我國電子特氣行業經過 30 年的發展和積累，部分領先企業已經在特定產品上實現了突破，達到國際標準，逐步完成進口替代，特種氣體的國產化具備了客觀條件。例如，華特氣體以高純六氟乙烷為突破口，已實現進口替代，并能夠規?；^ 50 種產品，數量在國內特氣公司中處于領先地位。中船特氣的部分產品品質已達到國際領先水平，并成為國內首個進入 5nm 制程的電子特氣供應商，其六氟化鎢、三氟化氮等產品已實現國產替代。南大光電成功實現了高純砷烷、磷烷等特種電子氣體的產業化，打破了國外技術封鎖和壟斷，同時其氫類電子特氣在技術、品質、產能和銷售方面已躍居全球前列。