰略配售，配售數量不超過本次公開發行股票數量的10%。公司已召開董事會審議了該事項；在首次公開發行股票前，公司將進一步履行內部程序，再次審議該事項的詳細方案。保薦人相關子公司擬參與戰略配售情況 保薦機構已安排東興證券

117、投資有限公司參與本次發行戰略配售，具體按照上交所相關規定執行。保薦機構及東興證券投資有限公司后續將按要求進一步明確參與本次發行戰略配售的具體方案，并按規定向上交所提交相關文件。發行市盈率【】倍（每股收益按照【】年經審計的扣除非經常性損益前后孰低的歸屬于母公司股東的凈利潤除以本次發行前總股本計算）【】倍（每股收益按照【】年經審計的扣除非經常性損益前后孰低的歸屬于母公司股東的凈利潤除以本次發行后總股本計算）發行后每股收益【】元/股（以【】年經審計扣除非經常性損益前后孰低的歸屬于母公司所有者的凈利潤除以發行后總股本計算）發行前每股凈資產【】元/股（以截至【】年【】月【】日經審計的歸屬于母公司股東的凈

118、資產除以本次發行前總股本計算）發行后每股凈資產【】元/股（以截至【】年【】月【】日經審計的歸屬于母公司股東的凈資產加上本次募集資金凈額除以本次發行后總股本計算）發行市凈率【】倍（按本次每股發行價格除以發行前每股凈資產計算）【】倍（按本次每股發行價格除以發行后每股凈資產計算）發行方式 本次發行將采取網下向詢價對象申購配售和網上向社會公眾投資者定價發行相結合的發行方式，或證券監管部門認可的其他發行方式（包括但不限于向戰略投資者、保薦機構依法設立的相關子公司、公司高級管理人員與核心員工設立的專項資產管理計劃等法律法規允許的投資者配售股票）。發行對象 符合資格的詢價對象和在上海證券交易所開立A股股票賬

119、戶的科創板合格投資者（國家法律、法規和規范性文件禁止的投資者除外）或中國證監會等證券監管部門認可的其他投資者。承銷方式 余額包銷 募集資金總額【】萬元 募集資金凈額【】萬元 北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-36 發行費用概算 共計【】萬元 擬上市的交易所和板塊 上海證券交易所科創板 二、本次發行的有關機構二、本次發行的有關機構（一）發行人（一）發行人 名稱 北京華卓精科科技股份有限公司 法定代表人 孫國華 地址 北京市北京經濟技術開發區經海四路 156 號院 10 號樓 4 層 聯系電話 010-62780958 傳真 010-62780923 聯系人 成榮（二）保薦

120、機構（主承銷商）（二）保薦機構（主承銷商）名稱 東興證券股份有限公司 法定代表人 魏慶華 地址 北京市西城區金融大街 5 號（新盛大廈）12、15 層 聯系電話 010-66555196 傳真 010-66555103 保薦代表人 張昱、王秀峰 項目協辦人 劉延奇 項目經辦人 湯毅鵬、曾文倩、陸丹彥、張任重、張望、張帥、蔣卓征、王馨、楊穎（三）聯席主承銷商（三）聯席主承銷商 名稱 中國國際金融股份有限公司 法定代表人 沈如軍 地址 北京市朝陽區建國門外大街 1 號國貿大廈 2座 27 層及 28 層 聯系電話 010-65051166 傳真 010-65051156 項目經辦人 章志皓、吳占宇

121、、陳曦、楊智博、王昭、陶木楠、李丹、梁慶揚、周陽、王俊博（四）發行人律師（四）發行人律師 名稱 北京市邦盛律師事務所 負責人 彭友誼 北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-37 地址 北京市海淀區海淀北二街 8 號中關村 SOHO大廈 3 層 308 室 聯系電話 010-82870288 傳真 010-82870299 經辦律師 張雷、許艷娜、冀志杰（五）會計師事務所（五）會計師事務所 名稱 大華會計師事務所（特殊普通合伙）執行事務合伙人 楊雄、梁春 地址 北京市海淀區西四環中路 16 號院 7 號樓1101 聯系電話 010-58350011 傳真 010-583500

122、06 經辦注冊會計師 劉文豪、徐文博（六）資產評估機構（六）資產評估機構 名稱 北京中和誼資產評估有限公司 法定代表人 劉俊永 地址 北京市東城區崇文門外大街11號11層1107室 聯系電話 010-67084076 傳真 010-67084810 經辦資產評估師 周梅花、洪紅青（七）股票登記機構（七）股票登記機構 名稱 中國證券登記結算有限責任公司上海分公司 地址 上海市浦東新區陸家嘴東路 166 號中國保險大廈 36 樓 聯系電話 021-68870587（八）擬上市的證券交易所（八）擬上市的證券交易所 名稱 上海證券交易所 地址 上海市浦東南路 528 號證券大廈 聯系電話 021-68

123、808888 傳真 021-68804868（九）本次發行的收款銀行（九）本次發行的收款銀行 開戶行 中國民生銀行股份有限公司北京金融街支行 北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-38 戶名 東興證券股份有限公司 賬號 604050806 大額支付行號 305100001145 三、發行人與本次發行有關的中介機構的關系三、發行人與本次發行有關的中介機構的關系 截至本招股說明書簽署日，聯席主承銷商中金公司持有發行人股票 735.42萬股，持股比例為 3.06%，保薦機構的控股股東中國東方資產管理股份有限公司間接持有發行人 0.00056%的股份，約合 1,344 股。除上述情

124、形外，截至本招股說明書簽署日，發行人與本次發行有關的保薦人、承銷機構、證券服務機構及其負責人、高級管理人員及經辦人員之間不存在直接或間接的股權關系或其他權益關系。四、本次發行的重要日期四、本次發行的重要日期 刊登發行公告日期【】年【】月【】日 開始詢價推介日期【】年【】月【】日 刊登定價公告日期【】年【】月【】日 申購日期【】年【】月【】日 繳款日期【】年【】月【】日 股票上市日期【】年【】月【】日 北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-39 第四節第四節 風險因素風險因素 投資者在評價發行人本次發行的股票時，除本招股說明書提供的其他資料外，應特別認真考慮下述各項風險因素。

125、下述風險因素可能直接或間接對發行人生產經營狀況、財務狀況和持續盈利能力產生不利影響。下述風險根據重要性原則或可能影響投資決策的程度大小排序，但該排序并不表示風險因素會依次發生。一、技術風險一、技術風險（一）技術研發風險（一）技術研發風險 公司所處的半導體設備行業屬于典型的技術密集型和資金密集型行業，該行業的基本特征是資金投入高、研發周期長、技術性強、研發風險高等等。公司目前的主營業務為以超精密測控技術為基礎，研究、開發以及生產超精密測控設備部件、超精密測控設備整機并提供相關技術開發服務。公司為保持自身核心競爭力，須持續投入大量資金和技術研發力量。如果公司不能保證持續的資金投入，將存在技術或產品

126、不能及時更新或迭代滯后的風險；如果公司開發的技術方法不當或人員配置不足，將存在研發失敗的風險；如果公司開發的技術方向不符合行業發展趨勢，將會導致公司該技術產業化應用失敗的風險。該類技術研發風險可能影響公司技術的先進性和產品的競爭力，從而對公司市場競爭和產品銷售造成不利影響。同時，隨著公司不斷發展，盡管公司已建立了獨立的研發體系、與公司發展相適應的研發人員并獨立承擔了國家重大科研任務，但是公司所處的超精密測控領域涉及集成電路、機械、電機、材料、物理、力學、化學、電子、計算機、儀器、光學、控制、軟件工程等多學科領域，新產品新技術的研發突破難度較大，因此公司在相關產品未來研發中理論性、前瞻性方面仍存

127、在委托清華大學或與清華大學共同研發的可能性，若委托清華大學研發或與清華大學共同研發進度不及預期，則可能對公司未來在新產品新技術的產業化造成一定的負面影響。（二）關鍵技術人員（二）關鍵技術人員及研發人員及研發人員流失風險流失風險 公司的主要產品超精密測控裝備整機以及關鍵部件等衍生產品研發和生產以及上述部分主要產品的技術開發服務領域屬于典型的知識密集型和人才密集型行業，核心技術人員、經驗豐富的管理人員是公司持續發展和保持競爭力的關北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-40 鍵。公司核心技術人員擁有與公司業務匹配的資歷背景，具備十年以上相關行業研究或工作經驗，在研發、設計等崗位擔

128、任重要職務且任職期間主導完成多項核心技術的研發。公司多款產品依賴于核心技術人員的研發能力。隨著我國對集成電路制造裝備行業的大力支持，行業容量的飛速發展，市場對專業技術人才的需求與日俱增，如果公司不能持續為專業技術人員以及經驗豐富的管理人員提供更好薪酬方案和發展平臺，則公司將面臨人才流失的風險。同時，隨著募投項目的投入，公司將產生更多的人才需求，公司也將面臨不能如期引進或培養合格相關人員的風險。如果公司未來無法有效保留關鍵技術人員和研發團隊，或無法進一步吸引優秀人才，都可能導致公司面臨頂尖技術人才不足，進而導致公司在技術突破和產品穩定性以及創新性方面落后于競爭對手的風險，從而影響到公司未來持續穩

129、定的增長和發展。報告期內，公司承擔了IC 裝備高端零部件集成制造工藝研究與生產制造項目等多項國家重大科技專項，因此公司投入了較多的研發人員，研發人員數量增長較快，由報告期期初的 68 人增長至 133 人。待上述國家重大科技專項驗收完結后，公司將依據屆時生產經營、自主研發活動的開展情況，統籌分配人力資源，合理安排 02 專項研發人員的后續工作。如果屆時研發人員的數量超過生產經營、自主研發活動的需求，則存在研發人員流失的風險。同時，截至本招股說明書簽署日，公司部分清華大學的兼職人員擔任公司的同時，截至本招股說明書簽署日，公司部分清華大學的兼職人員擔任公司的首席科學家、核心技術人員、技術顧問或從事

130、技術支持相關工作，相關情況如下：首席科學家、核心技術人員、技術顧問或從事技術支持相關工作，相關情況如下：姓名姓名 在清華大學任職情況在清華大學任職情況 在在公司公司處兼職情況處兼職情況 朱煜朱煜 長聘教授、博士生導師長聘教授、博士生導師 董事、首席科學家、核心技術人員董事、首席科學家、核心技術人員 張鳴張鳴 副研究員副研究員 董事、核心技術人員、技術顧問董事、核心技術人員、技術顧問 楊開明楊開明 副研究員副研究員 董事、技術顧問董事、技術顧問 王磊杰王磊杰 助理研究員助理研究員 顧問顧問 朱煜、張鳴、楊開明、王磊杰已取得清華大學兼職批復，作為兼職人員在發朱煜、張鳴、楊開明、王磊杰已取得清華大學

131、兼職批復，作為兼職人員在發行人處工作。鑒于上述人員尚未完全從清華大學離職且兼職批復到期后仍需清華行人處工作。鑒于上述人員尚未完全從清華大學離職且兼職批復到期后仍需清華大學審批，盡管朱煜、張鳴、楊開明、王磊杰已出具相關承諾，承諾大學審批，盡管朱煜、張鳴、楊開明、王磊杰已出具相關承諾，承諾如果如果發行人發行人順利上市，在本次兼職期限屆滿前，將根據發行人的實際需要，向清華大學辦理順利上市，在本次兼職期限屆滿前，將根據發行人的實際需要，向清華大學辦理兼職批復，繼續在發行人處從事兼職工作，如未能重新取得清華大學同意兼職的兼職批復，繼續在發行人處從事兼職工作，如未能重新取得清華大學同意兼職的批復，則將從清

132、華大學辦理離職手續并全職在發行人處工作，但仍存在相關人員批復，則將從清華大學辦理離職手續并全職在發行人處工作，但仍存在相關人員北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-41 不履行承諾或履行承諾后因個人原因從發行人處流失的風險，則可能對發行人造不履行承諾或履行承諾后因個人原因從發行人處流失的風險，則可能對發行人造成一定不利風險。成一定不利風險。（三）核（三）核心技術泄密風險心技術泄密風險 作為技術密集型企業，核心技術對公司的發展起著舉足輕重的作用。公司長期致力于集成電路制造裝備及其核心部件、精密和超精密運動系統的研發、生產。隨著市場的變化，存在因核心技術人員流失或工作失誤，導致

133、核心技術泄露的風險，若同行業競爭企業獲悉公司核心技術，將對公司的生產經營和發展產生不利影響。（四）公司在技術水平、產業化程度等方面與國際領先企業仍存在差距（四）公司在技術水平、產業化程度等方面與國際領先企業仍存在差距 國際領先的半導體設備廠商進入市場多年，擁有充足的資本支持，通過客戶工藝互動和市場積累，在技術和產品研發方面擁有先發優勢，公司部分產品技術水平還落后于國際領先企業。具體而言，公司的晶圓級鍵合設備產品落后競爭對手；激光退火設備在部分指標上仍處于劣勢；精密運動系統在產品線的豐富度方面落后于國際龍頭企業；靜電卡盤在產品線構成、應用制程和應用領域等方面仍有待加強。截至本招股說明書簽署日，公

134、司截至本招股說明書簽署日，公司DWSDWS系列光刻機系列光刻機雙工件臺累計發貨雙工件臺累計發貨4 4臺，目臺，目前仍處于與上海微電子光刻機整機集成、測試階段，尚未通過上海微電子最終驗前仍處于與上海微電子光刻機整機集成、測試階段，尚未通過上海微電子最終驗收。收。目前市場上主流應用的光刻機按光源類型可分為五類：目前市場上主流應用的光刻機按光源類型可分為五類：I I-lineline光刻機、光刻機、KrFKrF光刻機、光刻機、ArFArF光刻機、光刻機、ArFiArFi光刻機（即光刻機（即ArFArF浸沒式光刻機）、浸沒式光刻機）、EUVEUV光刻機，其作為光刻機，其作為關鍵關鍵層主力機型的最小制程

135、工藝節點分別為層主力機型的最小制程工藝節點分別為250nm250nm、90nm90nm、65nm65nm、7nm7nm、3nm3nm。前。前述光刻機中與述光刻機中與工件臺相關的有兩個分系統：工件臺分系統、位移測量反饋分系統。工件臺相關的有兩個分系統：工件臺分系統、位移測量反饋分系統。公司公司DWSDWS系列采用磁懸浮平面電機雙工系列采用磁懸浮平面電機雙工件臺架構，其對應的位移測量反饋分件臺架構，其對應的位移測量反饋分系統采用激光干涉位移測量，主要適用于干式步進掃描式投影光刻機（系統采用激光干涉位移測量，主要適用于干式步進掃描式投影光刻機（I I-lineline、KrFKrF、ArFArF干式

136、光刻機），可用于干式光刻機），可用于65nm65nm及以上工及以上工藝節點藝節點ICIC前道光刻機。適用于前道光刻機。適用于ArFiArFi光刻機的光刻機的DWSiDWSi系列尚在研發中。系列尚在研發中。ASMLASML的光刻機包括的光刻機包括TWINSCAN XTTWINSCAN XT、TWINSCAN NXTTWINSCAN NXT、TWINSCAN NXETWINSCAN NXE三個系列產三個系列產品，其中品，其中XTXT系列光刻機的第一代雙工件臺，采用直線電機加氣浮導軌的雙工件系列光刻機的第一代雙工件臺，采用直線電機加氣浮導軌的雙工件臺架構，對應的位移測量反饋分系統采用激光干涉位移測量

137、，可應用于前道干式臺架構，對應的位移測量反饋分系統采用激光干涉位移測量，可應用于前道干式北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-42/浸沒式光刻機（浸沒式光刻機（i i-lineline、KrFKrF、ArFArF、ArFiArFi）；）；NXTNXT系列光刻機則主要使用第二系列光刻機則主要使用第二代雙工件臺，采用磁懸浮平面電機雙工件臺架構，其對應的位移測量反饋分系統代雙工件臺，采用磁懸浮平面電機雙工件臺架構，其對應的位移測量反饋分系統采用平面光柵位移測量，應用于前道干式采用平面光柵位移測量，應用于前道干式/浸浸沒式光刻機（沒式光刻機（ArFArF、ArFiArFi）；）；N

138、XENXE系系列光刻機采用改進后的第二代雙工件臺（真空兼容），并重新采用激光干涉位移列光刻機采用改進后的第二代雙工件臺（真空兼容），并重新采用激光干涉位移測量，主要應用于前道極紫外（測量，主要應用于前道極紫外（EUVEUV）光刻機）光刻機。公司公司DWSDWS系列產品和研發中的系列產品和研發中的DWSiDWSi在雙工件臺架構上跨過了在雙工件臺架構上跨過了ASMLASML的的XTXT產品產品使用的技術，與使用的技術，與NXTNXT產品雙工產品雙工件臺架構相同，均為磁懸浮平面電機雙工件臺，其件臺架構相同，均為磁懸浮平面電機雙工件臺，其與與NXENXE中中雙工件臺的區別主要體現在真空兼容性方面?？傮w

139、而言，公司雙工件臺的區別主要體現在真空兼容性方面?？傮w而言，公司DWSDWS系列系列光刻機雙工件臺產品與國際領先公司最新推出的干式深紫外（光刻機雙工件臺產品與國際領先公司最新推出的干式深紫外（DUVDUV）光刻機工件）光刻機工件臺使用相同的雙工件臺架構，但性能尚落后于競爭對手；應用于浸沒式臺使用相同的雙工件臺架構，但性能尚落后于競爭對手；應用于浸沒式光刻機的光刻機的DWSiDWSi系列產品仍處于研發中；在極紫外（系列產品仍處于研發中；在極紫外（EUVEUV）光刻機工件臺方面，公司尚未推）光刻機工件臺方面，公司尚未推出產品?？傮w上，現階段公司出產品?？傮w上，現階段公司DWSDWS雙工雙工件臺產品

140、在光刻機整機應用上與國際領先件臺產品在光刻機整機應用上與國際領先產品存在代際差異。產品存在代際差異。根據北京半導體協會統計，根據北京半導體協會統計，20202020 年全球年全球 ICIC 前道光刻機銷售數量為前道光刻機銷售數量為 413413 臺，臺，其中其中 I I-lineline 光刻機、光刻機、KrFKrF 光刻機、光刻機、ArFArF 光刻機、光刻機、ArFiArFi 光刻機、光刻機、EUVEUV 光刻機銷售光刻機銷售數量分別為數量分別為 127127 臺、臺、143143 臺、臺、3333 臺、臺、7979 臺和臺和 3131 臺，臺，I I-lineline 光刻機、光刻機、K

141、rFKrF 光刻機、光刻機、ArFArF 光刻機合計銷量占光刻機合計銷量占 20202020 年度全球年度全球 ICIC 前道光刻機銷量的前道光刻機銷量的 73.37%73.37%，因此前道，因此前道光刻機市場以光刻機市場以銷售量來說仍以銷售量來說仍以 I I-lineline 光刻機、光刻機、KrFKrF 光刻機、光刻機、ArFArF 光刻機為主，光刻機為主，干式光刻機雙工件臺具有干式光刻機雙工件臺具有較大較大的市場空間。但是公司已發出的的市場空間。但是公司已發出的 D DWSWS 光刻機雙工光刻機雙工件臺產品部分技術指標落后于競爭對手，與最先進件臺產品部分技術指標落后于競爭對手，與最先進

142、EUVEUV 光刻機所使用的工件臺光刻機所使用的工件臺性能相比，仍然有較大的差距。隨著性能相比，仍然有較大的差距。隨著 ICIC 制程不斷向前推進，制程不斷向前推進，ICIC 元件將更加復雜，元件將更加復雜，平均所需的曝光層數不斷增多，高端光刻機如平均所需的曝光層數不斷增多，高端光刻機如 ArFiArFi 光刻機、光刻機、EUVEUV 光刻機市場占光刻機市場占有率將逐步提升，逐步降低干式光刻機配置比例。受此影響，干式光刻機市場份有率將逐步提升，逐步降低干式光刻機配置比例。受此影響，干式光刻機市場份額會相應縮小，對公司未來干式光刻機雙工件臺銷售可能造成不利影響。額會相應縮小，對公司未來干式光刻機

143、雙工件臺銷售可能造成不利影響。公司目前積極研發超精密測控領域的半導體設備及部件，但除精密運動系統、靜電卡盤和隔振器外，包括晶圓級鍵合設備、激光退火設備等在內的產品仍處于小批量定制生產階段，尚未實現規?；慨a，光刻機雙工件臺產品光刻機雙工件臺產品尚未尚未通過通過下游客戶的驗收下游客戶的驗收。公司在技術指標、產品線構成、產品迭代情況、應用領域、產業化程度、銷售規模等方面與國際領先企業仍存在一定差距。若公司無法彌補與國際龍頭企業北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-43 之間的技術差距，或無法實現產品的規?；慨a，將對公司業務拓展、收入增長和持續經營帶來不利影響。二、經營風險二、

144、經營風險（一）公司銷售收入規模較小、銷售結構尚未穩定引起持續穩定經營和未來（一）公司銷售收入規模較小、銷售結構尚未穩定引起持續穩定經營和未來發展不確定性的風險乃至未來經營業績大幅下滑的風險發展不確定性的風險乃至未來經營業績大幅下滑的風險 報告期內，公司的晶圓級鍵合設備、激光退火設備和光刻機雙工件臺處于產品商業化初期，客戶相對較少，尚未形成規?；a品銷售，導致公司整體銷售規模較小，銷售結構尚未穩定，存在較大的變動。報告期各期，公司銷售收入分別為 8,570.92 萬元、12,096.58 萬元和 15,234.06 萬元，其中如晶圓級鍵合設備及技術開發報告期各期收入分別為 200.00 萬元、2

145、,561.95 萬元和 1,458.94 萬元，激光退火設備報告期各期收入分別為0.00萬元、1,017.70萬元和1,637.17萬元，光刻機雙工件臺模塊及技術開發報告期各期收入 795.00 萬元、0.00 萬元和1,737.74 萬元。公司部分產品報告期內的銷售收入尚未穩定，存在較大波動，從而引起公司的銷售結構在報告期各期發生一定的變動。如果公司未來超精密測控裝備整機及光刻機雙工件臺等產品不能形成規?；N售或部分產品開發不及預期，可能會導致公司的主要產品銷售收入呈現不同程度下降，從而引起公司產品銷售結構繼續發生變動，并對公司持續穩定經營、未來整體銷售規模、經營業績、未來發展造成不利影響，

146、乃至引起公司總體經營業績大幅下滑。如果公司未來不能形成具有較強競爭力的核心產品、業務布局和商業模式，公司存在未來經營業績及收入下滑的風險，亦會存在難以持續經營和未來發展前景較大不確定性的風險。（二）（二）公司光刻機雙工件臺產品客戶單一且對單一客戶存在依賴，商業化前公司光刻機雙工件臺產品客戶單一且對單一客戶存在依賴，商業化前景不明朗及部分產品商業化不及預期的風險景不明朗及部分產品商業化不及預期的風險 報告期內報告期內，公司光刻機雙工件臺產品公司光刻機雙工件臺產品客戶單一。光刻機雙工件臺模塊及技術開發客戶僅有上海微電子，且目前國內客戶僅有上海微電子有該類產品采購需求，公司光刻機雙工件臺模塊及技術開

147、發銷售對其具有依賴性，2018 年、2020 年實現收入 795.00 萬元、1,737.74 萬元。全球光刻機市場主要由境外廠商主導，中國光刻機市場仍處于起步階段。光全球光刻機市場主要由境外廠商主導，中國光刻機市場仍處于起步階段。光刻機工件臺是光刻機的核心子系統之一，國際主要光刻機整機生產廠商為刻機工件臺是光刻機的核心子系統之一，國際主要光刻機整機生產廠商為 ASMLASML、北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-44 尼康、佳能，尼康、佳能，前述三家廠商合計市場份額超過前述三家廠商合計市場份額超過 90%90%。尼康和佳能都是自主研發生。尼康和佳能都是自主研發生產工件臺

148、，產工件臺，ASMLASML 的高端的高端工件臺也是自主研發生產，公司向這三家銷售光刻機雙工件臺也是自主研發生產，公司向這三家銷售光刻機雙工件臺的機會較小。上海微電子在光刻設備領域代表國內最先進的技術，是國內工件臺的機會較小。上海微電子在光刻設備領域代表國內最先進的技術，是國內領先的半導體設備廠商。上海微電子作為公司目前光刻機雙工件臺產品的唯領先的半導體設備廠商。上海微電子作為公司目前光刻機雙工件臺產品的唯一客一客戶，公司在雙工件臺業務上對其存在依賴。戶，公司在雙工件臺業務上對其存在依賴。影響光刻機雙工件臺商業化的主要因素包括公司產品開發進度、光刻機整機影響光刻機雙工件臺商業化的主要因素包括公

149、司產品開發進度、光刻機整機及系統部件的技術發展、半導體設備的國產化率等。由于光刻機雙工件臺技術開及系統部件的技術發展、半導體設備的國產化率等。由于光刻機雙工件臺技術開發難度大、周期長并且涉及多個交叉領域，公司前期產品開發進度相對較緩；光發難度大、周期長并且涉及多個交叉領域，公司前期產品開發進度相對較緩；光刻機雙工件臺的產業化程度依賴國內刻機雙工件臺的產業化程度依賴國內 ICIC 前道光刻機整機的產業化進程，而后者前道光刻機整機的產業化進程，而后者還受到諸如光源、投影物鏡等其他整機部件以及整機集成技術發展的制約；在國還受到諸如光源、投影物鏡等其他整機部件以及整機集成技術發展的制約；在國內晶圓廠擴

150、產、中美貿易摩擦的背景下，國家高度重視和大力支持半導體設備國內晶圓廠擴產、中美貿易摩擦的背景下，國家高度重視和大力支持半導體設備國產化，但國產光刻機需要經歷客戶驗證、產能爬坡等階段，規?；纳虡I應用尚產化，但國產光刻機需要經歷客戶驗證、產能爬坡等階段，規?；纳虡I應用尚需時日。需時日。目前，公司研發、生產的光刻機雙工件臺下游客戶僅有上海微電子，導致公目前，公司研發、生產的光刻機雙工件臺下游客戶僅有上海微電子，導致公司光刻機雙工件臺產品最終實現商業化應用受限于上海微電子光刻機整機集成司光刻機雙工件臺產品最終實現商業化應用受限于上海微電子光刻機整機集成進度及上海微電子對外銷售情況，即受限于上海微電

151、子光刻機所獲商業訂單及生進度及上海微電子對外銷售情況，即受限于上海微電子光刻機所獲商業訂單及生產排期的影響。一定程度上，公司光刻機雙工件臺產品商業化產排期的影響。一定程度上，公司光刻機雙工件臺產品商業化前景取決于上海微前景取決于上海微電子光刻機整機銷售情況。電子光刻機整機銷售情況。若發行人光刻機雙工件臺產品開發進度緩慢，光刻機其他整機部件以及整機若發行人光刻機雙工件臺產品開發進度緩慢，光刻機其他整機部件以及整機集成技術發展滯緩，半導體設備國產化未達預期，將對發行人光刻機雙工件臺商集成技術發展滯緩，半導體設備國產化未達預期，將對發行人光刻機雙工件臺商業化帶來不利影響，光刻機雙工件臺商業化前景尚不

152、明朗。業化帶來不利影響，光刻機雙工件臺商業化前景尚不明朗。此外此外，報告期內，晶圓級鍵合設備及技術開發實現收入的客戶為上海集成、先方半導體、東途自動化，報告期各期實現收入分別為 200.00 萬元、2,561.95萬元和 1,458.94 萬元；報告期內，激光退火設備實現收入的客戶為燕東微電子、泰科天潤，2019 年及 2020 年實現收入 1,017.70 萬元、1,637.17 萬元。若公司上述產品因技術或客戶需求等原因導致產業化不及預期，則可能對公司未來的經營業績造成不利影響。同時，公司業務拓展及收入增長受到行業政策、國際政治經濟環境、國內宏觀經濟形勢、公司的市場開拓、市場競爭、新產品推

153、出節奏、新產品比較優勢、在手訂單執行情況等多種因素的影響。因此，如果上述因素發生不利變動，將對北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-45 公司業務拓展、收入增長和公司持續經營和未來發展前景帶來不利影響。（三）行業政策變動風險（三）行業政策變動風險 公司主營業務為以超精密測控技術為基礎，研究、開發以及生產超精密測控設備部件、超精密測控設備整機并提供相關技術開發服務，屬于國家發展改革委員會頒布的產業結構調整指導目錄所規定的鼓勵類產業。近年來，在我國政策推動和大力支持下，該行業穩健發展，逐漸接近國際先進水平。隨著外部環境的變化，若未來公司所處行業國家政策或支持力度發生變化，公司不

154、能及時調整以適應行業政策的變化，將會對公司的生產經營活動產生不利影響。（四）下游行業及下游客戶資本性支出波動風險（四）下游行業及下游客戶資本性支出波動風險 公司所處的半導體設備行業會受到下游的半導體市場以及終端消費市場需求的變動而呈現一定程度的周期波動。近年來，半導體的市場需求持續增長，特別是中國半導體產業在政府和資本的推動下呈現高速增長的態勢。因此，下游半導體制造企業在資本性支出方面也呈現出快速上升的勢頭。如果未來下游半導體的終端需求有所減弱，行業景氣度下降，導致下游客戶削減資本性支出，將會減少半導體設備行業的市場需求，從而對公司的持續發展產生不利影響。（五）客戶集中風險（五）客戶集中風險

155、報告期內，公司向前五名客戶的銷售收入金額分別為 4,305.34 萬元、6,479.63 萬元和 8,827.22 萬元，占當期營業收入的比重分別為 50.23%、53.57%和 58.03%，客戶集中度較高。同時，報告期內公司部分重點產品如光刻機雙工件臺模塊目前下游客戶僅有上海微電子，晶圓級鍵合設備實現收入的客戶較少，僅上海集成、先方半導體、東途自動化，激光退火設備實現收入的客戶較少，僅燕東微電子、泰科天潤，公司重點發展產品的下游客戶相對集中。如果未來公司主要客戶的采購、經營戰略發生較大變化，或主要客戶資信情況發生重大不利變化，以及因公司提供的產品質量問題與客戶發生糾紛，或者因技術原因等因素

156、無法滿足客戶的需求，則公司經營業績將面臨下降或增速放緩的風險，將對公司經營業績及未來發展產生重大不利影響。（六）季節性經營業績波動的風險（六）季節性經營業績波動的風險 公司主要產品包括精密運動系統、光刻機雙工件臺模塊、靜電卡盤和隔振器北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-46 等超精密測控設備部件及晶圓級鍵合設備、激光退火設備等超精密測控設備整機，以及上述部分主要產品的技術開發服務。一般情況下，在每年的上半年由客戶向公司下訂單，公司于下半年特別是第四季度向客戶交付相關的技術成果或產品。報告期內，公司主營業務收入按季度劃分的具體情況如下：報告期內，公司主營業務收入按季度劃分的

157、具體情況如下：單位：萬元單位：萬元 季度季度 20202020 年度年度 20192019 年度年度 20182018 年度年度 金額金額 占比占比 金額金額 占比占比 金額金額 占比占比 一季度一季度 1,010.651,010.65 6.64%6.64%762.06 762.06 6.30%6.30%341.14341.14 3.98%3.98%二季度二季度 2,456.452,456.45 16.15%16.15%2,571.03 2,571.03 21.25%21.25%1,959.131,959.13 22.86%22.86%三季度三季度 3,010.653,010.65 19.79

158、%19.79%2,874.58 2,874.58 23.76%23.76%1,183.081,183.08 13.80%13.80%四季度四季度 8,734.088,734.08 57.42%57.42%5,888.65 5,888.65 48.68%48.68%5,087.575,087.57 59.36%59.36%主營業務收入主營業務收入 15,211.8315,211.83 100.00%100.00%12,096.32 12,096.32 100.00%100.00%8,570.928,570.92 100.00%100.00%由上由上表表所示所示，公司每年上半年形成的收入相對較低，

159、而下半年形成的收入相對較大，特別是第四季度的收入一般而言占全年的收入比重是四個季度中最高的。公司每年在各個季度之間會存在經營業績的不均衡分布，投資者不能以單個季度或半年的經營業績簡單推測全年的業績水平，同時，若公司下半年或第四季度經營情況不及預期，則會對公司全年經營業績造成一定不利影響。（七）共同擁有專利及獨占實施許可專利重大變化的經營風險（七）共同擁有專利及獨占實施許可專利重大變化的經營風險 截至 2021 年 6 月 30 日，發行人與清華大學共同所有 162 項專利技術以及1 項獨占實施許可專利。對于共同擁有的 162 項專利，發行人與清華大學通過協議約定了發行人具有該部分專利技術的獨占

160、實施權，清華大學具有收益分配的權利。在協議正常履行的情況下，發行人與清華大學共同所有的專利技術由發行人獨占實施；若發行人與清華大學的協議由于不可抗力或其他因素如清華大學違反協議約定，導致協議無效、終止或者清華大學停止授權或授權第三方使用該部分專利技術等引起不利于發行人的變化，則可能導致該等共有專利權屬及經授權使用獨占實施許可專利事項產生糾紛，則發行人的獨占實施可能會因前述情況受到一定的影響，則可能對發行人的生產經營活動造成不利影響。截至 2021 年 6 月 30 日，公司與清華大學因合作研發項目但未明確約定收益共享方式的共同申請專利中，已授權專利 9 項、在審專利 9 項。目前公司正在與清華

161、大學參照歷史轉讓方式進行協商；公司現有 15 項（其中 3 項與公司主營北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-47 業務無關）和在審的 4 項專利權人屬于公司但專利發明人涉及公司聘請的清華大學兼職人員，清華大學可能對相關專利主張權利，公司為避免相關專利權利受到影響，正在與清華大學協商相關專利的解決方案；同時，根據清華大學關于知識產權的相關規定，學校師生從事學校分配的任務所申請的專利屬于職務發明，應將清華大學列為專利申請人。清華大學可能據此主張公司聘請的清華大學兼職人員所參與申請的專利與發行人共有，未來如若公司聘請的清華大學兼職人員繼續參與公司新增專利申請，需要與清華大學共享

162、相關專利權益，則會對公司獨享相關專利的權益造成不利影響，進而可能對公司未來生產經營造成不利影響。（八）國際宏觀環境惡化風險（八）國際宏觀環境惡化風險 隨著我國崛起，我國經濟在國際經濟中起到的作用越來越大，國際競爭激烈，各種不穩定因素頻現，國際貿易摩擦也頻現，部分國家通過貿易保護的手段試圖制約我國相關產業的發展。由于中美貿易摩擦存在不確定性，若美國出臺相關貿易限制性政策使得公司用于生產經營的原材料無法從美國采購，在短時間內公司調整供應鏈可能導致部分產品無法及時交付并且無法確認收入。若國際宏觀環境惡化，國外供應商無法及時供貨，導致公司無法從境外購買相關原材料，將對公司研發及正常生產經營產生不利影響

163、。（九）市場競爭風險（九）市場競爭風險 相比較于國際先進市場，我國集成電路制造裝備和關鍵部件制造的發展存在一定滯后性，目前國內集成電路制造裝備市場基本為國外知名集成電路裝備制造企業所壟斷。公司生產的光刻機雙工件臺所在市場的主要參與者為國外具有資金及技術優勢的大型知名企業。隨著我國政策的大力支持，國內企業也逐漸加入到該行業中參與競爭。未來公司將面臨著國際知名企業以及國內企業的競爭壓力和市場競爭風險。（十）專利技術到期風險（十）專利技術到期風險 截至2021年6月30日，公司擁有的專利中有19項實用新型、1項外觀設計、1項發明專利權保護期不足5年，具體如下：序號 類別 專利名稱 專利 權人 專利號

164、 申請日 取得方式 他項權利 北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-48 序號 類別 專利名稱 專利 權人 專利號 申請日 取得方式 他項權利 1 實用新型 一種穩定的三自由度隔振機構 華卓精科 ZL201320322208.6 2013/06/05 申請 無 2 實用新型 一種平面電動機驅動的磁懸浮粗微動一體掩模臺 清華大學、華卓精科 ZL201420212085.5 2014/04/28 申請 無 3 實用新型 一種平面電動機驅動的粗微動一體掩模臺 清華大學、華卓精科 ZL201420219639.4 2014/04/28 申請 無 4 實用新型 一種六自由度磁懸浮運動

165、臺 清華大學、華卓精科 ZL201420222649.3 2014/04/30 申請 無 5 實用新型 一種三線擺串聯空氣彈簧隔振機構及隔振系統 清華大學、華卓精科 ZL201220652170.4 2012/11/30 申請 無 6 實用新型 倒置式空氣彈簧隔振器 清華大學、華卓精科 ZL201220748399.8 2012/12/28 申請 無 7 實用新型 一種光刻機硅片臺微動工作臺 清華大學、華卓精科 ZL201320224100.3 2013/04/27 申請 無 8 實用新型 一種帶真空抓取抬升機構的六自由度微動臺 清華大學、華卓精科 ZL201320346353.8 2013/

166、06/17 申請 無 9 實用新型 一種帶自動抓取抬升機構的六自由度微動臺 清華大學、華卓精科 ZL201320346593.8 2013/06/17 申請 無 10 實用新型 一種具有真空罩的動鐵式磁浮平面電機 清華大學、華卓精科 ZL201320605476.9 2013/09/27 申請 無 11 實用新型 一種具有真空罩的動圈式磁浮平面電機 清華大學、華卓精科 ZL201320605469.9 2013/09/27 申請 無 12 實用新型 一種磁流體動量球 清華大學、華卓精科 ZL201520714560.3 2015/09/15 申請 無 13 外觀設計 二位三通閥 華卓精科 ZL

167、201530052608.4 2015/03/03 申請 無 14 實用新型 石墨烯電極的靜電卡盤裝置 華 卓 精科 ZL201620163992.4 2016/3/3 申請 無 15 實用新型 靜電卡盤裝置 華 卓 精科 ZL201620164034.9 2016/3/3 申請 無 16 實用新型 平板型靜電卡盤裝置 華 卓 精科 ZL201620610733.1 2016/6/20 申請 無 17 實用新型 手持式靜電吸盤裝置 華 卓 精科 ZL201620610230.4 2016/6/20 申請 無 北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-49 序號 類別 專利名稱

168、專利 權人 專利號 申請日 取得方式 他項權利 18 實用新型 陶瓷靜電卡盤裝置 華 卓 精科 ZL201620610232.3 2016/6/20 申請 無 19 實用新型 陶瓷靜電卡盤裝置 華 卓 精科 ZL201620611847.8 2016/6/20 申請 無 20 發明 電磁力并聯驅動式平面三自由度精密微動臺 清 華 大學、華卓精科 ZL200610076247.7 2006/4/21 受讓 無 21 實用新型 基于一維運動機構和二維位置傳感器的六自由度定位系統 清 華 大學、華卓精科 ZL201620341930.8 2016/4/21 申請 無 上述專利保護領域涉及發行人的光刻

169、機雙工件臺的產品，在專利到期后，公司將不再享有獨占保護的權利，公司只能就上述工藝環節的其他方面采用商業秘密保護，將會削弱發行人技術的保護力度，可能會對公司相關業務產生不利影響。三、財務風險三、財務風險（一）政府補助政策變動的風險（一）政府補助政策變動的風險 為鼓勵集成電路行業的發展，我國中央財政給予大力支持。報告期內，公司收到的政府補助分別為 13,931.25 萬元、32,136.67 萬元和 26,651.20 萬元。如果未來公司無法繼續享受上述政府補助，將影響公司的技術研發投入，影響公司維持技術先進性，進而可能影響公司的經營活動，對公司未來經營業績造成一定不利影響。（二）凈資產收益率下降

170、的風險（二）凈資產收益率下降的風險 本次發行完成后，募集資金到位，公司凈資產將大幅增加。但由于募集資金投資項目效益的產生需要經歷項目建設、竣工驗收、投產使用等過程，且項目預期產生的效益需要逐步實現，具有一定的不確定性。因此，公司存在發行完成后，當年凈資產收益率出現大幅下降的風險。（三）稅收優惠政策變動的風險（三）稅收優惠政策變動的風險 報告期內，公司均被認定為高新技術企業。根據中華人民共和國企業所得稅法以及中華人民共和國企業所得稅法實施條例的相關規定，報告期內公司均享受高新技術企業 15%所得稅的優惠稅率。報告期內，公司因高新技術企北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-50

171、 業享受 15%所得稅優惠稅率對公司利潤總額的影響比例分別為 4.52%、4.19%及 0.00%。如果未來公司無法通過高新技術企業資格復審，或國家相關稅收政策發生變化，則可能面臨因稅收優惠減少或取消而對公司經營業績造成不利影響。（四）應收賬款回收的風險（四）應收賬款回收的風險 報告期內，公司經營規模逐漸擴大，公司應收賬款規?？傮w有所增加。報告期各期末，公司應收賬款凈額分別為 4,216.34 萬元、8,605.77 萬元和 11,891.34萬元，占流動資產的比例分別為 12.90%、14.70%和 13.23%。雖然目前公司主要客戶信用狀況良好，應收賬款回款總體情況良好，且公司已根據謹慎性

172、原則對應收賬款計提壞賬準備，但公司應收賬款規模的增加，加大了公司的經營風險。如果未來經濟形勢惡化或者主要客戶自身發生重大經營困難，公司將面臨應收賬款回收困難的風險。（五）匯率波動風險（五）匯率波動風險 鑒于國外市場集成電路制造裝備行業處于領先的地位，其技術水平成熟度較高，針對部分關鍵部件，公司仍需通過國外進口采購。在進口采購過程中多以被采購產品所在國的貨幣進行結算（如美元、日元），若未來人民幣匯兌相應國外貨幣發生較大波動，將可能增加公司采購成本，從而對公司的經營業績產生不利影響。四、知識產權爭議風險四、知識產權爭議風險 集成電路制造裝備行業是典型的知識密集型行業，涉及多個行業和領域，亦需要投入

173、大量的財力、物力以及人力。國外企業由于在該領域內持續投入時間較長，在生產技術上處于領先地位而且通常會通過申請專利等方式設置較高的進入壁壘。公司雖然一直重視自主知識產權的研發，建立了科學的研發體系及知識產權保護體系，但仍不能排除與競爭對手產生知識產權糾紛，亦不能排除公司的知識產權被侵權，此類知識產權爭端將對公司的正常經營活動產生不利影響。五、內控風險五、內控風險（一）業務規模擴張帶來的管理風險）業務規模擴張帶來的管理風險 報告期內，公司營業收入金額分別為 8,570.92 萬元、12,096.58 萬元和15,234.06 萬元；報告期各期末，公司總資產金額分別為 42,969.16 萬元、北京

174、華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-51 87,372.95 萬元和 125,682.11 萬元，公司營業規模和資產規模均快速增長。公司管理的廣度和深度在不斷增加，對管理層的挑戰和能力要求也在不斷加強。隨著公司業務、資產規模和人員數量的擴大，公司內部管理的復雜程度不斷上升。若公司管理層未能有效的調整以適應公司規模的擴大，或公司組織機構和管理制度未能隨公司規模的擴大及時進行調整和完善，將給公司的穩定發展帶來不利影響。（二）實際控制人控制不當的風險（二）實際控制人控制不當的風險 本次發行前，公司控股股東、實際控制人朱煜直接持有公司 8,573.29 萬股，占公司總股數的35.72

175、%。艾西科技持有公司5.19%股份，艾西博銳持有公司0.26%股份，朱煜為艾西科技和艾西博銳的普通合伙人、執行事務合伙人。徐登峰、張鳴、楊開明、尹文生、胡金春、穆海華、成榮 7 名股東，合計持有 13.06%的公司股權，與朱煜保持一致行動關系。朱煜實際控制的股份比例合計為 54.23%，為公司實際控制人。本次發行后，朱煜仍為公司控股股東、實際控制人，對公司生產經營活動具有重大決策權?？毓晒蓶|能夠通過行使其表決權對公司經營活動、重大人事任免以及財務決策等方面產生重大影響，可能會形成有利于控股股東但有損于公司及其他中小股東的決策，從而存在侵害公司利益、其他中小股東和社會公眾投資者利益的風險。六、發

176、行失敗風險六、發行失敗風險 根據科創板首次公開發行股票注冊管理辦法（試行）、上海證券交易所科創板股票發行與承銷實施辦法等相關規定，發行人在發行過程中，如出現網下投資者申購數量低于網下初始發行量，或者預計發行后總市值不滿足其在招股說明書中明確選擇的上市標準等情形的，需中止發行，且發行人中止發行上市審核程序超過交易所規定的時限或者中止發行注冊程序超過 3 個月仍未恢復，或者存在其他影響發行的不利情形，則發行人面臨發行失敗的風險。七、其他風險七、其他風險（一）發行人生產經營受新冠疫情影響的風險（一）發行人生產經營受新冠疫情影響的風險 2020 年初，新冠肺炎疫情對公司的生產經營造成階段性的不利影響。

177、截至本招股說明書簽署日，新冠肺炎疫情雖然在國內得到初步控制，但國外的疫情形勢仍然嚴峻，若國外疫情無法得到有效控制，引發國內疫情出現反復，可能會對北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-52 公司經營業績造成不利影響。（二）募集資金投資項目風險（二）募集資金投資項目風險 為提升公司競爭力，本次募集資金在扣除發行相關費用后，主要投向半導體裝備關鍵零部件研發制造項目、超精密測控產品長三角創新與研發中心、集成電路裝備與零部件產品創新項目、光刻機超精密位移測量及平面光柵測量技術研發項目。雖然前述募投項目為公司根據實際經營狀況確定，且進行了審慎的可行性研究，但由于市場競爭、技術發展、國際

178、政策以及宏觀環境存在較大的不確定性，如果前述因素的變化對公司產生重大不利影響，則可能對募集資金投資項目的如期實施或實施效果產生重大不利影響。本次發行募集資金投資項目建成后，公司預計將新增固定資產約 6.25 億元。按公司現有固定資產折舊的會計政策，公司每年將新增固定資產折舊約 2,880 萬元。如果市場環境發生重大變化，募集資金投資項目的預期收益不能實現，公司可能因固定資產折舊的大量增加而出現利潤下滑的風險。（三）股價波動風險（三）股價波動風險 公司首次公開發行股票并上市后，公司股票的價格不僅受到經營業績、財務狀況和發展前景的影響，還將受到國際政治、宏觀經濟、資本市場走勢以及投資者情緒等方面的

179、影響。公司股票的價格可能因上述諸種因素而背離其投資價值，投資者應充分了解股票市場的投資風險及公司所披露的風險因素，審慎做出投資判斷。（四）部分核心人員兼職的風險（四）部分核心人員兼職的風險 公司董事、首席科學家、核心技術人員朱煜系清華大學的長聘教授、博士生導師，董事徐登峰系清華大學的助理研究員，董事、核心技術人員張鳴系清華大學的副研究員，董事楊開明系清華大學的副研究員，董事會秘書成榮系清華大學的助理研究員，營銷總監李鑫、顧問王磊杰系清華大學的助理研究員。上述人員中成榮、李鑫已與清華大學簽訂了離崗創新創業協議，離崗創新創業期間專職在發行人處工作。除此之外，其他人員在公司工作均為兼職，符合國家鼓勵

180、事業單位科研人員兼職創新的相關政策。如果未來國家或清華大學有關事業單位科研人員兼職創新的相關政策發生變化，將影響上述人員在公司的離崗創業或兼職工作，進而對公司的生產經營造成不利影響。北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-53 第五節第五節 發行人基本情況發行人基本情況 一、發行人基本情況一、發行人基本情況 公司名稱：北京華卓精科科技股份有限公司 英文名稱：Beijing U-PRECISION TECH CO.,LTD.法定代表人：孫國華 注冊資本：24,000.00 萬元 有限公司成立日期：2012 年 5 月 9 日 股份公司成立日期：2015 年 8 月 10 日 公

181、司住所：北京市北京經濟技術開發區經海四路 156 號院 10 號樓 4 層 郵政編碼：100176 聯系電話：010-62780958 傳真號碼：010-62780923 互聯網網址：http:/www.u- 電子郵箱：infou- 負責信息披露和投資者關系的部門：證券事務部 信息披露負責人：成榮 信息披露負責人聯系電話：010-62780958 二、發行人的設立及報告期內股本和股東變化情況二、發行人的設立及報告期內股本和股東變化情況（一）華卓有限的設立情況（一）華卓有限的設立情況 華卓精科的前身華卓有限成立于 2012 年 5 月 9 日，由信匯科技出資 640 萬元、華卓精密出資 350.

182、00 萬元、徐登峰出資 10.00 萬元，合計出資 1,000.00 萬元設立。2020 年 4 月 30 日，大華會計師出具了大華核字2020第 005719 號出資復核報告，確認截至 2012 年 5 月 4 日止，公司已收到各股東繳納的貨幣資金出資款 1,000 萬元。2012 年 5 月 9 日，海淀區工商局核發了注冊號為 110108014886213 的 企業法人營業執照，核準公司注冊資本 1,000.00 萬元。華卓有限設立時，股東出資額、出資方式及股權比例如下：北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-54 序號序號 股東股東 出資額（出資額（萬元）萬元）股權比

183、例股權比例 出資方式出資方式 1 信匯科技 640.00 64.00%貨幣 2 華卓精密 350.00 35.00%貨幣 3 徐登峰 10.00 1.00%貨幣 合計合計 1,000.00 100.00%-上述華卓有限成立時股東中信匯科技和徐登峰所持有的股份為代持股份，其具體形成原因、演變情況及解除過程具體如下：（1）代持形成原因 2012 年 4 月 23 日，北京清華工業開發研究院與朱煜簽署北京華卓精科科技有限公司股東協議，約定清華大學通過其產業化平臺北京清華工業開發研究院成立的投資基金（即水木啟程），與清華大學機械工程系 IC 制造裝備研究室核心團隊人員朱煜、徐登峰、張鳴、楊開明、尹文生

184、、胡金春、穆海華、成榮以自然人身份成立的兩家公司（即華卓精密及艾西精創）共同設立華卓有限。華卓有限設立時的注冊資本為 1,000 萬元，其中水木啟程出資 400 萬元，華卓精密出資 350 萬元，艾西精創出資 250 萬元。由于水木啟程尚未完成設立，北京清華工業開發研究院委托信匯科技階段性代持股權。北京清華工業開發研究院的全資子公司水木華研、信匯科技、朱煜、徐登峰在華卓有限設立時簽署的股權代持四方協議，華卓有限最初設立時的實際股權設置是由朱煜及其團隊人員以組建兩家公司（即華卓精密及艾西精創）方式分別出資 35%及 25%，由水木華研出資的一家投資基金（即水木啟程）出資 40%。因承擔國家重大專

185、項立項申報需要盡快設立華卓有限作為課題責任單位，但當時水木啟程、艾西精創都尚未完成設立，故各方約定過渡性的股權代持方案，即華卓有限設立時 1,000 萬元注冊資本中，華卓精密實際出資占比 35%，信匯科技代為出資并代持股權 64%，其中 40%為代水木啟程出資，24%為代艾西精創出資，徐登峰以自然人身份代艾西精創出資 1%。待水木啟程及艾西精創設立后，各方將按照實際的股權設置方案進行還原。（2）演變情況及解除過程 2012 年 8 月 27 日，華卓有限召開股東會，同意信匯科技向艾西精創轉讓其持有的 24%公司股權，同意信匯科技向水木啟程轉讓其持有的 40%公司股權，同意徐登峰向艾西精創轉讓其

186、持有的 1%公司股權。北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-55 2012 年 8 月 27 日，信匯科技分別與艾西精創、水木啟程簽署了出資轉讓協議書，信匯科技將其持有的華卓有限 240 萬元、400 萬元股權分別轉讓給艾西精創和水木啟程。同日，徐登峰與艾西精創簽署了出資轉讓協議書，徐登峰將持有的華卓有限 10 萬股權轉讓給艾西精創。2012 年 9 月 21 日，海淀區工商局核準上述變更，并核發了變更后的企業法人營業執照。上述股權轉讓完成后，華卓有限的股權結構還原為真實狀態，各方之間的代持關系實際解除，股東出資額、出資方式及股權比例如下：序號序號 股東股東 出資額（萬元）

187、出資額（萬元）出資比例出資比例 出資方式出資方式 1 水木啟程 400.00 40.00%貨幣 2 華卓精密 350.00 35.00%貨幣 3 艾西精創 250.00 25.00%貨幣 合計合計 1,000.00 100.00%-（3）不存在糾紛或潛在糾紛 2012 年 8 月，信匯科技向水木啟程轉讓 400 萬元股權，向艾西精創轉讓 240萬元股權，徐登峰向艾西精創轉讓 10 萬元股權，上述三次股權轉讓實質是各方依據股權代持四方協議的約定，將華卓有限設立時的股權代持還原為真實持股情況。股權轉讓完成后，華卓有限的股權結構已還原為實際狀態，股權代持關系已經解除。各方關于股權代持的設置、解除、款

188、項支付、股權還原的過程及結果予以認可，不存在任何糾紛或潛在糾紛。（二）股份有限公司的設立情況（二）股份有限公司的設立情況 2015 年 6 月 29 日，中喜會計師對華卓有限以截至 2015 年 5 月 31 日的凈資產進行審計并出具了中喜審字2015第 0917 號審計報告，截至 2015 年 5月 31 日，華卓有限經審計的賬面凈資產為 17,223,417.88 元。2015 年 6 月 30 日，中和誼資產評估出具中和誼評報字201521028 號關于北京華卓精科科技有限公司擬以凈資產出資項目資產評估報告書，截至評估基準日 2015 年 5 月 31 日，被評估單位股東權益（凈資產）評

189、估值為 1,725.43 萬元，較賬面凈資產增值 3.09 萬元，增值率為 0.18%。2015 年 7 月 1 日，華卓有限召開股東會，決議以華卓有限現有股東為發起人設立股份公司，以華卓有限 2015 年 5 月 31 日為基準日，經中喜會計師出具的中喜審字2015第 0917 號審計報告審計的凈資產 17,223,417.88 元折為北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-56 17,000,000 股，凈資產超過注冊資本的部分計入股份公司的資本公積，各發起人按照各自在華卓有限的出資比例持有相應數額的股份。同日，華卓有限所有股東朱煜、徐登峰、張鳴等作為發起人簽署發起人協議

190、。2015 年 7 月 15 日，中喜會計師出具了中喜驗字2015第 0320 號驗資報告，經審驗，截至 2015 年 7 月 1 日，華卓精科（籌）已收到全體股東以其擁有的華卓有限截至 2015 年 5 月 31 日經審計后的凈資產 17,223,417.88 元折合股份總數 17,000,000 股，股本總額為 17,000,000.00 元，凈資產超過注冊資本的部分 223,417.88 元計入股份公司的資本公積。2015 年 8 月 10 日，海淀區工商局核發了注冊號為 110108014886213 的股份公司營業執照。股份公司設立時股份總數為 17,000,000 股，每股面值 1

191、.00 元，股份公司股東的持股數量及持股比例為：序號序號 股東股東 持股數量（股）持股數量（股）持股比例持股比例 1 朱煜 5,559,000 32.70%2 水木啟程 3,231,700 19.01%3 海淀園創業服務中心 2,393,600 14.08%4 水木長風 1,939,700 11.41%5 徐登峰 1,033,600 6.08%6 張鳴 904,400 5.32%7 楊開明 775,200 4.56%8 尹文生 387,600 2.28%9 胡金春 258,400 1.52%10 穆海華 258,400 1.52%11 成榮 258,400 1.52%合計合計 17,000,0

192、00 100.00%1、整體變更設立股份有限公司時累計未彌補虧損形成原因、整體變更設立股份有限公司時累計未彌補虧損形成原因 公司變更為股份有限公司以前形成累計虧損主要是由于華卓有限在初創階段，部分尖端技術成果尚未實現產業化。同時，公司客戶積累較為薄弱，營業收入規模較小，截至 2015 年 5 月，公司累計未彌補虧損的金額為 1,286,582.12元。北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-57 2、整體變更的具體方案及相應的會計處理、整體變更的具體方案及相應的會計處理 2015 年 7 月 1 日，華卓有限召開股東會，決議以華卓有限現有股東為發起人設立股份公司，以華卓有限

193、2015 年 5 月 31 日為基準日，以經中喜會計師出具的中喜審字2015第 0917 號審計報告審計的凈資產值 17,223,417.88 元折為 17,000,000 股，凈資產超過注冊資本的部分計入股份公司的資本公積。截至 2015 年 5 月 31 日，公司整體變更前后會計科目變化如下：單位：元 項目項目 整體變更前整體變更前 整體變更后整體變更后 實收資本/股本 13,151,850.00 17,000,000.00 資本公積 5,358,150.00 223,417.88 盈余公積 -未分配利潤 -1,286,582.12 -所有者權益 17,223,417.88 17,223,

194、417.88 整體變更時，公司會計處理為：借記實收資本 13,151,850.00 元、資本公積5,358,150.00 元，未分配利潤-1,286,582.12 元，貸記股本 17,000,000.00 元、資本公積 223,417.88 元。公司以不高于凈資產金額進行折股，通過整體變更設立股份公司。3、導致整體變更設立股份有限公司前未彌補虧損形成的原因已消除，整體、導致整體變更設立股份有限公司前未彌補虧損形成的原因已消除，整體變更后的變化情況和發展趨勢，與報告期內盈利水平的匹配關系，對未來盈利能變更后的變化情況和發展趨勢，與報告期內盈利水平的匹配關系，對未來盈利能力的影響力的影響 公司變更

195、設立以來，保持了良好的盈利能力。立足超精密裝備測控技術，公司研發投入不斷增加，并承擔了國家重大科技 02 專項下多項課題的聯合研發工作，積累了大量與產業實踐緊密銜接的技術成果轉化經驗。深厚的技術儲備和高效的研發體系使公司得以不斷拓展產品線，推動了近年來公司營業收入與利潤的持續增長，報告期內，公司主要經營成果如下：單位：萬元 項目項目 2020 年度年度 2019 年度年度 2018 年度年度 營業收入 15,234.06 12,096.58 8,570.92 凈利潤 1,242.83 2,087.24 1,512.36 2018 年度至 2020 年度，公司營業收入從 8,570.92 萬元增

196、長至 15,234.06萬元，復合增長率為 33.32%，凈利潤分別為 1,512.36 萬元、2,087.24 萬元和北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-58 1,242.83 萬元，總體呈現先升后降各年度有所波動，但始終保持盈利能力。公司主營業務持續增長，截至 2020 年 12 月 31 日，公司合并口徑未分配利潤為 5,629.59 萬元，報告期內，公司未分配利潤變動情況如下：單位：萬元 項目項目 2020 年度年度 2019 年度年度 2018 年度年度 期初未分配利潤 4,524.84 2,639.02 1,285.11 加：本期歸屬于母公司所有者的凈利潤 1

197、,242.83 2,087.24 1,512.36 減：提取法定盈余公積 138.08 201.42 158.45 期末未分配利潤 5,629.59 4,524.84 2,639.02 綜上，隨著公司技術優勢逐漸顯現、主營業務市場逐步打開，公司的盈利能力逐漸提升，已經實現了大額累計未分配利潤，未來持續盈利能力良好，股改前未彌補虧損形成的原因目前已消除。（三）報告期內發行人歷次股本演變情況（三）報告期內發行人歷次股本演變情況 1、報告期初的股東情況、報告期初的股東情況 2018 年 1 月 1 日公司的股權結構如下：序號序號 股東股東 數量（股）數量（股）持股比例持股比例 1 朱煜 17,496

198、,577 42.67%2 水木啟程 5,425,691 13.23%3 水木長風 3,256,556 7.94%4 艾西眾創 2,618,000 6.39%5 張鳴 1,776,686 4.33%6 楊開明 1,559,772 3.80%7 徐登峰 1,333,454 3.25%8 吳勇 1,291,459 3.15%9 大華大陸 1,210,000 2.95%10 中金公司 1,000,000 2.44%11 尹文生 779,886 1.90%12 成榮 692,119 1.69%13 中小企業發展基金 600,000 1.46%14 胡金春 512,973 1.25%北京華卓精科科技股份有

199、限公司 招股說明書（上會稿）1-1-59 序號序號 股東股東 數量（股）數量（股）持股比例持股比例 15 天津清研 500,000 1.22%16 武漢至華 300,000 0.73%17 渾璞投資 240,000 0.59%18 穆海華 206,827 0.50%19 匯天澤 100,000 0.24%20 廈門博孚利 100,000 0.24%合計合計 41,000,000 100.00%2 2、報告期內公司股份變動簡要情況、報告期內公司股份變動簡要情況 （1 1）報告期內因增資而發生的股東變化情況）報告期內因增資而發生的股東變化情況 單位：元單位：元/股、股股、股 序號序號 時間時間 股

200、東大會股東大會 審議屆次審議屆次 新增股東新增股東 本次增本次增 資價格資價格 本次認購股份本次認購股份 認購認購 方式方式 1 1 2 2018018 年年 3 3 月月 20172017 年第十年第十次臨時股東次臨時股東大會大會 武漢至華武漢至華 1 12 2 500,000500,000 現金現金 匯天澤匯天澤 400,000400,000 渾璞投資渾璞投資 100,000100,000 合計合計 1 1,000,000,000,000 2 2 2 2018018 年年 5 5 月月 20172017 年年度年年度股東大會股東大會 全體股東全體股東 -4 42,000,0002,000,

201、000 資本公積資本公積轉增股本轉增股本 3 3 2 2018018 年年 9 9 月月 20182018 年第八年第八次臨時股東次臨時股東大會大會 中金公司中金公司 1 12 2 941,666941,666 現金現金 4 4 2 2018018年年1 11 1月月 20182018 年第十年第十一次臨時股一次臨時股東大會東大會 渾璞集成電路渾璞集成電路 1 15 5 2,966,6672,966,667 現金現金 渾璞璞玉六號渾璞璞玉六號 1,431,6671,431,667 紅星美凱龍紅星美凱龍 660,000660,000 合計合計 5,058,3345,058,334 5 5 2 2

202、019019 年年 3 3 月月 20192019 年第四年第四次臨時股東次臨時股東大會大會 上海半導體基金上海半導體基金 2 21 1 2,000,000.002,000,000.00 現金現金 渾璞集成二期渾璞集成二期 1,400,000.001,400,000.00 現金現金 浙江祥馳浙江祥馳 1,000,000.001,000,000.00 現金現金 招商投資招商投資 523,800.00523,800.00 現金現金 深圳招遠深圳招遠 476,200.00476,200.00 現金現金 紅星美凱龍紅星美凱龍 300,000.00300,000.00 現金現金 王建軍王建軍 300,0

203、00.00300,000.00 現金現金 合計合計 6,000,000.006,000,000.00 5 5 2 2020020 年年 9 9 月月 20202020 年第三年第三全體股東全體股東 -144,000,000144,000,000 資本公積資本公積北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-60 序號序號 時間時間 股東大會股東大會 審議屆次審議屆次 新增股東新增股東 本次增本次增 資價格資價格 本次認購股份本次認購股份 認購認購 方式方式 次臨時股東次臨時股東大會大會 轉增股本轉增股本 （2 2）報告期內因股份轉讓而發生的股東變化情況）報告期內因股份轉讓而發生的股

204、東變化情況 單位：股、元單位：股、元 時間時間 出讓方出讓方 受讓方受讓方 轉讓股權數轉讓股權數 轉讓價款轉讓價款 全國股轉系統掛牌期間股份變動情況全國股轉系統掛牌期間股份變動情況 2017.3.12017.3.1 朱煜朱煜 艾西眾創艾西眾創 2,250,0002,250,000 8,932,500.008,932,500.00 2017.5.172017.5.17 徐登峰徐登峰 中小企業發展基金中小企業發展基金 100,000100,000 697,000.00697,000.00 2017.5.52017.5.5-2017.6.232017.6.23 胡金春胡金春 渾璞投資渾璞投資 50,

205、00050,000 348,500.00348,500.00 穆海華穆海華 130,000130,000 906,100.00906,100.00 徐登峰徐登峰 60,00060,000 418,200.00418,200.00 2017.6.232017.6.23 徐登峰徐登峰 廈門博孚利廈門博孚利 100,000100,000 697,000.00697,000.00 2017.7.182017.7.18-2017.8.12017.8.1 海淀園創業服務中心海淀園創業服務中心 朱煜朱煜 4,018,6074,018,607 5,039,842.475,039,842.47 2017.9.2

206、92017.9.29 徐登峰徐登峰 艾西眾創艾西眾創 368,000368,000 2,564,960.002,564,960.00 穆海華穆海華 2018.3.282018.3.28-2018.4.122018.4.12 水木啟程水木啟程 水木愿景水木愿景 4,200,0004,200,000 50,400,000.0050,400,000.00 2018.4.32018.4.3 李彥李彥 1,0001,000 12,000.0012,000.00 2018.4.182018.4.18 單峰單峰 1,224,6911,224,691 14,696,292.0014,696,292.00 20

207、18.4.22018.4.2-2018.4.192018.4.19 渾璞投資渾璞投資 李彥李彥 291,000291,000 5,820,000.005,820,000.00 2018.4.192018.4.19 朱煜朱煜 李彥李彥 500,000500,000 10,000,000.0010,000,000.00 2018.4.272018.4.27 李彥李彥 劉劍華劉劍華 5,0005,000 175,000.00175,000.00 2018.5.42018.5.4 李彥李彥 劉劍華劉劍華 40,00040,000 1,600,000.001,600,000.00 李向英李向英 1,00

208、01,000 40,000.0040,000.00 2018.5.242018.5.24 李彥李彥 劉劍華劉劍華 9,0009,000 180,000.00180,000.00 魏濤魏濤 1,0001,000 20,000.0020,000.00 2018.10.242018.10.24 張鳴張鳴 劉劍華劉劍華 200,000200,000 3,000,000.003,000,000.00 穆海華穆海華 230,000230,000 3,450,000.003,450,000.00 2018.10.252018.10.25 徐登峰徐登峰 朱煜朱煜 200,000200,000 3,000,00

209、0.003,000,000.00 楊開明楊開明 100,000100,000 1,500,000.001,500,000.00 2018.11.202018.11.20 廈門博孚利廈門博孚利 廈門盈科德匯廈門盈科德匯 70,00070,000 1,050,000.001,050,000.00 2018.11.282018.11.28 天津清研天津清研 蔡倩蔡倩 500,000500,000 7,500,000.007,500,000.00 北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-61 時間時間 出讓方出讓方 受讓方受讓方 轉讓股權數轉讓股權數 轉讓價款轉讓價款 2018.11

210、.292018.11.29 徐登峰徐登峰 460,000460,000 6,900,000.006,900,000.00 2018.12.262018.12.26 李彥李彥 姚軍姚軍 250,000250,000 5,000,000.005,000,000.00 2018.12.282018.12.28-2019.1.72019.1.7 李彥李彥 劉劍華劉劍華 1,300,0001,300,000 27,300,000.0027,300,000.00 2019.1.32019.1.3 渾璞投資渾璞投資 李彥李彥 68,00068,000 1,020,000.001,020,000.00 201

211、9.1.72019.1.7 劉劍華劉劍華 林垂楚林垂楚 430,000430,000 9,030,000.009,030,000.00 2019.1.72019.1.7 渾璞投資渾璞投資 李德竹李德竹 2,0002,000 30,000.0030,000.00 李彥李彥 28,00028,000 420,000.00420,000.00 2019.1.82019.1.8 李彥李彥 田彥芬田彥芬 28,00028,000 700,000.00700,000.00 全國股轉系統摘牌后股份變動情況全國股轉系統摘牌后股份變動情況 2019.3.52019.3.5 劉劍華劉劍華 渾璞集成二期渾璞集成二期

212、 640,000640,000 13,664,000.0013,664,000.00 林垂楚林垂楚 渾璞集成二期渾璞集成二期 430,000430,000 9,150,400.009,150,400.00 2019.3.162019.3.16 劉劍華劉劍華 李強連李強連 238,000238,000 4,998,000.004,998,000.00 2019.3.262019.3.26 劉劍華劉劍華 北京文華北京文華 93,00093,000 1,999,500.001,999,500.00 2019.3.272019.3.27 劉劍華劉劍華 渾璞集成二期渾璞集成二期 230,000230,0

213、00 4,945,000.004,945,000.00 劉劍華劉劍華 中麗基金中麗基金 49,00049,000 1,053,500.001,053,500.00 2019.3.302019.3.30 北京文華北京文華 宋樹華宋樹華 21,00021,000 451,500.00451,500.00 2019.7.232019.7.23 艾西眾創艾西眾創 艾西科技艾西科技 5,236,0005,236,000 14,519,446.0014,519,446.00 2019.7.292019.7.29 艾西科技艾西科技 艾西博銳艾西博銳 251,800251,800 698,241.00698,

214、241.00 3 3、截至本招股說明書簽署日，公司的股權結構如下：、截至本招股說明書簽署日，公司的股權結構如下：序號序號 股東股東 持股數量（股）持股數量（股）持股比例持股比例 1 朱煜 85,732,885 35.72%2 水木愿景 21,000,000 8.75%3 水木長風 16,282,780 6.78%4 艾西科技 12,460,500 5.19%5 張鳴 8,383,430 3.49%6 楊開明 7,548,860 3.15%7 渾璞集成電路 7,416,668 3.09%8 中金公司 7,354,165 3.06%9 渾璞集成二期 6,750,000 2.81%10 吳勇 6,4

215、57,295 2.69%11 單峰 6,123,455 2.55%12 大華大陸 6,050,000 2.52%北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-62 序號序號 股東股東 持股數量（股）持股數量（股）持股比例持股比例 13 徐登峰 5,017,270 2.09%14 上海半導體基金 5,000,000 2.08%15 武漢至華 4,000,000 1.67%16 尹文生 3,899,430 1.62%17 渾璞璞玉六號 3,579,168 1.49%18 成榮 3,460,595 1.44%19 中小企業發展基金 3,000,000 1.25%20 胡金春 2,564,

216、865 1.07%21 匯天澤 2,500,000 1.04%22 浙江祥馳 2,500,000 1.04%23 紅星美凱龍 2,400,000 1.00%24 蔡倩 2,400,000 1.00%25 招商投資 1,309,500 0.55%26 天津清研 1,250,000 0.52%27 深圳招遠 1,190,500 0.50%28 王建軍 750,000 0.31%29 艾西博銳 629,500 0.26%30 姚軍 625,000 0.26%31 李強連 595,000 0.25%32 穆海華 459,135 0.19%33 劉劍華 372,500 0.16%34 廈門博孚利 325

217、,000 0.14%35 北京文華 180,000 0.08%36 廈門盈科德匯 175,000 0.07%37 中麗基金 122,500 0.05%38 田彥芬 70,000 0.03%39 宋樹華 52,500 0.02%40 李向英 5,000 0.002%41 李德竹 5,000 0.002%42 魏濤 2,500 0.001%合計合計 240,000,000 100.00%北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-63 三、發行人在其他證券市場的掛牌情況三、發行人在其他證券市場的掛牌情況（一）在股轉系統掛牌的情況（一）在股轉系統掛牌的情況 2015 年 11 月 24

218、 日，全國股轉公司出具關于同意北京華卓精科科技股份有限公司在全國中小企業股份轉讓系統掛牌的函（股轉系統函20158109號），同意公司在全國股轉系統掛牌。2015 年 12 月 11 日，公司股票在全國股轉系統掛牌公開轉讓，證券簡稱：華卓精科，證券代碼：834733。（二）掛牌期間合法合規情況（二）掛牌期間合法合規情況 公司掛牌期間，不存在被行政處罰，或被全國股轉公司采取自律監管措施、紀律處分的情況。（三）從股轉系統摘牌的情況（三）從股轉系統摘牌的情況 2019 年 2 月，華卓精科在全國股轉系統終止掛牌。經公司第二屆董事會第六次會議、2019 年第一次臨時股東大會批準，同意公司向全國股轉公司

219、申請終止掛牌。根據關于同意北京華卓精科科技股份有限公司股票終止在全國中小企業股份轉讓系統掛牌的函（股轉系統函2019471 號），公司股票自 2019 年 2月 13 日起終止在全國股轉系統掛牌。四、發行人報告期內的重大資產重組情況四、發行人報告期內的重大資產重組情況 公司自設立以來，未發生重大資產重組事項。公司自設立以來的其他資產重組情況如下：（一）吸收合并全資子公司華卓運動（一）吸收合并全資子公司華卓運動 1、華卓運動基本情況、華卓運動基本情況 企業名稱：華卓精科（北京）精密運動系統科技有限公司 成立時間：2016 年 6 月 24 日 注冊資本：12,000.00 萬元 法定代表人：楊開

220、明 公司住所：北京市北京經濟技術開發區科創十四街99號33幢D棟二層2242號（集中辦公區）經營范圍：技術開發、技術轉讓、技術咨詢、技術服務、技術培訓；計算機北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-64 系統服務；數據處理；計算機維修；基礎軟件服務、應用軟件服務；工程和技術研究與試驗發展；銷售機械設備、通訊設備、金屬材料、電子產品、計算機、軟件及輔助設備、五金交電。（企業依法自主選擇經營項目，開展經營活動；依法須經批準的項目，經相關部門批準后依批準的內容開展經營活動；不得從事本市產業政策禁止和限制類項目的經營活動。）2、吸收合并具體情況、吸收合并具體情況 為優化管理架構、提高

221、管理效率，2019 年 3 月 4 日，公司 2019 年第三次臨時股東大會做出決議同意吸收合并全資子公司華卓運動；同日，同日，華卓運動做出股東會決議同意其被公司吸收合并事宜。華卓運動在被吸收合并前一個會計年度末（2018 年 12 月 31 日）的資產總額、前一會計年度（2018 年度）營業收入及利潤總額與公司相應項目對比情況如下：單位：元 項目項目 公司名稱公司名稱 資產總額資產總額 營業收入營業收入 利潤總額利潤總額 被吸收合并方被吸收合并方 華卓運動 106,225,747.78 0.00-828,966.47 吸收合并方吸收合并方 華卓精科 429,380,266.93 85,709

222、,168.03 16,250,108.01 占比占比 24.74%0.00%-5.10%由上表可知，華卓運動在被收購前一個會計年度末的資產總額、年度營業收入或利潤總額占同期公司的相應項目比例較低，分別為 24.74%、0.00%和-5.10%。該項收購對公司資產、主營業務未產生重大影響，公司實際控制人、管理層也未因此發生變化。五、發行人股權結構圖五、發行人股權結構圖 截至本招股說明書簽署日，公司的股權結構如下圖所示：北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-65 六、發行人組織結構六、發行人組織結構（一）本公司內部組織結構（一）本公司內部組織結構 截至本招股說明書簽署日，公司的

223、組織結構如下圖所示：（二）公司主要職能部門設置及職責（二）公司主要職能部門設置及職責 北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-66 部門名稱部門名稱 主要職責主要職責 應用工藝部 支持上大線的設備產品的芯片制造工藝，工藝試驗、大線考核等。研發項目的工藝需求管理。負責根據工藝需求提出對研發項目的建議及優化。負責對工藝試驗進行分解，制定分解任務計劃及目標、檢測方法評估。負責按試驗計劃完成工藝試驗。負責對現有工藝進行改進和優化。負責和客戶溝通工藝考核目標、計劃。負責客戶端的工藝測試數據的統計和管理。電氣電子部 支持全公司各個產品項目的研發工作。以公司產品的技術需求為核心，提供電氣、

224、電子及相關專業的技術支持，同時進行部門技術基礎設施建設及技術研發團隊建設。建立部門的技術基礎設施，儀器、設備等工具的采購、管理及維護。配合產品研發，依據產品功能、性能等分解，完成產品級的硬件板卡的需求分析、方案設計、詳細設計、集成裝配方案。產品研發涉及的各類硬件板卡的需求分析、設計、測試類文檔的撰寫工作。產品研發涉及的各類硬件板卡的方案設計、原器件選型、原理圖設計、PCB設計、PCB 投產及跟蹤等工作。配合產品研發，依據產品功能、性能等分解，完成電氣系統的需求分析、方案設計、詳細設計、集成裝配。產品的電氣設計（含控制柜本體結構及散熱系統的設計，供電系統設計，傳感器、連接器、線纜、電氣元器件選型

225、等）?？刂乒こ滩?制定并落實產品（含項目）的控制系統設計方案。依據產品功能、性能等指標分解，完成控制系統的需求分解、需求分析、方案設計、詳細設計。產品控制系統功能、性能測試與調試，控制系統軟件功能測試與調試。產品涉及的控制算法開發、優化與測試，撰寫相關技術報告。產品涉及的控制系統驗收、培訓和使用手冊的編寫。產品控制技術與系統相關專利的撰寫。實施并優化改進計劃，組織工程師進行培訓學習，鞏固控制方面的技能，滿足公司產品對控制方面人才的需求，協助領導實現公司整體進度。軟件工程部 根據公司產品研發需求，進行該產品上位機控制軟件系統的設計、開發與測試工作，以滿足產品正常使用及維護測試所需的軟件功能。組織

226、協調小組成員進行產品軟件的需求調研與分析。組織協調進行需求分析評審工作。進行產品軟件概要設計，包括軟件系統的基本處理流程、軟件組織結構、功能模塊劃分與定義、通訊協議與通訊機制的定義等。進行軟件概要設計評審工作。進行產品軟件的編碼實現。對軟件代碼進行仿真測試。進行軟硬件集成測試，并形成測試報告。光學工程部 以公司產品的技術需求為核心，進行光學工程技術團隊建設及光學工程、光電工程、精密儀器及機械、物理學等相關專業的綜合能力建設，包括部門技術基礎設施等建設。根據公司產品研發、生產的技術需求和公司總體上對光學工程部規模的約束組建專業技術團隊，通過招聘、培訓和管理，保證光學工程專業技術人員在數量和能力上

227、滿足上述需求。配合產品經理進行項目質量控制和專利撰寫。建立部門的技術基礎設施，包括但不限于儀器、設備、工裝工具、軟件開發工具等；配合財務部門進行全面預算管理；對部門所屬專業設備進行管理，北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-67 部門名稱部門名稱 主要職責主要職責 包括維修、維護。機械工程部 支持全公司各個產品項目的機械研發工作，以公司產品的技術需求為核心，提供機械、結構及相關專業的技術支持，同時進行部門技術基礎設施建設及技術研發團隊建設，并在專業相關的前沿技術方向上進行探索和預研工作。根據公司產品研發、生產的技術需求和公司總體上對部門規模的約束組建專業技術團隊，通過招聘、

228、培訓和管理，保證部門專業技術人員在數量和能力上滿足上述需求。配合產品經理進行項目質量控制和專利撰寫。建立部門的技術基礎設施，包括但不限于儀器、設備、工裝工具、軟件開發工具等，配合財務部門進行全面預算管理。對部門所屬專業設備進行管理，包括維修、維護。材料與工藝工程部 以公司產品（項目）的技術需求為核心，進行過程工藝及材料技術團隊建設及本部門所覆蓋專業的綜合能力建設，包括部門技術基礎設施等建設。評定機械圖紙可加工性，可集成性，可維護性，提出修改意見，即機械圖紙審圖。協調機械工程部，進行關鍵件的可加工性分析。進行新工藝研發與工藝優化。負責新產品工藝研發導入，根據設計理念及加工要求，提出工藝需求（工裝

229、、工具、測試臺等）。負責產品的集成工藝維護與改進，解決生產過程中的工藝問題，并進行技術積累、應用及傳承。負責產品的工藝優化，效率提升等項目推進工作。負責為項目生產異常、品質異常，提供指導與技術支持。集成工藝等相關技術、標準的研究，并制定相關標準、規范等文檔。與研發團隊共同進行材料工藝研發與優化。負責陶瓷等特種材料制備及電學性能研究，相關檢測工藝的制定及實施等，并且對檢測結果進行分析與整理。負責材料研究所需相關文檔的撰寫與整理。負責制定產品檢驗測試標準，并組織進行評審。運動控制部 負責進行運動新產品開發和產品改良過程中的機械結構設計等工作。收集運動產品技術信息，提出產品改進建議和新產品開發提議。

230、依據產品開發計劃，主持產品設計工作。設計產品使之達到產品設計要求，并確定產品技術性能標準。參與產品開發的樣品生產和批量試制工作。對原有產品和新開發產品建立完整的產品設計技術文檔。參與公司運動產品項目合同簽訂前的結構技術支持工作。參與解決合同履行過程中和售后維護中的結構技術問題。向市場部提供運動產品結構技術描述和其他技術資料，并參與編寫培訓教材和用戶培訓工作。系統與仿真工程部 在整個產品研發生命周期中，與多學科研發團隊合作，分析產品的系統級需求，進行系統方案設計，系統建模，指標分解，接口管理以及各個階段的評審工作，確保產品按期、在成本內實現全部需求。負責設計、把控系統集成流程和質量，在整個產品研

231、發周期內，指導和支持參與部門的工作，確保產品按期、在成本內實現全部需求。負責建立系統模型和虛擬樣機，在整個產品研發周期內，指導和支持參與部門的工作，確保產品按期、在成本內實現全部需求。負責產品中相關結構件的電磁計算，與結構工程師合作，為結構設計提供計算依據，提高設計效率，節約設計成本，確保產品能夠按期、在成本內實現需求。負責產品中相關結構件的散熱和流體計算，與結構工程師合作，為結構設計北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-68 部門名稱部門名稱 主要職責主要職責 提供計算依據，提高設計效率，節約設計成本，確保產品能夠按期、在成本內實現需求。產品項目管理部 根據公司項目管理體

232、系要求，對公司產品（項目）研發過程中的進度、風險進行全程管控，保證項目研發能夠如期完成。實施項目管理體系的運行、監督工作。識別和開發項目管理方法，建立項目管理模板和知識管理平臺及其它共享資源文件，總結項目管理的最佳實踐，進行項目管理過程改進和培訓。建立及落實產品（項目）研發管理體系，監督控制部門內部管理規范，負責部門內部團隊建設和績效考核。在產品（項目）生命周期內，監督與管控產品（項目）開發的各個階段，有效完成項目目標。負責產品（項目）研發過程的監管，確保各產品的實施與公司的戰略目標保持一致。負責產品（項目）研發進度的跟蹤及進度偏差控制，確保產品能夠如期完成。負責產品（項目）各階段里程碑評審工

233、作的組織，對產品研發文檔進行收集，協調各部門進行評審。負責資源調配，優化資源配置，保證資源有效使用，使項目群管理效益達到最優化。負責協助產品經理跟蹤產品研發過程中的問題與風險。負責對各產品（項目）研發情況定期分析、評估，為決策者提供決策支持。研發中心 負責公司新產品，新技術的調研、論證、開發、設計工作。根據產品要求編制先進、合理的產品工藝方案、工藝文件，檢測方案等。解決產品在生產過程中出現的技術問題，負責生產技術難題的研究、分析和解決工作。負責企業標準化工作。建立并完善產品設計、新產品試制、標準化技術規程、技術信息管理制度。對現有產品進行銷售跟蹤，根據市場反饋的情報資料，及時在設計上進行改良。

234、機械加工部 根據公司的經營計劃和生產需求，負責公司生產工作的計劃、組織、管理和實施，確保公司生產任務的順利完成。實施生產管理體系的運行、監督工作。編制公司生產計劃并組織實施、監督和協調，開展生產統計工作。制訂公司安全生產管理制度，并負責培訓管理工作。負責生產物料的核查、準備工作，形成物料準備清單。負責生產設備的安裝、調試、驗收工作。負責生產設備運行情況的監督、設備保養和維護計劃的制定及實施管理工作。負責售后服務信息的匯總、整理、分析及傳遞。負責售后質量問題的處理。收集、保管技術文件及資料，開展維修技術研究并總結維修經驗，將公司相關技術轉化成服務維修技術。質量管理部 根據公司質量管理體系要求，對

235、公司采購的零部件以及產品開發、生產過程進行全程質量管控，保證項目研發質量，確保最終產品的質量。組織建立公司質量管理體系，建立質量標準規范。負責公司檢驗測量和試驗設備的需求評審、驗收、檢校、及測量系統分析等管理。負責供應商質量管理，協助采購對供應商做好審核及評價。負責公司生產性物料、自制件、產品開發樣件等的質量檢驗、試驗工作。負責公司項目研發部研發裝配過程、生產制造過程質量監督、檢測工作。負責出廠產品質量檢驗工作。北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-69 部門名稱部門名稱 主要職責主要職責 負責組織公司項目（產品）研發過程評審、技術狀態變更控制。負責組織公司項目（產品）研發

236、過程、生產過程質量信息的收集、統計、分析。建立質量信息庫，處理市場和現場反饋的質量信息。負責產品質量問題的調查、跟蹤及質量問題的推動閉環。組織制訂公司級管理文件的編制及文件受控管理。裝配集成部 根據公司發展規劃和經營計劃，開展設備的搭建和精密調試；按照技術圖紙要求完成產品的機械裝配和調試工作。開展光機系統的搭建和精密調試。按照技術圖紙要求完成產品的機械裝配和調試工作。配合研發部門進行樣機的組裝和修配工作。提出合理化建議，對裝配工藝、技術等進行改進。根據裝配需要開發相關裝配工具、工裝。撰寫裝調工藝。采購供應部 負責與其他相關人員開發新供應商，收集新供方基本信息，建立合格供方體系。負責參與新產品開

237、發過程的新物料選型，并提供相關物料的供應商及市場情況信息以便研發選型。負責收集各項目組的年度、季度、月度采購計劃。根據公司的年度經營計劃和采購需求、庫存數量，組織評審需求計劃。根據采購計劃作出采購預算。負責公司全部請購錄入工作、采購申請的及時性，準確性及審核時效性。收集市場價格信息及相關成本信息，研究分析公司采購成本提出改進建議。根據采購物料的品種、金額、技術特性以及供應資源狀況確定采購方案與采購方式、并落實執行采購合同等相關工作。負責物料訂單管理（訂單發放、跟催、考核、入庫、發票、付款等相關工作）。進口采購工作：完成公司進貨任務，內容包括訂單管理，物流管理及清關事宜等。銷售部 負責產品的市場

238、渠道開拓與銷售工作，執行并完成公司產品年度銷售計劃。根據公司市場營銷戰略，提升銷售價值，控制成本，擴大產品在所負責區域的銷售，積極完成銷售量指標，擴大產品市場占有率。負責售后服務管理。與客戶保持良好溝通，實時把握客戶需求，為客戶提供主動、熱情、滿意、周到的服務。根據公司產品、價格及市場策略，獨立處置詢盤、報價、合同條款的協商及合同簽訂等事宜。在執行合同過程中，協調并監督公司各職能部門操作。動態把握市場價格，定期向公司提供市場分析及預測報告和個人工作周報。維護和開拓新的銷售渠道和新客戶，自主開發及拓展上下游用戶。負責具體銷售合同（定單）的評審與組織實施。市場部 負責市場調查、企劃工作。負責編制和

239、組織實施年度營銷計劃。收集一線營銷信息和用戶意見。對公司營銷策略、售后服務等提出參考意見。負責品牌建設，參與制定企業發展戰略。負責營銷人員隊伍建設，參與企業文化建設。人力資源部 根據公司戰略，擬訂、報批、實施公司人力資源發展戰略規劃與詳細計劃。組織研究制訂并實施公司激勵體系設計方案。根據公司要求，進行組織結構調整。擬訂、調整中層及以下崗位設置及人員編制。組織、指導各部門編寫崗位說明書并負責維護更新。完善人才引進機制和人才甄選的標準及方法。北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-70 部門名稱部門名稱 主要職責主要職責 組織編制人員招聘計劃。擬訂公司薪酬福利規劃。薪酬福利預算與

240、控制。薪酬的日常核算、審核與發放。制訂員工績效考核方案及管理辦法。制訂員工培訓計劃、方案并組織實施。建立和完善勞動合同體系。維護人力資源信息系統，建立并健全人事檔案管理制度。預防并處理勞動糾紛。行政管理部 根據公司發展需要，全面負責行政類事務工作，為各部門的協調運作、公司的平穩運營及穩步發展提供有力的支持與保障。負責公司日常來訪賓客接待工作。負責公司車輛管理（維修、保養等）工作。負責公司內部環境衛生及辦公設施養護工作。負責公司辦公用品管理及固定資產管理工作。負責公司差旅安排、票務訂購工作。負責公司行政費用審核與請款，配合財務部門執行費用管理工作。負責公司工商、外事證件等各類行政證件及手續辦理工

241、作。負責公司辦公、部門營業場所的租賃與基建裝修工作。負責檔案/印鑒/證照/合同管理。負責公司開展有關企業文化活動工作。負責公司計算機、網絡系統故障的維修與信息安全防范工作。制訂并執行本部門及公司預算方案，嚴格掌控費用管理工作。制訂并完善公司行政管理相關制度與流程?？偨浝磙k公室 根據公司發展規劃，為公司的運營及發展提供基本保障。協調與政府主管部門、社會職能機構的關系，建立良好的溝通渠道,促進公司與社會各界包括同行業企業的廣泛合作和友好往來，樹立良好的企業形象。起草、修改、完善各項行政管理制度，監督、檢查、落實公司行政制度的執行。負責內部和外部文件的收取、編號、傳送、催辦，負責各種合同、資料、文件

242、、圖書、證書的歸檔和管理，負責公司注冊、變更等登記手續辦理。負責公司內外部會議的安排與接待。負責公司公文、資料和信息工作，溝通內外聯系、保證上情下達、下情上報；負責有關信息的整理和分析，為公司決策提供依據。負責公司重要文獻、資料及相關信息的保密工作。完成專項及辦公事務；維持公司正常的工作秩序和安全保衛工作。法務部 根據公司法律事務管理體系要求，對公司各部門法律事務事前、事中、事后參與，保護公司利益，為各部門順利運營提供法律保障。合同起草、修改、審核。法律文書起草、修改、審核。法律培訓。對外投資（設立子公司、股權轉讓、合作成立新公司、增資入股等）、對外融資（股權轉讓、增資入股等）、項目（技術服務

243、、產品銷售）等參與、方案建議。其他部門法律支持。庫管部 負責出、入庫管理，原材料等入庫前應對物資的品種、規格、數量、包裝、狀態、生產廠家等充分了解，所有物資檢驗符合公司要求后方可入庫。成品入庫前，根據銷售部的郵件發貨通知，生產部通知質檢部對成品進行檢驗，出具檢驗成品報告。北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-71 部門名稱部門名稱 主要職責主要職責 嚴格執行危險化學品儲存、出入庫安全管理制度，危險化學品出入庫必須登記，并定期檢查。配合需求部門、生產計劃、采購部、財務部做好生產物料的調度工作，制定合理的物料安全庫存規劃，并及時向生產部反饋生產物料的短缺或過量采購等異常情況；監

244、控安全庫存數據，及時提示補充，避免缺料。協助財務部進行物料采購過程、產品成本的控制和監督。定期或不定期組織盤點工作，出具盤點報告，定期與財務舉行抽盤工作。建立呆滯品和報廢品臺賬，定期或不定期向管理層匯報，并根據公司要求定期對報廢品進行處理。根據公司質量管理等體系的要求作好出入庫各項記錄文檔，保證公司文檔的規范性和可追溯性。財務部 負責公司日常財務核算，參與公司的經營管理。根據公司資金運作情況，合理調配資金，確保公司資金正常運轉。搜集公司經營活動情況、資金動態、營業收入和費用開支的資料并進行分析、提出建議，定期向董事會報告。組織公司部門編制收支計劃，編制公司的月、季、年度營業計劃和財務計劃，定期

245、對執行情況進行檢查分析。嚴格財務管理，加強財務監督，督促財務人員嚴格執行各項財務制度和財經紀律。負責全公司各項財產的登記、核對、抽查的調撥，按規定計算折舊費用，保證資產的資金來源。審核公司及各部門對外經濟合同：如采購合同、技術開發合同、銷售合同等。內審部 擬定并完善內部審計制度和流程。制定審計計劃并執行各項審計。檢查編制財務報表的財務記錄與支持文件，對財務數據進行趨勢分析。通過對采購、市場銷售、運營等經營部門開展經營審計，檢查與復核內部控制的有效性。及時發現公司潛在問題和風險，提出可以進一步提高業績與改善管理的建議與對策等。證券事務部 負責依法籌備股東大會、董事會、監事會，制作三會文件及會議記

246、錄。負責擬定和完善公司治理結構層面有關的制度，建立健全公司法人治理結構。負責處理公司信息披露、投資者關系管理等相關工作。負責保管公司股東名冊，管理公司股權，承擔各項與董事會相關的綜合行政職能。負責保持與各監管機構及中介機構的聯系等工作。七、發行人控股子公司、參股公司情況七、發行人控股子公司、參股公司情況 截至本招股說明書簽署日，公司共有控股子公司 3 家，參股公司 3 家，具體情況如下：（一）控股子公司（一）控股子公司 1、杭州天睿、杭州天睿 公司名稱公司名稱 杭州天睿精密科技有限公司 成立時間成立時間 2018 年 4 月 19 日 注冊資本注冊資本 3,000.00 萬元 北京華卓精科科技

247、股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-72 實收資本實收資本 2,720.00 萬元 注冊地址注冊地址 浙江省杭州市臨安區青山湖街道大園路 958 號 1 幢 801-14 室 主要生產經營地主要生產經營地 浙江省杭州市臨安區青山湖街道大園路 958 號 1 幢 801-14 室 法定代表人法定代表人 孫國華 股東構成及控制股東構成及控制情況情況 華卓精科持有杭州天睿 100%股權 主營業務及其與主營業務及其與發行人主營業務發行人主營業務的關系的關系 目前僅有少量采購銷售業務，未來將作為超精密測控產品長三角創新與研發中心募投項目的實施主體，從事精密/超精密運動系統、晶圓級鍵合設備及其零部件

248、的創新與研發。投資背景投資背景 長三角地區作為公司超精密運動系統上下游產業鏈企業的集中地，設立此子公司可使公司有效整合資源，發揮資源優勢。未來對該筆投資未來對該筆投資的安排的安排 未來公司對該筆投資的安排將保持長期穩定。主要財務數據（已主要財務數據（已經大華會計師審經大華會計師審計，單位：元）計，單位：元）項目項目 2020 年 12 月 31 日/2020 年度 總資產 60,825,065.73 凈資產 27,175,807.79 凈利潤-144,543.19 2、HZ Precision 公司名稱公司名稱 HZ Precision,Inc.成立時間成立時間 2018 年 4 月 19 日

249、 注冊資本注冊資本 10 萬股（截至 2020 年 12 月末已實收 50 萬美元）注冊地址注冊地址 美國加利福尼亞州 主要生產經營地主要生產經營地 13721 Roswell Ave.,Suite B,Chino,California 91710 法定代表人法定代表人 WENHAI LIU 股東構成及控制股東構成及控制情況情況 華卓精科持有 HZ Precision100%股權 主營業務及其與主營業務及其與發行人主營業務發行人主營業務的關系的關系 主要從事光學系統研發工作。承接公司在高端激光光學系統領域的研發需求。投資背景投資背景 為了整合國外前沿光學研發資源，組建高端激光光學系統人才研發團

250、隊，有效發揮海外研發優勢。未來對該筆投資未來對該筆投資的安排的安排 未來公司對該筆投資的安排將保持長期穩定。主要財務數據（已主要財務數據（已經大華會計師審經大華會計師審計，單位：美元）計，單位：美元）項目項目 2020 年 12 月 31 日/2020 年度 總資產 596,320.12 凈資產 295,424.39 凈利潤-124,673.30 北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-73 3、上海甫睿、上海甫睿 公司名稱公司名稱 上海甫睿精密設備有限公司 成立時間成立時間 2020 年 7 月 15 日 注冊資本注冊資本 1,000.00 萬元 實收資本實收資本 100.

251、00 萬元 注冊地址注冊地址 中國（上海）自由貿易試驗區張衡路 200 號 2 幢 3 層 主要生產經營地主要生產經營地 中國（上海）自由貿易試驗區張衡路 200 號 2 幢 3 層 法定代表人法定代表人 孫國華 股東構成及控制股東構成及控制情況情況 華卓精科持有上海甫睿 100%股權 主營業務及其與主營業務及其與發行人主營業務發行人主營業務的關系的關系 尚未開展經營業務。擬作為保障公司核心產品雙工件臺的技術服務與技術支持中心。投資背景投資背景 為優化公司產品銷售和售后服務網絡。未來對該筆投資未來對該筆投資的安排的安排 未來公司對該筆投資的安排將保持長期穩定。主要財務數據（已主要財務數據（已經

252、大華會計師審經大華會計師審計，單位：元）計，單位：元）項目項目 2020 年 12 月 31 日/2020 年度 總資產 484.00 凈資產-1,516.00 凈利潤-1,516.00（二）參股公司（二）參股公司 1、新冶精特、新冶精特 公司持有新冶精特 10%股權（對應認繳出資額 300.00 萬元），新冶精特具體情況如下：公司名稱公司名稱 北京鋼研新冶精特科技有限公司 成立時間成立時間 2013 年 10 月 8 日 注冊資本注冊資本 3,000.00 萬元 實收資本實收資本 3,000.00 萬元 出資時間出資時間 2013 年 9 月 23 日 控股方控股方 新冶高科技集團有限公司

253、注冊地址注冊地址 北京市海淀區學院南路 76 號院 49 幢樓 法定代表人法定代表人 張啟富 主營業務及其與主營業務及其與發行人主營業務發行人主營業務的關系的關系 主要從事非氧化物陶瓷、氧化物陶瓷材料生產。其陶瓷零部件產品可應用于公司的工件臺產品。投資背景投資背景 為實現產品技術協同、共贏。北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-74 未來對該筆投資未來對該筆投資的安排的安排 未來公司對該筆投資的安排將保持長期穩定。2、三維半導體、三維半導體 公司持有三維半導體 1.72%股權（對應認繳出資額 200.00 萬元），三維半導體的具體情況如下：公司名稱公司名稱 湖北三維半導體集

254、成制造創新中心有限責任公司 成立時間成立時間 2019 年 6 月 5 日 注冊資本注冊資本 11,600.00 萬元 實收資本實收資本 11,500.00 萬元 出資時間出資時間 2019 年 12 月 16 日 控股方控股方 武漢新芯集成電路制造有限公司 注冊地址注冊地址 武漢東湖新技術開發區高新四路 18 號新芯生產線廠房及配套設施 2 幢OS6 號（自貿區武漢片區）法定代表人法定代表人 劉天建 主營業務及其與主營業務及其與發行人主營業務發行人主營業務的關系的關系 三維半導體是國內專注晶圓三維集成技術與應用的創新平臺，其定位是關鍵技術供給、產業集群培育、創新生態營造、發展模式創新，主要建

255、設共性技術研發、產業綜合服務、成果轉化與企業育成三大功能平臺，目前面向產業鏈設備、材料企業，主要提供應用于三維集成制造的專用特種設備、材料的聯合研發及驗證類服務。未來可能會為公司與其他公司開展三維集成關鍵技術創新等項目提供平臺支持，以及對公司產品的工藝驗證提供渠道。投資背景投資背景 為拓展公司產品的應用工藝驗證渠道，實現合作共贏。未來對該筆投資未來對該筆投資的安排的安排 未來公司對該筆投資的安排將保持長期穩定。3、芯鏈融創、芯鏈融創 公司持有芯鏈融創 4.00%股權（對應認繳出資額 400.00 萬元），芯鏈融創的具體情況如下：公司名稱公司名稱 芯鏈融創集成電路產業發展（北京）有限公司 成立時

256、間成立時間 2020 年 8 月 27 日 注冊資本注冊資本 10,000 萬元 實收資本實收資本 10,000 萬元 出資時間出資時間 2020 年 10 月 20 日 控股方控股方 無控股股東 注冊地址注冊地址 北京市北京經濟技術開發區榮華中路 19 號院 1 號樓 B 座 3 層 312 室 法定代表人法定代表人 康勁 主營業務及其與主營業務及其與發行人主營業務發行人主營業務目前主營業務還未正式開展。未來將主要提供集成電路、半導體技術的開發、設計及產業化服務平臺，為相關產品提供產業化前的最終測試。北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-75 的關系的關系 未來可能會為公

257、司提供產品測試服務和合作交流平臺。投資背景投資背景 為拓展公司產品的驗證、測試渠道，實現合作共贏。未來對該筆投資未來對該筆投資的安排的安排 未來公司對該筆投資的安排將保持長期穩定。八、發行人實際控制人及主要股東的基本情況八、發行人實際控制人及主要股東的基本情況（一）控股股東、實際控制人基本情況（一）控股股東、實際控制人基本情況 1、控股股東、實際控制人、控股股東、實際控制人 截至本招股說明書簽署日，朱煜為公司董事、核心技術人員、首席科學家，直接持有公司 8,573.29 萬股股份，占公司總股數的 35.72%。朱煜為艾西科技和艾西博銳的普通合伙人、執行事務合伙人，艾西科技持有公司 5.19%股

258、份，艾西博銳持有公司 0.26%股份。徐登峰、張鳴、楊開明、尹文生、胡金春、穆海華、成榮 7 名股東（以下合稱徐登峰等 7 名股東），合計持有 13.06%的公司股份，與朱煜保持一致行動關系。綜上，朱煜實際控制的股份比例合計為 54.23%。朱煜為公司的控股股東、實際控制人，且報告期內朱煜實際控制人地位未發生變更。朱煜，男，1965 年 1 月出生，中國國籍，無永久境外居留權，身份證號碼為 3203111965*。2001 年畢業于中國礦業大學，博士學歷，機械設計及理論專業。1983 年 8 月至 2004 年 9 月任教于中國礦業大學，先后任講師、副教授；2001 年 7 月至 2004 年

259、 9 月，于清華大學從事博士后工作；2004 年 10月至今任清華大學教授；2007 年 9 月至 2013 年 9 月任北京七星華創電子股份有限公司獨立董事，2016 年 10 月至 2019 年 12 月任北方華創科技集團股份有限公司獨立董事；2012 年 5 月至 2015 年 7 月任華卓有限董事長兼總經理；2015年 8 月至 2015 年 9 月任華卓精科董事長；2015 年 9 月至今任華卓精科董事、首席科學家；2018 年 4 月至 2019 年 5 月任杭州天睿執行董事。目前，兼任新冶精特董事、艾西科技執行事務合伙人、艾西博銳執行事務合伙人、沈陽芯源微電子設備股份有限公司獨立

260、董事、中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司獨立董事、沈陽富創精密設備股份有限公司獨立董事。朱煜先生作為公司創始團隊負責人，制定了以精密機械與測控為核心技術的產品發展戰略，確立了公司產品體系和發展方向，領導光刻機雙工件臺、平面光柵測量系統、靜電卡盤等國家科技重大專項重點支持的產品開發，并帶領團隊進行激光退火設備、晶圓級鍵合設備等集成電路裝備高端產品的研發，著力推進運北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-76 動平臺、晶圓傳輸設備、隔振器等超精密衍生產品的市場開拓，構建了公司的矩陣式管理、研發過程質量管理等體系。作為公司首席科學家、技術委員會主任，朱煜先生把握著公司的研發方向。朱

261、煜先生是清華大學長聘教授，同時擔任科技部重點領域創新團隊負責人及國家 02 科技重大專項技術副總師；曾先后獲得 2015 年國家專利優秀獎、2018年國家專利銀獎、2018 年北京市科學技術獎一等獎等多項榮譽；截至目前，發明了境內授權專利共計 201 余項，其中發明專利 173 項；發明了美國授權專利26 項；發表論文 200 余篇；出版專著 2 本。2、控股股東的一致行動人、控股股東的一致行動人 徐登峰、張鳴、楊開明、成榮、尹文生、穆海華、胡金春與朱煜簽署了一致行動協議，為朱煜的一致行動人。徐登峰、張鳴、楊開明、尹文生、胡金春、穆海華、成榮 7 名股東合計持有 13.06%的公司股份，與朱煜

262、保持一致行動關系，具體情況如下：徐登峰，男，1974 年 6 月出生，中國國籍，無永久境外居留權，身份證號碼為 2301031974*?，F任華卓精科董事。張鳴，男，1973 年 11 月出生，中國國籍，無永久境外居留權，身份證號碼為 1328011973*?，F任華卓精科技術顧問、董事。楊開明，男，1970 年 8 月出生，中國國籍，無永久境外居留權，身份證號碼為 4101051970*?，F任華卓精科技術顧問、董事。尹文生，男，1968 年 6 月出生，中國國籍，無永久境外居留權，身份證號碼為 1101081968*。胡金春，男，1972 年 3 月出生，中國國籍，無永久境外居留權，身份證號碼為

263、 3208281972*。穆海華，男，1976 年 11 月出生，中國國籍，無永久境外居留權，身份證號碼為 4201111976*。成榮，女，1977 年 11 月出生，中國國籍，無永久境外居留權，身份證號碼為 1325281977*?，F任 HZ PRECISION 秘書、華卓精科董事會秘書。3、控股股東、實際控制人控制或投資的其他企業、控股股東、實際控制人控制或投資的其他企業 除華卓精科外，公司實際控制人朱煜控制的其他企業為艾西科技和艾西博銳。朱煜參股的企業為華海清科。具體情況如下：北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-77（1）艾西科技 基本情況 朱煜為艾西科技的普通合

264、伙人、執行事務合伙人，艾西科技持有公司 5.19%股份，具體情況如下：企業名稱企業名稱 天津艾西科技發展合伙企業（有限合伙）普通合伙人普通合伙人 朱煜 執行事務合伙人執行事務合伙人 朱煜 主要經營場所主要經營場所 天津自貿試驗區（東疆保稅港區）重慶道以南，呼倫貝爾路以西銘海中心 5 號樓-4、10-707（天津東疆商服商務秘書服務有限公司濱海新區分公司托管第 1223 號）企業類型企業類型 有限合伙企業 成立日期成立日期 2019 年 7 月 19 日 經營范圍經營范圍 軟硬件技術開發、技術推廣、技術轉讓、技術咨詢、技術服務；企業管理。主營業務與發行人主營主營業務與發行人主營業務是否相關業務是

265、否相關 否 截至本招股說明書簽署日，艾西科技的合伙人情況如下：序號序號 姓名姓名 在公司的任職情況在公司的任職情況 出資額（萬元）出資額（萬元）出資比例出資比例 間接持有發行人間接持有發行人股份數量（萬股）股份數量（萬股）1 朱煜 董事、首席科學家 133.89 9.61%146.05 2 朱津泉 副總經理（已離職）120.60 8.66%150.00 3 成榮 董事會秘書 80.40 5.77%100.00 4 李鑫 營銷總監 80.40 5.77%100.00 5 張利 系統與仿真工程部經理、浸沒式雙工件臺產品經理 60.30 4.33%75.00 6 胡海 機械工程部機械工程師、干式雙工

266、件臺產品經理 48.24 3.46%60.00 7 曹良紅 內審部主任 40.20 2.89%50.00 8 趙彥坡 材料與工藝工程部部門經理 24.12 1.73%30.00 9 陳靜 光學工程部經理、功率激光退火設備產品經理 16.08 1.15%20.00 10 楊鵬遠 監事、材料與工藝工程部材料工程師、靜電卡盤產品經理 16.08 1.15%20.00 11 朱振廣 控制工程部控制工程師 16.08 1.15%20.00 12 段宏宇 系統與仿真工程部系統工程師 32.16 2.31%40.00 北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-78 序號序號 姓名姓名 在公司

267、的任職情況在公司的任職情況 出資額（萬元）出資額（萬元）出資比例出資比例 間接持有發行人間接持有發行人股份數量（萬股）股份數量（萬股）13 張永剛 電氣電子部部門副經理 20.10 1.44%25.00 14 李曉通 控制工程部部門副經理 12.06 0.87%15.00 15 陳海寧 控制工程部控制工程師、干式雙工件臺產品副經理 12.06 0.87%15.00 16 蘇哲欣 運動控制部部門經理 16.08 1.15%20.00 17 張程鵬 機械工程部結構工程師 12.06 0.87%15.00 18 孫國華 總經理、董事 300.60 21.58%150.00 19 肖雪梅 財務總監 2

268、00.40 14.39%100.00 20 王磊杰 顧問 80.16 5.75%40.00 21 付增強 產品項目管理部部門經理、監事 30.06 2.16%15.00 22 劉效巖 前道激光退火設備產品經理、應用工藝部部門經理 15.31 1.10%15.00 23 張豹 EFEM 項目產品經理 15.31 1.10%15.00 24 趙雄峰 軟件工程部部門經理 10.20 0.73%10.00 合計合計 1,392.94 100.00%1,246.05 登記備案程序 艾西科技未在中國證券投資基金業協會進行私募基金備案。股份鎖定期 艾西科技關于自愿鎖定股份的承諾詳見本招股說明書第十節 投資者

269、保護之五、重要承諾、未能履行承諾的約束措施以及已觸發履行條件的承諾事項的履行情況之（一）股東關于自愿鎖定股份的承諾。（2）艾西博銳 基本情況 朱煜為艾西博銳的普通合伙人、執行事務合伙人，艾西博銳持有公司 0.26%股份，具體情況如下：企業名稱企業名稱 天津艾西博銳科技發展合伙企業（有限合伙）普通合伙人普通合伙人 朱煜 執行事務合伙人執行事務合伙人 朱煜 主要經營場所主要經營場所 天津自貿試驗區（東疆保稅港區）重慶道以南，呼倫貝爾路以西銘海中心 5 號樓-4、10-707（天津東疆商服商務秘書服務有限公司濱海新區分公司托管第 1222 號）北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1

270、-79 企業類型企業類型 有限合伙企業 成立日期成立日期 2019 年 7 月 17 日 經營范圍經營范圍 計算機軟硬件技術開發、技術推廣、技術轉讓、技術咨詢、技術服務；企業管理。（依法須經批準的項目，經相關部門批準后方可開展經營活動）主營業務與發行人主營主營業務與發行人主營業務是否相關業務是否相關 否 截至本招股說明書簽署日，艾西博銳的合伙人情況如下：序號序號 姓名姓名 在公司的任職情況在公司的任職情況 出資額出資額（萬元）（萬元）出資比例出資比例 間接持有發行人間接持有發行人股份數量（萬股）股份數量（萬股）1 朱煜 董事、首席科學家 14.44 20.57%12.95 2 WENHAI L

271、IU HZ Precision 總經理 55.76 79.43%50.00 合計合計 70.20 100.00%62.95 登記備案程序 艾西博銳未在中國證券投資基金業協會進行私募基金備案。股份鎖定期 艾西博銳關于自愿鎖定股份的承諾詳見本招股說明書第十節 投資者保護之五、重要承諾、未能履行承諾的約束措施以及已觸發履行條件的承諾事項的履行情況之（一）股東關于自愿鎖定股份的承諾。（3）華海清科 公司名稱公司名稱 華海清科股份有限公司 成立時間成立時間 2013 年 4 月 10 日 法定代表人法定代表人 張國銘 注冊地址注冊地址 天津市津南區咸水沽鎮聚興道 9 號 3 號樓一層 注冊資本注冊資本

272、8,000.00 萬元 朱煜持股情況朱煜持股情況 截至本招股說明書簽署日，朱煜持股 4.98%主營業務主營業務 華海清科主要從事半導體專用設備的研發、生產、銷售及技術服務，主要產品為化學機械拋光（CMP）設備。4、控股股東和實際控制人直接或間接持有發行人的股份是否存在質押或其、控股股東和實際控制人直接或間接持有發行人的股份是否存在質押或其他有爭議的情況他有爭議的情況 截至本招股說明書簽署日，公司控股股東、實際控制人朱煜直接或間接持有發行人的股份不存在質押或其他有爭議的情況。北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-80（二）其他持股（二）其他持股 5%以上的主要股東基本情況以上

273、的主要股東基本情況 1、水木愿景、水木愿景 水木愿景直接持有公司 8.75%的股份，其基本情況如下：企業名稱企業名稱 南寧水木愿景創業投資中心（有限合伙）執行事務合伙人執行事務合伙人 北京水木創信投資管理中心（普通合伙）主要經營場所主要經營場所 南寧市高新區創新路 23 號 4 號樓 103 號，中關村信息谷雨林空間（孵化器）7-6 工位 企業類型企業類型 有限合伙企業 成立日期成立日期 2017 年 9 月 28 日 經營范圍經營范圍 創業投資業務；創業投資咨詢業務；投資管理，投資咨詢，受托資產管理（以上項目除金融、證券、期貨等涉及許可審批及國家有專項規定外）。主營業務與發行人主主營業務與發

274、行人主營業務是否相關營業務是否相關 否 水木愿景已于中國證券投資基金業協會辦理了備案手續，備案編號為SY1700，其基金管理人水木國鼎已取得了私募投資基金管理人登記證書，登記編碼為 P1001192。截至本招股說明書簽署日，水木愿景的合伙人情況如下：序序號號 合伙人合伙人 合伙人類型合伙人類型 出資額（萬元）出資額（萬元）出資比例出資比例 1 北京水木創信投資管理中心（普通合伙）普通合伙人 1,000.00 2.30%2 北京中關村協同創新投資基金（有限合伙）有限合伙人 6,000.00 13.79%3 共青城水木遠航創業投資中心（有限合伙）有限合伙人 5,000.00 11.49%4 北京昌

275、平中小企業成長投資基金（有限合伙）有限合伙人 3,000.00 6.90%5 北京新網互聯科技有限公司 有限合伙人 3,000.00 6.90%6 北京啟迪創業孵化器有限公司 有限合伙人 3,000.00 6.90%7 金錚軒 有限合伙人 2,000.00 4.60%8 許春剛 有限合伙人 2,000.00 4.60%9 敖小強 有限合伙人 2,000.00 4.60%10 劉志揚 有限合伙人 2,000.00 4.60%11 北京益普四環醫藥技術開發有限公司 有限合伙人 2,000.00 4.60%12 北京宏達興投資管理有限公司 有限合伙人 2,000.00 4.60%13 北京紅冶匯新控

276、股集團有限公司 有限合伙人 2,000.00 4.60%14 魏軍 有限合伙人 1,000.00 2.30%北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-81 序序號號 合伙人合伙人 合伙人類型合伙人類型 出資額（萬元）出資額（萬元）出資比例出資比例 15 凌冰 有限合伙人 1,000.00 2.30%16 畢庶濤 有限合伙人 1,000.00 2.30%17 趙雪松 有限合伙人 1,000.00 2.30%18 洪濤 有限合伙人 1,000.00 2.30%19 張帆 有限合伙人 500.00 1.15%20 蔣順才 有限合伙人 500.00 1.15%21 宋農 有限合伙人 5

277、00.00 1.15%22 霍靈生 有限合伙人 500.00 1.15%23 牛洪濤 有限合伙人 500.00 1.15%24 顧佳佳 有限合伙人 500.00 1.15%25 湖南弘慧教育發展基金會 有限合伙人 500.00 1.15%合計合計 43,500.00 100.00%2、水木長風、水木長風 截至本招股說明書簽署日，水木長風持有公司 6.78%股權，其基本情況如下：企業名稱企業名稱 北京水木長風股權投資中心（有限合伙）執行事務合伙人執行事務合伙人 北京水木創信投資管理中心（普通合伙）主要經營場所主要經營場所 北京市海淀區清華大學學研綜合樓 8 層 817 室 企業類型企業類型 有限

278、合伙企業 成立日期成立日期 2015 年 5 月 8 日 經營范圍經營范圍 投資管理、投資咨詢；資產管理；企業管理；企業策劃、設計 主營業務與發行人主主營業務與發行人主營業務是否相關營業務是否相關 否 水木長風已于中國證券投資基金業協會辦理了備案手續，備案編號為S67811，其基金管理人水木國鼎已取得私募投資基金管理人登記證書，登記編碼為 P1001192。水木長風的合伙人情況如下：序號序號 合伙人合伙人 合伙人類型合伙人類型 出資額出資額（萬元）（萬元）出資比例出資比例 1 北京水木創信投資管理中心（普通合伙）普通合伙人 100.00 0.68%2 共青城水木遠航創業投資中心（有限合伙）有限

279、合伙人 8,100.00 55.10%3 金永興 有限合伙人 1,000.00 6.80%北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-82 序號序號 合伙人合伙人 合伙人類型合伙人類型 出資額出資額（萬元）（萬元）出資比例出資比例 4 許林康 有限合伙人 1,000.00 6.80%5 平頂山博文創業中心 有限合伙人 800.00 5.44%6 熊怡中 有限合伙人 800.00 5.44%7 宋農 有限合伙人 600.00 4.08%8 畢庶濤 有限合伙人 400.00 2.72%9 無錫市國創精工機械有限公司 有限合伙人 300.00 2.04%10 歐陽志純 有限合伙人 20

280、0.00 1.36%11 李躍春 有限合伙人 200.00 1.36%12 楊利文 有限合伙人 200.00 1.36%13 王影 有限合伙人 200.00 1.36%14 鞠偉宏 有限合伙人 200.00 1.36%15 安波 有限合伙人 200.00 1.36%16 無錫恒大電子科技有限公司 有限合伙人 200.00 1.36%17 李家才 有限合伙人 100.00 0.68%18 丁忠玲 有限合伙人 100.00 0.68%合計合計 14,700.00 100.00%3、渾璞投資擔任執行事務合伙人的基金、渾璞投資擔任執行事務合伙人的基金 渾璞投資擔任執行事務合伙人的渾璞集成電路、渾璞集成

281、二期、渾璞璞玉六號分別持有公司 3.09%、2.81%、1.49%股權，合計持有公司 7.39%的股份。具體情況如下：（1）渾璞集成電路）渾璞集成電路 企業名稱企業名稱 宿遷渾璞集成電路產業基金投資中心（有限合伙）執行事務合伙人執行事務合伙人 渾璞投資 主要經營場所主要經營場所 江蘇省宿遷市宿豫區洪澤湖東路19號互聯網金融中心306室-B112 企業類型企業類型 有限合伙企業 成立日期成立日期 2018 年 4 月 3 日 經營范圍經營范圍 股權投資。（依法須經批準的項目，經相關部門批準后方可開展經營活動）主營業務與發行人主主營業務與發行人主營業務是否相關營業務是否相關 否 渾璞集成電路已在中

282、國證券投資基金業協會進行了備案，基金編號為SED336；其基金管理人為渾璞投資，該管理人已于 2017 年 4 月 28 日完成了私北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-83 募基金管理人登記，登記編號為 P1062519。截至本招股說明書簽署日，渾璞集成電路的合伙人構成如下：序號序號 合伙人合伙人 合伙人類型合伙人類型 出資額（萬元）出資額（萬元）出資比例出資比例 1 渾璞投資 普通合伙人 100.00 1.32%2 馮間 有限合伙人 2,000.00 26.40%3 李強連 有限合伙人 1,000.00 13.20%4 濰坊江澤建材貿易有限公司 有限合伙人 500.00

283、 6.60%5 董博 有限合伙人 350.00 4.62%6 陳志忠 有限合伙人 300.00 3.96%7 王棟 有限合伙人 300.00 3.96%8 劉興臻 有限合伙人 300.00 3.96%9 王步峰 有限合伙人 200.00 2.64%10 王俊杰 有限合伙人 200.00 2.64%11 黃穎 有限合伙人 200.00 2.64%12 嘉興睿禾投資合伙企業（有限公司）有限合伙人 200.00 2.64%13 金謙 有限合伙人 165.00 2.18%14 劉萌 有限合伙人 130.00 1.72%15 趙鐵環 有限合伙人 120.00 1.58%16 羅亞紅 有限合伙人 110.

284、00 1.45%17 趙鳳玲 有限合伙人 100.00 1.32%18 王磊 有限合伙人 100.00 1.32%19 康國英 有限合伙人 100.00 1.32%20 房東風 有限合伙人 100.00 1.32%21 李燕靜 有限合伙人 100.00 1.32%22 周海濤 有限合伙人 100.00 1.32%23 胡旭文 有限合伙人 100.00 1.32%24 孫莉莉 有限合伙人 100.00 1.32%25 王一婷 有限合伙人 100.00 1.32%26 洪斌 有限合伙人 100.00 1.32%27 馬力 有限合伙人 100.00 1.32%28 鄭柱棟 有限合伙人 100.00

285、1.32%29 尚亞飛 有限合伙人 100.00 1.32%30 姜南 有限合伙人 100.00 1.32%北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-84 序號序號 合伙人合伙人 合伙人類型合伙人類型 出資額（萬元）出資額（萬元）出資比例出資比例 合計合計 7,575.00 100.00%（2）渾璞集成二期）渾璞集成二期 企業名稱企業名稱 宿遷渾璞集成電路產業基金二期投資中心（有限合伙）執行事務合伙人執行事務合伙人 渾璞投資 主要經營場所主要經營場所 江蘇省宿遷市宿豫區洪澤湖東路 19 號互聯網金融中心 306 室-A048 企業類型企業類型 有限合伙企業 成立日期成立日期 2

286、018 年 8 月 1 日 經營范圍經營范圍 股權投資。（依法須經批準的項目，經相關部門批準后方可開展經營活動）主營業務與發行人主主營業務與發行人主營業務是否相關營業務是否相關 否 渾璞集成二期已在中國證券投資基金業協會進行了備案，基金編號為SEY050；其基金管理人為渾璞投資，該管理人已于 2017 年 4 月 28 日完成了私募基金管理人登記，登記編號為 P1062519。截至本招股說明書簽署日，渾璞集成二期的合伙人構成如下：序號序號 合伙人合伙人 合伙人類型合伙人類型 出資額（萬元）出資額（萬元）出資比例出資比例 1 渾璞投資 普通合伙人 1.00 0.02%2 劉建峰 有限合伙人 1,

287、000.00 16.10%3 陳勇 有限合伙人 900.00 14.49%4 李強連 有限合伙人 800.00 12.88%5 胡旭文 有限合伙人 400.00 6.44%6 魏桂香 有限合伙人 300.00 4.83%7 劉麗峰 有限合伙人 200.00 3.22%8 王旭東 有限合伙人 200.00 3.22%9 路東生 有限合伙人 200.00 3.22%10 聶星 有限合伙人 200.00 3.22%11 上海鋇灃企業管理中心（有限合伙）有限合伙人 200.00 3.22%12 楊越 有限合伙人 150.00 2.42%13 郭瑞 有限合伙人 130.00 2.09%14 劉萌 有限合

288、伙人 130.00 2.09%15 王棟 有限合伙人 100.00 1.61%16 孫莉莉 有限合伙人 100.00 1.61%北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-85 序號序號 合伙人合伙人 合伙人類型合伙人類型 出資額（萬元）出資額（萬元）出資比例出資比例 17 姜新 有限合伙人 100.00 1.61%18 楊永 有限合伙人 100.00 1.61%19 張俊英 有限合伙人 100.00 1.61%20 王欣 有限合伙人 100.00 1.61%21 周鑫 有限合伙人 100.00 1.61%22 宋威風 有限合伙人 100.00 1.61%23 郎雅婧 有限合伙人

289、 100.00 1.61%24 鞠傳英 有限合伙人 100.00 1.61%25 王正虎 有限合伙人 100.00 1.61%26 馮翊 有限合伙人 100.00 1.61%27 向勁 有限合伙人 100.00 1.61%28 馮靜 有限合伙人 100.00 1.61%合計合計 6,211.00 100.00%（3）渾璞璞玉六號）渾璞璞玉六號 企業名稱企業名稱 宿遷渾璞璞玉六號投資中心（有限合伙）執行事務合伙人執行事務合伙人 渾璞投資 主要經營場所主要經營場所 江蘇省宿遷市宿豫區洪澤湖東路 19 號互聯網金融中心 306 室 企業類型企業類型 有限合伙企業 成立日期成立日期 2018 年 3

290、月 28 日 經營范圍經營范圍 股權投資。（依法須經批準的項目，經相關部門批準后方可開展經營活動）主營業務與發行人主主營業務與發行人主營業務是否相關營業務是否相關 否 渾璞璞玉六號已在中國證券投資基金業協會進行了備案，基金編號為SED344；其基金管理人為渾璞投資，該管理人已于 2017 年 4 月 28 日完成了私募基金管理人登記，登記編號為 P1062519。截至本招股說明書簽署日，渾璞集成六號的合伙人構成如下：序號序號 合伙人合伙人 合伙人類型合伙人類型 出資額（萬元）出資額（萬元）出資比例出資比例 1 渾璞投資 普通合伙人 50.00 0.99%2 姚瑤 有限合伙人 5,000.00

291、99.01%合計合計 5,050.00 100.00%北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-86（4）渾璞投資）渾璞投資 渾璞集成電路、渾璞集成二期、渾璞璞玉六號的管理人渾璞投資基本情況如下：企業名稱企業名稱 霍爾果斯渾璞股權投資管理有限公司 法定代表人法定代表人 周漢軍 注冊資本注冊資本 1,000 萬元 主要經營場所主要經營場所 新疆伊犁州霍爾果斯建設路天潤商務樓一棟一樓 107 室 A-024 企業類型企業類型 有限責任公司 成立日期成立日期 2017 年 2 月 26 日 經營范圍經營范圍 接受委托管理股權投資項目。（依法須經批準的項目，經相關部門批準后方可開展經營

292、活動）主營業務與發行人主主營業務與發行人主營業務是否相關營業務是否相關 否 渾璞投資已在中國證券投資基金業協會登記為私募投資基金管理人，登記編號為 P1062519。渾璞投資的股權結構如下：序號序號 股東名稱股東名稱 出資金額（萬元）出資金額（萬元）持股比例持股比例 1 周漢軍 900.00 90.00%2 黃晴 100.00 10.00%合計合計 1,000.00 100.00%九、發行人股本情況九、發行人股本情況（一）本次發行前后公司股本情況（一）本次發行前后公司股本情況 本次發行前公司總股本為 24,000 萬股，公司本次擬向社會公眾發行 8,000萬股，占發行后總股本的 25%。本次發

293、行不涉及老股發售。本次發行前后，公司股本結構如下：股東名稱股東名稱 發行前發行前 發行后發行后 股數（萬股）股數（萬股）比例比例 股數（萬股）股數（萬股）比例比例 朱煜 8,573.29 35.72%8,573.29 26.79%水木愿景 2,100.00 8.75%2,100.00 6.56%水木長風 1,628.28 6.78%1,628.28 5.09%艾西科技 1,246.05 5.19%1,246.05 3.89%張鳴 838.34 3.49%838.34 2.62%楊開明 754.89 3.15%754.89 2.36%北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-87

294、 股東名稱股東名稱 發行前發行前 發行后發行后 股數（萬股）股數（萬股）比例比例 股數（萬股）股數（萬股）比例比例 渾璞集成電路 741.67 3.09%741.67 2.32%中金公司 735.42 3.06%735.42 2.30%渾璞集成二期 675.00 2.81%675.00 2.11%吳勇 645.73 2.69%645.73 2.02%單峰 612.35 2.55%612.35 1.91%大華大陸 605.00 2.52%605.00 1.89%徐登峰 501.73 2.09%501.73 1.57%上海半導體基金 500.00 2.08%500.00 1.56%武漢至華 400

295、.00 1.67%400.00 1.25%尹文生 389.94 1.62%389.94 1.22%渾璞璞玉六號 357.92 1.49%357.92 1.12%成榮 346.06 1.44%346.06 1.08%中小企業發展基金 300.00 1.25%300.00 0.94%胡金春 256.49 1.07%256.49 0.80%浙江祥馳 250.00 1.04%250.00 0.78%匯天澤 250.00 1.04%250.00 0.78%紅星美凱龍 240.00 1.00%240.00 0.75%蔡倩 240.00 1.00%240.00 0.75%招商投資 130.95 0.55%1

296、30.95 0.41%天津清研 125.00 0.52%125.00 0.39%深圳招遠 119.05 0.50%119.05 0.37%王建軍 75.00 0.31%75.00 0.23%艾西博銳 62.95 0.26%62.95 0.20%姚軍 62.50 0.26%62.50 0.20%李強連 59.50 0.25%59.50 0.19%穆海華 45.91 0.19%45.91 0.14%劉劍華 37.25 0.16%37.25 0.12%廈門博孚利 32.50 0.14%32.50 0.10%北京文華 18.00 0.08%18.00 0.06%廈門盈科德匯 17.50 0.07%17

297、.50 0.05%中麗基金 12.25 0.05%12.25 0.04%田彥芬 7.00 0.03%7.00 0.02%北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-88 股東名稱股東名稱 發行前發行前 發行后發行后 股數（萬股）股數（萬股）比例比例 股數（萬股）股數（萬股）比例比例 宋樹華 5.25 0.02%5.25 0.02%李向英 0.50 0.002%0.50 0.002%李德竹 0.50 0.002%0.50 0.002%魏濤 0.25 0.001%0.25 0.001%社會公眾投資者-8,000.00 25.00%合計合計 24,000.00 100.00%32,00

298、0.00 100.00%本次發行后，實際控制人朱煜可實際支配表決權的股份比例為 40.67%，對公司實際控制情況未發生變化。上述公司股東中水木愿景、水木長風、渾璞集成電路、渾璞集成二期、上海半導體基金、渾璞璞玉六號、中小企業發展基金、深圳招遠、北京文華、中麗基金屬于私募投資基金監督管理暫行辦法及私募投資基金管理人登記和基金備案辦法（試行）規定的私募投資基金。上述私募投資基金均已按相關規定履行了私募基金備案手續，已納入金融產品監管，具體情況如下：序號序號 基金名稱基金名稱 備案時間備案時間 基金備案號基金備案號 基金管理人基金管理人 1 水木愿景 2017-12-27 SY1700 水木國鼎 2

299、 水木長風 2015-09-22 S67811 水木國鼎 3 渾璞集成電路 2018-08-13 SED336 渾璞投資 4 渾璞集成二期 2019-01-25 SEY050 渾璞投資 5 上海半導體基金 2018-08-06 SEG790 上海半導體裝備材料產業投資管理有限公司 6 渾璞璞玉六號 2018-07-04 SED344 渾璞投資 7 中小企業發展基金 2017-02-20 SR2284 深圳國中創業投資管理有限公司 8 深圳招遠 2015-09-14 S32157 北京致遠勵新投資管理有限公司 9 北京文華 2018-02-07 SCA727 北京文華海匯投資管理有限公司 10

300、中麗基金 2018-01-16 SCC629 中麗（天津）產城融合發展基金管理有限公司（二）本次發行前的前十名股東（二）本次發行前的前十名股東 本次發行前，公司前十名股東具體情況如下：序號序號 股東名稱股東名稱 持股數量（萬股）持股數量（萬股）持股比例持股比例 1 朱煜 8,573.29 35.72%北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-89 序號序號 股東名稱股東名稱 持股數量（萬股）持股數量（萬股）持股比例持股比例 2 水木愿景 2,100.00 8.75%3 水木長風 1,628.28 6.78%4 艾西科技 1,246.05 5.19%5 張鳴 838.34 3.4

301、9%6 楊開明 754.89 3.15%7 渾璞集成電路 741.67 3.09%8 中金公司 735.42 3.06%9 渾璞集成二期 675.00 2.81%10 吳勇 645.73 2.69%（三）本次發行前的前十名自然人股東及其在發行人處擔任的職務三）本次發行前的前十名自然人股東及其在發行人處擔任的職務 本次發行前，公司的前十名自然人股東及其在發行人處擔任的職務情況如下：序號序號 股東名稱股東名稱 持股數量（萬股）持股數量（萬股）持股比例持股比例 在公司任職情況在公司任職情況 1 朱煜 8,573.29 35.72%董事、首席科學家 2 張鳴 838.34 3.49%董事、技術顧問 3

302、 楊開明 754.89 3.15%董事、技術顧問 4 吳勇 645.73 2.69%董事長 5 單峰 612.35 2.55%6 徐登峰 501.73 2.09%董事 7 尹文生 389.94 1.62%8 成榮 346.06 1.44%董事會秘書 9 胡金春 256.49 1.07%10 蔡倩 240.00 1.00%（四）國有股份和外資股份情況（四）國有股份和外資股份情況 1、國有股份情況 根據上市公司國有股東標識管理暫行規定（國資發產2007108 號），公司國有股東為招商投資，應辦理國有股權管理方案及國有股東標識的批復手續。截至本招股說明書簽署日，公司尚未取得有關主管部門對國有股份的設

303、置批復文件，公司正在配合相關股東積極辦理。2、外資股份情況 截至本招股說明書簽署日，公司不存在外資股份。北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-90（五）最近一年發行人新增股東情況（五）最近一年發行人新增股東情況 本招股說明書簽署日前 12 個月內，公司不存在新增股東情況。（六）本次發行前各股東間的關聯關系（六）本次發行前各股東間的關聯關系 1、股東朱煜、徐登峰、張鳴、楊開明、成榮、尹文生、穆海華、胡金春已簽署一致行動協議，徐登峰、張鳴、楊開明、成榮、尹文生、穆海華、胡金春為朱煜的一致行動人。2、股東朱煜作為艾西科技、艾西博銳的普通合伙人、執行事務合伙人，持有艾西科技 6.4

304、4%的出資額，持有艾西博銳 20.57%的出資額。股東成榮作為艾西科技的有限合伙人，持有艾西科技 5.77%的出資額。3、股東水木愿景與水木長風的普通合伙人、執行事務合伙人均為水木創信，水木創信的執行事務合伙人為公司股東、董事長吳勇，吳勇為水木愿景、水木長風的執行事務合伙人委派代表。吳勇通過持有水木國信 54.55%出資額，持有水木遠航 40%出資額，持有水木創信 10%出資額，間接持有水木長風、水木愿景的合伙份額。股東單峰通過持有水木國信 9.09%出資額、持有水木遠航 40%出資額，間接持有水木長風、水木愿景的合伙份額。水木創信為普通合伙企業，吳勇直接持有水木創信 10%出資額并擔任其執行

305、事務合伙人，水木國信持有水木創信 80%出資額，吳勇是水木國信的普通合伙人及執行事務合伙人，并持有水木國信 54.55%出資額。吳勇通過水木國信、水木創信對水木愿景及水木長風享有實際控制權，水木愿景、水木長風、吳勇之間存在一致行動關系。4、股東渾璞集成電路、渾璞集成二期和渾璞璞玉六號的普通合伙人、執行事務合伙人和基金管理人均為渾璞投資；股東姚軍之女姚瑤系渾璞璞玉六號的有限合伙人，持有渾璞璞玉六號 99.01%的合伙份額。股東李強連為渾璞集成電路、渾璞集成二期的有限合伙人，持有渾璞集成電路 13.20%的合伙份額，持有渾璞集成二期 12.88%的合伙份額。股東劉劍華配偶之母馮間為渾璞集成電路的有

306、限合伙人，持有渾璞集成電路 26.40%的合伙份額。5、股東招商投資是招商證券股份有限公司全資子公司，股東深圳招遠的普通合伙人及執行事務合伙人北京致遠勵新投資管理有限公司是招商證券股份有限公司的全資孫公司。北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-91 6、股東李德竹與李向英系夫妻關系。7、股東北京文華的普通合伙人、執行事務合伙人及基金管理人為北京文華海匯投資管理有限公司，發行人股東宋樹華自 2020 年 8 月擔任北京文華海匯投資管理有限公司的董事。除上述情況外，公司股東之間不存在其他關聯關系。（七）發行人股東公開發售股份情況（七）發行人股東公開發售股份情況 本次發行不涉及公

307、司股東公開發售股份的情況。十、發行人董事、監事、高級管理人員及核心技術人員十、發行人董事、監事、高級管理人員及核心技術人員（一）董事、監事、高級管理人員及核心技術人員簡介（一）董事、監事、高級管理人員及核心技術人員簡介 1、公司現任董事簡介、公司現任董事簡介 本公司董事會由 9 名董事組成，其中獨立董事 3 名。公司董事由股東大會選舉產生，每屆任期三年，并可連選連任，其中獨立董事連任不得超過六年。公司董事基本情況如下：序號序號 姓名姓名 職務職務 提名人提名人 任期任期 1 吳勇 董事長 第一屆董事會（水木長風、水木愿景及吳勇推薦）2018 年 8 月2021 年 8 月 2 朱煜 董事、首席

308、科學家 第一屆董事會（朱煜及其一致行動人推薦）2018 年 8 月2021 年 8 月 3 徐登峰 董事 第一屆董事會（朱煜及其一致行動人推薦）2018 年 8 月2021 年 8 月 4 張鳴 董事、技術顧問 第一屆董事會（朱煜及其一致行動人推薦）2018 年 8 月2021 年 8 月 5 楊開明 董事、技術顧問 第一屆董事會（朱煜及其一致行動人推薦）2018 年 8 月2021 年 8 月 6 孫國華 董事、總經理 第二屆董事會（朱煜及其一致行動人推薦）2019 年 3 月2021 年 8 月 7 朱哲民 獨立董事 第二屆董事會（朱煜及其一致行動人推薦）2019 年 3 月2021 年

309、8 月 8 王文武 獨立董事 第二屆董事會（朱煜及其一致行動人推薦）2019 年 3 月2021 年 8 月 9 徐紅 獨立董事 第二屆董事會（朱煜及其一致行動人推薦）2019 年 3 月2021 年 8 月 本公司董事簡歷如下：（1）吳勇，男，1966 年 1 月出生，中國國籍，無境外永久居留權。1988年畢業于清華大學，碩士學歷，工商管理 MBA 專業。2012 年 4 月至今任水木創信執行事務合伙人；2012 年 5 月至 2015 年 8 月任華卓有限董事；2012 年 5北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-92 月至今任北京水清科技有限公司董事；2012 年 6

310、 月至今任水木啟程執行事務合伙人委派代表；2012 年 7 月至今任水木國鼎經理；2020 年 11 月至今任水木國鼎董事；2013 年 10 月至今任北京品馳醫療設備有限公司董事；2014 年 6 月至今任水木揚帆執行事務合伙人委派代表；2014 年 8 月至今任北京億華通科技股份有限公司董事；2014 年 12 月至今任北京信匯生物能源科技有限公司董事；2015 年 5 月至今任水木長風執行事務合伙人委派代表；2015 年 6 月至今任北京荷塘探索創業投資有限公司監事；2015 年 10 月至今任北京清源繼?？萍加邢薰径麻L；2016 年 1 月至今任北京捷通華聲科技股份有限公司董事；2

311、017 年2 月至今任清譜（上海）分析儀器有限公司董事；2017 年 6 月至今任水木國信執行事務合伙人；2017 年 9 月至今任水木愿景執行事務合伙人委派代表；2017年 11 月至 2020 年 11 月任荷塘創業投資管理（北京）有限公司經理；2017 年11 月至今任荷塘創業投資管理（北京）有限公司董事；2017 年 12 月至今任上海神力科技有限公司董事；2017 年 12 月至今任北京荷塘國際健康創業投資管理有限公司董事；2018 年 6 月至今任水木遠航執行事務合伙人；2019 年 3 月至今任荷塘探索國際健康科技發展（北京）有限公司董事長；2020 年 7 月至 2021年 1

312、 月擔任共青城水木嘉元創業投資中心（有限合伙）執行事務合伙人委派代表；2021 年 1 月至今擔任共青城水木嘉元創業投資中心（有限合伙）執行事務合伙人；2021 年 2 月至今擔任北京水木領航咨詢中心（有限公司）執行事務合伙人；2021 年 2 月至今任北京水木領航創業投資中心（有限合伙）執行事務合伙人委派代表；2015 年 9 月至今任華卓精科董事長。（2）朱煜，朱煜的基本情況詳見本招股說明書第五節 發行人基本情況之八、發行人實際控制人及主要股東的基本情況之（一）控股股東、實際控制人基本情況。（3）徐登峰，男，1974 年 6 月出生，中國國籍，無境外永久居留權。2007年畢業于清華大學，博

313、士學歷，機械工程專業。1998 年 7 月至 2002 年 8 月任四川長虹電子集團公司空調部設計師；2007 年 7 月至 2010 年 9 月在清華大學精儀系從事博士后科研工作；2010 年 9 月至今任清華大學助理研究員；2004 年11 月至 2019 年 9 月任華卓精密監事；2012 年 5 月至 2015 年 7 月任華卓有限董事；2015 年 8 月至 2018 年 3 月任華卓精科總經理；2015 年 8 月至今任華卓精科董事。北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-93（4）張鳴，男，1973 年 11 月出生，中國國籍，無境外永久居留權。2005年畢業于

314、清華大學，博士學歷，機械工程專業。1999 年 3 月至 2000 年 7 月任中國運載火箭技術研究院助理工程師；2005 年 7 月至 2007 年 7 月任清華大學博士后；2007 年 8 月至今任清華大學助理研究員、副研究員；2016 年 6 月至今任北京華信和宜科技有限公司監事；2013 年 12 月至今任廊坊市朗博通訊電子技術有限公司監事；2007 年 4 月至今任北京眾和容智電子科技有限公司監事；2012年 3 月至今任天津眾和匯智科技有限公司監事；2017 年 8 月至今任華卓精科技術顧問；2018 年 2 月至今任華卓精科董事。張鳴先生作為公司高級技術顧問，主要為公司雙工作臺研

315、發過程中各個關鍵技術節點的結構方案制定和結構設計工作提供建設性意見并對公司的相關研發成果提供論證。張鳴先生的研究領域包括雙工件臺系統設計、結構創新等方向，曾負責及參與國家重大專項、973 計劃、863 計劃、NSFC 中標項目等共計 6 項國家級項目；發表論文 66 篇，其中 SCI 期刊收錄 17 篇、EI 期刊收錄 65 篇；截至目前，發明了國家授權專利共計 164 項，其中發明專利 147 項；發明了美國授權專利 24項。（5）楊開明，男，1970 年 8 月出生，中國國籍，無境外永久居留權。2005年畢業于清華大學，博士學歷，機械工程專業。2005 年 9 月至 2007 年 12 月

316、在清華大學精密儀器系從事博士后科研工作；2007 年 12 月至今任清華大學副研究員；2016 年 6 月至 2019 年 5 月，任華卓運動執行董事、經理；2017 年 11 月至今任華卓精科技術顧問，2015 年 7 月至今任華卓精科董事。（6）孫國華，男，1962 年 1 月出生，本科學歷，中國國籍，無境外永久居留權。1983 年畢業于北京師范大學，本科學歷，無線電電子學專業。1983 年 9月至 1985 年 6 月任北京市西城區人民政府科員；1985 年 6 月至 1987 年 11 月任北京多能電子技術發展公司總經理助理；1987 年 11 月至 1995 年 12 月在德國 Tr

317、ier 大學留學并任教從事教學工作；1996 年 1 月至 1999 年 1 月任北京東方通科技公司副總經理；1999 年 1 月至 2003 年 1 月任長天科技有限公司電信、郵政、媒體事業部總經理；2003 年 1 月至 2010 年 5 月任瑞典 TODOS DATA SYSTEM AB 公司中國區總經理；2010 年 5 月至 2012 年 7 月任法國 Gemalto公司電子銀行事業部中國區總經理；2012 年 7 月至 2015 年 3 月任青島東方拓北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-94 訊信息技術有限公司總經理；2015年3月至2017年9月任新加坡Ji

318、ngKing Tech Holdings Pte Ltd 技術總監；2012 年 4 月至今任北京東方拓訊信息技術有限公司執行董事、經理（2017 年 9 月起不再任北京東方拓訊信息技術有限公司經理）；2014 年 6 月至 2020 年 9 月 9 日任青島豐華時代信息技術有限公司執行董事、總經理（2017 年 9 月起不再任青島豐華時代信息技術有限公司總經理職務，2020年 9 月 9 日青島豐華時代信息技術有限公司已注銷）；2017 年 9 月至 2018 年 3月任華卓精科副總經理；2018 年 3 月至今任華卓精科總經理；2018 年 4 月至今任杭州天睿經理，2019 年 5 月至

319、今任杭州天睿執行董事；2019 年 3 月至今任華卓精科董事；2020 年 7 月至今任上海甫睿執行董事兼總經理。（7）朱哲民，男，1980 年 1 月出生，中國國籍，無境外永久居留權。2002年畢業于中國石油大學（北京），本科學歷，會計學專業，中國注冊會計師。2002年 9 月至 2015 年 3 月任普華永道中天會計師事務所（特殊普通合伙）北京分所高級經理；2015 年 3 月至 2015 年 9 月任英利綠色能源股份有限公司財務總監；2015 年 9 月至今任普華永道中天會計師事務所（特殊普通合伙）北京分所總監；2019 年 3 月至今任華卓精科獨立董事。（8）王文武，男，1973 年

320、1 月出生，中國國籍，無境外永久居留權。1997年畢業于蘭州大學物理系；2006 年畢業于日本東京大學，博士學歷，材料工程專業。2006 年 7 月至 2008 年 4 月就職于日本產業技術綜合研究所；2008 年 4月至今，就職于中國科學院微電子研究所，先后擔任研究員、博士生導師、所長助理、集成電路先導工藝研發中心主任、副所長；2019 年 3 月至今擔任華卓精科獨立董事。（9）徐紅，女，1960 年 1 月出生，中國國籍，無境外永久居留權。2001年畢業于中國社會科學院研究生院，研究生學歷，產業經濟學專業。1982 年 8月至 1991 年 9 月任北京建筑工程大學機電系教師；1991 年

321、 9 月至 2018 年 2月先后任中國國際工程咨詢有限公司機電項目部電子處工程師、高級工程師、電子處副處長；高技術業務部通信處處長、信息產業處處長、部門副主任；2018年 2 月退休，2018 年 9 月至今任北京市老科學技術工作者總會中國國際工程咨詢有限公司協會理事；2019 年 3 月至今任華卓精科獨立董事。2、公司現任監事簡介、公司現任監事簡介 本公司監事會由 3 名監事組成，其中包含 2 名職工代表監事。公司監事每屆北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-95 任期三年，可連選連任。公司監事基本情況如下：序序號號 姓名姓名 職務職務 提名人提名人 任期任期 1 楊鵬

322、遠 監事會主席 第二屆監事會（朱煜及其一致行動人推薦）2019 年 4 月-2021 年 8 月 2 付增強 職工代表監事 職工代表大會 2018 年 8 月-2021 年 8 月 3 張夢非 職工代表監事 職工代表大會 2018 年 8 月-2021 年 8 月 本公司監事簡歷如下：（1）楊鵬遠，男，1983 年 1 月出生，中國國籍，無境外永久居留權。2011年畢業于華北電力大學，研究生學歷，材料學專業。2011 年 5 月至 2014 年 6月任北京晨晶電子有限公司 SMD 事業部副部長；2014 年 6 月至今任華卓精科靜電卡盤產品經理、材料與工藝工程部材料工程師；2019 年 4 月

323、至今任華卓精科監事會主席。楊鵬遠先生作為公司靜電卡盤產品經理，推動了靜電卡盤產品專項研究成果的轉化，帶動了產品的銷售，并為公司帶來了可觀的經濟效益。加入公司前，楊鵬遠先生曾就職于晨晶電子，并擔任 SMD 事業部副部長，主要負責晶體振蕩器、晶體諧振器、MEMS 傳感器的研發工作，其負責研發的超精密陶瓷類電子元器件技術已應用到多種型號的軍工產品中。楊鵬遠先生與晨晶電子不存在競業禁止的情況。楊鵬遠先生擁有高級工程師職稱，作為骨干先后參與了02 專項、國防重點項目、自然科學基金項目共計 3 項國家級科研項目；截至目前，發明了國家授權專利共計 10 項，其中發明專利 1 項。（2）付增強，男，1986

324、年 2 月出生，中國國籍，無境外永久居留權。2008年畢業于北京聯合大學，本科學歷，機械工程及自動化專業，中級工程師。2008年 7 月至 2010 年 11 月任北京開元熱工儀表技術有限公司電氣工程師；2011 年3 月至 2015 年 6 月任清華大學 IC 裝備實驗室電氣工程師；2015 年 6 月至 2015年8月任華卓有限電氣工程師；2015年8月至今任華卓精科項目管理部副經理；2016 年 12 月至今任華卓精科監事；2020 年 7 月至今，任上海甫睿監事。（3）張夢非，男，1988 年 9 月出生，中國國籍，無境外永久居留權。2011年畢業于北京聯合大學，本科學歷，廣告學（營銷

325、策劃）專業。2011 年 2 月至2012年7月任北京東方燕園教育科技有限公司包裝設計師；2012年7月至2018北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-96 年 9 月任華卓有限（華卓精科）創意設計師/市場策劃；2016 年 12 月至今任華卓精科監事；2018 年 9 月至今任華卓精科市場部副經理。3、公司現任高級管理人員簡介、公司現任高級管理人員簡介 本公司共有 4 名高級管理人員，基本情況如下：序號序號 姓名姓名 職務職務 1 孫國華 董事、總經理 2 肖雪梅 財務總監 3 成榮 董事會秘書 4 程聞興 副總經理 本公司高級管理人員簡歷如下：（1）孫國華，簡歷參見本節

326、十、發行人董事、監事、高級管理人員及核心技術人員之（一）董事、監事、高級管理人員及核心技術人員簡介之1、公司現任董事簡介。（2）肖雪梅，女，1978 年 1 月出生，中國國籍，無境外永久居留權。2000年畢業于吉林大學，本科學歷，理財學專業，高級會計師，注冊會計師。2000年 8 月至 2001 年 9 月任北京建中機器廠財務助理；2001 年 10 月至 2007 年 4月任北方華創財務會計；2007 年 5 月至 2017 年 4 月任北方華創 IC 研發中心財務總監；2017 年 4 月至 2018 年 4 月任航天科工系統仿真科技（北京）有限公司總會計師；2018 年 4 月至今任華卓

327、精科財務總監。（3）成榮，女，1977 年 11 月出生，中國國籍，無境外永久居留權。2008年畢業于中國科學院長春應用化學研究所，博士學歷，高分子化學與物理專業。2009 年 1 月至 2009 年 9 月中國科學院長春應用化學研究所助理研究員；2009年 10 月至 2013 年 12 月清華大學精密儀器系博士后；2014 年 1 月至今任清華大學機械系助理研究員；2012 年 6 月至 2019 年 7 月任艾西精創監事；2018 年8 月至今任 HZ PRECISION 秘書；2015 年 8 月至今任華卓精科董事會秘書。（4）程聞興，男，1981 年 6 月出生，中國國籍，無境外永久

328、居留權。2003年畢業于復旦大學，本科學歷，電子科學與技術專業。2003 年 6 月至 2005 年10 月，任上海先進半導體制造股份有限公司芯片三廠工藝工程師；2006 年 7 月至 2007 年 7 月，任北京七星華創電子有限公司微電子設備分公司工藝工程師；2007 年 8 月至 2011 年 6 月，任北京七星華創電子股份有限公司集成電路工藝北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-97 設備研發中心制造部經理；2011 年 7 月至 2014 年 11 月，任北京七星華創電子股份有限公司集成電路工藝設備研發中心總經理助理；2014 年 12 月至 2016 年7 月，任

329、北京七星華創電子股份有限公司集成電路工藝設備研發中心副總經理；2016 年 7 月至 2019 年 6 月，任北京北方華創微電子裝備有限公司清洗機事業部副總經理（主持工作）；2019 年 7 月至 2020 年 7 月，任華卓精科運營總監；2020 年 7 月至今，任華卓精科副總經理。4、公司核心技術人員簡介、公司核心技術人員簡介 發行人對核心技術人員的認定標準如下：（1）擁有與公司業務匹配的資歷背景，具備十年以上相關行業研究或工作經驗；（2）在研發、設計等崗位擔任重要職務；（3）任職期間主導完成多項核心技術的研發。截至本招股說明書簽署日，本公司共有 7 名核心技術人員，基本情況如下：序號序號

330、 姓名姓名 職務職務 認定依據認定依據 1 朱煜 董事、首席科學家 行業專家；02 專項技術副總師、北京市科學技術獎獲得者、機械工程學會高級會員、IEEE 會員。發明了境內授權專利共計 201余項，其中發明專利 173 項；發明了美國授權專利 26 項。2 張鳴 董事、技術顧問 行業專家；為公司光學工程部、材料與工藝工程部、機械工程部、仿真工程部、運動控制部等部門提供技術建議；北京市科學技術獎獲得者。發明了國家授權專利共計 164 項、其中發明專利 147 項；發明了美國授權專利 24 項。3 劉效巖 應用工藝部經理、前道激光退火設備產品經理 應用工藝部經理、前道激光退火設備產品經理，主要負責

331、 28-14nm 技術節點激光退火設備的開發；首都科技領軍人才；高級工程師。發明了國家授權專利共計 18 項，其中發明專利 10 項；發明了美國授權專利1 項，中國臺灣地區授權專利 2 項。4 張利 系統與仿真工程部經理、浸沒式雙工件臺產品經理 系統與仿真工程部經理、浸沒式雙工件臺產品經理；業務骨干；北京市科學技術獎獲得者；高級工程師。發明了國家授權專利共計 47 項，其中發明專利 35 項；發明了美國授權專利 4 項。5 陳靜 光學工程部經理、功率激光退火設備產品經理 光學工程部經理，功率激光退火設備產品及工藝開發的負責人；高級工程師。發明了國家授權發明專利 8 項。6 張豹 EFEM 項目

332、產品經理 EFEM 項目產品經理、晶圓傳輸設備及機械手產品研發負責人；高級工程師。發明北京華卓精科科技股份有限公司 招股說明書（上會稿）1-1-98 序號序號 姓名姓名 職務職務 認定依據認定依據 了國家授權專利共計 42 項，其中發明專利22 項；發明了美國授權專利 3 項，中國臺灣地區授權專利 4 項。7 楊鵬遠 監事、材料與工藝工程部材料工程師、靜電卡盤產品經理 靜電卡盤產品經理；高級工程師。發明了國家授權專利共計 10 項，其中發明專利 1項。上述核心技術人員簡歷如下：（1）朱煜，朱煜的基本情況參見本節八、發行人實際控制人及主要股東的基本情況之（一）控股股東、實際控制人基本情況。（2）

333、張鳴，張鳴的基本情況參見本節十、發行人董事、監事、高級管理人員及核心技術人員之（一）董事、監事、高級管理人員及核心技術人員簡介之1、公司現任董事簡介。（3）劉效巖，男，1982 年 5 月出生。中國國籍，無境外永久居留權。2011年畢業于河北工業大學，博士學歷，微電子學與固體電子學專業。2011 年 11 月至 2014 年 5 月任北方華創與清華大學精密儀器系聯合培養博士后；2011 年 6月至 2018 年 3 月任北方華創工藝技術經理和單片清洗機產品經理；2018 年 4月至今任華卓精科前道激光退火設備產品經理、應用工藝部經理。劉效巖先生作為公司應用工藝部經理，主要負責激光退火技術、晶圓鍵合技術、平面光柵技術等工藝的開發；作為公司前道激光退火設備產品經理，主要負責 28-14nm 技術節點激光退火設備的開發。加入公司前，劉效巖先生曾就職于七星華創，任工藝技術經理、產品經理及黨支部紀檢