漢鐘精機-深度報告：光伏真空泵龍頭半導體真空泵空間廣闊-220530（57頁）.pdf

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1、證券研究報告證券研究報告 | | 2022022 2年年0 05 5月月3030日日漢鐘精機漢鐘精機（002158.SZ）光伏真空泵龍頭，半導體真空泵空間廣闊光伏真空泵龍頭，半導體真空泵空間廣闊公司研究公司研究 深度報告深度報告投資評級：買入（維持評級）投資評級：買入（維持評級）證券分析師：吳雙0755-S0980519120001聯系人：年亞頌0755-投資摘要投資摘要國內壓縮機國內壓縮機、真空泵龍頭真空泵龍頭，業績穩健增長業績穩健增長 公司是國內螺桿壓縮機、真空泵龍頭，傳統業務（制冷壓縮機、空壓機）國內份額領先，光伏真空泵占據主要市場份額，半導體真空泵在中國大陸和中國臺灣均已實現供貨。20

2、21年實現營收29.81億元（同比+31.20%），歸母凈利潤4.87億元（同比+34.11%），增長穩健。光伏真空泵龍頭光伏真空泵龍頭，中國中國100100億元半導體真空泵市場打開更大成長空間億元半導體真空泵市場打開更大成長空間 光伏真空泵：光伏真空泵：2022年全球光伏真空泵設備空間約12-18億元。漢鐘精機光伏真空泵市占率超過70%，其中，拉晶環節真空泵市占率遙遙領先，2020年電池片環節真空泵放量，未來有望進一步提升。光伏新增裝機容量持續增加+N型電池片技術迭代有望驅動光伏真空泵需求持續增長。 半導體真空泵：半導體真空泵：中國大陸/中國臺灣半導體真空泵設備空間約61/45億元，半導體真

3、空泵市場主要由Atlas等國外廠商占據，中國廠商（漢鐘精機、中科儀）市占率低于5%。目前漢鐘精機已成為中國臺灣主要半導體公司供應商，同時成功通過大陸半導體企業的驗證，實現小批量供貨。未來隨著半導體真空泵國產化的進程，公司產品放量可期。 真空泵維保服務：真空泵維保服務：客戶購買真空泵后，需要定期對設備進行維修養護。對標分析海外龍頭Atlas發現，相比設備銷售業務，服務業務收入更持續穩定，現金流更好，利潤率更高。2022年全球光伏真空泵維?？臻g約5億元，中國大陸+中國臺灣半導體真空泵維?？臻g約35億元。未來隨著公司真空泵業務的發展，預期維保服務業務有望進一步打開公司成長空間。壓縮機業務整體保持穩健

4、壓縮機業務整體保持穩健，冷凍冷藏發展空間較大冷凍冷藏發展空間較大 壓縮機業務包含制冷壓縮機和空氣壓縮機，制冷壓縮機用于冷凍冷藏、中央空調、熱泵。熱泵和冷凍冷藏受益政策及需求增長，預期行業增速較快；中央空調受地產景氣度下降及疫情影響，預期維持小幅增長；空壓機業務整體承壓，維持低速增長。投資建議：維持投資建議：維持“買入買入”評級評級 公司經營穩中向好，盈利能力穩中有升，我們預計公司2022-24年歸母凈利潤為5.94/7.22/8.69億元，對應PE 15/12/10倍。綜合絕對估值和相對估值，公司合理股價為21.63-23.50元，維持“買入”評級。風險提示：風險提示：整體經濟下行；真空泵業務

5、不及預期；原材料價格波動；疫情反復風險。mNqPnMmPyQqNsQoNxOpNnM9P9R9PnPqQmOnPlOoOqNlOnOpOaQpPzQMYmPrRvPqNrM圖1：漢鐘精機業務主要包括干式真空泵、壓縮機資料來源：漢鐘精機招股說明書、漢鐘精機年度報告、公司公告，國信證券經濟研究所整理；注：空氣壓縮機、制冷壓縮機收入占比按照公司2017-2019年度報告披露份額均值估算漢鐘精機干式真空泵35%光伏（主要）半導體（次之）鋰電化工制藥等壓縮機57%空氣壓縮機（約30%）有油空壓機無油空壓機制冷壓縮機（約70%）商用中央空調冷鏈物流熱泵一張圖看懂漢鐘精機一張圖看懂漢鐘精機- -公司業務拆分

6、公司業務拆分毛利率：毛利率：35%35%凈利率：凈利率：16%16%20212021年營收年營收29.8129.81億元（億元（+31%+31%）20212021年利潤年利潤4.874.87億元（億元（+34%+34%）營收占比：營收占比：16%16%（20182018）35%35%（20212021）20172017- -20212021營收營收CAGRCAGR：9%9%20212021毛利率：毛利率：30%30%光伏業務放量+高毛利拉動業績增長20172017- -20212021營收營收CAGRCAGR：46%46%20212021毛利率：毛利率：43%43%圖2：漢鐘精機真空泵主要應用

7、于光伏，目前積極拓展半導體行業資料來源：漢鐘精機招股說明書、漢鐘精機年度報告、江蘇微導公告、公司公告，國信證券經濟研究所整理一張圖看懂漢鐘精機一張圖看懂漢鐘精機- -真空泵下游需求真空泵下游需求真空泵業務半導體真空泵應用于單晶拉晶、LL、Etching、CVD、ALD、封裝、測試2022年市場規模全球225億中國大陸61億已通過大廠驗證，客戶包括青島芯恩、華虹、中芯國際（測試中）等。中國臺灣45億元聯電、日月光、力成，已批量供貨國產率5%光伏真空泵（行業龍頭）應用于拉晶、電池片環節拉晶環節客戶：隆基/中環/晶科/晶盛機電等；電池片環節客戶：捷佳偉創、江蘇微導等。預計2022年市場規模12-18

8、億漢 鐘 精 機 市 占 率70%+圖3：漢鐘精機業務未來業績增長點資料來源：漢鐘精機招股說明書、漢鐘精機年度報告、公司公告，國信證券經濟研究所整理一張圖看懂漢鐘精機一張圖看懂漢鐘精機- -未來業績增長點未來業績增長點半導體行業逐步放半導體行業逐步放量實現進口替代量實現進口替代中短期看光伏，長期看半導體，真空泵業務中短期看光伏，長期看半導體，真空泵業務20192019年提速，年提速，20202020- -20212021年帶動整體業務加速，預計年帶動整體業務加速，預計20222022年仍有較好表現年仍有較好表現冷鏈藍海，零售冷鏈藍海，零售巨頭搶先布局巨頭搶先布局煤改電煤改電環保政策環保政策冷鏈

9、物流冷鏈物流+ +熱泵熱泵+ +燃料電池空壓泵及氫回收泵：進一步打開壓縮機業燃料電池空壓泵及氫回收泵：進一步打開壓縮機業務成長空間務成長空間漢鐘精機是技術平臺型公司，管理層經營穩健，產品延展性強，半導體漢鐘精機是技術平臺型公司，管理層經營穩健，產品延展性強，半導體 光伏光伏 冷鏈物流均處于上行周期，冷鏈物流均處于上行周期，預計公司預計公司20222022- -2424年歸母凈利潤年歸母凈利潤5.94/7.22/8.695.94/7.22/8.69億元，對應億元，對應PE 15/12/10PE 15/12/10倍，維持“買入”評級。倍，維持“買入”評級。壓縮機壓縮機氫燃料電池空壓泵氫燃料電池空壓

10、泵磁懸浮離心機磁懸浮離心機真空泵真空泵+ + +光伏行業景氣向上光伏行業景氣向上、公公司市場份額提升司市場份額提升+ +真空泵維保服務真空泵維保服務+ +基本情況：國內壓縮機+真空泵龍頭，業績穩步提升0101真空泵業務：光伏龍頭，半導體空間廣闊0202傳統業務：整體保持穩健，冷凍冷藏發展空間較大0303對標公司分析：全球真空泵龍頭Atlas+中科儀0404目錄目錄盈利預測與估值、風險提示0505圖5：公司核心產品為壓縮機、真空泵資料來源：漢鐘精機招股說明書、漢鐘精機年度報告，國信證券經濟研究所整理圖4：螺桿壓縮機、真空泵示意圖資料來源：漢鐘精機招股說明書，國信證券經濟研究所整理漢鐘精機基本情況

11、：漢鐘精機基本情況：公司是國內螺桿壓縮機、真空泵龍頭公司是國內螺桿壓縮機、真空泵龍頭主營業務：壓縮機主營業務：壓縮機、國內真空泵龍頭國內真空泵龍頭 公司是國內螺桿壓縮機、真空泵龍頭。傳統業務（制冷壓縮機、空壓機）國內份額領先，保持穩健增長；真空泵業務在光伏占據主要市場份額，積極拓展至半導體行業，得到隆基股份/晶盛機電/捷佳偉創/臺積電等光伏、半導體企業的認可。核心產品：螺桿壓縮機核心產品：螺桿壓縮機（正壓正壓）+ +真空泵真空泵（負壓負壓） 壓縮機：1）制冷壓縮機用于中央空調、冷鏈物流行業；2）熱泵用于集中采暖、工業制熱；3）空氣壓縮機：用于工業自動化等氣源動力行業，新產品無油空壓機廣泛應用于

12、半導體醫藥生物化工汽車食品紡織等； 真空泵：廣泛用于光伏、半導體、鋰電、化工制藥等行業。 未來潛在增長點產品：制藥用真空泵+氫燃料電池空壓泵+新能源汽車空調和剎車系統。主要客戶：主要客戶： 傳統業務：美的、海爾、約克、開利、天加等。 真空泵業務：光伏龍頭隆基股份、晶盛機電、捷佳偉創、江蘇微導等，半導體大廠聯電、日月光、力成等。螺桿壓縮機干式真空泵制冷行業螺桿制冷離心壓縮工業制造行業空氣壓縮真空產品新能源行業渦旋壓縮余熱回收熱泵產品真空產品半導體行業無油空壓真空產品加工制造鑄件加工零件維修零件維修行業分類年度報告分類壓縮機真空產品鑄件產品零件及維修漢鐘精機基本情況：漢鐘精機基本情況：公司是國內螺

13、桿壓縮機、真空泵龍頭公司是國內螺桿壓縮機、真空泵龍頭表1：漢鐘精機主營業務業務分類業務分類主要產品主要產品應用領域應用領域主要客戶主要客戶收入占比收入占比（20212021年）年）CAGR（20172017- -20212021）毛利率毛利率（20212021年）年）真空產品真空產品干式真空泵用于光伏、鋰電、半導體、醫藥化工等行業。目前主要以光伏為主，半導體次之。光伏：晶盛機電捷佳偉創隆基股份等；半導體：中國臺灣聯電日月光力成等,大陸青島芯恩華虹宏力中芯國際。34.98%45.71%43.14%壓縮機壓縮機制冷產品：1）螺桿壓縮機、2）離心壓縮機商用中央空調、冷藏冷凍。美的、海爾、約克、開利、

14、天加等國內主流空調廠商。56.93%8.99%30.14%空壓產品：1）螺桿式空壓機、2）無油空壓機工業自動化等氣源動力行業，電子半導體醫藥生物化工等。經銷商形式銷售?？諝庠礋岜眉泄┡?、工業用鍋爐的改造。主要為工程商。零件及維修零件及維修空壓機、真空泵維修服務-5.91%8.23%40.82%鑄件產品鑄件產品-1.94%8.23%3.26%儲備產品儲備產品渦旋壓縮機、氫燃料電池用空氣泵、氫回收泵等新能源汽車、氫能。-資料來源：漢鐘精機招股說明書、年度報告，國信證券經濟研究所整理圖6：漢鐘精機歷史沿革資料來源：漢鐘精機官網，國信證券經濟研究所整理漢鐘精機歷史沿革漢鐘精機歷史沿革 歷史沿革歷史沿

15、革1996年漢鐘精機在上海成立辦事處，1998年正式成立，2000-2003年完成上?？倧S建設，2007年深交所上市，2015年定增8.2億元用于擴產，2016年上海二廠投入使用，2017年收購中國臺灣新漢鐘后（同一控制人旗下），借助中國臺灣新漢鐘在干式真空泵的深厚積累，公司干式真空泵業務快速發展，2018年公司實施股權激勵。2022年3月，公司臺灣臺中廠初步投入使用。201120112009200919961996上海辦事處成立全資子公司成立1）上?？旅瘷C械有限公司2）浙江漢聲精密機械有限公司201920192018201820172017201620162015201520122012收購

16、青島世紀東元高新幾點有限公司認購德耐爾節能科技（上海）股份有限公司上海興塔廠投入使用全資子公司成立漢鐘精機（香港）有限公司漢鐘精機（香港）成立越南海爾梅斯參股日立機械制造（上海）有限公司設立漢力能源科技股份有限公司定增定增 8.2 8.2 億元擴產億元擴產香港漢鐘收購中國臺灣漢鐘香港漢鐘收購中國臺灣漢鐘設立韓國漢鐘精機株式會社設立安徽漢揚精密2018.072018.07股權激勵股權激勵投資印尼漢鐘設立上海真空技術有限公司，設立上海真空技術有限公司，解決國產化問題解決國產化問題20072007深交所掛牌上市深交所掛牌上市募資募資3.23.2億元億元20022002上海楓涇廠二期完成2003200

17、3上海楓涇廠三期完成20002000上海楓涇廠一期完成202220222022.03臺灣臺中廠初步投入使用19981998上海漢鐘機械有限公司成立圖7：漢鐘精機股權結構穩定資料來源：漢鐘精機招股說明書、2021年度報告、Wind，國信證券經濟研究所整理漢鐘精機股權結構穩定漢鐘精機股權結構穩定 股權結構穩定股權結構穩定實際控制人：實際控制人：公司第一大股東為巴拿 馬 海 爾 梅 斯 公 司 （ HERMESEQUITIES CORP.），持有本公司32.70%的股份，實際控股股東為漢鐘投資控股股份有限公司（中國臺灣），公司實際控制人為廖哲男，持有漢鐘投資23.09%，間接持有上海漢鐘精機股份有限

18、公司股份7.6%；高管團隊：高管團隊：主要為中國臺灣籍，2018年股權激勵均有持股，高管持續多年二級市場增持，彰顯信心。 股權激勵股權激勵公司2018年8月30日，公司實施股權激勵計劃。實際授予155名激勵對象488.74萬股限制性股票。100%100%100%廖哲男廖哲男上海漢鐘精機股份有限公司上海漢鐘精機股份有限公司漢鐘投資控股股份有限公司（中國臺灣）維爾京群島 EXTRAYIELD FINANCE LTD.巴拿馬 HERMES EQUITIES CORP維爾京群島CAPITAL HARVEST TECHNOLOGY LTD23.09%100%100%32.70%28.64%其他社會公眾股

19、38.66%上?？旅憬瓭h聲香港漢鐘日立機械青島世紀東元30%52%上海德耐爾16.67%越南海爾梅斯中國臺灣漢力能源中國臺灣漢鐘100%99.5%17%韓國漢鐘100%安徽漢楊中國臺灣漢鐘真空100%100%42%印尼漢鐘上海真空技術40%楚雄漢鐘70%杭州漢創45%浙江柯茂100%戰略方向：轉向關鍵零部件供應商戰略方向：轉向關鍵零部件供應商+ +系統營運服務商系統營運服務商 公司戰略方向公司戰略方向公司始終聚焦流體機械產業，不斷拓展應用領域，公司堅持技術為先，做強做大。從關鍵零部件供應商逐步向關鍵零部件供應商+系統營運服務商轉型。圖8：漢鐘精機逐步轉向關鍵零部件供應商+系統運營服務商資料來

20、源：漢鐘精機招股說明書、年度報告、公司公告，國信證券經濟研究所整理關鍵零部件關鍵零部件供應商供應商系系 統統營營 運運服服 務務半導體半導體工業工業制造制造制冷制冷行業行業新能源新能源云端云端服務服務關鍵零部件供應商關鍵零部件供應商圖9：漢鐘精機2021營收同比+31.20%圖10：漢鐘精機2021歸母凈利潤同比+34.11%資料來源：Wind、國信證券經濟研究所整理資料來源：Wind、國信證券經濟研究所整理經營情況：營收業績穩健增長，近三年加速增長經營情況：營收業績穩健增長，近三年加速增長 整體經營情況長期穩健整體經營情況長期穩健，真空泵放量拉動經營提速真空泵放量拉動經營提速 營收：營收：2

21、012年：7億元2017年：16.04億元（中國臺灣新漢鐘并表）2021年：29.81億元，2017-2021年CAGR為16.75%，整體保持穩定增長態勢； 業績：業績：2012年歸母凈利潤1.07億元2017：2.27億元2018：2.03億元2021：4.87億元，2017-2021年CAGR為21.03%。公司經營過去整體保持穩健，2020-2021年營收業績提速增長主要系傳統主業制冷及空壓產品穩健增長的同時，真空泵業務受益下游光伏需求持續好大幅增長所致。-30%-20%-10%0%10%20%30%40%05001,0001,5002,0002,5003,0003,500201220

22、1320142015201620172018201920202021營業收入（百萬元）同比增速-30%-20%-10%0%10%20%30%40%50%60%01002003004005006002012201320142015201620172018201920202021歸母凈利潤（百萬元）同比增速圖11：漢鐘精機真空產品占比逐年提升圖12：漢鐘精機真空產品毛利率高于其他產品資料來源：Wind、國信證券經濟研究所整理資料來源：Wind、國信證券經濟研究所整理經營情況：真空泵業務占比持續提升經營情況：真空泵業務占比持續提升 壓縮機業務維持穩定增長壓縮機業務維持穩定增長，真空泵業務占比快速提升

23、真空泵業務占比快速提升 壓縮機：壓縮機：2010年營收6.54億元2021年營收16.97億元，2010-2021年CAGR為9.05%，毛利率在30%左右；制冷產品：2010年營收4.17億元 2019年營收9.45億元，CAGR 達9.52%，毛利率在40%左右；（注：2020年后未公布）空氣產品：2010年營收2.37億元 2019年營收3.50億，CAGR達4.41%；毛利率在20%左右；（注：2020年后未公布） 真空產品：真空產品：2016年營收1.33億元（追溯調整后）2021年營收10.43億元，2016-2020年CAGR為50.90%，毛利率在40%以上。真空產品收入占比從

24、2016年的10.70%上升至2021年的34.98%，真空泵的快速發展是公司近年收入增長的主要來源。圖13：漢鐘精機真空泵業務快速增長資料來源：Wind、國信證券經濟研究所整理0%10%20%30%40%50%真空產品壓縮機零件及維修鑄件產品0%10%20%30%40%50%60%70%80%90%100%真空產品零件及維修鑄件產品壓縮機-10%0%10%20%30%40%50%60%70%80%90%020,00040,00060,00080,000100,000120,000140,000160,000180,000201620172018201920202021壓縮機業務同比增速真空產

25、品壓縮機業務同比增速真空產品同比增速圖14：漢鐘精機凈利率逐步回升，2021提升至16.36%圖15：漢中精機近三年期間費用率下降資料來源：Wind，國信證券經濟研究所整理資料來源：Wind，國信證券經濟研究所整理經營情況：盈利能力穩中有升，研發投入持續增加經營情況：盈利能力穩中有升，研發投入持續增加 公司盈利能力穩中有升公司盈利能力穩中有升，研發投入持續增加研發投入持續增加 盈利能力穩中有升：盈利能力穩中有升：2012-2021公司毛利率穩定在32%-36%，2018年毛利率下降主要系原材料成本上升所致；凈利率由2014年的18.52%下降至2018年的11.71%，主要系銷售費用率與研發費

26、用率上升所致；2020年公司凈利率逐步回升，2021年升至16.36%，同比+0.32個pct。公司2018-2021年盈利能力整體呈現上升態勢，主要系：1）毛利率較高的真空泵業務占比持續增加；2）期間費用率有所改善。 期間費用率有所改善：期間費用率有所改善：近三年公司期間費用率穩中有降，由2019年的15%下降為2021年度11%。管理費用率從2017年的5.74%下降至2021年的4.68%，整體較為穩定；銷售費用率波動較大，從2014年的4.75%上升至2019年的7.62%，主要系公司逐步加大市場推廣所致，2020-2021年銷售費用率下降至5%左右。 研發投入持續增加：研發投入持續增

27、加：研發費用率由2014年的4.53%上升至2021的6.21%，主要系公司重視研發，持續加大研發投入。圖16：漢鐘精機研發支出維持高位資料來源：Wind，國信證券經濟研究所整理0%5%10%15%20%25%30%35%40%2012 2013 2014 2015 2016 2017 2018 2019 2020 2021毛利率凈利率三費費用率-2%-1%0%1%2%3%4%5%6%7%8%9%2012 2013 2014 2015 2016 2017 2018 2019 2020 2021銷售費用率管理費用率財務費用率0%1%2%3%4%5%6%7%8%020406080100120140

28、1601802002012 2013 2014 2015 2016 2017 2018 2019 2020 2021研發費用(百萬元)研發費用率經營情況：現金創造力強，經營情況：現金創造力強，ROEROE水平持續提升水平持續提升 現金創造力強現金創造力強，ROEROE水平持續提升水平持續提升 現金流良好：公司現金流良好：公司經營性現金流凈額持續超過歸母凈利潤，2018年較差主要系采購量較去年同期上升及人力成本上升。 ROEROE低位回升：低位回升：2014年公司ROE開始下行，主要系公司15年定增募投8.2億元新建多條生產線，使得資產周轉率顯著下滑；2017年公司并表中國臺灣新漢鐘后，ROE小

29、幅回升至12.2%；2018年，在大宗原材料價格上漲和費用成本增加背景下，公司凈利率下滑，拖累ROE降至11.23%；2021隨著產品結構調整和盈利能力提升，ROE回升至19.85%。 長期展望：長期展望：未來隨著毛利率較高的真空泵業務占比持續增加，公司凈利率有望進一步上升，從而持續提高公司的ROE水平。圖17：經營性現金流狀況良好圖18：ROE水平整體持續提升資料來源：Wind、國信證券經濟研究所整理資料來源：Wind、國信證券經濟研究所整理圖19：漢鐘精機資產周轉率、凈利潤率上升資料來源：Wind、國信證券經濟研究所整理0%20%40%60%80%100%120%140%160%180%2

30、00%2012 2013 2014 2015 2016 2017 2018 2019 2020 2021凈利率資產周轉率權益乘數0%5%10%15%20%25%2012 2013 2014 2015 2016 2017 2018 2019 2020 2021ROE0.00.51.01.52.001002003004005006007002012201320142015201620172018201920202021歸母凈利潤（百萬元）經營性現金流（百萬元）經營性現金流/歸母凈利潤基本情況：國內壓縮機+真空泵龍頭，業績穩步提升01010101真空泵業務：光伏龍頭，半導體空間廣闊0202傳統業務：

31、整體保持穩健，冷凍冷藏發展空間較大0303對標公司分析：全球真空泵龍頭Atlas+中科儀0404目錄目錄盈利預測與估值、風險提示0505圖20：漢鐘精機真空泵業務發展歷史資料來源：公司公告，國信證券經濟研究所整理漢鐘精機真空泵發展歷史漢鐘精機真空泵發展歷史早期發展：早期發展：公司真空泵技術源于中國臺灣漢鐘精機，臺灣漢鐘精機2000年以前就開始研發真空泵，在2006年開始做推廣，向鋼鐵業、冷凍干燥、電池等廠商提供樣品試用，2006-2008真空泵產品在市場逐步獲得認可。在2008年金融風暴的背景下，大部分客戶以現金為王，減少支出，進而減少真空泵的維修，更多客戶開始測試漢鐘的真空泵。2009-20

32、10漢鐘精機開始擴大市場。光伏突破：光伏突破：漢鐘精機2011年切入光伏產業，2017年光伏拉晶環節放量，2018-2019年拉晶環節真空泵市占率領先，2020年光伏電池片環節真空泵放量，2021年公司光伏真空泵業務持續提升。光伏新增裝機容量持續增加+N型電池片技術迭代驅動光伏真空泵需求持續增長。半導體突破：半導體突破：2013-2014年漢鐘精機成為臺積電臺灣供貨商，后來相繼進入力積電、聯電、日月光、力成等知名半導體公司。目前中國大陸已成功通過華虹、青島芯恩等大型半導體企業的驗證，實現小批量供貨，未來隨著半導體設備國產化的進程推進，公司產品放量可期。真空泵歷史需求復盤：真空泵歷史需求復盤：公

33、司真空泵收入主要來自于光伏，2018.5.31新政后，真空泵需求出現明顯放緩，公司2018H1/H2收入分別為1.74/0.99億元；2019H1仍維持底部水平約1.03億元，2019H2真空泵需求開始復蘇，實現收入2.66億元；2020H1受新冠疫情影響增長有所放緩，實現收入1.92億元，2020H2受益于光伏行業向好及電池片環節突破，實現收入4.61億元，全年收入6.53億元，同比+76.86%。2021年，受益于光伏行業的持續高景氣，公司真空泵實現收入10.43億元，同比+59.71%。199819982000200020112011201320132015201520162016201

34、72017201820182019201920202020公司正式成立，螺桿壓縮機起家研發真空泵真空泵切入光伏成為臺積電供應商收購臺灣新漢鐘整合真空泵業務光伏拉晶環節真空泵放量光伏電池片環節真空泵放量20212021通過大陸半導體廠商驗證真空泵實現收入10.43億元，同比+59.71%圖21：真空泵主要用于拉晶和電池片環節資料來源：公司公告、國信證券經濟研究所整理光伏真空泵驅動力：光伏新增裝機容量增加光伏真空泵驅動力：光伏新增裝機容量增加+N+N型電池片技術迭代型電池片技術迭代 光伏真空泵驅動力：光伏新增裝機容量持續增加光伏真空泵驅動力：光伏新增裝機容量持續增加 光伏真空泵作用：光伏真空泵作用

35、：真空泵是光伏設備的關鍵部件之一，主要用于建立、改善、維持真空系統。 應用環節：應用環節：1）拉晶：高純晶體硅生成單晶硅棒環節的拉晶過程；2）電池片：硅片制成電池的PECVD/ALD、層壓等制程環節。 光伏行業發展：光伏行業發展：1）CPIA預計2022年全球光伏新增裝機195-240GW，同比14.71%-41.18%，中國光伏新增裝機75-90GW,同比36.66%-63.99%；2）目前真空泵主要用于PERC制程，隨著N型電池技術成熟，HJT和TOPCon預期成為未來擴產主力，進而帶來新一波真空泵需求。工業硅高純晶體硅單晶拉晶單晶硅棒多晶硅鑄錠硅片太陽能電池電池組件光伏系統PEVCD、層

36、壓圖22：全球光伏新增裝機容量及預測（GW）圖23：國內光伏新增裝機容量及預測（GW）資料來源：CPIA、國信證券經濟研究所整理資料來源：CPIA、國信證券經濟研究所整理050100150200250300350400保守預期樂觀預期020406080100120140保守預期樂觀預期光伏真空泵驅動力：光伏新增裝機容量增加光伏真空泵驅動力：光伏新增裝機容量增加+N+N型電池片技術迭代型電池片技術迭代表2：全球光伏新增裝機容量預測保守預期保守預期樂觀預期樂觀預期全球新增裝機量：太陽能光伏（全球新增裝機量：太陽能光伏（GW)GW)全球新增裝機增速全球新增裝機增速全球新增裝機量：太陽能光伏（全球新增

37、裝機量：太陽能光伏（GW)GW)全球新增裝機增速全球新增裝機增速2013201338.40 38.40 2014201443.00 11.98%43.00 11.98%2015201553.00 23.26%53.00 23.26%2016201670.00 32.08%70.00 32.08%20172017102.00 45.71%102.00 45.71%20182018106.00 3.92%106.00 3.92%20192019115.00 8.49%115.00 8.49%20202020130.00 13.04%130.00 13.04%2021202117030.77%170

38、30.77%2022E2022E19514.71%24041.18%2023E2023E22012.82%27514.58%2024E2024E24511.36%3009.09%2025E2025E27010.20%33010.00%資料來源：CPIA，國信證券經濟研究所整理20222022年光伏真空泵設備空間約年光伏真空泵設備空間約1212- -1818億元，維?？臻g約億元，維?？臻g約5 5億元億元光伏行業真空泵光伏行業真空泵20222022/ /20252025市場規模約市場規模約1212- -1818/ /1616- -1919億元億元 光伏行業空間測算基本假設光伏行業空間測算基本假設1

39、）我們以CPIA預計2022-2025全球光伏裝機容量為估算條件，分別估算保守、樂觀兩種情況下光伏真空泵需求；2）考慮光伏產線3年全部更新，存量產能每年更新1/3，假設產能利用率為80%，當年存量產能按上一年全球新增裝機量/80%估算；3）單晶拉晶環節真空泵價格7萬元/臺，單GW需求100臺，電池片環節真空泵價格8-10萬元/臺，假設9萬元/臺，單GW需求60臺； 光伏行業空間測算結果光伏行業空間測算結果1）保守條件下2022年空間約12億元，到2025年有望達到16億元；2）樂觀條件下2022年空間約18億元，到2025年有望達到19億元。20222022/ /20252025光伏真空泵維保

40、需求光伏真空泵維保需求5 5. .3 3/ /7 7. .5 5- -9 9. .5 5億元億元 通常而言單晶拉晶環節為一般制程，1-1.5年維保1次，電池片環節為嚴苛制程，4-5個月1次，維保一次費用約為新機的1/5，假設拉晶環節1.25年維保一次，電池片環節5個月維保一次，據此測算：1）保守情況，2022年維保需求約（700萬*1/5*1/1.25+540萬*1/5*12/5）*213*2/3=5.3億元，2025年約0.038億*306*2/3=7.5億元；2）樂觀情況，2022年維保需求約（700萬*1/5*1/1.25+540萬*1/5*12/5）*213*2/3=5.3億元，202

41、5年約0.038億*375*2/3=9.5億元。20222022年光伏真空泵設備空間約年光伏真空泵設備空間約1212- -1818億元，維?？臻g約億元，維?？臻g約5 5億元億元表3：保守估算全球光伏真空泵市場空間設備需求設備需求新增產能（新增產能（GW）存量產能（存量產能（GW）存量更新存量更新1/31/3設備需求（設備需求（GW）單單GW價值（億元）價值（億元）合計（億元）合計（億元）2021202140.00 163 54.17 94.17 0.1211.72022E2022E25.00 213 70.83 95.83 0.1211.92023E2023E25.00 244 81.25 1

42、06.25 0.1213.22024E2024E25.00 275 91.67 116.67 0.1214.52025E2025E25.00 306 102.08 127.08 0.1215.8資料來源：CPIA、漢鐘精機招股說明書，國信證券經濟研究所整理表4：樂觀估算全球光伏真空泵市場空間設備需求設備需求新增產能（新增產能（GW）存量產能（存量產能（GW）存量更新存量更新1/31/3設備需求（設備需求（GW）單單GW價值（億元）價值（億元）合計（億元）合計（億元）2022E2022E70.00 213 70.83 140.83 0.1217.52023E2023E35.00 300 100.

43、00 135.00 0.1216.72024E2024E25.00 344 114.58 139.58 0.1217.32025E2025E30.00 375 125.00 155.00 0.1219.2資料來源：CPIA、漢鐘精機招股說明書，國信證券經濟研究所整理半導體真空泵：技術要求更高，行業高集中度半導體真空泵：技術要求更高，行業高集中度 真空泵是半導體各工藝制程環節必備的通用設備真空泵是半導體各工藝制程環節必備的通用設備 應用環節：應用環節：可廣泛應用于晶圓制造過程中的單晶拉晶、Load-Lock、刻蝕、CVD、ALD、封裝、測試等清潔或嚴苛制程。 需求的必要性：需求的必要性：半導體器

44、件包含著許多層材料，如果不同材料層之間混入氣體分子，就會破壞器件的電學或光學性能。因此因此，真真空系統直接關系到芯片的性能和良率空系統直接關系到芯片的性能和良率。 技術門檻技術門檻：半導體真空泵技術門檻較高，對產品可靠性、定制化、能源效率提出更高要求：1 1）可靠性：可靠性：半導體用真空泵工作過程需要不斷保養，可靠性高的產品能減少維修次數，降低客戶使用成本（通常單次維修費用占設備價值的約1/5）；2 2）定制化：定制化：每條晶圓生產線工況都不相同，解決方案和產品的需求更加定制化；3 3）能源效率：能源效率：在FAB能源消耗中，真空產品占整個能源消耗的20%，提高能源效率能夠減少客戶的能源消耗。

45、 行 業 集 中 度 高 ：行 業 集 中 度 高 ： 全 球 半 導 體 真 空 泵 市 場 主 要 由 Atlas 、Kashiyama、Ebara等少數國外公司占據，市場份額高達95%以上。圖24：半導體真空泵主要應用的環節資料來源：漢中精機公告，國信證券經濟研究所整理ICIC設計設計邏輯設計邏輯設計用戶用戶需求需求芯片制造芯片制造芯片封裝芯片封裝成品測試成品測試電路設計電路設計圖形設計圖形設計光罩光罩、護膜護膜長晶圓長晶圓切片切片研磨研磨氧化氧化光罩校準光罩校準蝕刻蝕刻擴散擴散離子注入離子注入化學氣相沉積化學氣相沉積電極金屬蒸煮電極金屬蒸煮芯片測試芯片測試劃片劃片裝片裝片縫合縫合塑封塑

46、封電鍍電鍍切筋成型切筋成型打碼打碼電性測試電性測試老化測試老化測試應用應用市場市場原料供應原料供應設備供應設備供應原料供應原料供應切片切片拉晶片拉晶片硅晶圓硅晶圓測試分析設備測試分析設備封裝設備封裝設備制造設備制造設備樹脂樹脂、金屬線金屬線引線框引線框、氣體氣體化學品化學品圖25：全球半導體真空設備市場空間（億元）圖26：中國大陸半導體真空設備市場空間（億元）資料來源：SEMI、國信證券經濟研究所整理注：假設真空設備占半導體設備市場規模的3.5%，美元兌人民幣匯率按7:1計算資料來源：SEMI、國信證券經濟研究所整理注：假設真空設備占半導體設備市場規模的3.5%，美元兌人民幣匯率按7:1計算半

47、導體真空設備市場空間：預計半導體真空設備市場空間：預計2222年全球市場規模約年全球市場規模約279279億元億元20222022年全球真空設備市場規模預計年全球真空設備市場規模預計279279億元億元，中國大陸預計約中國大陸預計約6767- -9090億元億元 全球半導體真空設備市場規模：全球半導體真空設備市場規模：根據SEMI統計，2021年全球半導體設備市場銷售規模為1026美元（約7182億元）；根據SEMI預計，2022 年全球半導體設備市場銷售規?？蛇_1140億美元，按照真空設備約占整個FAB廠半導體投資的3%-4%測算，2022年全球半導體真空設備市場規模將達239-319億元；

48、 中國大陸真空設備市場規模：中國大陸真空設備市場規模：根據SEMI統計，2021年中國半導體設備市場銷售規模為296億美元（約2073億元），按照真空設備約占整個FAB廠半導體投資的3%-4%測算，2021中國半導體真空設備市場規模約62-83億元。假設中國大陸真空設備市場規模占全球28%（2021年占比28.9%），則2022年中國大陸真空設備市場規模約67-90億元。0%10%20%30%40%50%60%70%010203040506070802012201320142015201620172018201920202021中國半導體真空設備市場空間（億元）增長率-20%-10%0%10%

49、20%30%40%50%0501001502002503002011 2012 2013 2014 2015 2016 2017 2018 2019 2020 2021 2022E全球半導體真空設備市場空間（億元）增長率中國大陸中國大陸/ /中國臺灣中國臺灣2222年設備市場規模約年設備市場規模約61/4561/45億元，維保約億元，維保約3535億元億元晶圓廠產能測算晶圓廠產能測算，全球全球/ /中國大陸中國大陸/ /中國臺灣真空泵中國臺灣真空泵2222年市場規模年市場規模225225/ /6161/ /4545億元：億元： 測算基本條件：1）需求量：以12寸晶圓生產線為例，假設每3.5萬片

50、產能需要約2000臺真空泵；2）單價：半導體真空泵國內一般在10-20萬元/臺，國外價格更高，假設每臺價格為12萬元；3）存量更新：考慮存量已運營晶圓廠每年更新20% ；4）市場份額：假設中國大陸2022年晶圓產能占全球18%，中國臺灣2022年晶圓產能占全球21%。 測算結果：1）全球真空泵市場規模2020-2022年達178/206/225億元：2）中國大陸真空泵市場規模2020-22年達29/49/61億元；3）中國臺灣真空泵市場規模2020-22年達29/42/45億元。維保市場空間約維保市場空間約2222億元：億元： 真空泵根據制程要求不同一般運營0.5-2年維修1次，維修費用約為新