行業寡頭壟斷，國產替代空間大。光刻機市場呈現寡頭壟斷格局，前三供應商（荷蘭阿斯麥、日本佳能、日本尼康）占據絕大多數市場份額。中商產業研究院數據顯示，2022年，ASML、Canon、Nikon在光刻機市場份額分別為 82.1%、10.2%和 7.7%。國內光刻機市場進口替代空間大，以 ASML為例，其對中國大陸市場銷售持續提升，2024前三季度達到了 71億歐元，占其收入比重 48.2%。