超精密測控裝備部件貢獻主要收入，光刻機雙工臺模塊產品銷售量逐步提升。2018-2020 年間，超精密測控裝備部件分別實現了 0.8 億元、0.85 億元、1.18 億元，占主營業務收入的比例分別為 93.48%、69.96%和 77.56%，公司該類產品廣受下游客戶好評，目前已向中科飛測、中山新諾、京東方及長光華大等各自領域領先企業供貨。此外公司光刻機雙工件臺的營收占比也有所提升，在 2020 年達到 11.42%。華卓精科 2021H1營收 0.6 億元，2021 年上半年公司出現虧損，主要是因為研發人員、管理人員的大幅增加。